KR20080014790A - Process for producing color filter, color filter, liquid crystal element, and liquid crystal display device - Google Patents

Process for producing color filter, color filter, liquid crystal element, and liquid crystal display device Download PDF

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KR20080014790A
KR20080014790A KR1020077027257A KR20077027257A KR20080014790A KR 20080014790 A KR20080014790 A KR 20080014790A KR 1020077027257 A KR1020077027257 A KR 1020077027257A KR 20077027257 A KR20077027257 A KR 20077027257A KR 20080014790 A KR20080014790 A KR 20080014790A
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히데아키 이토
다이스케 카시와기
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

This invention provides a process for producing a color filter comprising two or more groups of pixels, which exhibit respective different colors, provided on a substrate, the pixels being separated from each other by deep-color partition walls. The production process comprises a photosensitive layer formation step of forming, on a substrate, a photosensitive layer containing a deep-color photosensitive composition comprising a photoacid generator, a crosslinking agent, which acquires a crosslinking function upon action of the photoacid generator, and a colorant, an exposure step of exposing the photosensitive layer to cure the exposed area, a development step of removing the unexposed part in its photosensitive layer to form the partition walls, and a step of applying droplets of a color liquid composition to between the partition walls to form pixels between the partition walls.

Description

컬러 필터의 제조방법, 컬러 필터, 액정소자 및 액정표시장치{PROCESS FOR PRODUCING COLOR FILTER, COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL ELEMENT, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}Manufacturing method of color filter, color filter, liquid crystal device and liquid crystal display device {PROCESS FOR PRODUCING COLOR FILTER, COLOR FILTER, LIQUID CRYSTAL ELEMENT, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은 컬러 필터의 제조 방법, 상기 방법에 의해 얻어진 컬러 필터, 상기 컬러 필터를 사용한 액정소자 및 액정표시장치에 관한 것이다. 본 발명은 특히, 기판 상에 서로 다른 색을 나타내는 2 이상의 화소군을 갖고, 상기 화소군을 구성하는 각 화소는 서로 농색의 분리벽에 의해 분리되고 있어 분리벽 사이에 잉크젯 등에 의해 액적을 부여해서 형성되는 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터, 이 컬러 필터를 구비한 액정표시소자, 이 액정표시소자를 구비한 액정표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a color filter, a color filter obtained by the method, a liquid crystal element using the color filter, and a liquid crystal display device. In particular, the present invention has two or more pixel groups representing different colors on a substrate, and each pixel constituting the pixel group is separated from each other by a dark-colored separation wall to impart droplets by inkjet or the like between the separation walls. The manufacturing method of a color filter formed, a color filter, the liquid crystal display element provided with this color filter, and the liquid crystal display device provided with this liquid crystal display element.

표시장치용 컬러 필터는 유리 등의 기판 상에 적색, 녹색, 청색의 도트상 화상이 각각 매트릭스상에 배치되고, 각각의 도트가 그 경계에 있는 블랙 매트릭스 등의 농색 분리벽으로 구분된 구조이다. 종래부터 알려져 있는 이러한 컬러 필터의 제조 방법에는 지지체로서 유리 등의 기판을 사용하고, 1) 염색법, 2) 인쇄법, 3) 착색한 감광성 수지액의 도포와 노광 및 현상의 반복을 포함하는 착색 감광성 수지액법(착색 레지스트법), 4) 가지지체 상에 형성한 화상을 순차, 최종 또는 가지지 체 상에 전사하는 방법, 5) 미리 착색한 감광성 수지액을 가지지체 상에 도포하여 착색층을 형성하고, 순차적으로 직접 기판 상에 이 감광성 착색층을 전사하고 노광해서 현상하는 사이클을 색의 수만큼 반복하는 방법 등에 의해 다색화상을 형성하는 방법(전사방식)이 포함된다. 또한, 각 화소를 잉크젯법을 사용하여 형성하는 방법도 알려져 있다.A color filter for a display device is a structure in which red, green, and blue dot images are arranged on a matrix on a substrate such as glass, and are separated by a deep dividing wall such as a black matrix in which each dot is at a boundary thereof. A conventionally known method for producing such a color filter uses a substrate, such as glass, as a support, and includes a photosensitive resin comprising 1) a dyeing method, 2) a printing method, and 3) application of the colored photosensitive resin liquid and repetition of exposure and development. Resin liquid method (colored resist method), 4) a method of transferring images formed on a branch member sequentially, to a final or branch member, and 5) applying a previously colored photosensitive resin liquid onto a branch member to form a colored layer. And a method of forming a multicolor image (transfer method) by a method of sequentially repeating a cycle of sequentially transferring, exposing and developing the photosensitive colored layer on a substrate by the number of colors. Moreover, the method of forming each pixel using the inkjet method is also known.

이들 방법 중 착색 레지스트법은 위치 정도(精度)가 높은 컬러 필터를 제작할 수 있는 것으로 감광층 수지액 도포에 로스(loss)가 많아 비용적으로는 유리하다고는 할 수 없다. 한편, 각 화소를 잉크젯법을 사용하여 형성하는 방법에서는 수지액의 로스가 적기 때문에 그 방법은 비용적으로 유리한 것으로 화소의 위치 정도가 나쁜 문제를 갖는다.Among these methods, the colored resist method can produce a color filter having a high degree of position, and it is not advantageous in terms of cost because a large amount of loss is applied to the application of the photosensitive layer resin solution. On the other hand, in the method of forming each pixel using the inkjet method, since the loss of the resin liquid is small, the method is advantageous in terms of cost and has a problem that the position of the pixel is bad.

이들 문제를 극복하기 위해서 블랙 매트릭스를 착색 레지스트법으로 형성하는 것으로 분리벽을 형성하고, RGB 화소를 잉크젯법으로 제작하는 컬러 필터 제조법도 제안되어 있다. 그러나 이 분리벽 형성법을 사용했을 때는 분리벽의 표면이 거칠고, 미세한 요철이 발생해버린다. 이 때문에 컬러 필터 상에 형성된 투명 전극(ITO)의 표면저항이 증가해버리는 문제가 있다.In order to overcome these problems, a color filter manufacturing method has been proposed in which a black matrix is formed by a colored resist method to form a separation wall and an RGB pixel is produced by an inkjet method. However, when this partition wall forming method is used, the surface of the partition wall is rough and fine unevenness occurs. For this reason, there exists a problem that the surface resistance of the transparent electrode ITO formed on the color filter increases.

이를 방지하기 위해서 컬러 필터 상에 보호층을 형성하여 평탄성을 부여하는 방법이 있지만, 여분의 층을 형성하기 위해서는 비용이 상승하는 문제가 있었다.In order to prevent this, there is a method of providing flatness by forming a protective layer on the color filter, but there is a problem in that the cost increases to form an extra layer.

또한, 분리벽 표면에 드라이 에칭 처리를 하는 것으로 표면 거칠기를 조정하는 것이 알려져 있다(예를 들면, 일본특허공개 2001-343518호 공보 참조). 이 방법에 있어서는 복잡한 드라이 에칭 처리가 필요하게 되어 처리 공정이 증가하기 때문 에 제조 비용이 들뿐만 아니라 분리벽의 표면 거칠기를 소정의 거칠기로 조정하는 것이 어렵다는 문제가 있다.Moreover, it is known to adjust surface roughness by performing a dry etching process on the surface of a partition wall (for example, refer Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-343518). In this method, since a complicated dry etching process is required and the treatment process is increased, there is a problem that not only manufacturing cost but also difficulty in adjusting the surface roughness of the separation wall to a predetermined roughness.

본 발명은 상기 상황을 고려하여 이루어진 것으로 컬러 필터의 제조 방법, 컬러 필터, 액정소자 및 액정표시장치를 제공한다.The present invention has been made in consideration of the above situation, and provides a method for manufacturing a color filter, a color filter, a liquid crystal device, and a liquid crystal display device.

본 발명의 제1 실시 형태는 기판 상에 서로 다른 색을 나타내는 2 이상의 화소군을 갖고, 상기 화소군 중의 각 화소가 서로 농색 분리벽에 의해 분리되어 있는 컬러 필터의 제조 방법으로서,A first embodiment of the present invention is a manufacturing method of a color filter having two or more pixel groups representing different colors on a substrate, wherein each pixel of the pixel groups is separated from each other by a deep color separation wall.

기판 상에 광산발생제 및 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제와 착색제를 함유하는 농색 감광성 조성물을 포함하는 감광성층을 형성하는 감광성층 형성 공정과, 상기 감광성층을 노광해서 노광 영역을 경화시키는 노광 공정과, 미노광부의 감광성층을 제거함으로써 분리벽을 형성하는 현상 공정과, 착색 액체 조성물의 액적을 분리벽 사이에 부여함으로써 분리벽 사이에 각 화소를 형성하는 공정을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법을 제공한다.A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising a photosensitive generator and a deep photosensitive composition containing a colorant and a crosslinking agent for obtaining a crosslinking function by the action of the photoacid generator, and exposing the photosensitive layer by exposure. An exposure step of curing the region, a developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive layer of the unexposed part, and a step of forming each pixel between the separation walls by applying droplets of the colored liquid composition between the separation walls. It provides a method for producing a color filter.

본 발명의 제2 실시 형태는 상기 제조 방법으로 제조되어 분리벽의 표면 거칠기 (Ra값)가 5nm 이하인 컬러 필터를 제공한다.A second embodiment of the present invention provides a color filter manufactured by the above production method, wherein the surface roughness (Ra value) of the separation wall is 5 nm or less.

본 발명의 제3 실시 형태는 상기 컬러 필터를 구비한 액정표시소자를 제공한다.A third embodiment of the present invention provides a liquid crystal display device having the color filter.

본 발명의 제4 실시 형태는 상기 액정표시소자를 구비한 액정표시장치를 제공한다.A fourth embodiment of the present invention provides a liquid crystal display device including the liquid crystal display device.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은 기판 상에 서로 다른 색을 나타내는 2 이상의 화소군을 갖고, 상기 화소군 중의 각 화소는 농색의 분리벽에 의해 서로 분리되어 있는 컬러 필터의 제조 방법으로서, 기판 상에 광산발생제와 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제와 착색제를 함유하는 농색 감광성 조성물을 포함하는 감광성층을 형성하는 감광성층 형성 공정과, 상기 감광성층을 노광해서 노광 영역을 경화시키는 노광 공정과, 미노광부의 감광성층을 제거하는 것으로 분리벽을 형성하는 현상 공정과, 착색 액체 조성물에 의한 액적을 분리벽 사이에 부여시키는 방법으로 각 화소를 분리벽 사이에 형성하는 공정을 포함하는 방법이다. 본 명세서 중에서 말하는 단어 "화소군"이란 동일한 색을 갖는 화소의 개념상 집단을 의미하는 것으로 지리적인 집단을 의미하는 것이 아니다. 따라서, 각 화소군 중의 화소는 반드시 지리적으로 결정되지는 않는다.The manufacturing method of the color filter of this invention has the 2 or more pixel group which shows a different color on a board | substrate, and each pixel of the said pixel group is a manufacturing method of the color filter separated from each other by the dividing color separation wall, Comprising: A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising a deep photosensitive composition containing a crosslinking agent and a colorant which obtain a crosslinking function by the action of the photoacid generator and the photoacid generator, and exposing the photosensitive layer to an exposed area. An exposure step of curing, a developing step of forming a separating wall by removing the photosensitive layer of the unexposed part, and a step of forming each pixel between the separating walls by applying a droplet by the coloring liquid composition between the separating walls. It is a way to include. The word "pixel group" as used herein refers to a conceptual group of pixels having the same color, and does not mean a geographical group. Therefore, the pixels in each pixel group are not necessarily geographically determined.

상기 농색 감광성 조성물은 또한 메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트의 적어도 1개를 포함하는 공중합체를 함유하고 있어도 좋다.The deep color photosensitive composition may further contain a copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate.

상기 광산발생제는 유기 할로겐 화합물, 오늄염 및 술폰산 에스테르로 이루어지는 군에서 선택된 1 이상의 화합물이어도 좋고,The photoacid generator may be one or more compounds selected from the group consisting of organic halogen compounds, onium salts and sulfonic acid esters,

상기 가교제는 멜라민 수지 또는 요소 수지이어도 좋고,The crosslinking agent may be melamine resin or urea resin,

상기 분리벽의 높이는 1.8㎛ 이상 10㎛ 이하이어도 좋다.The height of the dividing wall may be 1.8 µm or more and 10 µm or less.

상기 분리벽의 광학농도는 2.5 이상 10 이하이어도 좋고, The optical density of the dividing wall may be 2.5 or more and 10 or less,

상기 분리벽은 흑색이어도 좋다.The partition wall may be black.

이하, 이 제조 방법을 공정 순으로 설명한다.Hereinafter, this manufacturing method is demonstrated in order of process.

본 발명의 제조 방법에 있어서는 우선, 기판 상에 감광성층이 형성된다. 감광성층을 형성하기 위해서 사용할 수 있는 농색 감광성 조성물은 광산발생제와 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제와 착색제를 함유하는 네가티브형의 감광성 조성물이다. 이 네가티브형 감광성 조성물이 노광되면 광산발생제가 분해해서 산을 발생하고, 광산발생제에서 발생한 산에 의해 가교제가 가교 기능을 획득하고, 그에 의해 가교 구조가 형성되어서 조성물이 경화한다. 기판 상의 농색 분리벽은 이 조성물의 경화에 의해 형성된다.In the manufacturing method of this invention, first, the photosensitive layer is formed on a board | substrate. The deep photosensitive composition which can be used for forming a photosensitive layer is a negative photosensitive composition containing a photo-acid generator and a crosslinking agent and a coloring agent which acquire a crosslinking function by the action | action of the said photo-acid generator. When this negative photosensitive composition is exposed, a photoacid generator will decompose | generate and generate an acid, a crosslinking agent acquires a crosslinking function by the acid which generate | occur | produced in the photoacid generator, and a crosslinked structure is formed by this, and a composition hardens. The deep dividing wall on the substrate is formed by curing of this composition.

[농색 감광성 조성물][Dark photosensitive composition]

농색 감광성 조성물(이하, 적당히 감광성 조성물이라 칭함)은 광산발생제와 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제와 착색제를 함유한다.The deep color photosensitive composition (hereinafter referred to as suitably photosensitive composition) contains a crosslinking agent and a coloring agent which acquire a crosslinking function by the action of a photoacid generator and the said photoacid generator.

여기서, 농색 조성물이란 높은 광학농도를 갖는 조성물이며, 그 광학 농도의 값은 2.5 이상이 바람직하고, 2.5∼10.0이 더욱 바람직하고, 2.5∼6.0이 더욱 더 바람직하고, 3.0∼5.0이 특히 바람직하다. 또한, 이 감광성 조성물은 후술하는 것과 같이 바람직하게는 광개시계의 작용으로 경화시키기 위해서 노광 파장(일반적으로는 자외영역)에 있어서 감광성 조성물의 광학 농도도 중요하다. 즉, 노광 파장에 있어서 감광성 조성물의 광학 농도의 값은 2.0∼10.0이어도 좋고, 바람직하게는 2.5∼6.0, 가장 바람직한 것은 3.0∼5.0이다. 2.0 미만에서는 분리벽의 형상이 희망하는 것이 되질 않을 염려가 있으며, 10.0을 넘으면 중합을 개시할 수 없는 분리 벽 그것을 만드는 것이 곤란하게 된다.Here, a deep color composition is a composition which has a high optical density, 2.5 or more is preferable, as for the value of the optical density, 2.5-10.0 are still more preferable, 2.5-6.0 are still more preferable, 3.0-5.0 are especially preferable. In addition, as described later, the optical density of the photosensitive composition is also important at an exposure wavelength (generally an ultraviolet region) in order to cure it under the action of a photo-initiation clock. That is, the value of the optical density of the photosensitive composition in an exposure wavelength may be 2.0-10.0, Preferably it is 2.5-6.0, Most preferably, it is 3.0-5.0. If it is less than 2.0, there is a concern that the shape of the separation wall may not be what is desired. If it exceeds 10.0, it becomes difficult to make the separation wall that cannot start polymerization.

(착색제)(coloring agent)

본 발명에 사용하는 착색제의 구체예는 하기 컬러 인덱스(C.I.) 번호를 갖는 염료, 안료를 포함한다.Specific examples of the colorant used in the present invention include dyes and pigments having the following color index (C.I.) numbers.

어떤 실시 형태에서는 본 발명의 농색 감광성 수지 조성물은 유기안료, 무기안료, 염료 등을 포함한다. 광중합성 수지층이 차광성을 갖지 않으면 안 될 때에는 감광성 조성물은 카본 블랙, 산화 티탄, 4산화철 등의 금속 산화물 분말, 금속 황화물 분말, 금속 분말인 차광제나, 적, 청, 녹색 등의 안료의 혼합물 등을 포함할 수 있다. 공지의 착색제(염료, 안료)를 사용할 수 있다. 상기 공지의 착색제 중 안료를 사용할 경우에 안료는 농색 조성물 중에 균일하게 분산되어 있는 것이 바람직하다. In some embodiments, the deep color photosensitive resin composition of the present invention includes organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like. When the photopolymerizable resin layer must have light shielding properties, the photosensitive composition is composed of a metal oxide powder such as carbon black, titanium oxide or iron tetraoxide, a metal sulfide powder, a light blocking agent which is a metal powder, or a mixture of pigments such as red, blue, and green. And the like. Known coloring agents (dyes, pigments) can be used. When using a pigment in the said known coloring agent, it is preferable that a pigment is disperse | distributed uniformly in a deep color composition.

상기 농색 조성물의 고형분 중의 착색제의 비율은 충분히 현상 시간을 단축하는 관점에서 30∼70질량%인 것이 바람직하고, 40∼60질량%인 것이 더욱 바람직하고, 50∼55질량%인 것이 더욱 더 바람직하다.It is preferable that the ratio of the coloring agent in solid content of the said rich color composition is 30-70 mass% from a viewpoint of fully shortening image development time, It is more preferable that it is 40-60 mass%, It is still more preferable that it is 50-55 mass%. .

상기 공지의 염료 또는 안료의 예는 Victoria Pure Blue BO(C.I.42595), Auramine(C.I.41000), Fat Black HB(C.I.26150), C.I.Pigment Yellow 1, C.I.Pigment Yellow 3, C.I.Pigment Yellow 12, C.I.Pigment Yellow 13, C.I.Pigment Yellow 14, C.I.Pigment Yellow 5, C.I.Pigment Yellow 16, C.I.Pigment Yellow 17, C.I.Pigment Yellow 20, C.I.Pigment Yellow 24, C.I.Pigment Yellow 31, C.I.Pigment Yellow 55, C.I.Pigment Yellow 60, C.I.Pigment Yellow 61, C.I.Pigment Yellow 65, C.I.Pigment Yellow 71, C.I.Pigment Yellow 73, C.I.Pigment Yellow 74, C.I.Pigment Yellow 81, C.I.Pigment Yellow 83, C.I.Pigment Yellow 93, C.I.Pigment Yellow 95, C.I.Pigment Yellow 97, C.I.Pigment Yellow 98, C.I.Pigment Yellow 100, C.I.Pigment Yellow 101, C.I.Pigment Yellow 104, C.I.Pigment Yellow 106, C.I.Pigment Yellow 108, C.I.Pigment Yellow 109, C.I.Pigment Yellow 110, C.I.Pigment Yellow 113, C.I.Pigment Yellow 114, C.I.Pigment Yellow 116, C.I.Pigment Yellow 117, C.I.Pigment Yellow 119, C.I.Pigment Yellow 120, C.I.Pigment Yellow 126, C.I.Pigment Yellow 127, C.I.Pigment Yellow 128, C.I.Pigment Yellow 129, C.I.Pigment Yellow 138, C.I.Pigment Yellow 139, C.I.Pigment Yellow 150, C.I.Pigment Yellow 151, C.I.Pigment Yellow 152, C.I.Pigment Yellow 153, C.I.Pigment Yellow 154, C.I.Pigment Yellow 155, C.I.Pigment Yellow 156, C.I.Pigment Yellow 166, C.I.Pigment Yellow 168, C.I.Pigment Yellow 175, C.I. Pigment Yellow 180, C.I.Pigment Yellow 185;Examples of such known dyes or pigments include Victoria Pure Blue BO (CI42595), Auramine (CI41000), Fat Black HB (CI26150), CIPigment Yellow 1, CIPigment Yellow 3, CIPigment Yellow 12, CIPigment Yellow 13, CIPigment Yellow 14, CIPigment Yellow 5, CIPigment Yellow 16, CIPigment Yellow 17, CIPigment Yellow 20, CIPigment Yellow 24, CIPigment Yellow 31, CIPigment Yellow 55, CIPigment Yellow 60, CIPigment Yellow 61, CIPigment Yellow 65, CIPigment Yellow 71, CIPigment Yellow 73, CIPigment Yellow 74, CIPigment Yellow 81, CIPigment Yellow 83, CIPigment Yellow 93, CIPigment Yellow 95, CIPigment Yellow 97, CIPigment Yellow 98, CIPigment Yellow 100, CIPigment Yellow 101, CIPigment Yellow 104, CIPigment Yellow 106, CIPigment Yellow 108, CIPigment Yellow 109, CIPigment Yellow 110, CIPigment Yellow 113, CIPigment Yellow 114, CIPigment Yellow 116, CIPigment Yellow 117, CIPigment Yellow 119, CIPigment Yellow 120, CIPigmen t Yellow 126, CIPigment Yellow 127, CIPigment Yellow 128, CIPigment Yellow 129, CIPigment Yellow 138, CIPigment Yellow 139, CIPigment Yellow 150, CIPigment Yellow 151, CIPigment Yellow 152, CIPigment Yellow 153, CI Pigment Yellow 154, CIPigment Yellow 155, CIPigment Yellow 156, CIPigment Yellow 166, CIPigment Yellow 168, CIPigment Yellow 175, CI Pigment Yellow 180, C. I. Pigment Yellow 185;

C.I.Pigment Orange 1, C.I.Pigment Orange 5, C.I.Pigment Orange 13, C.I.Pigment Orange 14, C.I.Pigment Orange 16, C.I.Pigment Orange 17, C.I.Pigment Orange 24, C.I.Pigment Orange 34, C.I.Pigment Orange 36, C.I.Pigment Orange 38, C.I.Pigment Orange 40, C.I.Pigment Orange 43, C.I.Pigment Orange 46, C.I.Pigment Orange 49, C.I.Pigment Orange 51, C.I.Pigment Orange 61, C.I.Pigment Orange 63, C.I.Pigment Orange 64, C.I.Pigment Orange 71, C.I.Pigment Orange 73; CIPigment Orange 1, CIPigment Orange 5, CIPigment Orange 13, CIPigment Orange 14, CIPigment Orange 16, CIPigment Orange 17, CIPigment Orange 24, CIPigment Orange 34, CIPigment Orange 36, CIPigment Orange 38, CIPigment Orange 40, CIPigment Orange 43, CIPigment Orange 46, CIPigment Orange 49, CIPigment Orange 51, CIPigment Orange 61, CIPigment Orange 63, CIPigment Orange 64, CIPigment Orange 71, CIPigment Orange 73;

C.I.Pigment Violet 1, C.I.Pigment Violet 19, C.I.Pigment Violet 23, C.I.Pigment Violet 29, C.I.Pigment Violet 32, C.I.Pigment Violet 36, C.I.Pigment Violet 38;C.I. Pigment Violet 1, C.I.Pigment Violet 19, C.I.Pigment Violet 23, C.I.Pigment Violet 29, C.I.Pigment Violet 32, C.I.Pigment Violet 36, C.I.Pigment Violet 38;

C.I.Pigment Red 1, C.I.Pigment Red 2, C.I.Pigment Red 3, C.I.Pigment Red 4, C.I.Pigment Red 5, C.I.Pigment Red 6, C.I.Pigment Red 7, C.I.Pigment Red 8, C.I.Pigment Red 9, C.I.Pigment Red 10, C.I.Pigment Red 11, C.I.Pigment Red 12, C.I.Pigment Red 14, C.I.Pigment Red 15, C.I.Pigment Red 16, C.I.Pigment Red 17, C.I Pigment Red 18, C.I.Pigment Red 19, C.I.Pigment Red 21, C.I.Pigment Red 22, C.I.Pigment Red 23, C.I.Pigment Red 30, C.I.Pigment Red 31, C.I.Pigment Red 32, C.I.Pigment Red 37, C.I.Pigment Red 38, C.I.Pigment Red 40, C.I.Pigment Red 41, C.I.Pigment Red 42, C.I.Pigment Red 48:1, C.I.Pigment Red 48:2, C.I.Pigment Red 48:3, C.I.Pigment Red 48:4, C.I.Pigment Red 49:1, C.I.Pigment Red 49:2, C.I.Pigment Red 50:1, C.I.PigmentRed 52:1, C.I.Pigment Red 53:1, C.I.Pigment Red 57, C.I.Pigment Red 57:1, C.I.Pigment Red 57:2, C.I.Pigment Red 58:2, C.I.Pigment Red 58:4, C.I Pigment Red 60:1, C.I.Pigment Red 63:1, C.I.Pigment Red 63:2, C.I.Pigment Red 64:1, C.I.Pigment Red 81:1, C.I.Pigment Red 83, C.I.Pigment Red 88, C.I.Pigment Red 90:1, C.I.Pigment Red 97, C.I.Pigment Red 101, C.I.Pigment Red 102, C.I.Pigment Red 104, C.I.Pigment Red 105, C.I.Pigment Red 106, C.I.Pigment Red 108, C.I.Pigment Red 112, C.I.Pigment Red 113, C.I.Pigment Red 114, C.I.Pigment Red 122, C.I.Pigment Red 123, C.I.Pigment Red 144, C.I.Pigment Red 146, C.I.Pigment Red 149, C.I.Pigment Red 150, C.I.Pigment Red 151, C.I.Pigment Red 166, C.I.Pigment Red 168, C.I.Pigment Red 170, C.I.Pigment Red 171, C.I.Pigment Red 172, C.I.Pigment Red 174, C.I.Pigment Red 175, C.I.Pigment Red 176, C.I.Pigment Red 177, C.I.Pigment Red 178, C.I.Pigment Red 179, C.I.Pigment Red 180, C.I.Pigment Red 185, C.I.Pigment Red 187, C.I.Pigment Red 188, C.I.Pigment Red 190, C.I.Pigment Red 193, C.I.Pigment Red 194, C.I.Pigment Red 202, C.I.Pigment Red 206, C.I.Pigment Red 207, C.I.Pigment Red 208, C.I.Pigment Red 209, C.I.Pigment Red 215, C.I.Pigment Red 216, C.I.Pigment Red 220, C.I.Pigment Red 224, C.I.Pigment Red 226, C.I.Pigment Red 242, C.I.Pigment Red 243, C.I.Pigment Red 245, C.I.Pigment Red 254, C.I.Pigment Red 255, C.I.Pigment Red 264, C.I.Pigment Red 265;CIPigment Red 1, CIPigment Red 2, CIPigment Red 3, CIPigment Red 4, CIPigment Red 5, CIPigment Red 6, CIPigment Red 7, CIPigment Red 8, CIPigment Red 9, CIPigment Red 10, CIPigment Red 11, CIPigment Red 12, CIPigment Red 14, CIPigment Red 15, CIPigment Red 16, CIPigment Red 17, CI Pigment Red 18, CIPigment Red 19, CIPigment Red 21, CIPigment Red 22, CIPigment Red 23, CIPigment Red 30, CIPigment Red 31, CIPigment Red 32, CIPigment Red 37, CIPigment Red 38, CIPigment Red 40, CIPigment Red 41, CIPigment Red 42, CIPigment Red 48: 1, CIPigment Red 48: 2, CIPigment Red 48: 3, CIPigment Red 48: 4, CIPigment Red 49: 1, CIPigment Red 49: 2, CIPigment Red 50: 1, CIPigmentRed 52: 1, CIPigment Red 53: 1, CIPigment Red 57: 1, CIPigment Red 57: 1, CIPigment Red 57: 2, CIPigment Red 58: 2, CIPigment Red 58: 4, CI Pigment Red 60: 1, CIPigment Red 63: 1, CIPigment Red 63: 2, CIPigment Red 64: 1, CIPigment Red 81: 1, CIPigment Re d 83, CIPigment Red 88, CIPigment Red 90: 1, CIPigment Red 97, CIPigment Red 101, CIPigment Red 102, CIPigment Red 104, CIPigment Red 105, CIPigment Red 106, CIPigment Red 108, CIPigment Red 112, CIPigment Red 113, CIPigment Red 114, CIPigment Red 122, CIPigment Red 123, CIPigment Red 144, CIPigment Red 146, CIPigment Red 149, CIPigment Red 150, CIPigment Red 151, CIPigment Red 166, CIPigment Red 168, CIPigment Red 170, CIPigment Red 171, CIPigment Red 172, CIPigment Red 174, CIPigment Red 175, CIPigment Red 176, CIPigment Red 177, CIPigment Red 178, CIPigment Red 179, CIPigment Red 180, CIPigment Red 185, CIPigment Red 187, CIPigment Red 188, CIPigment Red 190, CIPigment Red 193, CIPigment Red 194, CIPigment Red 202, CIPigment Red 206, CIPigment Red 207, CIPigment Red 208, CIPigment Red 209, CIPigment Red 215, CIPigment Red 216, CIPigment Red 220, CIPigment Red 224, CIPigment Red 226, CIPig ment Red 242, C. I. Pigment Red 243, C. I. Pigment Red 245, C. I. Pigment Red 254, C. I. Pigment Red 255, C. I. Pigment Red 264, C. I. Pigment Red 265;

C.I.Pigment Blue 15, C.I.Pigment Blue 15:3, C.I.Pigment Blue 15:4, C.I.Pigment Blue 15:6, C.I.Pigment Blue 60C.I.Pigment Blue 15: C.I.Pigment Blue 15: 3, C.I.Pigment Blue 15: 4, C.I.Pigment Blue 15: 6, C.I.Pigment Blue 60

C.I.Pigment Green 7, C.I.Pigment Green 36C.I.Pigment Green 7, C.I.Pigment Green 36

C.I.Pigment Braun 23, C.I.Pigment Braun 25C.I.Pigment Braun 23, C.I.Pigment Braun 25

C.I.Pigment Black 1, C.I.Pigment Black 7 등을 포함한다.C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7 and the like.

본 발명에 있어서는 상기 착색제 중에서 흑색착색제가 바람직하다. 흑색착색 제의 새로운 예는 카본 블랙, 티탄 카본, 산화철, 산화 티탄, 흑연 등을 포함한다. 그 중에서도 카본 블랙이 바람직하다.In this invention, a black coloring agent is preferable among the said coloring agents. New examples of black coloring agents include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, graphite and the like. Especially, carbon black is preferable.

상기 안료는 분산액의 상태로 사용하는 것이 바람직하다. 이 분산액은 상기 안료와 안료 분산제를 미리 혼합해서 얻어진 조성물을 후술하는 유기용매(또는 비히클)에 첨가해서 분산시킴으로써 조제할 수 있다. 상기 비히클이란 도료가 액체 상태인 때에 안료가 그 중에 분산되어 있는 매질의 부분을 말하고, 액상이며 상기 안료와 결합해서 도막을 굳히는 부분(바인더)과 이를 용해 희석하는 성분(유기용매)을 포함한다. 상기 안료의 분산에 사용하는 분산기는 특별히 제한되어 있지 않고, 예를 들면 아사쿠라 쿠니조 저서, "안료 사전", 제1판, 아사쿠라쇼우텐, 2000년, 438쪽에 기재되어 있는 니더(kneader), 롤 밀, Atlidar, 슈퍼 밀, Dissolver, 호모 믹서, 샌드 밀 등의 공지의 분산기가 사용가능하다. 또한 상기 문헌 310쪽의 기재와 같이, 기계적 마쇄에 의해 마찰력을 이용해서 미분쇄해도 좋다.It is preferable to use the said pigment in the state of a dispersion liquid. This dispersion liquid can be prepared by adding and disperse | distributing the composition obtained by mixing the said pigment and a pigment dispersant beforehand to the organic solvent (or vehicle) mentioned later. The vehicle refers to a portion of a medium in which a pigment is dispersed therein when the paint is in a liquid state, and is liquid, and includes a portion (binder) that binds to the pigment to harden the coating film and a component (organic solvent) that dissolves and dilutes the coating film. The dispersing machine used for dispersing the pigment is not particularly limited, and for example, a kneader described in Asakura Kunizu, "Pigment Dictionary", First Edition, Asakura Shoten, 2000, p. 438 Known dispersers such as mills, Atlidar, super mills, dissolvers, homo mixers, sand mills and the like can be used. Further, as described in the document 310, the fine grinding may be performed using mechanical force by mechanical grinding.

본 발명으로 사용하는 착색제(예를 들면, 안료)의 수평균 입경은 분산 안정성의 관점에서 0.001∼0.1㎛의 범위가 바람직하고, 0.01∼0.08㎛의 범위가 더욱 바람직하다. 또한, 안료 수평균 입경이 O.1㎛을 넘으면 안료에 의한 편광의 해소가 생기고, 콘트라스트가 저하하여 바람직하지 않다. 한편, 여기서 말하는 "입경"이란 입자의 전자현미경 사진 화상과 동일한 면적의 원의 지름을 말하고, 또한 "수평균 입경"이란 다수의 입자에 대해서 입경을 상기의 방식으로 구했을 때의 100개의 입자에 관한 평균치를 말한다.As for the number average particle diameter of the coloring agent (for example, pigment) used by this invention, the range of 0.001-0.1 micrometer is preferable from a viewpoint of dispersion stability, and the range of 0.01-0.08 micrometer is still more preferable. Moreover, when pigment number average particle diameter exceeds 0.1 micrometer, cancellation of the polarization by a pigment arises and contrast falls and it is unpreferable. On the other hand, the term "particle diameter" refers to the diameter of a circle having the same area as the electron micrograph image of the particle, and "number average particle diameter" refers to 100 particles when the particle size is obtained in the above-described manner for a large number of particles. Say the mean.

[광산발생제][Mine generator]

광조사에 의해 산을 발생하는 광산발생제의 예는 유기 할로겐 화합물, 오늄염, 술폰산에스테르 등을 포함한다. 이들 중에서는 유기 할로겐 화합물이 바람직하고, 특히, 할로메틸화 트리아진, 할로메틸화 옥사디아졸 화합물이 바람직하다. 구체적으로는 할로메틸화 트리아진 화합물은 일반식(1)으로 나타낸다.Examples of the photoacid generator that generates an acid by light irradiation include organic halogen compounds, onium salts, sulfonic acid esters, and the like. In these, an organic halogen compound is preferable, and halomethylated triazine and halomethylated oxadiazole compound are especially preferable. Specifically, a halomethylated triazine compound is represented by General formula (1).

일반식(1)General formula (1)

Figure 112007084244564-PCT00001
Figure 112007084244564-PCT00001

(일반식(1) 중 R1 및 R2는 할로메틸기이며, Y는 탄소수 5 이상의 유기기이다.) (In General Formula (1), R 1 and R 2 are halomethyl groups, and Y is an organic group having 5 or more carbon atoms.)

할로메틸기는 예를 들면, 트리클로로메틸기, 트리브로모메틸기, 디클로로메틸기, 디브로모메틸기 등이어도 좋고, Y로 나타내는 탄소수 5 이상의 유기기는 예를 들면, 치환기를 갖고 있어도 좋고, 페닐기, 나프틸기, 스티릴기, 스티릴페닐기, 푸릴비닐기, 4급화 아미노에틸아미노기 등이어도 좋다. 할로메틸화 트리아진 화합물의 구체예는 일본특허공개 2002-351075호 공보의 단락번호 [0015] 내지 [0025]에 기재한 화합물을 포함한다.The halomethyl group may be, for example, a trichloromethyl group, tribromomethyl group, dichloromethyl group, dibromomethyl group, or the like, and the organic group having 5 or more carbon atoms represented by Y may have a substituent, for example, a phenyl group, a naphthyl group, A styryl group, a styrylphenyl group, a furyl vinyl group, a quaternized aminoethylamino group, etc. may be sufficient. Specific examples of halomethylated triazine compounds include the compounds described in paragraphs [0015] to [0025] of JP-A-2002-351075.

할로메틸옥사디아졸 화합물의 구체예는 동일 공보 단락번호 [0026] 내지 [0033]에 기재되어 있는 것을 포함한다.Specific examples of the halomethyloxadiazole compound include those described in the same publication paragraphs [0026] to [0033].

광산발생제의 양은 감광성 조성물 중의 고형분에 대하여 0.05∼15질량%, 바람직하게는 5∼15질량%이다. 광산발생제의 함유량은 이 범위에 있어서 조성물의 팽윤이 억제되고, 또한 노광에 의해 충분한 양의 산이 발생하여 가교제의 가교 기능이 충분히 발현되어 고강도의 경화 피막이 형성된다.The quantity of the photo-acid generator is 0.05-15 mass% with respect to solid content in the photosensitive composition, Preferably it is 5-15 mass%. In this range, the swelling of the composition is suppressed in this range, and a sufficient amount of acid is generated by exposure, and the crosslinking function of the crosslinking agent is sufficiently expressed to form a high strength cured film.

[가교제][Bridge]

가교제는 상기 광산발생제로부터 발생하는 산의 작용에 의해 가교 구조를 형성하고 감광성 조성물의 피막을 경화시키는 기능을 갖는다. 가교제로서는 예를 들면, 불포화 이중 결합 등의 가교 구조를 형성할 수 있는 치환기(이하, 적당히 가교성 치환기라고 칭함)를 적어도 1종 이상 갖는 화합물이어도 좋다.The crosslinking agent has a function of forming a crosslinked structure by the action of an acid generated from the photoacid generator and curing the film of the photosensitive composition. As the crosslinking agent, for example, a compound having at least one or more substituents (hereinafter, appropriately referred to as crosslinkable substituents) capable of forming crosslinked structures such as unsaturated double bonds may be used.

이러한 가교성 치환기의 구체예는 (i) 히드록시알킬기, 알콕시알킬기, 아세톡시알킬기 등의 히드록시알킬기 또는 그 유도체; Specific examples of such crosslinkable substituents include (i) hydroxyalkyl groups such as hydroxyalkyl groups, alkoxyalkyl groups, acetoxyalkyl groups or derivatives thereof;

(ii) 포르밀기, 카르복시알킬기 등의 카르보닐기 또는 그 유도체;(ii) carbonyl groups such as formyl group, carboxyalkyl group or derivatives thereof;

(iii) 디메틸아미노메틸기, 디에틸아미노메틸기, 디메틸올아미노메틸기, 디에틸올아미노메틸기, 모폴리노메틸기 등의 함질소기 함유 치환기;(iii) nitrogen-containing group-containing substituents such as dimethylaminomethyl group, diethylaminomethyl group, dimethylolaminomethyl group, diethylolaminomethyl group, and morpholinomethyl group;

(iv) 글리시딜에테르기, 글리시딜에스테르기, 글리시딜아미노기 등의 글리시딜기 함유 치환기;(iv) glycidyl group-containing substituents such as glycidyl ether group, glycidyl ester group and glycidylamino group;

(v) 벤질옥시메틸기, 벤조일옥시메틸기 등의 아릴옥시알킬기, 아랄킬옥시알킬기 등의 방향족 유도체;(v) aromatic derivatives such as aryloxyalkyl groups such as benzyloxymethyl group and benzoyloxymethyl group and aralkyloxyalkyl groups;

(vi) 비닐기, 이소프로페닐기 등의 중합성 다중결합 함유 치환기 등을 포함한다. 본 발명의 가교제의 가교성 치환기는 바람직하게는 히드록시알킬기, 알콕시알킬기 등이며, 더욱 바람직하게는 알콕시메틸기이다.(vi) polymerizable multiple bond-containing substituents such as vinyl group and isopropenyl group. The crosslinkable substituent of the crosslinking agent of the present invention is preferably a hydroxyalkyl group, an alkoxyalkyl group or the like, more preferably an alkoxymethyl group.

상기 가교성 치환기를 갖는 가교제의 예는 예를 들면, (i) 메틸올기 함유 멜라민 화합물, 메틸올기 함유 벤조구아나민 화합물, 메틸올기 함유 우레아 화합물, 메틸올기 함유 글리콜우릴 화합물, 메틸올기 함유 페놀 화합물 등의 메틸올기 함유 화합물;Examples of the crosslinking agent having the crosslinkable substituent include (i) a methylol group-containing melamine compound, a methylol group-containing benzoguanamine compound, a methylol group-containing urea compound, a methylol group-containing glycoluril compound, a methylol group-containing phenol compound, and the like. Methylol group-containing compound;

(ii) 알콕시알킬기 함유 멜라민 화합물, 알콕시알킬기 함유 벤조구아나민 화합물, 알콕시알킬기 함유 우레아 화합물, 알콕시알킬기 함유 글리콜우릴 화합물, 알콕시알킬기 함유 페놀 화합물 등의 알콕시알킬기 함유 화합물;(ii) alkoxyalkyl group-containing compounds such as alkoxyalkyl group-containing melamine compounds, alkoxyalkyl group-containing benzoguanamine compounds, alkoxyalkyl group-containing urea compounds, alkoxyalkyl group-containing glycoluril compounds and alkoxyalkyl group-containing phenol compounds;

(iii) 카르복시메틸기 함유 멜라민 화합물, 카르복시메틸기 함유 벤조구아나민 화합물, 카르복시 메틸기 함유 우레아 화합물, 카르복시메틸기 함유 글리콜우릴 화합물, 카르복시메틸기 함유 페놀 화합물 등의 카르복시메틸기 함유 화합물;(iii) carboxymethyl group-containing compounds such as a carboxymethyl group-containing melamine compound, a carboxymethyl group-containing benzoguanamine compound, a carboxymethyl group-containing urea compound, a carboxymethyl group-containing glycoluril compound, and a carboxymethyl group-containing phenol compound;

(iv) 비스페놀 A계 에폭시 화합물, 비스페놀 F계 에폭시 화합물, 비스페놀 S계 에폭시 화합물, 노볼락 수지계 에폭시 화합물, 레졸 수지계 에폭시 화합물, 폴리(히드록시스티렌)계 에폭시 화합물 등의 에폭시 화합물 등을 포함한다.(iv) epoxy compounds such as bisphenol A epoxy compounds, bisphenol F epoxy compounds, bisphenol S epoxy compounds, novolak resin epoxy compounds, resol resin epoxy compounds, and poly (hydroxystyrene) epoxy compounds.

본 발명의 가교제는 바람직하게는 알콕시메틸화 우레아 화합물 또는 그 수지, 또는 알콕시메틸화 글리콜우릴 화합물 또는 그 수지이다. 본 발명에 있어서 사용할 수 있는 가교제의 바람직한 예 등은 일본특허공개 2002-351075호 공보 단락번호 [0038] 내지 [0047]에 기재되어 있어, 그들의 기재를 본 발명에 있어서도 참조할 수 있다.The crosslinking agent of the present invention is preferably an alkoxymethylated urea compound or a resin thereof, or an alkoxymethylated glycoluril compound or a resin thereof. Preferable examples of the crosslinking agent that can be used in the present invention are described in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-351075, paragraphs [0038] to [0047], and their description can also be referred to in the present invention.

가교제의 함유량은 감광성 조성물의 전체 고형분에 대하여, 바람직하게는 5∼40질량%, 더욱 바람직하게는 10∼30질량%의 범위에서 목적에 따라서 선택된다.Content of a crosslinking agent is based on the total solid of the photosensitive composition, Preferably it is 5-40 mass%, More preferably, it is selected according to the objective in the range of 10-30 mass%.

본 발명에 사용하는 농색 감광성 조성물은 상기 각 필수 성분에 더해, 피막형성 성향 상의 관점에서 바인더 폴리머를 함유하는 것이 바람직하고, 특히 메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트의 적어도 1개를 포함하는 공중합체를 함유하는 것이 바람직하다.In addition to the above essential components, the deep color photosensitive composition used in the present invention preferably contains a binder polymer from the viewpoint of film formation tendency, and in particular, a copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate. It is preferable to contain.

[메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트의 적어도 1개를 포함하는 공중합체][Copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate]

본 발명에 있어서, 메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트의 적어도 1개를 포함하는 공중합체는 예를 들면, 메타크릴산메틸을 포함하는 공중합체, 벤질메타크릴레이트를 포함하는 공중합체, 메타크릴산메틸 및 벤질메타크릴레이트를 포함하는 공중합체 등도 좋다.In the present invention, the copolymer containing at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate is, for example, a copolymer containing methyl methacrylate, a copolymer containing benzyl methacrylate, methacryl Copolymers containing methyl acid and benzyl methacrylate may also be used.

메타크릴산메틸을 포함하는 공중합체는 예를 들면, 메타크릴산/메타크릴산메틸 공중합체(공중합비 : 14∼17.6몰%/82.4∼86몰%, 중량평균 분자량 20,000∼140,000), 메타크릴산/메타크릴산메틸/에틸아크릴레이트 공중합체(공중합비 : 5∼10몰%/70∼60몰%/25∼30몰%, 중량평균 분자량 20,000∼140,000) 등도 좋다.The copolymer containing methyl methacrylate is, for example, methacrylic acid / methyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14 to 17.6 mol% / 82.4 to 86 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 140,000), methacryl Acid / methyl methacrylate / ethyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 5-10 mol% / 70-60 mol% / 25-30 mol%, a weight average molecular weight 20,000-140,000) etc. may be sufficient.

벤질메타크릴레이트를 포함하는 공중합체는 예를 들면, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체(공중합비 : 25∼37몰%/75∼63몰%, 중량평균 분자량 20,000∼150,000), 메타크릴산/벤질메타크릴레이트/스티렌 공중합체(공중합비 : 20몰%/17.8몰%/62.2몰%, 중량평균 분자량 20,000∼140,000) 등도 좋다.The copolymer containing benzyl methacrylate is, for example, methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 25 to 37 mol% / 75 to 63 mol%, weight average molecular weight 20,000 to 150,000), methacryl Acid / benzyl methacrylate / styrene copolymer (copolymerization ratio: 20 mol% / 17.8 mol% / 62.2 mol%, weight average molecular weights 20,000-140,000) etc. may be sufficient.

또한, 메타크릴산메틸 및 벤질메타크릴레이트를 포함하는 공중합체는 예를 들면, 메타크릴산/메타크릴산메틸/벤질메타크릴레이트 공중합체(공중합비 : 14.6∼27.2몰%/79.1∼32.7몰%/16.3∼40몰%, 중량평균 분자량 20,000∼150,000), 메타크릴산/메타크릴산메틸/벤질메타크릴레이트/2-에틸헥실아크릴레이트 공중합체(공중합비 : 10∼15몰%/70∼65몰%/10몰%/10몰%, 중량평균 분자량 20,000∼150,000) 등도 좋다.In addition, the copolymer containing methyl methacrylate and benzyl methacrylate may be, for example, methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer (copolymerization ratio: 14.6 to 27.2 mol% / 79.1 to 3.27 mol) % / 16.3-40 mol%, weight average molecular weight 20,000-150,000), methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate copolymer (copolymerization ratio: 10-15 mol% / 70- 65 mol% / 10 mol% / 10 mol%, a weight average molecular weight 20,000-150,000), etc. may be sufficient.

시판하는 네가티브형 레지스트 조성물에 잘 사용되고 있는 크레졸 노볼락 수지나 폴리히드록시스티렌 및 그 유도체는 노광 후 및 베이킹 후에 착색한다. 한편, 메타크릴산/벤질메타크릴레이트 공중합체, 메타크릴산/메타크릴산메틸/벤질메타크릴레이트 공중합체 등은 노광 후 및 베이킹 처리 시에 있어서 착색이 적고, 광투과율이 저하하지 않는 점에서 특히 바람직하다.Cresol novolac resins, polyhydroxystyrenes and derivatives thereof that are well used in commercially available negative resist compositions are colored after exposure and after baking. On the other hand, the methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer, the methacrylic acid / methyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer, etc. have little coloration after exposure and baking, and the light transmittance does not decrease. Particularly preferred.

희망하는 바에 의해 병용되는 상기 공중합체의 함유량은 감광성 조성물의 전체 고형분에 대하여 20∼70질량%인 것이 바람직하고, 30∼60질량%의 범위인 것이 더욱 바람직하다.It is preferable that it is 20-70 mass% with respect to the total solid of the photosensitive composition, and, as for content of the said copolymer used together as desired, it is more preferable that it is the range of 30-60 mass%.

[기타의 성분][Other Ingredients]

감광성 조성물에는 각종의 목적으로 각종의 첨가제를 함유시킬 수 있다. 첨가제의 예는 계면활성제, 밀착 촉진제, 가소제 등을 포함한다.The photosensitive composition can contain various additives for various purposes. Examples of additives include surfactants, adhesion promoters, plasticizers, and the like.

계면활성제는 도포성 및 얻어진 도막의 평활성을 향상시키기 위해서 사용할 수 있고, 그 바람직한 구체예는 BM-1000(BM Chemie사 제품), Megafac F142D, Megafac F172, Megafac F173, Megafac F183, Megafac F176PF, Megafac F177PF(이 상, 다이니폰잉크 카가쿠코우교우(주) 제품), Fluorad FC-135, Fluorad FC-170C, Fluorad FC-430, Fluorad FC-431(이상, 스미토모스리엠(주) 제품), Surflon S-112, Surflon S-113, Surflon S-131, Surflon S-141, Surflon S-145(이상, Asahiglass(주) 제품), SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190(이상, 토레 실리콘(주) 제품)의 상품명으로 시판되고 있는 불소계 또는 실리콘계 계면활성제를 포함한다.A surfactant can be used in order to improve applicability | paintability and the smoothness of the obtained coating film, The preferable specific example is BM-1000 (made by BM Chemie), Megafac F142D, Megafac F172, Megafac F173, Megafac F183, Megafac F176PF, Megafac F177PF (Now, Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.), Fluorad FC-135, Fluorad FC-170C, Fluorad FC-430, Fluorad FC-431 (above, Sumitomo Industries Co., Ltd.), Surflon S -112, Surflon S-113, Surflon S-131, Surflon S-141, Surflon S-145 (above, manufactured by Asahiglass Co., Ltd.), SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF- Fluorine-type or silicone type surfactant marketed under the brand name of 8428, DC-57, DC-190 (above, product made by Torre Silicone Corporation) is included.

계면활성제의 함유량은 감광성 조성물 전체 고형분의 0.05∼10질량%로도 좋고, 0.08%∼5질량%인 것이 바람직하고, 0.1∼3질량%인 것이 특히 바람직하다. 함유량이 지나치게 적으면 첨가의 효과가 충분히 얻어지지 않지만, 너무 많으면 감광성층과 기재의 밀착성이 저하하는 경향이 있다.The content of the surfactant may be 0.05 to 10% by mass of the total solids of the photosensitive composition, preferably 0.08% to 5% by mass, and particularly preferably 0.1 to 3% by mass. When there is too little content, the effect of addition will not fully be acquired, but when too much, there exists a tendency for the adhesiveness of a photosensitive layer and a base material to fall.

(자외선 흡수제)(UV absorber)

본 발명에 관련된 감광성 조성물은 필요에 따라서 자외선 흡수제를 함유해도 좋다. 자외선 흡수제는 예를 들면, 일본특허공개 평5-72724호 공보 기재의 화합물, 살리실레이트계 자외선 흡수제, 벤조페논계 자외선 흡수제, 벤조트리아졸계 자외선 흡수제, 시아노아크릴레이트계 자외선 흡수제, 니켈킬레이트계 자외선 흡수제, 힌더드 아민계 자외선 흡수제 등에서 선택되어도 좋다.The photosensitive composition which concerns on this invention may contain a ultraviolet absorber as needed. A ultraviolet absorber is a compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 5-72724, a salicylate type ultraviolet absorber, a benzophenone type ultraviolet absorber, a benzotriazole type ultraviolet absorber, a cyanoacrylate type ultraviolet absorber, and nickel chelate type, for example. You may select from a ultraviolet absorber, a hindered amine ultraviolet absorber, etc.

그 구체예는 일본특허공개 2001-142228호 공보 단락번호 [0028]에 기재되어 있는 화합물을 포함한다.The specific example includes the compound described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-142228 Paragraph No. [0028].

한편, 감광성 조성물의 전체 고형분에 대한 자외선 흡수제의 함유량은 0.5∼15질량%가 일반적이고, 1∼12질량%가 바람직하고, 1.2∼10질량%가 특히 바람직하 다.On the other hand, as for content of the ultraviolet absorber with respect to the total solid of the photosensitive composition, 0.5-15 mass% is common, 1-12 mass% is preferable, and 1.2-10 mass% is especially preferable.

(기판)(Board)

컬러 필터의 기판(영구지지체)은 금속성 지지체, 금속 접착 지지체, 유리, 세라믹, 합성 수지 필름 등도 좋다. 기판은 특히 바람직하게는 투명성으로 치수 안정성이 양호한 유리판이나 합성 수지 필름이다.The substrate (permanent support) of the color filter may be a metallic support, a metal adhesive support, glass, ceramic, a synthetic resin film, or the like. The substrate is particularly preferably a glass plate or a synthetic resin film having transparency and good dimensional stability.

감광성층 형성 공정은 이상 설명한 것과 같은 농색 감광성 조성물을 적절한 용제(분산제)에 용해 또는 분산시켜 상기 기판 표면에 도포, 건조해서 감광성층을 형성하는 공정이다.The photosensitive layer forming step is a step of dissolving or dispersing the deep color photosensitive composition as described above in a suitable solvent (dispersant) and applying and drying the surface of the substrate to form a photosensitive layer.

어떤 실시 형태에서는 우선, 기판을 세정한 후 상기 기판을 열처리해서 표면상태를 안정화시킨다. 상기 기판을 온조(溫調)후, 상기 감광성 조성물을 도포한다.In some embodiments, the substrate is first cleaned and then the substrate is heat treated to stabilize the surface state. After the substrate is warmed, the photosensitive composition is applied.

감광성 조성물의 도포용제로서는 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸부틸케톤 등의 케톤, 각종의 에테르, 에스테르 등의 유기용제를 이용하는 것이 일반적이다.As a coating solvent of a photosensitive composition, it is common to use ketones, such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl butyl ketone, and organic solvents, such as various ether and ester.

도포방법은 특별히 한정되지 않고, 공지의 슬릿상 노즐을 갖는 유리 기판용 코터(예를 들면, FAS·재팬사 제품, 상품명 : MH-1600)등을 사용하여 실시할 수 있다.A coating method is not specifically limited, It can carry out using the glass substrate coater (for example, FAS Japan company make, brand name: MH-1600) etc. which have a well-known slit-shaped nozzle.

어떤 실시 형태에서는 감광성 조성물을 도포한 후 용매의 일부를 휘발시켜서 도포층의 유동성을 없애고 EBR(Edge Bead Remover) 등으로 기판 주위의 불필요한 도포액을 제거하고 예비 베이킹하여 감광성층을 얻는다.In some embodiments, after applying the photosensitive composition, a part of the solvent is volatilized to remove fluidity of the coating layer, and unnecessary coating liquid around the substrate is removed by preliminary baking with an edge beads remover (EBR) or the like to obtain a photosensitive layer.

건조는 공지의 건조 장치(예를 들면, VCD(진공건조 장치 ; 토쿄오카코우교우사 제품) 등)를 이용해서 실시할 수 있다. Drying can be performed using a well-known drying apparatus (for example, VCD (vacuum drying apparatus; the product made by Tokyo-Okagyo Co., Ltd.), etc.).

예비 베이킹은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 120℃에서 3분간의 예비 베이킹으로도 좋다.Although preliminary baking is not specifically limited, For example, you may be preliminary baking for 3 minutes at 120 degreeC.

감광성층의 두께는 형성하는 분리벽의 희망하는 높이에 따라서 선택된다. The thickness of the photosensitive layer is selected according to the desired height of the dividing wall to be formed.

본 발명에 있어서, 상기 농색 분리벽의 높이 h(상기 농색 분리벽의 최고점 H와 H로부터 기판에 내린 수선의 발 G의 거리)는 1.8㎛ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1.9㎛∼10㎛이며, 더 더욱 바람직하게는 2.0㎛∼7.0㎛, 특히 바람직하게는 2.2㎛∼5.0㎛의 범위이다. 농색 분리벽의 높이가 1.8㎛∼10㎛의 범위이면 더욱 효과적으로 혼색을 방지할 수 있으며, 따라서 감광성 조성물의 도포막 두께도 이 범위에서 선택되어도 좋다. 막 두께가 1.8㎛ 미만이라면 얻어진 컬러 필터에 있어서 혼색이 일어나기 쉬워지고, 1O㎛를 넘으면 농색 분리벽의 형성이 곤란하게 된다.In the present invention, the height h of the deep color separation wall (the distance between the highest point H of the deep color separation wall and the foot G of the waterline dropped on the substrate) is preferably 1.8 µm or more, and more preferably 1.9 µm to 10 µm. More preferably, it is 2.0 micrometer-7.0 micrometers, Especially preferably, it is the range of 2.2 micrometer-5.0 micrometers. If the height of the deep color separation wall is in the range of 1.8 µm to 10 µm, mixed color can be prevented more effectively. Therefore, the coating film thickness of the photosensitive composition may be selected in this range. If the film thickness is less than 1.8 µm, mixed color is liable to occur in the obtained color filter, and if it exceeds 10 µm, the formation of the deep color separation wall becomes difficult.

다음으로 상기 공정으로 형성된 감광성층을 노광해서 노광 영역을 경화시키는 노광 공정을 실시한다. 노광 광원은 감광성 조성물에 포함되는 광산발생제의 흡수 파장에 따른 것을 선택하면 좋고, 바람직하게는 자외 영역의 광원이 선택된다.Next, the exposure process which hardens an exposure area | region by exposing the photosensitive layer formed by the said process is performed. What is necessary is just to select the exposure light source according to the absorption wavelength of the photo-acid generator contained in the photosensitive composition, Preferably the light source of an ultraviolet region is selected.

광조사에 사용하는 광원은 예를 들면, 중압∼초고압 수은등, 크세논 램프, 메탈할라이드 램프 등으로도 좋다.The light source used for light irradiation may be a medium pressure to ultra high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, etc., for example.

노광은 분리벽의 형상에 따른 패턴 노광이며, 마스크를 통해서 전면을 노광하는 방법으로 실시되어도 좋고, 주사 노광이어도 좋다.Exposure is pattern exposure according to the shape of the separation wall, and may be performed by a method of exposing the entire surface through a mask, or may be scanning exposure.

이하, 마스크를 통해서 하는 패턴 노광의 하나의 예에 대해서 서술한다. 기판과 화상 패턴을 갖는 마스크(예를 들면, 석영 노광 마스크)를 수직으로 세운 상 태로 노광 마스크면과 감광성층 사이의 거리를 적당하게(예를 들면, 200㎛) 설정하고 기판 표면 전면을 노광한다.Hereinafter, one example of pattern exposure through a mask will be described. The distance between the exposure mask surface and the photosensitive layer is set appropriately (for example, 200 µm) while the mask having the substrate and the image pattern (for example, a quartz exposure mask) is upright, and the entire surface of the substrate is exposed. .

노광은 예를 들면, 초고압 수은등을 갖는 프록시미티형 노광기(예를 들면, 히타치덴시엔지니어링 가부시키가이샤 제품) 등을 이용해서 행하고, 노광량으로서는 적당히(예를 들면, 30OmJ/㎠) 선택할 수 있다.Exposure is performed using the proximity exposure machine (for example, Hitachi Denshi Engineering Co., Ltd.) etc. which have an ultrahigh pressure mercury lamp, etc., and can select suitably (for example, 30OmJ / cm <2>) as an exposure amount.

이 노광에 의해 감광성층 중에서 노광 영역에서만 발생하는 산에 의해 가교 구조가 형성되어 노광 영역이 경화한다.By this exposure, a crosslinked structure is formed by an acid generated only in the exposure region in the photosensitive layer, and the exposure region is cured.

상기한 패턴 노광 후 베이킹 처리를 한다. 베이킹 처리의 조건은 감광성 수지, 광산발생제, 가교제 등에 의해 다르지만 일반적으로는 80∼140℃, 바람직하게는 100∼120℃의 온도조건에서 15초∼3분, 바람직하게는 15초∼1분의 시간으로 한다. 패턴 노광시에 발생한 산의 존재 하에서 가교 반응이 진행하고, 또한 베이킹 처리를 하는 것에 의해 감광성 수지층의 표면(노광면측)에 발생한 산을 감광층 수지층의 막의 심부까지 확산시켜 막의 심부까지 가교 반응을 진행시킬 수 있다.The baking treatment is performed after the pattern exposure described above. The conditions of the baking treatment vary depending on the photosensitive resin, the photoacid generator, the crosslinking agent, and the like, but are generally 15 seconds to 3 minutes, preferably 15 seconds to 1 minute at a temperature of 80 to 140 ° C, preferably 100 to 120 ° C. Do it with time. Crosslinking reaction advances in presence of the acid which generate | occur | produced at the time of pattern exposure, and also the baking process spreads the acid which generate | occur | produced on the surface (exposure surface side) of the photosensitive resin layer to the deep part of the film | membrane of the photosensitive layer resin layer, and bridge | crosslinking reaction to the deep part of a film | membrane. You can proceed.

다음으로 미노광부의 감광성층을 제거하는 것으로 분리벽을 형성하는 현상 공정을 실시한다.Next, the development process of forming a separation wall is performed by removing the photosensitive layer of an unexposed part.

현상 공정 전에 미리 순수를 샤워 노즐 등으로 감광성층 표면에 분무하며, 감광성층의 표면을 균일하게 적실 수 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the pure water is sprayed on the surface of the photosensitive layer in advance with a shower nozzle or the like before the developing step, so that the surface of the photosensitive layer can be uniformly wetted.

그 후, 현상액으로 현상해서 미노광부를 제거하여 분리벽 패턴이 형성된다. 현상 공정에 있어서 사용할 수 있는 현상액은 알칼리성 물질의 희박수용액도 좋고, 공지의 알칼리성 현상액으로부터 적당히 선택할 수 있다. 알칼리 수용액에는 또한 물과 혼화성의 유기용제가 소량 첨가되어 있어도 좋다.Thereafter, the developer is developed with a developer to remove the unexposed portions to form a partition wall pattern. The developing solution which can be used in a developing process may be a lean aqueous solution of an alkaline substance, and it can select suitably from a well-known alkaline developing solution. Small amounts of an organic solvent miscible with water may be further added to the aqueous alkali solution.

[현상액][developer]

현상액의 조제에 사용할 수 있는 알칼리성 물질은 예를 들면, 알칼리 금속 수산화물류(예를 들면, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨), 알칼리 금속 탄산염류(예를 들면, 탄산 나트륨, 탄산 칼륨), 알칼리 금속 중탄산염류(예를 들면, 염화수소 나트륨, 탄산수소 칼륨), 알칼리 금속 규산염류(예를 들면, 규산 나트륨, 규산 칼륨), 알칼리 금속 메타 규산염류(예를 들면, 메타 규산 나트륨, 메타 규산 칼륨), 트리에탄올아민, 디에탄올아민, 모노에탄올아민, 모폴린, 테트라알킬암모늄히드록시드류(예를 들면, 테트라메틸암모늄히드록시드), 인산 3나트륨 등에서 선택할 수 있다. The alkaline substances which can be used for preparing the developer include, for example, alkali metal hydroxides (e.g. sodium hydroxide and potassium hydroxide), alkali metal carbonates (e.g. sodium carbonate and potassium carbonate) and alkali metal bicarbonates. (Eg sodium hydrogen chloride, potassium hydrogen carbonate), alkali metal silicates (eg sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine , Diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like.

현상액 중의 알칼리성 물질의 농도는 0.01∼30질량%가 바람직하고, 현상액의 pH는 8∼14가 바람직하다.As for the density | concentration of the alkaline substance in a developing solution, 0.01-30 mass% is preferable, and, as for pH of a developing solution, 8-14 are preferable.

현상액에 희망에 따라 첨가되는 "물과 혼화성의 유기용제"의 예는 메탄올, 에탄올, 2-프로판올, 1-프로판올, 부탄올, 디아세톤알코올, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노n-부틸에테르, 벤질알코올, 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, ε-카프로락톤, γ-부틸로락톤, 디메틸포름아미드, 디메틸아세트아미드, 헥사메틸포스포르아미드, 젖산에틸, 젖산메틸, ε-카프로락탐, N-메틸피롤리돈 등을 포함한다.Examples of "water and miscible organic solvents" added to the developer as desired are methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene Glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate , ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like.

물과 혼화성의 유기용제의 현상액 중의 농도는 0.1∼30질량%가 바람직하다.As for the density | concentration in the developing solution of the water and miscible organic solvent, 0.1-30 mass% is preferable.

현상액에는 공지의 계면활성제를 더 첨가할 수도 있고, 상기 계면활성제의 현상액 중의 농도로서는 0.01∼10질량%가 바람직하다.A well-known surfactant can also be added to a developing solution, As a density | concentration in the developing solution of the said surfactant, 0.01-10 mass% is preferable.

상기 현상액은 용액으로서도 또는 분무액으로서도 사용할 수 있다. 감광성층의 미경화 부분을 제거할 경우, 현상액 중에 회전 브러시나 습윤 스폰지로 문지르는 등의 방법을 이용하거나 또는 그들의 방법의 조합을 사용할 수 있다.The developer can be used either as a solution or as a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive layer, a method such as rubbing with a rotary brush or a wet sponge in the developer can be used, or a combination thereof can be used.

현상액의 액온도는 통상 실온 부근부터 40℃가 바람직하다. 현상 시간은 농색 감광성층의 조성, 현상액의 알칼리성이나 온도, 유기용제를 첨가할 경우에는 그 종류와 농도 등에 의존해서 변경되지만 통상 10초∼2분 정도이다. 지나치게 짧으면 미노광부의 현상이 불충분하게 되는 동시에 자외선의 흡광도도 불충분하게 되며, 지나치게 길면 노광부도 에칭되어 어느 경우에도 분리벽 형상을 적합하게 하는 것이 곤란하게 된다. 이 현상 공정에서 분리벽 형상이 형성된다.As for the liquid temperature of a developing solution, 40 degreeC is preferable normally from room temperature vicinity. The developing time changes depending on the composition of the deep color photosensitive layer, the alkalinity and temperature of the developing solution, and the type and concentration of the organic solvent, but is usually about 10 seconds to 2 minutes. If too short, the development of the unexposed part becomes insufficient, and the absorbance of the ultraviolet light is also insufficient, and if it is too long, the exposed part is also etched, making it difficult to suit the separation wall shape in any case. In this developing step, a partition wall shape is formed.

알칼리현상 처리 후 수세를 하고 잔존하는 현상액을 제거해도 좋다.You may wash with water after alkali developing and remove the residual developer.

본 발명에 있어서는 에칭을 실시할 일이 없고, 패턴 노광에 의해 분리벽을 형성하기 위해 감광성층의 도포면상성(塗布面狀性)을 제어함으로써 농색 분리벽의 표면 거칠기를 작게 할 수 있다. 본 발명의 제조 방법에 의하면, 농색 분리벽의 표면 거칠기 Ra값은 5nm 이하로 할 수 있고, 바람직하게는 4.0nm 이하, 더욱 바람직하게는 3.6nm 이하로 할 수 있다. 농색 분리벽의 표면 거칠기 Ra값이 5nm 이하가 되면, 농색 분리벽의 표면을 따라서 인접하는 화소간의 착색 액체 조성물의 이동을 저지할 수 있고 이 결과, 인접하는 화소간의 착색 액체 조성물의 이동에 의한 혼색을 방지할 수 있다.In the present invention, the surface roughness of the deep dividing wall can be reduced by controlling the coating surface property of the photosensitive layer in order to form the separating wall by pattern exposure without performing etching. According to the production method of the present invention, the surface roughness Ra value of the deep color separation wall can be 5 nm or less, preferably 4.0 nm or less, and more preferably 3.6 nm or less. When the surface roughness Ra value of the deep color separation wall becomes 5 nm or less, the movement of the colored liquid composition between the adjacent pixels along the surface of the deep color separation wall can be prevented. As a result, the mixed color due to the movement of the colored liquid composition between the adjacent pixels. Can be prevented.

이상의 방법에 있어서는 지지체 상에 감광성층을 도포법으로 형성하고, 그 후 노광, 현상해서 분리벽을 형성하였지만 형성 방법은 이에 한정되지 않고, 감광성층을 갖는 전사재료를 사용한 전사법을 이용해서 형성할 수도 있다. 이하, 전사법을 사용하는 형성 방법에 대해서 설명한다.In the above method, the photosensitive layer was formed on the support by a coating method, and then exposed and developed to form a separation wall. However, the formation method is not limited to this, and can be formed using a transfer method using a transfer material having a photosensitive layer. It may be. Hereinafter, the formation method using a transfer method is demonstrated.

-감광성 전사재료를 사용한 분리벽의 형성-Formation of Separation Wall Using Photosensitive Transfer Material

가지지체 상에 적어도 감광성층을 형성하여 이루어지는 감광성 전사재료를 준비한다.The photosensitive transfer material which forms at least the photosensitive layer on a support body is prepared.

(감광성 전사재료)(Photosensitive transfer material)

감광성층 상에 보호 필름을 형성하는 것으로 감광성층의 흠집이 생기는 등을 방지할 수 있다. 감광성 전사재료는 보호 필름을 박리해서 기판 상에 감광성층을 전사하는 것으로 기판 상에 감광성층을 형성하고, 분리벽 상에 노광하고, 필요에 따라서 베이킹 처리하고, 현상하는 것으로 분리벽 패턴을 형성할 수 있다.Forming a protective film on the photosensitive layer can prevent the photosensitive layer from being scratched. The photosensitive transfer material is formed by forming a photosensitive layer on a substrate by exfoliating a protective film and transferring the photosensitive layer onto the substrate, exposing the photosensitive layer on a substrate, baking the process as necessary, and developing a separator wall pattern. Can be.

(가지지체)(Support)

상기의 감광성 전사재료에 있어서 가지지체는 화학적 및 열적으로 안정하며, 가소성의 물질로 구성되는 것에서 적당히 선택할 수 있다. 구체적으로는 Teflon(등록상표), 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 얇은 시트 또는 이들의 적층체가 바람직하다. 상기 가지지체의 두께로서는 5∼300㎛가 적당하고, 바람직하게는 20∼150㎛이다. 그 중에서도 2축 연신 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름이 특히 바람직하다.In the above-mentioned photosensitive transfer material, the branch member is chemically and thermally stable and can be appropriately selected from the one consisting of a plastic material. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable. As thickness of the said support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers. Especially, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is especially preferable.

(열가소성 수지층)(Thermoplastic layer)

상기의 감광성 전사재료는 필요에 따라서 열가소성 수지층을 포함하고 있어 도 좋다. 이와 같은 열가소성 수지층은 알칼리 가용성인 것이 바람직하고, 적어도 수지성분을 포함해서 구성되며, 상기 수지성분으로서는 실질적인 연화점이 80℃ 이하인 것이 바람직하다. 이러한 열가소성 수지층이 형성되는 것에 의해 후술하는 농색 분리벽 형성 방법에 있어서 영구 지지체에 대한 양호한 밀착성을 달성할 수 있다.Said photosensitive transfer material may contain the thermoplastic resin layer as needed. It is preferable that such a thermoplastic resin layer is alkali-soluble, and it is comprised including at least a resin component, and it is preferable that a substantial softening point is 80 degrees C or less as said resin component. By forming such a thermoplastic resin layer, the favorable adhesiveness with respect to a permanent support body can be achieved in the deep color separation wall formation method mentioned later.

연화점이 80℃ 이하인 알칼리 가용성의 열가소성 수지의 예는 에틸렌과 아크릴산에스테르 공중합체의 비누화물, 스티렌과 (메타)아크릴산 에스테르 공중합체의 비누화물, 비닐 톨루엔과 (메타)아크릴산에스테르 공중합체의 비누화물, 폴리(메타)아크릴산에스테르, (메타)아크릴산부틸과 초산비닐 등의 (메타)아크릴산에스테르 공중합체 등의 비누화물 등을 포함한다.Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylic acid ester copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylic acid ester copolymers, saponified products of vinyl toluene and (meth) acrylic acid ester copolymers, Saponified products, such as poly (meth) acrylic acid ester, (meth) acrylic acid ester copolymers, such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate, etc. are contained.

열가소성 수지층은 상기 열가소성 수지에서 적당히 선택된 적어도 1종을 포함하고 있어도 좋다. 열가소성 수지층은 "플라스틱 성능편람"(니혼플라스틱코우교우렌메이, 젠니혼플라스틱케이세이코우교우렌고우카이편저, 코우교우초우사카이 발행, 1968년 10월 25일 발행)에 기재된 연화점이 약 80℃ 이하인 유기 고분자 중 알칼리 수용액에 가용인 것에서 선택된 것을 포함하고 있어도 좋다.The thermoplastic resin layer may contain at least one kind appropriately selected from the above thermoplastic resins. The thermoplastic resin layer has a softening point of about 80 ° C. or less described in “Plastic Performance Manual” (Nihon Plastic Co., Ltd., Gen. Nihon Plastic Kay Seiko, Co., Ltd., Published by Kogyo Chousaka, Published on October 25, 1968). The organic polymer may contain one selected from the one soluble in the aqueous alkali solution.

어떤 실시 형태에서는 연화점이 80℃ 이상의 유기 고분자물질에 상기 고분자물질과 상용성(相溶性)인 각종 가소제를 첨가해서 실질적인 연화점을 80℃ 이하로 내려서 유기 고분자물질을 사용할 수 있다. 또한, 이들의 유기 고분자물질에는 가지지체에 대한 접착력을 조절할 목적으로 실질적인 연화점이 80℃를 초과하지 않는 범위에서 각종 폴리머나 과냉각 물질, 밀착 개량제 또는 계면활성제, 이형제 등을 가할 수도 있다.In some embodiments, the organic polymer material may be used by adding various plasticizers compatible with the polymer material to the organic polymer material having a softening point of 80 ° C. or more and lowering the actual softening point to 80 ° C. or less. In addition, various polymers, supercooled materials, adhesion improving agents, surfactants, and release agents may be added to these organic polymer materials in order to control the adhesion to the supporting members, in the range of which the actual softening point does not exceed 80 ° C.

바람직한 가소제의 구체예는 폴리프로필렌글리콜, 폴리에틸렌글리콜, 디옥틸프탈레이트, 디헵틸프탈레이트, 디부틸프탈레이트, 트리크레질포스페이트, 크레질디페닐포스페이트비페닐디페닐포스페이트를 포함한다.Specific examples of preferred plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.

(보호 필름)(Protective film)

저장 시 오염이나 손상으로부터 보호하기 위해서 감광성층 상에 얇은 보호 필름을 형성하는 것이 바람직하다. 보호 필름은 가지지체와 같거나 또는 유사의 재료로 이루어져도 좋지만 감광성층으로부터 용이하게 분리되지 않으면 안된다.It is desirable to form a thin protective film on the photosensitive layer in order to protect it from contamination or damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the support, but must be easily separated from the photosensitive layer.

보호 필름 재료로서는 예를 들면, 실리콘지, 폴리올레핀 수지 시트 또는 폴리테트라플루오로에틸렌 시트가 적당하며, 그 중에서도 폴리프로필렌 시트가 특히 바람직하다. 한편, 보호 필름의 두께는 4∼40㎛가 일반적이고, 5∼30㎛가 바람직하고, 10∼25㎛가 특히 바람직하다.As a protective film material, silicone paper, a polyolefin resin sheet, or a polytetrafluoroethylene sheet is suitable, for example, A polypropylene sheet is especially preferable. On the other hand, as for the thickness of a protective film, 4-40 micrometers is common, 5-30 micrometers is preferable, and 10-25 micrometers is especially preferable.

(감광성 전사재료의 제작 방법)(Production Method of Photosensitive Transfer Material)

본 발명의 제조 방법에서 사용되는 감광성 전사재료는 가지지체 상에 열가소성 수지층의 첨가제를 용해한 도포액(열가소성 수지층용 도포액)을 도포하고, 건조하는 것에 의해 열가소성 수지층을 형성하고, 그 후 농색 감광성 조성물 도포액을 도포해서 건조하여 형성하는 것에 의해 제작할 수 있다. 그러나, 열가소성 수지층은 반드시 형성하지 않아도 좋다.The photosensitive transfer material used in the production method of the present invention forms a thermoplastic resin layer by applying and drying a coating liquid (coating liquid for a thermoplastic resin layer) in which an additive of a thermoplastic resin layer is dissolved on a support. It can produce by apply | coating a deep color photosensitive composition coating liquid, and forming it. However, the thermoplastic resin layer may not necessarily be formed.

또한, 상기의 가지지체 상에 열가소성 수지층을 형성한 시트 및 보호 필름 상에 감광성층을 형성한 시트를 준비하고, 열가소성 수지층과 농색 감광성층이 접 하도록 서로 첩합시키는 것에 의해서도 감광성 전사재료를 제작할 수 있다.A photosensitive transfer material can also be produced by preparing a sheet having a thermoplastic resin layer formed on the support and a sheet having a photosensitive layer formed on a protective film, and bonding the thermoplastic resin layer and the deep photosensitive layer so as to contact each other. Can be.

한편, 상기 제작 방법에 있어서 가지지체 또는 보호 필름에 대한 감광성층의 도포는 상기 기판 표면에 대한 도포와 같이 공지의 도포 장치 등에 의해 행할 수 있지만, 본 발명에 있어서는 슬릿상 노즐을 사용한 도포장치(슬릿 코터)에 의해 행하는 것이 바람직하다.In addition, in the said manufacturing method, although application | coating of the photosensitive layer to a support body or a protective film can be performed by a well-known coating apparatus etc. like coating to the said substrate surface, in this invention, the coating apparatus using a slit-shaped nozzle (slit Coater).

(감광성 전사재료에 의한 분리벽의 제작) (Production of Separator Wall by Photosensitive Transfer Material)

우선, 상기 감광성 전사재료의 보호 필름을 박리 제거한 후, 감광성층의 면을 영구지지체(본 발명에 있어서 기판) 상에 첩합시켜 라미네이터 등에 의해 가열, 가압해서 적층한다(적층체).First, after peeling off and removing the protective film of the said photosensitive transfer material, the surface of a photosensitive layer is bonded together on a permanent support body (a board | substrate in this invention), it heats, presses and laminates by a laminator etc. (laminated body).

첩합에 사용되는 라미네이터는 종래 공지의 라미네이터, 진공 라미네이터 등에서 적당히 선택할 수 있다. 더욱 생산성을 높이는 관점에서 오토컷트 라미네이터도 사용가능하다.The laminator used for bonding can be suitably selected from a conventionally well-known laminator, a vacuum laminator, etc. Autocut laminators can also be used to increase productivity.

다음으로 가지지체를 제거한다. 이렇게 하여 기판 상에 감광성층이 형성된다. 가지지체를 제거한 후의 노광 공정, 베이킹 공정, 현상 공정 및 소망에 따라 계속해서 행해지는 수세 공정은 상기한 도포법에서와 같이 행하면 좋고, 이렇게 하여 농색 분리벽을 얻을 수 있다.Next, remove the limbs. In this way, a photosensitive layer is formed on the substrate. The exposure step, the baking step, the developing step, and the water washing step continuously carried out according to the desire after removing the branch member may be performed as in the above-described coating method, and thus the deep color separation wall can be obtained.

이렇게 기판 상에 대한 농색 감광성층의 형성은 도포방법 또는 전사방법의 어느 것에 의해도 형성할 수 있다.Thus, formation of the deep color photosensitive layer on a board | substrate can be formed by either a coating method or the transfer method.

이상, 어느 방법에 있어서도 표면이 평활한 농색 분리벽을 노광 패턴에 따라서 용이하게 형성할 수 있다.As described above, in any of the methods, the deep dividing wall having a smooth surface can be easily formed in accordance with the exposure pattern.

(각 화소의 형성)(Formation of each pixel)

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법에서는 상기 기판 상에 상기 농색 분리벽의 제조 방법에 의해 농색 분리벽을 제조하고, 2색 이상의 착색 액체 조성물을 상기 농색 분리벽 사이에 부여하고, 2색 이상의 색을 갖는 복수의 화소로 이루어지는 화소군을 갖는 컬러 필터를 제조한다.In the manufacturing method of the color filter of this invention, a deep color separation wall is manufactured by the manufacturing method of the said deep color separation wall on the said board | substrate, a coloring liquid composition of two or more colors is provided between the said deep color separation walls, and two or more colors are applied. The color filter which has the pixel group which consists of a some pixel which has is manufactured.

즉, 상기 현상 공정에서 기판 상에 형성된 농색 분리벽 사이의 공극에 대하여, 2색 이상의 화소(예를 들면, RGB 각 화소)를 형성하기 위한 착색 액체 조성물을 그 공극에 부여하여 2색 이상의 색을 갖는 복수의 화소를 형성한다.That is, with respect to the gaps between the deep color separation walls formed on the substrate in the developing step, a color liquid composition for forming two or more colors of pixels (for example, each of the RGB pixels) is applied to the voids to provide two or more colors. A plurality of pixels having is formed.

이 착색 액체 조성물을 분리벽 공극에 부여하는 방법은 잉크젯법이나 Striped gisa 도포법 등의 공지의 방법이라도 좋고, 잉크젯법이 비용적으로 바람직하다.A well-known method, such as an inkjet method or a striped gisa coating method, may be sufficient as the method of providing this coloring liquid composition to a partition wall space | gap, and the inkjet method is cost-effective.

또한, 이렇게 각 화소를 형성하기 전에 농색 분리벽의 형상을 고정화해도 좋고, 그 방식은 특별히 한정되지 않지만 아래와 같은 것을 들 수 있다. 즉, 현상 후 재노광을 하는(포스트 노광이라고 칭함)처리 a, 현상 후 비교적 낮은 온도로 가열 처리를 하는 처리 b 등이다. 여기서 말하는 가열 처리란 농색 분리벽을 갖는 기판을 전기로, 건조기 등에서 가열하거나 또는 적외선 램프로부터 방사하여 농색 분리벽을 갖는 기판을 조사하는 것을 가리킨다.In addition, before forming each pixel in this way, the shape of the deep color dividing wall may be fixed, and although the system is not specifically limited, the following is mentioned. That is, the process a which re-exposes after image development (called a post exposure), and the process b which heat-processes to comparatively low temperature after image development. The heat treatment herein refers to irradiating a substrate having a deep dividing wall by heating the substrate having a deep dividing wall in an electric furnace, a dryer, or by radiating it from an infrared lamp.

여기서, 상기 처리 a를 행할 경우의 노광량은 대기 중에서라면 500∼3000mJ/㎠에서도 좋고, 바람직하게는 100O∼200OmJ/㎠이며, 또한 같은 처리 b를 행할 경우의 가열 온도는 50∼120℃에서도 좋고, 바람직하게는 70∼100℃정도이며, 처리 b에 있어서 가열 시간은 10∼40분 정도이다. 온도가 50℃보다 낮을 경우에는 농색 분리벽의 경화가 진행하지 않을 가능성이 있으며, 120℃보다 높을 경우에는 농색 분리벽의 형상이 무너져버릴 가능성이 있다.Here, the exposure amount at the time of performing the said process a may be 500-3000mJ / cm <2> in air | atmosphere, Preferably it is 100-200mJ / cm <2>, The heating temperature at the time of performing the same process b may be 50-120 degreeC, Preferably it is about 70-100 degreeC, and in the process b, the heat time is about 10-40 minutes. If the temperature is lower than 50 ° C., there is a possibility that hardening of the deep dividing wall does not proceed. If the temperature is higher than 120 ° C., the shape of the deep dividing wall may collapse.

각 화소형성을 위해서 사용하는 잉크젯법에 대해서는 잉크를 열경화시키는 방법, 광경화시키는 방법, 미리 기판 상에 투명한 수상(受像)층을 형성해 둔 것으로부터 타적(打滴)하는 방법 등 공지의 방법을 사용할 수 있다.As for the inkjet method used for forming each pixel, known methods such as a method of thermal curing the ink, a photocuring method, and a method of performing an attack from the formation of a transparent aqueous phase layer on a substrate in advance can be used. have.

바람직하게는 각 화소를 형성한 후, 가열 처리(소위, 베이킹 처리)하는 가열 공정을 준비한다. 가열 공정에서는 광조사에 의해 광중합한 층을 갖는 기판을 전기로, 건조기 등 중에서 가열하거나 또는 적외선 램프로부터 방사하여 조사한다. 가열의 온도 및 시간은 농색 감광성 조성물의 조성이나 형성된 층의 두께에 의존하지만, 일반적으로 충분한 내용제성, 내알칼리성 및 자외선 흡광도를 획득하는 관점에서 약 120℃∼약 250℃에서 약 10분∼약 120분간 가열하는 것이 바람직하다.Preferably, after forming each pixel, the heating process of heat processing (so-called baking process) is prepared. In a heating process, the board | substrate which has a layer photopolymerized by light irradiation is heated in an electric furnace, a dryer, etc., or irradiated by irradiating from an infrared lamp. The temperature and time of heating depend on the composition of the deep photosensitive composition or the thickness of the formed layer, but generally from about 10 minutes to about 120 ° C. at about 120 ° C. to about 250 ° C. in terms of obtaining sufficient solvent resistance, alkali resistance and ultraviolet absorbance. Heating for minutes is preferred.

이와 같이 하여 형성된 컬러 필터의 패턴 형상은 특별히 한정되는 것이 아니고, 일반적인 블랙 매트릭스 형상인 스트라이프상이어도 격자상이어도, 또한 델타 배열상이어도 좋다.The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a stripe, a lattice, or a delta array, which is a general black matrix.

(잉크젯 방식)(Inkjet method)

본 발명에 사용하는 잉크젯 방식은 대전한 잉크를 연속적으로 분사해 전장에 의해 제어하는 방법, 압전 소자를 사용하여 간헐적으로 잉크를 분사하는 방법, 잉크를 가열해 그 발포를 이용해서 간헐적으로 분사하는 방법 등의 각종의 방법으로부터 선택될 수 있다. The inkjet method used in the present invention is a method of continuously spraying charged ink to control the electric field, a method of intermittently spraying ink using a piezoelectric element, a method of heating ink and intermittently spraying using the foaming thereof. It may be selected from various methods such as.

사용하는 잉크는 유성으로도 수성으로도 좋고, 표면장력의 관계로부터 바람직하게는 물을 베이스로 한 수계 잉크다. 또한, 그 잉크에 함유된 착색 재료는 염료라도 안료라도 좋고, 내구성의 면에서는 안료의 사용이 더욱 바람직하다. 또한, 공지의 컬러 필터 제작에 사용하는 도포방식의 착색 잉크(착색 수지 조성물 예를 들면, 일본특허공개 2005-3861호 공보 [0034]∼[0063]의 기재나, 일본특허공개 평10-195358호 공보 [0009]∼[0026]에 기재된 잉크젯용 조성물)을 사용할 수도 있다.The ink used may be oil-based or aqueous, and is preferably water-based ink based on the relationship of surface tension. In addition, the coloring material contained in the ink may be a dye or a pigment, and the use of the pigment is more preferable in terms of durability. Moreover, the coloring ink of the application | coating system used for manufacture of a well-known color filter (coloring resin composition, for example, description of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-3861-0063, and Unexamined-Japanese-Patent No. 10-195358. Inkjet compositions according to the publications [0009] to [0026] can also be used.

본 발명에 있어서 잉크에는 착색 후의 공정을 고려하여 가열에 의해 경화하거나 또는 자외선 등의 에너지 선에 의해 경화하는 성분을 첨가할 수도 있다. 가열에 의해 경화하는 성분으로서 각종의 열경화성 수지를 널리 사용할 수 있다. 또한 에너지 선에 의해 경화하는 성분은 예를 들면, 아크릴레이트 유도체 또는 메타크릴레이트 유도체에 광반응 개시제를 첨가해서 얻어진 성분이라도 좋다. 특히 내열성을 고려해서 아크릴로일기, 메타크릴로일기를 분자 내에 복수개 갖는 것이 더욱 바람직하다. 이들의 아크릴레이트 유도체, 메타크릴레이트 유도체는 바람직하게는 수용성이다. 아크릴레이트 유도체, 메타크릴레이트 유도체가 물에 난용성인 경우라도 에멀젼화 등 후에 사용할 수 있다.In the present invention, a component which is cured by heating or cured by energy rays such as ultraviolet rays may be added to the ink in consideration of the step after coloring. Various thermosetting resins can be used widely as a component hardening by heating. In addition, the component hardened | cured by an energy ray may be a component obtained by adding a photoreaction initiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative, for example. It is more preferable to have acryloyl group and a methacryloyl group in a molecule especially in consideration of heat resistance. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble. Even when the acrylate derivative and the methacrylate derivative are poorly soluble in water, they can be used after emulsification and the like.

이 경우, 상기 [감광성 조성물]의 항에 열거한 안료 등의 착색제를 함유시킨 광산가교형 감광성 조성물을 적합한 것으로서 사용할 수 있다.In this case, the photocrosslinkable photosensitive composition which contained coloring agents, such as the pigment listed in the term of the said [photosensitive composition], can be used as a suitable thing.

또한, 본 발명에 있어서 사용할 수 있는 잉크로서는 적어도 바인더 및 2관능 내지 3관능의 에폭시기 함유 모노머를 함유하는 컬러 필터용 열경화성 잉크도 바람직하다.Moreover, as ink which can be used in this invention, the thermosetting ink for color filters containing at least a binder and the bifunctional to trifunctional epoxy group containing monomer is also preferable.

본 발명에 있어서 컬러 필터는 잉크젯 방식으로 화소형성된 컬러 필터인 것이 바람직하고, RGB 3색의 잉크를 취부하여 형성된 3색의 컬러 필터를 갖는 것이 바람직하다.In the present invention, the color filter is preferably a color filter pixelated by an inkjet method, and preferably has a color filter of three colors formed by attaching RGB three-color ink.

이 컬러 필터는 액정표시소자, 전기영동 표시소자, 일렉트로크로믹(Electrochromic) 표시소자, PLZT 등과 조합시켜서 표시소자로서 사용할 수 있다. 컬러 카메라나 그 밖의 컬러 필터를 사용하는 용도에도 사용할 수 있다.This color filter can be used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, a PLZT, or the like. It can also be used for applications using a color camera or other color filters.

[표시장치][Display device]

본 발명에 있어서 표시장치는 액정표시장치, 플라즈마 디스플레이 표시장치, EL 표시장치, CRT 표시장치 등의 표시장치 등을 말한다. 표시장치의 정의나 각 표시장치의 설명은 예를 들면 "전자 디스플레이 디바이스(사사키 아키오 저, (주)코우교우죠우사카이 1990년 발행)", "디스플레이 디바이스(이부키 준쇼우 저, 산교우토쇼우(주) 1989년 발행)" 등에 기재되어 있다.In the present invention, the display device refers to a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, a CRT display device, or the like. For the definition of the display device and the explanation of each display device, for example, "Electronic display device (Aki Sasaki by Co., Ltd., Kogyojo Sakai Co., Ltd. issued in 1990)", "Display device (Ibuki Junsho, Sankyo Auto Show ( Note) issued in 1989).

본 발명의 표시장치 중 액정표시장치는 특히 바람직하다. 액정표시장치에 대해서는 예를 들면 "차세대 액정 디스플레이 기술(우치다 타쯔오 편집, (주)코우교우죠우사카이 1994년 발행)"에 기재되어 있다. 본 발명을 적용할 수 있는 액정표시장치에는 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 상기 "차세대 액정 디스플레이 기술"에 기재되어 있는 여러가지 방식의 액정표시장치에 본 발명을 적용할 수 있다. 본 발명은 이들 중에서 특히 컬러 TFT 방식의 액정표시장치에 대하여 유효하다. 컬러 TFT 방식의 액정표시장치에 대해서는 예를 들면, "컬러 TFT 액정 디스플레이(쿄우리츠 슈판(주) 1996년 발행)"에 기재되어 있다. 또한 본 발명은 물론 IPS 등의 횡 전계 구동 방식, MVA 등의 화소 분할 방식 등의 시야각이 확대된 액정표시장치에도 적용할 수 있다. 이들 방식에 대해서는 예를 들면 "EL, PDP, LCD 디스플레이 -기술과 시장의 최신 동향- (토레 리서치 센터 죠우사 켄큐우 부본 2001년 발행)"의 43쪽에 기재되어 있다.Among the display devices of the present invention, liquid crystal display devices are particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, "next-generation liquid crystal display technology (Tatsuo Uchida editing, Kogyo Co., Ltd., 1994)". There is no restriction | limiting in particular in the liquid crystal display device which can apply this invention, For example, this invention can be applied to the liquid crystal display device of various systems described in the said "next-generation liquid crystal display technology." The present invention is particularly effective for the liquid crystal display device of the color TFT type among them. The liquid crystal display device of the color TFT system is described, for example, in "Color TFT liquid crystal display (Kyouritsu Shupan Co., Ltd. 1996)." In addition, the present invention can be applied to a liquid crystal display device having an enlarged viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 in "EL, PDP, LCD Displays-The Latest Trends in Technology and Markets" (Tore Research Center, Jobs Kenkyu Co., 2001).

액정표시장치는 컬러 필터 이외에 전극 기판, 편광 필름, 위상차이 필름, 백라이트, 스페이서, 시야각 보상 필름 등 다양한 부재료를 포함할 수 있다. 본 발명의 블랙 매트릭스는 이들 공지의 부재료로 구성되는 액정표시장치에 적용할 수 있다. 이들 부재료에 대해서는 예를 들면, "'94 액정 디스플레이 주변재료·케미컬스 시장(시마 켄타로 (주)CMC 1994년 발행)", "2003 액정 관련 시장의 현상과 장래 전망(하권)(오모테 료키치 (주)후지 키메라 종합연구소 2003년 발행)"에 기재되어 있다.In addition to the color filter, the liquid crystal display may include various materials such as an electrode substrate, a polarizing film, a phase difference film, a backlight, a spacer, a viewing angle compensation film, and the like. The black matrix of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known subsidiary materials. For these subsidiary materials, for example, the '94 liquid crystal display peripheral materials and chemicals market (Kenta Shima Kentaro Co., Ltd., 1994), "2003 liquid crystal related market and future prospects (the lower volume) (Omote Ryokichi ( Fuji Chimera Research Institute, 2003).

[대상용도][Target use]

본 발명의 컬러 필터는 텔레비전, 퍼스널 컴퓨터, 액정 프로젝터, 게임기, 휴대 전화 등의 휴대 단말, 디지털 카메라, 자동차 네비게이션 등의 용도에 특별한 제한없이 적용할 수 있다.The color filter of the present invention can be applied to applications such as televisions, personal computers, liquid crystal projectors, game machines, portable terminals such as mobile phones, digital cameras, car navigation systems, and the like without particular limitation.

일본출원 2005-150788호의 개시는 그 전체가 참조로 본 명세서에 포함되어 있다.As for the indication of the Japanese application 2005-150788, the whole is integrated in this specification by reference.

본 발명의 예시적인 실시 형태을 이하에 기재한다.Exemplary embodiments of the present invention are described below.

[1] 기판 상에 서로 다른 색을 나타내는 2 이상의 화소군을 갖고, 상기 화소군 중의 각 화소가 서로 농색 분리벽에 의해 분리되어 있는 컬러 필터의 제조 방법 으로서:[1] A method for producing a color filter having two or more pixel groups representing different colors on a substrate, wherein each pixel of the pixel groups is separated from each other by a deep color separation wall:

기판 상에 광산발생제와 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제 및 착색제를 함유하는 농색 감광성 조성물을 포함하는 감광성층을 형성하는 감광성층 형성 공정; A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising a deep photosensitive composition containing a crosslinking agent and a coloring agent which obtain a crosslinking function by the action of the photoacid generator and the photoacid generator on a substrate;

상기 감광성층을 노광해서 노광 영역을 경화시키는 노광 공정;An exposure step of exposing the photosensitive layer to cure an exposure area;

미노광부의 감광성층을 제거하는 것으로 분리벽을 형성하는 현상 공정; 및A developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive layer of the unexposed part; And

착색 액체 조성물에 의한 액적을 분리벽 사이에 부여하여 분리벽 사이에 각 화소를 형성하는 공정을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법.A method of manufacturing a color filter, comprising the steps of applying droplets with a colored liquid composition between the separating walls to form each pixel between the separating walls.

[2] [1]에 있어서, 상기 농색 감광성 조성물은 메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트 중 하나 이상을 더 포함하는 공중합체를 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.[2] The method for producing a color filter according to [1], wherein the deep color photosensitive composition further comprises a copolymer further comprising at least one of methyl methacrylate and benzyl methacrylate.

[3] [1] 또는 [2]에 있어서, 상기 광산발생제는 유기 할로겐 화합물, 오늄염 및 술폰산에스테르로 이루어지는 군에서 선택된 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.[3] The method for producing a color filter according to [1] or [2], wherein the photoacid generator is at least one compound selected from the group consisting of an organic halogen compound, an onium salt, and a sulfonic acid ester.

[4] [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 있어서, 상기 가교제는 멜라민 수지 또는 요소 수지인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.[4] The method for producing a color filter according to any one of [1] to [3], wherein the crosslinking agent is melamine resin or urea resin.

[5] [1] 내지 [4] 중 어느 하나에 있어서, 상기 분리벽의 높이는 1.8㎛ 이상10㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.[5] The method for producing a color filter according to any one of [1] to [4], wherein the height of the separation wall is 1.8 µm or more and 10 µm or less.

[6] [1] 내지 [5] 중 어느 하나에 있어서, 상기 분리벽의 광학농도는 2.5 이상 10 이하인 컬러 필터의 제조 방법.[6] The method for producing a color filter according to any one of [1] to [5], wherein the optical density of the dividing wall is 2.5 or more and 10 or less.

[7] [1] 내지 [6] 중 어느 하나에 있어서, 상기 분리벽은 흑색인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.[7] The method for producing a color filter according to any one of [1] to [6], wherein the dividing wall is black.

[8] [1] 내지 [7]의 어느 하나에 기재된 제조 방법으로 제조되고 분리벽의 표면 거칠기(Ra값)가 5nm 이하인 것을 특징으로 하는 컬러 필터.[8] A color filter, produced by the production method according to any one of [1] to [7], wherein the surface roughness (Ra value) of the separation wall is 5 nm or less.

[9] [8]에 기재된 컬러 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시소자.[9] A liquid crystal display device comprising the color filter described in [8].

[10] [9]에 기재된 액정표시소자를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.[10] A liquid crystal display device comprising the liquid crystal display device according to [9].

이하, 실시예를 참조해서 본 발명을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다. 한편, 특별히 언급이 없는 한 "%" 및 "부"는 "질량%" 및 "질량부"를 의미하고, "분자량"이란 "질량평균 분자량"을 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples. However, the present invention is not limited to these. In addition, "%" and "part" mean "mass%" and "mass part" unless there is particular notice, and "molecular weight" shows a "mass average molecular weight."

(실시예 1)(Example 1)

무알칼리 유리 기판을 UV세정 장치로 세정하고, 그 후 세정제를 이용해서 브러시 세정하고, 초순수로 초음파세정을 더 했다. 기판을 120℃에서 3분 열처리해서 표면상태를 안정화시켰다.The alkali free glass substrate was wash | cleaned with the UV washing | cleaning apparatus, and brush cleaning was performed using the washing | cleaning agent after that, and the ultrasonic cleaning was performed with the ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.

기판을 냉각해 23℃로 온조 후, 슬릿상 노즐을 갖는 유리 기판용 코터(FAS 재팬사 제품, 상품명 : MH-1600)로 아래에 기재된 조성에 의해 이루어지는 감광성 조성물 K1을 도포했다. 계속해서 VCD(진공건조장치, 토쿄오카코우교우사 제품)로 30초간, 용매의 일부를 휘발시켜서 도포층의 유동성을 없애고, 다음에 EBR(Edge Bead Remover)로 기판 주위의 불필요한 도포액을 제거하고, 120℃에서 3분간 예비 베이킹해서 막 두께 2㎛의 감광성층 K1을 얻었다.After cooling a board | substrate and warming at 23 degreeC, the photosensitive composition K1 which consists of a composition described below was apply | coated with the coater for glass substrates (FAS Japan company make, brand name: MH-1600) which has a slit-shaped nozzle. Subsequently, a VCD (vacuum drying device, manufactured by Tokyo Okagyo Co., Ltd.) is volatilized for 30 seconds to remove some of the solvent from the fluidity of the coating layer, and then the EBR (Edge Bead Remover) removes unnecessary coating liquid around the substrate. Prebaking was performed at 120 degreeC for 3 minutes, and the photosensitive layer K1 of 2 micrometers in thickness was obtained.

<감광성 조성물 K1><Photosensitive composition K1>

·카본 블랙 분산물(하기 조성) 25.0부25.0 parts of carbon black dispersion (the following composition)

·프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 37.4부Propylene glycol monomethyl ether acetate 37.4 parts

·메틸에틸케톤 24.9부Methyl ethyl ketone 24.9 parts

·바인더 1 9.1부Binder 1 9.1

·2,2―비스(트리클로로메틸)-6-[-4-(N,N―디에톡시카르보닐메틸)-3-브로모페닐]-s-트리아진 1.2부1.2 parts of 2,2-bis (trichloromethyl) -6-[-4- (N, N-ethoxycarbonylmethyl) -3-bromophenyl] -s-triazine

·가교제(MW-30M 산와케미컬(주)제품) 2.4부2.4 parts of crosslinking agent (MW-30M Sanwa Chemical Co., Ltd. product)

·계면활성제1 0.044부Surfactant 1 0.044 parts

<카본 블랙 분산액><Carbon Black Dispersion>

·카본 블랙(Degussa사 제품 Nipex35) 13.1%Carbon black (Nipex35 from Degussa) 13.1%

·분산제(하기 구조) 0.65%Dispersant 0.65%

·폴리머(벤질메타크릴레이트/메타크릴산=72/28몰비의 랜덤 공중합물, 분자량 3.7만) 6.72% 6.72% of polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = random copolymer of 72/28 molar ratio, molecular weight 370,000)

·프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 79.53%Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53%

Figure 112007084244564-PCT00002
Figure 112007084244564-PCT00002

<바인더1><Binder 1>

·폴리머(벤질메타크릴레이트/메타크릴산=78/22몰비의 랜덤 공중합물, 분자량 3.8만) 27%27% polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 3.8 million)

·프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 73%Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%

<계면활성제1><Surfactant 1>

·하기 구조물1 30%Structure 1 30%

·메틸에틸케톤 70%70% methyl ethyl ketone

구조물1Structure 1

Figure 112007084244564-PCT00003
Figure 112007084244564-PCT00003

(n=6, x=55, y=5, Mw=33940, Mw/Vn=2.55(n = 6, x = 55, y = 5, Mw = 33940, Mw / Vn = 2.55

PO : 프로필렌 옥사이드, EO : 에틸렌 옥사이드)PO: propylene oxide, EO: ethylene oxide)

(노광 공정)(Exposure process)

초고압 수은등을 갖는 프록시미티형 노광기(히타치덴시엔지니어링사 제품)로 기판과 마스크(화상 패턴을 갖는 석영 노광 마스크)를 수직으로 세운 상태로 노광 마스크면과 감광층 K1의 사이의 거리를 200㎛로 설정하고, 질소 분위기하에서 노광량 400mJ/㎠으로 패턴 노광했다.The distance between the exposure mask surface and the photosensitive layer K1 is 200 μm in a state in which the substrate and the mask (a quartz exposure mask having an image pattern) are placed vertically with a proximity exposure machine (manufactured by Hitachi Denshi Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp. It set and pattern-exposed by exposure amount 400mJ / cm <2> in nitrogen atmosphere.

(베이킹 공정)(Baking process)

노광 종료해서 1분 후에 가열 처리(110℃, 60초)를 했다.One minute after the exposure was completed, heat treatment (110 ° C., 60 seconds) was performed.

(현상 공정) (Developing process)

다음으로 순수를 샤워 노즐로부터 분무하여 농색 감광성층 K1의 표면을 균일하게 적셔서 KOH계 현상액(KOH, 비이온 계면활성제 함유, 상품명 : CDK-1, 후지필름 일렉트로닉스 메터리알스사 제품)으로 23℃에서 80초, 플랫 노즐 압력 0.04MPa로 샤워 현상하여 패터닝 화상을 얻었다. 계속해서, 초순수를 초고압 세정 노즐로부터 9.8MPa의 압력으로 분사해서 잔사 제거를 하고, 대기 하에서 노광량 200OmJ/㎠로 포스트 노광을 하여 광학농도 3.9의 분리벽을 얻었다. 이와 같이 하여 얻어진 분리벽의 표면 요철을 접촉막 두께계(Tencor사 제품 촉침식 표면 거칠계 P10)로 측정한 바 Ra는 3.2nm, 분리벽의 높이는 2.0㎛이었다.Next, pure water was sprayed from the shower nozzle to uniformly wet the surface of the deep photosensitive layer K1, and then dried at 23 ° C. with a KOH-based developer (KOH, containing a nonionic surfactant, trade name: CDK-1, manufactured by FUJIFILM Electronics). Shower development was carried out at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa for a second to obtain a patterned image. Subsequently, ultrapure water was jetted from the ultra-high pressure cleaning nozzle at a pressure of 9.8 MPa to remove the residue, and post exposure was performed at an exposure dose of 200 mJ / cm 2 under air to obtain a dividing wall having an optical density of 3.9. Thus, the surface unevenness | corrugation of the obtained partition wall was measured with the contact film thickness meter (the stylus type surface roughness meter P10 by Tencor Corporation), Ra was 3.2 nm, and the height of the partition wall was 2.0 micrometers.

[플라즈마 폐수화 처리][Plasma Waste Hydration Treatment]

분리벽을 형성한 기판에 캐소드 커플링 방식 평행 평판형 플라즈마 처리 장치를 사용하고, 이하의 조건에서 플라즈마 폐수화 처리를 했다.The plasma coupling hydration process was performed on the following conditions using the cathode coupling type parallel plate type plasma processing apparatus for the board | substrate with which the separation wall was formed.

사용 가스 : CF4 가스 유량 : 80sccmGas Used: CF 4 Gas Flow Rate: 80sccm

압력 : 40PaPressure: 40Pa

RF 파워 : 50WRF power: 50W

처리 시간 : 30secProcessing time: 30sec

-화소용 착색 잉크의 조제-Preparation of coloring ink for pixels

하기 성분 중, 우선, 안료, 고분자 분산제 및 용제를 혼합하고, 3개의 롤과 비즈 밀을 사용하여 안료 분산액을 얻었다. 그 안료 분산액을 Dissolver 등으로 충분히 교반하면서 기타 재료를 소량씩 첨가하고 적색(R) 화소용 착색 잉크 조성물을 조제했다.Among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant, and a solvent were mixed, and the pigment dispersion liquid was obtained using three rolls and a bead mill. Other materials were added little by little, stirring this pigment dispersion liquid sufficiently with a Dissolver etc., and the coloring ink composition for red (R) pixels was prepared.

<적색 화소용 착색 잉크의 조성><The composition of the coloring ink for red pixels>

·안료(C.I.Pigment Red 254) 5부Pigment (C.I. Pigment Red 254) 5 copies

·고분자 분산제(AVECIA사 제품 SOLSPERSE 24000) 1부1 part of polymer dispersant (SOLSPERSE 24000 from AVECIA)

·바인더(글리시딜메타크릴레이트스티렌공중합체) 3부Binder (glycidyl methacrylate styrene copolymer) 3 parts

·제1에폭시 수지(노볼락형 에폭시 수지, 유카셀사 제품 Epikote 154) 2부2 parts of 1 epoxy resin (Novolak-type epoxy resin, Yukocel company Epikote 154)

·제2에폭시 수지(네오펜틸글리콜디글리시딜에테르) 5부Second epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts

·경화제(트리메리트산) 4부4 parts hardener (trimeric acid)

·용제 : 3-에톡시프로피온산에틸 80부Solvent: 80 parts of ethyl 3-ethoxypropionate

또한, 상기 조성 중의 C.I.Pigment Red 254 대신 C.I.Pigment Green 36을 동량 사용하는 것 이외에는 적색 화소부 착색 잉크 조성물의 경우와 동일하게 하여 녹색(G) 화소용 착색 잉크 조성물을 조제했다.A colored ink composition for green (G) pixels was prepared in the same manner as in the case of the red pixel portion coloring ink composition except that the same amount of C.I.Pigment Green 36 was used instead of C.I.Pigment Red 254 in the composition.

또한, 상기 조성 중의 C.I.Pigment Red 254 대신 C.I.Pigment Blue 15:6을 동량 사용하는 것 이외에는 적색 화소용 착색 잉크 조성물의 경우와 동일하게 하여 청색(B) 화소용 착색 잉크 조성물을 조제했다.A colored ink composition for a blue (B) pixel was prepared in the same manner as in the case of the colored ink composition for a red pixel, except that the same amount of C.I.Pigment Blue 15: 6 was used instead of C.I.Pigment Red 254 in the composition.

다음으로 상기의 R, G, B의 화소용 착색 잉크를 이용하여 상기에서 얻어진 화상 형성용 기판의 분리벽으로 구분된 영역 내(볼록부가 둘러싸인 오목부)에 잉크젯 방식의 기록 장치를 사용하여 희망하는 농도가 될 때까지 잉크 조성물의 토출을 실시하고, R, G, B의 패턴을 갖는 컬러 필터를 제작했다. 화상 착색 후의 컬러 필터를 230℃ 오븐 중에서 30분 베이킹하는 것으로 블랙 매트릭스, 각 화소와 함께 완전히 경화시켰다.Next, using an inkjet recording apparatus in the region (concave portion surrounded by the convex portion) divided by the separating wall of the image forming substrate obtained above using the above-mentioned R, G, B pixel coloring ink, The ink composition was discharged until the concentration was reached, and a color filter having a pattern of R, G, and B was produced. The color filter after image coloring was hardened completely with a black matrix and each pixel by baking for 30 minutes in 230 degreeC oven.

이렇게 해서 얻어진 컬러 필터의 각 화소를 구성하는 잉크는 분리벽 사이에 알맞게 들어가 인접 화소와 혼색이 일어나는 등의 결함이 되는 불량은 발견되지 않았다. 이는 본 발명을 이용하는 것에 의해 예기치 않은 분리벽 상부 표면의 잉크에 대한 젖음성(wettability)이 저하하고, 잉크가 이웃한 화소 영역까지 도달하지 않았기 때문이라 생각된다.The defects such as defects in which the ink constituting each pixel of the color filter thus obtained enters properly between the separation walls and cause color mixing with adjacent pixels were not found. This is considered to be because the wettability of the ink on the upper surface of the partition wall is unexpectedly lowered by using the present invention, and the ink has not reached the neighboring pixel region.

(오버코트층) (Overcoat layer)

그 후, 착색층이 형성된 유리를 저압 수은등(유효파장 254nm) UV세정 장치로 세정하여 잔사 및 이물을 제거하고 나서, 막의 두께가 1.5㎛가 되도록 투명 오버코트제를 전면에 도포하고, 230℃에서 40분간 베이킹했다. 이 때, 투명 오버코트층을 형성하기 위해서 하기 화학식(A)의 폴리아믹산과 화학식(B)의 에폭시 화합물을 3:1 의 중량비로 혼합해서 사용했다.Thereafter, the glass on which the colored layer was formed was washed with a low pressure mercury lamp (effective wavelength 254 nm) UV cleaning device to remove residues and foreign substances, and then the transparent overcoat agent was applied to the entire surface so that the film thickness was 1.5 µm. Baked for a minute. At this time, in order to form a transparent overcoat layer, the polyamic acid of the following general formula (A) and the epoxy compound of the general formula (B) were mixed and used at a weight ratio of 3: 1.

화학식(A)Formula (A)

Figure 112007084244564-PCT00004
R=메틸렌기, m=50
Figure 112007084244564-PCT00004
R = methylene group, m = 50

화학식(B)Formula (B)

Figure 112007084244564-PCT00005
Figure 112007084244564-PCT00005

(ITO의 형성)(Formation of ITO)

상기 오버코트층이 형성된 컬러 필터 상에 ITO(인듐 주석 산화물)를 스패터링에 의해 형성하고, ITO 투명 전극 기판을 얻었다. 컬러 필터의 ITO 저항을 측정한(미츠비시유카 "Loresta" ; 4탐침법으로 시트 저항을 측정) 경우 13Ω/□이었다.ITO (indium tin oxide) was formed on the color filter in which the said overcoat layer was formed by sputtering, and the ITO transparent electrode substrate was obtained. When the ITO resistance of the color filter was measured (Mitsubishi Yuka "Loresta"; sheet resistance was measured by the four probe method), it was 13 Ω / square.

(스페이서의 형성)(Formation of spacer)

일본특허공개 2004-240335호 공보의 (실시예 1)에 기재된 스페이서 형성 방법과 동일한 방법으로 상기에서 제작한 ITO 투명 전극 상에 스페이서를 형성했다.The spacer was formed on the above-mentioned ITO transparent electrode by the method similar to the spacer formation method of (Example 1) of Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-240335.

(액정 배향 제어용 돌기의 형성)(Formation of projection for liquid crystal orientation control)

하기의 포지티브형 감광성 수지층용 도포액을 사용하여 상기 스페이서를 형성한 ITO 투명 전극 상에 액정배향 제어용 돌기를 형성했다. The liquid crystal orientation control protrusion was formed on the ITO transparent electrode in which the said spacer was formed using the following coating liquid for positive photosensitive resin layers.

단, 노광, 현상 및 베이킹 공정은 이하의 방법을 이용했다.However, the following method used the exposure, image development, and baking process.

소정의 포토마스크가 감광성 수지층의 표면으로부터 100㎛의 거리가 되도록 프록시미티 노광기(히타치덴시엔지니어링 가부시키가이샤 제품)를 배치하고, 상기 포토마스크를 통해서 초고압 수은등에 의해 조사 에너지 15OmJ/㎠로 프록시미티 노광했다. Proximity exposure machine (Hitachi Denshi Engineering Co., Ltd.) is arrange | positioned so that predetermined | prescribed photomask may be 100 micrometers from the surface of the photosensitive resin layer, and it proxies at 15OmJ / cm <2> of irradiation energy by ultra-high pressure mercury lamp through the said photomask. Miti exposure.

계속해서, 2.38% 테트라메틸암모늄히드록시드 수용액을 샤워식 현상 장치를 이용해서 33℃에서 30초간 기판에 분무하면서 현상했다. 이렇게 해서, 감광성 수지층의 불필요부(노광부)를 현상 제거하여 컬러 필터측 기판 상에 희망하는 형상으로 패터닝된 감광성 수지층에 의해 이루어진 액정배향 제어용 돌기가 형성된 액정표시장치용 기판을 얻었다.Subsequently, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while spraying onto the substrate at 33 ° C. for 30 seconds using a shower developing device. In this way, the unnecessary part (exposure part) of the photosensitive resin layer was image-removed, and the board | substrate for liquid crystal display apparatuses with the liquid crystal aligning control protrusion which consisted of the photosensitive resin layer patterned in the desired shape on the color filter side board | substrate was obtained.

그 다음으로 상기 액정배향 제어용 돌기가 형성된 액정표시장치용 기판을 230℃하에서 30분 베이킹하는 것에 의해 액정표시장치용 기판 상에 경화된 액정배향 제어용 돌기를 형성했다.Next, the liquid crystal aligning control projection was formed on the liquid crystal display substrate by baking the liquid crystal display device substrate on which the liquid crystal alignment control projection was formed at 230 ° C. for 30 minutes.

<포지티브형 감광성 수지층용 도포액 처방><Prescription of coating liquid for positive photosensitive resin layer>

·포지티브형 레지스트액 53.3부Positive resist liquid 53.3 parts

(후지필름 일렉트로닉스 메터리알스(주) 제품, FH-2413F)(Fuji Film Electronics Metallics Co., Ltd., FH-2413F)

·메틸에틸케톤 46.7부Methyl ethyl ketone 46.7 parts

·계면활성제 0.04부0.04 parts surfactant

(Megafac F-780F, 다이니폰잉크 카가쿠코우교우(주) 제품)(Megafac F-780F, Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.)

(액정표시장치의 작성)(Making of liquid crystal display device)

상기에서 얻어진 액정표시장치용 기판을 이용하고 일본특허공개 평11-242243호 공보의 제1 실시예 [0079]∼[0082]에 기재된 방법을 사용하여, 액정표시장치를 제작했다.Using the board | substrate for liquid crystal display devices obtained above, the liquid crystal display device was produced using the method as described in 1st Example-Unexamined-Japanese-Patent No. 11-242243.

(평가)(evaluation)

액정표시장치의 화면은 혼색이 없는 양호한 화면이었다. 또한, 흑색표시의 품위도 양호했다.The screen of the liquid crystal display device was a good screen without color mixing. Moreover, the quality of black display was also favorable.

본 발명에 따르면, 적은 공정으로 안정하게 표면이 평활한 분리벽을 형성할 수 있고, 이 결과, 컬러 필터 상에 형성된 투명 전극(ITO)의 표면저항을 저하시킬 수 있는 컬러 필터의 제조 방법, 이 방법으로 얻어진 분리벽의 표면 거칠기가 작은 컬러 필터, 이 컬러 필터를 구비한 액정표시소자, 이 액정표시 소자를 구비한 액정표시장치가 제공된다.According to the present invention, it is possible to form a partition wall having a smooth surface stably in a small process, and as a result, a manufacturing method of a color filter capable of lowering the surface resistance of the transparent electrode (ITO) formed on the color filter, A color filter having a small surface roughness of a partition wall obtained by the method, a liquid crystal display device having the color filter, and a liquid crystal display device having the liquid crystal display device are provided.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법에 의하면, 드라이 에칭 공정을 필요로 하지 않고, 기판 상에 농색 감광성 조성물을 포함하는 층(이하, 적당히 감광성층이라고 칭함)을 형성한 후, 분리벽의 형상을 따라서 화상 양태로 노광하여 현상하는 간편한 공정으로 안정하게 표면의 미세한 요철이 개량된 분리벽을 얻을 수 있다. 따 라서, ITO의 표면저항을 저하시킨 컬러 필터를 공정수가 적게 저비용으로 얻는 것이 가능해 진다.According to the manufacturing method of the color filter of this invention, after forming the layer containing a deep photosensitive composition (henceforth a photosensitive layer suitably) on a board | substrate without requiring a dry etching process, it follows the shape of a partition wall. By the simple process of exposing and developing in an image aspect, the partition wall in which the fine unevenness | corrugation of the surface was improved stably can be obtained. As a result, it is possible to obtain a color filter having a low surface resistance of ITO at a low cost with few processes.

또한, 본 발명의 제조 방법에 의해 형성된 컬러 필터는 분리벽의 표면의 요철이 개량되어 잉크젯 등으로 액적을 부여하여 각 화소를 형성할 때, 인접 화소와 혼색이 일어나는 등의 결함 발생이 억제되어, ITO의 표면저항이 낮은 효과를 나타내어 액정표시 소자에 바람직하게 사용할 수 있다.In addition, in the color filter formed by the manufacturing method of the present invention, defects such as color mixing with adjacent pixels are suppressed when the unevenness of the surface of the separating wall is improved to impart droplets by inkjet or the like to form each pixel. The surface resistance of ITO shows low effect, and it can use suitably for a liquid crystal display element.

본 명세서에 기재된 모든 문헌, 특허출원 및 기술규격은, 각각의 문헌, 특허출원 및 기술규격이 참조로 삽입된 것이 구체적으로 또한 각각에 기록된 경우와 동일한 정도로 본 명세서 중에 참조로 삽입되었다.All documents, patent applications, and technical specifications described herein are incorporated by reference to the same extent as if each document, patent application, and technical specification were specifically incorporated by reference.

Claims (10)

기판 상에 서로 다른 색을 나타내는 2 이상의 화소군을 갖고, 상기 화소군 중의 각 화소가 서로 농색 분리벽에 의해 분리되어 있는 컬러 필터의 제조 방법으로서:A method for producing a color filter having two or more pixel groups representing different colors on a substrate, wherein each pixel in the pixel groups is separated from each other by a deep color separation wall: 기판 상에 광산발생제와 상기 광산발생제의 작용에 의해 가교 기능을 획득하는 가교제 및 착색제를 함유하는 농색 감광성 조성물을 포함하는 감광성층을 형성하는 감광성층 형성 공정; A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer comprising a deep photosensitive composition containing a crosslinking agent and a coloring agent which obtain a crosslinking function by the action of the photoacid generator and the photoacid generator on a substrate; 상기 감광성층을 노광해서 노광 영역을 경화시키는 노광 공정;An exposure step of exposing the photosensitive layer to cure an exposure area; 미노광부의 감광성층을 제거함으로써 분리벽을 형성하는 현상 공정; 및A developing step of forming a separation wall by removing the photosensitive layer of the unexposed part; And 착색 액체 조성물에 의한 액적을 분리벽 사이에 부여하여 분리벽 사이에 각 화소를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.A process for producing a color filter, comprising the steps of: applying droplets with a colored liquid composition between the separation walls to form respective pixels between the separation walls. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 농색 감광성 조성물은 메타크릴산메틸 또는 벤질메타크릴레이트 중 하나 이상을 더 포함하는 공중합체를 함유하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The deep color photosensitive composition is a method for producing a color filter, characterized in that it contains a copolymer further comprising at least one of methyl methacrylate or benzyl methacrylate. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 광산발생제는 유기 할로겐 화합물, 오늄염 및 술폰산에스테르로 이루어 지는 군에서 선택된 1종 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The photoacid generator is a method of producing a color filter, characterized in that at least one compound selected from the group consisting of organic halogen compounds, onium salts and sulfonic acid esters. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가교제는 멜라민 수지 또는 요소 수지인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The crosslinking agent is a melamine resin or urea resin, characterized in that the manufacturing method of the color filter. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 분리벽의 높이는 1.8㎛ 이상 10㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The height of the said separation wall is 1.8 micrometers or more and the manufacturing method of the color filter characterized by the above-mentioned. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 분리벽의 광학농도는 2.5 이상 10 이하인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The optical density of the dividing wall is 2.5 or more and 10 or less manufacturing method of the color filter. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 분리벽은 흑색인 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.The separation wall is a manufacturing method of a color filter, characterized in that the black. 제 1 항에 기재된 제조 방법으로 제조되고 분리벽의 표면 거칠기(Ra값)가 5nm 이하인 것을 특징으로 하는 컬러 필터.The color filter manufactured by the manufacturing method of Claim 1 whose surface roughness (Ra value) of a partition wall is 5 nm or less. 제 8 항에 기재된 컬러 필터를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시소자.A liquid crystal display device comprising the color filter according to claim 8. 제 9 항에 기재된 액정표시소자를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.A liquid crystal display device comprising the liquid crystal display device according to claim 9.
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