JP2006330155A - Method for manufacturing color filter, color filter, liquid crystal element, and liquid crystal display apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、カラーフィルタの製造方法、該方法により得られたカラーフィルタ、該カラーフィルタを用いた液晶素子、及び、液晶表示装置に関し、特に基板上に互いに異なる色を呈する2以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素は互いに濃色の離画壁により離画されており、離画壁間にインクジェット等によって液滴を付与して形成されるカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、このカラーフィルタを備えた液晶表示素子、この液晶表示素子を備えた液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a method for producing a color filter, a color filter obtained by the method, a liquid crystal element using the color filter, and a liquid crystal display device, and more particularly, two or more image groups exhibiting different colors on a substrate. Each of the pixels constituting the pixel group is separated from each other by a dark color separation wall, and a method for producing a color filter formed by applying liquid droplets between the separation walls by inkjet or the like, a color The present invention relates to a filter, a liquid crystal display element including the color filter, and a liquid crystal display device including the liquid crystal display element.
表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、1)染色法、2)印刷法、3)着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法(着色レジスト法)、4)仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、5)予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法(転写方式)が知られている。また、各画素をインクジェット法を用いて形成する方法も知られている。 The color filter for a display device has a structure in which red, green, and blue dot-like images are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and the boundary is divided by a dark color separation wall such as a black matrix. As a manufacturing method of such a color filter, conventionally, a substrate such as glass is used as a support, 1) a dyeing method, 2) a printing method, 3) application of a colored photosensitive resin solution, and repeated exposure and development. Colored photosensitive resin liquid method (colored resist method), 4) A method of sequentially transferring images formed on a temporary support onto a final or temporary support, and 5) Preliminarily colored photosensitive resin liquid as a temporary support. A method of forming a colored layer by coating on the substrate, transferring the photosensitive colored layer directly onto the substrate, sequentially exposing, developing, and forming a multicolor image by repeating the number of colors ( Transfer method) is known. In addition, a method of forming each pixel using an ink jet method is also known.
これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルタを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方、各画素をインクジェット法を用いて形成する方法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。 Among these methods, although the color resist method can produce a color filter with high positional accuracy, it is not advantageous in terms of cost due to a large loss in application of the photosensitive layer resin solution. On the other hand, although the method of forming each pixel using the ink jet method is advantageous in terms of cost with little loss of resin liquid, there is a problem that the positional accuracy of the pixel is poor.
これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成することで離画壁を形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法も提案されている。しかしこの離画壁形成法によると、離画壁の表面が粗くなり、微細な凹凸が発生してしまう。このためカラーフィルタ上に形成された透明電極(ITO)の表面抵抗が増加してしまう問題がある。 In order to overcome these problems, a color filter manufacturing method has also been proposed in which a black matrix is formed by a colored resist method to form a separation wall, and RGB pixels are manufactured by an inkjet method. However, according to this separation wall forming method, the surface of the separation wall becomes rough and fine irregularities are generated. For this reason, there is a problem that the surface resistance of the transparent electrode (ITO) formed on the color filter increases.
これを防ぐ為、カラーフィルタ上に保護層を設け、平坦性を付与する方法があるが、余分な層を形成するためコストアップする問題があった。
また、離画壁表面にドライエッチング処理を行うことで、表面粗さを調整することが知られている(たとえば、特許文献1参照)。この方法においては、複雑なドライエッチング処理を要し、処理工程が増加するため製造コストがかかるばかりでなく、離画壁の表面粗さを所定の粗さに調整することが難しい問題がある。
In addition, it is known that the surface roughness is adjusted by performing a dry etching process on the separation wall surface (see, for example, Patent Document 1). In this method, a complicated dry etching process is required, and the number of processing steps increases, so that not only the manufacturing cost is increased, but also there is a problem that it is difficult to adjust the surface roughness of the separation wall to a predetermined roughness.
従って、本発明は、少ない工程で、安定に表面平滑な離画壁を形成することができ、この結果、カラーフィルタ上に形成された透明電極(ITO)の表面抵抗を低下させることができるカラーフィルタの製造方法、この方法で得られ離画壁の表面粗さが小さいカラーフィルタ、このカラーフィルタを備えた液晶表示素子、この液晶表示素子を備えた液晶表示装置を提供することにある。 Therefore, according to the present invention, a separation wall having a smooth surface can be stably formed with a small number of steps, and as a result, a color capable of reducing the surface resistance of the transparent electrode (ITO) formed on the color filter. An object of the present invention is to provide a method for producing a filter, a color filter obtained by this method and having a small surface roughness on a separation wall, a liquid crystal display element provided with this color filter, and a liquid crystal display device provided with this liquid crystal display element.
本願発明は、上記課題を解決したものであって、以下の構成からなる。
<1> 基板上に互いに異なる色を呈する2以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素が互いに濃色離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させて離画壁間に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
The invention of the present application solves the above-described problems and has the following configuration.
<1> A substrate having two or more image groups exhibiting different colors, each pixel constituting the pixel group being separated from each other by a dark color separation wall, A method for producing a color filter, which is applied between separation walls to form each pixel between separation walls,
A photosensitive layer forming step of forming on the substrate a layer made of a dark color photosensitive composition containing a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, and a colorant; and the photosensitive layer A method for producing a color filter, comprising: an exposure step of exposing an exposed region to cure an exposed region; and a developing step of forming a separation wall by removing a photosensitive layer in an unexposed portion.
<2> 前記濃色感光性組成物が、さらに、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体を含有することを特徴とする<1>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<3> 前記光酸発生剤が、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、及び、スルホン酸エステルからなる群より選択される1種以上の化合物であることを特徴とする<1>又は<2>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<4> 前記架橋剤が、メラミン樹脂または尿素樹脂であることを特徴とする<1>乃至<3>のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
<2> The method for producing a color filter according to <1>, wherein the dark color photosensitive composition further contains a copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate.
<3> The photoacid generator is one or more compounds selected from the group consisting of an organic halogen compound, an onium salt, and a sulfonate ester. <1> or <2> Manufacturing method of color filter.
<4> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <3>, wherein the crosslinking agent is a melamine resin or a urea resin.
<5> 前記離画壁の高さが1.8μm以上10μm以下であることを特徴とする<1>乃至<4>のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
<6> 前記離画壁の光学濃度が2.5以上10以下であることを特徴とする<1>乃至<5>のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
<7> 前記離画壁が黒色であることを特徴とする<1>乃至<6>のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
<5> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <4>, wherein a height of the separating wall is 1.8 μm or more and 10 μm or less.
<6> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <5>, wherein an optical density of the separating wall is 2.5 or more and 10 or less.
<7> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <6>, wherein the separation wall is black.
<8> 前記<1>乃至<7>のいずれかに記載の製造方法で製造され、離画壁の表面粗さ(Ra値)が5nm以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
<9> 前記<8>に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示素子。
<10> 前記<9>に記載の液晶表示素子を備えた液晶表示装置。
<8> A color filter produced by the production method according to any one of <1> to <7>, wherein the surface roughness (Ra value) of the separation wall is 5 nm or less.
<9> A liquid crystal display device comprising the color filter according to <8>.
<10> A liquid crystal display device comprising the liquid crystal display element according to <9>.
本願発明のカラーフィルタの製造方法によれば、ドライエッチング工程を要することなく、基板上に濃色感光性組成物からなる層(以下、適宜、感光性層と称する)を形成した後、離画壁の形状に従って画像様に露光し、現像するという簡便な工程で、安定して表面の微細な凹凸が改良された離画壁を得ることができる。したがって、ITOの表面抵抗を低下させたカラーフィルタを工程数が少なく低コストで得ることが可能となる。
また、本発明の製造方法により形成されたカラーフィルタは、離画壁の表面の凹凸改良されており、インクジェット等により液滴を付与して各画素を形成するとき、隣接画素との混色などの欠陥の発生が抑制され、ITOの表面抵抗が低いという効果を奏し、液晶表示素子に好適に使用しうる。
According to the method for producing a color filter of the present invention, a layer made of a dark photosensitive composition (hereinafter referred to as a photosensitive layer as appropriate) is formed on a substrate without requiring a dry etching step, and then separated. According to a simple process of exposing and developing the image according to the shape of the wall, a separation wall having finely improved surface irregularities can be obtained. Therefore, it is possible to obtain a color filter with a reduced surface resistance of ITO at a low cost with a small number of steps.
In addition, the color filter formed by the manufacturing method of the present invention has improved unevenness on the surface of the separation wall, and when forming each pixel by applying droplets by inkjet or the like, color mixing with adjacent pixels, etc. The occurrence of defects is suppressed and the surface resistance of ITO is low, which can be suitably used for a liquid crystal display element.
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に互いに異なる色を呈する2以上の画像群を有し、該画素群を構成する各画素は互いに濃色の離画壁により離画されており、着色液体組成物による液滴を離画壁間に付与させる方法で離画壁に各画素を形成するカラーフィルタの製造方法であって、基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とする。 The method for producing a color filter of the present invention has two or more image groups exhibiting different colors on a substrate, and each pixel constituting the pixel group is separated from each other by a dark separation wall, A method for producing a color filter in which each pixel is formed on a separation wall by a method in which droplets of a colored liquid composition are applied between separation walls, and a photoacid generator on a substrate and the action of the photoacid generator A photosensitive layer forming step of forming a layer composed of a dark color photosensitive composition containing a crosslinking agent and a colorant that are crosslinked by the step, an exposure step of exposing the photosensitive layer to cure an exposed region, and unexposed And a developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive layer.
以下、この製造方法を工程順に説明する。
本発明の製造方法においては、まず、基板上に感光性層を形成する。感光性層を形成するために使用しうる濃色感光性組成物は、光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有し、露光により光酸発生剤が分解して酸を発生し、光酸発生剤から発生した酸により架橋剤が架橋構造を形成し、硬化するネガ型の感光性組成物であり、基板上の濃色離画壁はこの組成物の硬化により形成される。
Hereinafter, this manufacturing method will be described in the order of steps.
In the production method of the present invention, first, a photosensitive layer is formed on a substrate. A dark color photosensitive composition that can be used to form a photosensitive layer contains a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, and a colorant, and the photoacid generator upon exposure to light. Is a negative photosensitive composition that decomposes and generates acid, and the crosslinking agent forms a crosslinked structure by the acid generated from the photoacid generator and cures, and the dark color separation wall on the substrate has this composition It is formed by curing the product.
〔濃色感光性組成物〕
濃色感光性組成物(以下、適宜、感光性組成物と称する)は、光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する。
ここで、濃色組成物とは、高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。また、この感光性組成物は、後述するように好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0であり、好ましくは2.5〜6.0、最も好ましいのは3.0〜5.0である。2.0未満では離画壁形状が望みのものとならない恐れがあり、10.0を超えると、重合を開始することができず離画壁そのものを作ることが困難となる。
[Dark color photosensitive composition]
The dark color photosensitive composition (hereinafter, appropriately referred to as a photosensitive composition) contains a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, and a colorant.
Here, the dark color composition is a composition having a high optical density, and the value is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and 2.5 to 6.0. Is more preferable, and 3.0 to 5.0 is particularly preferable. Moreover, since this photosensitive composition is preferably cured by a photoinitiating system as described later, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is 2.0 to 10.0, preferably 2.5 to 6.0, and most preferably 3.0 to 5.0. If it is less than 2.0, the shape of the separation wall may not be as desired, and if it exceeds 10.0, polymerization cannot be started and it is difficult to produce the separation wall itself.
(着色剤)
本発明に用いる着色剤としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
本発明の濃色光重合性樹脂組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、光重合性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。公知の着色剤(染料、顔料)を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、濃色組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記濃色組成物の固形分中の着色剤の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
(Coloring agent)
Specific examples of the colorant used in the present invention include those given the color index (CI) numbers described in the following dyes and pigments.
In the dark color photopolymerizable resin composition of the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes and the like can be suitably used. When the photopolymerizable resin layer is required to have light shielding properties, carbon black, titanium oxide In addition to light-shielding agents such as metal oxide powder such as iron tetroxide, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Known colorants (dyes and pigments) can be used. Among the known colorants, when a pigment is used, it is preferably dispersed uniformly in the dark color composition.
From the viewpoint of sufficiently shortening the development time, the ratio of the colorant in the solid content of the dark color composition is preferably 30 to 70% by mass, more preferably 40 to 60% by mass, and 50 More preferably, it is -55 mass%.
上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、C.I.ピグメント・イエロー1、C.I.ピグメント・イエロー3、C.I.ピグメント・イエロー12、C.I.ピグメント・イエロー13、C.I.ピグメント・イエロー14、C.I.ピグメント・イエロー5、C.I.ピグメント・イエロー16、C.I.ピグメント・イエロー17、C.I.ピグメント・イエロー20、C.I.ピグメント・イエロー24、C.I.ピグメント・イエロー31、C.I.ピグメント・イエロー55、C.I.ピグメント・イエロー60、C.I.ピグメント・イエロー61、C.I.ピグメント・イエロー65、C.I.ピグメント・イエロー71、C.I.ピグメント・イエロー73、C.I.ピグメント・イエロー74、C.I.ピグメント・イエロー81、C.I.ピグメント・イエロー83、C.I.ピグメント・イエロー93、C.I.ピグメント・イエロー95、C.I.ピグメント・イエロー97、C.I.ピグメント・イエロー98、C.I.ピグメント・イエロー100、C.I.ピグメント・イエロー101、C.I.ピグメント・イエロー104、C.I.ピグメント・イエロー106、C.I.ピグメント・イエロー108、C.I.ピグメント・イエロー109、C.I.ピグメント・イエロー110、C.I.ピグメント・イエロー113、C.I.ピグメント・イエロー114、C.I.ピグメント・イエロー116、C.I.ピグメント・イエロー117、C.I.ピグメント・イエロー119、C.I.ピグメント・イエロー120、C.I.ピグメント・イエロー126、C.I.ピグメント・イエロー127、C.I.ピグメント・イエロー128、C.I.ピグメント・イエロー129、C.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー151、C.I.ピグメント・イエロー152、C.I.ピグメント・イエロー153、C.I.ピグメント・イエロー154、C.I.ピグメント・イエロー155、C.I.ピグメント・イエロー156、C.I.ピグメント・イエロー166、C.I.ピグメント・イエロー168、C.I.ピグメント・イエロー175、C.I.ピグメント・イエロー180、C.I.ピグメント・イエロー185; Examples of the known dyes or pigments include Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramine (C.I. 41000), Fat Black HB (C.I. 26150), C.I. I. Pigment yellow 1, C.I. I. Pigment yellow 3, C.I. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 5, C.I. I. Pigment yellow 16, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 60, C.I. I. Pigment yellow 61, C.I. I. Pigment yellow 65, C.I. I. Pigment yellow 71, C.I. I. Pigment yellow 73, C.I. I. Pigment yellow 74, C.I. I. Pigment yellow 81, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 95, C.I. I. Pigment yellow 97, C.I. I. Pigment yellow 98, C.I. I. Pigment yellow 100, C.I. I. Pigment yellow 101, C.I. I. Pigment yellow 104, C.I. I. Pigment yellow 106, C.I. I. Pigment yellow 108, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 113, C.I. I. Pigment yellow 114, C.I. I. Pigment yellow 116, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 119, C.I. I. Pigment yellow 120, C.I. I. Pigment yellow 126, C.I. I. Pigment yellow 127, C.I. I. Pigment yellow 128, C.I. I. Pigment yellow 129, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 151, C.I. I. Pigment yellow 152, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 156, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 175, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 185;
C.I.ピグメント・オレンジ1、C.I.ピグメント・オレンジ5、C.I.ピグメント・オレンジ13、C.I.ピグメント・オレンジ14、C.I.ピグメント・オレンジ16、C.I.ピグメント・オレンジ17、C.I.ピグメント・オレンジ24、C.I.ピグメント・オレンジ34、C.I.ピグメント・オレンジ36、C.I.ピグメント・オレンジ38、C.I.ピグメント・オレンジ40、C.I.ピグメント・オレンジ43、C.I.ピグメント・オレンジ46、C.I.ピグメント・オレンジ49、C.I.ピグメント・オレンジ51、C.I.ピグメント・オレンジ61、C.I.ピグメント・オレンジ63、C.I.ピグメント・オレンジ64、C.I.ピグメント・オレンジ71、C.I.ピグメント・オレンジ73;C.I.ピグメント・バイオレット1、C.I.ピグメント・バイオレット19、C.I.ピグメント・バイオレット23、C.I.ピグメント・バイオレット29、C.I.ピグメント・バイオレット32、C.I.ピグメント・バイオレット36、C.I.ピグメント・バイオレット38; C. I. Pigment orange 1, C.I. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 16, C.I. I. Pigment orange 17, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 63, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 73; C.I. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, C.I. I. Pigment violet 38;
C.I.ピグメント・レッド1、C.I.ピグメント・レッド2、C.I.ピグメント・レッド3、C.I.ピグメント・レッド4、C.I.ピグメント・レッド5、C.I.ピグメント・レッド6、C.I.ピグメント・レッド7、C.I.ピグメント・レッド8、C.I.ピグメント・レッド9、C.I.ピグメント・レッド10、C.I.ピグメント・レッド11、C.I.ピグメント・レッド12、C.I.ピグメント・レッド14、C.I.ピグメント・レッド15、C.I.ピグメント・レッド16、C.I.ピグメント・レッド17、C.I.ピグメント・レッド18、C.I.ピグメント・レッド19、C.I.ピグメント・レッド21、C.I.ピグメント・レッド22、C.I.ピグメント・レッド23、C.I.ピグメント・レッド30、C.I.ピグメント・レッド31、C.I.ピグメント・レッド32、C.I.ピグメント・レッド37、C.I.ピグメント・レッド38、C.I.ピグメント・レッド40、C.I.ピグメント・レッド41、C.I.ピグメント・レッド42、C.I.ピグメント・レッド48:1、C.I.ピグメント・レッド48:2、C.I.ピグメント・レッド48:3、C.I.ピグメント・レッド48:4、C.I.ピグメント・レッド49:1、C.I.ピグメント・レッド49:2、C.I.ピグメント・レッド50:1、C.I.ピグメント・レッド52:1、C.I.ピグメント・レッド53:1、C.I.ピグメント・レッド57、C.I.ピグメント・レッド57:1、C.I.ピグメント・レッド57:2、C.I.ピグメント・レッド58:2、C.I.ピグメント・レッド58:4、C.I.ピグメント・レッド60:1、C.I.ピグメント・レッド63:1、C.I.ピグメント・レッド63:2、C.I.ピグメント・レッド64:1、C.I.ピグメント・レッド81:1、C.I.ピグメント・レッド83、C.I.ピグメント・レッド88、C.I.ピグメント・レッド90:1、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド101、C.I.ピグメント・レッド102、C.I.ピグメント・レッド104、C.I.ピグメント・レッド105、C.I.ピグメント・レッド106、C.I.ピグメント・レッド108、C.I.ピグメント・レッド112、C.I.ピグメント・レッド113、C.I.ピグメント・レッド114、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド123、C.I.ピグメント・レッド144、C.I.ピグメント・レッド146、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド150、C.I.ピグメント・レッド151、C.I.ピグメント・レッド166、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド170、C.I.ピグメント・レッド171、C.I.ピグメント・レッド172、C.I.ピグメント・レッド174、C.I.ピグメント・レッド175、C.I.ピグメント・レッド176、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド178、C.I.ピグメント・レッド179、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド185、C.I.ピグメント・レッド187、C.I.ピグメント・レッド188、C.I.ピグメント・レッド190、C.I.ピグメント・レッド193、C.I.ピグメント・レッド194、C.I.ピグメント・レッド202、C.I.ピグメント・レッド206、C.I.ピグメント・レッド207、C.I.ピグメント・レッド208、C.I.ピグメント・レッド209、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・レッド216、C.I.ピグメント・レッド220、C.I.ピグメント・レッド224、C.I.ピグメント・レッド226、C.I.ピグメント・レッド242、C.I.ピグメント・レッド243、C.I.ピグメント・レッド245、C.I.ピグメント・レッド254、C.I.ピグメント・レッド255、C.I.ピグメント・レッド264、C.I.ピグメント・レッド265;
C.I.ピグメント・ブルー15、C.I.ピグメント・ブルー15:3、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー60
C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン36
C.I.ピグメント・ブラウン23、C.I.ピグメント・ブラウン25
C.I.ピグメント・ブラック1、C.I.ピグメント・ブラック7等が挙げられる。
C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 3, C.I. I. Pigment red 4, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 6, C.I. I. Pigment red 7, C.I. I. Pigment red 8, C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 10, C.I. I. Pigment red 11, C.I. I. Pigment red 12, C.I. I. Pigment red 14, C.I. I. Pigment red 15, C.I. I. Pigment red 16, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 18, C.I. I. Pigment red 19, C.I. I. Pigment red 21, C.I. I. Pigment red 22, C.I. I. Pigment red 23, C.I. I. Pigment red 30, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 37, C.I. I. Pigment red 38, C.I. I. Pigment red 40, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 42, C.I. I. Pigment red 48: 1, C.I. I. Pigment red 48: 2, C.I. I. Pigment red 48: 3, C.I. I. Pigment red 48: 4, C.I. I. Pigment red 49: 1, C.I. I. Pigment red 49: 2, C.I. I. Pigment red 50: 1, C.I. I. Pigment red 52: 1, C.I. I. Pigment red 53: 1, C.I. I. Pigment red 57, C.I. I. Pigment red 57: 1, C.I. I. Pigment red 57: 2, C.I. I. Pigment red 58: 2, C.I. I. Pigment red 58: 4, C.I. I. Pigment red 60: 1, C.I. I. Pigment red 63: 1, C.I. I. Pigment red 63: 2, C.I. I. Pigment red 64: 1, C.I. I. Pigment red 81: 1, C.I. I. Pigment red 83, C.I. I. Pigment red 88, C.I. I. Pigment red 90: 1, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 101, C.I. I. Pigment red 102, C.I. I. Pigment red 104, C.I. I. Pigment red 105, C.I. I. Pigment red 106, C.I. I. Pigment red 108, C.I. I. Pigment red 112, C.I. I. Pigment red 113, C.I. I. Pigment red 114, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 146, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 150, C.I. I. Pigment red 151, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 172, C.I. I. Pigment red 174, C.I. I. Pigment red 175, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 188, C.I. I. Pigment red 190, C.I. I. Pigment red 193, C.I. I. Pigment red 194, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 208, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 245, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment red 265;
C. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue 60
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment Green 36
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment black 7 and the like.
本発明においては、前記着色剤の中でも黒色着色剤であることが好ましい。黒色着色剤として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
In the present invention, among the colorants, a black colorant is preferable. Illustrative examples of the black colorant include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, and graphite. Among these, carbon black is preferable.
The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle refers to a portion of a medium in which the pigment is dispersed when the paint is in a liquid state. The portion is a liquid that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described in Item 310 of the document.
本発明で用いる着色剤(例えば、顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。また、顔料数平均粒径が0.1μmを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。 The colorant (for example, pigment) used in the present invention preferably has a number average particle diameter of 0.001 to 0.1 [mu] m, more preferably 0.01 to 0.08 [mu] m, from the viewpoint of dispersion stability. On the other hand, if the number average particle diameter of the pigment exceeds 0.1 μm, the polarization is canceled by the pigment, and the contrast is lowered. The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a number of particles, This 100 average value is said.
[光酸発生剤]
光照射により酸を発生する光酸発生剤には、有機ハロゲン化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル等が挙げられる。これらのなかでは有機ハロゲン化合物が好ましく、特に、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキサジアゾール化合物が好ましい。具体的にはハロメチル化トリアジン化合物は一般式(1)で示される。
[Photoacid generator]
Examples of the photoacid generator that generates an acid by light irradiation include organic halogen compounds, onium salts, and sulfonic acid esters. Among these, organic halogen compounds are preferable, and halomethylated triazine and halomethylated oxadiazole compounds are particularly preferable. Specifically, the halomethylated triazine compound is represented by the general formula (1).
(一般式(1)中R1及びR2は、ハロメチル基であり、Yは炭素数5以上の有機基である。)
ハロメチル基としては、例えばトリクロロメチル基、トリブロモメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル基などがあり、炭素数5以上の有機基としては、例えば置換基を有していてもよい、フェニル基、ナフチル基、スチリル基、スチリルフェニル基、フリルビニル基、四級化アミノエチルアミノ基などがある。ハロメチル化トリアジン化合物の具体例としては、特開2002−351075公報の段落番号〔0015〕乃至〔0025〕に記載の化合物が挙げられる。
ハロメチルオキサジアゾール化合物の具体例としては、同公報段落番号〔0026〕乃至〔0033〕に記載されているものを挙げることができる。
(In general formula (1), R 1 and R 2 are halomethyl groups, and Y is an organic group having 5 or more carbon atoms.)
Examples of the halomethyl group include a trichloromethyl group, a tribromomethyl group, a dichloromethyl group, and a dibromomethyl group. Examples of the organic group having 5 or more carbon atoms include a phenyl group that may have a substituent, Examples include naphthyl group, styryl group, styrylphenyl group, furylvinyl group, quaternized aminoethylamino group. Specific examples of the halomethylated triazine compound include the compounds described in paragraphs [0015] to [0025] of JP-A-2002-351075.
Specific examples of the halomethyloxadiazole compound include those described in paragraph numbers [0026] to [0033] of the same publication.
光酸発生剤は、感光性組成物中の固形分に対して、0.05〜15質量%、好ましくは5〜15質量%である。光酸発生剤の含有量がこの範囲において、組成物の膨潤が抑制され、且つ、露光によって十分な量の酸が発生し、架橋剤の架橋性が充分に発現され、高強度の硬化被膜が形成される。 A photo-acid generator is 0.05-15 mass% with respect to solid content in a photosensitive composition, Preferably it is 5-15 mass%. When the content of the photoacid generator is within this range, the swelling of the composition is suppressed, a sufficient amount of acid is generated by exposure, the crosslinkability of the crosslinker is sufficiently expressed, and a high-strength cured film is formed. It is formed.
[架橋剤]
架橋剤は、前記光酸発生剤から発生する酸の作用により架橋構造を形成し、感光性組成物からなる被膜を硬化させる機能を有する。架橋剤としては、不飽和二重結合などの架橋構造を形成しうる置換基(以下、適宜、架橋性置換基と称する。)を少なくとも1種以上有する化合物を挙げることもできる。
[Crosslinking agent]
The cross-linking agent has a function of forming a cross-linked structure by the action of an acid generated from the photoacid generator and curing a film made of the photosensitive composition. Examples of the crosslinking agent include compounds having at least one or more substituents capable of forming a crosslinked structure such as an unsaturated double bond (hereinafter appropriately referred to as crosslinkable substituents).
このような架橋性置換基の具体例としては、例えば(i)ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、アセトキシアルキル基等のヒドロキシアルキル基またはその誘導体;
(ii)ホルミル基、カルボキシアルキル基等のカルボニル基またはその誘導体;
(iii)ジメチルアミノメチル基、ジエチルアミノメチル基、ジメチロールアミノメチル基、ジエチロールアミノメチル基、モルホリノメチル基等の含窒素基含有置換基;
(iv)グリシジルエーテル基、グリシジルエステル基、グリシジルアミノ基等のグリシジル基含有置換基;
(v)ベンジルオキシメチル基、ベンゾイロキシメチル基等のアリルオキシアルキル基、アラルキルオキシアルキル基等の芳香族誘導体;
(vi)ビニル基、イソプロペニル基等の重合性多重結合含有置換基等を挙げることができる。本発明の架橋剤の架橋性置換基としては、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基等が好ましく、特にアルコキシメチル基が好ましい。
Specific examples of such a crosslinkable substituent include, for example, (i) a hydroxyalkyl group such as a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group, an acetoxyalkyl group, or a derivative thereof;
(Ii) a carbonyl group such as a formyl group, a carboxyalkyl group or a derivative thereof;
(Iii) nitrogen-containing group-containing substituents such as dimethylaminomethyl group, diethylaminomethyl group, dimethylolaminomethyl group, diethylolaminomethyl group, morpholinomethyl group;
(Iv) Glycidyl group-containing substituents such as glycidyl ether group, glycidyl ester group, glycidylamino group;
(V) Aromatic derivatives such as allyloxyalkyl groups such as benzyloxymethyl group and benzoyloxymethyl group, and aralkyloxyalkyl groups;
(Vi) Substituents containing polymerizable multiple bonds such as vinyl groups and isopropenyl groups. As the crosslinkable substituent of the crosslinking agent of the present invention, a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group or the like is preferable, and an alkoxymethyl group is particularly preferable.
前記架橋性置換基を有する架橋剤としては、例えば(i)メチロール基含有メラミン化合物、メチロール基含有ベンゾグアナミン化合物、メチロール基含有ウレア化合物、メチロール基含有グリコールウリル化合物、メチロール基含有フェノール化合物等のメチロール基含有化合物;
(ii)アルコキシアルキル基含有メラミン化合物、アルコキシアルキル基含有ベンゾグアナミン化合物、アルコキシアルキル基含有ウレア化合物、アルコキシアルキル基含有グリコールウリル化合物、アルコキシアルキル基含有フェノール化合物等のアルコキシアルキル基含有化合物;
(iii)カルボキシメチル基含有メラミン化合物、カルボキシメチル基含有ベンゾグアナミン化合物、カルボキシメチル基含有ウレア化合物、カルボキシメチル基含有グリコールウリル化合物、カルボキシメチル基含有フェノール化合物等のカルボキシメチル基含有化合物;
(iv)ビスフェノールA系エポキシ化合物、ビスフェノールF系エポキシ化合物、ビスフェノールS系エポキシ化合物、ノボラック樹脂系エポキシ化合物、レゾール樹脂系エポキシ化合物、ポリ(ヒドロキシスチレン)系エポキシ化合物等のエポキシ化合物等を挙げることができる。
Examples of the crosslinking agent having a crosslinkable substituent include (i) methylol groups such as (i) methylol group-containing melamine compounds, methylol group-containing benzoguanamine compounds, methylol group-containing urea compounds, methylol group-containing glycoluril compounds, and methylol group-containing phenol compounds. Containing compounds;
(Ii) alkoxyalkyl group-containing compounds such as alkoxyalkyl group-containing melamine compounds, alkoxyalkyl group-containing benzoguanamine compounds, alkoxyalkyl group-containing urea compounds, alkoxyalkyl group-containing glycoluril compounds, alkoxyalkyl group-containing phenol compounds;
(Iii) Carboxymethyl group-containing compounds such as carboxymethyl group-containing melamine compounds, carboxymethyl group-containing benzoguanamine compounds, carboxymethyl group-containing urea compounds, carboxymethyl group-containing glycoluril compounds, carboxymethyl group-containing phenol compounds;
(Iv) Examples include bisphenol A-based epoxy compounds, bisphenol F-based epoxy compounds, bisphenol S-based epoxy compounds, novolac resin-based epoxy compounds, resol resin-based epoxy compounds, and epoxy compounds such as poly (hydroxystyrene) -based epoxy compounds. it can.
本発明の架橋剤は、アルコキシメチル化ウレア化合物またはその樹脂、またはアルコキシメチル化グリコールウリル化合物またはその樹脂が好ましい。本発明において用いうる架橋剤の好ましい例などは、特開2002−351075公報段落番号〔0038〕乃至〔0047〕に記載されており、それらの記載を本発明においても参照することができる。 The cross-linking agent of the present invention is preferably an alkoxymethylated urea compound or a resin thereof, or an alkoxymethylated glycoluril compound or a resin thereof. Preferred examples of the crosslinking agent that can be used in the present invention are described in paragraphs [0038] to [0047] of JP-A-2002-351075, and these descriptions can also be referred to in the present invention.
架橋剤の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜30質量%の範囲で、目的に応じて選択される。 The content of the crosslinking agent is preferably 5 to 40% by mass and more preferably 10 to 30% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive composition, and is selected according to the purpose.
本発明に用いる濃色感光性組成物には、前記各必須成分に加え、被膜形成性向上の観点からバインダーポリマーを含有することが好ましく、特に、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体を含有することが好ましい。
[メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体]
本発明において、メタクリル酸メチル又はベンジルメタクリレートの少なくとも1つを含む共重合体には、メタクリル酸メチルを含む共重合体、ベンジルメタクリレートを含む共重合体、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体等が挙げられる。
メタクリル酸メチルを含む共重合体には、メタクリル酸/メタクリル酸メチル共重合体(共重合比:14〜17.6モル%/82.4〜86モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/エチルアクリレート共重合体(共重合比:5〜10モル%/70〜60モル%/25〜30モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)等が挙げられる。
ベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合比:25〜37モル%/75〜63モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体(共重合比:20モル%/17.8モル%/62.2モル%、重量平均分子量20,000〜140,000)等が挙げられる。
また、メタクリル酸メチル及びベンジルメタクリレートを含む共重合体には、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合比:14.6〜27.2モル%/79.1〜32.7モル%/16.3〜40モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート共重合体(共重合比:10〜15モル%/70〜65モル%/10モル%/10モル%、重量平均分子量20,000〜150,000)等が挙げられる。
The dark color photosensitive composition used in the present invention preferably contains a binder polymer from the viewpoint of improving the film-forming property, in addition to the above essential components, and particularly contains at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate. It is preferable to contain a copolymer.
[Copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate]
In the present invention, the copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate includes a copolymer containing methyl methacrylate, a copolymer containing benzyl methacrylate, and a copolymer containing methyl methacrylate and benzyl methacrylate. Etc.
The copolymer containing methyl methacrylate includes a methacrylic acid / methyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14 to 17.6 mol% / 82.4 to 86 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140, 000), methacrylic acid / methyl methacrylate / ethyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 5-10 mol% / 70-60 mol% / 25-30 mol%, weight average molecular weight 20,000-140,000), etc. Is mentioned.
Copolymers containing benzyl methacrylate include methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 25 to 37 mol% / 75 to 63 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000), methacrylic acid / And benzyl methacrylate / styrene copolymer (copolymerization ratio: 20 mol% / 17.8 mol% / 62.2 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140,000).
Further, the copolymer containing methyl methacrylate and benzyl methacrylate includes a methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14.6 to 27.2 mol% / 79.1 to 32.7). Mol% / 16.3 to 40 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000), methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 10 to 15 mol%) / 70 to 65 mol% / 10 mol% / 10 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000).
市販のネガ型レジスト組成物がよく使用されているクレゾールノボラック樹脂やポリヒドロキシスチレン及びその誘導体は、露光後、ベーク後に着色するがメタクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸/メタクリル酸メチル/ベンジルメタクリレート共重合体等は露光後、ベーク処理時における着色が少なく、光透過率が低下しない点から特に好ましい。 Cresol novolak resins and polyhydroxystyrenes and derivatives thereof, which are often used with commercially available negative resist compositions, are colored after exposure and baking, but methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl A methacrylate copolymer or the like is particularly preferable since it is less colored during the baking process after exposure and the light transmittance does not decrease.
所望により併用される前記共重合体の含有量は、感光性組成物の全固形分に対し、20〜70質量%であることが好ましく、30〜60質量%の範囲であることがより好ましい。 The content of the copolymer used in combination as desired is preferably 20 to 70 mass%, more preferably 30 to 60 mass%, based on the total solid content of the photosensitive composition.
[その他の成分]
感光性組成物には、種々の目的で、各種の添加剤を含有させることができる。添加剤の例としては、界面活性剤、密着促進剤、可塑剤等が挙げられる。
界面活性剤は、塗布性、得られる塗膜の平滑性を向上させるために用いることができ、その具体例としては、例えばBM−1000(BM Chemie社製)、メガファックスF142D、同F172、同F173、同F183、同F176PF、同F177PF(以上、大日本インキ化学工業(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、フロラードFC−430、同FC−431(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145(以上、旭硝子(株)製)、SH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032、SF−8428、DC−57、DC−190(以上、東レシリコーン(株)製)の商品名で市販されているフッ素系またはシリコーン系界面活性剤を好ましいものとして挙げることができる。
[Other ingredients]
Various additives can be contained in the photosensitive composition for various purposes. Examples of additives include surfactants, adhesion promoters, plasticizers, and the like.
The surfactant can be used to improve the coating property and smoothness of the resulting coating film. Specific examples thereof include BM-1000 (manufactured by BM Chemie), Megafax F142D, F172, and the like. F173, F183, F176PF, F177PF (above, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), Florard FC-135, FC-170C, Florard FC-430, FC-431 (above, Sumitomo 3M Co., Ltd.) ), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145 (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), SH-28PA, SH-190, SH-193, Fluorine-based or silica commercially available under the trade names SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.) It may be mentioned as being preferred and over emissions based surfactant.
界面活性剤の含有量は、感光性組成物全固形分の0.05〜10質量%であり、0.08%〜5質量%であることが好ましく、0.1〜3質量%が特に好ましい。含有量が少なすぎると添加の効果が十分に得られないが、あまり多すぎると感光性層と基材との密着性が低下する傾向がある。 The content of the surfactant is 0.05 to 10% by mass of the total solid content of the photosensitive composition, preferably 0.08% to 5% by mass, and particularly preferably 0.1 to 3% by mass. . If the content is too small, the effect of addition cannot be sufficiently obtained, but if the content is too large, the adhesion between the photosensitive layer and the substrate tends to decrease.
(紫外線吸収剤)
本発明に係る感光性組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、特開2001−142228公報段落番号〔0028〕に記載されている化合物が挙げられる。
なお、感光性組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、0.5〜15質量%が一般的であり、1〜12%質量が好ましく、1.2〜10質量%が特に好ましい。
(UV absorber)
The photosensitive composition according to the present invention may contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the ultraviolet absorber include salicylate series, benzophenone series, benzotriazole series, cyanoacrylate series, nickel chelate series, hindered amine series and the like in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specific examples include compounds described in paragraph No. [0028] of JP-A No. 2001-142228.
In addition, as for content of the ultraviolet absorber with respect to the total solid of a photosensitive composition, 0.5-15 mass% is common, 1-12% mass is preferable, and 1.2-10 mass% is especially preferable. .
(基板)
カラーフィルタを構成する基板(永久支持体)としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラス板や合成樹脂フィルムが挙げられる。
(substrate)
As the substrate (permanent support) constituting the color filter, a metallic support, a metal bonded support, glass, ceramic, a synthetic resin film, or the like can be used. Particularly preferred are a glass plate and a synthetic resin film which are transparent and have good dimensional stability.
感光性層形成工程は、以上説明したような濃色感光性組成物を適切な溶剤(分散剤)に溶解又は分散させ、前記基板表面に塗布、乾燥して感光性層を形成する工程である。
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記感光性組成物を塗布する。
感光性組成物の塗布溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルブチルケトンなどのケトン、各種のエーテル、エステルなどの有機溶剤を用いることが一般的である。
塗布方法は、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター(例えば、エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)等を用いて行うことができる。
The photosensitive layer forming step is a step of forming a photosensitive layer by dissolving or dispersing the dark color photosensitive composition as described above in an appropriate solvent (dispersing agent), coating the substrate, and drying. .
First, after cleaning the substrate, the substrate is heat-treated to stabilize the surface state. After the temperature of the substrate is adjusted, the photosensitive composition is applied.
As the coating solvent for the photosensitive composition, organic solvents such as ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl butyl ketone, various ethers, and esters are generally used.
The coating method is not particularly limited, and can be performed using a known glass substrate coater having a slit-like nozzle (for example, product name: MH-1600, manufactured by F.S. Japan).
感光性組成物を塗布した後、溶媒の1部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして感光性層を得る。
乾燥は、公知の乾燥装置(例えば、VCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)等)を用いて行うことができる、
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、120℃3分間することにより達成することができる。
After the photosensitive composition is applied, one part of the solvent is dried to eliminate the fluidity of the coating layer, and then the unnecessary coating solution around the substrate is removed with an EBR (edge bead remover) or the like and prebaked. Thus, a photosensitive layer is obtained.
Drying can be performed using a known drying apparatus (for example, VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.)).
Although it does not specifically limit as prebaking, For example, it can achieve by making 120 degreeC 3 minutes.
感光性層の厚みは、形成する離画壁の所望される高さに応じて選択される。
本発明において、前記濃色離画壁の高さh(前記濃色離画壁の最も高さの高い点をHと、Hから基板におろした垂線の足Gとの距離)は、1.8μm以上であることが好ましく、より好ましくは1.9μm〜10μmであり、更に好ましくは2.0μm〜7.0μm、特に好ましくは2.2μm〜5.0μmの範囲である。濃色離画壁の高さを1.8μm〜10μmの範囲とすることにより、より効果的に混色を防止でき、従って、感光性組成物の塗布膜厚もこの範囲が選択される。膜厚が1.8μm未満であると、得られるカラーフィルタにおいて混色が起こりやすくなり、10μmを超えると、濃色離画壁の形成が困難となる。
The thickness of the photosensitive layer is selected according to the desired height of the separation wall to be formed.
In the present invention, the height h of the dark color separation wall (the distance between the highest point of the dark color separation wall H and the foot G of the perpendicular line from the H to the substrate) is 1. It is preferably 8 μm or more, more preferably 1.9 μm to 10 μm, still more preferably 2.0 μm to 7.0 μm, and particularly preferably 2.2 μm to 5.0 μm. By setting the height of the dark color separation wall in the range of 1.8 μm to 10 μm, color mixing can be prevented more effectively, and thus the coating film thickness of the photosensitive composition is also selected in this range. If the film thickness is less than 1.8 μm, color mixing tends to occur in the resulting color filter, and if it exceeds 10 μm, it is difficult to form a dark color separation wall.
次に、前記工程で形成された感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程を実施する。露光光源は、感光性組成物に含まれる光酸発生剤の吸収波長に応じたものを選択すればよく、好ましくは紫外領域の光源が選択される。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
露光は、離画壁の形状に応じたパターン露光であり、マスクを介して全面を露光する方法でもよく、走査露光であってもよい。
Next, the exposure process which exposes the photosensitive layer formed at the said process and hardens an exposure area | region is implemented. The exposure light source may be selected according to the absorption wavelength of the photoacid generator contained in the photosensitive composition, and a light source in the ultraviolet region is preferably selected.
Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.
The exposure is pattern exposure according to the shape of the image separation wall, and may be a method of exposing the entire surface through a mask or scanning exposure.
以下、マスクを介して行うパターン露光の一例を挙げれば、基板と画像パターンを有するマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光性層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、基板表面全面を露光する。
露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm2)選択することができる。
この露光により、感光性層中で露光領域のみに発生する酸により架橋構造が形成され、露光領域が硬化する。
Hereinafter, as an example of pattern exposure performed through a mask, the distance between the exposure mask surface and the photosensitive layer is appropriately set in a state where a substrate and a mask having an image pattern (for example, a quartz exposure mask) are set up vertically. (For example, 200 μm) and the entire surface of the substrate is exposed.
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultrahigh pressure mercury lamp, and the exposure amount can be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ).
By this exposure, a crosslinked structure is formed by the acid generated only in the exposed area in the photosensitive layer, and the exposed area is cured.
上記したパターン露光後、ベーク処理を行なう。ベーク処理の条件は、感光性樹脂、光酸発生剤、架橋剤等により異なるが、一般的には、80〜140℃、好ましくは100〜120℃の温度条件で、15秒〜3分、好ましくは15秒〜1分のベーク処理を行なう。パターン露光時に発生した酸の存在下で架橋反応が進行し、さらにベーク処理を行うことによって、感光性樹脂層の表面(露光面側)に発生した酸を感光層樹脂層の膜深部まで拡散させ、膜深部まで架橋反応を進行させることができる。 After the pattern exposure, baking is performed. The baking conditions vary depending on the photosensitive resin, photoacid generator, cross-linking agent, etc., but are generally 80 to 140 ° C., preferably 100 to 120 ° C., preferably 15 seconds to 3 minutes, preferably Performs a baking process for 15 seconds to 1 minute. The cross-linking reaction proceeds in the presence of acid generated during pattern exposure, and further baking is performed to diffuse the acid generated on the surface (exposed surface side) of the photosensitive resin layer to the deep part of the photosensitive resin layer. The crosslinking reaction can proceed to the deep part of the film.
次に、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と実施する。
現像工程の前に、予め純水をシャワーノズル等にて感光性層表面に噴霧して、感光性層の表面を均一に湿らせることが好ましい。
その後、現像液で現像して未露光部を除去し、離画壁のパターンが形成される。現像工程において用いられる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が挙げられ、公知のアルカリ性現像液を適宜使用することができる。アルカリ水溶液には、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加して用いてもよい。
Next, a developing step for forming a separation wall by removing the photosensitive layer in the unexposed area is performed.
Prior to the development step, it is preferable that pure water is sprayed on the surface of the photosensitive layer with a shower nozzle or the like in advance to uniformly wet the surface of the photosensitive layer.
Thereafter, development is performed with a developing solution to remove the unexposed portion, and a pattern of the image separation wall is formed. Examples of the developer used in the development step include a dilute aqueous solution of an alkaline substance, and a known alkaline developer can be appropriately used. A small amount of an organic solvent miscible with water may be added to the alkaline aqueous solution.
[現像液]
現像液の調製に用いられるアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。
現像液中でのアルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。
[Developer]
Examples of the alkaline substance used for preparing the developer include alkali metal hydroxides (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (for example, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates ( For example, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate), alkali metal silicates (for example, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (for example, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine Monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like.
The concentration of the alkaline substance in the developer is preferably from 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably from 8 to 14.
現像液に所望により添加される「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。
水と混和性の有機溶剤の現像液中の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。
現像液には、さらに公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。
Examples of the “water-miscible organic solvent” added to the developer as desired include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether , Ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methyl Pyrrolidone and the like are preferred.
The concentration of the water-miscible organic solvent in the developer is preferably from 0.1 to 30% by mass.
A known surfactant can also be added to the developer, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.
前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。
現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、濃色感光性層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依存して変更されるが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると未露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがあり、いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。この現像工程にて、離画壁形状が形成される。
アルカリ現像処理後、水洗を行って、残存する現像液を除去してもよい。
The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive layer, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined.
The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time varies depending on the composition of the dark color photosensitive layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added, but is usually about 10 seconds to 2 minutes. is there. If it is too short, the development of the unexposed area may be insufficient and the absorbance of ultraviolet rays may be insufficient, and if it is too long, the exposed area may be etched. It becomes difficult to make it suitable. In this developing process, a separating wall shape is formed.
After the alkali development treatment, the remaining developer may be removed by washing with water.
本発明においては、エッチングを行うことなく、パターン露光により離画壁を形成するため、感光性層の塗布面状性を制御することで、濃色離画壁の表面粗さを小さくすることができる。本発明の製造方法によれば、濃色離画壁の表面粗さRa値は5nm以下とすることができ、好ましくは4.0nm以下、より好ましくは3.6nmの以下とすることができる。濃色離画壁の表面粗さRa値が5nm以下となると、濃色離画壁の表面を伝わって隣接する濃色離画壁の表面における着色液体組成物の移動を阻止することができ、この結果、隣接する画素間の着色液体組成物の移動による混色を未然に防止することができる。 In the present invention, the separation wall is formed by pattern exposure without etching, so that the surface roughness of the dark separation wall can be reduced by controlling the coating surface property of the photosensitive layer. it can. According to the production method of the present invention, the surface roughness Ra value of the dark color separation wall can be 5 nm or less, preferably 4.0 nm or less, more preferably 3.6 nm or less. When the surface roughness Ra value of the dark color separation wall is 5 nm or less, it is possible to prevent the movement of the colored liquid composition on the surface of the dark color separation wall along the surface of the dark color separation wall, As a result, color mixing due to movement of the colored liquid composition between adjacent pixels can be prevented in advance.
以上の方法においては、支持体上に感光性層を塗布法にて形成し、その後、露光、現像して離画壁を形成したが、形成方法はこれに限定されず、感光性層を有する転写材料を用いた転写法を用いて形成することもできる。以下、転写法を用いる形成方法について説明する。
−感光性転写材料を用いた離画壁の形成−
仮支持体上に、少なくとも感光性層を設けてなる感光性転写材料を用意する。
In the above method, a photosensitive layer was formed on a support by a coating method, and then a separation wall was formed by exposure and development. However, the formation method is not limited to this, and a photosensitive layer is provided. It can also be formed using a transfer method using a transfer material. Hereinafter, a forming method using a transfer method will be described.
-Formation of separation walls using photosensitive transfer materials-
A photosensitive transfer material having at least a photosensitive layer provided on a temporary support is prepared.
(感光性転写材料)
感光性層の上に保護フィルムを設けることで感光性層への傷付き等を防止することができる。感光性転写材料は、保護フィルムを剥離して基板上に感光性層を転写し、基板上に感光性層を形成し、離画壁状に露光し、必要に応じてベーク処理し、現像することで離画壁パターンを形成することができる。
(Photosensitive transfer material)
By providing a protective film on the photosensitive layer, it is possible to prevent the photosensitive layer from being damaged. The photosensitive transfer material peels off the protective film, transfers the photosensitive layer onto the substrate, forms the photosensitive layer on the substrate, exposes it to a separating wall, and bakes and develops as necessary. Thus, a separation wall pattern can be formed.
(仮支持体)
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
(Temporary support)
The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet or a laminate thereof such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, or polypropylene is preferable. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.
(熱可塑性樹脂層)
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性であることが好ましく、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述する濃色離画壁形成方法において、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
(Thermoplastic resin layer)
The photosensitive transfer material may have a thermoplastic resin layer as necessary. Such a thermoplastic resin layer is preferably alkali-soluble and comprises at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, it is possible to exhibit good adhesion to a permanent support in the dark color separation wall forming method described later.
Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.
For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of those organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower, issued on October 25, 1968), those soluble in an alkaline aqueous solution can be used.
また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.
Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.
(保護フイルム)
感光性層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性層から容易に分離されねばならない。
保護フィルム材料としては、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィン樹脂シート若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当であり、なかでも、ポリプロピレンシートが特に好ましい。なお、保護フイルムの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。
(Protective film)
A thin protective film is preferably provided on the photosensitive layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but must be easily separated from the photosensitive layer.
As the protective film material, for example, a silicone paper, a polyolefin resin sheet or a polytetrafluoroethylene sheet is suitable, and a polypropylene sheet is particularly preferable. The thickness of the protective film is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 10 to 25 μm.
(感光性転写材料の作製方法)
本発明の製造方法で使用される感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後濃色感光性組成物塗布液を塗布して乾燥して設けることにより作製することができる。ここで、熱可塑性樹脂層は必ずしも設けなくてもよい。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と濃色感光性層が接するように相互に貼り合わせることによっても作製することができる。
なお、上記作製方法における仮支持体あるいは保護フィルムへの感光性層の塗布は、前記基板表面への塗布と同様、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。
(Method for producing photosensitive transfer material)
The photosensitive transfer material used in the production method of the present invention is obtained by applying a coating solution (a coating solution for a thermoplastic resin layer) in which an additive for a thermoplastic resin layer is dissolved on a temporary support and drying it. It can be produced by providing a plastic resin layer and then applying a dark color photosensitive composition coating solution and drying it. Here, the thermoplastic resin layer is not necessarily provided.
In addition, a sheet provided with a thermoplastic resin layer on the temporary support and a sheet provided with a photosensitive layer on a protective film are prepared, and the thermoplastic resin layer and the dark photosensitive layer are in contact with each other. It can also be produced by bonding.
The photosensitive layer can be applied to the temporary support or the protective film in the above production method by a known application device or the like, similar to the application to the substrate surface. It is preferable to use a coating apparatus (slit coater) using
(感光性転写材料による離画壁の作製)
まず、前記感光性転写材料の保護フィルムを剥離除去した後、感光性層の面を永久支持体(本発明における基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。
貼り合わせに用いられるラミネータには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
(Production of separation walls using photosensitive transfer material)
First, after peeling off and removing the protective film of the photosensitive transfer material, the surface of the photosensitive layer is bonded onto a permanent support (substrate in the present invention) and laminated by heating and pressing through a laminator or the like (laminate). .
As the laminator used for the bonding, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators, and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to increase productivity.
次いで、仮支持体を除去する。このようにして基板上に感光性層が形成される。仮支持体を除去した後の、露光工程、ベーク工程、現像工程、及び、所望により続いて行われる水洗工程は、前記した塗布法におけるものと同様に行えばよく、このようにして濃色離画壁を得ることができる。
このように基板上への濃色感光性層の形成は、塗布方法をあるいは転写方法のいずれでも形成することができる。
以上、いずれの方法においても、表面が平滑な濃色離画壁を露光パターンに応じて容易に形成することができる。
Next, the temporary support is removed. In this way, a photosensitive layer is formed on the substrate. The exposure process, the baking process, the development process, and the water washing process that is performed if desired after the removal of the temporary support may be performed in the same manner as in the coating method described above. A painting wall can be obtained.
As described above, the dark color photosensitive layer can be formed on the substrate by either a coating method or a transfer method.
As described above, in any of the methods, it is possible to easily form a dark color separation wall having a smooth surface according to the exposure pattern.
(各画素の形成)
本発明のカラーフィルタの製造方法では、前記基板上に、前記濃色離画壁の製造方法により製造された濃色離画壁と、2色以上の色を有する、複数の画素からなる画素群とを有し、前記複数の画素が、前記濃色離画壁を形成した後、着色液体組成物を前記濃色離画壁間に付与させて形成させることを特徴とする。
即ち、前記現像工程にて基板上に形成された濃色離画壁間の空隙に対し、2色以上の画素(例えば、RGB各画素)を形成する為の着色液体組成物をその空隙に付与させて2色以上の色を有する、複数の画素を形成する。
この着色液体組成物を離画壁空隙に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができ、インクジェット法がコスト的に好ましい。また、このように各画素を形成する前に、濃色離画壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。すなわち、1)現像後、再露光を行う(ポスト露光と呼ぶことがある)、2)現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは濃色離画壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。
(Formation of each pixel)
In the method for producing a color filter of the present invention, a pixel group comprising a dark color separation wall produced by the method for producing a dark color separation wall on the substrate and a plurality of pixels having two or more colors. And the plurality of pixels are formed by forming a dark color separation wall and then applying a colored liquid composition between the dark color separation walls.
That is, a colored liquid composition for forming pixels of two or more colors (for example, RGB pixels) is applied to the gap between the dark color separation walls formed on the substrate in the development process. Thus, a plurality of pixels having two or more colors are formed.
As a method for causing the colored liquid composition to enter the separation wall gap, a known method such as an ink jet method or a stripe Geyser coating method can be used, and the ink jet method is preferable in terms of cost. In addition, before forming each pixel in this way, the shape of the dark color separation wall may be fixed, and the means is not particularly limited, but includes the following. That is, 1) re-exposure after development (sometimes referred to as post-exposure), and 2) heat treatment at a relatively low temperature after development. The heat treatment here refers to heating a substrate having a dark color separation wall in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiating an infrared lamp.
ここで、上記1)を行う場合の露光量は、大気下であれば500〜3000mJ/cm2、好ましくは1000〜2000mJ/cm2であり、また、同じく2)を行う場合の加熱温度は50〜120℃、好ましくは70〜100℃程度であり、その加熱時間は、10〜40分程度である。温度が50℃より低い場合には濃色離画壁の硬化が進まない懸念があり、120℃より大きい場合には濃色離画壁形状が崩れてしまう懸念がある。 Here, the exposure amount in the case of performing 1) above, if the atmosphere 500~3000mJ / cm 2, preferably 1000~2000mJ / cm 2, also, the heating temperature when also 2) perform 50 It is about -120 degreeC, Preferably it is about 70-100 degreeC, The heating time is about 10 to 40 minutes. When the temperature is lower than 50 ° C., there is a concern that the dark color separation wall will not be cured, and when it is higher than 120 ° C., there is a concern that the dark color separation wall shape may be broken.
各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。 Regarding the ink jet method used for forming each pixel, a known method such as a method of thermally curing ink, a method of photocuring, or a method of performing droplet ejection after forming a transparent image receiving layer on a substrate in advance is used. be able to.
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理(いわゆるベーク処理)する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、濃色光重合性組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、約120℃〜約250℃で約10分〜約120分間加熱することが好ましい。 Preferably, after each pixel is formed, a heating step of performing a heat treatment (so-called baking treatment) is provided. That is, a substrate having a layer photopolymerized by light irradiation is heated in an electric furnace, a dryer or the like, or an infrared lamp is irradiated. The temperature and time of heating depend on the composition of the dark color photopolymerizable composition and the thickness of the formed layer, but generally from about 120 ° C. to about 100% from the viewpoint of obtaining sufficient solvent resistance, alkali resistance, and ultraviolet absorbance. Heating at about 250 ° C. for about 10 minutes to about 120 minutes is preferred.
このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。 The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a general black matrix shape such as a stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement. May be.
(インクジェット方式)
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性ともに使用でき、表面張力の関係から水をベースにした水系インクの使用がより好ましい。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861公報[0034]〜[0063]に記載や、特開平10−195358号公報[0009]〜[0026]に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記<感光性組成物>の項で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた光酸架橋型感光性組成物を、好適なものとして用いることができる。
(Inkjet method)
The ink jet system used in the present invention includes a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foam. Various methods such as a method of injecting the ink can be employed.
The ink to be used can be both oily and water-based, and water-based inks based on water are more preferred from the viewpoint of surface tension. The coloring material contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. Further, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A-2005-3861 [0034] to [0063] or JP-A-10-195358 [0009], which is used for producing a known color filter. The composition for inkjet described in [0026] can also be used.
In consideration of the process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink in the present invention. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photoacid-crosslinking photosensitive composition containing a colorant such as a pigment described in the section <Photosensitive composition> can be preferably used.
また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、2官能乃至3官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。 Further, as the ink that can be used in the present invention, a thermosetting ink for a color filter containing at least a binder and a bifunctional to trifunctional epoxy group-containing monomer can also be used as a suitable ink.
本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、RGB3色のインクを吹き付けて3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。
このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
The color filter in the present invention is preferably a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, and it is preferable to form three color filters by spraying RGB three color inks.
This color filter is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.
[表示装置]
本発明の表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などを言う。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、(株)工業調査会1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門2001年発行)」の43ページに記載されている。
[Display device]
The display device of the present invention refers to a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, or a CRT display device. Definitions of display devices and explanations of each display device are, for example, “Electronic display devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display devices (written by Junaki Ibuki, Sangyo Tosho Co., Ltd.) Issue)).
Among the display devices of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends (issued by Toray Research Center Research Division 2001)".
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のブラックマトリックスはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズ
の市場(島健太郎(株)シーエムシー1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表良吉(株)富士キメラ総研2003年発行)」に記載されている。
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. The black matrix of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (issued by Kentaro Shimadzu Corp., 1994)”, “2003 Current Status and Future Prospects of Liquid Crystal Related Markets (Part 2)” (Omoyoshikichi Co., Ltd.) Fuji Chimera Research Institute published in 2003) ”.
[対象用途]
本発明のカラーフィルタはテレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
[Target use]
The color filter of the present invention can be applied to applications such as televisions, personal computers, liquid crystal projectors, game machines, mobile terminals such as mobile phones, digital cameras, car navigation systems, and the like without any particular limitation.
以下に、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。本発明はこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「%」および「部」は、「質量%」および「質量部」を表し、「分子量」とは「質量平均分子量」のことを示す。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. The present invention is not limited to these. Unless otherwise specified, “%” and “part” represent “% by mass” and “part by mass”, and “molecular weight” means “mass average molecular weight”.
(実施例1)
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)にて、以下に記載の組成よりなる感光性組成物K1を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置、東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、120℃3分間プリベークして膜厚2μmの感光性層K1を得た。
(Example 1)
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., a photosensitive substrate having a composition described below on a glass substrate coater (manufactured by FS Japan Co., Ltd., trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle. Composition K1 was applied. Subsequently, after a part of the solvent was dried by VCD (vacuum drying device, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, the EBR (edge bead remover) was unnecessary around the substrate. The coating solution was removed and prebaked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a photosensitive layer K1 having a thickness of 2 μm.
<感光性組成物K1>
・カーボンブラック分散物(下記組成) 25.0部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 37.4部
・メチルエチルケトン 24.9部
・バインダー1 9.1部
・2,2−ビス(トリクロロメチル)−6−[−4−(N,N−ジエトキシ
カルボニルメチル)−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン 1.2部
・架橋剤(MW−30M 三和ケミカル(株)製) 2.4部
・界面活性剤1 0.044部
<Photosensitive composition K1>
Carbon black dispersion (composition below) 25.0 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 37.4 parts Methyl ethyl ketone 24.9 parts Binder 1 9.1 parts 2,2-bis (trichloromethyl) -6- [ -4- (N, N-diethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -s-triazine 1.2 parts, crosslinking agent (MW-30M manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd.) 2.4 parts, surfactant 1 0.044 parts
<カーボンブラック分散液>
・カーボンブラック(デグッサ社製Nipex35) 13.1%
・分散剤(下記構造) 0.65%
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=
72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53%
<Carbon black dispersion>
・ Carbon black (Nexex 35 manufactured by Degussa) 13.1%
・ Dispersant (the following structure) 0.65%
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid =
72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72%
Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53%
<バインダー1>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73%
<Binder 1>
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%
<界面活性剤1>
・下記構造物1 30%
・メチルエチルケトン 70%
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%
(露光工程)
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と感光層K1との間の距離を200μmに設定し、窒素雰囲気下で、露光量400mJ/cm2でパターン露光した。
(ベーク工程)
露光終了して1分後に加熱処理(110℃、60秒)を行った。
(Exposure process)
In a proximity-type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask having an image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and the photosensitive layer K1 The distance between them was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 400 mJ / cm 2 under a nitrogen atmosphere.
(Bake process)
A heat treatment (110 ° C., 60 seconds) was performed 1 minute after the exposure was completed.
(現像工程)
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、濃色感光性層K1の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、大気下にて露光量2000mJ/cm2にてポスト露光を行って、光学濃度3.9の離画壁を得た。このようにして得られた離画壁の表面凹凸を接触膜厚計(Tencor社製触針式表面粗さ計P10)で測定したところRaは3.2nm、離画壁の高さは2.0μmであった。
(Development process)
Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the dark photosensitive layer K1, and then a KOH-based developer (KOH, containing a nonionic surfactant, trade name: CDK-1, (Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) was subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultra-high pressure cleaning nozzle to remove the residue, and post exposure was performed at an exposure amount of 2000 mJ / cm 2 in the atmosphere to obtain an optical density of 3.9. Got a separation wall. When the surface roughness of the separation wall thus obtained was measured with a contact film thickness meter (tencor stylus type surface roughness meter P10), Ra was 3.2 nm and the separation wall height was 2. It was 0 μm.
〔プラズマ撥水化処理〕
離画壁を形成した基板に、カソードカップリング方式平行平板型プラズマ処理装置を用いて、以下の条件にてプラズマ撥水化処理を行った。
使用ガス:CF4ガス流量:80sccm
圧力:40Pa
RFパワー:50W
処理時間:30sec
[Plasma water repellency treatment]
The substrate on which the separation wall was formed was subjected to plasma water repellency treatment under the following conditions using a cathode coupling parallel plate type plasma treatment apparatus.
Gas used: CF 4 gas flow rate: 80 sccm
Pressure: 40Pa
RF power: 50W
Processing time: 30 sec
−画素用着色インキの調製−
下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得た。その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、赤色(R)画素用着色インク組成物を調製した。
〈赤色画素用着色インキの組成〉
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、
油化シェル社製エピコート154) 2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル)5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
-Preparation of colored ink for pixels-
Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and a pigment dispersion was obtained using a three roll and bead mill. While sufficiently stirring the pigment dispersion with a dissolver or the like, other materials were added little by little to prepare a colored ink composition for red (R) pixels.
<Composition of colored ink for red pixels>
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (glycidyl methacrylate-styrene copolymer) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin) ,
Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) 2 parts, second epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts, curing agent (trimellitic acid) 4 parts, solvent: 80 parts ethyl 3-ethoxypropionate
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかは赤色画素部着色インク組成物の場合と同様にして緑色(G)画素用着色インク組成物を調製した。
さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかは赤色画素用着色インク組成物の場合と同様にして青色(B)画素用着色インク組成物を調製した。
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A colored ink composition for green (G) pixels was prepared in the same manner as in the red pixel portion colored ink composition except that the same amount of pigment green 36 was used.
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. A blue (B) pixel colored ink composition was prepared in the same manner as the red pixel colored ink composition except that the same amount of CI Pigment Blue 15: 6 was used.
次に上記のR、G、Bの画素用着色インクを用いて、上記で得られた画像形成用基板の離画壁で区分された領域内(凸部が囲まれた凹部)に、インクジェット方式の記録装置を用いて所望の濃度になるまでインク組成物の吐出を行い、R、G、Bのパターンからなるカラーフィルタを作製した。画像着色後のカラーフィルタを230℃オーブン中で30分ベークすることでブラックマトリックス、各画素ともに完全に硬化させた。 Next, using the above-described colored inks for R, G, and B pixels, an ink jet method is used in the region (the concave portion surrounded by the convex portion) divided by the separation wall of the image forming substrate obtained above. Was used to discharge the ink composition until the desired concentration was obtained, and a color filter composed of R, G, and B patterns was produced. The color filter after image coloring was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to completely cure the black matrix and each pixel.
こうして得られたカラーフィルタの、各画素を構成するインクは、離画壁間隙にぴったり収まり、隣接画素との混色などの欠陥となる不良は見つからなかった。これは本発明を用いることで、予期せず離画壁上部の表面のインクに対する濡れ性が低下したため、インクが隣の画素領域まで達しなかったためと考えられる。 The ink constituting each pixel of the color filter thus obtained fits exactly in the gap between the image separation walls, and no defect such as a color mixture with adjacent pixels was found. This is presumably because the ink did not reach the adjacent pixel area because the wettability with respect to the ink on the surface of the upper part of the image separation wall was unexpectedly lowered by using the present invention.
(オーバーコート層)
その後、着色層が形成されたガラスを低圧水銀灯(有効波長254nm)UV洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、透明オーバーコート剤を塗布・ベークする。膜の厚さが1.5μmになるように前面塗布後、230℃で40分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成するために下記の化学式(A)のポリアミック酸と化学式(B)のエポキシ化合物を3:1の重量比で混合して使用した。
(Overcoat layer)
Thereafter, the glass on which the colored layer has been formed is washed with a low-pressure mercury lamp (effective wavelength 254 nm) UV cleaning device to remove residues and foreign matters, and then a transparent overcoat agent is applied and baked. After coating the front surface so that the thickness of the film was 1.5 μm, it was baked at 230 ° C. for 40 minutes. At this time, in order to form a transparent overcoat layer, a polyamic acid represented by the following chemical formula (A) and an epoxy compound represented by the chemical formula (B) were mixed at a weight ratio of 3: 1.
(ITOの形成)
前記オーバーコート層が形成されたカラーフィルタ上に、ITO(インジウム錫酸化物)をスパッタリングにより形成して、ITO透明電極基板を得た。カラーフィルタのITO抵抗を測定した(三菱油化「ロレスタ」;四探針法でシート抵抗を測定)ところ、13Ω/□であった。
(Formation of ITO)
ITO (indium tin oxide) was formed on the color filter on which the overcoat layer was formed by sputtering to obtain an ITO transparent electrode substrate. The ITO resistance of the color filter was measured (Mitsubishi Yuka "Loresta"; the sheet resistance was measured by the four-probe method) and found to be 13 Ω / □.
(スペーサの形成)
特開2004−240335公報の[実施例1]に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記で作製したITO透明電極上にスペーサを形成した。
(Spacer formation)
A spacer was formed on the ITO transparent electrode produced above by the same method as the spacer forming method described in [Example 1] of JP-A-2004-240335.
(液晶配向制御用突起の形成)
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサを形成したITO透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2でプロキシミティ露光した。
続いて、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去することにより、カラーフィルタ側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を得た。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を230℃下で30分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に硬化された液晶配向制御用突起を形成した。
(Formation of liquid crystal alignment control protrusions)
A liquid crystal alignment control protrusion was formed on the ITO transparent electrode on which the spacer was formed, using the following positive photosensitive resin layer coating solution.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
A proximity exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) is arranged so that the predetermined photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the irradiation energy is 150 mJ / cm with an ultrahigh pressure mercury lamp through the photomask. Proximity exposure at 2 .
Subsequently, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed by spraying it on a substrate at 33 ° C. for 30 seconds in a shower type developing device. In this way, by removing the unnecessary portion (exposed portion) of the photosensitive resin layer by developing and removing the liquid crystal, the liquid crystal alignment control protrusions made of the photosensitive resin layer patterned into a desired shape are formed on the color filter side substrate. A display device substrate was obtained.
Next, the liquid crystal alignment control projection on which the liquid crystal alignment control protrusion was formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes to form a cured liquid crystal alignment control protrusion on the liquid crystal display substrate.
<ポジ型感光性樹脂層用塗布液処方>
・ポジ型レジスト液 53.3部
(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製、FH−2413F)
・メチルエチルケトン 46.7部
・界面活性剤 0.04部
(メガファックF−780F、大日本インキ化学工業(株)製)
<Positive photosensitive resin layer coating solution formulation>
-Positive resist solution 53.3 parts (FH-2413F, manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.)
・ Methyl ethyl ketone 46.7 parts ・ Surfactant 0.04 parts (Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
(液晶表示装置の作成)
上記で得られた液晶表示装置用基板を用いて、特開平11−242243号公報の第一実施例[0079]〜[0082]に記載の方法を用いて、液晶表示装置を作製した。
(Creation of liquid crystal display device)
Using the liquid crystal display device substrate obtained above, a liquid crystal display device was produced using the method described in the first examples [0079] to [0082] of JP-A No. 11-242243.
(評価)
液晶表示装置の画面は、混色が無く良好な画面であった。また、黒色表示の品位も良好であった。
(Evaluation)
The screen of the liquid crystal display device was a good screen with no color mixing. Moreover, the quality of black display was also good.
Claims (10)
基板上に光酸発生剤と該光酸発生剤の作用により架橋する架橋剤と着色剤とを含有する濃色感光性組成物からなる層を形成する感光性層形成工程と、該感光性層を露光して露光領域を硬化させる露光工程と、未露光部の感光性層を除去することで離画壁を形成する現像工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 The substrate has two or more image groups exhibiting different colors, and each pixel constituting the pixel group is separated from each other by a dark color separation wall. A color filter manufacturing method for forming each pixel between image separation walls by applying between
A photosensitive layer forming step of forming on the substrate a layer made of a dark color photosensitive composition containing a photoacid generator, a crosslinking agent that crosslinks by the action of the photoacid generator, and a colorant; and the photosensitive layer A method for producing a color filter, comprising: an exposure step of exposing an exposed region to cure an exposed region; and a developing step of forming a separation wall by removing a photosensitive layer in an unexposed portion.
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