JP4913750B2 - Photosensitive transfer material, partition wall and method for forming the same, optical element and method for manufacturing the same, and display device - Google Patents

Photosensitive transfer material, partition wall and method for forming the same, optical element and method for manufacturing the same, and display device Download PDF

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Description

本発明は、液晶ディスプレイ、液晶カラーテレビ等の表示装置、該表示装置に用いる光学素子及びその製造方法、該光学素子に備えられる隔壁及びその形成方法、並びに該隔壁の形成に用いられる感光性転写材料に関する。   The present invention relates to a display device such as a liquid crystal display and a liquid crystal color television, an optical element used in the display device and a manufacturing method thereof, a partition provided in the optical element, a method of forming the partition, and a photosensitive transfer used for forming the partition. Regarding materials.

近年、パーソナルコンピューター用液晶ディスプレイ、液晶カラーテレビの需要が増加する傾向にあり、このようなディスプレイに不可欠のカラーフィルタの特性向上とコストダウンに対する要求が高まっている。
従来、カラーフィルタの製造方法としては、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法などが実施されている。
例えば、染色法では、透明基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料層を形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これらの工程を色を変えながら3回繰り返すことにより、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色の着色部からなる着色層を形成する。
また、顔料分散法は、近年盛んに行われており、透明基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより、単色のパターンを得る。この工程を色を変えながら3回繰り返すことにより、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成する。
In recent years, the demand for liquid crystal displays for personal computers and liquid crystal color televisions has been increasing, and there has been an increasing demand for improved characteristics and cost reduction of color filters indispensable for such displays.
Conventionally, as a method for producing a color filter, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, a printing method, and the like have been performed.
For example, in the dyeing method, a water-soluble polymer material layer that is a dyeing material is formed on a transparent substrate, patterned into a desired shape by a photolithography process, and the obtained pattern is immersed in a dyeing bath. To obtain a colored pattern. By repeating these steps three times while changing the color, a colored layer composed of three colored portions of R (red), G (green), and B (blue) is formed.
In addition, the pigment dispersion method has been actively performed in recent years, and a monochromatic pattern is obtained by forming a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed on a transparent substrate and patterning it. By repeating this process three times while changing the color, a colored layer composed of colored portions of R, G, and B is formed.

電着法では、透明基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に該透明基板を浸漬して第一の色を電着する。この工程を色を変えながら3回繰り返して、R、G、Bの3色の着色部からなる着色層を形成し、最後に焼成するものである。
印刷法では、熱硬化型の樹脂に顔料を分散し、得られた分散物を用いた印刷を色を変えながら3回繰り返すことにより、R、G、Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより、着色層を形成する。
これらのいずれの製造方法を用いた場合でも、得られた着色層の上に保護層を形成するのが一般的である。
In the electrodeposition method, a transparent electrode is patterned on a transparent substrate, and the first substrate is electrodeposited by immersing the transparent substrate in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like. This process is repeated three times while changing the color to form a colored layer composed of colored portions of R, G, and B, and finally fired.
In the printing method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, and printing using the obtained dispersion is repeated three times while changing the color, so that R, G, and B are separately applied, and then the resin is thermoset. By doing so, a colored layer is formed.
In any of these production methods, a protective layer is generally formed on the obtained colored layer.

これらの方法に共通している点は、赤色、緑色、青色の3色画素を形成するために、同一の工程を3回繰り返す必要があり、コスト高になることである。さらに、工程数が多いため、歩留まりが低下しやすい。   The point common to these methods is that it is necessary to repeat the same process three times in order to form red, green and blue three-color pixels, resulting in high costs. Furthermore, since the number of processes is large, the yield tends to decrease.

これらの問題を克服すべく、近年、ブラックマトリックスを顔料分散法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法が検討されている。このインクジェット方式では、ブラックマトリックスの凹部にR、G、B各色を順次付与して画素を形成する。インクジェット方式を利用した方法は、製造プロセスが簡略で、低コストであるという利点がある。
また、インクジェット方式はカラーフィルタの製造に限らず、エレクトロルミネッセンス素子など、他の光学素子の製造にも応用が可能である。
In order to overcome these problems, in recent years, a color filter manufacturing method in which a black matrix is formed by a pigment dispersion method and RGB pixels are manufactured by an ink jet method has been studied. In this inkjet method, pixels are formed by sequentially applying R, G, and B colors to the recesses of the black matrix. The method using the ink jet method has an advantage that the manufacturing process is simple and the cost is low.
In addition, the inkjet method is not limited to the manufacture of color filters, but can also be applied to the manufacture of other optical elements such as electroluminescence elements.

エレクトロルミネッセンス素子は、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、上記薄膜に電子及び正孔(ホール)を注入して再結合させることにより励起子を生成させ、この励起子が失活する際の蛍光或いは燐光の放出を利用して発光させる素子である。このようなエレクトロルミネッセンス素子に用いられる各色蛍光性材料を、例えばTFT等素子を形成した基板上にインクジェット方式により付与して発光層を形成し、素子を構成することができる。   An electroluminescence element has a structure in which a thin film containing a fluorescent inorganic and organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and excitons are obtained by injecting electrons and holes into the thin film and recombining them. Is generated by utilizing the emission of fluorescence or phosphorescence when the exciton is deactivated. Each color fluorescent material used for such an electroluminescence element can be applied to a substrate on which an element such as a TFT is formed by an ink jet method to form a light emitting layer to constitute the element.

上記したように、インクジェット方式等の液滴を付与する方法は、製造プロセスの簡略化及びコスト削減を図ることができることから、カラーフィルタやエレクトロルミネッセンス素子といった光学素子の製造へ応用されている。しかしながら、このようなインクジェット方式による光学素子の製造において、特有の問題として、図1に示すような「白抜け」、「インクのはみ出し」及び「混色」や、その他「画素内の厚みムラ」がある。
以下、カラーフィルタを作製する場合を例にとって上記問題を説明する。
As described above, the ink jet method or the like method for applying droplets can be applied to the manufacture of optical elements such as color filters and electroluminescence elements because the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced. However, in the manufacture of such an optical element by the ink jet method, as a specific problem, there are “white spots”, “extruding ink”, “color mixing” and other “thickness unevenness in pixels” as shown in FIG. is there.
Hereinafter, the above problem will be described by taking a case of producing a color filter as an example.

インクのはみ出しとは、ブラックマトリックスを隔壁51として、該ブラックマトリックスの開口部(画素部)にインクを付与して着色部を形成する際、隔壁となるブラックマトリックスを超えてインクがあふれてしまう現象であり、また混色とは、あふれたインクが隣接する着色部間で混合してしまう現象である。
白抜けとは、開口部のガラス面や隔壁側面とインクとの濡れ性が悪く、開口部に充分にインクが広がらなかったり、側壁と充填されたインクとの間に空隙が形成されたりする現象である。
画素53A〜C内の厚みムラとはひとつの画素内でインクの厚さが異なる現象で、ブラックマトリックスの開口部(画素部)にインクを盛り上げて付与するために生じる。特に混色を防止するために隔壁に撥インク処理を施した場合、画素の四隅において発生しやすく、四隅が薄くなることが多い。
これら白抜けやはみ出し、混色、画素内の厚みムラは、色ムラやコントラストの低下といった表示不良の原因となる。
Ink protrusion is a phenomenon in which when the black matrix is used as the partition 51 and ink is applied to the opening (pixel portion) of the black matrix to form a colored portion, the ink overflows beyond the black matrix serving as the partition. In addition, color mixing is a phenomenon in which overflowed ink is mixed between adjacent colored portions.
White spots are a phenomenon in which the wettability between the glass surface of the opening or the side wall of the partition wall and the ink is poor, the ink does not spread sufficiently in the opening, or a gap is formed between the side wall and the filled ink. It is.
The thickness unevenness in the pixels 53A to 53C is a phenomenon in which the thickness of the ink is different in one pixel, and occurs because the ink is raised and applied to the opening (pixel portion) of the black matrix. In particular, when an ink-repellent treatment is performed on the partition wall in order to prevent color mixing, it tends to occur at the four corners of the pixel, and the four corners often become thin.
These white spots, protrusions, mixed colors, and uneven thickness in pixels cause display defects such as uneven color and a decrease in contrast.

混色を防止するための技術としては、撥水、撥油作用のあるシリコーンゴム層をパターニングして混色防止用の仕切壁とする方法(例えば、特許文献1参照。)や、遮光層となるブラックマトリックス上にシリコーンゴム層を形成し、混色防止用の隔壁として用いる手法(例えば、特許文献2または3参照。)が提案されている。これらの方法では、隔壁の表面層の示す撥インク性が不足し十分な効果が得られないのが現状である。   As a technique for preventing color mixing, a method of patterning a water- and oil-repellent silicone rubber layer to form a partition wall for preventing color mixing (see, for example, Patent Document 1), or black serving as a light shielding layer There has been proposed a method of forming a silicone rubber layer on a matrix and using it as a partition wall for preventing color mixing (see, for example, Patent Document 2 or 3). In these methods, the ink repellency exhibited by the surface layer of the partition wall is insufficient, and a sufficient effect cannot be obtained.

シリコーン化合物よりも高い撥油・撥水性を示すフッ素化合物を用いる方法として、CF4プラズマによる撥インク処理例が試されている(例えば、特許文献4参照。)。この
方法で撥インク処理を行うと、隣接画素間のインクの混合が効果的に防止できたが、白抜けが発生しやすい欠点があった。これは、前記撥インク処理が、隔壁上面に留まらず、基板表面や、隔壁側面にも及ぶために生じた問題点である。また、プラズマ処理を行うために大きな設備投資が必要となる。
大きな設備投資が不要な方法として、反応性基を有する濡れ性調整剤を用いる方法がある。例えば、反応性基を有する濡れ性調整剤として、含フッ素シランカップリング剤による撥インク処理例が開示されている(例えば、特許文献5参照。)。この方法により撥インク処理を行うと、隣接画素間のインクの混合が効果的に防止でき、隔壁側面が処理されないため、隔壁近傍の気泡(はじき)が発生しなかった。しかし、先に塗布した黒色のフォトレジスト層の上に、塗り重ねるため、含フッ素シランカップリング剤を、該フォトレジスト層を溶解させない溶媒で塗布する必要があり、パーフルオロ(2−ブチルテトラヒドロフラン)のような、一般に高価な特殊な溶媒を用いる必要があった。
また、これらいずれの方法も、撥インク処理のための専用工程を設ける必要があり、コスト上負担となっていた。
As a method of using a fluorine compound that exhibits higher oil repellency and water repellency than a silicone compound, an ink repellent treatment example using CF 4 plasma has been tried (see, for example, Patent Document 4). When ink repellent treatment was performed by this method, ink mixing between adjacent pixels could be effectively prevented, but there was a drawback that white spots were likely to occur. This is a problem that occurs because the ink repellent treatment is not limited to the upper surface of the partition wall but extends to the substrate surface and the side surface of the partition wall. In addition, a large capital investment is required to perform the plasma treatment.
As a method that does not require a large capital investment, there is a method using a wettability adjusting agent having a reactive group. For example, an ink repellent treatment example using a fluorine-containing silane coupling agent is disclosed as a wettability adjusting agent having a reactive group (see, for example, Patent Document 5). When ink repellent treatment was performed by this method, ink mixing between adjacent pixels could be effectively prevented, and the side wall of the partition was not processed, so that no bubbles (repelling) were generated near the partition. However, it is necessary to apply a fluorine-containing silane coupling agent with a solvent that does not dissolve the photoresist layer in order to recoat it on the black photoresist layer previously applied. Perfluoro (2-butyltetrahydrofuran) It was necessary to use a special expensive solvent such as
In addition, any of these methods needs to provide a dedicated process for the ink repellent treatment, which is a cost burden.

また、混色や白抜けを同時に改良する方法が提案されており(例えば、特許文献6参照)、隔壁を、インクを弾く層と馴染む層とから形成することで、混色と白抜けを同時に防止している。しかし、その場合であっても画素内の厚みムラの改善という問題が残されている。
特開平4−123005号公報 特開平5−241011号公報 特開平5−241012号公報 特開2003−344640号公報 特開平9−127327号公報 特開2002−139612号公報
In addition, a method for simultaneously improving color mixing and white spots has been proposed (see, for example, Patent Document 6). By forming the partition wall from an ink repellent layer and a familiar layer, color mixing and white spots are simultaneously prevented. ing. However, even in that case, there remains a problem of improving the thickness unevenness in the pixel.
JP 4-123005 A JP-A-5-241011 JP-A-5-241012 JP 2003-344640 A JP-A-9-127327 JP 2002-139612 A

従って、所望の面にのみ撥インク性を付与した感光性樹脂層を形成することができる感光性転写材料、画素を形成する際に発生する混色、白抜け、はみ出し、画素内の厚みムラを効果的に防止することができる隔壁、該隔壁を容易に形成することができる隔壁の形成方法、混色、白抜けやはみ出し、画素内の厚みムラのない光学素子、該光学素子を安定して得られる光学素子の製造方法、及び表示不良のない表示装置に対するニーズがある。   Therefore, a photosensitive transfer material that can form a photosensitive resin layer imparted with ink repellency only on a desired surface, mixed colors, white spots, protrusions, and uneven thickness in pixels that are produced when pixels are formed are effective. Partition that can be prevented automatically, a method of forming the partition that can be easily formed, an optical element that is free of color mixing, white spots and protrusions, and unevenness in thickness within the pixel, and the optical element can be stably obtained There is a need for an optical element manufacturing method and a display device free from display defects.

本発明者は、前記状況に鑑みて本発明に至った。
本発明の第1のアスペクトは、仮支持体と、重合性基を有するフッ素化合物を含有する表面処理層と、該表面処理層と接触する感光性樹脂層とをこの順に有する感光性転写材料を提供する。
The present inventor has reached the present invention in view of the above situation.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a photosensitive transfer material having a temporary support, a surface treatment layer containing a fluorine compound having a polymerizable group, and a photosensitive resin layer in contact with the surface treatment layer in this order. provide.

本発明の第2のアスペクトは、感光性樹脂層と表面処理層とを有する前記の感光性転写材料を用い、前記感光性樹脂層が基板に接するように、前記感光性転写材料を基板に圧着し、前記表面処理層を介して前記感光性樹脂層をパターン露光し、前記感光性樹脂層を現像することをこの順に有する隔壁の形成方法を提供する。   In a second aspect of the present invention, the photosensitive transfer material having the photosensitive resin layer and the surface treatment layer is used, and the photosensitive transfer material is pressure-bonded to the substrate so that the photosensitive resin layer is in contact with the substrate. Then, there is provided a method for forming a partition wall, in which the photosensitive resin layer is subjected to pattern exposure through the surface treatment layer, and the photosensitive resin layer is developed in this order.

本発明の第3のアスペクトは、前記方法により形成された隔壁を提供する。   The third aspect of the present invention provides a partition formed by the above method.

本発明の第4のアスペクトは、前記の隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によって液滴を付与して画素を形成することを特徴とする光学素子の製造方法を提供する。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method for producing an optical element, wherein a pixel is formed by applying droplets to the recesses defined by the partition walls by an ink jet method.

本発明の第5のアスペクトは、基板上に、複数の画素と、該画素間を区切るように形成された隔壁と、を少なくとも有し、且つ第4のアスペクトの製造方法により製造されたことを特徴とする光学素子を提供する。     According to a fifth aspect of the present invention, there is provided at least a plurality of pixels and a partition formed so as to partition the pixels on the substrate, and the fifth aspect is manufactured by the manufacturing method according to the fourth aspect. An optical element is provided.

本発明の第6のアスペクトは、第5のアスペクトの光学素子を備えることを特徴とする表示装置を提供する。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a display device comprising the optical element of the fifth aspect.

本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に表面処理層と感光性樹脂層とを少なくとも有し、該表面処理層が重合性基を有するフッ素化合物(以下、「重合性基含有フッ素化合物」ということがある。)を含有することを特徴とする。
表面処理層に重合性基含有フッ素化合物を含むことにより、該感光性転写材料を用いて基板上に形成される感光性樹脂層や隔壁は、その上面(基板の反対側表面)のみに撥インク性を付与することができる。
以下、本発明を詳細に説明するにあたり、まず前記感光性転写材料を構成する層の各々について述べる。
The photosensitive transfer material of the present invention has at least a surface treatment layer and a photosensitive resin layer on a temporary support, and the surface treatment layer has a polymerizable group (hereinafter referred to as “polymerizable group-containing fluorine compound”). It may be referred to as “.”).
By including a polymerizable group-containing fluorine compound in the surface treatment layer, the photosensitive resin layer or partition formed on the substrate using the photosensitive transfer material is ink repellent only on the upper surface (the surface opposite to the substrate). Sex can be imparted.
Hereinafter, in describing the present invention in detail, each of the layers constituting the photosensitive transfer material will be described first.

<表面処理層>
前記表面処理層とは、感光性樹脂層の仮支持体側表面に接するように形成され、感光性樹脂層の仮支持体側表面を処理するための層のことを指す。具体的には例えば、
(1)図2Bに示すように、仮支持体30上に熱可塑性樹脂層40、中間層20及び感光性樹脂層10を、この順に互いが接するように形成した感光性転写材料においては、該中間層20を、
(2)図2Aに示すように、仮支持体30上に中間層20及び感光性樹脂層10を、この順に互いが接するように形成した感光性転写材料においては、該中間層20を指す。また、
(3)仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び感光性樹脂層を、この順に互いが接するように形成した感光性転写材料においては、該熱可塑性樹脂層を、
(4)仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層、表面処理層としての他の層及び感光性樹脂層をこの順に互いが接するように形成した感光性転写材料においては、該他の層を指す。尚、前記感光性転写材料を、隔壁の形成等のために基板に圧着する場合、各層の混合防止や酸素遮断性、圧着時の密着性に優れ且つ経済性にも好ましいことから、本発明の感光性転写材料は前記(1)の態様であることが特に好ましい。
<Surface treatment layer>
The surface treatment layer refers to a layer formed so as to be in contact with the surface of the photosensitive resin layer on the temporary support side and for treating the surface of the photosensitive resin layer on the side of the temporary support. Specifically, for example,
(1) As shown in FIG. 2B, in the photosensitive transfer material in which the thermoplastic resin layer 40, the intermediate layer 20, and the photosensitive resin layer 10 are formed on the temporary support 30 so as to contact each other in this order, The intermediate layer 20 is
(2) As shown in FIG. 2A, in the photosensitive transfer material in which the intermediate layer 20 and the photosensitive resin layer 10 are formed on the temporary support 30 so as to contact each other in this order, the intermediate layer 20 is indicated. Also,
(3) In the photosensitive transfer material formed so that the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other in this order on the temporary support, the thermoplastic resin layer is
(4) In a photosensitive transfer material in which a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, another layer as a surface treatment layer and a photosensitive resin layer are formed on a temporary support so that they are in contact with each other in this order, the other layers Point to. In the case where the photosensitive transfer material is pressure-bonded to a substrate for the purpose of forming a partition wall, etc., it is excellent in prevention of mixing of each layer, oxygen barrier property, adhesion at the time of pressure bonding, and economical efficiency. The photosensitive transfer material is particularly preferably the embodiment (1).

前記表面処理層の塗布液に重合性基含有フッ素化合物を含ませて塗布することにより、該重合性基含有フッ素化合物は空気界面側に密集する。更にこの上(空気界面側)に感光性樹脂層を形成することにより、前記表面処理層中の感光性樹脂層側の界面には重合性基含有フッ素化合物が密集している状態となる。次に、この状態で、感光性樹脂層を表面処理層側から露光する。そうすると感光性樹脂層中の開始剤によって重合反応が起こり、感光性樹脂層が硬化する。この露光硬化の過程において、表面処理層中の重合性基含有フッ素化合物が感光性樹脂層と化学結合または物理的に吸着するなどの相互作用を起こし、表面処理層側界面に固定される。このようにして感光性樹脂層の表面処理層側界面のみに撥インク性を付与することができる。さらに露光後、後述のc)現像、にて表面処理層を除去することで上面(基板の反対側表面)のみに撥インク性のある隔壁を製造することができる。a)圧着の前、またはa)圧着とb)露光の間に表面処理層と感光性樹脂層を加熱することも相互作用をより強くするできる点で好ましい。   By applying the surface treatment layer coating solution containing a polymerizable group-containing fluorine compound, the polymerizable group-containing fluorine compound is concentrated on the air interface side. Further, by forming a photosensitive resin layer thereon (on the air interface side), a polymerizable group-containing fluorine compound is densely packed at the interface on the photosensitive resin layer side in the surface treatment layer. Next, in this state, the photosensitive resin layer is exposed from the surface treatment layer side. Then, a polymerization reaction occurs due to the initiator in the photosensitive resin layer, and the photosensitive resin layer is cured. In this exposure curing process, the polymerizable group-containing fluorine compound in the surface treatment layer causes an interaction such as chemical bonding or physical adsorption with the photosensitive resin layer, and is fixed to the surface treatment layer side interface. Thus, ink repellency can be imparted only to the surface treatment layer side interface of the photosensitive resin layer. Further, after the exposure, the surface treatment layer is removed by c) development described later, whereby a partition wall having ink repellency can be produced only on the upper surface (the surface on the opposite side of the substrate). Heating the surface treatment layer and the photosensitive resin layer before a) pressure bonding or between a) pressure bonding and b) exposure is also preferable because the interaction can be further strengthened.

なお、前記相互作用によって感光性樹脂層表面に固定された重合性基含有フッ素化合物は現像では除去されないため、上記のように上面(基板の反対側表面)のみに撥インク性のある隔壁を製造することができる。
このように表面処理層は分子一層程度の膜厚があればその目的は達成できるため、表面処理層の膜厚は特に制限はない。ただし経済性や現像性の観点から15.0μm以下であることが好ましく、3.0μm以下であることがより好ましい。
Since the polymerizable group-containing fluorine compound fixed on the surface of the photosensitive resin layer by the interaction is not removed by development, a partition having ink repellency is produced only on the upper surface (the surface on the opposite side of the substrate) as described above. can do.
As described above, the surface treatment layer can achieve its purpose if it has a film thickness of about one molecule, and therefore the film thickness of the surface treatment layer is not particularly limited. However, it is preferably 15.0 μm or less, more preferably 3.0 μm or less, from the viewpoints of economy and developability.

尚、露光現像後に感光性樹脂層表面に0.1μm以下の重合性基含有フッ素化合物の層が存在することが好ましい。この場合、パネル化したときにフッ素化合物が液晶中に泣き出すことがなく、液晶の駆動に支障をきたすことがない。また、隔壁の膜厚が所望の膜厚よりも厚くなってしまうこともない。こうなると、セルギャップが所望の値に容易に設定することができ、ムラ等の問題が発生することがない。   In addition, it is preferable that a 0.1 μm or less polymerizable group-containing fluorine compound layer is present on the surface of the photosensitive resin layer after exposure and development. In this case, when the panel is formed, the fluorine compound does not cry into the liquid crystal, and the liquid crystal drive is not hindered. In addition, the film thickness of the partition wall does not become larger than the desired film thickness. In this case, the cell gap can be easily set to a desired value, and problems such as unevenness do not occur.

露光で感光性樹脂層表面に固定された重合性基含有フッ素化合物の量としては、ESCAで測定した上面のフッ素原子数/炭素原子数が0.10以上であることが好ましく、0.30以上であることがより好ましい。   The amount of the polymerizable group-containing fluorine compound fixed to the photosensitive resin layer surface by exposure is preferably such that the number of fluorine atoms / number of carbon atoms on the upper surface measured by ESCA is 0.10 or more, and 0.30 or more It is more preferable that

ここで、ESCAの測定は所定の露光量でベタ露光とした測定用ベタサンプルを作製し、その表面の原子数比をESCA(アルバック−ファイ製、PHI−5300、検出角度45°)で測定した。   Here, the measurement of ESCA was performed by preparing a solid sample for measurement with a solid exposure at a predetermined exposure amount, and the atomic ratio of the surface was measured by ESCA (manufactured by ULVAC-PHI, PHI-5300, detection angle 45 °). .

上記方法で製造した隔壁は上面のみに撥インク性があり、側面には撥インク性部位がない。このため白抜け故障が発生しにくいという利点がある。また、隔壁の膜厚が感光性樹脂層の厚みと同じにでき、膜厚の変動による問題が起きないという利点がある。   The partition wall produced by the above method has ink repellency only on the top surface and no ink repellency site on the side surface. For this reason, there is an advantage that white-out failure hardly occurs. Further, the thickness of the partition wall can be made the same as the thickness of the photosensitive resin layer, and there is an advantage that the problem due to the variation in the thickness does not occur.

尚、上記表面処理層は光重合開始剤や光重合開始剤系を含まないことが好ましい。ここで、「含まない」とは表面処理層塗布液を調製する際に、光重合開始剤や光重合開始剤系を添加しないことを意味する。表面処理層が光重合開始剤または光重合開始剤系を含まないと、露光時に表面処理層が固まることがなく、隔壁の膜厚が所望の膜厚よりも厚くなることがない。こうなると、セルギャップを所望の値に設定でき、ムラ等の問題が発生することがない。   In addition, it is preferable that the said surface treatment layer does not contain a photoinitiator or a photoinitiator system. Here, “does not contain” means that no photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system is added when the surface treatment layer coating solution is prepared. If the surface treatment layer does not contain a photopolymerization initiator or a photopolymerization initiator system, the surface treatment layer does not harden during exposure, and the partition wall thickness does not become larger than the desired thickness. In this case, the cell gap can be set to a desired value, and problems such as unevenness do not occur.

また、前記表面処理層は、感光性樹脂層との塗り分けの観点から、水系の層(溶媒の25質量%以上(より好ましくは40質量%以上)が水である塗布液によって形成された層)であることが好ましい。   In addition, the surface treatment layer is a layer formed from a coating solution in which an aqueous layer (25% by mass or more (more preferably 40% by mass or more) of the solvent) is water from the viewpoint of coating with the photosensitive resin layer. ) Is preferable.

−重合性基を有するフッ素化合物−
本発明に用いられる重合性基含有フッ素化合物としては、例えば、フッ素原子と重合性不飽和二重結合を有する高分子化合物(以下、「重合性基含有含フッ素ポリマー」ということがある。)が挙げられる。さらに、この高分子化合物は、アルカリ水溶液に可溶であることが好ましく、その場合、現像で未反応の高分子化合物を除去することが可能となり、手間が少なく、環境適合性に優れたプロセスを提供することが可能となる。また、表面処理層の塗布液に溶解する観点から、該高分子化合物は水溶性基を含有することが好ましい。
即ち、本発明における重合性基含有フッ素化合物としては、フッ素含有モノマー部と二重結合含有モノマー部との共重合体が好ましく用いられ、さらに親水性モノマー部を含むことが好ましい。
-Fluorine compound having a polymerizable group-
Examples of the polymerizable group-containing fluorine compound used in the present invention include a polymer compound having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond (hereinafter sometimes referred to as “polymerizable group-containing fluorine-containing polymer”). Can be mentioned. Furthermore, this polymer compound is preferably soluble in an alkaline aqueous solution. In this case, it becomes possible to remove the unreacted polymer compound by development, and there is less labor and a process with excellent environmental compatibility. It becomes possible to provide. Moreover, from the viewpoint of dissolving in the coating solution for the surface treatment layer, the polymer compound preferably contains a water-soluble group.
That is, as the polymerizable group-containing fluorine compound in the present invention, a copolymer of a fluorine-containing monomer part and a double bond-containing monomer part is preferably used, and further preferably includes a hydrophilic monomer part.

ここで、前記フッ素含有モノマー部と二重結合含有モノマー部との共重合体の合成方法をいくつか列挙する。但し、前記共重合体の合成方法はこれらには限定されない。
例えば、フッ素含有モノマーなどの撥油および撥水性モノマーを使用し、(a)フッ素含有モノマー、親水性モノマーおよび側鎖にエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーを共重合する方法、(b)フッ素含有モノマー、親水性モノマーおよび二重結合前駆体を有するモノマーを共重合させ、次に塩基などの処理により得られたポリマーに二重結合を導入する方法、(c)カルボン酸などの親水性官能基を有するフッ素含有ポリマーとエチレン付加重合性不飽和基を有する化合物とを反応させる方法、等が挙げられる。これらの中でも、特に好ましいのは、合成適性の観点から、(a)フッ素モノマー、親水性モノマーおよび側鎖にエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーを共重合する方法である。
Here, several methods for synthesizing copolymers of the fluorine-containing monomer part and the double bond-containing monomer part are listed. However, the method for synthesizing the copolymer is not limited thereto.
For example, using an oil-repellent and water-repellent monomer such as a fluorine-containing monomer, (a) a method of copolymerizing a fluorine-containing monomer, a hydrophilic monomer, and a monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group in the side chain, (b) A method in which a fluorine-containing monomer, a hydrophilic monomer and a monomer having a double bond precursor are copolymerized, and then a double bond is introduced into a polymer obtained by treatment with a base or the like; (c) hydrophilicity such as carboxylic acid Examples include a method of reacting a fluorine-containing polymer having a functional group with a compound having an ethylene addition polymerizable unsaturated group. Among these, from the viewpoint of synthesis suitability, (a) a method of copolymerizing a fluorine monomer, a hydrophilic monomer, and a monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group in the side chain is particularly preferable.

(a)の方法に用いる、側鎖にエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーとしては、例えば、アリル基含有モノマーがあり、具体的には、アリル(メタ)アクリレート、2−アリルオキシエチルメタクリレートが挙げられる。   Examples of the monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group in the side chain used in the method (a) include an allyl group-containing monomer, specifically, allyl (meth) acrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate. Is mentioned.

また(b)の方法に用いる、二重結合前駆体を有するモノマーとしては、例えば2−(3−クロロ−1−オキソプロポキシ)エチルメタクリレー卜、2−(2−ブロモ−2−メチル−1−オキソプロポキシ)エチルメタクリレー卜が挙げられる。
尚、「塩基などの処理により得られたポリマーに二重結合を導入」する方法をより詳細に説明すると、塩基を作用させることにより、フッ素含有モノマー、親水性モノマー及び二重結合前駆体を有するモノマーの共重合体の脱酸反応を促進し、二重結合前駆体を二重結合に変換する方法である。ここで、前記塩基としては無機・有機塩基を用いることができ、有機塩基が好ましく、特にトリエチルアミン、ジイソプロピルエチルアミン、ジアザビシクロウンデセン、ジアザビシクロノネンなどの3級アルキルアミン類等を用いることが好ましい。
Examples of the monomer having a double bond precursor used in the method (b) include 2- (3-chloro-1-oxopropoxy) ethyl methacrylate and 2- (2-bromo-2-methyl-1). -Oxopropoxy) ethyl methacrylate.
The method of “introducing a double bond into a polymer obtained by treatment with a base” will be described in more detail. By having a base act, a fluorine-containing monomer, a hydrophilic monomer, and a double bond precursor are included. In this method, the deoxidation reaction of the monomer copolymer is promoted to convert the double bond precursor into a double bond. Here, inorganic and organic bases can be used as the base, and organic bases are preferable, and tertiary alkylamines such as triethylamine, diisopropylethylamine, diazabicycloundecene, diazabicyclononene, and the like are particularly used. preferable.

更に(c)の方法において、フッ素含有ポリマー中のカルボキシル基、アミノ基やそれらの塩などと、水酸基やエポキシ基などの官能基と、の反応を利用して不飽和基を導入するために用いられるエチレン付加重合性不飽和基を有する化合物としては、例えば(メタ)アクリル酸、グリシジル(メタ)アクリレート、アリルグリシジルエーテル、2−イソシアナトエチル(メタ)アクリレートなど挙げられる。
尚、一般にエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーとしては、撥水(撥インク)化反応の高感度化という観点から、高反応性のエチレン付加重合性不飽和基を有するモノマーであることや、主鎖の長いモノマーであること(主鎖炭素原子数5以上、より好ましくは8以上)が好ましい。
Furthermore, in the method (c), it is used for introducing an unsaturated group by utilizing a reaction between a carboxyl group, an amino group or a salt thereof in a fluorine-containing polymer and a functional group such as a hydroxyl group or an epoxy group. Examples of the compound having an ethylene addition polymerizable unsaturated group include (meth) acrylic acid, glycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, 2-isocyanatoethyl (meth) acrylate and the like.
In general, the monomer having an ethylene addition polymerizable unsaturated group is a monomer having a highly reactive ethylene addition polymerizable unsaturated group from the viewpoint of increasing the sensitivity of the water repellent (ink repellent) reaction. It is preferable that the monomer has a long main chain (the number of main chain carbon atoms is 5 or more, more preferably 8 or more).

−フッ素含有モノマー−
次いで、前記(a)および(b)の方法に用いられると共に、(c)の方法における親水性官能基を有するフッ素含有ポリマーの原料ともなる、フッ素含有モノマーについて説明する。
フッ素含有モノマーとしては、例えば、下記一般式(I)、(II)、(III)、(IV)及び(V)よりなる群から選ばれる少なくとも1種のフッ素含有モノマーが挙げられる。
-Fluorine-containing monomer-
Next, a fluorine-containing monomer that is used in the methods (a) and (b) and also serves as a raw material for the fluorine-containing polymer having a hydrophilic functional group in the method (c) will be described.
Examples of the fluorine-containing monomer include at least one fluorine-containing monomer selected from the group consisting of the following general formulas (I), (II), (III), (IV), and (V).

CH2=CR1COOR2f ・・・(I)
(式中、R1は水素原子又はメチル基を、R2は−Cp2p−、−C(Cp2p+1)H−、−CH2C(Cp2p+1)H−又は−CH2CH2O−を、Rfは−Cn2n+1、−(CF2nH、−(CF2pOCn2ni2i+1、−(CF2pOCm2mi2iH、−N(Cp2p+1)COCn2n+1又は−N(Cp2p+1)SO2n2n+1表わす。但し、pは1〜10、nは1〜16、mは0〜10、iは0〜16の整数である。)
CH 2 = CR 1 COOR 2 R f (I)
(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents —C p H 2p —, —C (C p H 2p + 1 ) H—, —CH 2 C (C p H 2p + 1 ) H. - or -CH 2 CH 2 O-, the R f -C n F 2n + 1 , - (CF 2) n H, - (CF 2) p OC n H 2n C i F 2i + 1, - (CF 2) p OC m H 2m C i F 2i H, -N (C p H 2p + 1) COC n F 2n + 1 or -N (C p H 2p + 1 ) SO 2 C n F 2n + 1 represents. However, p is 1-10, n is 1-16, m is 0-10, i is an integer of 0-16.)

CF2=CFORg ・・・(II)
(式中、Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CF 2 = CFOR g (II)
(In the formula, R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)

CH2=CHRg ・・・(III)
(式中、Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CH 2 = CHR g (III)
(In the formula, R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)

CH2=CR3COOR5j6OCOCR4=CH2 ・・・(IV)
(式中、R3およびR4は水素原子又はメチル基を、R5およびR6は−Cq2q−、−C(Cq2q+1)H−、−CH2C(Cq2q+1)H−又は−CH2CH2O−を、Rjは−Ct2t−を表わす。但し、qは1〜10、tは1〜16の整数である。)
CH 2 = CR 3 COOR 5 R j R 6 OCOCR 4 = CH 2 ··· (IV)
Wherein R 3 and R 4 are hydrogen atoms or methyl groups, R 5 and R 6 are —C q H 2q —, —C (C q H 2q + 1 ) H—, —CH 2 C (C q H 2q + 1 ) H— or —CH 2 CH 2 O—, R j represents —C t F 2t —, where q is an integer of 1 to 10 and t is an integer of 1 to 16.

CH2=CR7COOCH2CH(CH2k)OCOCR8=CH2 ・・・(V)
(式中、R7、R8は水素原子又はメチル基、Rkは−Cy2y+1を表わす。但し、yは1〜16の整数である。)
CH 2 = CR 7 COOCH 2 CH (CH 2 R k) OCOCR 8 = CH 2 ··· (V)
(Wherein R 7 and R 8 represent a hydrogen atom or a methyl group, R k represents —C y F 2y + 1 , where y is an integer of 1 to 16)

以下、本発明に用いうるフッ素含有モノマーの具体例を挙げるが、本発明はこれに制限されるものではない。
一般式(I)で示されるモノマーとしては、例えば、CF3(CF27CH2CH2OCOCH=CH2、CF3CH2OCOCH=CH2、CF3(CF24CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C715CON(C25)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(C37)CH2CH2OCOCH=CH2、C25SO2N(C37)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、(CF32CF(CF26(CH23OCOCH=CH2、(CF32CF(CF210(CH23OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF24CH(CH3)OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF24OCH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C25CON(C25)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF22CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、H(CF26CH(C25)OCOC(CH3)=CH2、H(CF28CH2OCOCH=CH2、H(CF24CH2OCOCH=CH2、H(CF2)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH210OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH24OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)C(C25)HCH2OCOCH=CH2等が挙げられる。
Hereinafter, although the specific example of the fluorine-containing monomer which can be used for this invention is given, this invention is not restrict | limited to this.
Examples of the monomer represented by the general formula (I) include CF 3 (CF 2 ) 7 CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 CH 2 CH 2. OCOC (CH 3 ) = CH 2 , C 7 F 15 CON (C 2 H 5 ) CH 2 OCOC (CH 3 ) = CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOCH ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) = CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 6 (CH 2 ) 3 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 10 (CH 2 ) 3 OCOC (CH 3 ) = CH 2 , CF 3 (CF 2) 4 CH (CH 3) OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 4 OC 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, C 2 F 5 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 2 CON (CH 3) CH (CH 3) CH 2 OCOCH = CH 2 , H (CF 2 ) 6 CH (C 2 H 5 ) OCOC (CH 3 ) = CH 2 , H (CF 2 ) 8 CH 2 OCOCH═CH 2 , H (CF 2 ) 4 CH 2 OCOCH═CH 2 , H (CF 2 ) CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) (CH 2 ) 10 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) (CH 2 ) 4 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5 ) C (C 2 H 5 ) HCH 2 OCOCH═CH 2 and the like.

また、一般式(II)及び(III)で表わされるフルオロアルキル化オレフィンとしては、例えば、C37CH=CH2、C49CH=CH2、C1021CH=CH2、C37OCF=CF2、C715OCF=CF2及びC817OCF=CF2などが挙げられる。Examples of the fluoroalkylated olefin represented by the general formulas (II) and (III) include C 3 F 7 CH═CH 2 , C 4 F 9 CH═CH 2 , C 10 F 21 CH═CH 2 , C 3 such as F 7 OCF = CF 2, C 7 F 15 OCF = CF 2 and C 8 F 17 OCF = CF 2 and the like.

一般式(IV)及び(V)で表わされるモノマーとしては例えば、CH2=CHCOOCH2(CF23CH2OCOCH=CH2、CH2=CHCOOCH2CH(CH2817)OCOCH=CH2などが挙げられる。The monomer represented by the general formula (IV) and (V) for example, CH 2 = CHCOOCH 2 (CF 2) 3 CH 2 OCOCH = CH 2, CH 2 = CHCOOCH 2 CH (CH 2 C 8 F 17) OCOCH = CH 2 and the like can be mentioned.

また、前記一般式(I)〜(V)で表わされるモノマー以外にも、CF3CH2OCH2CH2OCOCH=CH2、C25(CH2CH2O)2CH2OCOCH=CH2、(CF32CFO(CH25OCOCH=CH2のフッ素含有モノマーも好ましく用いることができる。In addition to the monomers represented by the general formulas (I) to (V), CF 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 (CH 2 CH 2 O) 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , a fluorine-containing monomer of (CF 3 ) 2 CFO (CH 2 ) 5 OCOCH═CH 2 can also be preferably used.

これらの中でも、撥水(撥インク)能を上げるという観点から、パーフルオロ基の主鎖炭素原子数は多いほうが好ましく、6個以上が特に有効である。具体的には、CF3(CF27CH2CH2OCOCH=CH2、C715CON(C25)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(C37)CH2CH2OCOCH=CH2、(CF32CF(CF26(CH23OCOCH=CH2、(CF32CF(CF210(CH23OCOC(CH3)=CH2、H(CF26CH(C25)OCOC(CH3)=CH2、H(CF28CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH210OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH24OCOCH=CH2、C1021CH=CH2、C715OCF=CF2、C817OCF=CF2、CH2=CHCOOCH2CH(CH2817)OCOCH=CH2が好ましい。Among these, from the viewpoint of improving water repellency (ink repellency), it is preferable that the perfluoro group has a larger number of main chain carbon atoms, and 6 or more is particularly effective. Specifically, CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 6 (CH 2 ) 3 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 10 (CH 2 ) 3 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , H (CF 2 ) 6 CH (C 2 H 5 ) OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , H (CF 2 ) 8 CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 10 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3 (CH 2) 4 OCOCH = CH 2, C 10 F 21 CH = CH 2, C 7 F 15 OCF = CF 2, C 8 F 17 OCF = CF 2, CH 2 = CHCOOCH 2 CH (CH 2 C 8 F 17 ) OCOCH = CH 2 is preferred.

また、パーフルオロ基の末端がフッ素原子であることも好ましい。具体的には、CF3(CF27CH2CH2OCOCH=CH2、CF3CH2OCOCH=CH2、CF3(CF24CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C715CON(C25)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(C37)CH2CH2OCOCH=CH2、C25SO2N(C37)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、(CF32CF(CF26(CH23OCOCH=CH2、(CF32CF(CF210(CH23OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF24CH(CH3)OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF24OCH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C25CON(C25)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF22CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、H(CF26CH(C25)OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH210OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH24OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)C(C25)HCH2OCOCH=CH2、C37CH=CH2、C49CH=CH2、C1021CH=CH2、C37OCF=CF2、C715OCF=CF2、C817OCF=CF2、CF3CH2OCH2CH2OCOCH=CH2、C25(CH2CH2O)2CH2OCOCH=CH2、(CF32CFO(CH25OCOCH=CH2が好ましい。Moreover, it is also preferable that the terminal of a perfluoro group is a fluorine atom. Specifically, CF 3 (CF 2) 7 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 4 CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 6 (CH 2 ) 3 OCOCH═CH 2 , (CF 3 ) 2 CF (CF 2 ) 10 (CH 2 ) 3 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 4 CH (CH 3) OCOC (CH 3 ) = CH 2, CF 3 (CF 2) 4 OCH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2 C 2 F 5 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2) 2 CON (CH 3) CH (CH 3) CH 2 OCOCH = CH 2, H (CF 2) 6 CH ( C 2 H 5) OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2 ) 10 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3 ) (CH 2 ) 4 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5 ) C (C 2 H 5 ) HCH 2 OCOCH═CH 2 , C 3 F 7 CH═CH 2 , C 4 F 9 CH = CH 2, C 10 F 21 CH = CH 2, C 3 F 7 OCF = CF 2, C 7 F 15 OCF = CF 2, C 8 F 17 OCF CF 2, CF 3 CH 2 OCH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 (CH 2 CH 2 O) 2 CH 2 OCOCH = CH 2, (CF 3) 2 CFO (CH 2) 5 OCOCH = CH 2 Is preferred.

このほか、表面処理層中の他の成分との相溶性がよいという観点から、SやNなどを含むことも好ましい。具体的には、C715CON(C25)CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(C37)CH2CH2OCOCH=CH2、C25SO2N(C37)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、C25CON(C25)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF22CON(CH3)CH(CH3)CH2OCOCH=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH210OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)CH2CH2OCOC(CH3)=CH2、CF3(CF27SO2N(CH3)(CH24OCOCH=CH2、C25SO2N(C25)C(C25)HCH2OCOCH=CH2等が挙げられる。In addition, from the viewpoint of good compatibility with other components in the surface treatment layer, it is also preferable to contain S, N, and the like. Specifically, C 7 F 15 CON (C 2 H 5) CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2, CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 , C 2 F 5 SO 2 N (C 3 H 7 ) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3 ) ═CH 2 C 2 F 5 CON (C 2 H 5 ) CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 2 CON (CH 3 ) CH (CH 3 ) CH 2 OCOCH═CH 2 , CF 3 (CF 2 ) 7 SO 2 N (CH 3) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 10 OCOCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) CH 2 CH 2 OCOC (CH 3) = CH 2, CF 3 (CF 2) 7 SO 2 N (CH 3) (CH 2) 4 COCH = CH 2, C 2 F 5 SO 2 N (C 2 H 5) C (C 2 H 5) HCH 2 OCOCH = CH 2 and the like.

−親水性モノマー−
次いで、前記(a)および(b)の方法に用いられると共に、(c)の方法における親水性官能基を有するフッ素含有ポリマーの原料ともなる、親水性モノマーについて説明する。
本発明に有用な親水性モノマーとは、アンモニウム、ホスホニウムなどの正の荷電を有するモノマー、若しくは、スルホン酸基、カルボキシル基、リン酸基、ホスホン酸基などの負の荷電を有するか負の荷電に解離し得る酸性基を有するモノマーが挙げられる。またその他にも、例えば、水酸基、アミド基、スルホンアミド基、アルコキシ基、シアノ基、エチレンオキシド基などの非イオン性の基を有する親水性モノマーを用いることもできる。
-Hydrophilic monomer-
Next, a hydrophilic monomer that is used in the methods (a) and (b) and also serves as a raw material for the fluorine-containing polymer having a hydrophilic functional group in the method (c) will be described.
The hydrophilic monomer useful in the present invention is a monomer having a positive charge such as ammonium or phosphonium, or a negative charge or negative charge such as a sulfonic acid group, a carboxyl group, a phosphoric acid group, or a phosphonic acid group. And monomers having an acidic group that can be dissociated. In addition, for example, a hydrophilic monomer having a nonionic group such as a hydroxyl group, an amide group, a sulfonamide group, an alkoxy group, a cyano group, or an ethylene oxide group can be used.

本発明において、特に有用な親水性モノマーの具体例としては、次のモノマーを挙げることができる。例えば、(メタ)アクリル酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、イタコン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン酸塩、アリルアミン若しくはそのハロゲン化水素酸塩、3−ビニルプロピオン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、ビニルスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、スチレンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、2−スルホエチレン(メタ)アクリレート、3−スルホプロピレン(メタ)アクリレート若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、アシッドホスホオキシポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート若しくはそれらの塩、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート若しくはそのハロゲン化水素酸塩、3−トリメチルアンモニウムプロピル(メタ)アクリレート、3−トリメチルアンモニウムプロピル(メタ)アクリルアミド、N,N,N−トリメチル−N−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピル)アンモニウムクロライド、などを使用することができる。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−モノメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ジメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルアセトアミド、ポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートなども有用である。
これらの中でも、非イオン性のものが液晶層への不純物混入の懸念が少ない点でより好ましく、具体的には、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−モノメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ジメチロール(メタ)アクリルアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルアセトアミド、ポリオキシエチレングリコールモノ(メタ)アクリレートを挙げることができる。
In the present invention, specific examples of particularly useful hydrophilic monomers include the following monomers. For example, (meth) acrylic acid or its alkali metal salt and amine salt, itaconic acid or its alkali metal salt and amine salt, allylamine or its hydrohalide salt, 3-vinylpropionic acid or its alkali metal salt and amine salt Vinyl sulfonic acid or its alkali metal salt and amine salt, styrene sulfonic acid or its alkali metal salt and amine salt, 2-sulfoethylene (meth) acrylate, 3-sulfopropylene (meth) acrylate or its alkali metal salt and amine salt 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid or its alkali metal salts and amine salts, acid phosphooxypolyoxyethylene glycol mono (meth) acrylate or their salts, 2-dimethylaminoethyl (medium) ) Acrylate or its hydrohalide, 3-trimethylammoniumpropyl (meth) acrylate, 3-trimethylammoniumpropyl (meth) acrylamide, N, N, N-trimethyl-N- (2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl) ) Ammonium chloride, etc. can be used. In addition, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-monomethylol (meth) acrylamide, N-dimethylol (meth) acrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylacetamide, polyoxyethylene glycol mono (meth) ) Acrylate is also useful.
Among these, nonionic ones are more preferable because they are less likely to be mixed with impurities in the liquid crystal layer. Specifically, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-monomethylol (meta ) Acrylamide, N-dimethylol (meth) acrylamide, N-vinylpyrrolidone, N-vinylacetamide, polyoxyethylene glycol mono (meth) acrylate.

−その他のモノマー−
本発明における重合性基含有含フッ素ポリマーは、その構成要素としてフッ素原子および重合性不飽和二重結合基を有するモノマーの他にも他のモノマーが共重合されていてもよい。これらのモノマーは本発明の高分子化合物の溶剤溶解性などを上げるのに使用される。このような目的で使用されるモノマーとしては、特に限定されないが、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸メトキシエチルエステルなどのアクリル酸エステルを使用することができる。
また、本発明における重合性基含有含フッ素ポリマーは、そのTgが低い方が、撥インク化が進行しやすくなるため、そのようなモノマーが共重合されていることも好ましい。具体的には、炭素数3以上アルキル基を有するアルキルアクリレートを使用することができる。
-Other monomers-
The polymerizable group-containing fluoropolymer in the present invention may be copolymerized with other monomers in addition to the monomer having a fluorine atom and a polymerizable unsaturated double bond group as its constituent elements. These monomers are used to increase the solvent solubility of the polymer compound of the present invention. Although it does not specifically limit as a monomer used for such a purpose, Acrylic acid ester, such as (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid methoxyethyl ester, should be used. Can do.
In addition, since the polymerizable group-containing fluoropolymer in the present invention has a lower Tg, ink repellency is more likely to proceed, and it is preferable that such a monomer is copolymerized. Specifically, an alkyl acrylate having 3 or more carbon atoms and an alkyl group can be used.

上記モノマーから得られる重合性基含有フッ素化合物は、下記構造式(1)で表される樹脂であることが好ましい。   The polymerizable group-containing fluorine compound obtained from the monomer is preferably a resin represented by the following structural formula (1).

Figure 0004913750
Figure 0004913750

前記構造式(1)において、R11、R12、R13、R14、およびR16は、独立に、水素原子、または総炭素数1〜5のアルキル基を表す。In the structural formula (1), R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , and R 16 independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms.

11〜R14、R16で表される総炭素数1〜5のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基などが挙げられ、中でも炭素数1〜3のアルキル基が好ましく、メチル基は特に好ましい。
上記のうち、R11、R12、R13、R14、およびR16としては、水素原子、メチル基が好ましい。
Examples of the alkyl group having 1 to 5 carbon atoms represented by R 11 to R 14 and R 16 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a pentyl group. An alkyl group of 3 is preferred, and a methyl group is particularly preferred.
Among the above, R 11 , R 12 , R 13 , R 14 , and R 16 are preferably a hydrogen atom or a methyl group.

前記構造式(1)において、R15は、水素原子、総炭素数1〜12のアルキル基、または総炭素数6〜20のアリール基を表す。In the structural formula (1), R 15 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms in total, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms in total.

15で表される総炭素数1〜12のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、ドデシル基等の官能基を持たないアルキル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシブチル基、ヒドロキシプロピル基、ジヒドロキシプロピル基、トリメチルアンモニウムエチル基、ジメチルベンジルアンモニウムエチル基等の官能基を持つアルキル基が好ましく、中でも総炭素数1〜4のアルキル基が好ましく、メチル基、プロピル基が特に好ましい。
15で表される総炭素数6〜20のアリール基としては、例えば、フェニル基、メトキシフェニル基、メチルフェニル基、オクトキシフェニル基、ジメチルアミノフェニル基等が好ましく、フェニル基、メトキシフェニル基が特に好ましい。
上記のうち、R15としては、水素原子、メチル基、プロピル基、ヒドロキシエチル基が好ましい。
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 15 include an alkyl group having no functional group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a hexyl group, an octyl group, and a dodecyl group, An alkyl group having a functional group such as a hydroxyethyl group, a hydroxybutyl group, a hydroxypropyl group, a dihydroxypropyl group, a trimethylammonium ethyl group, a dimethylbenzylammonium ethyl group is preferable, among which an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, A methyl group and a propyl group are particularly preferable.
As the aryl group having 6 to 20 carbon atoms represented by R 15 , for example, a phenyl group, a methoxyphenyl group, a methylphenyl group, an octoxyphenyl group, a dimethylaminophenyl group and the like are preferable, and a phenyl group, a methoxyphenyl group Is particularly preferred.
Among the above, R 15 is preferably a hydrogen atom, a methyl group, a propyl group, or a hydroxyethyl group.

前記構造式(1)において、L1及びL2は、各々独立に、単結合又は2価の連結基を表す。
前記L1及びL2で表される2価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基が好ましく、無置換でも置換基を有していてもよく、ヒドロキシ基、エステル基、モノエーテル結合、エステル結合、ウレタン結合を有してもよい。
In the structural formula (1), L 1 and L 2 each independently represent a single bond or a divalent linking group.
The divalent linking group represented by L 1 and L 2 is preferably an alkylene group or an arylene group, which may be unsubstituted or substituted, and may be a hydroxy group, an ester group, a monoether bond, or an ester. You may have a bond and a urethane bond.

中でも、下記基又は下記構造を有する基であることが好ましい。

Figure 0004913750
Among these, the following groups or groups having the following structures are preferable.
Figure 0004913750

上記Yは、単結合、及び、下記構造を有する置換基であることがより好ましい。尚、下記置換基におけるnは1〜6の整数を表す。   Y is more preferably a single bond and a substituent having the following structure. In the following substituent, n represents an integer of 1 to 6.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

構造式(1)において、X1は、エステル基、アミド基、置換基を有していてもよいアリーレン基、あるいはこれらを有する連結基を表し、X2およびX3は、それぞれ独立に、エーテル基、エステル基、アミド基、置換基を有していてもよいアリーレン基、ヘテロ環残基、あるいはこれらを有する連結基を表す。In Structural Formula (1), X 1 represents an ester group, an amide group, an arylene group which may have a substituent, or a linking group having these, and X 2 and X 3 are each independently an ether A group, an ester group, an amide group, an arylene group which may have a substituent, a heterocyclic residue, or a linking group having these.

1、X2およびX3で表されるアリーレン基としては、総炭素数6〜20のアリーレン基が好ましく、例えば、フェニレン、ナフチレン、アントラセニレン、ビフェニレンが挙げられ、これらはo−、p−、m−置換でもよい。中でも、炭素数6〜12のアリーレン基がより好ましく、フェニレン、ビフェニレンは特に好ましい。The arylene group represented by X 1 , X 2 and X 3 is preferably an arylene group having a total carbon number of 6 to 20, and examples thereof include phenylene, naphthylene, anthracenylene and biphenylene, and these include o-, p-, It may be m-substituted. Among these, an arylene group having 6 to 12 carbon atoms is more preferable, and phenylene and biphenylene are particularly preferable.

2およびX3で表されるヘテロ環残基としては、例えば、窒素原子または酸素原子を環の構成員として含む5員環、または6員環が好ましく、ピリジン環、ピリミジン環、ピラジン環、チアゾール環、ベンゾチアゾール環、オキサゾール環、ベンゾオキサゾール環、イソオキサゾール環、ピラゾール環、イミダゾール環、キノリン環、チアジアゾール環、カプロラクタム環、ピロリドン環等が好適であり、ピリジン環、チアジアゾール環、カプロラクタム環、ピロリドン環がより好ましい。As the heterocyclic residue represented by X 2 and X 3 , for example, a 5-membered ring or a 6-membered ring containing a nitrogen atom or an oxygen atom as a member of the ring is preferable, and a pyridine ring, a pyrimidine ring, a pyrazine ring, Thiazole ring, benzothiazole ring, oxazole ring, benzoxazole ring, isoxazole ring, pyrazole ring, imidazole ring, quinoline ring, thiadiazole ring, caprolactam ring, pyrrolidone ring, etc. are preferred, pyridine ring, thiadiazole ring, caprolactam ring, A pyrrolidone ring is more preferred.

上記のうち、X1としては、下記連結基又は下記構造を有する連結基が好ましい。

Figure 0004913750
Among the above, X 1 is preferably a linking group having the following linking group or the following structure.
Figure 0004913750

ここで、Rxは、水素原子、または総炭素数1〜12のアルキル基、総炭素数6〜20のアリール基を表す。
総炭素数1〜12のアルキル基、及び総炭素数6〜20のアリール基はいずれも、R15における場合と同義であり、これらの好ましい態様も同様である。
Here, R x represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms in total, or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms in total.
All of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and the aryl group having 6 to 20 carbon atoms have the same meaning as in R 15 , and preferred embodiments thereof are also the same.

上記のうち、X2およびX3としては、下記連結基又は下記構造を有する連結基が好ましい。ここでのRxは、上記のRxと同義である。Among the above, X 2 and X 3 are preferably the following linking groups or linking groups having the following structure. Here, R x has the same meaning as R x described above.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

構造式(1)において、Rf2は、フッ素を含む置換基を表す。フッ素を含む置換基としては、下記含フッ素基又は下記構造を有する含フッ素基が好適である。ここで、フッ素基中のmは1〜20の整数を表し、lは1〜10の整数を表し、nは1〜20の整数を表す。In the structural formula (1), Rf 2 represents a substituent containing fluorine. As the substituent containing fluorine, the following fluorine-containing groups or fluorine-containing groups having the following structures are suitable. Here, m in the fluorine group represents an integer of 1 to 20, l represents an integer of 1 to 10, and n represents an integer of 1 to 20.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

以下に本発明で使用される重合性基含有フッ素化合物の例を示す。ただし、本発明はこれらに限定するものではない。   Examples of the polymerizable group-containing fluorine compound used in the present invention are shown below. However, the present invention is not limited to these.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

Figure 0004913750
Figure 0004913750

Figure 0004913750
Figure 0004913750

Figure 0004913750
Figure 0004913750

本発明に使用しうる重合性基含有含フッ素ポリマーの分子量(Mw)としては1000〜100万の範囲が好ましく、2000〜10万の範囲がより好ましく、2000〜4万が最も好ましい。この分子量の範囲において、優れた撥水性効果と、溶液に対する溶解性を達成し得る。分子量が1000以上であると、撥インク性と溶解性の両立が容易であり好ましい。また100万以下であると溶解性が劣ることがなく好ましい。   The molecular weight (Mw) of the polymerizable group-containing fluoropolymer that can be used in the present invention is preferably in the range of 1,000 to 1,000,000, more preferably in the range of 2000 to 100,000, and most preferably in the range of 2000 to 40,000. Within this molecular weight range, an excellent water repellency effect and solubility in a solution can be achieved. A molecular weight of 1000 or more is preferable because it is easy to achieve both ink repellency and solubility. Moreover, it is preferable that it is 1 million or less because the solubility does not deteriorate.

表面処理層中の重合性基含有フッ素化合物の固形分割合は、多ければ多いほど少ない露光量で撥インク性(撥油および撥水性)が得られるが、多すぎると表面処理層上に感光性樹脂層を形成するのが困難となる。そのため表面処理層の固形分中の重合性基含有フッ素化合物の割合は、1〜50質量%が好ましく、5〜30質量%がより好ましい。
As the solid content ratio of the polymerizable group-containing fluorine compound in the surface treatment layer increases, ink repellency (oil repellency and water repellency) can be obtained with a smaller exposure amount. It becomes difficult to form the resin layer. Therefore, 1-50 mass% is preferable and, as for the ratio of the polymeric group containing fluorine compound in solid content of a surface treatment layer, 5-30 mass% is more preferable.

前述の通り、本発明における表面処理層としては、中間層や熱可塑性樹脂層、その他の層が挙げられる。次いで、中間層及び熱可塑性樹脂層について説明する。   As described above, examples of the surface treatment layer in the present invention include an intermediate layer, a thermoplastic resin layer, and other layers. Next, the intermediate layer and the thermoplastic resin layer will be described.

<中間層>
本発明の感光性転写材料は、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合防止等のため中間層を有することが好ましい。尚、前述の通り、該中間層が前記表面処理層に相当する場合には、重合性基含有フッ素化合物を含有することが必須であり、また感光性樹脂層との塗り分けの観点から、水系の層(溶媒の25質量%以上が水である塗布液によって形成された層)であることが好ましい。
<Intermediate layer>
The photosensitive transfer material of the present invention preferably has an intermediate layer for preventing mixing of components at the time of coating a plurality of coating layers and during storage after coating. As described above, when the intermediate layer corresponds to the surface treatment layer, it is essential to contain a polymerizable group-containing fluorine compound, and from the viewpoint of separate coating from the photosensitive resin layer, an aqueous system is included. (A layer formed by a coating solution in which 25% by mass or more of the solvent is water).

中間層としては、特開平5−72724号公報の段落番号[0014]〜[0015]に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能を有する中間層が好ましい。該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
尚、中間層の乾燥厚さは、0.2〜5μmが一般的であり、0.5〜3μmが好ましく、1〜2.5μmが特に好ましい。
As the intermediate layer, an intermediate layer having an oxygen blocking function described in paragraphs [0014] to [0015] of JP-A-5-72724 as “separation layer” is preferable. The oxygen barrier film is preferably one that exhibits low oxygen permeability and is dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution, and can be appropriately selected from known ones. Among these, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable.
The dry thickness of the intermediate layer is generally 0.2 to 5 μm, preferably 0.5 to 3 μm, particularly preferably 1 to 2.5 μm.

<熱可塑性樹脂層>
本発明の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有してもよい。尚、前述の通り、該熱可塑性樹脂層が前記表面処理層に相当する場合には、重合性基含有フッ素化合物を含有することが必須である。
かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含み、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、隔壁の形成の際、永久支持体(基板)との良好な密着性を発揮することができる。
<Thermoplastic resin layer>
The photosensitive transfer material of the present invention may have a thermoplastic resin layer as necessary. As described above, when the thermoplastic resin layer corresponds to the surface treatment layer, it is essential to contain a polymerizable group-containing fluorine compound.
Such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble and contains at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, good adhesion to the permanent support (substrate) can be exhibited during the formation of the partition walls.

軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物等が挙げられる。   Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples include saponified products of acid ester copolymers, saponified products of poly (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, and the like.

熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。   For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.

また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤等を加えることもできる。   In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. An activator, a release agent and the like can also be added.

好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。   Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.

<仮支持体>
本発明の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましく、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフイルムが特に好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。
<Temporary support>
The temporary support in the photosensitive transfer material of the present invention can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable, and among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers.

<感光性樹脂層>
本発明における感光性樹脂層は、少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダーと、(2)モノマー又はオリゴマーと、(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系と、を含む感光性樹脂組成物を塗布して形成することが好ましい。また遮光性を得る観点から、前記組成物は更に(4)着色剤を含むことが好ましい。感光性樹脂層が遮光性を有すると、隔壁ブラックマトリックスの機能を有する点でより好ましい。
以下、上記(1)〜(4)の成分について説明する。
<Photosensitive resin layer>
The photosensitive resin layer in the present invention is coated with a photosensitive resin composition containing at least (1) an alkali-soluble binder, (2) a monomer or an oligomer, and (3) a photopolymerization initiator or a photopolymerization initiator system. Is preferably formed. From the viewpoint of obtaining light shielding properties, the composition preferably further includes (4) a colorant. It is more preferable that the photosensitive resin layer has a light shielding property in that it has a function of a partition black matrix.
Hereinafter, the components (1) to (4) will be described.

(1)アルカリ可溶性バインダー
本発明におけるアルカリ可溶性バインダー(以下、単に「バインダー」ということがある。)としては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよく、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有率は20〜50質量%が一般的であり、25〜45質量%が好ましい。
(1) Alkali-soluble binder The alkali-soluble binder in the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “binder”) is preferably a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-57-36. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 Etc. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned, In addition to this, what added the cyclic acid anhydride to the polymer which has a hydroxyl group can also be used preferably. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. The binder polymer having these polar groups may be used alone, or may be used in the state of a composition used in combination with a normal film-forming polymer, and contained in the total solid content of the photosensitive resin composition. The rate is generally 20 to 50% by mass, and preferably 25 to 45% by mass.

(2)モノマー又はオリゴマー
本発明におけるモノマー又はオリゴマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
更に特公昭48−41708号公報、特公昭50−6034号公報及び特開昭51−37193号公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報及び特公昭52−30490号公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。
これらのモノマー又はオリゴマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は5〜50質量%が一般的であり、10〜40質量%が好ましい。
(2) Monomer or Oligomer The monomer or oligomer in the present invention is preferably a monomer or oligomer that has two or more ethylenically unsaturated double bonds and undergoes addition polymerization upon irradiation with light. Examples of such monomers and oligomers include compounds having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. Examples include monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) ) Acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, di Pentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexane All di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; multifunctional such as trimethylolpropane and glycerin Polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to alcohol and then (meth) acrylated can be mentioned.
Further, urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-37193; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 And polyester acrylates described in Japanese Patent Publication No. 52-30490; polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid.
Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable.
In addition, “polymerizable compound B” described in JP-A-11-133600 can also be mentioned as a preferable example.
These monomers or oligomers may be used alone or in admixture of two or more. The content of the photosensitive resin composition with respect to the total solid content is generally 5 to 50% by mass, and 10 to 40% by mass. % Is preferred.

(3)光重合開始剤又は光重合開始剤系
本発明における光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとしてあげることができ、更には、特開2000−310707号公報の段落番号0028〜0042に記載の光重合開始剤も好適なものとして用いることができる。
(3) Photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system As the photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system in the present invention, a vicinal polyketaldonyl compound disclosed in US Pat. No. 2,367,660, US The acyloin ether compound described in Japanese Patent No. 2448828, the aromatic acyloin compound substituted with α-hydrocarbon described in US Pat. No. 2,722,512, US Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758 No. 3,549,367, a combination of a triarylimidazole dimer and a p-aminoketone, a benzothiazole compound described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, and a trihalomethyl- s-triazine compounds, described in US Pat. No. 4,239,850 Trihalomethyl - triazine compound include a trihalomethyl oxadiazole compounds described in U.S. Pat. No. 4,212,976. In particular, trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole, and triarylimidazole dimer are preferable.
In addition, “polymerization initiator C” described in JP-A No. 11-133600 can also be mentioned as a preferable example, and further described in paragraph numbers 0028 to 0042 of JP-A No. 2000-310707. Photopolymerization initiators can also be used as suitable.

これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、2種類以上を混合して用いてもよいが、特に2種類以上を用いることが好ましい。少なくとも2種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、0.5〜20質量%が一般的であり、1〜15質量%が好ましい。
These photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems may be used singly or in combination of two or more, but it is particularly preferable to use two or more. When at least two kinds of photopolymerization initiators are used, display characteristics, particularly display unevenness, can be reduced.
The content of the photopolymerization initiator or photopolymerization initiator system with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition is generally 0.5 to 20% by mass, and preferably 1 to 15% by mass.

(4)着色剤
上記感光性樹脂組成物は、必要に応じて着色剤を含有することが好ましい。着色剤としては、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。この中でも、特にカーボンブラックは遮光性が優れており、特に好ましい。
(4) Colorant It is preferable that the said photosensitive resin composition contains a colorant as needed. As the colorant, organic pigments, inorganic pigments, dyes and the like can be suitably used. When the photosensitive resin layer is required to have light shielding properties, metal oxides such as carbon black, titanium oxide, and iron oxide are used. In addition to the light-shielding agent such as powder, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Among these, carbon black is particularly preferable because of its excellent light shielding properties.

更には、記感光性樹脂組成物には、溶媒、界面活性剤、熱重合防止剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。
−溶媒−
本発明における感光性樹脂組成物は、上記成分の他に、更に有機溶媒を含んでもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
Furthermore, a solvent, a surfactant, a thermal polymerization inhibitor, an ultraviolet absorber and the like can be added to the photosensitive resin composition.
-Solvent-
The photosensitive resin composition in the present invention may further contain an organic solvent in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

−界面活性剤−
従来用いられてきた光学素子(カラーフィルタ等)においては、高い色純度を実現するために各画素の色が濃くなり、画素の膜厚のムラが、そのまま色ムラとして認識されるという問題があった。そのため、画素の膜厚に直接影響する、感光性樹脂層の形成(塗布)時の、膜厚変動の良化が求められていた。
本発明の感光性転写材料においては、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラ(膜厚変動による色ムラ)を効果的に防止するという観点から、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
-Surfactant-
Conventionally used optical elements (color filters, etc.) have a problem that the color of each pixel becomes dark in order to realize high color purity, and the unevenness of the film thickness of the pixel is recognized as the color unevenness as it is. It was. Therefore, it has been demanded to improve the film thickness variation during the formation (application) of the photosensitive resin layer, which directly affects the pixel film thickness.
In the photosensitive transfer material of the present invention, it is possible to control to a uniform film thickness, and from the viewpoint of effectively preventing coating unevenness (color unevenness due to film thickness fluctuation), an appropriate surface activity in the photosensitive resin composition. It is preferable to contain an agent.
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.

−熱重合防止剤−
本発明における感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
-Thermal polymerization inhibitor-
The photosensitive resin composition in the present invention preferably contains a thermal polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl). -6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.

−補助的に使用する染料、顔料−
本発明における感光性樹脂組成物は、より高い遮光性を得る目的から、必要に応じ前記着色剤(顔料)に加えて、公知の着色剤を含有することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒径が0.1μm以下、特には0.08μm以下であることが好ましい。
上記公知の着色剤としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0040]に記載の色材や、特開2005−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の着色剤を好適に用いることができる。
-Supplementary dyes and pigments-
The photosensitive resin composition in the present invention may contain a known colorant in addition to the colorant (pigment) as necessary for the purpose of obtaining higher light-shielding properties. In the case of using a pigment among the known colorants, it is desirable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition, so that the particle size is 0.1 μm or less, particularly 0.08 μm or less. preferable.
Specific examples of the known colorant include color materials described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0040] and JP-A-2005-361447 [0068] to [0072]. And pigments described in JP-A-2005-17521 [0080] to [0088] can be preferably used.

−紫外線吸収剤−
本発明における感光性樹脂組成物は、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3',5'−ジ−t−4'−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2'−ヒドロキシ−5'−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−3'−t−ブチル−5'−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2,2'−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
-UV absorber-
The photosensitive resin composition in this invention can contain a ultraviolet absorber as needed. Examples of the ultraviolet absorber include salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, cyanoacrylate-based, nickel chelate-based, hindered amine-based compounds and the like in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone, nickel Dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebakei 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidenyl ) -Ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine- 2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.

また、本発明における感光性樹脂組成物は、上記添加剤の他に、特開平11−133600号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有することができる。   Moreover, the photosensitive resin composition in this invention can contain the "adhesion adjuvant" of Unexamined-Japanese-Patent No. 11-133600, another additive, etc. other than the said additive.

また、本発明の隔壁を形成するための上記感光性樹脂組成物は、(a)少なくともp−クレゾールを含むフェノール類を酸触媒下アルデヒド類と反応させて得られる非ハイオルソ型のクレゾールノボラック樹脂又は(b)キノンジアジド基含有化合物を含有してなるポジ型ホトレジスト組成物であってもよい。更に、該ポジ型ホトレジスト組成物では、(a)成分中のp−クレゾールの2核体含有量がGPC(ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー)法において2.0%未満であることが好ましい。該ポジ型ホトレジスト組成物の例としては、特許第3624718号公報の段落番号[0007]〜[0026]に記載の例が挙げられる。該ポジ型ホトレジスト組成物をもちいると、高温ベークに施されても昇華物が発生しにくく、感度、解像性に優れるとともに、残膜率の高い矩形に近いレジストパターンを形成することができる。   The photosensitive resin composition for forming the partition wall of the present invention is: (a) a non-high-ortho-type cresol novolak resin obtained by reacting phenols containing at least p-cresol with an aldehyde under an acid catalyst, or (B) A positive photoresist composition containing a quinonediazide group-containing compound may be used. Furthermore, in the positive photoresist composition, it is preferable that the dinuclear content of p-cresol in the component (a) is less than 2.0% in the GPC (gel permeation chromatography) method. Examples of the positive photoresist composition include those described in paragraphs [0007] to [0026] of Japanese Patent No. 3624718. When the positive photoresist composition is used, it is difficult to generate sublimates even when subjected to high-temperature baking, and it is possible to form a resist pattern close to a rectangle with a high residual film ratio as well as excellent sensitivity and resolution. .

本発明の樹脂組成物は、230℃で1時間加熱したときの質量減少率が2質量%以下の熱可塑性樹脂を含有してもよい。該樹脂を用いると、ITO膜作製、配向膜作製等の200℃を越えるような加熱工程によっても、樹脂の劣化による変色に起因する光学素子(カラーフィルタなど)の色特性の劣化を生じることなく、色品質に優れた表示装置(たとえば、液晶ディスプレー)を提供することができる。該樹脂の例として、特開平11−194214号公報の段落番号0013〜0016に記載の樹脂が挙げられる。   The resin composition of the present invention may contain a thermoplastic resin having a mass reduction rate of 2% by mass or less when heated at 230 ° C. for 1 hour. When the resin is used, the color characteristics of optical elements (color filters, etc.) due to discoloration due to the deterioration of the resin are not deteriorated even by a heating process exceeding 200 ° C. such as ITO film preparation and alignment film preparation. A display device (for example, a liquid crystal display) excellent in color quality can be provided. Examples of the resin include resins described in paragraph numbers 0013 to 0016 of JP-A-11-194214.

本発明の樹脂組成物は、露光波長よりも小さな平均粒子径(例えば、1〜100nm程度)の無機微粒子を含有してもよい。無機微粒子は、官能基(例えば、感光性基)を有していてもよいコロイダルシリカなどで構成できる。感光性樹脂組成物は、ネガ型又はポジ型のいずれであってもよく、水又はアルカリ現像可能であってもよい。該無機微粒子を含有することで、酸素プラズマ耐性,耐熱性,耐ドライエッチング性,感度や解像度を大きく改善することができる。該無機微粒子の例としては、特開平11−327125号公報の段落番号0036〜0047に記載のものが挙げられる。   The resin composition of the present invention may contain inorganic fine particles having an average particle size (for example, about 1 to 100 nm) smaller than the exposure wavelength. The inorganic fine particles can be composed of colloidal silica which may have a functional group (for example, a photosensitive group). The photosensitive resin composition may be either a negative type or a positive type, and may be water or alkali developable. By containing the inorganic fine particles, oxygen plasma resistance, heat resistance, dry etching resistance, sensitivity and resolution can be greatly improved. Examples of the inorganic fine particles include those described in paragraph numbers 0036 to 0047 of JP-A No. 11-327125.

本発明の樹脂組成物は、リタデーション低減粒子を含んでいてもよい。リタデーション低減粒子を含むことによって、リタデーションの絶対値を15nm以下とすることができ、これによって、この樹脂組成物を用いたカラーフィルタは、視野角依存に優れ、該カラーフィルタを用いることにより高品位の画像が得られる液晶表示装置を提供できる。該リタデーション低減粒子の具体例としては、特開2000−187114号公報の段落番号0014〜0035に記載のものが挙げられる。   The resin composition of the present invention may contain retardation reducing particles. By including the retardation-reducing particles, the absolute value of the retardation can be reduced to 15 nm or less. Accordingly, the color filter using this resin composition is excellent in viewing angle dependence, and high-quality by using the color filter. It is possible to provide a liquid crystal display device capable of obtaining the above image. Specific examples of the retardation-reducing particles include those described in JP-A 2000-187114, paragraphs 0014 to 0035.

本発明の樹脂組成物は、光安定剤を含んでもよい。光安定剤として、ホスファイト系、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、ヒンダードアミン系、サリチル酸エステル系、トリアジン系、ヒンダードフェノール系およびチオエーテル系から選ばれる少なくとも1種の化合物が好ましい。光安定剤の具体例として、特開2000−214580号公報の段落0007〜0014に記載のものが好適な例として挙げられる。該光安定剤を含有する樹脂組成物は、優れた耐光性および組成物の硬化性を併せ持ち、画像形成性にも優れており、これを用いると、顔料分散法にて高品質、低コストで高い信頼性あるカラーフィルタを実現することが可能である。   The resin composition of the present invention may contain a light stabilizer. As the light stabilizer, at least one compound selected from phosphites, benzotriazoles, benzophenones, hindered amines, salicylic acid esters, triazines, hindered phenols and thioethers is preferred. Specific examples of the light stabilizer include those described in paragraphs 0007 to 0014 of JP-A No. 2000-214580. The resin composition containing the light stabilizer has both excellent light resistance and curability of the composition, and is excellent in image forming property. When used, the resin composition is high quality and low cost by the pigment dispersion method. A highly reliable color filter can be realized.

本発明の樹脂組成物に緑色有機顔料を含む場合は、該緑色有機顔料におけるテトラクロロフタル酸、テトラクロロフタル酸無水物およびテトラクロロフタルイミドの量を分析し、それらの合計が500ppm以下であることが好ましい。前記好ましい範囲の顔料を得る方法は、特開2000−321417号公報の段落番号0005〜0020に記載の方法が挙げられる。また同様の方法により、緑色以外の顔料の不純物も低減させることが可能である。該有機顔料を用いた樹脂組成物は、現像時のパターンに欠落や剥がれを生じることがなく、しかも表示パネルとしたときに焼き付き等の表示不良が発生することがなく、かつ成膜後の機械的強度が優れ、またパターンの基板との密着性、パターン形状も良好なカラーフィルタをもたらすことができる。   When the resin composition of the present invention contains a green organic pigment, the amount of tetrachlorophthalic acid, tetrachlorophthalic anhydride and tetrachlorophthalimide in the green organic pigment is analyzed, and the total of them is 500 ppm or less. Is preferred. Examples of the method for obtaining the pigment in the preferred range include the methods described in paragraph Nos. 0005 to 0020 of JP-A No. 2000-32417. Further, by the same method, impurities of pigments other than green can be reduced. The resin composition using the organic pigment does not cause omission or peeling in the pattern during development, and does not cause display defects such as image sticking when used as a display panel. It is possible to provide a color filter that is excellent in mechanical strength, and has good adhesion to the substrate of the pattern and a good pattern shape.

本発明の樹脂組成物に用いる顔料は、電圧保持率が80%以上となるように選択ないし処理された顔料であることが好ましい。該好ましい範囲内の顔料として、特開2000−329929号公報の段落番号0005〜0026に記載の顔料が挙げられる。電圧保持率が80%以上となるように選択ないし処理された顔料を使用することにより、現像時の画素パターンに欠落や剥がれを生じることがなく、現像性に優れており、しかも表示パネルが焼き付きによる表示不良を生じることがなく、かつ成膜後の機械的強度が優れ、また画素の基板とも密着性、パターン形状も良好なカラーフィルタをもたらすことができる。   The pigment used in the resin composition of the present invention is preferably a pigment selected or processed so that the voltage holding ratio is 80% or more. Examples of the pigment within the preferable range include pigments described in paragraph Nos. 0005 to 0026 of JP-A No. 2000-329929. By using pigments that have been selected or processed so that the voltage holding ratio is 80% or more, the pixel pattern at the time of development is not lost or peeled off, and it has excellent developability and the display panel is burned. Therefore, a color filter having excellent mechanical strength after film formation, good adhesion to the pixel substrate, and good pattern shape can be provided.

本発明の樹脂組成物は、ガラス転移温度Tgが60〜120℃の範囲で重量平均分子量が10000〜100000の範囲であるポリマーと、25℃における粘度が10〜8000cpsの範囲である多官能のモノマーと、着色剤とを含有することが好ましい。該好ましい樹脂組成物として、特開平10−115917号公報の段落番号0016〜0033に記載の組合せが挙げられる。前記樹脂組成物から形成された樹脂層は、20〜30℃の範囲で適度の粘性を有するので、材料の使用効率に優れる。   The resin composition of the present invention comprises a polymer having a glass transition temperature Tg of 60 to 120 ° C. and a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000, and a polyfunctional monomer having a viscosity at 25 ° C. of 10 to 8000 cps. And a colorant. Examples of the preferable resin composition include combinations described in paragraph Nos. 0016 to 0033 of JP-A No. 10-1515917. Since the resin layer formed from the resin composition has an appropriate viscosity in the range of 20 to 30 ° C., the use efficiency of the material is excellent.

本発明の樹脂組成物において銅フタロシアニン顔料を用いる場合、該顔料中に含まれる遊離銅の含有量は、200ppm以下であることが好ましい。該顔料として、特開2004−189852号公報の段落番号0011〜0020に記載のものが挙げられる。該顔料を用いることで、組成物の保存安定性を高めることができる。   When using a copper phthalocyanine pigment in the resin composition of the present invention, the content of free copper contained in the pigment is preferably 200 ppm or less. Examples of the pigment include those described in paragraph Nos. 0011 to 0020 of JP-A No. 2004-189852. By using the pigment, the storage stability of the composition can be enhanced.

本発明の樹脂組成物にカーボンブラックを用いる場合、一次粒子径20〜50nm、DBP吸収量140ml/100g以下、pH2.5〜4であるカーボンブラックが好ましい。該カーボンブラックの例として、特開2004−292672号公報の段落番号0010〜0014に記載のものが挙げられる。該カーボンブラックを用いることによって現像性、OD値共に優れた隔壁(ブラックマトリックス、着色層など)を形成できる。   When carbon black is used for the resin composition of the present invention, carbon black having a primary particle size of 20 to 50 nm, a DBP absorption of 140 ml / 100 g or less, and a pH of 2.5 to 4 is preferable. Examples of the carbon black include those described in paragraph numbers 0010 to 0014 of JP-A No. 2004-292672. By using the carbon black, partition walls (black matrix, colored layer, etc.) excellent in both developability and OD value can be formed.

本発明の樹脂組成物が金属化合物を含有する場合、樹脂組成物の比重が2.5以上であることが好ましい。該樹脂組成物として、特開2004−352890号公報の段落番号0007〜0013に記載のものが好ましい。該樹脂組成物を用いてパターン(隔壁など)を作製することで、従来達成できなかった黒色のパターンを形成することができる。   When the resin composition of the present invention contains a metal compound, the specific gravity of the resin composition is preferably 2.5 or more. As the resin composition, those described in paragraph Nos. 0007 to 0013 of JP-A No. 2004-352890 are preferable. By producing a pattern (such as a partition wall) using the resin composition, a black pattern that cannot be achieved conventionally can be formed.

本発明の樹脂組成物は、形成されたパターン(隔壁など)の硬度が鉛筆硬度で3H以上9H以下であり、かつ、露光後に得られる樹脂層を、100rpmで攪拌下の25℃のアルカリ水溶液に浸漬して、120秒後の樹脂層の非露光部が溶解した部分の透過率(400〜780nmの平均)が98%以上100%以下である樹脂組成物であることが好ましい。特開2005−10763号公報の段落番号0007〜0075に記載の樹脂組成物が挙げられる。該樹脂組成物を用いてパターンを形成すると、高い表面硬度と良好な現像性とを両立することができる。   In the resin composition of the present invention, the hardness of the formed pattern (partitions etc.) is 3H or more and 9H or less in pencil hardness, and the resin layer obtained after exposure is made into an aqueous alkaline solution at 25 ° C. with stirring at 100 rpm. It is preferable that the resin composition has a transmittance (average of 400 to 780 nm) of 98% or more and 100% or less at a portion where the non-exposed portion of the resin layer dissolved after 120 seconds is immersed. Examples thereof include the resin compositions described in paragraph numbers 0007 to 0075 of JP-A-2005-10663. When a pattern is formed using the resin composition, both high surface hardness and good developability can be achieved.

本発明の樹脂組成物に窒素原子含有分散剤を用いる場合、該分散剤の230℃30分加熱したときの全窒素量の残留率(加熱前の全窒素量に対する加熱後の全窒素量の質量比率)が60質量%以下であることが好ましい。該分散剤として、特開2004−325968号公報の段落番号0043〜0047に記載のものが挙げられる。該分散剤を用いたカラーフィルタ(隔壁や着色画素など)は、液晶の電圧保持率に対する影響が極めて少ないため、表示ムラ、焼き付け等の表示不良が出にくく、極めて高品質な表示装置を作製することができる。   When a nitrogen atom-containing dispersant is used in the resin composition of the present invention, the residual ratio of the total nitrogen amount when the dispersant is heated at 230 ° C. for 30 minutes (the mass of the total nitrogen amount after heating with respect to the total nitrogen amount before heating) The ratio is preferably 60% by mass or less. Examples of the dispersant include those described in paragraph Nos. 0043 to 0047 of JP-A No. 2004-325968. A color filter (such as a partition wall or a colored pixel) using the dispersant has very little influence on the voltage holding ratio of the liquid crystal. Therefore, display defects such as display unevenness and image sticking hardly occur, and an extremely high quality display device is manufactured. be able to.

本発明の光学素子としてカラーフィルタを製造する際、オーバーコート層を設ける場合には、オーバーコートの押し込み硬度が下記の式(1)の範囲内であることが好ましい。また、オーバーコート層を設ける場合や設けない場合のいずれであっても、カラーフィルタの押し込み硬度が式(2)で示される範囲内であることが好ましい。前記範囲内にあれば、セルギャップの不均一による液晶表示装置の表示ムラが発生しにくい。前記好ましい範囲の硬度を達成する手段として、特開平11−271525号公報の段落番号0012〜0061に記載の方法が挙げられる。
kP/gh2≧30 (1)
kP/gh2≧40 (2)
(ただし、P:硬さ評価時の押し込み荷重(mN)、h:PmNにおける押し込み深さ(μm)、g:重力加速度(=9.807m/s2)、k:圧子の形状によって決まる定
数。)
When an overcoat layer is provided when producing a color filter as the optical element of the present invention, the indentation hardness of the overcoat is preferably within the range of the following formula (1). In addition, whether the overcoat layer is provided or not, it is preferable that the indentation hardness of the color filter is within the range represented by the formula (2). Within the above range, display unevenness of the liquid crystal display device due to non-uniform cell gap is unlikely to occur. Examples of means for achieving the preferred range of hardness include the methods described in paragraph Nos. 0012 to 0061 of JP-A No. 11-271525.
kP / gh 2 ≧ 30 (1)
kP / gh 2 ≧ 40 (2)
(Where P: indentation load at the time of hardness evaluation (mN), h: indentation depth in PmN (μm), g: gravitational acceleration (= 9.807 m / s 2 ), k: constant determined by the shape of the indenter. )

また前記カラーフィルタは、平均屈折率が1.60以上、1.90以下で、かつ複屈折率の絶対値が0.01以下である着色層から形成されることが好ましい。該好ましい範囲内の着色層(隔壁を含む)を用いたカラーフィルタはリタデーションが低減されるため、表示特性の優れた液晶表示装置を提供できる。前記好ましい範囲内のカラーフィルタを作成する手段として、特開2000−136253号公報の段落番号0007〜0042に記載の方法が挙げられる。   The color filter is preferably formed of a colored layer having an average refractive index of 1.60 or more and 1.90 or less and an absolute value of birefringence of 0.01 or less. Since the retardation of the color filter using the colored layer (including the partition walls) within the preferable range is reduced, a liquid crystal display device having excellent display characteristics can be provided. Examples of means for producing a color filter within the preferable range include the methods described in paragraph Nos. 0007 to 0042 of JP-A No. 2000-136253.

更に前記カラーフィルタに用いる顔料の比表面積は、35m2・g-1〜120m2・g-1の範囲にあることが好ましい。該好ましい比表面積範囲の顔料を得る手段として、特開2001−42117号公報の段落番号0015〜0022に記載の方法が挙げられる。該顔料を用いた組成物(インク)は、流動特性を良好に維持したまま、高透過率と高色純度を両立させた着色膜を得ることができる。その結果、色特性の向上したカラーフィルタを得ることができ、さらに、表示装置の色特性をも向上させることができる。Further the specific surface area of the pigments used in the color filter is preferably in the range of 35m 2 · g -1 ~120m 2 · g -1. Examples of means for obtaining a pigment having a preferable specific surface area range include the methods described in paragraph Nos. 0015 to 0022 of JP-A No. 2001-42117. A composition (ink) using the pigment can obtain a colored film having both high transmittance and high color purity while maintaining good flow characteristics. As a result, a color filter with improved color characteristics can be obtained, and further, the color characteristics of the display device can be improved.

<保護フイルム>
感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
<Protective film>
It is preferable to provide a thin protective film on the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin layer. For example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable as the protective film material.

<感光性転写材料の製造方法>
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に前記表面処理層と感光性樹脂層とを有することを必須要件とし、また前述の通り、仮支持体上に熱可塑性樹脂層と中間層と感光性樹脂層とを、この順に互いが接するように有することが好ましい。
ここで、前記好ましい態様の感光性転写材料の製造方法について説明する。仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなり、中間層材料(前記重合性基含有フッ素化合物を含む)の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせることによっても作製することができる。
<Method for producing photosensitive transfer material>
The photosensitive transfer material of the present invention is essential to have the surface treatment layer and the photosensitive resin layer on the temporary support, and as described above, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer on the temporary support. It is preferable to have the photosensitive resin layers so that they are in contact with each other in this order.
Here, the manufacturing method of the photosensitive transfer material of the said preferable aspect is demonstrated. Apply a coating solution (thermoplastic resin layer coating solution) in which the additive for the thermoplastic resin layer is dissolved on the temporary support, and provide the thermoplastic resin layer by drying, and then thermoplastic the thermoplastic resin layer. It consists of a solvent that does not dissolve the resin layer, and a solution of the intermediate layer material (including the polymerizable group-containing fluorine compound) is applied and dried, and then the photosensitive resin layer is applied and dried with a solvent that does not dissolve the intermediate layer. It can produce by providing.
Also, a sheet provided with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer on the temporary support and a sheet provided with the photosensitive resin layer on the protective film are prepared, and the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. It can also be produced by pasting together.

尚、本発明の感光性転写材料において、感光性樹脂層の膜厚は、1.0〜5.0μmが好ましく、1.0〜4.0μmがより好ましく、1.0〜3.0μmが特に好ましい。また、特に限定されるわけではないが、その他の層の各々の好ましい膜厚は、仮支持体は15〜100μm、熱可塑性樹脂層は2〜30μm、中間層は0.5〜3.0μm、保護フイルムは4〜40μmが、一般的に好ましい。   In the photosensitive transfer material of the present invention, the thickness of the photosensitive resin layer is preferably 1.0 to 5.0 μm, more preferably 1.0 to 4.0 μm, and particularly preferably 1.0 to 3.0 μm. preferable. Although not particularly limited, the preferred film thickness of each of the other layers is as follows: the temporary support is 15 to 100 μm, the thermoplastic resin layer is 2 to 30 μm, the intermediate layer is 0.5 to 3.0 μm, The protective film is generally preferably 4 to 40 μm.

尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコータが好適に用いられる。   In addition, although application | coating in the said preparation method can be performed with a well-known coating apparatus etc., in this invention, it is preferable to apply | coat with the slit-shaped nozzle which has a slit-shaped hole in the part which discharges a liquid. Specifically, JP-A-2004-89851, JP-A-2004-17043, JP-A-2003-170098, JP-A-2003-164787, JP-A-2003-10767, JP-A-2002-79163. Slit nozzles and slit coaters described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-310147 and the like are preferably used.

<隔壁の形成方法>
本発明の隔壁は、少なくとも、a)前記感光性転写材料を用い、該転写材料の感光性樹脂層側が基板に接するようにして基板に圧着し、b)表面処理層を介して前記感光性樹脂層をパターン露光し、c)前記感光性樹脂層を現像すること、をこの順に有する方法によって形成されることが好ましい。c)現像、にて表面処理層を除去することで上面(基板の反対側表面)のみに撥インク性のある隔壁を製造することができる。また、前述の通り、a)圧着の前、またはa)圧着とb)露光の間に表面処理層と感光性樹脂層を加熱することも相互作用をより強くするできる点で好ましい。更に、c)現像の後に、d)得られた隔壁をベークすることも好ましい。
こうして得られる本発明の隔壁は、その上面4(基板の反対側表面)のみに撥インク性(撥油および撥水性)を選択的に付与することができ、また画素部の基板表面や隔壁側面(例えば図3及び4においては、凹部3や隔壁の側面5)にはフッ素化処理が行われておらず、撥インク性とはならない。
<Method for forming partition wall>
The partition wall of the present invention is at least a) using the photosensitive transfer material, and being pressure-bonded to the substrate so that the photosensitive resin layer side of the transfer material is in contact with the substrate, and b) the photosensitive resin through the surface treatment layer. It is preferable to form the layer by pattern exposure and c) developing the photosensitive resin layer in this order. c) By removing the surface treatment layer by development, a partition wall having ink repellency can be produced only on the upper surface (surface opposite to the substrate). In addition, as described above, it is also preferable to heat the surface treatment layer and the photosensitive resin layer before a) pressure bonding or between a) pressure bonding and b) exposure because the interaction can be further strengthened. Furthermore, it is also preferable to b) the obtained partition wall after c) development.
The partition wall of the present invention thus obtained can selectively impart ink repellency (oil repellency and water repellency) only to the upper surface 4 (surface opposite to the substrate), and also the substrate surface of the pixel portion and the side walls of the partition wall. (For example, in FIGS. 3 and 4, the concave portion 3 and the side wall 5 of the partition wall) are not fluorinated and do not have ink repellency.

−基板−
本発明において、隔壁が形成される基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフイルム等を挙げることができる。
また、上記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹脂転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報記載の方法が好適に用いられる。尚、特に限定されるわけではないが、基板の膜厚としては、700〜1200μmが一般的に好ましい。
-Board-
In the present invention, as the substrate on which the partition is formed, for example, a transparent substrate is used, and a known glass plate such as a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, a low expansion glass, a non-alkali glass, a quartz glass plate, Or a plastic film etc. can be mentioned.
Moreover, the said board | substrate can make favorable adhesion | attachment with the photosensitive resin transfer material by performing a coupling process previously. As the coupling treatment, a method described in JP 2000-39033 A is preferably used. In addition, although it does not necessarily limit, as a film thickness of a board | substrate, 700-1200 micrometers is generally preferable.

−圧着−
圧着とは例えばラミネートのように圧力をかけて接触させることであり、本発明の感光性樹脂転写材料を用いて、フイルム状に形成した感光性樹脂層を、加熱及び/又は加圧した、ローラー又は平板で、圧着又は加熱圧着することによって、基板上に本発明の転写材料を貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられるが、低異物量の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。
また、前記ラミネーターとして、多丁ラミネータを用いてもよい。多丁ラミネータの例として、特開2004−333616号公報の段落番号0007〜0039に記載のものが挙げられる。多丁ラミネータを用いることで、転写エリア幅より狭い幅の転写材料を複数枚並列に供給できるラミネータ(多丁ラミネーター)を用いて樹脂転写材料の塗布幅に依存することなく、広い幅のラミネートが実現できる。
-Crimping-
The pressure bonding is, for example, contacting by applying pressure like a laminate, and using the photosensitive resin transfer material of the present invention, a photosensitive resin layer formed in a film shape is heated and / or pressurized. Alternatively, the transfer material of the present invention can be attached to the substrate by pressure bonding or thermocompression bonding with a flat plate. Specific examples include laminators and laminating methods described in JP-A-7-110575, JP-A-11-77942, JP-A-2000-334836, and JP-A-2002-148794. From the viewpoint of quantity, it is preferable to use the method described in JP-A-7-110575.
Further, a multi-cutter laminator may be used as the laminator. Examples of the multi-cutter laminator include those described in paragraph numbers 0007 to 0039 of JP-A-2004-333616. By using a multi-catch laminator, a laminator (multi-catch laminator) that can supply a plurality of transfer materials with a width smaller than the transfer area width in parallel can be used for laminating a wide width without depending on the application width of the resin transfer material. realizable.

−パターン露光および現像−
上記基板上に形成された感光性樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、表面処理層を介してマスク上方から露光し、次いで現像液による現像を行うことにより、本発明の隔壁を得ることができる。
ここで、前記露光の光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常5〜300mJ/cm2であり、好ましくは10〜200mJ/cm2である。
尚、前記パターン露光は、上記マスクを用いた露光以外に、特開2004−240216号公報段落番号[0061]〜[0205]に記載のレーザー光源による露光でもよい。
-Pattern exposure and development-
A predetermined mask is disposed above the photosensitive resin layer formed on the substrate, and then exposed from above the mask through the mask and the surface treatment layer, and then developed with a developer, whereby the present invention is performed. A partition can be obtained.
Here, the light source for the exposure can be appropriately selected and used as long as it can irradiate light in a wavelength region capable of curing the photosensitive resin layer (for example, 365 nm, 405 nm, etc.). Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned. As an exposure amount, it is 5-300 mJ / cm < 2 > normally, Preferably it is 10-200 mJ / cm < 2 >.
The pattern exposure may be exposure using a laser light source described in paragraph Nos. [0061] to [0205] of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-240216 other than the exposure using the mask.

また、前記現像液としては、特に制約はなく、特開平5−72724号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。尚、現像液は感光性樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、pKa=7〜13の化合物を0.05〜5mol/Lの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量含んでもよい。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は0.1質量%〜30質量%が好ましい。
また、上記現像液は、更に公知の界面活性剤を含むことができる。前記現像液中の界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
The developer is not particularly limited, and a known developer such as that described in JP-A-5-72724 can be used. The developer is preferably one in which the photosensitive resin layer exhibits a dissolution type development behavior. For example, a developer containing a compound having a pKa of 7 to 13 at a concentration of 0.05 to 5 mol / L is preferable. A small amount of a miscible organic solvent may be included.
Examples of organic solvents miscible with water include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, and benzyl alcohol. , Acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like. The concentration of the organic solvent is preferably 0.1% by mass to 30% by mass.
The developer may further contain a known surfactant. The concentration of the surfactant in the developer is preferably 0.01% by mass to 10% by mass.

現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー&スピン現像、ディップ現像等、公知の方法を用いることができる。
ここで、上記シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。尚、現像の前に感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
現像液の液温度は20℃〜40℃が好ましく、また、現像液のpHは8〜13が好ましい。
As a development method, a known method such as paddle development, shower development, shower & spin development, dip development or the like can be used.
Here, the shower development will be described. The uncured portion can be removed by spraying a developer onto the exposed photosensitive resin layer by shower. In addition, it is preferable to spray an alkaline liquid having low solubility of the photosensitive resin layer by a shower or the like before development to remove the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, or the like. Further, after the development, it is preferable to remove the development residue while spraying a cleaning agent or the like with a shower and rubbing with a brush or the like.
The liquid temperature of the developer is preferably 20 ° C. to 40 ° C., and the pH of the developer is preferably 8 to 13.

−ベーク−
ベーク処理では、前記パターン露光および現像によって形成された前記画像を加熱して硬化させ、本発明の隔壁を得る。
ベーク処理の方法としては、従来公知の種々の方法を使うことができる。即ち、複数枚の基板をカセットに収納してコンベクションオーブンで処理する方法、ホットプレートで1枚ずつ処理する方法、赤外線ヒーターで処理する方法等である。また、ベーク温度(加熱温度)としては、通常150〜280℃であり、好ましくは180〜250℃である。加熱時間は、前記ベーク温度によって変動するが、ベーク温度を220℃とした場合には、中間ベーク処理では5〜30分、最終ベーク処理では60〜200分が好ましい。
本発明の隔壁の形成方法におけるベークに際し、前記パターン露光・現像によって形成された隔壁を、不均一な膜減りを防止し、感光性樹脂層に含まれるUV吸収剤等の成分の析出を防止する観点から、ベーク前にポスト露光を行ってもよい。ベーク(加熱)処理を施す前にポスト露光を行うと、ラミネート時にかみこんだ微小な異物が膨れて欠陥となるのを効果的に防止することができる。
-Bake-
In the baking process, the image formed by the pattern exposure and development is heated and cured to obtain the partition wall of the present invention.
Various conventionally known methods can be used as the baking method. That is, a method of storing a plurality of substrates in a cassette and processing them with a convection oven, a method of processing one by one with a hot plate, a method of processing with an infrared heater, and the like. Moreover, as baking temperature (heating temperature), it is 150-280 degreeC normally, Preferably it is 180-250 degreeC. Although the heating time varies depending on the baking temperature, when the baking temperature is 220 ° C., it is preferably 5 to 30 minutes in the intermediate baking process and 60 to 200 minutes in the final baking process.
In baking in the method for forming a partition wall of the present invention, the partition wall formed by the pattern exposure / development prevents uneven film loss and prevents precipitation of components such as UV absorbers contained in the photosensitive resin layer. From the viewpoint, post-exposure may be performed before baking. When post-exposure is performed before the baking (heating) treatment is performed, it is possible to effectively prevent a minute foreign matter swollen during laminating and causing a defect.

−ポスト露光−
前記ポスト露光の光源としては、感光性樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nm)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、前記パターン露光を補う露光量であればよく、通常50〜5000mJ/cm2
あり、好ましくは200〜2000mJ/cm2、更に好ましくは500〜1000mJ
/cm2である。
-Post exposure-
As a light source for the post-exposure, any light source capable of irradiating light in a wavelength region capable of curing the photosensitive resin layer (for example, 365 nm, 405 nm) can be appropriately selected and used. Specifically, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, etc. are mentioned. The exposure amount may be an exposure amount that supplements the pattern exposure, and is usually 50 to 5000 mJ / cm 2 , preferably 200 to 2000 mJ / cm 2 , more preferably 500 to 1000 mJ.
/ Cm 2 .

−隔壁の形成方法の一例−
ここで、隔壁の形成方法の一例を以下に示す。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
i)基板洗浄
無アルカリガラス基板を用いるが、表面の汚れを除去するために洗浄を行う。例えば、25℃に調整したガラス洗浄剤液(商品名:T−SD1、T−SD2 富士写真フイルム(株))をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有す回転ブラシで洗浄し、更に純水シャワー洗浄を行う。
-Example of partition wall formation method-
Here, an example of a method for forming the partition is shown below. However, the present invention is not limited to this.
i) Substrate cleaning An alkali-free glass substrate is used, but cleaning is performed to remove surface contamination. For example, a glass cleaning solution adjusted to 25 ° C. (trade names: T-SD1, T-SD2 Fuji Photo Film Co., Ltd.) is sprayed with a rotating brush with nylon hair while spraying for 20 seconds in a shower, and then pure water Perform shower cleaning.

ii)シランカップリング処理
ラミネートによる感光性樹脂層の密着を増すためにシランカップリング処理を実施することが好ましい。シランカップリング剤としては、感光性樹脂と相互作用する官能基を有するものが好ましい。例えばシランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄する。この後、加熱により反応させる。加熱槽を用いてもよいが、ラミネーターの基板予備加熱でも反応を進めることができる。
ii) Silane coupling treatment In order to increase the adhesion of the photosensitive resin layer by lamination, it is preferable to carry out a silane coupling treatment. As the silane coupling agent, those having a functional group that interacts with the photosensitive resin are preferable. For example, a silane coupling liquid (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3% by mass aqueous solution, trade name: KBM603, Shin-Etsu Chemical) is sprayed for 20 seconds by a shower, and pure water shower washing is performed. Thereafter, the reaction is carried out by heating. Although a heating tank may be used, the reaction can be advanced by preheating the substrate in a laminator.

iii)ラミネート
この基板を基板予備加熱装置で100℃2分で加熱して次のラミネーターに送る。これによりラミネートを均一に行うことができる。
前記本発明の感光性転写材料の保護フイルムを剥離後、ラミネーターを用い、前記100℃に加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートする。ゴムローラー温度は70〜150℃が好ましく、80〜130℃がより好ましい。この範囲にすることで、転写材料にシワが入ることがなく、密着良く基板上にラミネ−トすることができる。
iii) Laminate This substrate is heated at 100 ° C. for 2 minutes with a substrate preheating device and sent to the next laminator. Thereby, lamination can be performed uniformly.
After peeling off the protective film of the photosensitive transfer material of the present invention, it is laminated on a substrate heated to 100 ° C. using a laminator at a rubber roller temperature of 130 ° C., a linear pressure of 100 N / cm, and a conveying speed of 2.2 m / min. . The rubber roller temperature is preferably 70 to 150 ° C, more preferably 80 to 130 ° C. By setting it within this range, the transfer material is not wrinkled and can be laminated on the substrate with good adhesion.

iv)パターン露光
ラミネート後、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機で露光する。尚、露光を行ってから仮支持体を剥離してもよいし(この場合、仮支持体と表面処理層とを介して感光性樹脂層を露光)、仮支持体を剥離してから露光してもよい(この場合、表面処理層を介して感光性樹脂層を露光)。ただし露光時に表面処理層が感光性樹脂層に密着していなければならない。
基板サイズが50センチメートル以上の場合、マスクの撓み防止の観点で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で露光するのが好ましい。露光マスク面と基板側の面の間の距離は短いほど解像は良いが、異物が付着しやすいので、100〜300μmに設定する。露光量は10〜300mJ/cm2である。これによりパターン状に露光される。
iv) Pattern exposure After lamination, exposure is performed with a proximity type exposure machine with an ultra-high pressure mercury lamp. The temporary support may be peeled off after exposure (in this case, the photosensitive resin layer is exposed through the temporary support and the surface treatment layer), or the temporary support is peeled off before exposure. (In this case, the photosensitive resin layer is exposed through the surface treatment layer). However, the surface treatment layer must adhere to the photosensitive resin layer at the time of exposure.
When the substrate size is 50 centimeters or more, it is preferable to expose the substrate and the mask (quartz exposure mask having an image pattern) in a vertical state from the viewpoint of preventing the deflection of the mask. The shorter the distance between the exposure mask surface and the substrate-side surface, the better the resolution, but foreign matter tends to adhere, so it is set to 100 to 300 μm. The exposure amount is 10 to 300 mJ / cm 2 . As a result, the pattern is exposed.

v)熱可塑性樹脂層、中間層の除去
仮支持体剥離と露光が終わった後、トリエタノールアミン系現像液(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD1、富士写真フイルム(株))などで熱可塑性樹脂層と中間層を除去する。この時、理想的には、感光性樹脂層は全く現像されることがない様、条件他が設定される。例えば30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワーにて現像液が供給される。
尚、熱可塑性樹脂層や中間層が本発明における表面処理層に該当しない場合には、仮支持体の剥離時に共に除去しても構わない。
v) Removal of thermoplastic resin layer and intermediate layer After removal of the temporary support and exposure, a triethanolamine developer (containing 2.5% triethanolamine, nonionic surfactant, polypropylene antifoaming agent) Content, trade name: T-PD1, Fuji Photo Film Co., Ltd.) and the like to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. At this time, ideally, other conditions are set so that the photosensitive resin layer is not developed at all. For example, the developer is supplied in a shower at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa.
In addition, when a thermoplastic resin layer and an intermediate | middle layer do not correspond to the surface treatment layer in this invention, you may remove together at the time of peeling of a temporary support body.

vi)感光性樹脂層の現像
引き続き感光性樹脂層をアルカリ溶液にて現像して画像を形成する。例えば炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株))が用いられる。
条件としては例えば35℃35秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像する。現像液としてはKOH系、TMAΗ系を用いてもよい。
vi) Development of photosensitive resin layer Subsequently, the photosensitive resin layer is developed with an alkaline solution to form an image. For example, Na carbonate developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% by weight of sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer contained, trade name: T-CD1, Fuji Photo Film Co., Ltd.) is used.
As conditions, for example, shower development is performed at 35 ° C. for 35 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa. As a developing solution, KOH type or TMA type may be used.

vii)残渣除去
引き続き洗浄剤(燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−SD1、富士写真フイルム(株)、または炭酸ナトリウム、フェノキシポリオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名:T−SD2、富士写真フイルム(株))等を用いる。条件は33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行う。これにより未露光部における感光性樹脂層の残成分が除去される。
vii) Residue removal Subsequently, detergent (phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer included, trade name: T-SD1, Fuji Photo Film Co., Ltd., or sodium carbonate, phenoxypolyoxyethylene series Surfactant-containing, trade name: T-SD2, Fuji Photo Film Co., Ltd.) and the like are used. The conditions are 33 ° C. for 20 seconds, cone type nozzle pressure of 0.02 MPa, and the residue is removed by a rotating brush having a shower and nylon hair. Thereby, the remaining components of the photosensitive resin layer in the unexposed area are removed.

viii)ポスト露光
引き続き基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2程度、ポスト露光される。両面から実施してもよく、また100〜5000mJ/cm2の範囲で選択してもよい。ポスト露光の実施により、その後のベークでの重合効果が高まる他、ポスト露光の量によりベーク後の隔壁断面形状を調整することができる。
viii) Post exposure Subsequently, the substrate is exposed to about 1000 mJ / cm 2 from the resin layer side with an ultrahigh pressure mercury lamp. You may implement from both surfaces, and you may select in the range of 100-5000mJ / cm < 2 >. By carrying out post exposure, the effect of polymerization in subsequent baking is enhanced, and the sectional shape of the partition wall after baking can be adjusted by the amount of post exposure.

ix)ベーク
モノマー又はオリゴマーを反応させて硬い膜とするためベークを行う。ベークは200〜240℃で30〜180分熱処理することが好ましい。これらの温度と時間は、生産タクトを落さないよう、高めの温度で、かつ短めの時間に設定することがより好ましい。
以上の工程によって、本発明の隔壁を形成することができる。
ix) Bake Bake to make a hard film by reacting monomer or oligomer. The bake is preferably heat-treated at 200 to 240 ° C. for 30 to 180 minutes. These temperature and time are more preferably set to a higher temperature and a shorter time so as not to reduce production tact.
Through the above steps, the partition wall of the present invention can be formed.

<インクジェット用隔壁>
インクジェット法によって光学素子の画素を形成するにあたり、各画素間を区切る隔壁が、上面(基板の反対側表面)のみに選択的に撥インク性を付与した前記本発明の隔壁であることにより、白抜けや混色、インクはみ出し、画素内の厚みムラを生じることなく、付与したインクが他の画素に流れ込んだり滲んだりすることを防止することができる。カラーフィルタを製造する場合には、隣接する画素間を遮光する遮光層とすることが好ましく、その場合ブラックマトリックスとするか、或いは、ブラックストライプとすることもできる。
<Inkjet partition>
In forming the pixels of the optical element by the ink jet method, the partition walls separating the pixels are the partition walls of the present invention in which ink repellency is selectively imparted only to the upper surface (the surface on the opposite side of the substrate). It is possible to prevent the applied ink from flowing into or bleeding into other pixels without causing omission, color mixing, ink overflow, or uneven thickness within the pixel. When manufacturing a color filter, it is preferable to use a light-shielding layer that shields light between adjacent pixels. In that case, a black matrix or a black stripe may be used.

ここで、前記隔壁を設けた本発明の光学素子を、カラーフィルタを例に説明する。
図3又は4は本発明のカラーフィルタを模式的に示す断面図である。図3又は4において、一番右端の凹部3のみは説明をわかりやすくするために、着色層が形成されていない状態で示してある。
この図3又は4では、わかりやすくするために隔壁1を5個、凹部3を4個のみ示しているが、これは必要な数設けられる。例えば、ストライプ状のカラーフィルタの場合であって、640画素分必要な場合には、1画素当りRGBの3個のカラーフィルタが必要なので、隔壁1は1921個、凹部3は1920個必要になる。液晶表示素子では基板間隙の精密性から表示を行わない表示画素の周辺までカラーフィルタパターンを形成することもあり、その場合にはもっと増えることになる。
Here, the optical element of the present invention provided with the partition walls will be described using a color filter as an example.
FIG. 3 or 4 is a cross-sectional view schematically showing the color filter of the present invention. In FIG. 3 or 4, only the rightmost concave portion 3 is shown in a state where a colored layer is not formed for easy understanding.
In FIG. 3 or 4, for the sake of clarity, only five partition walls 1 and four recesses 3 are shown, but a necessary number is provided. For example, in the case of a striped color filter, if 640 pixels are required, three color filters of RGB per pixel are required, so 1921 partition walls 1 and 1920 recesses 3 are required. . In the liquid crystal display element, a color filter pattern may be formed from the precision of the substrate gap to the periphery of the display pixel where display is not performed.

ストライプ状のパターンの場合には、長手方向には隔壁1が形成されなくてもよいが、画素2の周囲を完全に隔壁1で囲むこともある。特に、モザイク状のカラーフィルタの場合には、画素2の周囲は隔壁1で囲まれる。   In the case of a stripe pattern, the partition wall 1 may not be formed in the longitudinal direction, but the periphery of the pixel 2 may be completely surrounded by the partition wall 1. In particular, in the case of a mosaic color filter, the periphery of the pixel 2 is surrounded by a partition wall 1.

本発明で画素(着色層)2を区切るための隔壁1は、基板6上に線状や格子状に形成される。この隔壁1の形状は、それにより区切られた凹部3が画素2に対応するようにされればよい。例えば、ストライプ状のカラーフィルタを形成する場合には線状に形成され、四角の画素2に対応させるためには格子状に形成される。これは、画素2の形状により適宜定められるので、放射状、円周状等種々の形状も考えられる。なお、図4において7は非着色画素を示す。
この隔壁1は、液晶表示素子等ではブラックマスクを兼用させることが有利である。このため、以下の説明では、隔壁1がブラックマスクと兼用される例に基づいて説明するが、ブラックマスクとしない場合には、それから黒色の材料等を使用しないようにすればよい。
In the present invention, the partition wall 1 for dividing the pixel (colored layer) 2 is formed on the substrate 6 in a linear shape or a lattice shape. The shape of the partition wall 1 may be such that the recessed portion 3 partitioned by the partition wall 1 corresponds to the pixel 2. For example, when forming a striped color filter, it is formed in a linear shape, and in order to correspond to the square pixel 2, it is formed in a lattice shape. Since this is appropriately determined depending on the shape of the pixel 2, various shapes such as a radial shape and a circumferential shape are also conceivable. In FIG. 4, 7 indicates a non-colored pixel.
The partition wall 1 is advantageously used as a black mask in a liquid crystal display element or the like. For this reason, in the following description, the partition 1 will be described based on an example in which the partition 1 is also used as a black mask. However, when the partition 1 is not a black mask, a black material or the like may not be used.

本発明における隔壁は、インクジェット法によって着色する際に、吹きつけたインクが他の画素に流れ込んだり滲んだりすることを防止する役割を果たす。したがって、この隔壁の高さはある程度高いことが好ましいが、カラーフィルタとした場合の全体の平坦性が高いことも要求されるので、着色層の厚さに近い高さが好ましい。
具体的には、所望の着色層を得るのに必要なインクの堆積量によっても異なるが、通常は0.1〜3μm程度とされる。
隔壁の上面(図3又は4においては上面4)にインクが残存すると平坦性や画素間の着色均一性が損なわれるが、本発明の隔壁においては上面を撥インク処理しているため、当該欠点が効果的に抑制される。また、本発明の隔壁はその側面(図3又は4においては側面5)には撥インク処理を行っておらず、すなわち隔壁の上面はインクをはじく性質を有し、側面はインクをはじきにくい性質を有している。また、画素部(図3又は4においては凹部3)にはフッ素化処理が行われておらず、画素部はインクをはじきにくい性質を有している。よって本発明における隔壁を用いた光学素子は白抜けが起こりにくいと共に混色やインクはみ出し、画素内の厚みムラが効果的に防止できる。
The partition wall in the present invention plays a role of preventing the sprayed ink from flowing into or bleeding into other pixels when coloring by the inkjet method. Therefore, the height of the partition walls is preferably high to some extent. However, since it is also required that the flatness of the entire color filter is high, a height close to the thickness of the colored layer is preferable.
Specifically, although it depends on the amount of ink deposited to obtain a desired colored layer, it is usually about 0.1 to 3 μm.
If the ink remains on the upper surface of the partition wall (the upper surface 4 in FIG. 3 or 4), the flatness and the color uniformity between the pixels are impaired. Is effectively suppressed. Further, the partition wall of the present invention is not subjected to ink repellent treatment on its side surface (side surface 5 in FIG. 3 or 4), that is, the top surface of the partition wall has a property of repelling ink and the side surface has a property of hardly repelling ink. have. Further, the pixel portion (the concave portion 3 in FIG. 3 or 4) is not subjected to fluorination treatment, and the pixel portion has a property of hardly repelling ink. Accordingly, the optical element using the partition wall according to the present invention is less likely to cause white spots, and can effectively prevent color mixing and ink leakage and thickness unevenness in the pixels.

尚ここで、前記隔壁上面の「撥インク性」とは、光学素子を作製するために、隔壁の開口部(画素部)に付与される液体(=インク)をはじく性質のことである。作製する光学素子によってインクは様々であるため、普遍的な撥インク性の尺度として、本発明では水の接触角を示す。   Here, “ink repellency” on the upper surface of the partition wall means a property of repelling liquid (= ink) applied to the opening (pixel portion) of the partition wall in order to produce an optical element. Since ink varies depending on the optical element to be manufactured, the contact angle of water is shown in the present invention as a universal measure of ink repellency.

前記隔壁上面の撥インク性の程度としては、水の接触角が90〜140°であることが好ましい。これが90°未満では隔壁の上面にインクが残存しやすくなり、140°を超える場合には画素の着色が阻害されやすくなったり、隔壁上面の平滑性が失われることがある。また100〜125°であることがより好ましい。
ここで、前記水の接触角は協和界面科学(株)製の接触角計DM300により測定することができ、インクの接触角も同様にして求めることができる。
The degree of ink repellency on the upper surface of the partition wall is preferably a water contact angle of 90 to 140 °. If this is less than 90 °, the ink tends to remain on the upper surface of the partition wall, and if it exceeds 140 °, the coloring of the pixel tends to be hindered or the smoothness of the upper surface of the partition wall may be lost. Moreover, it is more preferable that it is 100-125 degrees.
Here, the contact angle of water can be measured by a contact angle meter DM300 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd., and the contact angle of ink can be obtained in the same manner.

尚、前記撥インク性の程度は、前述の表面処理層における重合性基含有フッ素化合物の含有量や、感光性樹脂層に対するパターン露光量等によって制御することができる。   The degree of ink repellency can be controlled by the content of the polymerizable group-containing fluorine compound in the surface treatment layer, the pattern exposure amount for the photosensitive resin layer, and the like.

−ブラックマスク−
本発明に係るブラックマスクとは、例えば、ストライプ状のカラーフィルタを形成する場合には線状に形成され、四角の画素に対応させるためには格子状に形成される、遮光性を有する隔壁である。これは、画素の形状により適宜定められるので、放射状、円周状等種々の形状も考えられる。
上記感光性樹脂層に遮光性を有する着色材を用いることでブラックマスクを作製することが可能である。
-Black mask-
The black mask according to the present invention is a light-blocking partition that is formed in a linear shape when forming a striped color filter, and formed in a lattice shape to correspond to a square pixel. is there. Since this is appropriately determined depending on the shape of the pixel, various shapes such as a radial shape and a circumferential shape are also conceivable.
A black mask can be manufactured by using a colorant having a light shielding property for the photosensitive resin layer.

<光学素子>
本発明の感光性転写材料により、基板上に形成した隔壁間に、インクジェット方式によって着色層(画素)を形成することにより、本発明の光学素子を製造することができる。本発明の光学素子としては、カラーフィルタやエレクトロルミネッセンス素子などの光学素子が挙げられる。
前記カラーフィルタの例としては、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色等の矩形状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマスク等の隔壁を配している態様等が挙げられ、一方エレクトロルミネッセンス素子の例としては、蛍光性の無機及び有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極とで挟んだ構成を有し、上記薄膜に電子及び正孔(ホール)を注入して再結合させることにより励起子を生成させ、この励起子が失活する際の蛍光或いは燐光の放出を利用して発光させる素子が挙げられる。このようなエレクトロルミネッセンス素子に用いられる蛍光性材料を、例えばTFT等素子を形成した基板上にインクジェット方式により付与して発光層を形成し、素子を構成することができる。
<Optical element>
The optical element of the present invention can be produced by forming a colored layer (pixel) by an inkjet method between the partition walls formed on the substrate using the photosensitive transfer material of the present invention. Examples of the optical element of the present invention include optical elements such as a color filter and an electroluminescence element.
Examples of the color filter include a mode in which rectangular images such as red, green, and blue are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and a partition such as a black mask is arranged at the boundary. On the other hand, as an example of an electroluminescence device, a thin film containing a fluorescent inorganic and organic compound is sandwiched between a cathode and an anode, and recombination is performed by injecting electrons and holes into the thin film. An element that emits light by utilizing the emission of fluorescence or phosphorescence when excitons are generated by the generation of the excitons and the excitons are deactivated. A fluorescent material used for such an electroluminescence element can be applied to a substrate on which an element such as a TFT is formed by an ink jet method to form a light emitting layer, whereby the element can be configured.

インクジェット方式等の液滴を付与する方法は、製造プロセスの簡略化及びコスト削減を図ることができることから、カラーフィルタやエレクトロルミネッセンス素子といった光学素子の製造へ応用されている。   A method of applying droplets such as an ink jet method is applied to manufacture of optical elements such as a color filter and an electroluminescence element because the manufacturing process can be simplified and the cost can be reduced.

−インクジェット方式−
本発明では画素の形成にインクジェット方式を用いる。インクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
-Inkjet system-
In the present invention, an inkjet method is used to form pixels. As an ink jet method, a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and a method in which ink is heated and intermittently ejected using its foam Various methods can be employed.

用いるインクは油性、水性ともに使用できる。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、油性着色インク(着色樹脂組成物)を使用することもできる。   The ink used can be both oily and water-based. The coloring material contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. Moreover, the oil-based coloring ink (colored resin composition) used for preparation of a well-known color filter can also be used.

本発明に係るインクは、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、または紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を含むこともできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体またはメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記<感光性樹脂層>の項で挙げた、顔料などの着色材を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
The ink according to the present invention may include a component that is cured by heating or is cured by energy rays such as ultraviolet rays in consideration of a process after coloring. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a coloring material such as a pigment described in the above section <Photosensitive resin layer> can be preferably used.

また、少なくとも3色から構成されるカラーフィルタ(着色画素)は、各膜の三刺激値「X,Y,Z」に基づいて計算される白色表示座標(u'white,v'white)及び黒色表示座標(u'black,v'black)が、座標P1(0.18、0.52)、座標Q1(0.25、0.52)、座標R1(0.23、0.42)、座標S1(0.15、0.42)の四座標を結ぶ直線の範囲内となるものが好ましい。該カラーフィルタの例として、特開2005−25175号公報の段落番号0008〜0047に記載のものが挙げられる。該カラーフィルタを用いた表示装置は、画素間のバランスを適切にとることができ、表示の色調節が簡便となる。またとりわけテレビ用のカラーフィルタとして好ましく用いることができる。Further, the color filter (colored pixel) composed of at least three colors has white display coordinates (u ′ white , v ′ white ) and black that are calculated based on the tristimulus values “X, Y, Z” of each film. The display coordinates (u ′ black , v ′ black ) are coordinates P 1 (0.18, 0.52), coordinates Q 1 (0.25, 0.52), coordinates R 1 (0.23, 0.42). ), Which is within the range of a straight line connecting the four coordinates of coordinates S 1 (0.15, 0.42). Examples of the color filter include those described in JP-A-2005-25175, paragraph numbers 0008 to 0047. A display device using the color filter can appropriately balance the pixels, and the display color can be easily adjusted. In particular, it can be preferably used as a color filter for television.

また、該インクによって形成される着色画素のコントラストは、2000以上であることが好ましい。コントラストを上げる方法として、特開2005−25206号公報の段落番号0025に記載の手段が挙げられる。コントラストが高いカラーフィルタを用いた表示装置は、優れた色再現性を有するEBU規格のTV用液晶表示装置として使用することができる。   The contrast of the colored pixels formed with the ink is preferably 2000 or more. As a method for increasing the contrast, means described in paragraph No. 0025 of JP-A-2005-25206 can be given. A display device using a color filter having a high contrast can be used as an EBU standard TV liquid crystal display device having excellent color reproducibility.

カラーフィルタを製造するにあたっては、インクジェット方式で通常はRGB3色のインクを吹きつけて3色のカラーフィルタを形成する。但し、RGB3色に限定されるものではなく、4色、或いはそれ以上の多色カラーフィルタを形成することもできる。このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。   In manufacturing a color filter, three colors of color filters are formed by spraying three colors of ink, usually by an inkjet method. However, the present invention is not limited to the three RGB colors, and a multicolor filter of four colors or more can also be formed. This color filter is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.

上記カラーフィルタを含む本発明の光学素子は、各色インクの滲み、はみ出し、隣接画素との混色などの欠陥が効果的に抑制される。   The optical element of the present invention including the color filter effectively suppresses defects such as bleeding of each color ink, protrusion, and color mixture with adjacent pixels.

<表示装置>
前記本発明の光学素子は、前記の通り様々な表示装置に用いられ、対向する一対の基板の間に液晶材料が封入された液晶表示素子としても好適に用いられる。
本発明に係るカラーフィルタは、前記液晶表示装置の対向基板(TFTなどの能動素子が無い側の基板)に形成されるものの他、TFT基板側に形成するCOA方式、TFT基板側に黒だけを形成するBOA方式、又はTFT基板にハイアパーチャー構造を有するHA方式のものも対象とすることができる。
前記カラーフィルタ上には、更に必要に応じて、オーバーコート膜や透明導電膜を形成することができる。その後、カラーフィルタと対向基板との間に液晶が封入され、液晶表示装置が作製される。液晶の表示方式としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選定され、例えば、ECB(Electrically Controlled Birefringence)、TN(Twisted Nematic)、OCB(Optically Compensatory Bend)、VA(Vertically Aligned)、HAN(Hybrid Aligned Nematic)、STN(Supper Twisted Nematic)、IPS(In−Plane Switching)、GH(Guest Host)、FLC(強誘電性液晶)、AFLC(反強誘電性液晶)、PDLC(高分子分散型液晶)などの表示方式に適用可能である。
<Display device>
The optical element of the present invention is used in various display devices as described above, and is also preferably used as a liquid crystal display element in which a liquid crystal material is sealed between a pair of opposed substrates.
The color filter according to the present invention is formed on the counter substrate of the liquid crystal display device (the substrate on the side having no active element such as TFT), the COA method formed on the TFT substrate side, and only black on the TFT substrate side. A BOA method to be formed or an HA method having a high aperture structure on the TFT substrate can also be used.
An overcoat film or a transparent conductive film can be further formed on the color filter as necessary. Thereafter, liquid crystal is sealed between the color filter and the counter substrate, and a liquid crystal display device is manufactured. The liquid crystal display method is not particularly limited and is appropriately selected according to the purpose. For example, ECB (Electrically Controlled Birefringence), TN (Twisted Nematic), OCB (Optically Compensatory Bend), VA (Val) Hybrid Aligned Nematic), STN (Super Twisted Nematic), IPS (In-Plane Switching), GH (Guest Host), FLC (ferroelectric liquid crystal), AFLC (antiferroelectric liquid crystal), PDLC (polymer dispersion type liquid crystal) ) And other display methods.

以下、本発明を実施例によって更に詳細に説明する。尚、以下において、「部」および「%」は、特に断りのない限り質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. In the following, “part” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

〔ポリマーの合成〕
(合成例1.ポリマーaの合成)
ポリマーaは、以下の2つのステップを経て合成される。
<Step1: 2−(パーフルオロオクチル)−エチルメタクリレート(FAMAC)とメタクリル酸(MA)、およびメタクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル(HEMA)との共重合(FAMAC/MA/HEMAモノマー質量比=33/33/34)>
窒素雰囲気下、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc、和光純薬工業)30gを、冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、ウォーターバスで65℃まで加熱した。ここにDMAc30gにメタクリル酸2−ヒドロキシエチルエステル(HEMA、東京化成工業)2.54g(0.0194mol)と2−(パーフルオロオクチル)−エチルメタクリレート(FAMAC、ダイキンファインケミカル研究所社製)10.0g(0.0188mol)とメタクリル酸(MA、東京化成工業)1.62g(0.0188mol)および2,2'−アゾビス(イソ酪酸)(V601、和光純薬工業)0.66g(0.0029mol)を溶解させた均一な溶液をプランジャーポンプで0.54ml/minの速度でフラスコ内に滴下した。滴下終了後、5時間フラスコ内容物を攪拌し反応を止めた。
反応液を1500mlのメタノールで再沈し、析出した固体を吸引濾過により濾取した。3時間真空乾燥して白色粉末(共重合体)を得た。(収量7.84g)
(Polymer synthesis)
(Synthesis Example 1. Synthesis of polymer a)
The polymer a is synthesized through the following two steps.
<Step 1: Copolymerization of 2- (perfluorooctyl) -ethyl methacrylate (FAMAC), methacrylic acid (MA), and methacrylic acid 2-hydroxyethyl ester (HEMA) (FAMAC / MA / HEMA monomer mass ratio = 33 / 33/34)>
Under a nitrogen atmosphere, 30 g of N, N-dimethylacetamide (DMAc, Wako Pure Chemical Industries) was placed in a 300 ml three-necked flask equipped with a condenser and heated to 65 ° C. in a water bath. Here, 30 g of DMAc, 2.54 g (0.0194 mol) of methacrylic acid 2-hydroxyethyl ester (HEMA, Tokyo Chemical Industry) and 10.0 g of 2- (perfluorooctyl) -ethyl methacrylate (FAMAC, manufactured by Daikin Fine Chemical Laboratories) (0.0188 mol) and methacrylic acid (MA, Tokyo Chemical Industry) 1.62 g (0.0188 mol) and 2,2′-azobis (isobutyric acid) (V601, Wako Pure Chemical Industries) 0.66 g (0.0029 mol) The homogeneous solution in which was dissolved was dropped into the flask with a plunger pump at a rate of 0.54 ml / min. After completion of the dropping, the contents of the flask were stirred for 5 hours to stop the reaction.
The reaction solution was reprecipitated with 1500 ml of methanol, and the precipitated solid was collected by suction filtration. It was vacuum-dried for 3 hours to obtain a white powder (copolymer). (Yield 7.84 g)

<Step2 共重合体への二重結合の導入>
Step1で得た共重合体3.0gとハイドロキノン(和光純薬工業)0.0325gを冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、DMAc40gを加えて室温で攪拌し均一な溶液とした。
その溶液を攪拌しながら2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(カレンズMOI、昭和電工)1.53g(0.00983mol)を滴下した。続いて、ジラウリン酸ジ−n−ブチル錫(東京化成工業)を1滴加えて攪拌しながら65℃のウォーターバスで加熱した。5時間後に反応を止め、室温まで自然冷却した。反応液を1500mlのメタノールで再沈し、析出した固体を吸引濾過により濾取して、ポリマーaを得た。(収量2.4g)
尚、分子量(GPC、THF、ポリスチレン換算)はMw25000であった。また、IR測定(KBr)(Excalibur FTIR−8300(SHIMAZU)を使用して測定)を行った結果を以下に示す。
3390(b)、2965(b)、1735(s)、1640(s)cm-1
<Introduction of Double Bond to Step2 Copolymer>
3.0 g of the copolymer obtained in Step 1 and 0.0325 g of hydroquinone (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were placed in a 300 ml three-necked flask equipped with a cooling tube, and 40 g of DMAc was added and stirred at room temperature to obtain a uniform solution.
While stirring the solution, 1.53 g (0.00983 mol) of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (Karenz MOI, Showa Denko) was added dropwise. Subsequently, 1 drop of di-n-butyltin dilaurate (Tokyo Kasei Kogyo) was added and heated with a water bath at 65 ° C. while stirring. After 5 hours, the reaction was stopped and the mixture was naturally cooled to room temperature. The reaction solution was reprecipitated with 1500 ml of methanol, and the precipitated solid was collected by suction filtration to obtain polymer a. (Yield 2.4 g)
In addition, molecular weight (GPC, THF, polystyrene conversion) was Mw25000. Moreover, the result of having performed IR measurement (KBr) (measured using Excalibur FTIR-8300 (SHIMAZU)) is shown below.
3390 (b), 2965 (b), 1735 (s), 1640 (s) cm −1

(合成例2.ポリマーbの合成)
冷却管および温度計を設置した1000mlの三口フラスコに、アクリル酸(東京化成社製)50.0g(0.694mol)、N,N−ジメチルアクリルアミド(東京化成社製)70.0g(0.71mol)、2−(パーフルオロオクチル)−エチルメタクリレート(ユニマテック社製)80.0g(0.16mol)、n−プロパノール400.0g、n−ドデシルメルカプタン(東京化成社製)9.47g(46.8×10-3mol)を入れ、攪拌した。この反応液をオイルバスで加熱し、内温を70℃とした。2,2'−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10-3mol)をn−プロパノール2.0gに溶かし、反応液中に滴下した。2,2'−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)の滴下後、反応液の温度が96℃まで達した。反応液の入った三口フラスコを一度オイルバスから引き上げ、空気中で冷まして70℃で安定させた。2,2'−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)を滴下してから2.5時間後、再びn−プロパノール2.0gに溶かした2,2'−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10-3mol)を反応液中に滴下した。さらにその1.5時間後に、同様にn−プロパノール2.0gに溶かした2,2'−アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(和光純薬社製)0.359g(1.56×10-3mol)を反応液中に滴下した。その後、内温を80℃に上げて、5.3時間重合反応をさせた。
(Synthesis Example 2. Synthesis of polymer b)
In a 1000 ml three-necked flask equipped with a condenser and a thermometer, acrylic acid (Tokyo Kasei Co., Ltd.) 50.0 g (0.694 mol), N, N-dimethylacrylamide (Tokyo Kasei Co., Ltd.) 70.0 g (0.71 mol) ), 2- (perfluorooctyl) -ethyl methacrylate (Unimatec) 80.0 g (0.16 mol), n-propanol 400.0 g, n-dodecyl mercaptan (Tokyo Chemical Industry) 9.47 g (46.8) × 10 −3 mol) was added and stirred. This reaction solution was heated in an oil bath, and the internal temperature was set to 70 ° C. 0.32 g (1.56 × 10 −3 mol) of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dissolved in 2.0 g of n-propanol and dropped into the reaction solution. After the dropwise addition of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), the temperature of the reaction solution reached 96 ° C. The three-necked flask containing the reaction solution was once lifted from the oil bath, cooled in the air, and stabilized at 70 ° C. 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added dropwise 2.5 hours later, and 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl dissolved in 2.0 g of n-propanol again. 0.359 g (1.56 × 10 −3 mol) (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dropped into the reaction solution. Further 1.5 hours later, 0.359 g (1.56 × 10 −3 mol) of 2,2′-azobis (isobutyric acid) dimethyl (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) similarly dissolved in 2.0 g of n-propanol was used. Was dropped into the reaction solution. Thereafter, the internal temperature was raised to 80 ° C. and the polymerization reaction was carried out for 5.3 hours.

この反応液を室温に戻し、2,5−ジ−アミルハイドロキノン0.059g(n−プロパノール2.0gに溶かしたグリシジルメタクリレート(東京化成社製)59.2g(0.42mol)、n−プロパノール100g、n−プロパノール12.4gに溶かした2−エチル−4−メチルイミダゾール(和光純薬社製)0.92g(8.32×10-3mol)を加えて攪拌し、均一な溶液とした。この反応液をオイルバスで加熱し、内温を70℃とした。14時間後に加熱を止めて室温に戻し、反応を終了させた。
GPC(ポリスチレン換算,テトラヒドロフラン溶媒)にて分子量を測定したところ重量平均分子量3500であった。またNMR(ブルッカー社製 300MHz)にて組成を測定したところ、カルボキシル基含有モノマー単位:グリシジル基含有モノマー単位:アミド基含有モノマー単位:パーフルオロ基含有モノマー単位=18:27:45:10の比率(モル比)にて導入されていることが判明した。
This reaction liquid was returned to room temperature, 0.059 g of 2,5-di-amylhydroquinone (glycidyl methacrylate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) dissolved in 2.0 g of n-propanol), 59.2 g (0.42 mol), and 100 g of n-propanol. 0.92 g (8.32 × 10 −3 mol) of 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) dissolved in 12.4 g of n-propanol was added and stirred to obtain a uniform solution. This reaction solution was heated in an oil bath to set the internal temperature to 70 ° C. After 14 hours, the heating was stopped and the temperature was returned to room temperature to complete the reaction.
When the molecular weight was measured by GPC (polystyrene conversion, tetrahydrofuran solvent), the weight average molecular weight was 3,500. Further, the composition was measured by NMR (Brucker 300 MHz), and the ratio of carboxyl group-containing monomer unit: glycidyl group-containing monomer unit: amide group-containing monomer unit: perfluoro group-containing monomer unit = 18: 27: 45: 10 It was found that it was introduced at (molar ratio).

(合成例3.ポリマーcの合成)
ポリマーcは、以下の2つのステップを経て合成される。
<Step1: 2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC)とアクリル酸(AA)、およびジメチルアクリルアミド(DMAAm)との共重合(FAAC/AA/DMAAmモノマー質量比=40/25/35)>
窒素気流下、プロピレングリコールモノメチルエーテル(MFG)300gを、冷却管を設置した2000mlの三つ口フラスコに入れ、ウォーターバスで70℃まで加熱した。ここにMFG400gにアクリル酸(AA、東京化成工業)125g(1.73mol)と2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC、ユニマテック(株)社製)200g(0.39mol)とジメチルアクリルアミド(DMAAm、東京化成工業)175g(1.77mol)を溶解させた溶液、MFG300gに2,2'−アゾビス(イソ酪酸)(V601、和光純薬工業)2.68g(0.01mol)を溶解させた溶液をそれぞれプランジャーポンプで2時間かけて滴下した。滴下終了後、5時間攪拌し、FAAC/AA/DMAAmモノマー質量比=40/25/35の共重合体溶液(c1)を得た。
(Synthesis Example 3. Synthesis of Polymer c)
The polymer c is synthesized through the following two steps.
<Step 1: Copolymerization of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC) with acrylic acid (AA) and dimethylacrylamide (DMAAm) (FAAC / AA / DMAAm monomer mass ratio = 40/25/35)>
Under a nitrogen stream, 300 g of propylene glycol monomethyl ether (MFG) was placed in a 2000 ml three-necked flask equipped with a condenser and heated to 70 ° C. with a water bath. 400 g of MFG, 125 g (1.73 mol) of acrylic acid (AA, Tokyo Chemical Industry), 200 g (0.39 mol) of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC, manufactured by Unimatec Co., Ltd.) and dimethylacrylamide ( DMAAm, Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) 2.68 g (0.01 mol) of 2,2′-azobis (isobutyric acid) (V601, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dissolved in a solution of 175 g (1.77 mol) dissolved in DMAAm and 300 g of MFG. Each solution was added dropwise over 2 hours with a plunger pump. After completion of dropping, the mixture was stirred for 5 hours to obtain a copolymer solution (c1) having a FAAC / AA / DMAAm monomer mass ratio = 40/25/35.

<Step2 共重合体への二重結合の導入>
Step1で得た共重合体溶液(c1)に、ジ−t−ペンチルハイドロキノン(和光純薬工業)0.5g、トリフェニルフォスフィン3.26g(0.032mol)を、冷却管を設置した2000mlの三つ口フラスコに入れ、その溶液を攪拌し、均一な溶液とした。内温が90℃になるように調整し、グリシジルメタクリレート(東京化成工業)148g(1.04mol)を1時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間攪拌し、目的のポリマーcを得た。
なお、分子量(GPC、THF、ポリスチレン換算)はMw10000であった。
<Introduction of Double Bond to Step2 Copolymer>
In the copolymer solution (c1) obtained in Step 1, 0.5 g of di-t-pentylhydroquinone (Wako Pure Chemical Industries) and 3.26 g (0.032 mol) of triphenylphosphine were added to 2000 ml of a condenser tube. The solution was placed in a three-necked flask and the solution was stirred to obtain a uniform solution. The internal temperature was adjusted to 90 ° C., and 148 g (1.04 mol) of glycidyl methacrylate (Tokyo Chemical Industry) was added dropwise over 1 hour. After completion of dropping, the mixture was stirred for 12 hours to obtain the target polymer c.
In addition, molecular weight (GPC, THF, polystyrene conversion) was Mw10000.

(合成例4.ポリマーdの合成)
ポリマーdは、以下の2つのステップを経て合成される。
<Step1: 2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC)とアクリル酸(AA)、およびヒドロキシエチルアクリレート(HEA)との共重合(FAAC/AA/HEAモノマー質量比=40/25/35)>
窒素気流下、プロピレングリコールモノメチルエーテル(MFG)30gを、冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、ウォーターバスで70℃まで加熱した。ここにMFG40gにアクリル酸(AA、東京化成工業)12.5g(0.173mol)と2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC、ユニマテック(株)社製)20g(0.039mol)とヒドロキシエチルアクリレート(HEA、東京化成工業)17.5g(0.151mol)を溶解させた溶液、MFG30gに2,2'−アゾビス(イソ酪酸)(V601、和光純薬工業)0.251g(0.001mol)を溶解させた溶液をそれぞれプランジャーポンプで2時間かけて滴下した。滴下終了後、5時間攪拌し、FAAC/AA/HEAモノマー質量比=40/25/35の共重合体溶液(d1)を得た。
(Synthesis Example 4. Synthesis of Polymer d)
The polymer d is synthesized through the following two steps.
<Step 1: Copolymerization of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC) with acrylic acid (AA) and hydroxyethyl acrylate (HEA) (FAAC / AA / HEA monomer mass ratio = 40/25/35) >
Under a nitrogen stream, 30 g of propylene glycol monomethyl ether (MFG) was placed in a 300 ml three-necked flask equipped with a condenser and heated to 70 ° C. with a water bath. Here, 40 g of MFG, 12.5 g (0.173 mol) of acrylic acid (AA, Tokyo Chemical Industry), 20 g (0.039 mol) of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC, manufactured by Unimatec) and hydroxy A solution in which 17.5 g (0.151 mol) of ethyl acrylate (HEA, Tokyo Chemical Industry) is dissolved, 30 g of MFG, 2,2′-azobis (isobutyric acid) (V601, Wako Pure Chemical Industries) 0.251 g (0.001 mol) ) Was dissolved dropwise with a plunger pump over 2 hours. After completion of dropping, the mixture was stirred for 5 hours to obtain a copolymer solution (d1) having a FAAC / AA / HEA monomer mass ratio of 40/25/35.

<Step2 共重合体への二重結合の導入>
Step1で得た共重合体溶液(d1)に、ジ−t−ペンチルハイドロキノン(和光純薬工業)0.15g、2−エチル−4−メチルイミダゾール0.305g(0.0028mol)を、冷却管を設置した300mlの三つ口フラスコに入れ、その溶液を攪拌し、均一な溶液とした。内温が90℃になるように調整し、グリシジルメタクリレート(東京化成工業)14.8g(0.104mol)を1時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間攪拌し、目的のポリマーdを得た。
なお、分子量(GPC、THF、ポリスチレン換算)はMw11000であった。
<Introduction of Double Bond to Step2 Copolymer>
To the copolymer solution (d1) obtained in Step 1, 0.15 g of di-t-pentylhydroquinone (Wako Pure Chemical Industries), 0.305 g (0.0028 mol) of 2-ethyl-4-methylimidazole, The solution was placed in a 300 ml three-necked flask, and the solution was stirred to obtain a uniform solution. The internal temperature was adjusted to 90 ° C., and 14.8 g (0.104 mol) of glycidyl methacrylate (Tokyo Chemical Industry) was added dropwise over 1 hour. After completion of dropping, the mixture was stirred for 12 hours to obtain the target polymer d.
In addition, molecular weight (GPC, THF, polystyrene conversion) was Mw11000.

(合成例5.ポリマーeの合成)
ポリマーeは、以下の2つのステップを経て合成される。
<Step1: 2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC)とアクリル酸(AA)、およびジメチルアクリルアミド(DMAAm)との共重合(FAAC/AA/DMAAmモノマー質量比=50/10/40)>
窒素気流下、プロピレングリコールモノメチルエーテル(MFG)100gを、冷却管を設置した500mlの三つ口フラスコに入れ、ウォーターバスで70℃まで加熱した。ここにMFG150gにアクリル酸(AA、東京化成工業)25g(0.35mol)と2−(パーフルオロオクチル)−エチルアクリレート(FAAC、ユニマテック(株)社製)125g(0.24mol)とジメチルアクリルアミド(DMAAm、東京化成工業)100g(1.01mol)を溶解させた溶液、MFG130gに2,2'−アゾビス(イソ酪酸)(V601、和光純薬工業)3.97g(0.01mol)を溶解させた溶液をそれぞれプランジャーポンプで2時間かけて滴下した。滴下終了後、5時間攪拌し、FAAC/AA/DMAAmモノマー質量比=50/10/40の共重合体溶液(e1)を得た。
(Synthesis Example 5. Synthesis of Polymer e)
The polymer e is synthesized through the following two steps.
<Step 1: Copolymerization of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC) with acrylic acid (AA) and dimethylacrylamide (DMAAm) (FAAC / AA / DMAAm monomer mass ratio = 50/10/40)>
Under a nitrogen stream, 100 g of propylene glycol monomethyl ether (MFG) was placed in a 500 ml three-necked flask equipped with a condenser and heated to 70 ° C. with a water bath. Here, 150 g of MFG, 25 g (0.35 mol) of acrylic acid (AA, Tokyo Chemical Industry), 125 g (0.24 mol) of 2- (perfluorooctyl) -ethyl acrylate (FAAC, manufactured by Unimatec Co., Ltd.) and dimethylacrylamide ( DMAAm, Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) 100 g (1.01 mol) of a solution in which MFG 130 g was dissolved, 2,2′-azobis (isobutyric acid) (V601, Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) 3.97 g (0.01 mol) was dissolved. Each solution was added dropwise over 2 hours with a plunger pump. After completion of the dropping, the mixture was stirred for 5 hours to obtain a copolymer solution (e1) having a FAAC / AA / DMAAm monomer mass ratio = 50/10/40.

<Step2 共重合体への二重結合の導入>
Step1で得た共重合体溶液(e1)に、ジ−t−ペンチルハイドロキノン(和光純薬工業)0.23g、トリフェニルフォスフィン3.52g(0.035mol)を、冷却管を設置した500mlの三つ口フラスコに入れ、その溶液を攪拌し、均一な溶液とした。内温が90℃になるように調整し、グリシジルメタクリレート(東京化成工業)49g(0.37mol)を1時間かけて滴下した。滴下終了後、12時間攪拌し、目的のポリマーeを得た。
なお、分子量(GPC、THF、ポリスチレン換算)はMw14000であった。
<Introduction of Double Bond to Step2 Copolymer>
To the copolymer solution (e1) obtained in Step 1, 0.23 g of di-t-pentylhydroquinone (Wako Pure Chemical Industries) and 3.52 g (0.035 mol) of triphenylphosphine were added to 500 ml of a condenser tube. The solution was placed in a three-necked flask and the solution was stirred to obtain a uniform solution. The internal temperature was adjusted to 90 ° C., and 49 g (0.37 mol) of glycidyl methacrylate (Tokyo Chemical Industry) was added dropwise over 1 hour. After completion of dropping, the mixture was stirred for 12 hours to obtain the target polymer e.
In addition, molecular weight (GPC, THF, polystyrene conversion) was Mw14000.

(実施例1)
[感光性転写材料の作製]
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフイルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Cからなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1から成る表面処理層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記表1記載の感光性樹脂組成物K1を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が6.0μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの表面処理層と、乾燥膜厚が2.4μmの感光層を設け、最後に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフイルム)を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と表面処理層(酸素遮断膜)とブラック(K)の感光層とが一体となった感光性転写材料K1を作製した。
Example 1
[Production of photosensitive transfer material]
On a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support, a coating solution for a thermoplastic resin layer having the following formulation C was applied and dried using a slit nozzle. Next, a coating solution for a surface treatment layer having the following formulation P1 was applied and dried. Furthermore, the photosensitive resin composition K1 described in Table 1 below was applied and dried. Thus, a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 6.0 μm, a surface treatment layer having a dry film thickness of 1.6 μm, and a photosensitive layer having a dry film thickness of 2.4 μm are provided on the temporary support. Finally, a protective film (12 μm thick polypropylene film) was pressure-bonded.
Thus, a photosensitive transfer material K1 in which the temporary support, the thermoplastic resin layer, the surface treatment layer (oxygen barrier film), and the black (K) photosensitive layer were integrated was produced.

<熱可塑性樹脂層用塗布液:処方C>
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(ダイセル化学■製、MMPG-Ac(以下も同様の素材を使用する)) 6.36部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体
(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、
分子量=10万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、
平均分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリートを2当量
脱水縮合した化合物(新中村化学(株)製BPE−500) 9.1部
・界面活性剤1 0.54部
<Coating liquid for thermoplastic resin layer: Formulation C>
Methanol 11.1 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd., MMPG-Ac (the same material is used below)) 6.36 parts Methyl ethyl ketone 52.4 parts Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8,
Molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 63/37,
(Average molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts. Compound obtained by dehydration condensation of 2 equivalents of bisphenol A and pentaethylene glycol monomethacrylate (BPE-500, Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 9.1 parts, interface Activator 1 0.54 parts

<表面処理層用塗布液:処方P1>
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
・前記ポリマーa 0.59部
<Coating liquid for surface treatment layer: prescription P1>
・ PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd.,
Saponification degree = 88%, polymerization degree 550) 32.2 parts · Polyvinylpyrrolidone (manufactured by ASP Japan, K-30) 14.9 parts · Distilled water 524 parts · Methanol 429 parts · Polymer a 0.59 parts

Figure 0004913750
Figure 0004913750

ここで、上記表1に記載の着色感光性樹脂組成物K1の調製について説明する。
感光性樹脂組成物K1は、まず表1に記載の量の顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表1に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー1、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4'−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ)−3'−ブロモフェニル]−s−トリアジン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpm30分間攪拌することによって得られた。
Here, preparation of the colored photosensitive resin composition K1 described in Table 1 will be described.
In the photosensitive resin composition K1, first, the pigment dispersion 1 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 1 were weighed, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.) and stirred at 150 rpm for 10 minutes, 1, methyl ethyl ketone, binder 1, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 ′-(N, N-bisethoxycarbonylmethylamino) -3′-bromophenyl] -s -Triazine, hydroquinone monomethyl ether and surfactant 1 were weighed out, added in this order at a temperature of 25 ° C (± 2 ° C), and stirred at 150 rpm for 30 minutes at a temperature of 40 ° C (± 2 ° C).

なお、感光性樹脂組成物K1に記載の組成物のうち、顔料分散物1、バインダー1、DPHA液、界面活性剤1の組成は、以下の通りである。
(顔料分散物1)
・カーボンブラック(デグッサ社製、商品名Special Black 250) 13.1部
・N,N'−ビス−(3−ジエチルアミノプロピル)−5−
{4−〔2−オキソ−1−(2−オキソ−2,3−ジヒドロ−1H
−ベンゾイミダゾール−5−イルカルバモイル)−プロピルアゾ〕
−ベンゾイルアミノ]−イソフタルアミド 0.65部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53部
In addition, among the compositions described in the photosensitive resin composition K1, the compositions of the pigment dispersion 1, the binder 1, the DPHA liquid, and the surfactant 1 are as follows.
(Pigment dispersion 1)
Carbon black (trade name Special Black 250, manufactured by Degussa) 13.1 partsN, N′-bis- (3-diethylaminopropyl) -5
{4- [2-oxo-1- (2-oxo-2,3-dihydro-1H
-Benzimidazol-5-ylcarbamoyl) -propylazo]
-Benzoylamino] -isophthalamide 0.65 parts polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio
Random copolymer, weight average molecular weight 37,000) 6.72 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53 parts

(バインダー1)
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比
のランダム共重合物、重量平均分子量4.4万 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
(Binder 1)
・ Benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio
Random copolymer, weight average molecular weight 44,000 27 parts, propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

(DPHA液)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24部
(DPHA solution)
・ Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500 ppm, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24 parts

(界面活性剤1)
・C613CH2CH2OCOCH=CH2 : 40部と
H(OCH(CH3)CH27OCOCH=CH2 : 55部と
H(OCH2CH27OCOCH=CH2 : 5部と
の共重合体、重量平均分子量3万 30部
・メチルエチルケトン 70部
(Surfactant 1)
C 6 F 13 CH 2 CH 2 OCOCH═CH 2 : 40 parts and H (OCH (CH 3 ) CH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 : 55 parts and H (OCH 2 CH 2 ) 7 OCOCH═CH 2 : 5 Department and
Copolymer, weight average molecular weight 30,000 30 parts, methyl ethyl ketone 70 parts

[隔壁の形成]
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
前記感光性転写材料K1の保護フイルムを剥離後、残りをラミネーター(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、残りを超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cm2でパターン露光した。
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該感光性樹脂層K1の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を純水で100倍に希釈したものにて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、マトリックス状ブラック(K)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光し、更に、該基板に対して該樹脂層と反対側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光し、その後、220℃、30分熱処理した。
[Partition formation]
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.
After the protective film of the photosensitive transfer material K1 is peeled off, the remainder is laminated on a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)), with a rubber roller temperature of 130 ° C. and a wire. Lamination was performed at a pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling off the temporary support, the rest is a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically The distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 .
Next, after spraying pure water with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer K1, a KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade name: CDK-1, FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) was diluted 100 times with pure water and shower developed at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove residues, and an image of matrix-like black (K) was obtained. Thereafter, the substrate is further post-exposed with 1000 mJ / cm 2 light from the side of the resin layer with an ultrahigh pressure mercury lamp, and further 1000 mJ / cm with an ultrahigh pressure mercury lamp from the side opposite to the resin layer. The film was post-exposed with the light No. 2 and then heat-treated at 220 ° C. for 30 minutes.

〔撥インク性の評価〕
上記熱処理後のブラックマトリックス(隔壁)基板におけるブラックマトリックスの上面及び基板のガラス面(凹部)について、純水に対する接触角を、前述の方法により測定した。ブラックマトリックス表面については微細パターンの周囲に設けられた幅5mmの額縁上にて測定を行い、ガラス基板表面については、該額縁外側のブラックマトリックスパターンの設けられていない箇所にて測定を行った。結果を表3に示す。
[Evaluation of ink repellency]
With respect to the upper surface of the black matrix and the glass surface (concave portion) of the black matrix (partition wall) substrate after the heat treatment, the contact angle with pure water was measured by the method described above. The black matrix surface was measured on a frame having a width of 5 mm provided around the fine pattern, and the glass substrate surface was measured at a location where the black matrix pattern outside the frame was not provided. The results are shown in Table 3.

また、ESCAによって、ブラックマトリックス上面のフッ素量を測定した。
パターン露光を同じ露光量でベタ露光とした測定用ベタサンプルを作製し、その表面のフッ素原子数と炭素原子数の比(フッ素原子数/炭素原子数)を測定した。測定装置は、アルバック−ファイ製、PHI−5300(検出角度45°)を用いた。
Further, the amount of fluorine on the upper surface of the black matrix was measured by ESCA.
A solid sample for measurement was prepared in which the pattern exposure was a solid exposure with the same exposure amount, and the ratio of the number of fluorine atoms to the number of carbon atoms (number of fluorine atoms / number of carbon atoms) on the surface was measured. As a measuring device, PHI-5300 (detection angle 45 °) manufactured by ULVAC-PHI was used.

[インクの調製]
次いで、下記に示す組成からなるアクリル系共重合体を熱硬化成分として用い、以下の組成にてR、G、Bの各インクを調製した。
[Preparation of ink]
Next, each of R, G, and B inks was prepared with the following composition using an acrylic copolymer having the following composition as a thermosetting component.

(硬化成分)
メチルメタクリレート 50部
ヒドロキシエチルメタクリレート 30部
N−メチロールアクリルアミド 20部
(Curing component)
Methyl methacrylate 50 parts Hydroxyethyl methacrylate 30 parts N-methylolacrylamide 20 parts

(Rインク)
C.I.アシッドオレンジ148 3.5部
C.I.アシッドレッド289 0.5部
ジエチレングリコール 30部
エチレングリコール 20部
イオン交換水 40部
上記硬化成分 6部
(R ink)
C. I. Acid Orange 148 3.5 parts C.I. I. Acid Red 289 0.5 part Diethylene glycol 30 parts Ethylene glycol 20 parts Ion-exchanged water 40 parts The above curing component 6 parts

(Gインク)
C.I.アシッドイエロー23 2部
亜鉛フタロシアニンスルホアミド 2部
ジエチレングリコール 30部
エチレングリコール 20部
イオン交換水 40部
上記硬化成分 6部
(G ink)
C. I. Acid Yellow 23 2 parts Zinc phthalocyanine sulfoamide 2 parts Diethylene glycol 30 parts Ethylene glycol 20 parts Ion-exchanged water 40 parts The above curing component 6 parts

(Bインク)
C.I.ダイレクトブルー199 4部
ジエチレングリコール 30部
エチレングリコール 20部
イオン交換水 40部
上記硬化成分 6部
(B ink)
C. I. Direct Blue 199 4 parts Diethylene glycol 30 parts Ethylene glycol 20 parts Ion-exchanged water 40 parts The above curing component 6 parts

次いでピエゾ方式、ノズル解像度180dpiのヘッドを搭載したインクジェット記録装置を用いて、ガラス基板上のブラックマトリックス(隔壁)の開口部(凹部)に上記に示す方法で調製したR、G、Bの顔料分散インクを所望の濃度になるように付与した。   Next, R, G, and B pigment dispersions prepared by the above-described method in the openings (recesses) of the black matrix (partitions) on the glass substrate using an inkjet recording apparatus equipped with a piezo-type head having a nozzle resolution of 180 dpi. Ink was applied to the desired concentration.

次いで、230℃で1時間の熱処理を行って該インクを硬化し、R、G、Bの着色部を有するカラーフィルタを形成した。   Next, heat treatment was performed at 230 ° C. for 1 hour to cure the ink, and a color filter having R, G, and B colored portions was formed.

〔カラーフィルタの評価〕
得られたカラーフィルタの、インクはみ出し及び混色を評価した。インクはみ出し及び混色の評価は、光学顕微鏡を用いて観察を行い、カラーフィルタの任意の3000画素について、インクはみ出し及び混色があるかないかを観察した。尚、インクはみ出し及び混色とは、図1に示すような現象をさす。
結果を表3に示す。許容されるのは全ての項目についてAランク、BランクまたはCランクのものである。
Aランク:全くないもの
Bランク:1〜2箇所のもの
Cランク:3〜4箇所のもの
Dランク:5〜10箇所のもの
Eランク:11箇所以上のもの
[Evaluation of color filter]
The obtained color filter was evaluated for ink protrusion and color mixture. The evaluation of ink protrusion and color mixture was observed using an optical microscope, and the presence or absence of ink protrusion and color mixture was observed for any 3000 pixels of the color filter. Ink overflow and color mixing refer to the phenomenon shown in FIG.
The results are shown in Table 3. Allowable is A rank, B rank or C rank for all items.
A rank: Nothing B rank: 1-2 places C rank: 3-4 places D rank: 5-10 places E rank: 11 places or more

〔段差測定(厚みムラ評価)〕
次いで、画素内の厚みムラ評価を行った。
Tencor社製の表面粗さ計P−10で任意の画素の表面形状を測定し、画素内の最も盛り上がった部分と、画素内の最も低い部分の高さの差を求めた。許容される段差は0.2μm以下である。
[Step measurement (thickness unevenness evaluation)]
Next, thickness unevenness evaluation within the pixel was performed.
The surface shape of an arbitrary pixel was measured with a surface roughness meter P-10 manufactured by Tencor, and the difference in height between the most raised part in the pixel and the lowest part in the pixel was obtained. The allowable step is 0.2 μm or less.

[液晶表示装置の作製]
−オーバーコート層−
その後、画素が形成された上記カラーフィルタをクリーンテック社の低圧水銀灯UV洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、透明オーバーコート剤を、膜の厚さが1.5μmになるように全面塗布後、230℃で40分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成するために下記の化学式(A)のポリアミック酸と化学式(B)のエポキシ化合物を3:1の質量比で混合して使用した。
[Production of liquid crystal display devices]
-Overcoat layer-
Thereafter, the color filter on which the pixels are formed is washed with a clean-tech low-pressure mercury lamp UV cleaning device to remove residues and foreign matters, and then a transparent overcoat agent is added so that the film thickness becomes 1.5 μm. After coating the entire surface, baking was performed at 230 ° C. for 40 minutes. At this time, in order to form a transparent overcoat layer, a polyamic acid of the following chemical formula (A) and an epoxy compound of the chemical formula (B) were mixed at a mass ratio of 3: 1.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

Figure 0004913750
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−ITOパターン(PVAモード)の形成−
前記オーバーコート層が形成されたガラス基板をスパッタ装置に入れて、100℃で1300Å厚さのITO(インヂウム錫酸化物)を全面真空蒸着した後、240℃で90分間アニールしてITOを結晶化し、フォト工程でITOパターンを作り王水で不要ITOをエッチングしてパターン形成を完了した。
-Formation of ITO pattern (PVA mode)-
The glass substrate on which the overcoat layer is formed is put in a sputtering apparatus, and 1300 mm thick ITO (indium tin oxide) is vacuum-deposited on the entire surface at 100 ° C., and then annealed at 240 ° C. for 90 minutes to crystallize the ITO. Then, an ITO pattern was formed by a photo process, and unnecessary ITO was etched with aqua regia to complete pattern formation.

−スペーサの形成−
上記ITO形成後の基板に対して、上記で作製した隔壁における、感光性樹脂組成物K1の処方を下記の感光性樹脂層用塗布液処方S1に変更し、表面処理層を下記処方PC1に変更した以外は、同様の方法を用いてスペーサを作製した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクを介して超高圧水銀灯により300mJ/cm2でプロキシミティー露光した。露光後、KOH現像液〔CDK−1(商品名)の100倍希釈液(pH=11.8)、富士写真フイルム(株)製〕を用いて未露光部の感光性樹脂層を溶解除去した。
続いて、230℃で30分間ベークし、ガラス基板上のITO膜の上に直径16μm、平均高さ3.7μmの透明な柱状スペーサパターンを形成した。
-Spacer formation-
With respect to the substrate after the ITO formation, the formulation of the photosensitive resin composition K1 in the partition wall prepared above is changed to the following coating solution formulation S1 for the photosensitive resin layer, and the surface treatment layer is changed to the following formulation PC1. A spacer was produced using the same method except that described above.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
Proximity exposure was performed at 300 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp through a predetermined photomask. After the exposure, the unexposed portion of the photosensitive resin layer was dissolved and removed using a KOH developer [CDK-1 (trade name) 100-fold diluted solution (pH = 11.8), manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.]. .
Subsequently, baking was performed at 230 ° C. for 30 minutes to form a transparent columnar spacer pattern having a diameter of 16 μm and an average height of 3.7 μm on the ITO film on the glass substrate.

*感光性樹脂層用塗布液の処方:S1
・メタクリル酸/アリルメタクリレート共重合体 …108部
(モル比=20/80、分子量40000)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合性モノマー) …64.7部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔4'−(N,N−ビスエトキシカルボ
ニルメチル)アミノ−3'−ブロモフェニル〕−s−トリアジン …6.24部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル …0.0336部
・ビクトリアピュアブルーBOHM(保土ヶ谷化学社製) …0.874部
・メガファックF780F …0.856部
(大日本インキ化学工業(株)製;界面活性剤)
・メチルエチルケトン …328部
・1−メトキシ−2−プロピルアセテート …475部
・メタノール …16.6部
* Prescription of coating solution for photosensitive resin layer: S1
-Methacrylic acid / allyl methacrylate copolymer: 108 parts (molar ratio = 20/80, molecular weight 40000)
Dipentaerythritol hexaacrylate (polymerizable monomer) 64.7 parts 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) amino-3'-bromophenyl ] -S-triazine 6.24 parts, hydroquinone monomethyl ether 0.00.03 parts, Victoria Pure Blue BOHM (Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.874 parts, MegaFuck F780F 0.856 parts (Made by Co., Ltd .; surfactant)
・ Methyl ethyl ketone: 328 parts ・ 1-methoxy-2-propyl acetate: 475 parts ・ Methanol: 16.6 parts

*中間層用塗布液:処方PC1
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
* Intermediate layer coating solution: Prescription PC1
・ PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd.,
Degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 parts · Polyvinylpyrrolidone (APS Japan, K-30) 14.9 parts · Distilled water 524 parts · Methanol 429 parts

上記で得られた液晶表示装置用基板を用いて、特開平11−242243号公報の第一実施例[0079]〜[0082]に記載の方法を用いて、実施例1の液晶表示装置を作製した。具体的には次のように液晶表示装置を作製した。   Using the liquid crystal display device substrate obtained above, the liquid crystal display device of Example 1 was produced using the method described in the first example [0079] to [0082] of JP-A-11-242243. did. Specifically, a liquid crystal display device was produced as follows.

最初に、基板100上部に金属膜を蒸着してパターニングすることでゲートパターン200、210及び共通パターン300、310を形成する。次に、ゲート絶縁膜400、非晶質シリコン層800、ドーピングされた非晶質シリコン層900を順に蒸着し、非晶質シリコン層800とドーピングされた非晶質シリコン層900とを共にパターニングする。   First, the gate patterns 200 and 210 and the common patterns 300 and 310 are formed by depositing and patterning a metal film on the substrate 100. Next, the gate insulating film 400, the amorphous silicon layer 800, and the doped amorphous silicon layer 900 are sequentially deposited, and the amorphous silicon layer 800 and the doped amorphous silicon layer 900 are patterned together. .

次に、クロム層とアルミニウム層をそれぞれ500Å、2000Å程度の厚さで順に蒸着する。ついで、アルミニウム膜502をパターニングした後、クロム膜501をパターニングする。こうして、データ線500、ソース電極510、ドレイン電極620及び画素パターン600、610を形成する。そして、ソース電極510及びドレイン電極620で覆わないドーピングされた非晶質シリコン層900をエッチングして抵抗接触層910、920を完成する。   Next, a chromium layer and an aluminum layer are sequentially deposited in thicknesses of about 500 mm and 2000 mm, respectively. Next, after the aluminum film 502 is patterned, the chromium film 501 is patterned. Thus, the data line 500, the source electrode 510, the drain electrode 620, and the pixel patterns 600 and 610 are formed. Then, the doped amorphous silicon layer 900 not covered with the source electrode 510 and the drain electrode 620 is etched to complete the resistive contact layers 910 and 920.

最後に、基板の全面に保護膜700を蒸着する。   Finally, a protective film 700 is deposited on the entire surface of the substrate.

〔液晶表示装置の評価〕
上記液晶表示装置に各種画像を表示させ、通常の液晶ディスプレイとして正常な表示ができるかを目視で評価した。結果を表3に示す。
[Evaluation of liquid crystal display devices]
Various images were displayed on the liquid crystal display device, and it was visually evaluated whether normal display was possible as a normal liquid crystal display. The results are shown in Table 3.

(実施例2)
実施例1の表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーa4.66部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 2)
Surface treatment layer coating solution of Example 1: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polymer a0.59 part of the formulation P1 was changed to 4.66 parts of polymer a.

(実施例3)
実施例1の表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーa10.3部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 3)
Coating liquid for surface treatment layer of Example 1: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polymer a0.59 part of the formulation P1 was changed to 10.3 part of the polymer a1.

(実施例4)
実施例3において、熱可塑性樹脂層の膜厚を14.6μmと変更し、さらに隔壁の形成方法を以下のように変更した以外は実施例3と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
Example 4
In Example 3, a liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 3 except that the thickness of the thermoplastic resin layer was changed to 14.6 μm and the method for forming the partition walls was changed as follows. Went.

−隔壁の形成−
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
-Formation of partition walls-
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

前記感光性転写材料K1の保護フイルムを剥離後、残りをラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、残りを超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cm2でパターン露光した。次に、トリエタノールアミン系現像液(30%のトリエタノールアミン含有、商品名:T−PD2、富士写真フイルム株式会社製)を純水で12倍に希釈した液にて30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と表面処理層を除去した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、および安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を純水で5倍に希釈した液を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング隔壁を得た。
After the protective film of the photosensitive transfer material K1 is peeled off, the remainder is laminated on a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)), with a rubber roller temperature of 130 ° C. and a wire. Lamination was performed at a pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling off the temporary support, the rest is a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically The distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 . Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) diluted 12 times with pure water at 30 ° C. for 50 seconds, flat Shower development was performed at a nozzle pressure of 0.04 MPa, and the thermoplastic resin layer and the surface treatment layer were removed.
Subsequently, a sodium carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% by weight sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer Containing photosensitive agent, trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) diluted 5 times with pure water and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds and cone-type nozzle pressure of 0.15 MPa. Was developed to obtain a patterning partition wall.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン性界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD3(富士写真フイルム株式会社製)」)を純水で10倍に希釈した液を用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、30分熱処理した。Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent and stabilizer, trade name “T-SD3 (Fuji Photo Film Co., Ltd.)”) diluted 10 times with pure water. The residue was removed with a rotating brush having a shower and nylon bristles at 33 ° C. for 20 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa to obtain a black (K) image. Thereafter, the substrate was further post-exposed with 1000 mJ / cm 2 of light from the resin layer side with an ultrahigh pressure mercury lamp, and then heat treated at 220 ° C. for 30 minutes.

(実施例5)
実施例1の表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部を前記ポリマーb4.66部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 5)
Coating liquid for surface treatment layer of Example 1: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 0.59 part of polymer a in formulation P1 was changed to 4.66 parts of polymer b. .

(実施例6)
熱可塑性樹脂層の膜厚を14.6μmと変更し、さらに、隔壁の形成方法を以下のように変更した以外は実施例5と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 6)
A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 5 except that the thickness of the thermoplastic resin layer was changed to 14.6 μm and the method for forming the partition walls was changed as follows.

−隔壁の形成−
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
-Formation of partition walls-
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

前記感光性転写材料K1の保護フイルムを剥離後、残りをラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、残りを超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cm2でパターン露光した。次に、トリエタノールアミン系現像液(30%のトリエタノールアミン含有、ノニオン性界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD2、富士写真フイルム株式会社製)を純水で12倍に希釈した液にて30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と表面処理層を除去した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.38モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、0.47モル/リットルの炭酸ナトリウム、5質量%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、および安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を純水で5倍に希釈した液を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング隔壁を得た。
After the protective film of the photosensitive transfer material K1 is peeled off, the remainder is laminated on a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)), with a rubber roller temperature of 130 ° C. and a wire. Lamination was performed at a pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling off the temporary support, the rest is a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically The distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 . Next, a triethanolamine developer (containing 30% triethanolamine, containing a nonionic surfactant, containing a polypropylene antifoaming agent, trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) with pure water Shower development was performed at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa with a solution diluted 12 times, and the thermoplastic resin layer and the surface treatment layer were removed.
Subsequently, a sodium carbonate-based developer (0.38 mol / liter sodium bicarbonate, 0.47 mol / liter sodium carbonate, 5% by weight sodium dibutylnaphthalenesulfonate, an anionic surfactant, an antifoaming agent, and a stabilizer Containing photosensitive agent, trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) diluted 5 times with pure water and shower-developed at 29 ° C. for 30 seconds and cone-type nozzle pressure of 0.15 MPa. Was developed to obtain a patterning partition wall.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン性界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD3(富士写真フイルム株式会社製)」)を純水で10倍に希釈した液を用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、30分熱処理した。Subsequently, a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent and stabilizer, trade name “T-SD3 (Fuji Photo Film Co., Ltd.)”) diluted 10 times with pure water. The residue was removed with a rotating brush having a shower and nylon bristles at 33 ° C. for 20 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.02 MPa to obtain a black (K) image. Thereafter, the substrate was further post-exposed with 1000 mJ / cm 2 of light from the resin layer side with an ultrahigh pressure mercury lamp, and then heat treated at 220 ° C. for 30 minutes.

また、液晶表示装置用基板の作製方法を以下のように変更した。
−液晶表示装置用基板の作製−
オーバーコート層を設けず、RGBの画素が形成済みカラーフィルタ上に透明電極膜をITOのスパッタリングにより形成した。該ITOを形成した基板上に下記の方法により液晶配向制御用突起を形成した以外は、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
Moreover, the manufacturing method of the board | substrate for liquid crystal display devices was changed as follows.
-Production of substrates for liquid crystal display devices-
Without providing an overcoat layer, a transparent electrode film was formed by sputtering ITO on a color filter on which RGB pixels had been formed. A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 except that liquid crystal alignment control protrusions were formed on the ITO-formed substrate by the following method.

−液晶配向制御用突起の形成−
実施例1で作製した隔壁において、感光性樹脂組成物K1の処方を下記の感光性樹脂層用塗布液処方T1に変更し、表面処理層を処方PC1に変更し、熱可塑性樹脂層を14.6μmとした以外は、実施例1と同じ方法を用いて液晶配向制御用突起を作製した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2でプロキシミティ露光した。その後、トリエタノールアミン系現像液(商品名:T−PD1、富士写真フイルム株式会社製)を純水で12倍に希釈した液を、シャワー式現像装置にて30℃で60秒間基板に噴霧して、熱可塑性樹脂層及び表面処理層を溶解除去した。この段階では、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。
続いて、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像し、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。カラーフィルタ側基板上には、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を230℃下で30分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に液晶配向制御用突起を形成した。
-Formation of liquid crystal alignment control protrusions-
In the partition wall produced in Example 1, the formulation of the photosensitive resin composition K1 was changed to the following coating solution formulation T1 for photosensitive resin layer, the surface treatment layer was changed to formulation PC1, and the thermoplastic resin layer was changed to 14. A liquid crystal alignment control protrusion was produced using the same method as in Example 1 except that the thickness was 6 μm.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
A proximity exposure machine was arranged so that the predetermined photomask was at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the proximity exposure was performed through the photomask with an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp. Thereafter, a solution obtained by diluting a triethanolamine developer (trade name: T-PD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) 12 times with pure water is sprayed onto a substrate at 30 ° C. for 60 seconds using a shower type developing device. Then, the thermoplastic resin layer and the surface treatment layer were dissolved and removed. At this stage, the photosensitive resin layer was not substantially developed.
Subsequently, the 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while sprayed onto a substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer were developed and removed. On the color filter side substrate, a liquid crystal alignment control protrusion made of a photosensitive resin layer patterned in a desired shape was formed.
Next, the liquid crystal display device substrate on which the liquid crystal alignment control protrusions were formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes to form liquid crystal alignment control protrusions on the liquid crystal display device substrate.

*感光性樹脂層用塗布液T1の組成
・ポジ型レジスト液(富士フイルムエレクトロニクス
マテリアルズ(株)製、FH−2413F) 53.3部
・メチルエチルケトン 46.7部
・メガファックF−780F(大日本インキ化学工業(株)製) 0.04部
* Composition of photosensitive resin layer coating solution T1 and positive resist solution (FUJIFILM Electronics
Materials Co., Ltd., FH-2413F) 53.3 parts ・ Methyl ethyl ketone 46.7 parts ・ Megafac F-780F (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.04 parts

*中間層塗布液:処方PC1
・PVA205(ポリビニルアルコール、(株)クラレ製、
鹸化度=88%、重合度550) 32.2部
・ポリビニルピロリドン(アイエスピー・ジャパン社製、K−30) 14.9部
・蒸留水 524部
・メタノール 429部
* Intermediate layer coating solution: Formula PC1
・ PVA205 (polyvinyl alcohol, manufactured by Kuraray Co., Ltd.,
Degree of saponification = 88%, degree of polymerization 550) 32.2 parts · Polyvinylpyrrolidone (APS Japan, K-30) 14.9 parts · Distilled water 524 parts · Methanol 429 parts

(実施例7)
表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーa12.3部に変更し、また液晶表示装置用基板の作製方法を以下のように変更した他は、実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 7)
Surface treatment layer coating solution: same as Example 1 except that the polymer a0.59 part of the formulation P1 was changed to polymer a12.3 part and the method for producing the substrate for liquid crystal display device was changed as follows. A liquid crystal display device was prepared and evaluated.

−液晶表示装置用基板の作製−
−オーバーコート層−
画素が形成された上記カラーフィルタをクリーンテック社の低圧水銀灯(有効波長254nm)UV洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、透明オーバーコート剤を、膜の厚さが1.5μmになるように全面塗布後、230℃で40分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成するために前記の化学式(A)のポリアミック酸と化学式(B)のエポキシ化合物を3:1の質量比で混合して使用した。
-Production of substrates for liquid crystal display devices-
-Overcoat layer-
The color filter on which the pixels are formed is cleaned with a clean-tech low-pressure mercury lamp (effective wavelength 254 nm) UV cleaning device to remove residues and foreign matters, and then the transparent overcoat agent is applied to a film thickness of 1.5 μm. After coating the entire surface, baking was performed at 230 ° C. for 40 minutes. At this time, the polyamic acid represented by the chemical formula (A) and the epoxy compound represented by the chemical formula (B) were mixed at a mass ratio of 3: 1 to form a transparent overcoat layer.

−液晶配向制御用突起の形成−
実施例1で作製した隔壁において、感光性樹脂組成物K1の処方を前記の感光性樹脂層用塗布液処方T1に変更し、表面処理層を前記処方PC1に変更し、熱可塑性樹脂層を14.6μmとした以外は、実施例1と同じ方法を用いて液晶配向制御用突起を作製した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2でプロキシミティ露光した。その後、トリエタノールアミン系現像液(商品名:T−PD2、富士写真フイルム株式会社製)を純水で12倍に希釈した液を、シャワー式現像装置にて30℃で60秒間基板に噴霧して、熱可塑性樹脂層及び表面処理層を溶解除去した。この段階では、感光性樹脂層は実質的に現像されていなかった。
続いて、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像し、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。カラーフィルタ側基板上には、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を230℃下で30分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に液晶配向制御用突起を形成した。
-Formation of liquid crystal alignment control protrusions-
In the partition wall produced in Example 1, the formulation of the photosensitive resin composition K1 was changed to the coating solution formulation T1 for the photosensitive resin layer, the surface treatment layer was changed to the formulation PC1, and the thermoplastic resin layer was changed to 14 A liquid crystal alignment control protrusion was produced using the same method as in Example 1 except that the thickness was set to 0.6 μm.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
A proximity exposure machine was arranged so that the predetermined photomask was at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the proximity exposure was performed through the photomask with an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp. Thereafter, a solution obtained by diluting a triethanolamine developer (trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) 12 times with pure water is sprayed onto the substrate at 30 ° C. for 60 seconds with a shower type developing device. Then, the thermoplastic resin layer and the surface treatment layer were dissolved and removed. At this stage, the photosensitive resin layer was not substantially developed.
Subsequently, the 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while sprayed onto a substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer were developed and removed. On the color filter side substrate, a liquid crystal alignment control protrusion made of a photosensitive resin layer patterned in a desired shape was formed.
Next, the liquid crystal display device substrate on which the liquid crystal alignment control protrusions were formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes to form liquid crystal alignment control protrusions on the liquid crystal display device substrate.

(実施例8)
実施例6の液晶表示装置用基板の作製方法において、実施例1と同様にオーバーコート層を設け、また、感光性樹脂層に対するパターン露光を250mj/cm2とした以外は実施例6と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 8)
In the method for producing a substrate for a liquid crystal display device of Example 6, an overcoat layer is provided in the same manner as in Example 1, and the same as in Example 6 except that the pattern exposure on the photosensitive resin layer is 250 mj / cm 2. A liquid crystal display device was prepared and evaluated.

(実施例9)
実施例5において隔壁の形成の際にKOH系現像液での現像時間を40秒とし、更に感光性樹脂層に対するパターン露光を250mj/cm2とした以外は実施例5と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
Example 9
In Example 5, liquid crystal display was performed in the same manner as in Example 5 except that the development time with the KOH-based developer was 40 seconds and the pattern exposure on the photosensitive resin layer was 250 mj / cm 2 when the partition walls were formed. A device was created and evaluated.

(実施例10)
実施例1の感光性転写材料の作製において熱可塑性樹脂層を設けず、また表面処理層用塗布液処方P1を下記処方EV1に変更し且つ該表面処理層の乾燥膜厚を16μmに変更して感光性転写材料EV1を形成し、更に隔壁の形成方法を以下のように変更した以外は、実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 10)
In the production of the photosensitive transfer material of Example 1, the thermoplastic resin layer was not provided, the coating liquid formulation P1 for the surface treatment layer was changed to the following formulation EV1, and the dry film thickness of the surface treatment layer was changed to 16 μm. A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive transfer material EV1 was formed and the partition wall formation method was changed as follows.

*表面処理層用塗布液処方:EV1
・エチレン−エチルアクリレート共重合樹脂 10部
(三井−デュポンポリケミカル社製、商品名:EVAFLEX−EEA−709)
・トルエン 100部
・ポリマーa 1.1部
* Surface treatment layer coating solution formulation: EV1
・ Ethylene-ethyl acrylate copolymer resin 10 parts (Mitsui-DuPont Polychemical Co., Ltd., trade name: EVAFLEX-EEA-709)
・ Toluene 100 parts ・ Polymer a 1.1 parts

−隔壁の形成−
前記感光性転写材料EV1の保護フイルムを剥離後、残りをラミネーター(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度100℃、線圧100N/cm、搬送速度1.2m/分でラミネートした。
超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cm2でパターン露光した。
次に、表面処理層とともに仮支持体を剥離し、基板上に感光性樹脂層のみを残した。
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該感光性樹脂層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を純水で100倍に希釈したものにて23℃40秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、マトリックス状ブラック(K)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光し、更に、該基板に対して該樹脂層と反対側から超高圧水銀灯で1000mJ/cm2の光でポスト露光し、その後、220℃、30分熱処理した。
-Formation of partition walls-
After the protective film of the photosensitive transfer material EV1 is peeled off, the rest is laminated on a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)), with a rubber roller temperature of 100 ° C. and a wire. Lamination was performed at a pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 1.2 m / min.
With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask having an image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and the photosensitive resin The distance between the layers was set to 200 μm, and pattern exposure was performed with an exposure amount of 200 mJ / cm 2 .
Next, the temporary support was peeled off together with the surface treatment layer, leaving only the photosensitive resin layer on the substrate.
Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer, and then a KOH-based developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade name: CDK-1, Fuji) Film Electronics Materials Co., Ltd.) was diluted 100 times with pure water and shower developed at 23 ° C. for 40 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove residues, and an image of matrix-like black (K) was obtained. Thereafter, the substrate is further post-exposed with 1000 mJ / cm 2 light from the side of the resin layer with an ultrahigh pressure mercury lamp, and further 1000 mJ / cm with an ultrahigh pressure mercury lamp from the side opposite to the resin layer. The film was post-exposed with the light No. 2 and then heat-treated at 220 ° C. for 30 minutes.

(実施例11)
実施例8において、表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーb4.66部をポリマーb10.3部に変更し、また、RGBインクを下記の方法によって調製されたものに変更した以外は、実施例8と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 11)
In Example 8, the coating solution for the surface treatment layer: implemented except that 4.66 parts of the polymer b in the formulation P1 was changed to 10.3 parts of the polymer b, and that the RGB ink was changed to that prepared by the following method. A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 8.

−インクの調製−
(Rインク)
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、R(赤色)画素用着色インク組成物を調製した。
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比
のランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、
油化シェル社製エピコート154) 2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル)5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
-Preparation of ink-
(R ink)
Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for R (red) pixels.
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio)
Random copolymer, weight average molecular weight 37,000) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin,
Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) 2 parts ・ Second epoxy resin (neopentylglycol diglycidyl ether) 5 parts ・ Curing agent (trimellitic acid) 4 parts ・ Solvent: 80 parts ethyl 3-ethoxypropionate

(Gインク)
また、上記Rインク組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかはR画素用着色インク組成物の場合と同様にしてG(緑色)画素用着色インク組成物を調製した。
(G ink)
In the R ink composition, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A colored ink composition for G (green) pixels was prepared in the same manner as for the colored ink composition for R pixels except that the same amount of pigment green 36 was used.

(Bインク)
さらに、上記Rインク組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかはR画素用着色インク組成物の場合と同様にしてB(青色)画素用着色インク組成物を調製した。
(B ink)
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A colored ink composition for B (blue) pixels was prepared in the same manner as for the colored ink composition for R pixels except that the same amount of Pigment Blue 15: 6 was used.

(実施例12)
実施例8においてブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の処方を下記K2に変更した以外は、実施例8と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 12)
A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 8 except that the formulation of the photosensitive resin composition for the black matrix in Example 8 was changed to K2 below.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

ここで、上記表2に記載の感光性樹脂組成物K2の調製について説明する。
感光性樹脂組成物K2は、まず表2に記載の量の顔料分散物2〜6、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpm10分間攪拌し、次いで、表2に記載の残りの成分をはかり取り、温度25℃(±2℃)で表2に記載の順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpm30分間攪拌することによって得られた。
Here, preparation of the photosensitive resin composition K2 described in Table 2 will be described.
In the photosensitive resin composition K2, first, pigment dispersions 2 to 6 and propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 2 were weighed, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), stirred at 150 rpm for 10 minutes, and then The remaining components described in Table 2 were weighed out, added in the order described in Table 2 at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at 150 rpm for 30 minutes at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.). .

なお、感光性樹脂組成物K2に記載の組成物の各組成は、以下の通りである。
(顔料分散物2)
・C.I.P.R.177(チバスペシャリティケミカルズ社製、
商品名:クロモフタルレッドA2B) 18部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比
(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%
プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 12部
・シクロヘキサノン 60部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 10部
In addition, each composition of the composition as described in the photosensitive resin composition K2 is as follows.
(Pigment dispersion 2)
・ C. I. P. R. 177 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals,
Product name: Chromophthaled Red A2B) 18 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 Weight average molecular weight = 40% of 30000
Propylene glycol monomethyl acetate solution] 12 parts ・ Cyclohexanone 60 parts ・ Propylene glycol monomethyl acetate 10 parts

(顔料分散物3)
・C.I.P.B.15:6
(BASFジャパン社製、商品名:Heliogen Blue L6700F) 18部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比
(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%
プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 15部
・シクロヘキサノン 50部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 17部
(Pigment dispersion 3)
・ C. I. P. B. 15: 6
(Product name: Heliogen Blue L6700F, manufactured by BASF Japan Ltd.) 18 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 Weight average molecular weight = 40% of 30000
Propylene glycol monomethyl acetate solution] 15 parts, cyclohexanone 50 parts, propylene glycol monomethyl acetate 17 parts

(顔料分散物4)
・C.I.P.Y.139(チバスペシャリティケミカルズ社製、
商品名:Irgaphor Yellow 2R-CF) 18部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比
(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%
プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 15部
・シクロヘキサノン 50部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 17部
(Pigment dispersion 4)
・ C. I. P. Y. 139 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals,
Product name: Irgaphor Yellow 2R-CF) 18 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 Weight average molecular weight = 40% of 30000
Propylene glycol monomethyl acetate solution] 15 parts, cyclohexanone 50 parts, propylene glycol monomethyl acetate 17 parts

(顔料分散物5)
・C.I.P.V.23(クラリアントジャパン社製、
商品名:Hostaperm Violet RL-NF) 12部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比
(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%
プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 18部
・シクロヘキサノン 60部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 10部
(Pigment dispersion 5)
・ C. I. P. V. 23 (manufactured by Clariant Japan,
Product name: Hostaperm Violet RL-NF) 12 parts benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 Weight average molecular weight = 40% of 30000
Propylene glycol monomethyl acetate solution] 18 parts, 60 parts of cyclohexanone, 10 parts of propylene glycol monomethyl acetate

(顔料分散物6)
・カーボンブラック(デグッサ社製、商品名:スペシャルブラック250) 15部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体[共重合組成比
(モル比)=72/28 重量平均分子量=30000の40%
プロピレングリコールモノメチルアセテート溶液] 23部
・シクロヘキサノン 60部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート 10部
(Pigment dispersion 6)
Carbon black (Degussa, trade name: Special Black 250) 15 parts Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer [copolymerization composition ratio (molar ratio) = 72/28 Weight average molecular weight = 40% of 30000
Propylene glycol monomethyl acetate solution] 23 parts / cyclohexanone 60 parts / propylene glycol monomethyl acetate 10 parts

(実施例13)
表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーc10.3部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 13)
Surface treatment layer coating solution: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 0.59 parts of polymer a in formulation P1 was changed to 10.3 parts of polymer c.

(実施例14)
表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーd18.3部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 14)
Surface treatment layer coating solution: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 0.59 part of polymer a in formulation P1 was changed to 18.3 parts of polymer d.

(実施例15)
表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーd36.7部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 15)
Surface treatment layer coating solution: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 0.59 part of polymer a in formulation P1 was changed to 36.7 parts of polymer d.

(実施例16)
表面処理層用塗布液:処方P1のポリマーa0.59部をポリマーe36.7部に変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(実施例17)
実施例8においてブラックマトリックス用の感光性樹脂組成物の処方を上記K3に変更した以外は、実施例8と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Example 16)
Surface treatment layer coating solution: A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that 0.59 parts of polymer a in formulation P1 was changed to 36.7 parts of polymer e.
(Example 17)
A liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Example 8, except that the formulation of the photosensitive resin composition for black matrix in Example 8 was changed to K3.

(比較例1)
実施例1の表面処理層用塗布液P1を、実施例1のスペーサーの形成に用いた前記表面処理層用塗布液PC1に変更し、また、RGBインクを実施例11に示すインクに変更した以外は実施例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Comparative Example 1)
The surface treatment layer coating liquid P1 of Example 1 was changed to the surface treatment layer coating liquid PC1 used for forming the spacer of Example 1, and the RGB ink was changed to the ink shown in Example 11 Produced a liquid crystal display device in the same manner as in Example 1 and evaluated it.

(比較例2)
先ず、比較例1と同様に隔壁を作製した。次に該隔壁を以下の方法でフッ素化処理した以外は比較例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価を行った。
(Comparative Example 2)
First, a partition wall was prepared in the same manner as in Comparative Example 1. Next, a liquid crystal display device was prepared and evaluated in the same manner as in Comparative Example 1 except that the partition walls were fluorinated by the following method.

−プラズマ処理−
プラズマ処理装置(特開2003-344640号公報の図12に記載の装置)を用いて、以下の条件にてプラズマ処理を行った。
使用ガス:O2ガス
圧力:25Pa
RFパワー:100W
処理時間:60sec
-Plasma treatment-
Plasma treatment was performed under the following conditions using a plasma treatment apparatus (apparatus described in FIG. 12 of JP-A-2003-344640).
Gas used: O 2 gas Pressure: 25 Pa
RF power: 100W
Processing time: 60 sec

−プラズマ処理−
前記と同様のプラズマ処理装置を用いて、以下の条件にて更にプラズマ処理を行った。
使用ガス:CF4ガス
圧力:25Pa
RFパワー:100W
処理時間:60sec
-Plasma treatment-
Plasma treatment was further performed under the following conditions using the same plasma treatment apparatus as described above.
Gas used: CF 4 gas Pressure: 25 Pa
RF power: 100W
Processing time: 60 sec

(比較例3)
比較例1の感光性転写材料K1を第1層と第2層からなる以下のものに変更し、さらに露光現像方法を以下に変更した以外は比較例1と同じようにして液晶表示装置を作成し、評価した。
(Comparative Example 3)
A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Comparative Example 1 except that the photosensitive transfer material K1 of Comparative Example 1 was changed to the following one consisting of the first layer and the second layer, and the exposure and development method was changed to the following. And evaluated.

〔隔壁の形成〕
第1層の膜厚は0.5μm、第2層の膜厚は1.5μmの転写フィルムとした。
・ベースフィルム
75μm膜厚のポリエチレンテレフタレートフィルム
・第1層
基材樹脂:メチルメタクリレート/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体 30部
光重合性モノマー:トリメチロールプロパントリアクリレート 25部
光重合開始剤:チバガイギー社製「イルガキュア907」 10部
フッ素系化合物:住友3M社製「フロラードFC−430」 5部
・第2層
新日鉄化学製「V−259BKレジスト」
(Formation of partition walls)
The first layer had a thickness of 0.5 μm, and the second layer had a thickness of 1.5 μm.
Base film 75 μm thick polyethylene terephthalate film 1st layer Base resin: 30 parts of methyl methacrylate / hydroxyethyl methacrylate copolymer Photopolymerizable monomer: 25 parts of trimethylolpropane triacrylate Photopolymerization initiator: manufactured by Ciba Geigy "Irgacure 907" 10 parts Fluorine-based compound: "Florard FC-430" manufactured by Sumitomo 3M 5 parts-Second layer "V-259BK resist" manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.

比較例1同様にラミネートし、次いで、隔壁形成用のフォトマスクを用いてベースフィルム側からパターン露光を行った後、ベースフィルムを剥離除去し、次いでアルカリ現像液(新日鉄化学製「V−2401ID」)を用いて第1層及び第2層を現像することにより、80μm×220μmの開口部を有する隔壁を形成した。   Lamination was performed in the same manner as in Comparative Example 1, and then pattern exposure was performed from the base film side using a photomask for forming a partition wall. Then, the base film was peeled and removed, and then an alkali developer (“V-2401ID” manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.). ) Was used to develop the first layer and the second layer, thereby forming a partition wall having an opening of 80 μm × 220 μm.

Figure 0004913750
Figure 0004913750

比較例2においては、ブラックマトリックスと純水との接触角は大きいものの、インクとの接触角が非常に小さく、混色などの故障が発生した。   In Comparative Example 2, although the contact angle between the black matrix and pure water was large, the contact angle with ink was very small, and a failure such as color mixing occurred.

インクはみ出し、混色および白抜けが発生している従来のカラーフィルタを概略的に示す平面図である。FIG. 6 is a plan view schematically showing a conventional color filter in which ink overflows, mixed colors, and white spots occur. 本発明の3層構成の感光性転写材料を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the photosensitive transfer material of 3 layer structure of this invention. 本発明の4層構成の感光性転写材料を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the photosensitive transfer material of 4 layer structure of this invention. 本発明に係るカラーフィルタ(白色光の表示装置(LCD)用)の模式的な断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a color filter (for a white light display device (LCD)) according to the present invention. 本発明に係るカラーフィルタ(青色光の表示装置(EL)用)の模式的な断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a color filter (for a blue light display device (EL)) according to the present invention.

Claims (13)

仮支持体と、重合性基を有するフッ素化合物を含有する表面処理層と、該表面処理層と接触する感光性樹脂層とをこの順に有する感光性転写材料。  A photosensitive transfer material comprising a temporary support, a surface treatment layer containing a fluorine compound having a polymerizable group, and a photosensitive resin layer in contact with the surface treatment layer in this order. 前記重合性基を有するフッ素化合物が、下記一般式(I)〜(V)よりなる群から選ばれる少なくとも1種のフッ素含有モノマーを用いて調製された高分子化合物であることを特徴とする請求項1に記載の感光性転写材料。
CH2=CR1COOR2f ・・・(I)
(式中、R1は水素原子又はメチル基を、R2は−Cp2p−、−C(Cp2p+1)H−、−CH2C(Cp2p+1)H−又は−CH2CH2O−を、Rfは−Cn2n+1、−(CF2nH、−(CF2pOCn2ni2i+1、−(CF2pOCm2mi2iH、−N(Cp2p+1)COCn2n+1又は−N(Cp2p+1)SO2n2n+1表わす。但し、pは1〜10、nは1〜16、mは0〜10、iは0〜16の整数である。)
CF2=CFORg ・・・(II)
(式中、Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CH2=CHRg ・・・(III)
(式中、Rgは炭素数1〜20のフルオロアルキル基を表わす。)
CH2=CR3COOR5j6OCOCR4=CH2 ・・・(IV)
(式中、R3およびR4は水素原子又はメチル基を、R5およびR6は−Cq2q−、−C(Cq2q+1)H−、−CH2C(Cq2q+1)H−又は−CH2CH2O−を、Rjは−Ct2t−を表わす。但し、qは1〜10、tは1〜16の整数である。)
CH2=CR7COOCH2CH(CH2k)OCOCR8=CH2・・・(V)
(式中、R7、R8は水素原子又はメチル基、Rkは−Cy2y+1を表わす。但し、yは1〜16の整数である。)
The fluorine compound having a polymerizable group is a polymer compound prepared using at least one fluorine-containing monomer selected from the group consisting of the following general formulas (I) to (V). Item 2. The photosensitive transfer material according to Item 1.
CH 2 = CR 1 COOR 2 R f (I)
(In the formula, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 2 represents —C p H 2p —, —C (C p H 2p + 1 ) H—, —CH 2 C (C p H 2p + 1 ) H. - or -CH 2 CH 2 O-, the R f -C n F 2n + 1 , - (CF 2) n H, - (CF 2) p OC n H 2n C i F 2i + 1, - (CF 2) p OC m H 2m C i F 2i H, -N (C p H 2p + 1) COC n F 2n + 1 or -N (C p H 2p + 1 ) SO 2 C n F 2n + 1 represents. However, p is 1-10, n is 1-16, m is 0-10, i is an integer of 0-16.)
CF 2 = CFOR g (II)
(In the formula, R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)
CH 2 = CHR g (III)
(In the formula, R g represents a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms.)
CH 2 = CR 3 COOR 5 R j R 6 OCOCR 4 = CH 2 ··· (IV)
Wherein R 3 and R 4 are hydrogen atoms or methyl groups, R 5 and R 6 are —C q H 2q —, —C (C q H 2q + 1 ) H—, —CH 2 C (C q H 2q + 1 ) H— or —CH 2 CH 2 O—, R j represents —C t F 2t —, where q is an integer of 1 to 10 and t is an integer of 1 to 16.
CH 2 = CR 7 COOCH 2 CH (CH 2 R k) OCOCR 8 = CH 2 ··· (V)
(Wherein R 7 and R 8 represent a hydrogen atom or a methyl group, R k represents —C y F 2y + 1 , where y is an integer of 1 to 16)
前記重合性基を有するフッ素化合物が、少なくとも下記構造式(1)で表される樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の感光性転写材料。
Figure 0004913750
(上記構造式(1)中、R11、R12、R13、R14およびR16は、独立に、水素原子、または総炭素数1〜5のアルキル基を表し、R15は、水素原子、総炭素数1〜12のアルキル基、または総炭素数6〜20のアリール基を表す。X1は、エステル基、アミド基、置換基を有していてもよいアリーレン基、あるいはこれらを有する連結基を表し、X2およびX3は、各々独立に、エーテル基、エステル基、アミド基、置換基を有していてもよいアリーレン基、ヘテロ環残基、あるいはこれらを有する連結基を表す。L1およびL2は、各々独立に、単結合でもよい2価の連結基を表す。Rf2は、フッ素を含む置換基を表す。a、b、cおよびdは、それぞれ質量比を表し、aは0〜30、bは1〜30、cは1〜30、dは20〜98を表す。)
The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the fluorine compound having a polymerizable group is at least a resin represented by the following structural formula (1).
Figure 0004913750
(In the above structural formula (1), R 11 , R 12 , R 13 , R 14 and R 16 independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms in total, and R 15 represents a hydrogen atom. Represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, X 1 is an ester group, an amide group, an arylene group which may have a substituent, or these X 2 and X 3 each independently represent an ether group, an ester group, an amide group, an arylene group which may have a substituent, a heterocyclic residue, or a linking group having these. L 1 and L 2 each independently represents a divalent linking group which may be a single bond, Rf 2 represents a substituent containing fluorine, a, b, c and d each represents a mass ratio. , A represents 0 to 30, b represents 1 to 30, c represents 1 to 30, and d represents 20 to 98. )
感光性樹脂層と表面処理層とを有する請求項1に記載の感光性転写材料を用い、前記感光性樹脂層が基板に接するように、前記感光性転写材料を基板に圧着し、
前記表面処理層を介して前記感光性樹脂層をパターン露光し、
前記感光性樹脂層を現像する
ことをこの順に有する隔壁の形成方法。
Using the photosensitive transfer material according to claim 1 having a photosensitive resin layer and a surface treatment layer, the photosensitive transfer material is pressure-bonded to the substrate so that the photosensitive resin layer is in contact with the substrate,
Pattern exposure of the photosensitive resin layer through the surface treatment layer,
Developing the said photosensitive resin layer The formation method of the partition which has this order.
前記パターン露光では、前記感光性樹脂層の前記基板と接する側と反対側の表面をフッ素化することを特徴とする請求項4に記載の隔壁の形成方法。  5. The method for forming a partition wall according to claim 4, wherein, in the pattern exposure, the surface of the photosensitive resin layer opposite to the side in contact with the substrate is fluorinated. 前記現像では、前記表面処理層を除去することを特徴とする請求項4に記載の隔壁の形成方法。  The method for forming a partition wall according to claim 4, wherein in the development, the surface treatment layer is removed. 請求項4に記載の方法により形成されたことを特徴とする隔壁。  A partition wall formed by the method according to claim 4. 感光性樹脂層の、前記基板と接する側と反対側の表面が表面処理層によりフッ素化されており、フッ素化された表面が露出していることを特徴とする請求項7に記載の隔壁。  The partition wall according to claim 7, wherein the surface of the photosensitive resin layer opposite to the side in contact with the substrate is fluorinated by the surface treatment layer, and the fluorinated surface is exposed. 遮光性を有することを特徴とする請求項7に記載の隔壁。  The partition wall according to claim 7, which has a light shielding property. 請求項7に記載の隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によって液滴を付与して画素を形成することを特徴とする光学素子の製造方法。  8. A method of manufacturing an optical element, wherein a pixel is formed by applying droplets to the recesses defined by the partition walls according to claim 7 by an ink jet method. 前記液滴が着色剤を含有することを特徴とする請求項10に記載の光学素子の製造方法。  The method of manufacturing an optical element according to claim 10, wherein the droplet contains a colorant. 基板上に、複数の画素と、該画素間を区切るように形成された隔壁と、を少なくとも有し、且つ請求項10に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする光学素子。  An optical element comprising at least a plurality of pixels and a partition formed so as to divide the pixels on a substrate and manufactured by the manufacturing method according to claim 10. 請求項12に記載の光学素子を備えることを特徴とする表示装置。  A display device comprising the optical element according to claim 12.
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