JP2007333880A - Manufacturing method of pixel separation wall for ink jet method, substrate with pixel separation wall for ink jet method, color filter, its manufacturing method and liquid crystal display apparatus - Google Patents

Manufacturing method of pixel separation wall for ink jet method, substrate with pixel separation wall for ink jet method, color filter, its manufacturing method and liquid crystal display apparatus Download PDF

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大助 柏木
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a pixel separation wall for an ink jet method which has a cross-sectional shape suitable for manufacturing RGB pixels of a color filter by the ink jet method and to provide a substrate with the pixel separation wall for the ink jet method manufactured by the method, the color filter using the same and having no color mixing, its manufacturing method and a liquid crystal display apparatus. <P>SOLUTION: The manufacturing method of the pixel separation wall for the ink jet method has at least a photosensitive resin layer formation process of forming a photosensitive resin layer which contains at least an optically acid generating agent, a bridging agent of bridging by an action of the optically acid generation agent, an alkali-soluble binder, a basic compound and a color material at least on one surface of the substrate, an exposure process of exposing the photosensitive resin layer to harden an exposed region and a development process of forming the pixel separation wall by removing the photosensitive resin layer of a non-exposed part. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット法用離画壁の製造方法、インクジェット法用離画壁付き基板、カラーフィルタ及びその製造方法並びに液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a method for producing a separation wall for an ink jet method, a substrate with a separation wall for an ink jet method, a color filter, a method for producing the same, and a liquid crystal display device.

表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色の離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、1)染色法、2)印刷法、3)着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法(着色レジスト法)(例えば、特許文献1参照。)、4)仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、5)予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法(転写方式)が知られている(例えば、特許文献2参照。)。またインクジェット法を用いる方法(特許文献3参照。)も知られている。   A color filter for a display device has a structure in which red, green, and blue dot-like images are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and the boundary is divided by a dark color separation wall such as a black matrix. As a manufacturing method of such a color filter, conventionally, a substrate such as glass is used as a support, 1) a dyeing method, 2) a printing method, 3) application of a colored photosensitive resin solution, and repeated exposure and development. Colored photosensitive resin liquid method (colored resist method) (see, for example, Patent Document 1) 4) Method of sequentially transferring images formed on a temporary support onto the final or temporary support 5) Pre-coloring A method in which a colored layer is formed by applying the photosensitive resin liquid on a temporary support, and the photosensitive colored layer is sequentially transferred directly onto the substrate, exposed, and developed for the number of colors. There is known a method (transfer method) for forming a multicolor image by the above (see, for example, Patent Document 2). A method using an ink jet method (see Patent Document 3) is also known.

これらの方法のうち、着色レジスト法は高い位置精度でカラーフィルタを作製できるものの、感光性樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方インクジェット法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。
これらを克服すべく、離画壁を着色レジスト法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法も提案されているが、作成された離画壁の断面形状を観察すると、上端やそのエッジが丸くなっており、後に打滴された各色インクが離画壁をのり越えやすいために、隣接画素と混色を起こし表示品位を低下させる。
Among these methods, although the color resist method can produce a color filter with high positional accuracy, it is not advantageous in terms of cost due to a large loss in application of the photosensitive resin solution. On the other hand, the ink-jet method has a problem that the positional accuracy of the pixels is poor, although the loss of the resin liquid is small and advantageous in terms of cost.
In order to overcome these problems, a color filter manufacturing method has been proposed in which a separation wall is formed by a colored resist method and an RGB pixel is produced by an inkjet method. In addition, since the edge of each color is easily rounded and each of the ink droplets that have been ejected later easily crosses the image separation wall, color mixing occurs with adjacent pixels, thereby degrading display quality.

従来、光ラジカル重合により露光部を硬化させて離画壁を形成していた。しかしこの従来の方法では、現像後の段階で、既に離画壁上部のエッジがなだらかな形状に形成されてしまい、離画壁として最適な形状とはならなかった。   Conventionally, the exposed portion is cured by photoradical polymerization to form a separation wall. However, in this conventional method, the edge of the upper part of the separation wall has already been formed into a gentle shape at the stage after development, and the optimum shape as the separation wall has not been achieved.

また、フォトスペーサ等の硬化樹脂パターンをカチオン重合により形成する方法が開示されている(例えば、特許文献4参照。)。しかし、RGB画素をインクジェット法で作製する際に用いられる離画壁については何ら触れられていない。
また、カラーフィルタなどのカラー画像層の形成に有用な化学増幅を利用した転写型の感光性樹脂組成物、それを用いた感光性転写シートが開示されている(例えば、特許文献5)。しかしながら、サイドエッジ低減と現像ラチチュード増大を謳っているが、硬化レジストの形状に関する記載はなかった。
特開平1−152449号公報 特開昭61−99102号公報 特開平8−227012号公報 特開2004−184441号公報 特開2002−351075号公報
Further, a method of forming a cured resin pattern such as a photo spacer by cationic polymerization is disclosed (for example, see Patent Document 4). However, there is no mention of a separation wall used when an RGB pixel is produced by an inkjet method.
Further, a transfer type photosensitive resin composition using chemical amplification useful for forming a color image layer such as a color filter, and a photosensitive transfer sheet using the same are disclosed (for example, Patent Document 5). However, there is no description regarding the shape of the cured resist, although it is sought to reduce the side edge and increase the development latitude.
Japanese Patent Laid-Open No. 1-152449 JP-A-61-99102 JP-A-8-227010 JP 2004-184441 A Japanese Patent Laid-Open No. 2002-351075

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタのRGB画素をインクジェット法で作製する際に好適な断面形状を有するインクジェット法用離画壁の製造方法及びその方法により製造されたインクジェット法用離画壁付き基板を提供することを目的とする。
さらに本発明は、このインクジェット法用離画壁付き基板を用いた混色のない高解像度のカラーフィルタ及びその製造方法並びにこのカラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and a method for manufacturing a separation wall for an inkjet method having a suitable cross-sectional shape when an RGB pixel of a color filter is manufactured by an inkjet method, and the method. It is an object of the present invention to provide a substrate with a separation wall for an inkjet method.
It is another object of the present invention to provide a color filter having high resolution without color mixing using the substrate with a separation wall for the ink jet method, a method for manufacturing the color filter, and a liquid crystal display device using the color filter.

前記実情に鑑み本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、上記課題を解決しうることを見出し本発明を完成した。
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
In view of the above circumstances, the present inventors have conducted extensive research and found that the above problems can be solved, thereby completing the present invention.
That is, the present invention is achieved by the following means.

即ち、本発明は、
<1>基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも有するインクジェット法用離画壁の製造方法。
That is, the present invention
<1> A photosensitive resin comprising at least one surface of a substrate containing at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material. A photosensitive resin layer forming step of forming a layer; an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region; and removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion to form a separation wall. And a developing step.

<2>基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも経て製造されたインクジェット法用離画壁付き基板。 <2> A photosensitive resin comprising at least one surface of a substrate containing at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material. A photosensitive resin layer forming step of forming a layer; an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region; and removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion to form a separation wall. A substrate with a separation wall for an ink jet method manufactured through at least a development step.

<3>基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも経て製造されたインクジェット法用離画壁付き基板を用い、前記離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有するカラーフィルタの製造方法。 <3> A photosensitive resin comprising at least one surface of a substrate containing at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material. A photosensitive resin layer forming step of forming a layer; an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region; and removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion to form a separation wall. A pixel that forms a pixel by applying a droplet of a colored liquid composition to a region separated by the separation wall by the inkjet method using a substrate with a separation wall for an inkjet method manufactured through at least a development step A method for producing a color filter having a forming step.

<4>上記<3>に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
<5>上記<4>に記載のカラーフィルタを有する液晶表示装置。
<4> A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to <3>.
<5> A liquid crystal display device having the color filter according to <4>.

本発明によれば、カラーフィルタのRGB画素をインクジェット法で作製する際に好適な断面形状を有するインクジェット法用離画壁の製造方法及びその方法により製造されたインクジェット法用離画壁付き基板を提供することができる。
さらに本発明によれば、このインクジェット法用離画壁付き基板を用いた混色のない高解像度のカラーフィルタ及びその製造方法並びにこのカラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供することができる。
According to the present invention, there is provided a method for producing a separation wall for an inkjet method having a cross-sectional shape suitable for producing RGB pixels of a color filter by the inkjet method, and a substrate with a separation wall for an inkjet method produced by the method. Can be provided.
Furthermore, according to the present invention, it is possible to provide a high-resolution color filter without color mixing using the substrate with a separation wall for the ink jet method, a method for manufacturing the color filter, and a liquid crystal display device using the color filter.

以下、本発明について説明する。なお、本発明において「インクジェット法用離画壁」とは、カラーフィルタの製造においてインクジェット法により画素を形成する際に用いられる離画壁をいう。
<インクジェット法用離画壁の製造方法及びインクジェット法用離画壁付き基板>
本発明のインクジェット法用離画壁(以下、単に「離画壁」と称することがある。)の製造方法は、基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも有する。
本発明のインクジェット法用離画壁付き基板は、本発明のインクジェット法用離画壁の製造方法により製造することができる。
The present invention will be described below. In the present invention, the “separation wall for inkjet method” refers to a separation wall used when pixels are formed by inkjet method in the production of a color filter.
<Method for producing separation wall for inkjet method and substrate with separation wall for inkjet method>
The method for producing a separation wall for ink jet method of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “separation wall”) includes a photoacid generator on at least one surface of a substrate, and the photoacid generator. A photosensitive resin layer forming step of forming a photosensitive resin layer including at least a crosslinking agent that crosslinks by an action, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material; and exposing the photosensitive resin layer to an exposed area At least an exposure process for curing the image forming layer and a developing process for forming a separation wall by removing the photosensitive resin layer in the unexposed area.
The board | substrate with the separation wall for inkjet methods of this invention can be manufactured with the manufacturing method of the separation wall for inkjet methods of this invention.

本発明インクジェット法用離画壁は、光を吸収して酸を発生する光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを含む感光性樹脂層を架橋反応をすることにより製造される。
本発明における架橋反応によれば、従来のラジカル重合と比較して酸素阻害による硬化不足に対する対策(貧酸素雰囲気下での重合等)を講じる必要がなく、また、現像後の段階でも、離画壁上端及びそのエッジが丸くなることがなく、急峻なインクジェット法用として最適な形状を形成することができる。
The separation wall for inkjet method of the present invention comprises a photoacid generator that absorbs light to generate an acid, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, a color It manufactures by carrying out the crosslinking reaction of the photosensitive resin layer containing a material.
According to the crosslinking reaction in the present invention, it is not necessary to take measures against insufficient curing due to oxygen inhibition (polymerization in a poor oxygen atmosphere, etc.) as compared with conventional radical polymerization, and separation is performed even at the stage after development. The upper end of the wall and its edge are not rounded, and an optimum shape can be formed for the steep inkjet method.

本発明における離画壁は、下記条件(1)及び(2)を満たしていることが好ましい
(1)基板と離画壁の断面の交点をA及びAとする。該離画壁の最も高さの高い点をHとし、Hから基板に下ろした垂線の足をGとし、Hを通り基板表面に平行な直線をLとする。HとGをHP:PG=1:3に内分する点をPとし、Pを通り基板表面に平行な直線をLとし、Lが離画壁の断面と交わる点をB、Bとする。AとAの距離をa、BとBの距離をbとするとき、b/aの値が0.8以上1.2以下である。
(2)600nmにおける吸光度A600と500nmにおける吸光度A500の比A600/A500が0.7〜1.4である。
Hanarega wall in the present invention, the intersection of cross-section that is preferably (1) a substrate and Hanarega wall meets the following conditions (1) and (2) and A 1 and A 2. Let H be the highest point of the separation wall, G be a leg of a perpendicular line from H to the substrate, and L 0 be a straight line passing through H and parallel to the substrate surface. A point that internally divides H and G into HP: PG = 1: 3 is defined as P, a straight line passing through P and parallel to the substrate surface is defined as L 1 , and a point where L 1 intersects the cross section of the separation wall is represented by B 1 , B 2 . When the distance between A 1 and A 2 is a and the distance between B 1 and B 2 is b, the value of b / a is 0.8 or more and 1.2 or less.
(2) The ratio A 600 / A 500 of the absorbance A 600 at 600 nm and the absorbance A 500 at 500 nm is 0.7 to 1.4.

良好な画質のカラーフィルタを得るためには、前記の各画素間の混色を防ぐこと以外に離画壁の色調が重要である。離画壁の側面は通常、垂直でない(b/a値が1未満)ので、画素の周囲部分では赤青緑などの画素の色と離画壁の色が加わった色が表示されることになる。即ち、赤青緑などの画素の色が如何に純色であっても離画壁の色が無彩色でないと画面全体で見ると良好な色調にならない。
離画壁色調としては漆黒であることが望ましい。従って、離画壁の色材としては、例えばカーボンブラック、チタンブラック、黒鉛、金属化合物(例えば、酸化鉄、酸化チタン)などの黒色の色材を用いることが好ましい。しかしながら、一般に黒色色材(黒色顔料や黒色染料)と呼ばれているものでも厳密には完全な黒色(可視光の吸光度が、全波長域にわたり等しい)というわけではない。例えば代表的な黒色顔料であるカーボンブラックの場合でも色調は作成方法、粒径、ストラクチャー等により変化するが、特に粒径がこの色調に大きく寄与する。粒径については、10〜75nmが好ましく、より好ましくは12〜50nm、更に15〜40nmの範囲が好ましい。粒径が10nm未満であったり、75nmを超えると、A600/A500の値が0.7〜1.4の範囲から外れるために好ましくない。
尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。
In order to obtain a color filter with good image quality, the color tone of the separating wall is important in addition to preventing the color mixture between the pixels. Since the side of the image separation wall is usually not vertical (b / a value is less than 1), a color obtained by adding the color of the pixel such as red, blue and green and the color of the image separation wall is displayed around the pixel. Become. In other words, no matter how pure the color of pixels such as red, blue, and green, if the color of the image separation wall is not achromatic, the color tone will not be good when viewed on the entire screen.
The color of the image separation wall is preferably jet black. Therefore, it is preferable to use a black color material such as carbon black, titanium black, graphite, or a metal compound (for example, iron oxide or titanium oxide) as the color material for the separation wall. However, what is generally called a black color material (black pigment or black dye) is not strictly black (absorbance of visible light is equal over the entire wavelength range). For example, even in the case of carbon black, which is a typical black pigment, the color tone varies depending on the preparation method, the particle size, the structure, and the like, but the particle size greatly contributes to this color tone. The particle diameter is preferably 10 to 75 nm, more preferably 12 to 50 nm, and further preferably 15 to 40 nm. If the particle size is less than 10 nm or exceeds 75 nm, the value of A 600 / A 500 is not preferable because it is out of the range of 0.7 to 1.4.
The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a number of particles, This 100 average value is said.

本発明における感光性樹脂層は、光酸発生剤と架橋剤とアルカリ可溶性バインダーと塩基性化合物と色材とを少なくとも含む感光性樹脂組成物を塗布する方法(塗布法)や該感光性樹脂組成物により形成された感光性樹脂層を有する感光性転写材料を転写する方法(転写法)により形成される。
以下、感光性樹脂組成物及び感光性転写材料について説明する。
The photosensitive resin layer in the present invention is a method (coating method) for applying a photosensitive resin composition containing at least a photoacid generator, a crosslinking agent, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material, or the photosensitive resin composition. It is formed by a method (transfer method) of transferring a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer formed of an object.
Hereinafter, the photosensitive resin composition and the photosensitive transfer material will be described.

[感光性樹脂組成物]
基板上のインクジェット法用離画壁は、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂組成物(「濃色感光性樹脂組成物」又は「濃色組成物」ともいう。)から形成される。
ここで、濃色組成物とは、555nmにおいて高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。
また、この濃色組成物は、後述するように光酸発生剤から生成する酸の触媒作用により架橋反応を起こして硬化する為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0であり、好ましくは2.5〜6.0、最も好ましいのは3.0〜5.0である。2.0未満では離画壁形状が望みのものとならない恐れがあり、10.0を超えると、架橋反応を開始することができず離画壁そのものを作ることが困難となる。
以下、該組成物中の成分について説明する。
[Photosensitive resin composition]
A separation wall for an inkjet method on a substrate is a photosensitive resin comprising at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material. It is formed from a composition (also referred to as “dark color photosensitive resin composition” or “dark color composition”).
Here, the dark color composition is a composition having a high optical density at 555 nm, and its value is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and more preferably 2.5 to 6 0.0 is more preferable, and 3.0 to 5.0 is particularly preferable.
In addition, since the dark color composition is cured by causing a crosslinking reaction by the catalytic action of an acid generated from a photoacid generator as will be described later, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is 2.0 to 10.0, preferably 2.5 to 6.0, and most preferably 3.0 to 5.0. If it is less than 2.0, the shape of the separation wall may not be as desired, and if it exceeds 10.0, the crosslinking reaction cannot be started and it is difficult to produce the separation wall itself.
Hereinafter, the components in the composition will be described.

(光酸発生剤)
光照射により酸を発生する光酸発生剤には、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル等が挙げられる。これらのなかでは有機ハロゲン化合物が好ましく、特に、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキサジアゾール化合物が好ましい。具体的にはハロメチル化トリアジン化合物は一般式(1)で示される。
(Photoacid generator)
Examples of the photoacid generator that generates an acid by light irradiation include organic halogen compounds, onium salts, and sulfonic acid esters. Among these, organic halogen compounds are preferable, and halomethylated triazine and halomethylated oxadiazole compounds are particularly preferable. Specifically, the halomethylated triazine compound is represented by the general formula (1).

Figure 2007333880
Figure 2007333880

(式中R及びRは、ハロメチル基であり、Yは炭素数5以上の有機基である。)
ハロメチル基としては、例えばトリクロロメチル基、トリブロモメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル基などがあり、炭素数5以上の有機基としては、例えば置換基を有していてもよい、フェニル基、ナフチル基、スチリル基、スチリルフェニル基、フリルビニル基、四級化アミノエチルアミノ基などがある。ハロメチル化トリアジン化合物の具体例としては、以下の式(2)〜(23)で示される化合物がある。
(Wherein R 1 and R 2 are halomethyl groups, and Y is an organic group having 5 or more carbon atoms.)
Examples of the halomethyl group include a trichloromethyl group, a tribromomethyl group, a dichloromethyl group, and a dibromomethyl group. Examples of the organic group having 5 or more carbon atoms include a phenyl group that may have a substituent, Examples include naphthyl group, styryl group, styrylphenyl group, furylvinyl group, quaternized aminoethylamino group. Specific examples of the halomethylated triazine compound include compounds represented by the following formulas (2) to (23).

Figure 2007333880
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Figure 2007333880
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Figure 2007333880
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一般式(1)で示されるハロメチル化トリアジン化合物の中でも好ましいものは、以下の一般式(24)〜(26)で示される化合物である。   Among the halomethylated triazine compounds represented by the general formula (1), preferred are compounds represented by the following general formulas (24) to (26).

Figure 2007333880
Figure 2007333880

式中R及びRは、ハロメチル基であり、Rはそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシ基であり、nは0〜3の整数である。 In the formula, R 1 and R 2 are halomethyl groups, R is independently an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 3.

Figure 2007333880
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式中R 及びR は、ハロメチル基であり、Rはそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシ基であり、nは0〜3の整数である。 In the formula, R 1 and R 2 are halomethyl groups, R is independently an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 3.

Figure 2007333880
Figure 2007333880

式中R及びRは、ハロメチル基であり、Rはそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基であり、nは0〜1の整数である。一般式(24)〜(26)で示される化合物の中でも好ましいものは、R及びRがトリクロロメチル基であり、Rの炭素数が1〜2であり、一般式(24)、(25)ではnが0〜2の整数であり、一般式(26)は0〜1の整数である化合物である。
ハロメチル化オキサジアゾール化合物は、一般式(27)で示される。
In the formula, R 1 and R 2 are halomethyl groups, R is independently an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 1. Among the compounds represented by the general formulas (24) to (26), R 1 and R 2 are trichloromethyl groups, R has 1 to 2 carbon atoms, and the general formulas (24) and (25 ), N is an integer of 0 to 2, and the general formula (26) is a compound of 0 to 1.
The halomethylated oxadiazole compound is represented by the general formula (27).

Figure 2007333880
Figure 2007333880

式中Rは、ハロメチル基であり、Zは置換基を有していてもよいベンゾフリル基またはベンゾフリルビニル基である。ハロメチル化オキサジアゾール化合物の具体例としては、以下の式(28)〜(45)で示される化合物がある。 In the formula, R 3 is a halomethyl group, and Z is a benzofuryl group or a benzofurylvinyl group which may have a substituent. Specific examples of the halomethylated oxadiazole compound include compounds represented by the following formulas (28) to (45).

Figure 2007333880
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Figure 2007333880
Figure 2007333880

Figure 2007333880
Figure 2007333880

一般式(27)で示されるハロメチル化オキサジアゾール化合物の中でも好ましいのは、以下の一般式(46)で示される化合物である。   Among the halomethylated oxadiazole compounds represented by the general formula (27), a compound represented by the following general formula (46) is preferable.

Figure 2007333880
Figure 2007333880

式中、Rはハロメチル基であり、Rはそれぞれ独立して炭素数1〜4のアルキル基または炭素数1〜4のアルコキシ基であり、nは0〜2の整数である。さらに好ましいのは、Rがトリクロロメチル基であり、Rがそれぞれ独立して炭素数1〜2のアルキル基またはアルコキシ基であり、nが0〜1の整数である化合物である。 In the formula, R 3 is a halomethyl group, each R is independently an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 2. Further preferred are compounds in which R 3 is a trichloromethyl group, each R is independently an alkyl group or alkoxy group having 1 to 2 carbon atoms, and n is an integer of 0 to 1.

光酸発生剤は、感光性樹脂層中の固形分に対して、0.05〜15質量%、好ましくは5〜15質量%である。光酸発生剤の含有量が15質量%を超えると、パターンが膨潤してしまい、0.05質量%未満であると、露光によって十分な量の酸が発生しないので、感光性樹脂(アルカリ可溶性バインダー)と架橋剤との架橋が不充分となり現像後の残膜率が低下し、画像の耐熱性、耐薬品性等が低下しやすくなる場合がある。   A photo-acid generator is 0.05-15 mass% with respect to solid content in the photosensitive resin layer, Preferably it is 5-15 mass%. When the content of the photoacid generator exceeds 15% by mass, the pattern swells, and when it is less than 0.05% by mass, a sufficient amount of acid is not generated by exposure. In some cases, the crosslinking between the binder) and the crosslinking agent becomes insufficient, resulting in a decrease in the remaining film ratio after development, and the heat resistance and chemical resistance of the image are likely to be decreased.

(架橋剤)
本発明における感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性バインダーとの間で架橋反応を起こして硬化するため架橋剤を含有する。
架橋剤は、酸の作用により硬化作用を有する。架橋剤としては、架橋置換基を少なくとも1種以上有する置換基(以下、「架橋性置換基」という。)を有する化合物を挙げることもできる。
(Crosslinking agent)
The photosensitive resin composition in the present invention contains a crosslinking agent because it cures by causing a crosslinking reaction with an alkali-soluble binder.
The crosslinking agent has a curing action due to the action of an acid. Examples of the crosslinking agent include compounds having a substituent having at least one or more crosslinking substituents (hereinafter referred to as “crosslinkable substituent”).

このような架橋性置換基の具体例としては、例えば(i)ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、アセトキシアルキル基等のヒドロキシアルキル基またはその誘導体;
(ii)ホルミル基、カルボキシアルキル基等のカルボニル基またはその誘導体;
(iii)ジメチルアミノメチル基、ジエチルアミノメチル基、ジメチロールアミノメチル基、ジエチロールアミノメチル基、モルホリノメチル基等の含窒素基含有置換基;
(iv)グリシジルエーテル基、グリシジルエステル基、グリシジルアミノ基等のグリシジル基含有置換基;
(v)ベンジルオキシメチル基、ベンゾイロキシメチル基等のアリルオキシアルキル基、アラルキルオキシアルキル基等の芳香族誘導体;
(vi)ビニル基、イソプロペニル基等の重合性多重結合含有置換基等を挙げることができる。
本発明の架橋剤の架橋性置換基としては、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基等が好ましく、特にアルコキシメチル基が好ましい。
Specific examples of such a crosslinkable substituent include, for example, (i) a hydroxyalkyl group such as a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group, an acetoxyalkyl group, or a derivative thereof;
(Ii) a carbonyl group such as a formyl group, a carboxyalkyl group or a derivative thereof;
(Iii) nitrogen-containing group-containing substituents such as dimethylaminomethyl group, diethylaminomethyl group, dimethylolaminomethyl group, diethylolaminomethyl group, morpholinomethyl group;
(Iv) Glycidyl group-containing substituents such as glycidyl ether group, glycidyl ester group, glycidylamino group;
(V) Aromatic derivatives such as allyloxyalkyl groups such as benzyloxymethyl group and benzoyloxymethyl group, and aralkyloxyalkyl groups;
(Vi) Substituents containing polymerizable multiple bonds such as vinyl groups and isopropenyl groups.
As the crosslinkable substituent of the crosslinking agent of the present invention, a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group or the like is preferable, and an alkoxymethyl group is particularly preferable.

前記架橋性置換基を有する架橋剤としては、例えば(i)メチロール基含有メラミン化合物、メチロール基含有ベンゾグアナミン化合物、メチロール基含有ウレア化合物、メチロール基含有グリコールウリル化合物、メチロール基含有フェノール化合物等のメチロール基含有化合物;
(ii)アルコキシアルキル基含有メラミン化合物、アルコキシアルキル基含有ベンゾグアナミン化合物、アルコキシアルキル基含有ウレア化合物、アルコキシアルキル基含有グリコールウリル化合物、アルコキシアルキル基含有フェノール化合物等のアルコキシアルキル基含有化合物;
(iii)カルボキシメチル基含有メラミン化合物、カルボキシメチル基含有ベンゾグアナミン化合物、カルボキシメチル基含有ウレア化合物、カルボキシメチル基含有グリコールウリル化合物、カルボキシメチル基含有フェノール化合物等のカルボキシメチル基含有化合物;
(iv)ビスフェノールA系エポキシ化合物、ビスフェノールF系エポキシ化合物、ビスフェノールS系エポキシ化合物、ノボラック樹脂系エポキシ化合物、レゾール樹脂系エポキシ化合物、ポリ(ヒドロキシスチレン)系エポキシ化合物等のエポキシ化合物等を挙げることができる。
Examples of the crosslinking agent having a crosslinkable substituent include (i) methylol groups such as (i) methylol group-containing melamine compounds, methylol group-containing benzoguanamine compounds, methylol group-containing urea compounds, methylol group-containing glycoluril compounds, and methylol group-containing phenol compounds. Containing compounds;
(Ii) alkoxyalkyl group-containing compounds such as alkoxyalkyl group-containing melamine compounds, alkoxyalkyl group-containing benzoguanamine compounds, alkoxyalkyl group-containing urea compounds, alkoxyalkyl group-containing glycoluril compounds, alkoxyalkyl group-containing phenol compounds;
(Iii) Carboxymethyl group-containing compounds such as carboxymethyl group-containing melamine compounds, carboxymethyl group-containing benzoguanamine compounds, carboxymethyl group-containing urea compounds, carboxymethyl group-containing glycoluril compounds, carboxymethyl group-containing phenol compounds;
(Iv) Examples include bisphenol A-based epoxy compounds, bisphenol F-based epoxy compounds, bisphenol S-based epoxy compounds, novolac resin-based epoxy compounds, resol resin-based epoxy compounds, and epoxy compounds such as poly (hydroxystyrene) -based epoxy compounds. it can.

本発明における架橋剤は、アルコキシメチル化メラミン化合物またはその樹脂、またはアルコキシメチル化グリコールウリル化合物またはその樹脂が好ましい。特に好ましい架橋剤としては、下記式(47)で示されるアルコキシメチル化ウレア化合物または式(48)で示されるアルコキシメチル化グリコールウリル化合物を挙げることができる。   The crosslinking agent in the present invention is preferably an alkoxymethylated melamine compound or a resin thereof, or an alkoxymethylated glycoluril compound or a resin thereof. Particularly preferred crosslinking agents include alkoxymethylated urea compounds represented by the following formula (47) or alkoxymethylated glycoluril compounds represented by the formula (48).

Figure 2007333880
Figure 2007333880

ここでRは、炭素数1〜4のアルキル基である。 Here, R 3 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

Figure 2007333880
Figure 2007333880

ここでRは、炭素数1〜4のアルキル基である。 Here, R 4 is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.

前記式(47)および式(48)において、アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等を挙げることができる。
前記架橋剤は、例えばメラミン化合物やグリコールウリル化合物とホルマリンを縮合反応させてメチロール基を導入した後、さらにメチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコール等の低級アルコール類でエーテル化し、次いで反応液を冷却して析出する化合物またはその樹脂を回収することで得られる。また前記架橋剤は、CYMEL(商品名、三井サイアナミッド製)、ニカラッド(三和ケミカル製)のような市販品としても入手することができる。
In the formula (47) and formula (48), examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group.
The cross-linking agent is, for example, after condensing a melamine compound or glycoluril compound and formalin to introduce a methylol group, and then etherifying with a lower alcohol such as methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, butyl alcohol, etc. It is obtained by recovering the compound or its resin which cools and precipitates. The crosslinking agent can also be obtained as a commercial product such as CYMEL (trade name, manufactured by Mitsui Cyanamid) or Nicarad (manufactured by Sanwa Chemical).

架橋剤としてはメラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル又は尿素にホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそれらのアルキル変性化合物、エポキシ化合物、レゾール化合物等が有効であり、その具体例は、次のとおりである。   As the cross-linking agent, melamine, benzoguanamine, glycoluril, urea, a compound in which formaldehyde is allowed to act, or an alkyl-modified compound thereof, an epoxy compound, a resole compound, and the like are effective. Specific examples thereof are as follows.

具体的には、三井サイアナミド社のサイメル(登録商標)300、301、303、350、736、738、370、771、325、327、703、701、266、267、285、232、235、238、1141、272、254、202、1156、1158及び三和ケミカル製のニカラッド(登録商標)MW−30M、MW−30、MW−22、MS−11、MS−001、MX−730、MX−750、MX−706、MX−035は、メラミンにホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物の例である。サイメル(登録商標)1123、1125、1128は、ベンゾグアナミンにホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物の例である。サイメル(登録商標)1170、1171、1174、1172はグリコールウリルにホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物の例である。
尿素にホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物の例として三井サイアナミド社のUFR(登録商標)65、300を挙げることができる。
Specifically, Mitsui Cyanamid's Cymel (registered trademark) 300, 301, 303, 350, 736, 738, 370, 771, 325, 327, 703, 701, 266, 267, 285, 232, 235, 238, 1141,272,254,202,1156,1158 and Nikarad (registered trademark) MW-30M, MW-30, MW-22, MS-11, MS-001, MX-730, MX-750 manufactured by Sanwa Chemical, MX-706 and MX-035 are examples of compounds in which formaldehyde is allowed to act on melamine or alkyl-modified products thereof. Cymel (registered trademark) 1123, 1125, and 1128 are examples of a compound obtained by allowing formaldehyde to act on benzoguanamine or an alkyl-modified product thereof. Cymel (registered trademark) 1170, 1171, 1174, and 1172 are examples of compounds obtained by allowing formaldehyde to act on glycoluril or alkyl-modified products thereof.
UFR (registered trademark) 65, 300 of Mitsui Cyanamid Co., Ltd. can be given as an example of a compound obtained by reacting urea with formaldehyde or an alkyl modified product thereof.

エポキシ化合物の例として、ノボラックエポキシ樹脂(東都化成社製VDPN−638、701、702、703、704等)、アミンエポキシ樹脂(東都化成社製YH−434等)、ビスフェノールAエポキシ樹脂、ソルビトール(ポリ)グリシジルエーテル、(ポリ)グリセロール(ポリ)グリシジルエーテル、ペンタエリスリトール(ポリ)グリシジルエーテル、トリグリシジルトリスヒドロキシエチルイソシアヌレート、アリルグリシジルエーテル、エチルヘキシルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、フェノールグリシジルエーテル、ラウリルアルコールグリシジルエーテル、アジピン酸グリシジルエーテル、フタル酸グリシジルエーテル、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、グリシジルフタルイミド、(ポリ)エチレングリコールグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、グリセリンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル等を挙げることができる。   Examples of epoxy compounds include novolak epoxy resins (VDPN-638, 701, 702, 703, 704, etc. manufactured by Tohto Kasei), amine epoxy resins (YH-434, manufactured by Tohto Kasei), bisphenol A epoxy resin, sorbitol (poly ) Glycidyl ether, (poly) glycerol (poly) glycidyl ether, pentaerythritol (poly) glycidyl ether, triglycidyl trishydroxyethyl isocyanurate, allyl glycidyl ether, ethyl hexyl glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, phenol glycidyl ether, lauryl alcohol glycidyl ether Glycidyl ether adipate, glycidyl phthalate, dibromophenyl glycidyl ether, dibromoneopentyl glycol Glycidyl ether, glycidyl phthalimide, may be mentioned (poly) ethylene glycol glycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, glycerol polyglycidyl ether, trimethylolpropane polyglycidyl ether, butyl glycidyl ether.

この中で特に好ましい化合物として、分子中に−N(CHOR)基を有する化合物(式中、Rは水素原子またはアルキル基を示す)が挙げられる。
詳しくは、尿素あるいはメラミンにホルムアルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物が特に好ましい。
レゾール化合物の例として、群栄化学社製のPP−3000s、PP−3000A、RP−2978、SP−1974、SP−1975、SP−1976、SP−1977、RP−3973等が挙げられる。
これらの架橋剤は、1種単独で用いても、2種以上を併用しても良い。
Among these, particularly preferred compounds include compounds having a —N (CH 2 OR) 2 group in the molecule (wherein R represents a hydrogen atom or an alkyl group).
Specifically, a compound obtained by reacting formaldehyde with urea or melamine or an alkyl-modified product thereof is particularly preferable.
Examples of the resol compound include PP-3000s, PP-3000A, RP-2978, SP-1974, SP-1975, SP-1976, SP-1977, and RP-3972 manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.
These crosslinking agents may be used alone or in combination of two or more.

架橋剤の感光性樹脂組成物(感光性樹脂層)中における含有量としては、アルカリ可溶性バインダーの量に対して、好ましくは5〜70質量%、より好ましくは10〜40質量%である。架橋剤の含有量が70質量%を超えると、感光性樹脂組成物表面にベタツキが生じ、取り扱い性に難を生じる場合があり、また、架橋剤の含有量が5質量%未満となると、アルカリ可溶性バインダーと架橋剤との架橋が不十分となり、現像後の残膜率が低下し、感光性樹脂組成物を離画壁形成に用いて形成された離画壁は上部及びそのエッジが丸みを帯びてしまい、急峻なインクジェット法用の離画壁を形成することができない場合がある。   As content in the photosensitive resin composition (photosensitive resin layer) of a crosslinking agent, Preferably it is 5-70 mass% with respect to the quantity of an alkali-soluble binder, More preferably, it is 10-40 mass%. If the content of the crosslinking agent exceeds 70% by mass, the surface of the photosensitive resin composition may become sticky, resulting in difficulty in handling, and if the content of the crosslinking agent is less than 5% by mass, Cross-linking between the soluble binder and the cross-linking agent becomes insufficient, resulting in a decrease in the remaining film ratio after development, and the separation wall formed using the photosensitive resin composition for forming the separation wall is rounded at the top and its edges. In some cases, a sharp separation wall for the ink jet method cannot be formed.

(塩基性化合物)
本発明における感光性樹脂組成物は、架橋剤とアルカリ可溶性バインダー(感光性樹脂)との架橋反応を充分なものとするために、塩基性化合物を含有する。
前記塩基性化合物としては、公知の1級〜3級アミン化合物を特に限定されず用いることができる。
たとえば、以下の化合物類を挙げることができる。
(Basic compound)
The photosensitive resin composition in the present invention contains a basic compound in order to make the crosslinking reaction between the crosslinking agent and the alkali-soluble binder (photosensitive resin) sufficient.
As the basic compound, known primary to tertiary amine compounds can be used without any particular limitation.
For example, the following compounds can be mentioned.

−1級アミン化合物−
前記1級アミン化合物としては、例えば、ベンジルアミン、フェネチルアミン、3−フェニル−1−プロピルアミン、4−フェニル−1−ブチルアミン、5−フェニル−1−ペンチルアミン、6−フェニル−1−ヘキシルアミン、α−メチルベンジルアミン、2−メチルベンジルアミン、3−メチルベンジルアミン、4−メチルベンジルアミン、2−(p−トリル)エチルアミン、β−メチルフェネチルアミン、1−メチル−3−フェニルプロピルアミン、2−クロロベンジルアミン、3−クロロベンジルアミン、4−クロロベンジルアミン、2−フロロベンジルアミン、3−フロロベンジルアミン、4−フロロベンジルアミン、4−ブロモフェネチルアミン、2−(2−クロロフェニル)エチルアミン、2−(3−クロロフェニル)エチルアミン、2−(4−クロロフェニル)エチルアミン、2−(2−フロロフェニル)エチルアミン、2−(3−フロロフェニル)エチルアミン、2−(4−フロロフェニル)エチルアミン、4−フロロ−α,α−ジメチルフェネチルアミン、2−メトキシベンジルアミン、3−メトキシベンジルアミン、4−メトキシベンジルアミン、2−エトキシベンジルアミン、2−メトキシフェネチルアミン、3−メトキシフェネチルアミン、4−メトキシフェネチルアミン、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、2−プロピルアミン、アリルアミン、ブチルアミン、t−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ラウリルアミン、アニリン、オクチルアニリン、アニシジン、4−クロルアニリン、1−ナフチルアミン、メトキシメチルアミン、2−メトキシエチルアミン、2−エトキシエチルアミン、3−メトキシプロピルアミン、2−ブトキシエチルアミン、2−シクロヘキシルオキシエチルアミン、3−エトキシプロピルアミン、3−プロポキシプロピルアミン、3−イソプロポキシプロピルアミンなどが挙げられる。
-Primary amine compound-
Examples of the primary amine compound include benzylamine, phenethylamine, 3-phenyl-1-propylamine, 4-phenyl-1-butylamine, 5-phenyl-1-pentylamine, 6-phenyl-1-hexylamine, α-methylbenzylamine, 2-methylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, 4-methylbenzylamine, 2- (p-tolyl) ethylamine, β-methylphenethylamine, 1-methyl-3-phenylpropylamine, 2-chloro Benzylamine, 3-chlorobenzylamine, 4-chlorobenzylamine, 2-fluorobenzylamine, 3-fluorobenzylamine, 4-fluorobenzylamine, 4-bromophenethylamine, 2- (2-chlorophenyl) ethylamine, 2- ( 3-Chlorophenyl) ethyla Min, 2- (4-chlorophenyl) ethylamine, 2- (2-fluorophenyl) ethylamine, 2- (3-fluorophenyl) ethylamine, 2- (4-fluorophenyl) ethylamine, 4-fluoro-α, α-dimethyl Phenethylamine, 2-methoxybenzylamine, 3-methoxybenzylamine, 4-methoxybenzylamine, 2-ethoxybenzylamine, 2-methoxyphenethylamine, 3-methoxyphenethylamine, 4-methoxyphenethylamine, methylamine, ethylamine, propylamine, 2 -Propylamine, allylamine, butylamine, t-butylamine, sec-butylamine, pentylamine, hexylamine, cyclohexylamine, heptylamine, octylamine, laurylamine, aniline, octylua Nilin, anisidine, 4-chloroaniline, 1-naphthylamine, methoxymethylamine, 2-methoxyethylamine, 2-ethoxyethylamine, 3-methoxypropylamine, 2-butoxyethylamine, 2-cyclohexyloxyethylamine, 3-ethoxypropylamine, Examples include 3-propoxypropylamine and 3-isopropoxypropylamine.

−2級アミン化合物−
2級アミン化合物としては、例えば、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジブチルアミン、ジアミルアミン、ジベンジルアミン、ジオクチルアミン、ジアリルアミン、N−メチルベンジルアミン、N−メチルオクタデシルアミン、N−メチルアニリン、ピペリジン、ピロリジン、モルホリン、ピペラジン、メチルピペラジンなどが挙げられる。
-Secondary amine compound-
Examples of the secondary amine compound include dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, dibutylamine, diamylamine, dibenzylamine, dioctylamine, diallylamine, N-methylbenzylamine, N-methyloctadecylamine, and N-methyl. Aniline, piperidine, pyrrolidine, morpholine, piperazine, methylpiperazine and the like can be mentioned.

−3級アミン化合物−
前記3級アミン化合物としては、たとえば、モルホリノアセトフェノン、ニトロジメチルフェニルモルホリン、トリエチルアミン、ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン、シクロヘキシルモルホリノチオ尿素などが挙げられる。
-Tertiary amine compound-
Examples of the tertiary amine compound include morpholinoacetophenone, nitrodimethylphenylmorpholine, triethylamine, diazabicyclo [2.2.2] octane, cyclohexylmorpholinothiourea, and the like.

本発明における塩基性化合物は強塩基性であることが好ましく、上記の中でも、塩基性の観点から、脂肪族系アミン化合物、具体的にはブチルアミン、2−メトキシエチルアミン、α−メチルベンジルアミン、ジイソプロピルアミン、メチルピペラジン、ピペリジン、モルホリン、トリエチルアミン、モルホリノアセトフェノンが好ましく、メチルピペラジン、トリエチルアミン、モルホリノアセトフェノンがより好ましい。   The basic compound in the present invention is preferably strongly basic. Among them, from the viewpoint of basicity, an aliphatic amine compound, specifically, butylamine, 2-methoxyethylamine, α-methylbenzylamine, diisopropyl is preferred. Amine, methylpiperazine, piperidine, morpholine, triethylamine and morpholinoacetophenone are preferable, and methylpiperazine, triethylamine and morpholinoacetophenone are more preferable.

これらの塩基性化合物は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。   These basic compounds may be used alone or in combination of two or more.

前記塩基性化合物は、感光性樹脂組成物(感光性樹脂層)中の固形分に対して、好ましくは0.1〜0.5質量%、より好ましくは0.2〜0.4質量%、成特に好ましくは0.25〜0.35質量%である。
塩基性化合物の含有量が上記範囲0.1質量%未満であると本発明の効果を充分に得られないことがあり、0.5質量%を超えると感光性樹脂組成物の諸性能が経時で劣化する場合がある。
The basic compound is preferably 0.1 to 0.5% by mass, more preferably 0.2 to 0.4% by mass, based on the solid content in the photosensitive resin composition (photosensitive resin layer). Especially preferably, it is 0.25-0.35 mass%.
When the content of the basic compound is less than 0.1% by mass in the above range, the effects of the present invention may not be sufficiently obtained. May deteriorate.

(アルカリ可溶性バインダー)
本発明における感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性バインダー(以下、単に「バインダー」ともいう。)の少なくとも1種を含有する。
このバインダーは、パターン露光で前記光酸発生剤から生成する酸の触媒作用で前記架橋剤と架橋反応して架橋体(ポリマー)をつくって硬化するものである。
(Alkali-soluble binder)
The photosensitive resin composition in the present invention contains at least one alkali-soluble binder (hereinafter also simply referred to as “binder”).
This binder is cured by forming a cross-linked body (polymer) by cross-linking reaction with the cross-linking agent by the catalytic action of an acid generated from the photoacid generator in pattern exposure.

バインダーとしては、例えば、(メタ)アクリル系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、ノボラック樹脂(フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等)、ポリヒドロキシスチレン等の公知のバインダーの中から適宜選択することができる。   The binder can be appropriately selected from known binders such as (meth) acrylic resin, polyester resin, vinyl resin, novolac resin (phenol novolac resin, cresol novolac resin, etc.), polyhydroxystyrene, and the like. .

本発明では特に、(メタ)アクリル系のモノマーの共重合によって得られるビニル系共重合体が好ましく、メタクリル酸アルキルエステル、アクリル酸アルキルエステル、又はカルボキシル基含有モノマーを構成単位として含む共重合体がより好ましい。柔軟さを付与する点で、(メタ)アクリル系が好ましく、弱アルカリ現像適正の付与の点で、カルボキシル基を含有することが好ましい。
なお、(メタ)アクリルは、アクリル又はメタクリルの両方をとり得ることを示す。以下同様である。
In the present invention, a vinyl copolymer obtained by copolymerization of a (meth) acrylic monomer is particularly preferable, and a copolymer containing a methacrylic acid alkyl ester, an acrylic acid alkyl ester, or a carboxyl group-containing monomer as a constituent unit is preferable. More preferred. A (meth) acrylic type is preferable in terms of imparting flexibility, and a carboxyl group is preferably contained in terms of imparting appropriate weak alkali development.
In addition, (meth) acryl shows that it can take both acryl or methacryl. The same applies hereinafter.

上記の中でも、特にメタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体が好ましい。メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体には、メタクリル酸メチルを含む共重合体、ベンジルメタクリレートを含む共重合体、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体等が挙げられる。   Among the above, a copolymer containing at least one of methyl methacrylate and benzyl methacrylate is particularly preferable. Examples of the copolymer containing at least one of methyl methacrylate and benzyl methacrylate include a copolymer containing methyl methacrylate, a copolymer containing benzyl methacrylate, and a copolymer containing methyl methacrylate and benzyl methacrylate. .

前記メタクリル酸メチルを含む共重合体には、メタクリル酸/メタクリル酸メチル共重合体(共重合比:14〜17.6モル%/82.4〜86モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/エチルアクリレート共重合体(共重合比:5〜10モル%/70〜60モル%/25〜30モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)等が挙げられる。   Examples of the copolymer containing methyl methacrylate include a methacrylic acid / methyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14 to 17.6 mol% / 82.4 to 86 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140). , 000), methacrylic acid / methyl methacrylate / ethyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 5 to 10 mol% / 70 to 60 mol% / 25 to 30 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140,000) Etc.

前記ベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合比:25〜37モル%/75〜63モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体(共重合比:20モル%/17.8モル%/62.2モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)等が挙げられる。   Examples of the copolymer containing benzyl methacrylate include methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 25 to 37 mol% / 75 to 63 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000), methacrylic acid. / Benzyl methacrylate / styrene copolymer (copolymerization ratio: 20 mol% / 17.8 mol% / 62.2 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140,000).

前記メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合比:14.6〜27.2モル%/79.1〜32.7モル%/16.3〜40モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート共重合体(共重合比:10〜15モル%/70〜65モル%/10モル%/10モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)等が挙げられる。   The copolymer containing methyl methacrylate and benzyl methacrylate includes a methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14.6 to 27.2 mol% / 79.1 to 32.7 mol). % / 16.3 to 40 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000), methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 10 to 15 mol% / 70-65 mol% / 10 mol% / 10 mol%, weight average molecular weight 20,000-150,000) and the like.

従来より市販のネガ型レジスト組成物によく使用されているクレゾールノボラック樹脂やポリヒドロキシスチレン及びその誘導体は露光後、ベーク後に着色してしまうが、このような露光後、ベーク処理時での着色が少なく、光透過率が低下しない点で、上記したメタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート共重合体等が特に好ましい。   The cresol novolac resin and polyhydroxystyrene and derivatives thereof that are conventionally used in commercially available negative resist compositions are colored after exposure and after baking, but after such exposure, coloring during baking is not possible. The above-mentioned methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer and the like are particularly preferable in that they are small and the light transmittance does not decrease.

上記のアルカリ可溶性バインダーは、1種単独で用いても、2種以上を併用しても良い。   Said alkali-soluble binder may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.

前記アルカリ可溶性バインダーの感光性樹脂組成物における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、10〜90質量%が好ましく、20〜70質量%がより好ましい。   As content in the photosensitive resin composition of the said alkali-soluble binder, 10-90 mass% is preferable with respect to the total solid of this composition, and 20-70 mass% is more preferable.

アルカリ可溶性バインダーの含有量が90質量%を超えたり、また、含有量が10質量%未満となると、アルカリ可溶性バインダーと架橋剤との架橋が不十分となり、現像後の残膜率が低下し、感光性樹脂組成物を離画壁形成に用いて形成された離画壁は上部及びそのエッジが丸みを帯びてしまい、急峻なインクジェット法用の離画壁を形成することができない場合がある。   When the content of the alkali-soluble binder exceeds 90% by mass, or when the content is less than 10% by mass, the crosslinking between the alkali-soluble binder and the crosslinking agent becomes insufficient, and the remaining film ratio after development decreases. In some cases, the separation wall formed by using the photosensitive resin composition for forming the separation wall is rounded at the upper part and the edge thereof, so that a sharp separation wall for the ink jet method may not be formed.

(色材)
本発明に用いる色材としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
本発明における感光性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。また、公知の色材(染料、顔料)を使用することができる。該公知の色材のうち顔料を用いる場合には、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記感光性樹脂組成物の固形分中の色材の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
(Color material)
Specific examples of the color material used in the present invention include those given the color index (CI) numbers described in the following dyes and pigments.
For the photosensitive resin composition in the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When the photosensitive resin layer is required to have light shielding properties, carbon black, titanium oxide, tetraoxide In addition to a light-shielding agent such as metal oxide powder such as iron, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Moreover, a well-known color material (dye, pigment) can be used. When using a pigment among the known coloring materials, it is preferable that the pigment is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition.
The ratio of the color material in the solid content of the photosensitive resin composition is preferably 30 to 70% by mass, more preferably 40 to 60% by mass, from the viewpoint of sufficiently shortening the development time. More preferably, it is 50-55 mass%.

上記公知の染料ないし顔料としては、具体的には、特開2005−17716号公報[0038]〜[0040]に記載の色材や、特開2005−361447号公報[0068]〜[0072]に記載の顔料や、特開2005−17521号公報[0080]〜[0088]に記載の色材を好適に用いることができる。   Specific examples of the known dyes or pigments include the color materials described in JP-A-2005-17716 [0038] to [0040] and JP-A-2005-361447 [0068] to [0072]. The coloring materials described in JP-A-2005-17521 and the color materials described in [0080] to [0088] can be suitably used.

上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる感光性樹脂組成物を、後述する有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビヒクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。   The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a photosensitive resin composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle refers to a portion of a medium in which a pigment is dispersed when the paint is in a liquid state, and is a liquid portion that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described in Item 310 of the document.

(溶剤)
本発明における感光性樹脂組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
(solvent)
In the photosensitive resin composition in the present invention, an organic solvent may be further used in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

(界面活性剤)
本発明における離画壁又は感光性転写材料においては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、感光性樹脂組成物を基板又は仮支持体に塗布することができるが、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、0.001〜1%が一般的であり、0.01〜0.5%が好ましく、0.03〜0.3%が特に好ましい。
(Surfactant)
In the image separation wall or the photosensitive transfer material in the present invention, the photosensitive resin composition can be applied to a substrate or a temporary support by using a slit-like nozzle described later. By containing an appropriate surfactant therein, the film thickness can be controlled to be uniform, and coating unevenness can be effectively prevented.
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
The surfactant content relative to the total solid content of the photosensitive resin composition is generally 0.001 to 1%, preferably 0.01 to 0.5%, and preferably 0.03 to 0.3. % Is particularly preferred.

(紫外線吸収剤)
本発明における感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジ−フェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
尚、感光性樹脂組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、0.5〜15%が一般的であり、1〜12%が好ましく、1.2〜10%が特に好ましい。
(UV absorber)
The photosensitive resin composition in the present invention may contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the ultraviolet absorber include salicylate series, benzophenone series, benzotriazole series, cyanoacrylate series, nickel chelate series, hindered amine series and the like in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-di-phenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone , Nickel dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebake 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4- Piperidenyl) -ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine -2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.
In addition, as for content of the ultraviolet absorber with respect to the total solid of the photosensitive resin composition, 0.5 to 15% is common, 1 to 12% is preferable, and 1.2 to 10% is especially preferable.

(増感剤)
本発明における感光性樹脂組成物には、必要に応じて増感剤を含有することができる。増感剤を用いることにより、可視光領域における感光性樹脂組成物の感度を十分な物とすることができる。
以下に、本発明に好適に用いられる増感剤の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
(Sensitizer)
The photosensitive resin composition in the present invention may contain a sensitizer as necessary. By using a sensitizer, the sensitivity of the photosensitive resin composition in the visible light region can be made sufficient.
Although the specific example of the sensitizer used suitably for this invention below is shown, this invention is not limited to these.

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感光性樹脂組成物中の増感剤の含有量は、固形分換算で、0.5〜3・0質量%であることが好ましく、1.0〜2.0質量%であることがより好ましい。   The content of the sensitizer in the photosensitive resin composition is preferably 0.5 to 3.0% by mass, more preferably 1.0 to 2.0% by mass in terms of solid content. .

本発明における感光性樹脂層の厚みとしては、感光性樹脂組成物の固形分含有量及び形成される離画壁の厚さに依存し、特に限定されるものではないが、一般的に、1〜12μmが好ましく、1.5〜12μmがより好ましく、1.8〜8μmが更に好ましく、2.0〜6.0μmが特に好ましい。   The thickness of the photosensitive resin layer in the present invention is not particularly limited and depends on the solid content of the photosensitive resin composition and the thickness of the separation wall to be formed. To 12 μm is preferable, 1.5 to 12 μm is more preferable, 1.8 to 8 μm is further preferable, and 2.0 to 6.0 μm is particularly preferable.

[感光性転写材料]
本発明における離画壁の形状を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に該仮支持体から近い側から順に、少なくとも中間層と感光性樹脂組成物からなる層とを有してなる感光性転写材料を使用するという後述の手法(2)がある。
[Photosensitive transfer material]
In order to realize the shape of the separating wall in the present invention easily and at low cost, it has at least an intermediate layer and a layer made of a photosensitive resin composition in order from the side closer to the temporary support on the temporary support. There is a method (2) described later in which a photosensitive transfer material is used.

(仮支持体)
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
(Temporary support)
The temporary support in the photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

(感光性樹脂組成物層)
上記の感光性転写材料における感光性樹脂組成物層は、前記感光性樹脂組成物から形成され、その形状等の特性、形成方法等については、塗布法により形成された層と同様であり、好ましい態様も同様である。
(Photosensitive resin composition layer)
The photosensitive resin composition layer in the photosensitive transfer material is formed from the photosensitive resin composition, and the shape and other characteristics, the formation method, and the like are the same as those formed by the coating method, and are preferable. The aspect is also the same.

(中間層)
本発明における感光性樹脂転写材料においては、多層を形成するときに層どうしが混ざり合わないようにする目的から、仮支持体上に形成された感光性樹脂層と他の層(例えば下記熱可塑性樹脂層)との間に中間層を設けることが好ましい。
中間層は、具体的には、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコールなどを主成分とする層が好ましく、このうちポリビニルアルコールを主成分とするものがより好ましい。
ポリビニルアルコールとしては鹸化度が80%以上のものが好ましい。上記中間層における前記ポリビニルアルコールの含有量としては、25質量%〜99質量%が好ましく、50質量%〜90質量%がより好ましく、50質量%〜80質量%が特に好ましい。また、必要に応じてポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミドなどのポリマーを添加してもよいが、このうちポリビニルピロリドンが好ましい。これらのポリマーの添加量は層全体の1〜40質量%、より好ましくは10〜35質量%である。
また、本発明に用いることができる中間層としては、特開平5−72724号公報の[0014]〜[0015]に記載されている「分離層」も好ましいものとして挙げられる。尚、中間層の膜厚としては、好ましくは0.2〜10μmであり、より好ましくは0.5〜3.0μmである。
(Middle layer)
In the photosensitive resin transfer material in the present invention, the photosensitive resin layer formed on the temporary support and other layers (for example, the following thermoplastics) are used for the purpose of preventing the layers from being mixed when forming a multilayer. An intermediate layer is preferably provided between the resin layer and the resin layer.
Specifically, the intermediate layer is preferably a layer mainly composed of polyethylene, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol or the like, and among them, a layer mainly composed of polyvinyl alcohol is more preferable.
The polyvinyl alcohol preferably has a saponification degree of 80% or more. As content of the said polyvinyl alcohol in the said intermediate | middle layer, 25 mass%-99 mass% are preferable, 50 mass%-90 mass% are more preferable, 50 mass%-80 mass% are especially preferable. Further, polymers such as polyvinyl pyrrolidone and polyacrylamide may be added as necessary, and among them, polyvinyl pyrrolidone is preferable. The addition amount of these polymers is 1-40 mass% of the whole layer, More preferably, it is 10-35 mass%.
Moreover, as an intermediate | middle layer which can be used for this invention, the "separation layer" described in [0014]-[0015] of Unexamined-Japanese-Patent No. 5-72724 is mentioned as a preferable thing. In addition, as a film thickness of an intermediate | middle layer, Preferably it is 0.2-10 micrometers, More preferably, it is 0.5-3.0 micrometers.

(熱可塑性樹脂層)
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であることが好ましく、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述する離画壁形成方法において、永久支持体(基板)との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
(Thermoplastic resin layer)
The photosensitive transfer material may have a thermoplastic resin layer as necessary. Such a thermoplastic resin layer is preferably alkali-soluble and comprises at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, good adhesion to the permanent support (substrate) can be exhibited in the separation wall forming method described later.
Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.
For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.
In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.
Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, and biphenyl diphenyl phosphate.

(保護フイルム)
感光性樹脂組成物層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、保護フイルムの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。
(Protective film)
It is preferable to provide a thin protective film on the photosensitive resin composition layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin composition layer. For example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable as the protective film material. The thickness of the protective film is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 10 to 25 μm.

(感光性転写材料の作製方法)
本発明における感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂組成物用塗布液を塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。なお、熱可塑性樹脂層を設けない場合や、該熱可塑性樹脂層と感光性樹脂組成物層の間に、両者が混ざり合わない溶剤からなる層(中間層)を設ける場合には感光性樹脂組成物用塗布液の溶剤の制約は特に必要がない。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と感光性樹脂組成物層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に濃色感光性樹脂組成物層及び中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。
(Method for producing photosensitive transfer material)
The photosensitive transfer material according to the present invention is provided with a thermoplastic resin layer by applying a coating liquid (thermoplastic resin layer coating liquid) in which a thermoplastic resin layer additive is dissolved on a temporary support, and drying. Then, a solution of an intermediate layer material composed of a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer is applied and dried on the thermoplastic resin layer, followed by applying and drying a coating solution for the photosensitive resin composition. it can. When a thermoplastic resin layer is not provided, or when a layer (intermediate layer) made of a solvent that does not mix the two is provided between the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin composition layer, the photosensitive resin composition There is no particular restriction on the solvent of the material coating solution.
In addition, a sheet provided with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer on the temporary support and a sheet provided with the photosensitive resin layer on the protective film are prepared so that the intermediate layer and the photosensitive resin composition layer are in contact with each other. Further, a sheet provided with a thermoplastic resin layer on the temporary support and a sheet provided with a dark color photosensitive resin composition layer and an intermediate layer on a protective film are also prepared. However, it can also be produced by bonding them together so that the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are in contact with each other.
In addition, although application | coating in the said preparation method can be performed with a well-known coating apparatus etc., in this invention, it is preferable to perform with the coating apparatus (slit coater) using a slit-shaped nozzle.

[基板]
前記基板(永久支持体)としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや透明合成樹脂フィルムが挙げられる。
[substrate]
As the substrate (permanent support), a metallic support, a metal bonded support, glass, ceramic, a synthetic resin film, or the like can be used. Particularly preferred is a glass or a transparent synthetic resin film having transparency and good dimensional stability.

本発明における離画壁は、前記感光性樹脂組成物を用いて形成されるが、下記(1)の塗布法、並びに下記(2)の転写法で製造することが好ましい。
即ち、(1)離画壁は、感光性樹脂組成物を、基板に塗布乾燥した後、露光し現像して形成する。
(2)感光性樹脂組成物により仮支持体上に形成された感光性転写層(感光性樹脂組成物層)を有する感光性転写材料を、前記基板上に転写した後、露光し現像して形成する。
The image separation wall in the present invention is formed using the photosensitive resin composition, and is preferably produced by the following coating method (1) and the following transfer method (2).
That is, (1) the separation wall is formed by applying and drying a photosensitive resin composition on a substrate, and then exposing and developing.
(2) A photosensitive transfer material having a photosensitive transfer layer (photosensitive resin composition layer) formed on a temporary support with a photosensitive resin composition is transferred onto the substrate, and then exposed and developed. Form.

本発明において、基板上に形成された離画壁の断面形状は、図1に示す如く、基板と離画壁の断面の交点をA及びA、該離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL、Lが離画壁の断面と交わる点をB及びBとし、AとAの距離をa、BとBの距離をbとするとき、b/aの値を0.8以上1.2以下であることが好ましい。 In the present invention, as shown in FIG. 1, the cross-sectional shape of the separation wall formed on the substrate is defined as A 1 and A 2 at the intersection of the cross-section of the separation wall and the highest height of the separation wall. The point of the perpendicular line from the point H to H and the substrate to the substrate is G, the straight line passing through H and parallel to the substrate surface is L 0 , and the point that internally divides H and G into HP: PG = 1: 3 is P and P A straight line parallel to the substrate surface is L 1 , the point where L 1 intersects the cross section of the separation wall is B 1 and B 2 , the distance between A 1 and A 2 is a, and the distance between B 1 and B 2 is b When doing so, the value of b / a is preferably 0.8 or more and 1.2 or less.

本発明においては、基板上に形成される離画壁の断面形状において、基板と離画壁の断面の交点をA及びA、該離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL、Lが離画壁の断面と交わる点をB及びBとし、AとAの距離をa、BとBの距離をbとするとき、酸素阻害の起こらない貧酸素雰囲気下とするか又は酸素遮断層を設けることなく、b/aの値を0.8以上1.2以下に調整することができる。
これらの値は、実際には基板上に形成された離画壁を、基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、顕微鏡等で直接観察することで測定する。こうして得られた離画壁形状を固定化する工程を経ることで、例えば、カラーフィルタに用いた場合、一旦その空隙に打滴されたインクは該離画壁を乗り越えにくくなる。その結果、隣接画素との混色などを防いで良好なカラーフィルタを得ることができる。前記b/aの値は0.8以上1.2以下であることが好ましく、0.85以上1.15以下であることがより好ましく、0.9以上1.1以下であることが特に好ましい。
In the present invention, in the cross-sectional shape of the separation wall formed on the substrate, the intersections of the cross-section of the separation wall and the substrate are A 1 and A 2 , and the highest point of the separation wall is H, H The line of the perpendicular drawn from the substrate to the substrate passes through G and H, the straight line parallel to the substrate surface is L 0 , and the point dividing H and G into HP: PG = 1: 3 is P and passes through P and is parallel to the substrate surface. When the straight line is L 1 , the point where L 1 intersects the cross section of the separation wall is B 1 and B 2 , the distance between A 1 and A 2 is a, and the distance between B 1 and B 2 is b, oxygen inhibition The value of b / a can be adjusted to 0.8 or more and 1.2 or less without using an oxygen-poor atmosphere in which no oxygen occurs or without providing an oxygen blocking layer.
These values are actually measured by cutting the separation wall formed on the substrate vertically with the substrate cut vertically to expose the cross section and directly observing with a microscope or the like. By passing through the step of fixing the shape of the separation wall obtained in this way, for example, when used in a color filter, it is difficult for ink that has once been ejected into the gap to get over the separation wall. As a result, it is possible to obtain a good color filter while preventing color mixing with adjacent pixels. The b / a value is preferably 0.8 or more and 1.2 or less, more preferably 0.85 or more and 1.15 or less, and particularly preferably 0.9 or more and 1.1 or less. .

本発明において、離画壁の高さh(離画壁の最も高さの高い点をHと、Hから基板におろした垂線の足Gとの距離)は、1.0μm以上であることが好ましいが、より好ましくは1.5μm以上10μm以下であり、更に好ましくは1.8μm以上7.0μm以下、特に好ましくは2.0μm以上5.0μm以下である。中でも、1.5μm以上10μm以下とすることにより、より効果的に混色を防止できる。高さが1.5μm未満であると混色が起こりやすく、10μmを超えると離画壁の形成が難しくなる。   In the present invention, the height h of the separation wall (the distance between the highest point of the separation wall H and the foot G of the perpendicular line from the H to the substrate) is 1.0 μm or more. The thickness is preferably 1.5 μm or more and 10 μm or less, more preferably 1.8 μm or more and 7.0 μm or less, and particularly preferably 2.0 μm or more and 5.0 μm or less. Especially, color mixing can be more effectively prevented by setting the thickness to 1.5 μm or more and 10 μm or less. If the height is less than 1.5 μm, color mixing tends to occur, and if it exceeds 10 μm, it is difficult to form a separation wall.

本発明における離画壁の555nmにおける光学濃度は、2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。
前記光学濃度の範囲とすることにより、コントラストの高い表示装置がえられて好ましい。また、表示装置の表示品位の点から離画壁の色は黒であることが好ましい。
本発明における離画壁は「600nmにおける吸光度÷500nmにおける吸光度」の値が0.7〜1.4の範囲であることが好ましく、中でも、表示装置の表示品質の観点から、0.75〜1.2の範囲がより好ましく、0.77〜1.15の範囲がさらに好ましい。
前記吸光度の比が上記好ましい範囲外であると、離画壁が着色して見えるために好ましくない。
前記吸光度の比を好ましい範囲にするには、色材種を調整することで達成できる。
The optical density at 555 nm of the separation wall in the present invention is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, still more preferably 2.5 to 6.0, and more preferably 3.0 to 5.0. Particularly preferred.
By setting the optical density range, a display device having a high contrast is obtained. Further, it is preferable that the color of the separating wall is black from the viewpoint of display quality of the display device.
The separation wall in the present invention preferably has a value of “absorbance at 600 nm ÷ absorbance at 500 nm” in the range of 0.7 to 1.4. Above all, from the viewpoint of display quality of the display device, 0.75 to 1 The range of .2 is more preferable, and the range of 0.77 to 1.15 is more preferable.
If the absorbance ratio is outside the above preferred range, the separation wall appears to be colored, which is not preferred.
In order to make the ratio of the absorbance within a preferable range, it can be achieved by adjusting the color material type.

(インクジェット法用離画壁の製造方法)
本発明のインクジェット法用離画壁の製造方法(以下、「離画壁の形成」ともいう。)は、前記光酸発生剤、架橋剤、アルカリ可溶性バインダー、塩基性化合物、色材を少なくとも含む前記感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも有する。
上記構成とすることにより、カラーフィルタのRGB画素をインクジェット法で作製する際に好適な断面形状を有するインクジェット法用離画壁の製造方法及びその方法により製造されたインクジェット法用離画壁付き基板を提供することができる。
本発明のインクジェット法用離画壁の製造方法について、以下、具体的に説明するがこれに限定されるものではない。
(Manufacturing method of separation wall for inkjet method)
The method for producing a separation wall for an inkjet method of the present invention (hereinafter also referred to as “formation of a separation wall”) includes at least the photoacid generator, a crosslinking agent, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material. The photosensitive resin layer forming step for forming the photosensitive resin layer, the exposure step for exposing the photosensitive resin layer to cure the exposed region, and removing the photosensitive resin layer in the unexposed area are separated. At least a developing step for forming a wall.
With the above-described configuration, a method for producing a separation wall for an inkjet method having a cross-sectional shape suitable for producing RGB pixels of a color filter by the inkjet method, and a substrate with a separation wall for an inkjet method produced by the method Can be provided.
The method for producing a separation wall for an ink jet method of the present invention will be specifically described below, but is not limited thereto.

−感光性樹脂組成物を用いる離画壁の形成−
(感光性樹脂層形成工程)
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記感光性樹脂組成物を塗布する。引き続き、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、プリベークして感光性樹脂層を得る。また、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)等にて基板周囲の不要な塗布液を除去してから、プリベークして感光性樹脂層を得てもよい。
前記塗布としては、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター(例えば、エフ・エー・エス・アジア社製、商品名:MH−1600)や、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(平田機工株式会社製)等を用いて行うことができる。
前記乾燥は、公知の乾燥装置(例えば、VCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)等)を用いて行うことができる、
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、120℃3分間することにより達成することができる。前記得られた感光性樹脂層の膜厚は、前述の通りである。
-Formation of separation wall using photosensitive resin composition-
(Photosensitive resin layer forming step)
First, after cleaning the substrate, the substrate is heat-treated to stabilize the surface state. After the temperature of the substrate is adjusted, the photosensitive resin composition is applied. Subsequently, after part of the solvent is dried to eliminate the fluidity of the coating layer, pre-baking is performed to obtain a photosensitive resin layer. In addition, after part of the solvent is dried to eliminate the fluidity of the coating layer, unnecessary coating liquid around the substrate is removed with an EBR (edge bead remover) or the like, and then pre-baked to form a photosensitive resin. A layer may be obtained.
The coating is not particularly limited, and is a glass substrate coater having a known slit nozzle (for example, product name: MH-1600 manufactured by FAS Asia) or glass having a slit nozzle. A substrate coater (manufactured by Hirata Kiko Co., Ltd.) can be used.
The drying can be performed using a known drying apparatus (for example, VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.)).
Although it does not specifically limit as prebaking, For example, it can achieve by making 120 degreeC 3 minutes. The film thickness of the obtained photosensitive resin layer is as described above.

(露光工程)
続いて、基板と画像パターンを有するマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し露光する(露光工程)。露光により、感光性樹脂層の光が照射された領域(露光領域)が硬化する。
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティ型露光機(例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm)選択することができる。
(Exposure process)
Subsequently, in a state where a substrate and a mask having an image pattern (for example, quartz exposure mask) are set up vertically, the distance between the exposure mask surface and the photosensitive resin layer is appropriately set (for example, 200 μm) and exposed. (Exposure process). By exposure, the region (exposure region) irradiated with light of the photosensitive resin layer is cured.
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultrahigh pressure mercury lamp, and the exposure amount may be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). it can.

(現像工程)
次に、現像液で現像して未露光部の感光性樹脂層を除去することでパターニング画像を得(現像工程)、引き続き必要に応じて、水洗処理して離画壁を得る。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、該感光性樹脂層の表面を均一に湿らせることが好ましい。
前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
(Development process)
Next, it develops with a developing solution and removes the photosensitive resin layer of an unexposed part, and a patterning image is obtained (development process), and if necessary, it is washed with water and a separation wall is obtained.
Prior to the development, it is preferable to spray pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer.
As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.
Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.

前記感光性樹脂組成物の塗布による方法及び後述の感光性転写材料を用いる方法における前記アルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Examples of the alkaline substance in the method using the photosensitive resin composition and the method using the photosensitive transfer material described below include alkali metal hydroxides (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates ( For example, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, , Sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。この現像工程にて、離画壁形状は前述のごとく形成される。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin layer, it is possible to combine methods such as rubbing with a rotating brush or wet sponge in the developer. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, depending on the composition of the photosensitive resin layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If it is too short, the development of the non-exposed area may be insufficient, and the absorbance of ultraviolet rays may be insufficient, and if it is too long, the exposed area may be etched. In either case, it is difficult to make the separation wall shape suitable. In this developing step, the separating wall shape is formed as described above.

−感光性転写材料を用いた離画壁の形成−
(感光性樹脂層形成工程)
まず、前述の感光性転写材料の保護フィルムを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネータ、真空ラミネータ等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
-Formation of separation walls using photosensitive transfer materials-
(Photosensitive resin layer forming step)
First, after peeling off and removing the protective film of the photosensitive transfer material described above, the surface of the exposed photosensitive resin layer is bonded onto a permanent support (substrate) and laminated by heating and pressing through a laminator or the like (laminate) ). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to increase productivity.

(露光・現像工程)
次いで、仮支持体を除去する。続いて、仮支持体除去後の除去面の上方に所望のフォトマスクを配置し、光源より紫外線を照射し、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、パターニング画像を得て、引き続き必要に応じて、水洗処理して、離画壁を得る。
現像処理に用いる現像液及び光照射に用いる光源は、前記塗布法を用いた形成における現像液及び光源が同様に用いられる。
(Exposure and development process)
Next, the temporary support is removed. Subsequently, a desired photomask is disposed above the removal surface after removal of the temporary support, irradiated with ultraviolet rays from a light source, and developed using a predetermined processing liquid after irradiation to obtain a patterning image. If necessary, it is washed with water to obtain a separation wall.
As the developer used for the development process and the light source used for the light irradiation, the developer and the light source in the formation using the coating method are similarly used.

(撥水処理)
本発明のカラーフィルタの製造方法は、離画壁に撥水処理を施す事で該離画壁の少なくとも一部が撥水性を帯びた状態とすることが好ましい。これは、その後にインクジェットなどの方法で、着色液体組成物の液滴を該離画壁間に付与した時に、インクが該離画壁を乗り越えて、隣の色と混色するなどの不都合を無くす為である。
該撥水処理として、離画壁上面に撥水材料を塗布する方法や、撥水層を新たに設ける方法、プラズマ処理により撥水性を付与する方法、撥水性物質を離画壁に練りこむ方法、光触媒により撥水性を付与する方法などが挙げられる。
以下に、撥水処理の詳細な説明をする。
(Water repellent treatment)
In the method for producing a color filter of the present invention, it is preferable that at least a part of the separation wall is made water-repellent by subjecting the separation wall to water repellency treatment. This eliminates inconveniences such as when the droplets of the colored liquid composition are subsequently applied between the separation walls by a method such as ink jet, the ink gets over the separation walls and mixes with the adjacent color. Because of that.
As the water repellent treatment, a method of applying a water repellent material on the upper surface of the separation wall, a method of newly providing a water repellent layer, a method of imparting water repellency by plasma treatment, and a method of kneading a water repellent substance on the separation wall And a method of imparting water repellency with a photocatalyst.
Hereinafter, the water repellent treatment will be described in detail.

(1)<撥水性物質を離画壁に練りこむ方法>
「混色」を防ぐ手段として、含フッ素樹脂(A)を含有する本発明の感光性樹脂組成物(濃色感光性樹脂組成物)より得られるフォトレジストを用いて離画壁を作製する方法がある。
本発明の含フッ素樹脂は、下記式1で表されるポリフルオロエーテル構造からなるRf基(a)と、酸性基(b)とを有し、酸価が1〜300mgKOH/gである。
−(X−O)−Y ・・・式1
式1中、Xは、炭素数1〜10の2価飽和炭化水素基又は炭素数1〜10のフルオロ化された2価飽和炭化水素基であって、nで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Yは、水素原子(Yに隣接する酸素原子に隣接する炭素原子にフッ素原子が結合していない場合に限る)、炭素数1〜20の1価飽和炭化水素基又は炭素数1〜20のフルオロ化された1価飽和炭化水素基を示し、nは2〜50の整数を示す。
ただし、式1におけるフッ素原子の総数は2以上である。
(1) <Method of kneading a water-repellent substance into the separation wall>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method for producing a separation wall using a photoresist obtained from the photosensitive resin composition (dark color photosensitive resin composition) of the present invention containing the fluororesin (A). is there.
The fluorine-containing resin of the present invention has an Rf group (a) having a polyfluoroether structure represented by the following formula 1 and an acidic group (b), and has an acid value of 1 to 300 mgKOH / g.
-(X-O) n -Y Formula 1
In Formula 1, X is a C1-C10 divalent saturated hydrocarbon group or a C1-C10 fluorinated divalent saturated hydrocarbon group, and is the same for each unit surrounded by n Y represents a hydrogen atom (only when a fluorine atom is not bonded to a carbon atom adjacent to an oxygen atom adjacent to Y), a monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or A fluorinated monovalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms is shown, and n is an integer of 2 to 50.
However, the total number of fluorine atoms in Formula 1 is 2 or more.

式1におけるX、Yの態様として、好ましくは、Xは、炭素数1〜10の水素原子1個を除いてフルオロ化されたアルキレン基又は炭素数1〜10のパーフルオロ化されたアルキレン基であって、nで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Yは、炭素数1〜20の水素原子1個を除いてフルオロ化されたアルキル基又は炭素数1〜20のパーフルオロ化されたアルキル基を示すものが挙げられる。   As an aspect of X and Y in Formula 1, Preferably, X is a C1-C10 hydrogen atom remove | excluded alkylene group or a C1-C10 perfluorinated alkylene group. Each of the units enclosed by n represents the same group or a different group, and Y represents a fluorinated alkyl group or a par group having 1 to 20 carbon atoms except for one hydrogen atom having 1 to 20 carbon atoms. The thing which shows the fluorinated alkyl group is mentioned.

式1におけるX、Yの態様として、より好ましくは、Xは、炭素数1〜10のパーフルオロ化されたアルキレン基であって、nで括られた単位毎に同一の基又は異なる基を示し、Yは、炭素数1〜20のパーフルオロ化されたアルキル基を示すものが挙げられる。   As an embodiment of X and Y in Formula 1, more preferably, X is a C 1-10 perfluorinated alkylene group, and represents the same group or different groups for each unit enclosed by n. , Y may be a perfluorinated alkyl group having 1 to 20 carbon atoms.

X、Yの態様が上記のものであることにより、含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏する。   When the aspect of X and Y is the above, the fluorine-containing resin exhibits good ink repellency.

式1においてnは2〜50の整数を示す。nは2〜30が好ましく、2〜15がより好ましい。nが2以上であると、インク転落性が良好である。nが50以下であると、含フッ素樹脂をRf基(a)を有する単量体と、酸性基(b)を有する単量体やその他の単量体との共重合によって合成する場合に、単量体の相溶性が良好となる。   In Formula 1, n represents an integer of 2 to 50. n is preferably from 2 to 30, and more preferably from 2 to 15. When n is 2 or more, the ink falling property is good. When n is 50 or less, when the fluorine-containing resin is synthesized by copolymerization of a monomer having an Rf group (a) with a monomer having an acidic group (b) or another monomer, The monomer compatibility is improved.

また、式1で表されるポリフルオロエーテル構造からなるRf基(a)における炭素原子の総数は2〜50が好ましく、2〜30がより好ましい。当該範囲では、含フッ素樹脂は良好な撥インク性、特に撥有機溶剤性を奏する。また含フッ素樹脂をRf基(a)を有する単量体、酸性基(b)を有する単量体及びその他の単量体との共重合によって合成する場合に、単量体の相溶性が良好となる。   Moreover, 2-50 are preferable and, as for the total number of the carbon atoms in Rf group (a) which consists of a polyfluoroether structure represented by Formula 1, 2-30 are more preferable. Within this range, the fluorine-containing resin exhibits good ink repellency, particularly organic repellency. In addition, when the fluororesin is synthesized by copolymerization with a monomer having an Rf group (a), a monomer having an acidic group (b), and other monomers, the compatibility of the monomers is good. It becomes.

Xの具体例としては、−CF−、−CFCF−、−CFCFCF−、−CFCF(CF)−、−CFCFCFCF−、−CFCFCF(CF)−、及びCFCF(CF)CF−が挙げられる。 Examples of X, -CF 2 -, - CF 2 CF 2 -, - CF 2 CF 2 CF 2 -, - CF 2 CF (CF 3) -, - CF 2 CF 2 CF 2 CF 2 -, - CF 2 CF 2 CF (CF 3 ) -, and CF 2 CF (CF 3) CF 2 - and the like.

Yの具体例としては、−CF、−CFCF、−CFCHF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、−(CFCF、及び(CF11CF、−(CF15CFが挙げられる。 Specific examples of Y, -CF 3, -CF 2 CF 3, -CF 2 CHF 2, - (CF 2) 2 CF 3, - (CF 2) 3 CF 3, - (CF 2) 4 CF 3, - (CF 2) 5 CF 3 , - (CF 2) 6 CF 3, - (CF 2) 7 CF 3, - (CF 2) 8 CF 3, - (CF 2) 9 CF 3 and, (CF 2) 11 CF 3 , — (CF 2 ) 15 CF 3 may be mentioned.

式1で表されるポリフルオロエーテル構造からなるRf基(a)の好ましい態様としては、式2で表されるRf基(a)が挙げられる。
−Cp−12(p−1)−O−(C2p−O)n−1−C2q+1・・・式2
式2中、pは2又は3の整数を示し、nで括られた単位毎に同一の基であり、qは1〜20の整数、nは2〜50の整数を示す。
A preferred embodiment of the Rf group (a) having a polyfluoroether structure represented by Formula 1 includes the Rf group (a) represented by Formula 2.
-C p-1 F 2 (p -1) -O- (C p F 2p -O) n-1 -C q F 2q + 1 ··· Equation 2
In Formula 2, p represents an integer of 2 or 3, and is the same group for each unit enclosed by n, q represents an integer of 1 to 20, and n represents an integer of 2 to 50.

式2で表されるRf基(a)として、具体的には、
−CFO(CFCFO)n−1CF(nは2〜9)、
−CF(CF)O(CFCF(CF)O)n−113(nは2〜6)、
−CF(CF)O(CFCF(CF)O)n−1(nは2〜6)
が合成の容易さの点から好ましく挙げられる。
As Rf group (a) represented by Formula 2, specifically,
-CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 2-9),
-CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 6 F 13 (n is 2-6),
-CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2-6)
Is preferable from the viewpoint of ease of synthesis.

含フッ素樹脂内のRf基(a)は、全て同一でもよいし、異なっていてもよい。   The Rf groups (a) in the fluororesin may all be the same or different.

含フッ素樹脂におけるフッ素原子の含有量は1〜60%が好ましく、5〜40%がより好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。   The content of fluorine atoms in the fluorine-containing resin is preferably 1 to 60%, more preferably 5 to 40%. Within such a range, the fluororesin exhibits good ink repellency and the developability of the photosensitive resin composition of the present invention is good.

含フッ素樹脂は、酸性基(b)を有する。
酸性基(b)としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、及びスルホン酸基からなる群から選ばれる少なくとも1つの酸性基又はその塩が好ましい。
The fluorine-containing resin has an acidic group (b).
As the acidic group (b), at least one acidic group selected from the group consisting of a carboxyl group, a phenolic hydroxyl group, and a sulfonic acid group or a salt thereof is preferable.

含フッ素樹脂の酸価は、1〜300mgKOH/gが好ましく、5〜200mgKOH/gがより好ましく、10〜150mgKOH/gが特に好ましい。この範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。なお、酸価は樹脂1gを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量(単位mg)であり、本明細書においては単位をmgKOH/gと記載する。   The acid value of the fluororesin is preferably 1 to 300 mgKOH / g, more preferably 5 to 200 mgKOH / g, and particularly preferably 10 to 150 mgKOH / g. Within this range, the developability of the photosensitive resin composition of the present invention will be good. In addition, an acid value is the mass (unit mg) of potassium hydroxide required in order to neutralize 1 g of resin, and a unit is described in this specification as mgKOH / g.

含フッ素樹脂の数平均分子量は、500以上20000未満が好ましく、2000以上15000未満がより好ましい。当該範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好である。数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によりポリスチレンを標準物質として測定される。   The number average molecular weight of the fluororesin is preferably 500 or more and less than 20000, and more preferably 2000 or more and less than 15000. Within this range, the developability of the photosensitive resin composition of the present invention is good. The number average molecular weight is measured using polystyrene as a standard substance by gel permeation chromatography.

含フッ素樹脂は、エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体であって、酸価が1〜300mgKOH/gであるのが好ましい。   The fluorine-containing resin includes a monomer unit based on a monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a), and a single unit based on a monomer having an ethylenic double bond and an acidic group (b). It is a copolymer containing a monomer unit, and it is preferable that an acid value is 1-300 mgKOH / g.

エチレン性二重結合としては、(メタ)アクリロイル基、ビニル基、アリル基が挙げられる。 Examples of the ethylenic double bond include a (meth) acryloyl group, a vinyl group, and an allyl group.

エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体としては、
CH=CRCOOQRf、CH=CROCOQRf、CH=CROQRf、CH=CRCHOQRf、CH=CRCOOQNRSORf、CH=CRCOOQNRCORf、CH=CRCOOQNRCOOQRf、CH=CRCOOQOQRf等が挙げられる。ただし、Rは水素原子又はメチル基を、Qは単結合又は炭素数1〜6の2価有機基を、Qは炭素数1〜6の2価有機基を、それぞれ示す。Q、Qは環状構造を有していてもよい。
As a monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a),
CH 2 = CR 1 COOQ 2 Rf, CH 2 = CR 1 OCOQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 OQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 CH 2 OQ 1 Rf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 SO 2 Rf CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 CORf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 NR 1 COOQ 2 Rf, CH 2 = CR 1 COOQ 2 OQ 1 Rf, and the like. However, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group, Q 1 represents a single bond or a divalent organic group having 1 to 6 carbon atoms, and Q 2 represents a divalent organic group having 1 to 6 carbon atoms. Q 1 and Q 2 may have a cyclic structure.

、Qの具体例としては、
−CH−、−CHCH−、−CH(CH)−、−CHCHCH−、−C(CH−、−CH(CHCH)−、−CHCHCHCH−、−CH(CHCHCH)−、−CH(CHCH−、−CH(CHCH(CH)−、−CHCH(OH)CH−、−CHCHNHCOOCH−、−CHCH(OH)CHOCH−等が挙げられる。Qは単結合であってもよい。
合成の容易さの観点から、−CH−、−CHCH−、−CHCH(OH)CH−が好ましい。
As specific examples of Q 1 and Q 2 ,
-CH 2 -, - CH 2 CH 2 -, - CH (CH 3) -, - CH 2 CH 2 CH 2 -, - C (CH 3) 2 -, - CH (CH 2 CH 3) -, - CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 —, —CH (CH 2 CH 2 CH 3 ) —, —CH 2 (CH 2 ) 3 CH 2 —, —CH (CH 2 CH (CH 3 ) 2 ) —, —CH 2 CH (OH) CH 2 -, - CH 2 CH 2 NHCOOCH 2 -, - CH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 - and the like. Q 1 may be a single bond.
From the viewpoint of ease of synthesis, -CH 2 -, - CH 2 CH 2 -, - CH 2 CH (OH) CH 2 - is preferred.

エチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体として具体的には以下のものが挙げられる。
CH=CHCOOCHCFO(CFCFO)n−1CF(nは3〜9)、CH=CHCOOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−113(nは2〜6)、CH=CHCOOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−1(nは2〜6)。
CH=C(CH)COOCHCHNHCOOCHCFO(CFCFO)n−1CF(nは3〜9)、CH=C(CH)COOCHCHNHCOOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−1(nは2〜6)、CH=C(CH)COOCHCHNHCOOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−113(nは2〜6)。
CH=C(CH)COOCHCH(OH)CHOCHCFO(CFCFO)n−1CF(nは3〜9)、CH=C(CH)COOCHCH(OH)CHOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−113(nは2〜6)、CH=C(CH)COOCHCH(OH)CHOCHCF(CF)O(CFCF(CF)O)n−1(nは2〜6)。
Specific examples of the monomer having an ethylenic double bond and an Rf group (a) include the following.
CH 2 = CHCOOCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = CHCOOCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n -1 C 6 F 13 (n is 2~6), CH 2 = CHCOOCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2-6).
CH 2 = C (CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF (CF 3) O ( CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2~6), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH 2 NHCOOCH 2 CF (CF 3 ) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 6 F 13 (n is 2-6).
CH 2 = C (CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF 2 O (CF 2 CF 2 O) n-1 CF 3 (n is 3~9), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 6 F 13 (n is 2~6), CH 2 = C ( CH 3) COOCH 2 CH (OH) CH 2 OCH 2 CF (CF 3) O (CF 2 CF (CF 3) O) n-1 C 3 F 7 (n is 2-6).

含フッ素樹脂におけるエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、1〜95%等が好ましく、5〜80%がより好ましく、20〜60%がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。   The content of the monomer unit based on the monomer having an ethylenic double bond and Rf group (a) in the fluororesin is preferably 1 to 95%, more preferably 5 to 80%, and more preferably 20 to 20%. 60% is more preferable. Within such a range, the fluororesin exhibits good ink repellency and the developability of the photosensitive resin composition of the present invention is good.

酸性基(b)を有する単量体として、カルボキシル基を有する単量体、フェノール性水酸基を有する単量体、スルホン酸基を有する単量体が挙げられる。   Examples of the monomer having an acidic group (b) include a monomer having a carboxyl group, a monomer having a phenolic hydroxyl group, and a monomer having a sulfonic acid group.

カルボキシル基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、もしくはそれらの塩が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, vinyl acetic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, cinnamic acid, and salts thereof. These may be used alone or in combination of two or more.

フェノール性水酸基を有する単量体としては、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。またこれらのベンゼン環の1個以上の水素原子が、メチル基、エチル基、n−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、n−ブトキシ基等のアルコキシ基、ハロゲン原子、アルキル基の1個以上の水素原子がハロゲン原子に置換されたハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer having a phenolic hydroxyl group include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, and p-hydroxystyrene. In addition, one or more hydrogen atoms of these benzene rings are an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group or an n-butyl group, an alkoxy group such as a methoxy group, an ethoxy group or an n-butoxy group, a halogen atom or an alkyl group. Examples thereof include compounds in which one or more hydrogen atoms are substituted with a halogen atom, a haloalkyl group, a nitro group, a cyano group, or an amide group. These may be used alone or in combination of two or more.

スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、(メタ)アリルスルホン酸、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アリルオキシプロパンスルホン酸、(メタ)アクリル酸−2−スルホエチル、(メタ)アクリル酸−2−スルホプロピル、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロパンスルホン酸、2−(メタ)アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、もしくはそれらの塩等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the monomer having a sulfonic acid group include vinyl sulfonic acid, styrene sulfonic acid, (meth) allyl sulfonic acid, 2-hydroxy-3- (meth) allyloxypropane sulfonic acid, and (meth) acrylic acid-2-sulfoethyl. , (Meth) acrylic acid-2-sulfopropyl, 2-hydroxy-3- (meth) acryloxypropanesulfonic acid, 2- (meth) acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, or salts thereof. These may be used alone or in combination of two or more.

含フッ素樹脂における酸性基(b)を有する単量体に基づく単量体単位の含有量は、0.1〜40%等が好ましく、0.5〜30%がより好ましく、1〜20%がさらに好ましい。当該範囲であると含フッ素樹脂は良好な撥インク性を奏し、感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。   The content of the monomer unit based on the monomer having an acidic group (b) in the fluororesin is preferably 0.1 to 40%, more preferably 0.5 to 30%, and 1 to 20%. Further preferred. Within such a range, the fluorine-containing resin exhibits good ink repellency and the developability of the photosensitive resin composition becomes good.

含フッ素樹脂がエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを有する共重合体である場合、Rf基(a)及び酸性基(b)を有しない単量体(以下、「その他の単量体」という。)に基づく単量体単位を有していてもよい。   Monomer based on monomer unit based on monomer having fluorine-containing resin having ethylenic double bond and Rf group (a), and monomer having ethylenic double bond and acidic group (b) In the case of a copolymer having a body unit, it has a monomer unit based on a monomer having no Rf group (a) and acidic group (b) (hereinafter referred to as “other monomer”). You may do it.

その他の単量体としては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、フルオロオレフィン類、共役ジエン類が挙げられる。これらの化合物には、官能基が含まれていてもよく、例えば水酸基、カルボニル基、アルコキシ基、アミド基等が挙げられる。またポリシロキサン構造を有する基を有していてもよい。ただし、これらのその他の単量体に基づく単量体単位は、Rf基(a)及び酸性基(b)を有しない。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。特に(メタ)アクリル酸エステル類、(メタ)アクリルアミド類が、本発明の感光性樹脂組成物から形成される塗膜の耐熱性に優れるので好ましい。   Other monomers include hydrocarbon olefins, vinyl ethers, isopropenyl ethers, allyl ethers, vinyl esters, allyl esters, (meth) acrylic esters, (meth) acrylamides, aromatic Examples include vinyl compounds, chloroolefins, fluoroolefins, and conjugated dienes. These compounds may contain a functional group, and examples thereof include a hydroxyl group, a carbonyl group, an alkoxy group, and an amide group. Moreover, you may have group which has a polysiloxane structure. However, monomer units based on these other monomers do not have an Rf group (a) and an acidic group (b). These may be used alone or in combination of two or more. In particular, (meth) acrylic acid esters and (meth) acrylamides are preferable because they are excellent in heat resistance of a coating film formed from the photosensitive resin composition of the present invention.

含フッ素樹脂において、その他の単量体に基づく単量体単位の割合は80%以下が好ましく、70%以下がより好ましい。当該範囲であると本発明の感光性樹脂組成物の現像性が良好となる。   In the fluororesin, the proportion of monomer units based on other monomers is preferably 80% or less, and more preferably 70% or less. Within this range, the developability of the photosensitive resin composition of the present invention will be good.

本発明における含フッ素樹脂は、上記のエチレン性二重結合とRf基(a)とを有する単量体に基づく単量体単位と、エチレン性二重結合と酸性基(b)とを有する単量体に基づく単量体単位とを含む共重合体を合成することによって得られるほか、反応部位を有する重合体にRf基(a)を有する化合物及び/又は酸性基(b)を有する化合物を反応させる各種変性方法によっても得られる。   The fluororesin in the present invention is a monomer unit based on a monomer having the above ethylenic double bond and Rf group (a), and a single unit having an ethylenic double bond and an acidic group (b). In addition to being obtained by synthesizing a copolymer containing monomer units based on a monomer, a compound having an Rf group (a) and / or a compound having an acidic group (b) in a polymer having a reactive site It can also be obtained by various modification methods to be reacted.

反応部位を有する重合体にRf基(a)を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にRf基(a)とカルボキシル基を有する化合物を反応させる方法、エポキシ基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後にRf基(a)とヒドロキシル基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。   As various modification methods for reacting a compound having an Rf group (a) with a polymer having a reactive site, for example, a monomer having an epoxy group is copolymerized in advance, and then an Rf group (a) and a carboxyl group are later included. Examples thereof include a method of reacting a compound and a method of previously copolymerizing an epoxy group-containing monomer and then reacting a compound having an Rf group (a) and a hydroxyl group.

エポキシ基を有する単量体の具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートが挙げられる。   Specific examples of the monomer having an epoxy group include glycidyl (meth) acrylate and 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate.

Rf基(a)とカルボキシル基を有する化合物としては、下記式3で表される化合物が挙げられる。

HOOC−Cp−12(p−1)−O−(C2p−O)n−1−C2q+1・・・式3
式3中、pは2又は3の整数、qは1〜20の整数、nは2〜50の整数を示す。
Examples of the compound having an Rf group (a) and a carboxyl group include compounds represented by the following formula 3.

HOOC-C p-1 F 2 (p-1) -O- (C p F 2p -O) n-1 -C q F 2q + 1 ··· Equation 3
In Formula 3, p is an integer of 2 or 3, q is an integer of 1 to 20, and n is an integer of 2 to 50.

Rf基(a)とヒドロキシル基を有する化合物としては、下記式4で表される化合物が挙げられる。

HOCH−Cp−12(p−1)−O−(C2p−O)n−1−C2q+1・・・式4
式4中、pは2又は3の整数、qは1〜20の整数、nは2〜50の整数を示す。
Examples of the compound having an Rf group (a) and a hydroxyl group include compounds represented by the following formula 4.

HOCH 2 -C p-1 F 2 (p-1) -O- (C p F 2p -O) n-1 -C q F 2q + 1 ··· Equation 4
In Formula 4, p represents an integer of 2 or 3, q represents an integer of 1 to 20, and n represents an integer of 2 to 50.

反応部位を有する重合体に酸性基(b)を有する化合物を反応させる各種変性方法としては、例えば、水酸基を有する単量体をあらかじめ共重合させ、後に酸無水物を反応させる方法が挙げられる。また、エチレン性二重結合を有する酸無水物をあらかじめ共重合させ、後に水酸基を有する化合物を反応させる方法が挙げられる。   Examples of various modification methods for reacting a polymer having a reactive site with a compound having an acidic group (b) include a method in which a monomer having a hydroxyl group is copolymerized in advance and then an acid anhydride is reacted. Moreover, the method of making the acid anhydride which has an ethylenic double bond copolymerize previously, and making the compound which has a hydroxyl group react later is mentioned.

水酸基を有する単量体の具体例としては、ビニルフェノール、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、5−ヒドロキシペンチル(メタ)アクリレート、6−ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ(メタ)アクリレート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルアリルエーテル、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ビス(ヒドロキシメチル)等が挙げられる。   Specific examples of the monomer having a hydroxyl group include vinylphenol, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate. 5-hydroxypentyl (meth) acrylate, 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate, 4-hydroxycyclohexyl (meth) acrylate, neopentyl glycol mono (meth) acrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, Glycerin mono (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl vinyl ether, 4-hydroxybutyl vinyl ether, cyclohexanediol monovinyl ether, 2-hydroxyethyl allyl ether, N-hydro Shimechiru (meth) acrylamide, N, N-bis (hydroxymethyl), and the like.

さらに、水酸基を有する単量体としては、末端が水酸基であるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体であってもよい。例えば、CH=CHOCH10CHO(CO)H(ここで、gは1〜100の整数、以下同じ。)、CH=CHOCO(CO)H、CH=CHCOOCO(CO)H、CH=C(CH)COOCO(CO)H、CH=CHCOOCO(CO)(C
O)H(ここで、hは0又は1〜100の整数であり、kは1〜100の整数であり、h+kは1〜100である。以下同じ。)、CH=C(CH)COOCO(CO)(CO)H等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
Furthermore, the monomer having a hydroxyl group may be a monomer having a polyoxyalkylene chain whose terminal is a hydroxyl group. For example, CH 2 = CHOCH 2 C 6 H 10 CH 2 O (C 2 H 4 O) g H (where g is an integer of 1 to 100, the same shall apply hereinafter), CH 2 = CHOC 4 H 8 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = C (CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) g H, CH 2 = CHCOOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C
3 H 6 O) k H (where h is 0 or an integer of 1 to 100, k is an integer of 1 to 100, and h + k is 1 to 100. The same shall apply hereinafter), CH 2 = C (CH 3) COOC 2 H 4 O (C 2 H 4 O) h (C 3 H 6 O) k H and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

酸無水物の具体例としては、無水フタル酸、無水3−メチルフタル酸、無水トリメリット酸等が挙げられる。   Specific examples of the acid anhydride include phthalic anhydride, 3-methylphthalic anhydride, trimellitic anhydride, and the like.

エチレン性二重結合を有する酸無水物の具体例としては、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水メチル−5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸、無水3,4,5,6−テトラヒドロフタル酸、無水cis−1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸、2−ブテン−1−イルスシニックアンハイドライド等が挙げられる。   Specific examples of the acid anhydride having an ethylenic double bond include maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, methyl-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 3,4,5,6 anhydride -Tetrahydrophthalic acid, cis-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride, 2-buten-1-yl succinic anhydride, etc. are mentioned.

水酸基を有する化合物としては、1つ以上の水酸基を有している化合物であれば良く、前記に示した水酸基を有する単量体の具体例や、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエタノール等のセルソルブ類、2−(2−メトキシエトキシ)エタノール、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール、2−(2−ブトキシエトキシ)エタノール等のカルビトール類等が挙げられる。分子内に1個の水酸基を有する化合物が好ましい。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   The compound having a hydroxyl group may be a compound having one or more hydroxyl groups. Specific examples of the monomer having a hydroxyl group shown above, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1- Alcohols such as butanol and ethylene glycol; cellsolves such as 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol and 2-butoxyethanol; 2- (2-methoxyethoxy) ethanol; 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol; And carbitols such as (2-butoxyethoxy) ethanol. A compound having one hydroxyl group in the molecule is preferred. These may be used alone or in combination of two or more.

含フッ素樹脂あるいは含フッ素樹脂の前駆体となる前記反応部位を有する重合体は、単量体を必要に応じて連鎖移動剤と共に、溶媒に溶解して加熱し、重合開始剤を加えて反応させる方法によって合成できる。   The polymer having the reactive site, which is a fluorine-containing resin or a precursor of the fluorine-containing resin, is reacted by dissolving the monomer in a solvent together with a chain transfer agent as necessary and heating, and adding a polymerization initiator. It can be synthesized by the method.

含フッ素樹脂(A)の配合量は、感光性樹脂組成物中の固形分に対し、0.01〜50%が好ましく、0.1〜30%がより好ましく、0.2〜10%が特に好ましい。当該範囲であると感光性樹脂組成物は良好な撥インク性、インク転落性を奏し、現像性が良好となる。   The blending amount of the fluororesin (A) is preferably 0.01 to 50%, more preferably 0.1 to 30%, and particularly preferably 0.2 to 10% with respect to the solid content in the photosensitive resin composition. preferable. Within such a range, the photosensitive resin composition exhibits good ink repellency and ink tumbling properties and good developability.

(2)<撥水層を設ける方法>
「混色」を防ぐ手段として、離画壁を形成した基板上の離画壁に合致した位置にインキ反発性を有する仕切り壁を作製する方法がある。
(2) <Method of providing a water repellent layer>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method of producing a partition wall having ink repellency at a position matching the separation wall on the substrate on which the separation wall is formed.

インキ反発性を有する仕切り壁として、シリコーンゴム層を用いることが好ましい。表層に塗設されるシリコーンゴム層は、着色に用いる溶液およびインクに対して反発効果を有することが必須であり、これに限定されるものではないが、下記一般式(1)のような繰り返し単位を有する分子量数千〜数十万の線状有機ポリシロキサンを主成分とするものである。   A silicone rubber layer is preferably used as the partition wall having ink repellency. The silicone rubber layer coated on the surface layer is required to have a repulsive effect on the solution and ink used for coloring, and is not limited to this, but is repeated as in the following general formula (1). The main component is a linear organic polysiloxane having a molecular weight of several thousands to several hundreds of thousands.

Figure 2007333880
Figure 2007333880

なお、一般式(1)において、nは2以上の整数、Rは炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基あるいはフェニル基である。 In general formula (1), n is an integer of 2 or more, and R is an alkyl group, alkenyl group, or phenyl group having 1 to 10 carbon atoms.

この様な線状有機ポリシロキサンをまばらに架橋することによりシリコーンゴムが得られる。架橋剤は、いわゆる室温(低温)硬化型のシリコーンゴムに使われるアセトキシシラン、ケトオキシムシラン、アルコキシシラン、アミノシラン、アミドシラン、アルケニオキシシランなどであり、通常線状の有機ポリシロキサンとして末端が水酸基であるものと組み合わせて、それぞれ脱酢酸型、脱オキシム型、脱アルコ−ル型、脱アミン型、脱アミド型、脱ケトン型のシリコーンゴムとなる。また、シリコーンゴムには、触媒として少量の有機スズ化合物などが添加される。感光性樹脂層とシリコーンゴム層の接着のために層間に接着層として種々のものを用いることがあり、特にアミノシラン化合物や有機チタネート化合物が好ましい。感光性樹脂層とシリコーンゴム層間に接着層を設ける代わりにシリコーンゴム層に接着成分を添加しておくこともできる。この添加接着成分としてもアミノシラン化合物や有機チタネート化合物が使用できる。   Silicone rubber can be obtained by sparsely cross-linking such a linear organic polysiloxane. Cross-linking agents are acetoxy silane, ketoxime silane, alkoxy silane, amino silane, amido silane, alkenoxy silane, etc., used for so-called room temperature (low temperature) curable silicone rubber, and usually have a terminal hydroxyl group as a linear organic polysiloxane. In combination with these, a deacetic acid type, a deoxime type, a dealcohol type, a deamine type, a deamide type, and a deketone type silicone rubber are obtained. In addition, a small amount of an organic tin compound or the like is added to the silicone rubber as a catalyst. Various layers may be used as an adhesive layer between the photosensitive resin layer and the silicone rubber layer, and aminosilane compounds and organic titanate compounds are particularly preferable. Instead of providing an adhesive layer between the photosensitive resin layer and the silicone rubber layer, an adhesive component may be added to the silicone rubber layer. An aminosilane compound or an organic titanate compound can also be used as this additional adhesive component.

仕切り壁を作製するための露光は離画壁をマスクとし、基板の裏側から行い、さらに照射UV光を散乱させて入射光を透過部位の大きさより拡大して感光性樹脂に作用させて、光反応して可溶化する樹脂の部分をシリコーンゴム表層側の方が大きくなる様にする。この様に露光した後、n−ヘプタン/エタノ−ル混合液で現像してシリコーンゴム表層を有する仕切り壁を作製できる。   The exposure for producing the partition wall is performed from the back side of the substrate using the separation wall as a mask, and further, the irradiation UV light is scattered to expand the incident light from the size of the transmission part and to act on the photosensitive resin. The portion of the resin that is solubilized by reaction is made larger on the surface side of the silicone rubber. After exposure in this manner, a partition wall having a silicone rubber surface layer can be produced by developing with an n-heptane / ethanol mixture.

(3)<プラズマ処理により撥水性を付与する方法>
「混色」を防ぐ手段として、離画壁を形成した基板に、プラズマによる撥水化処理をする方法がある。
(3) <Method of imparting water repellency by plasma treatment>
As a means for preventing “color mixing”, there is a method of performing water repellency treatment by plasma on a substrate on which a separation wall is formed.

本工程において導入する、少なくともフッ素原子を含有するガスとしては、CF、CHF、C、SF、C、Cから選択されるハロゲンガスを1種以上用いることが好ましい。特に、C(オクタフルオロシクロペンテン)は、オゾン破壊能が0であると同時に、大気寿命が従来のガスに比べて(CF:5万年、C:3200年)0.98年と非常に短い。従って、地球温暖化係数が90(CO=2とした100年積算値)と、従来のガスに比べて(CF:6500、C:8700)非常に小さく、オゾン層や地球環境保護に極めて有効であり、本発明で使用する上で望ましい。 As the gas containing at least fluorine atoms introduced in this step, one or more halogen gases selected from CF 4 , CHF 3 , C 2 F 6 , SF 6 , C 3 F 8 , and C 5 F 8 are used. It is preferable. In particular, C 5 F 8 (octafluorocyclopentene) has an ozone depletion ability of 0, and at the same time, has an atmospheric life (CF 4 : 50,000 years, C 4 F 8 : 3200 years) as compared with conventional gases. It is very short with 98 years. Therefore, the global warming potential is 90 (100-year integrated value assuming CO 2 = 2), which is very small (CF 4 : 6500, C 4 F 8 : 8700) compared to conventional gases, and the ozone layer and the global environment It is extremely effective for protection and is desirable for use in the present invention.

さらに、導入ガスとしては、必要に応じて酸素、アルゴン、ヘリウム等のガスを併用しても良い。本工程においては、上記CF、CHF、C、SF、C、Cから選択されるハロゲンガスを1種以上とOとの混合ガスを用いると、本工程において処理される離画壁表面の撥インク性の程度を制御することが可能になる。但し、当該混合ガスにおいて、Oの混合比率が30%を超えるとOによる酸化反応が支配的になり、撥インク性向上効果が妨げられるため、また、O混合比率が30%を超えると樹脂に対するダメージが顕著になるため、当該混合ガスを用いる場合にはOの混合比率が30%以下の範囲で使用する必要がある。 Further, as the introduced gas, a gas such as oxygen, argon, or helium may be used in combination as necessary. In this step, when a mixed gas of at least one halogen gas selected from CF 4 , CHF 3 , C 2 F 6 , SF 6 , C 3 F 8 , and C 5 F 8 and O 2 is used, It is possible to control the degree of ink repellency on the surface of the image separation wall processed in this step. However, in the mixed gas, the oxidation reaction mixture ratio by O 2 exceeds 30% of O 2 is dominant, because the ink repellency enhancing effect is prevented, also, O 2 mixing ratio is more than 30% When the mixed gas is used, it is necessary to use O 2 in a range where the mixing ratio of O 2 is 30% or less.

また、プラズマの発生方法としては、低周波放電、高周波放電、マイクロ波放電等の方式を用いることができる。プラズマ処理の際の圧力、ガス流量、出力、処理時間等の条件は任意に設定することができるが、本発明の効果を達成するためには、以下の条件であることがより好ましい。   As a method for generating plasma, methods such as low frequency discharge, high frequency discharge, and microwave discharge can be used. Conditions such as a pressure, a gas flow rate, an output, and a processing time during plasma processing can be arbitrarily set, but in order to achieve the effects of the present invention, the following conditions are more preferable.

プラズマ処理の際の圧力は、10〜100Paが好ましく、20〜80Paがより好ましく、30〜50Paがさらに好ましい。ガス流量は、40〜300sccmが好ましく、50〜200sccmがより好ましく、60〜100sccmがさらに好ましい。出力は、10〜100Wが好ましく、20〜90Wがより好ましく、30〜80Wがさらに好ましい。処理時間は上記圧力と出力に依存し、20〜200secが好ましく、20〜100secがより好ましく、10〜50secがさらに好ましい。   The pressure during the plasma treatment is preferably 10 to 100 Pa, more preferably 20 to 80 Pa, and further preferably 30 to 50 Pa. The gas flow rate is preferably 40 to 300 sccm, more preferably 50 to 200 sccm, and still more preferably 60 to 100 sccm. The output is preferably 10 to 100 W, more preferably 20 to 90 W, and even more preferably 30 to 80 W. The treatment time depends on the pressure and output, is preferably 20 to 200 sec, more preferably 20 to 100 sec, and further preferably 10 to 50 sec.

(4)<離画壁上面に撥水材料を塗布する方法>
「混色」を防ぐ手段として、離画壁を形成した基板に、撥水性を有する材料を全面に塗布する方法がある。
撥水性を有する材料としてはポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、シリコーンゴム、パーフルオロアルキルアクリレート、ハイドロカーボンアクリレート、メチルシロキサン等、一般に撥水材料と考えられるもので色材に対する接触角が60°以上のものであれば特に限定されるものではない。
(4) <Method of applying a water repellent material to the upper surface of the separation wall>
As means for preventing “color mixing”, there is a method in which a water repellent material is applied to the entire surface of a substrate on which a separation wall is formed.
Water repellent materials such as fluoropolymers such as polytetrafluoroethylene, silicone rubber, perfluoroalkyl acrylate, hydrocarbon acrylate, methyl siloxane, etc. are generally considered water repellent materials and have a contact angle of 60 ° or more with color materials If it is a thing, it will not specifically limit.

撥水材料の塗布の方法としては基板、離画壁などに影響を及ぼさない方法であれば、スリットコート、スピンコート、ディップコート、ロールコート等各材料に最適の方法を選択することが可能である。   As a method for applying the water repellent material, it is possible to select the most suitable method for each material such as slit coat, spin coat, dip coat, roll coat, etc., as long as it does not affect the substrate, separation wall, etc. is there.

次に、基板裏面側から離画壁を介してUVO処理を行い、離画壁以外の部分の撥水膜を選択的に除去または親水化処理(色材に対する接触角が処理前後で30°以上の開きがある)する。 Next, UVO 3 treatment is performed from the back side of the substrate through the separation wall, and the water-repellent film other than the separation wall is selectively removed or hydrophilized (contact angle with the colorant is 30 ° before and after the treatment). (There is an opening above).

撥水材料を除去または親水化処理することが可能ならば、パターニングの方法はレーザーアブレーション、プラズマアッシング、コロナ放電処理等のドライ処理およびアルカリを用いたウェット処理等材料に応じて最適の方法を選択することが可能である。また、離画壁上に撥水材料をパターン形成することが可能であればリフトオフ法等も有効である。   If the water repellent material can be removed or hydrophilized, the patterning method can be selected according to the material, such as laser ablation, plasma ashing, dry treatment such as corona discharge treatment, and wet treatment using alkali. Is possible. In addition, if it is possible to form a pattern of a water repellent material on the separation wall, a lift-off method or the like is also effective.

上記(1)〜(4)の撥水処理方法の中でも、「工程の簡便さ」という観点から(3)プラズマによる撥水処理方法が特に好ましい。   Among the water repellent treatment methods (1) to (4) above, (3) the water repellent treatment method using plasma is particularly preferable from the viewpoint of “simpleness of the process”.

<カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置>
本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明のインクジェット法用離画壁付き基板を用い、離画壁で離隔された領域に着色液体組成物(以下、「インク」と称することがある。)の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有する。本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により製造することができる。
<Color Filter Manufacturing Method, Color Filter, and Liquid Crystal Display>
The method for producing a color filter of the present invention uses a substrate with a separation wall for an inkjet method of the present invention, and a colored liquid composition (hereinafter sometimes referred to as “ink”) in a region separated by the separation wall. A pixel forming step of forming a pixel by applying the liquid droplets by an inkjet method. The color filter of this invention can be manufactured with the manufacturing method of the color filter of this invention.

インクジェット法を実施するためのインクジェット記録装置としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開平10−195358号公報[0009]〜[0026]に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記<感光性樹脂組成物>の項で挙げた、顔料などの色材を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
As an ink jet recording apparatus for carrying out the ink jet method, a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is intermittently ejected using a piezoelectric element, a method in which ink is heated and foamed is used. Then, various methods such as a method of intermittent injection can be employed.
The ink used may be oily or water-based. The coloring material contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A No. 2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A No. 10-195358 [0009] is used for producing a known color filter. ]-[0026] The inkjet composition as described above can also be used.
In consideration of the process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink in the present invention. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a coloring material such as a pigment described in the above section <Photosensitive resin composition> can be used as a preferable one.

また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、2官能乃至3官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。   Further, as the ink that can be used in the present invention, a thermosetting ink for a color filter containing at least a binder and a bifunctional to trifunctional epoxy group-containing monomer can also be used as a suitable ink.

本発明のカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであるが、RGB3色のインクを吹き付けて3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。
このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
The color filter of the present invention is a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, but it is preferable to form three color filters by spraying RGB three color inks.
This color filter is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.

このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。   The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a general black matrix shape such as a stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement. May be.

(オーバーコート層)
カラーフィルタ作製後、全面に耐性向上のためにオーバーコート層を設ける場合がある。オーバーコート層は、インクR,G,Bの固化層を保護するとともに、表面を平坦にすることができるが、工程数が増えるという観点から、設けないことが好ましい。
(Overcoat layer)
After the color filter is manufactured, an overcoat layer may be provided on the entire surface to improve resistance. The overcoat layer can protect the solidified layers of the inks R, G, and B and can flatten the surface, but it is preferably not provided from the viewpoint of increasing the number of steps.

オーバーコート層を形成する樹脂(OC剤)としては、アクリル系樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物などが挙げられる。中でも、可視光領域での透明性で優れており、また、カラーフィルタ用光硬化性組成物の樹脂成分が通常アクリル系樹脂を主成分としており、密着性に優れていることからアクリル系樹脂組成物が望ましい。
オーバーコート層の例として、特開2003−287618号公報の段落番号0018〜0028に記載のものや、オーバーコート剤の市販品として、JSR社製「オプトマーSS6699G」)が挙げられる。
Examples of the resin (OC agent) that forms the overcoat layer include an acrylic resin composition, an epoxy resin composition, and a polyimide resin composition. Above all, it is excellent in transparency in the visible light region, and the resin component of the photocurable composition for color filters is usually mainly composed of an acrylic resin, so that the acrylic resin composition is excellent in adhesion. Things are desirable.
Examples of the overcoat layer include those described in JP-A No. 2003-287618, paragraphs 0018 to 0028, and commercially available overcoat agents such as “Optomer SS6699G” manufactured by JSR.

本発明のカラーフィルタは液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置に好適に用いられる。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
この表示装置のうち、液晶表示装置に適用するのが特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
The color filter of the present invention is suitably used for display devices such as liquid crystal display devices, plasma display display devices, EL display devices, and CRT display devices. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).
Of these display devices, application to a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のカラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。   In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

以下に、本発明のカラーフィルタを液晶表示装置に適応した場合について図面を用いて説明する。
図2は本発明のカラーフィルタの一実施形態の断面を示す図である。図2中、11は基板としての透明基板、12は離画壁、13は画素である着色部、14は必要に応じて形成される保護層である。本発明のカラーフィルタを用いて液晶素子を構成する場合には、着色部13上或いは、着色部13上に保護層14を形成したさらにその上に、液晶を駆動するためのITO(インジウム・チン・オキサイド)等透明導電材からなる透明導電膜が形成されて提供される場合もある。
The case where the color filter of the present invention is applied to a liquid crystal display device will be described below with reference to the drawings.
FIG. 2 is a view showing a cross section of one embodiment of the color filter of the present invention. In FIG. 2, 11 is a transparent substrate as a substrate, 12 is a separation wall, 13 is a colored portion which is a pixel, and 14 is a protective layer formed as necessary. When a liquid crystal element is configured using the color filter of the present invention, ITO (indium tin) for driving liquid crystal is further formed on the colored portion 13 or on the protective layer 14 formed on the colored portion 13. A transparent conductive film made of a transparent conductive material such as oxide) may be formed and provided.

本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタを有するものである。本発明における液晶表示素子とは、対向する一対の基板の間に、液晶材料が封入された液晶層を有する素子である。
液晶表示装置は、対向する一対の基板の少なくとも一方にカラーフィルタを有し、互いに対向し合う側の表面に導電層が設けられた2枚の基板間に液晶層が挟持され、該両導電層間に電圧が印可されその間に挟持される液晶材料がその電圧に応じて配向状態を変化させ表示を行う表示装置である。
The liquid crystal display device of the present invention has the color filter of the present invention. The liquid crystal display element in the present invention is an element having a liquid crystal layer in which a liquid crystal material is sealed between a pair of opposed substrates.
The liquid crystal display device has a color filter on at least one of a pair of substrates facing each other, and a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates each having a conductive layer on the surface facing each other. This is a display device in which a voltage is applied to the liquid crystal material and the liquid crystal material sandwiched therebetween changes the alignment state in accordance with the voltage and performs display.

液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(1)薄膜トランジスタ(以下、「TFT」という場合がある。)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、カラーフィルタ及び対向電極(導電層)を備えるカラーフィルタ側基板との間に液晶材料を封入して構成されるもの、(2)カラーフィルタが上記駆動側基板に直接形成されたカラーフィルタ一体型駆動基板と、対向電極(導電層)を備える対向基板との間に液晶材料を封入して構成されるもの等が挙げられる。
上記導電層としては、例えば、ITO膜;Al、Zn、Cu、Fe、Ni、Cr、Mo等の金属膜;SiO等の金属酸化膜などが挙げられ、中でも透明性のものが好ましく、ITO膜が特に好ましい。上記駆動側基板、カラーフィルタ側基板、対向基板は、その基板として、例えば、ソーダガラス板、低膨張ガラス板、ノンアルカリガラス板、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いはプラスチックフィルム等を用いて構成される。
TFT等の駆動素子と画素電極とが配列形成された駆動側基板としては、例えば、互いに垂直に交わってマトリックス状に配設されたデータバスライン及びゲートバスラインと接続されたTFT、及びTFTを介してデータバスラインと接続する導電層が設けられたものなどが挙げられる。
A basic configuration mode of the liquid crystal display device includes: (1) a driving side substrate in which driving elements such as thin film transistors (hereinafter sometimes referred to as “TFTs”) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged; A liquid crystal material enclosed between a color filter and a counter substrate (conductive layer) provided with a color filter; (2) a color filter integrated drive in which a color filter is directly formed on the drive substrate; Examples include a liquid crystal material sealed between a substrate and a counter substrate including a counter electrode (conductive layer).
Examples of the conductive layer include an ITO film; a metal film such as Al, Zn, Cu, Fe, Ni, Cr, and Mo; a metal oxide film such as SiO 2. A membrane is particularly preferred. For the drive side substrate, color filter side substrate, and counter substrate, for example, a known glass plate such as a soda glass plate, a low expansion glass plate, a non-alkali glass plate, a quartz glass plate, or a plastic film is used. Configured.
As a driving side substrate in which driving elements such as TFTs and pixel electrodes are arranged, for example, TFTs and TFTs connected to data bus lines and gate bus lines arranged in a matrix so as to cross each other vertically are arranged. For example, a conductive layer connected to the data bus line may be provided.

図3に、図2のカラーフィルタを用いて構成された、液晶表示素子の一実施形態の断面図を示す。図3中、17は共通電極(透明導電膜)、18は配向膜、19は液晶、21は対向基板、22は画素電極、23は配向膜であり、図2と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。   FIG. 3 is a cross-sectional view of an embodiment of a liquid crystal display element configured using the color filter of FIG. In FIG. 3, 17 is a common electrode (transparent conductive film), 18 is an alignment film, 19 is a liquid crystal, 21 is a counter substrate, 22 is a pixel electrode, and 23 is an alignment film. A description thereof will be omitted.

カラー液晶素子は、一般的にカラーフィルタ側の基板11と対向基板21とを合わせ込み、液晶19を封入することにより形成される。液晶素子の一方の基板21の内側に、TFT(図示せず)と画素電極22がマトリクス状に形成されている。また、カラーフィルタ側の基板11の内側には、画素電極22に対向する位置に、R、G、Bが配列するように、カラーフィルタの着色部13が形成され、その上に透明な共通電極17が形成される。さらに、両基板の面内には配向膜18、23が形成されており、液晶分子を一定方向に配列させている。これらの基板は、スペーサー(図示せず)を介して対向配置され、シール材(図示せず)によって貼り合わされ、その間隙に液晶19が充填される。上記液晶表示素子は、透過型の場合には、基板21及び画素電極22を透明素材で形成し、それぞれの基板の外側に偏光板を接着し、一般的に蛍光灯と散乱板を組み合わせたバックライトを用い、液晶化合物をバックライトの光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。また、反射型の場合には、基板21或いは画素電極22を反射機能を備えた素材で形成するか、或いは、基板21上に反射層を設け、透明基板11の外側に偏光板を設け、カラーフィルタ側から入射した光を反射して表示を行う。
本発明の液晶表示装置は本発明のカラーフィルタを有するため、混色や白ヌケのない高解像度の画像を表示することができる。
The color liquid crystal element is generally formed by combining the substrate 11 on the color filter side and the counter substrate 21 and enclosing the liquid crystal 19. TFTs (not shown) and pixel electrodes 22 are formed in a matrix inside one substrate 21 of the liquid crystal element. In addition, a color filter coloring portion 13 is formed inside the substrate 11 on the color filter side so that R, G, and B are arranged at a position facing the pixel electrode 22, and a transparent common electrode is formed thereon. 17 is formed. Further, alignment films 18 and 23 are formed in the planes of both substrates, and liquid crystal molecules are arranged in a certain direction. These substrates are arranged to face each other via a spacer (not shown), are bonded together by a sealing material (not shown), and a liquid crystal 19 is filled in the gap. When the liquid crystal display element is a transmissive type, the substrate 21 and the pixel electrode 22 are formed of a transparent material, a polarizing plate is bonded to the outside of each substrate, and a back surface generally combining a fluorescent lamp and a scattering plate. Display is performed by using a light and causing the liquid crystal compound to function as an optical shutter that changes the light transmittance of the backlight. In the case of the reflection type, the substrate 21 or the pixel electrode 22 is formed of a material having a reflection function, or a reflective layer is provided on the substrate 21 and a polarizing plate is provided outside the transparent substrate 11 to provide a color. Display is performed by reflecting light incident from the filter side.
Since the liquid crystal display device of the present invention has the color filter of the present invention, it can display a high-resolution image free from mixed colors and white spots.

以下、本発明を実施例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明は下記実施例により限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「%」および「部」は、「質量%」および「質量部」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further in detail using an Example, this invention is not limited by the following Example. Unless otherwise specified, “%” and “part” represent “% by mass” and “part by mass”.

[感光性樹脂組成物の製法]
感光性樹脂組成物は、まず下記感光性樹脂組成物処方に記載の量のカーボンブラック分散液、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、バインダーP−1、架橋剤MW−30M(三和ケミカル(株)製)、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、トリエチルアミン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
[Production method of photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition is first weighed in the amount of carbon black dispersion and propylene glycol monomethyl ether acetate described in the following photosensitive resin composition formulation, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at 150 RPM for 10 minutes. Then, methyl ethyl ketone, binder P-1, crosslinking agent MW-30M (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) ) Amino-3′-bromophenyl] -s-triazine, triethylamine, surfactant 1 are weighed and added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.) and 150 RPM for 30 minutes at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.). It is obtained by stirring.

<感光性樹脂組成物処方>
・カーボンブラック分散液(カーボンブラックの粒径20nm) 20.5部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 8.0部
・メチルエチルケトン 53部
・バインダーP−1 7.3部
・架橋剤MW−30M(三和ケミカル(株)製) 6.4部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン 1.6部
・トリエチルアミン 0.04部
・界面活性剤1 0.055部
<Photosensitive resin composition prescription>
・ Carbon black dispersion (carbon black particle size 20 nm) 20.5 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 8.0 parts ・ Methyl ethyl ketone 53 parts ・ Binder P-1 7.3 parts ・ Crosslinking agent MW-30M (Sanwa Chemical) 6.4 parts · 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 ′-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) amino-3′-bromophenyl] -s-triazine 6 parts ・ Triethylamine 0.04 parts ・ Surfactant 1 0.055 parts

<カーボンブラック分散液>
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) 13.1部
・分散剤(下記参照) 0.80部
<Carbon black dispersion>
・ Carbon black (Nexex 35 manufactured by Degussa) 13.1 parts ・ Dispersant (see below) 0.80 parts

Figure 2007333880
Figure 2007333880

・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.38部
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72 parts-Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.38 parts

<バインダーP−1>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
<Binder P-1>
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27 parts-Propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

<界面活性剤1>
・下記構造物1 30部
・メチルエチルケトン 70部
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 30 parts ・ Methyl ethyl ketone 70 parts

Figure 2007333880
Figure 2007333880

[実施例1]
(離画壁の形成)
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
該基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・アジア社製、商品名:MH−1600)にて、感光性樹脂組成物を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の1部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、120℃3分間プリベークして感光性樹脂層を得た。
[Example 1]
(Formation of a separation wall)
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., the photosensitive resin composition was applied with a glass substrate coater (manufactured by FS Asia Co., Ltd., trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle. did. Subsequently, 1 part of the solvent was dried for 30 seconds with a VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) to eliminate the fluidity of the coating layer, and then pre-baked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a photosensitive resin layer.

超高圧水銀灯を有すプロキシミティ型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cmでパターン露光した。露光終了して1分後に120℃で30秒間加熱処理(露光後ベーク)を行った。 With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and photosensitive resin The distance between the layers was set to 200 μm, and pattern exposure was performed with an exposure amount of 200 mJ / cm 2 . One minute after the completion of exposure, heat treatment (post-exposure baking) was performed at 120 ° C. for 30 seconds.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、感光性樹脂層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン性界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、引き続き220℃で30分間熱処理して幅15μm、高さ2.0μmの格子パターン状離画壁を得た。   Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the photosensitive resin layer, and then a KOH developer (KOH, containing a nonionic surfactant, product names: CDK-1, Fuji) The film was subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa using a film electronics materials, to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, followed by heat treatment at 220 ° C. for 30 minutes, and a grid pattern separation with a width of 15 μm and a height of 2.0 μm. Got a wall.

〔プラズマ撥水化処理〕
離画壁を形成した基板に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ撥水化処理を行った。
使用ガス :CFガス流量 :80sccm
圧力 :40Pa
RFパワー :50W
処理時間 :30sec
[Plasma water repellency treatment]
The substrate on which the separation wall was formed was subjected to plasma water repellency treatment under the following conditions using a cathode coupling parallel plate type plasma treatment apparatus.
Gas used: CF 4 gas flow rate: 80 sccm
Pressure: 40Pa
RF power: 50W
Processing time: 30 sec

(画素形成)
次いで、インクジェット装置を用いR、G、Bそれぞれのインクをブラックマトリックスパターン様離画壁の間隙に付与して着色した。
このインクは、下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得、その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、R(赤色)インクを調製した。
<Rインクの組成>
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、油化シェル社製エピコート154)
2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル) 5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
(Pixel formation)
Next, each of R, G, and B inks was applied to the gaps between the black matrix pattern-like separation walls using an inkjet device, and colored.
In this ink, among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant and a solvent are mixed, and a pigment dispersion is obtained using a three roll and a bead mill, and the pigment dispersion is sufficiently stirred with a dissolver or the like. While adding other materials little by little, R (red) ink was prepared.
<R ink composition>
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (glycidyl methacrylate-styrene copolymer) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin) Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell
2 parts, 2nd epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts, curing agent (trimellitic acid) 4 parts, solvent: 80 parts ethyl 3-ethoxypropionate

さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えて、C.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかはRインクの場合と同様にしてG(緑色)インクを調製した。
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えて、C.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかはRインクの場合と同様にしてB(青色)インクを調製した。
画素着色後のカラーフィルタを230℃オーブン中で30分ベークすることで、離画壁(ブラックマトリックス)、各画素共に完全に硬化させて、カラーフィルタを得た。
Further, C.I. I. In place of Pigment Red 254, C.I. I. G (green) ink was prepared in the same manner as R ink except that the same amount of pigment green 36 was used.
Further, C.I. I. In place of Pigment Red 254, C.I. I. B (blue) ink was prepared in the same manner as in the R ink except that the same amount of Pigment Blue 15: 6 was used.
The color filter after pixel coloring was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes, whereby both the separation wall (black matrix) and each pixel were completely cured to obtain a color filter.

こうして得られたカラーフィルタの、各画素を構成するインクは離画壁間隙(離画壁で離隔された領域)にぴったり収まり、隣接画素との混色などの欠陥となる不良は見つからなかった。
上記より得たカラーフィルタ基板のR画素、G画素、及びB画素並びにブラックマトリクスの上に更に、ITO(Indium Tin Oxide)の透明電極をスパッタリングにより形成した。別途、対向基板としてガラス基板を用意し、カラーフィルタ基板の透明電極上及び対向基板上にそれぞれPVAモード用にパターニングを施した。
前記ITOの透明電極上の離画壁の上部に相当する部分にフォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、PVAモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板をUV照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、(株)サンリッツ製の偏光板HLC2−2518を貼り付けた。次いで、冷陰極管のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
In the color filter thus obtained, the ink constituting each pixel fits perfectly in the separation wall gap (region separated by the separation wall), and no defect such as a color mixture with adjacent pixels was found.
A transparent electrode of ITO (Indium Tin Oxide) was further formed on the R pixel, G pixel, B pixel and black matrix of the color filter substrate obtained above by sputtering. Separately, a glass substrate was prepared as a counter substrate, and patterning was performed for the PVA mode on the transparent electrode and the counter substrate of the color filter substrate, respectively.
A photospacer was provided in a portion corresponding to the upper part of the separation wall on the ITO transparent electrode, and an alignment film made of polyimide was further provided thereon.
After that, a UV curable resin sealant is applied by a dispenser method at a position corresponding to the outer periphery of the black matrix provided around the pixel group of the color filter, and a liquid crystal for PVA mode is dropped and bonded to the counter substrate. After bonding, the bonded substrate was irradiated with UV, and then heat-treated to cure the sealant. Polarizing plates HLC2-2518 manufactured by Sanlitz Co., Ltd. were attached to both surfaces of the liquid crystal cell thus obtained. Next, a backlight of a cold cathode tube was constructed and placed on the back side of the liquid crystal cell provided with the polarizing plate to obtain a liquid crystal display device.

[評価]
(離画壁付き基板のムラ評価)
上記のようにして作製された離画壁付き基板を、格子に対して45゜の角度から、透過光にかざして、10人が目視観察した際、ムラを感じた人数で評価した。
−評価基準−
○:3人未満
△:3人以上7人未満
×:7人以上
[Evaluation]
(Evaluation of unevenness of substrate with separation wall)
The substrate with the separation wall prepared as described above was evaluated by the number of people who felt unevenness when 10 people visually observed the light from a 45 ° angle with respect to the transmitted light.
-Evaluation criteria-
○: Less than 3 people △: 3 or more and less than 7 people ×: 7 or more people

(b/a値による形状評価:図1参照)
得られたカラーフィルタを基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、走査型電子顕微鏡で撮影(倍率20000倍)した。基板と離画壁の断面の交点をA及びAとし、該離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL、Lが離画壁の断面と交わる点をB及びB、AとAの距離をa、BとBの距離をbとして、b/a値を求めた。測定はランダムに選んだ10点について行い、それらの値を平均して求めた値を表1に示す。
(Shape evaluation by b / a value: see FIG. 1)
The obtained color filter was cut vertically along with the substrate to expose the cross section, and photographed with a scanning electron microscope (magnification 20000 times). The intersections of the cross section of the substrate and the separation wall are A 1 and A 2 , the highest point of the separation wall is H, the perpendicular foot drawn from H to the substrate is G, and passes through H and parallel to the substrate surface. The straight line is L 0 , the point where H and G are internally divided into HP: PG = 1: 3 is P, the straight line passing through P and parallel to the substrate surface is L 1 , and the point where L 1 intersects the section of the separation wall The B / a value was determined by setting B 1 and B 2 , and the distance between A 1 and A 2 as a and the distance between B 1 and B 2 as b. The measurement was performed on 10 points selected at random, and the values obtained by averaging these values are shown in Table 1.

(離画壁の上端角部のd/h値による形状の評価:図4参照;尚、図面は模式図であり、実際の形状サイズとは異なる。)
上記の走査型電子顕微鏡写真から以下の方法で離画壁の上端角部の形状を評価した。該離画壁の基板からの高さが最も高い点における基板からの高さをH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、直線HG上にありHとGをHQ:PQ=1:4に内分する点をQとして、Qを通り基板表面に平行な直線をLとする。Lが離画壁の断面と交わる点をR、Rにおける接線をLとする。LとLの交点Sとする。離画壁の高さをh、Sから離画壁の断面までの距離をdとした時、d/hの値を離画壁の上端角部の形状の尺度とした。d/hの値が、0.06以下であれば混色が起こりにくく、更にこの値が0.04以下であればより混色が起こりにくくなることがわかる。
(Evaluation of shape based on d / h value of upper end corner of separation wall: see FIG. 4. Note that the drawing is a schematic view and is different from the actual shape size.)
From the above scanning electron micrograph, the shape of the upper corner of the separation wall was evaluated by the following method. The height from the substrate at the highest height of the separation wall from the substrate is H, the leg of the perpendicular line from the H to the substrate is G, the straight line HG is on the straight line HG, and H and G are HQ: PQ = 1: as Q a point which internally divides 4, a straight line parallel to the street substrate surface Q and L 2. The point where L 2 intersects the cross section of the separation wall is R, and the tangent line at R is L 3 . The point of intersection S of L 3 and L 0. When the height of the separating wall is h and the distance from S to the section of the separating wall is d, the value of d / h is a measure of the shape of the top corner of the separating wall. It can be seen that color mixing is unlikely to occur if the value of d / h is 0.06 or less, and color mixing is less likely to occur if this value is 0.04 or less.

(離画壁の黒色度の評価)
露光マスクを用いず試料全面に露光する以外は離画壁を作成する方法と同様にしてガラス板上に離画壁と同一厚みのベタ画像を作成した。この試料の450nmから650nmの波長領域の吸光度を分光光度計UV−2100を用いて測定する。このチャートから500nmと600nmの値を求め下記の式で計算する。
黒色度=600nmにおける吸光度÷500nmにおける吸光度
(Evaluation of blackness of separation wall)
A solid image having the same thickness as the separation wall was created on the glass plate in the same manner as the separation wall except that the entire surface of the sample was exposed without using an exposure mask. The absorbance of this sample in the wavelength region of 450 nm to 650 nm is measured using a spectrophotometer UV-2100. The values of 500 nm and 600 nm are obtained from this chart and calculated by the following formula.
Blackness = absorbance at 600 nm ÷ absorbance at 500 nm

(画素間の混色評価)
得られたカラーフィルタを画素を形成した側とは反対側から200倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を調べた。1000画素観察して下記のランクに分けた。結果を表1に示す。許容されるのはAランクとBランクのものである。
Aランク:混色が全くないもの
Bランク:混色が1〜2箇所のもの
Cランク:混色が3〜10箇所のもの
Dランク:混色が11箇所以上のもの
(Evaluation of color mixture between pixels)
The obtained color filter was visually observed with a 200-fold optical microscope from the side opposite to the side on which the pixels were formed to check for color mixing between the pixels. 1000 pixels were observed and divided into the following ranks. The results are shown in Table 1. Allowable are those of A rank and B rank.
Rank A: No color mixing B Rank: Color mixing 1-2 places C Rank: Color mixing 3-10 places D Rank: Color mixing 11 places or more

[実施例2]
(感光性転写材料−1の作製)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて感光性樹脂組成物を塗布して、100℃で3分間乾燥して感光性樹脂層を設け、この上に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着して、感光性転写材料−1を得た。
[Example 2]
(Preparation of photosensitive transfer material-1)
A photosensitive resin composition is applied on a 75 μm-thick polyethylene terephthalate film temporary support using a slit nozzle and dried at 100 ° C. for 3 minutes to provide a photosensitive resin layer, on which a protective film is formed. (Polypropylene film having a thickness of 12 μm) was pressure-bonded to obtain photosensitive transfer material-1.

(離画壁の形成)
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3質量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
(Formation of a separation wall)
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% by mass aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

感光性転写材料−1の保護フイルムを剥離後、ラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティ型露光機(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量200mJ/cmでパターン露光した。露光終了して1分後に120℃で30秒間加熱処理(露光後ベーク)を行った。
After the protective film of the photosensitive transfer material-1 was peeled off, a rubber roller temperature of 130 ° C. and a linear pressure of 100 N were applied to the substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)). / Cm, laminating at a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling off the temporary support, exposure is performed with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing vertically. The distance between the mask surface and the photosensitive resin layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed with an exposure amount of 200 mJ / cm 2 . One minute after the completion of exposure, heat treatment (post-exposure baking) was performed at 120 ° C. for 30 seconds.

引き続き炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画素を得た。
その後更に、該基板に対して感光性樹脂層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cmの光でポスト露光後、220℃、15分熱処理し、離画壁を得た。
この後、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。また、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
Subsequently, a sodium carbonate developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalene sulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer contained, trade name: T -CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), shower development was performed at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa to develop the photosensitive resin layer, thereby obtaining a patterned pixel.
Thereafter, the substrate was further post-exposed with 500 mJ / cm 2 light from the side of the photosensitive resin layer with an ultrahigh pressure mercury lamp, and then heat-treated at 220 ° C. for 15 minutes to obtain a separation wall.
Thereafter, a color filter was prepared in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 1. Further, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1.

[実施例3]
(感光性転写材料−2の作製)
実施例2において、仮支持体と感光性樹脂層の間に仮支持体から近い順に下記熱可塑性樹脂層と中間層を設ける以外は、実施例2と同様にして行い感光性転写材料−2を得た。
[Example 3]
(Preparation of photosensitive transfer material-2)
In Example 2, the photosensitive transfer material-2 was prepared in the same manner as in Example 2 except that the following thermoplastic resin layer and intermediate layer were provided between the temporary support and the photosensitive resin layer in order from the temporary support. Obtained.

(熱可塑性樹脂層の形成)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて下記熱可塑性樹脂層塗布液を乾燥膜厚が3μmになるよう塗布して100℃で3分間乾燥した。
<熱可塑性樹脂層用塗布液処方>
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.4部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製) 9.1部
・前記界面活性剤1 0.54部
・メチルエチルケトン 70部
(Formation of thermoplastic resin layer)
The following thermoplastic resin layer coating solution was applied to a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support using a slit nozzle so that the dry film thickness was 3 μm and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
<Coating liquid formulation for thermoplastic resin layer>
Methanol 11.1 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 6.4 parts Methyl ethyl ketone 52.4 parts Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55) /11.7/4.5/28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 63/37, molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts · 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 9.1 parts · Surfactant 1 0.54 parts ・ Methyl ethyl ketone 70 parts

(中間層の形成)
前述の熱可塑性樹脂層の上にスリット状ノズルを用いて下記中間層用塗布液を乾燥膜厚が1.6μmになるよう塗布して100℃で3分間乾燥した。
<中間層用塗布液処方>
・ポリビニルアルコール 32.2部
(PVA205(鹸化率=88%);(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン 14.9部
(PVP、K−30;アイエスピー・ジャパン社製)
・メタノール 429部
・蒸留水 524部
(Formation of intermediate layer)
The following intermediate layer coating solution was applied onto the above-mentioned thermoplastic resin layer using a slit nozzle so that the dry film thickness was 1.6 μm, and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
<Preparation of coating solution for intermediate layer>
Polyvinyl alcohol 32.2 parts (PVA205 (saponification rate = 88%); manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
-14.9 parts of polyvinylpyrrolidone (PVP, K-30; manufactured by ASP Japan)
・ Methanol 429 parts ・ Distilled water 524 parts

(離画壁の形成)
感光性転写材料−1を感光性転写材料−2に変更した以外は、実施例2と同様の方法で転写、露光を行った。
次に、トリエタノールアミン系現像液(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン性界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD1、富士写真フイルム製)にて30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と中間層を除去した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム製)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し感光性樹脂層を現像しパターニング画素を得た。
(Formation of a separation wall)
Transfer and exposure were performed in the same manner as in Example 2 except that photosensitive transfer material-1 was changed to photosensitive transfer material-2.
Next, 30 ° C. in a triethanolamine developer (containing 2.5% triethanolamine, nonionic surfactant, polypropylene antifoam, trade name: T-PD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) The thermoplastic resin layer and the intermediate layer were removed by shower development with a flat nozzle pressure of 0.04 MPa for 50 seconds.
Subsequently, a sodium carbonate-based developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) was used for shower development at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa to develop the photosensitive resin layer, thereby obtaining a patterned pixel.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD1(富士写真フイルム製)」を用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。
その後更に、該基板に対して感光性樹脂層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cmの光でポスト露光後、220℃、15分熱処理し、離画壁を得た。
この後、実施例1と同様にカラーフィルタを作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。また、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
Subsequently, using a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name “T-SD1 (manufactured by Fuji Photo Film)” at 33 ° C. for 20 seconds, cone type nozzle pressure of 0. Residue removal was performed with a rotating brush having a shower and nylon hair at 02 MPa to obtain a black (K) image.
Thereafter, the substrate was further post-exposed with 500 mJ / cm 2 light from the side of the photosensitive resin layer with an ultrahigh pressure mercury lamp, and then heat-treated at 220 ° C. for 15 minutes to obtain a separation wall.
Thereafter, a color filter was prepared in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 1. Further, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1.

[実施例4]
離画壁の高さを2.7μmとした以外は、実施例3と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 4]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 3 except that the height of the separation wall was 2.7 μm. The results are shown in Table 1.

[実施例5]
離画壁の高さを3.3μmとした以外は、実施例3と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 5]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 3 except that the height of the separation wall was changed to 3.3 μm. The results are shown in Table 1.

[実施例6]
離画壁の高さを4.5μmとした以外は、実施例3と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 6]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 3 except that the height of the separation wall was 4.5 μm. The results are shown in Table 1.

[実施例7]
実施例1において、添加物中のトリエチルアミンを、モルホリノアセトフェノンに変更して添加した以外は同様の添加物/量にて感光性樹脂組成物を作成し、それを実施例3と同様に処理して液晶表示装置を作製した。結果を表1に示す。
[Example 7]
In Example 1, a photosensitive resin composition was prepared with the same additive / amount except that triethylamine in the additive was changed to morpholinoacetophenone and added, and it was treated in the same manner as in Example 3. A liquid crystal display device was produced. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
[比較感光性樹脂組成物1の製法]
比較感光性樹脂組成物1は、まず下記比較感光性樹脂組成物1処方に記載の量のカーボンブラック分散液、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、バインダーP−1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
この比較感光性樹脂組成物1を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。また、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。また、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 1]
[Production Method of Comparative Photosensitive Resin Composition 1]
The comparative photosensitive resin composition 1 was first weighed in the amounts of carbon black dispersion and propylene glycol monomethyl ether acetate described in the following comparative photosensitive resin composition 1 formulation, and mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.). Stir at 150 RPM for 10 minutes, then methyl ethyl ketone, binder P-1, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) amino-3 '-Bromophenyl] -s-triazine and surfactant 1 are weighed out, added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) for 150 RPM for 30 minutes. .
A color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that this comparative photosensitive resin composition 1 was used. Moreover, the same evaluation as Example 1 was performed. The results are shown in Table 1. Further, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1.

<比較感光性樹脂組成物1処方>
・カーボンブラック分散液(カーボンブラックの粒径20nm) 23部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 8.0部
・メチルエチルケトン 53部
・バインダーP−1 9.1部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル(重合禁止剤) 0.002部
・DPHA液 4.5部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン(光重合開始剤) 0.16部
・前記界面活性剤1 0.055部
<Comparison Photosensitive Resin Composition 1 Formulation>
Carbon black dispersion (carbon black particle size 20 nm) 23 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 8.0 parts Methyl ethyl ketone 53 parts Binder P-1 9.1 parts Hydroquinone monomethyl ether (polymerization inhibitor) 0.002 Parts DPHA solution 4.5 parts 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 ′-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) amino-3′-bromophenyl] -s-triazine (photopolymerization) Initiator) 0.16 part ・ Surfactant 1 0.055 part

<DPHA液>
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24部
<DPHA solution>
・ Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500 ppm, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24 parts

[比較例2]
[比較感光性樹脂組成物2の製法]
比較感光性樹脂組成物2は、まず下記比較感光性樹脂組成物2処方に記載の量のカーボンブラック分散液、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、バインダーP−1、架橋剤MW−30M(三和ケミカル(株)製)、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
この比較感光性樹脂組成物2を用いた以外は実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。また、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。また、実施例1と同様の方法で液晶表示装置を作製した。
[Comparative Example 2]
[Production Method of Comparative Photosensitive Resin Composition 2]
The comparative photosensitive resin composition 2 is first weighed in the amount of carbon black dispersion and propylene glycol monomethyl ether acetate described in the following comparative photosensitive resin composition 2 formulation, and mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.). The mixture was stirred at 150 RPM for 10 minutes, and then methyl ethyl ketone, binder P-1, crosslinking agent MW-30M (manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.), 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N- Weigh out bisethoxycarbonylmethyl) amino-3′-bromophenyl] -s-triazine and surfactant 1 and add them in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.) and at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.). It is obtained by stirring at 150 RPM for 30 minutes.
A color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that this comparative photosensitive resin composition 2 was used. Moreover, the same evaluation as Example 1 was performed. The results are shown in Table 1. Further, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1.

<比較感光性樹脂組成物2処方>
・カーボンブラック分散液(カーボンブラックの粒径20nm) 20.5部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 8.0部
・メチルエチルケトン 53部
・バインダーP−1 7.3部
・架橋剤MW−30M(三和ケミカル(株)製) 6.4部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)アミノ−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン 1.6部
・界面活性剤1 0.055部
<Comparison of photosensitive resin composition 2>
・ Carbon black dispersion (carbon black particle size 20 nm) 20.5 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 8.0 parts ・ Methyl ethyl ketone 53 parts ・ Binder P-1 7.3 parts ・ Crosslinking agent MW-30M (Sanwa Chemical) 6.4 parts · 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 ′-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) amino-3′-bromophenyl] -s-triazine 6 parts Surfactant 1 0.055 parts

<カーボンブラック分散液>
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) 13.1部
・分散剤(前記参照) 0.80部
<Carbon black dispersion>
-Carbon black (Nippex 35 manufactured by Degussa) 13.1 parts-Dispersant (see above) 0.80 parts

・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.38部
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72 parts-Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.38 parts

<バインダーP−1>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73部
<Binder P-1>
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27 parts-Propylene glycol monomethyl ether acetate 73 parts

<界面活性剤1>
・前記構造物1 30部
・メチルエチルケトン 70部
<Surfactant 1>
・ 30 parts of the structure 1 ・ 70 parts of methyl ethyl ketone

Figure 2007333880
Figure 2007333880

上記表1から明らかな通り、アミンを加えて架橋反応した離画壁を有する実施例1〜7のいずれにおいても、混色がなく、離画壁基板のムラ(画素面状)もなく良好であった。
一方、比較例1、2は、混色、離画壁基板のムラ(画素面状)ともに不良であった。
As is clear from Table 1 above, in any of Examples 1 to 7 having a separation wall subjected to a crosslinking reaction by addition of an amine, there was no color mixing and there was no unevenness (pixel surface shape) of the separation wall substrate. It was.
On the other hand, in Comparative Examples 1 and 2, both color mixing and unevenness of the separation wall substrate (pixel surface shape) were poor.

(評価)
上記で得られた液晶表示装置を白表示した場合、及び、黒表示した場合の表示品位を目視で観察した。結果を表2に示した。
(Evaluation)
When the liquid crystal display device obtained above was displayed in white and in black, the display quality was visually observed. The results are shown in Table 2.

Figure 2007333880
Figure 2007333880

表2から明らかな通り、実施例1〜7で作成したカラーフィルタを備えた液晶表示装置の画面は、いずれも混色が無く良好な画面であった。
一方、比較例1、2で作製したカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、白表示、黒表示状態共に、程度の差はあるものの赤味かかった表示であり、表示品位が劣るものであった。
As is clear from Table 2, the screens of the liquid crystal display devices provided with the color filters prepared in Examples 1 to 7 were all good in color mixing.
On the other hand, the liquid crystal display device provided with the color filter produced in Comparative Examples 1 and 2 was a reddish display with a degree of difference in both white display and black display states, and the display quality was inferior. .

本発明の離画壁の断面形状を示す模式図の一例である。It is an example of the schematic diagram which shows the cross-sectional shape of the separation wall of this invention. 本発明のカラーフィルタの一実施形態の断面を示す図である。It is a figure which shows the cross section of one Embodiment of the color filter of this invention. 図2に示すカラーフィルタを用いて構成された、液晶表示装置の一実施形態の断面図である。It is sectional drawing of one Embodiment of a liquid crystal display device comprised using the color filter shown in FIG. 本発明の離画壁の断面形状を示す模式図の別の一例である。It is another example of the schematic diagram which shows the cross-sectional shape of the image separation wall of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

11 基板(透明基板)
12 離画壁
13 画素
14 保護層
11 Substrate (transparent substrate)
12 Separation Wall 13 Pixel 14 Protective Layer

Claims (5)

基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも有するインクジェット法用離画壁の製造方法。 A photosensitive resin layer including at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material is formed on at least one surface of the substrate. A photosensitive resin layer forming step, an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region, and a developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion. A method for producing a separation wall for an ink jet method having at least 基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも経て製造されたインクジェット法用離画壁付き基板。 A photosensitive resin layer including at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material is formed on at least one surface of the substrate. A photosensitive resin layer forming step, an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region, and a developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion. A substrate with a separating wall for an ink jet method manufactured through at least the above. 基板の少なくとも一方の面に、光酸発生剤と、該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と、アルカリ可溶性バインダーと、塩基性化合物と、色材とを少なくとも含む感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の前記感光性樹脂層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を少なくとも経て製造されたインクジェット法用離画壁付き基板を用い、前記離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有するカラーフィルタの製造方法。 A photosensitive resin layer including at least a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, an alkali-soluble binder, a basic compound, and a coloring material is formed on at least one surface of the substrate. A photosensitive resin layer forming step, an exposure step of exposing the photosensitive resin layer to cure an exposed region, and a developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive resin layer in an unexposed portion. A pixel forming step of forming a pixel by applying a droplet of a colored liquid composition to a region separated by the separation wall by an inkjet method using a substrate with a separation wall for an inkjet method manufactured through at least A method for producing a color filter. 請求項3に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。 A color filter manufactured by the method for manufacturing a color filter according to claim 3. 請求項4に記載のカラーフィルタを有する液晶表示装置。 A liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 4.
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JP2010210885A (en) * 2009-03-10 2010-09-24 Fujifilm Corp Color filter and method of manufacturing the same, and liquid crystal display device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010210885A (en) * 2009-03-10 2010-09-24 Fujifilm Corp Color filter and method of manufacturing the same, and liquid crystal display device

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