JPH07248413A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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Publication number
JPH07248413A
JPH07248413A JP4245694A JP4245694A JPH07248413A JP H07248413 A JPH07248413 A JP H07248413A JP 4245694 A JP4245694 A JP 4245694A JP 4245694 A JP4245694 A JP 4245694A JP H07248413 A JPH07248413 A JP H07248413A
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JP
Japan
Prior art keywords
ink
color filter
black matrix
filter according
resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP4245694A
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Japanese (ja)
Inventor
Reiko Nakahara
玲子 中原
Kuniko Kimura
邦子 木村
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Filing date
Publication date
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Priority to JP4245694A priority Critical patent/JPH07248413A/en
Publication of JPH07248413A publication Critical patent/JPH07248413A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain enough flatness and to improve the display quality by forming a black matrix and pixels on a transparent substrate in such a manner that either surface of the black matrix or pixels has repellency against water and oil and then treating the substrate to remove the repellency against water and oil. CONSTITUTION:After a black matrix and pixels are formed on a transparent substrate in such a manner that either surface of the matrix or pixel has repellency against water and oil, the substrate is treated to remove the repellency against water and oil. By this method, such a component that is repellent against ink is deactivated so that the repellency against a top coating material can be eliminated. Thus, enough flatness can be obtd. by applying a top coating material. Thereby, the color filter is made flat and excellent display quality is obtd. Even when a top coating material is not applied, no adverse effect such as to disturb the orientation of the liquid crystal in the module and to cause insulation fault is exerted because the component which is repellent against ink is deactivated. Thus, high reliability is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、主に液晶表示素子用に
用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter mainly used for liquid crystal display devices.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示素子用カラーフィルタは、透明
基板上に形成された赤、緑、青の三原色の画素を一絵素
とし多数の絵素から構成される。各画素間には通常表示
コントラストを高めるため、およびTFTに光を当てな
いために一定の幅を持つ遮光領域(一般に黒色でブラッ
クマトリクスと称されている)が設けられる。通常はブ
ラックマトリクスおよび画素形成後、該ガラス基板上に
は画素部分の保護および平坦化を目的としてトップコー
ト(表面保護層)が、設けられる。
2. Description of the Related Art A color filter for a liquid crystal display device is composed of a large number of picture elements each having pixels of three primary colors of red, green and blue formed on a transparent substrate as one picture element. A light-shielding region (generally referred to as a black matrix in black) having a certain width is provided between each pixel in order to increase the display contrast and to prevent the TFT from being exposed to light. Usually, after forming a black matrix and pixels, a top coat (surface protective layer) is provided on the glass substrate for the purpose of protecting and flattening the pixel portion.

【0003】カラーフィルタ製造法には、フォトリソグ
ラフィの手法を用いて形成した可染媒体を染色する方
法、顔料分散感光性組成物を用いる方法、パターニング
した電極を利用する電着法のほか、低コストの製造法と
して印刷法やインクジェット式インキ噴射装置を用いて
着色部分を形成するインクジェット法などがある。
Color filter manufacturing methods include a method of dyeing a dyeable medium formed by a photolithography method, a method of using a pigment-dispersed photosensitive composition, an electrodeposition method of using a patterned electrode, and a low-cost method. As a cost manufacturing method, there are a printing method, an inkjet method of forming a colored portion by using an inkjet type ink jet device, and the like.

【0004】従来の製造法の内、印刷法やインクジェッ
ト法は、画素を一色ずつフォトリソグラフィで作成する
染色法および顔料分散法に比べて工程数が少なく低コス
トであるが、その一方で各着色領域の画素のにじみ、混
色などが避けられずカラーフィルタとしての品質は劣っ
たものになってしまうという欠点があった。
Among the conventional manufacturing methods, the printing method and the ink jet method have a smaller number of steps and a lower cost than the dyeing method and the pigment dispersion method in which pixels are formed by photolithography one by one. There is a drawback in that bleeding and color mixing of pixels in the area cannot be avoided and the quality of the color filter is inferior.

【0005】低コストでなおかつ高品質なカラーフィル
タを得るためには、印刷法やインクジェット法において
何らかの手段でインキの滲みや混色を防ぐことが必須で
ある。特開平4-123005、特開平4-126006、特開平4-1230
07、特開平4-151604、特開平4-195102号公報では、イン
キ反発性の仕切りを用いインキの拡がりを押さえる技術
が開示されている。また、本発明者らは、特願平5-1827
60、特願平5-182761、特願平5-182762、特願平5-182763
号において、これらの技術の改良を提案した。しかしな
がら、該技術では仕切り柵がトップコート剤に対する反
発性を有するため、トップコート塗布で十分な平坦性が
得られないという問題がある。
In order to obtain a high-quality color filter at a low cost, it is essential to prevent ink bleeding and color mixing by some means in the printing method or the inkjet method. JP-A-4-123005, JP-A-4-126006, JP-A-4-1230
07, JP-A-4-151604, and JP-A-4-195102 disclose a technique of suppressing the spread of ink by using an ink-repellent partition. Further, the present inventors have filed Japanese Patent Application No. 5-1827
60, Japanese Patent Application 5-182761, Japanese Patent Application 5-182762, Japanese Patent Application 5-182763
In the issue, we proposed improvements to these techniques. However, in this technique, since the partition fence has resilience against the top coat agent, there is a problem that sufficient flatness cannot be obtained by applying the top coat agent.

【0006】また、フォトリソグラフィで画素を作成す
る場合にはインキ反発性のブラックマトリクスを用いる
ことによりブラックマトリクスの上に段差がない、精度
の良い画素パターンの形成が可能である。特開平5-1730
15、特公平5-69201 号公報ではブラックマトリクスおよ
び/または画素部分の表面を撥水撥油化する技術が開示
されている。しかしながら、該技術では該ブラックマト
リクスおよび/または画素部分がトップコート剤に対す
る反発性を有するため、トップコート塗布で十分な平坦
性が得られないという問題がある。
When a pixel is formed by photolithography, an ink-repellent black matrix is used, so that it is possible to form an accurate pixel pattern having no step on the black matrix. Japanese Patent Laid-Open No. 5-1730
15, Japanese Patent Publication No. 5-69201 discloses a technique for rendering the surface of the black matrix and / or the pixel portion water and oil repellent. However, in this technique, the black matrix and / or the pixel portion has a resilience against the top coat agent, so that there is a problem that sufficient flatness cannot be obtained by applying the top coat.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の諸欠点に鑑み創案されたもので、その目的とする
ところは、インキ反発性のブラックマトリクスを使用
し、かつ十分な平坦性を持つことを特徴とした、表示品
質が高く、低コストな液晶表示素子用カラーフィルタを
製造する方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention was devised in view of the above-mentioned drawbacks of the prior art. The object of the present invention is to use an ink-repellent black matrix and to obtain sufficient flatness. Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter for a liquid crystal display device, which has a high display quality and is low in cost.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
透明基板上の所定位置に、複数色の画素および、該画素
の間隙にブラックマトリクスが形成されたカラーフィル
タの製造方法において、ブラックマトリクスおよび画素
をいずれかの表面が撥水・撥油性を有するように形成し
た後に、該撥水・撥油性をなくす基板処理の工程を含む
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法によって達
成される。
The object of the present invention is as follows.
In a method for manufacturing a color filter in which pixels of a plurality of colors are formed at predetermined positions on a transparent substrate and a black matrix is formed in the gaps between the pixels, one of the surfaces of the black matrix and the pixels has water and oil repellency. And a substrate treatment step of eliminating the water / oil repellency after the formation.

【0009】本発明の特徴は、透明基板上にブラックマ
トリクスおよび画素をいずれかの表面が撥水・撥油性を
有するように形成した後に、該撥水・撥油性をなくす基
板処理の工程を含むことにある。該基板処理はブラック
マトリクスまたは画素中の撥水・撥油性を有する成分
(以下、インキ反発成分という)を失活させることが目
的である。該インキ反発成分を失活させることにより、
トップコート剤に対する反発性をなくすことができるの
で、トップコートの塗布で十分な平坦性が得られる。し
たがって、カラーフィルタを平坦なものとすることがで
きるため、表示品質の優れたものとなる。また、トップ
コートを塗布しない場合にも、インキ反発成分が失活し
ており、モジュール中で液晶の配向を乱したり絶縁不良
などの悪影響を及ぼすことがないので、信頼性の高いカ
ラーフィルタを得ることができる。
A feature of the present invention includes a step of treating a substrate after forming a black matrix and pixels on a transparent substrate so that either surface has water repellency or oil repellency and then eliminating the water repellency or oil repellency. Especially. The purpose of the substrate treatment is to inactivate a water-repellent / oil-repellent component (hereinafter referred to as an ink repellent component) in the black matrix or pixels. By deactivating the ink repellent component,
Since the resilience to the top coat agent can be eliminated, sufficient flatness can be obtained by applying the top coat. Therefore, since the color filter can be made flat, the display quality is excellent. Even when the top coat is not applied, the ink repellent component is deactivated and does not disturb the alignment of the liquid crystal in the module or cause adverse effects such as insulation failure. Obtainable.

【0010】該基板処理の方法としては加熱によるも
の、溶剤によってインキ反発成分を溶出させることで、
撥水・撥油性をなくするものなどがあるがこれらに限定
されるものではない。加熱はインキ反発成分の5重量部
が分解する熱分解温度以上で好ましくは1時間以上行な
うことが有効であるがこの方法に限られるものではな
い。溶剤処理では、処理溶剤に対してブラックマトリク
スおよび画素が耐性を持ち、かつインキ反発成分は可溶
である溶剤を用い、該溶剤中にカラーフィルタを浸漬す
る方法が有効であるがこれに限られるものではない。溶
剤としてはエタノール、イソプロパノールが有効である
が、これに限られるものではない。
The method for treating the substrate is by heating, and by eluting the ink-repellent component with a solvent,
There is a material that loses water / oil repellency, but the material is not limited to these. It is effective that the heating is carried out at a thermal decomposition temperature at which 5 parts by weight of the ink repellent component is decomposed or higher, preferably for 1 hour or more, but it is not limited to this method. In the solvent treatment, a method in which a black matrix and pixels have resistance to a treatment solvent and an ink repellent component is soluble and a color filter is immersed in the solvent is effective, but is not limited to this. Not a thing. Although ethanol and isopropanol are effective as the solvent, the solvent is not limited to them.

【0011】ブラックマトリクスおよび画素を形成する
方法は特に限定されないが、インキ反発性樹脂組成物を
用いて表面が撥水・撥油性を有するブラックマトリクス
を形成し、その撥水・撥油性を利用して該ブラックマト
リクスの間隙に画素を形成することが好ましい。具体的
には、特に印刷法やインクジェット法での画素形成工程
においてインキ滲みや混色を確実に防止するため、ブラ
ックマトリクスの表面が画素形成時に画素を形成するた
めの青色インキに対して20°以上の後退接触角をもつ
インキ反発性を有することが好ましい。
The method for forming the black matrix and pixels is not particularly limited, but a black matrix having a water-repellent / oil-repellent surface is formed using an ink repellent resin composition, and the water-repellent / oil-repellent property is utilized. Pixels are preferably formed in the gaps of the black matrix. Specifically, in order to surely prevent ink bleeding and color mixture in the pixel forming process by a printing method or an inkjet method, the surface of the black matrix is 20 ° or more with respect to the blue ink for forming pixels during pixel formation. It is preferable to have ink repulsion with a receding contact angle of.

【0012】そのようなブラックマトリクスを形成する
には、インキ反発成分を含む黒色樹脂として感光性を
有するものを用い、パターン露光・現像する方法、透
明基板上にインキ反発成分を含む黒色樹脂を塗布した
後、その上に感光性樹脂を積層してパターン露光・現像
し、得られた感光性樹脂のパターンをマスクとして該黒
色樹脂をエッチングしておこなう方法、透明基板上に
黒色樹脂を塗布した後、インキ反発成分を含む感光性樹
脂を積層してパターン露光・現像し、得られた感光性樹
脂のパターンをマスクとして黒色樹脂をエッチングして
おこなう方法などがあるが、これらに限定されない。
、による場合は、ブラックマトリクスは黒色でかつ
インキ反発性を有する1層構造からなり、による場合
は、黒色の層の上にインキ反発性を有する層が積層され
た二層構造となる。
In order to form such a black matrix, a photosensitive black resin containing an ink repellent component is used, a method of pattern exposure and development, and a black resin containing an ink repellent component is applied onto a transparent substrate. After that, a photosensitive resin is laminated thereon, pattern exposure and development are performed, and the black resin is etched by using the obtained photosensitive resin pattern as a mask. After applying the black resin on the transparent substrate. However, the present invention is not limited to these methods, in which a photosensitive resin containing an ink repellent component is laminated, pattern exposure and development are performed, and the black resin is etched by using the obtained photosensitive resin pattern as a mask.
In the case of, the black matrix has a single layer structure which is black and has an ink repellent property, and in the case of, the black matrix has a two layer structure in which a layer having an ink repellent property is laminated on a black layer.

【0013】着色インキに対し20°以上の後退接触角
を有するインキ反発性のブラックマトリクスを用いる重
要な効果は、これらのインキ反発成分の撥水・撥油性を
利用して、黒色樹脂を除去した部分以外(仕切り柵)へ
のインキの付着や滲みだしを防止し、印刷時の印刷ブレ
や滲みによる精度の低下を抑制し、また、インクジェッ
ト法でインキを付着させる場合には、他の領域への滲み
だしや隣接する色との混色を防止して、各色部分の独立
性を高度に保持することにある。後退接触角が20°以
下の場合には該樹脂ブラックマトリクスの上記効果が得
られにくい。インクジェット法においてインキが仕切り
柵に付着すると、非付着部分との間にインキの膜厚ムラ
が生じ、画素部分の色ムラを生じる。
An important effect of using an ink-repellent black matrix having a receding contact angle of 20 ° or more with a colored ink is that the black resin is removed by utilizing the water / oil repellency of these ink-repellent components. Prevents ink from adhering to or exuding parts other than the part (partition fence), suppressing the deterioration of accuracy due to print blur and bleeding during printing, and when applying ink by the inkjet method, to other areas. This is to prevent the bleeding of the color and the color mixture with the adjacent color to maintain a high degree of independence of each color part. When the receding contact angle is 20 ° or less, it is difficult to obtain the above effects of the resin black matrix. When the ink adheres to the partition fence in the inkjet method, unevenness in the ink film thickness occurs between the ink and the non-adhered portion, resulting in uneven color in the pixel portion.

【0014】インキ反発成分としては、画素を形成する
インキに対する優れた反発性を得るために、極めて低い
表面エネルギーのものが望ましく、そのような低表面エ
ネルギー物質としては、含フッ素化合物、含ケイ素化合
物などが有効であるが、それらに限定されるものではな
い。
The ink repellent component preferably has an extremely low surface energy in order to obtain excellent resilience to the ink for forming pixels. Such low surface energy substances include fluorine-containing compounds and silicon-containing compounds. Are effective, but are not limited thereto.

【0015】含フッ素化合物としては、含フッ素基と、
親水基および/または親油基の両方を有するモノマまた
はオリゴマ、フッ素原子を有する高分子化合物などがあ
る。
The fluorine-containing compound includes a fluorine-containing group,
Examples thereof include monomers or oligomers having both a hydrophilic group and / or a lipophilic group, and polymer compounds having a fluorine atom.

【0016】含フッ素基と、親水基および/または親和
基の両方を有するモノマまたはオリゴマとしては、例え
ば一般式(1)〜(6)で表されるものがあるが、特に
これらに限定されるものではない。これらの中では、一
般式(3)および(5)で表されるものが特に好まし
い。
Examples of monomers or oligomers having both a fluorine-containing group and a hydrophilic group and / or an affinity group include those represented by the general formulas (1) to (6), but are not particularly limited thereto. Not a thing. Among these, those represented by the general formulas (3) and (5) are particularly preferable.

【0017】[0017]

【化1】 フッ素原子を有する高分子化合物は、ブラックマトリク
ス(ブラックマトリクスが2層の場合、上層のインキ反
発成分を含有する層をさす)中に溶解してまたは分子オ
ーダーで混合して使用すること、あるいはブラックマト
リクス中に微粒子として分散して使用することのいずれ
も可能である。ブラックマトリクス中に溶解してまたは
分子オーダーで混合して使用するものとしては例えばポ
リフッ化ビニリデン、フルオロオレフィンビニルエーテ
ル系共重合体、3フッ化エチレン−フッ化ビニリデン共
重合体等があり、微粒子として分散して使用するものと
してはポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロエチ
レンプロピレン樹脂、パーフルオロアルコキシ樹脂等が
挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
[Chemical 1] The polymer compound having a fluorine atom may be used by dissolving it in a black matrix (in the case where the black matrix has two layers, it means the layer containing the ink repellent component of the upper layer) or by mixing it in the molecular order. Both can be used by dispersing them as fine particles in a matrix. Examples of the one to be dissolved in the black matrix or mixed in the molecular order include polyvinylidene fluoride, fluoroolefin vinyl ether copolymer, trifluoroethylene-vinylidene fluoride copolymer, etc., which are dispersed as fine particles. Examples of the resin to be used include polytetrafluoroethylene, perfluoroethylene propylene resin, perfluoroalkoxy resin and the like, but are not particularly limited thereto.

【0018】含ケイ素組成物としては、一般式(7)で
表される繰り返し単位をもつポリオルガノシルセスキオ
キサンを主成分とするシリコーン微粒子をブラックマト
リクス中に分散して用いることが有効である。
As the silicon-containing composition, it is effective to use silicone fine particles containing polyorganosilsesquioxane having a repeating unit represented by the general formula (7) as a main component dispersed in a black matrix. .

【0019】[0019]

【化2】 これらの含フッ素化合物、含ケイ素化合物は、単独また
は二種以上併用して用いることができる。また、その他
のインキ反発成分と併用してもよい。
[Chemical 2] These fluorine-containing compounds and silicon-containing compounds can be used alone or in combination of two or more. It may also be used in combination with other ink repellent components.

【0020】ブラックマトリクスを形成する樹脂として
は前述のように感光性樹脂を用いる場合、または非感光
性樹脂を用いる場合が考えられるが、いずれの場合も耐
熱性、耐薬品性に優れたものが望ましい。
As the resin forming the black matrix, it is conceivable to use a photosensitive resin or a non-photosensitive resin as described above. In either case, a resin excellent in heat resistance and chemical resistance is used. desirable.

【0021】耐熱性・耐薬品性に優れた樹脂としては、
高度に架橋した樹脂、例えば、熱硬化性アクリル樹脂、
メラミン樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂等、あるいは梯子状構造を持つもの、例
えばポリイミド樹脂などが挙げられるが、これらに限定
されるものではない。
As a resin having excellent heat resistance and chemical resistance,
Highly crosslinked resins, such as thermosetting acrylics,
Examples thereof include, but are not limited to, melamine resin, epoxy resin, alkyd resin, unsaturated polyester resin and the like, or those having a ladder structure, such as polyimide resin.

【0022】熱硬化性アクリル樹脂としては、アクリル
酸、メタクリル酸またはこれらのエステル化物に、スチ
レン、ビニルトルエン、酢酸ビニル、アクリロニトリル
などを共重合したもの、すなわち一般にアクリル樹脂と
呼ばれるものに、硬化剤としてイソシアネート化合物、
メラミン樹脂、エポキシ樹脂を用いるもの、または上記
のアクリル樹脂にN−メチロールアクリルアミド、アル
コキシ−N−メチロールアクリルアミド等のような官能
性モノマを共重合したものなどが挙げられる。
Examples of the thermosetting acrylic resin include acrylic acid, methacrylic acid, or esterified products thereof, which are obtained by copolymerizing styrene, vinyltoluene, vinyl acetate, acrylonitrile, etc., that is, what is generally called an acrylic resin, and a curing agent. As an isocyanate compound,
Examples thereof include those using melamine resin and epoxy resin, and those obtained by copolymerizing the above acrylic resin with a functional monomer such as N-methylolacrylamide, alkoxy-N-methylolacrylamide and the like.

【0023】メラミン樹脂としては、アミノ基(−NH
2 )の水素が1〜6個メチロール化されたメラミンや、
その数量体からなる水溶性メラミン樹脂、例えば住友化
学(株)“スミテックスレジン”、あるいはメチロール
基をC1〜C4の脂肪族アルコールでエステル化したメ
ラミンや、その数量体からなる油溶性メラミン樹脂、例
えば大日本インキ化学工業(株)“スーパーベッカミ
ン”、あるいはポリエステル樹脂、アクリル樹脂をメラ
ミン樹脂で架橋したものなどが挙げられる。
As the melamine resin, an amino group (-NH
2 ) Melamine with 1 to 6 hydrogenated hydrogen,
A water-soluble melamine resin consisting of the quantified product, for example, "Sumitex Resin" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., or a melamine obtained by esterifying a methylol group with a C1 to C4 aliphatic alcohol, and an oil-soluble melamine resin composed of the quantified product, For example, "Super Beckamine" manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., or polyester resin or acrylic resin crosslinked with melamine resin can be used.

【0024】エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA
とエピクロロヒドリンの反応で得られるオリゴマまたは
ポリマであるビスフェノールA型エポキシ樹脂、例えば
三井石油化学(株)“エポミック”R140、あるい
は、ノボラック樹脂とエピクロロヒドリンの反応で得ら
れるノボラック型エポキシ樹脂、例えばダウケミカル日
本(株)“DEN”431、あるいはテトラブロモビス
フェノールAまたは臭素化フェノールノボラックとエピ
クロロヒドリンの反応で得られるオリゴマまたはポリマ
である臭素化エポキシ樹脂、例えば日本化薬(株)“B
REN”、あるいはカルボン酸とエピクロロヒドリンの
グリシジルアミン型エポキシ樹脂、例えば三井石油化学
(株)“エポミック”R508、あるいはアミン類およ
び/またはアミノフェノール類とエピクロロヒドリンの
グリシジルアミン型エポキシ樹脂、例えば住友化学
(株)“SUMI−EPOXY”ELM−120等、あ
るいは2重結合を持つ脂環式化合物を過酸で酸化して得
られる脂環族エポキシ樹脂、例えばCIBA社の“Ar
aldite”CY179等が挙げられる。
The epoxy resin is bisphenol A.
Bisphenol A type epoxy resin, which is an oligomer or polymer obtained by the reaction of chlorophenol with epichlorohydrin, such as "Epomic" R140 of Mitsui Petrochemical Co., Ltd., or novolac type epoxy obtained by the reaction of novolac resin and epichlorohydrin Resins such as "DEN" 431 of Dow Chemical Japan Co., Ltd., or brominated epoxy resins which are oligomers or polymers obtained by the reaction of tetrabromobisphenol A or brominated phenol novolac with epichlorohydrin, such as Nippon Kayaku Co., Ltd. ) "B
REN "or glycidylamine type epoxy resin of carboxylic acid and epichlorohydrin, for example," Epomic "R508 of Mitsui Petrochemical Co., Ltd. or glycidylamine type epoxy resin of amines and / or aminophenols and epichlorohydrin For example, "SUMI-EPOXY" ELM-120 of Sumitomo Chemical Co., Ltd., or an alicyclic epoxy resin obtained by oxidizing an alicyclic compound having a double bond with peracid, for example, "Ar of CIBA"
and “Aldite” CY179 and the like.

【0025】アルキド樹脂としては、脂肪酸と多塩基
酸、多価アルコールからなる脂肪酸変性アルキド樹脂、
あるいは脂肪酸を含まないオイルフリーアルキド樹脂が
あり、不飽和脂肪酸のラジカル開始剤により架橋するも
の、あるいはポリイソシアナート、またはメラミンによ
る架橋によって硬化するものなどが挙げられる。
As the alkyd resin, a fatty acid-modified alkyd resin comprising a fatty acid, a polybasic acid and a polyhydric alcohol,
Alternatively, there is an oil-free alkyd resin containing no fatty acid, and examples thereof include those which are crosslinked by a radical initiator of unsaturated fatty acids, and those which are cured by crosslinking with polyisocyanate or melamine.

【0026】不飽和ポリエステル樹脂としては、無水マ
レイン酸等の不飽和2塩基酸またはその誘導体と多価ア
ルコールからなるポリエステルを液状ビニルモノマに溶
解したもの、あるいはエポキシ樹脂にアクリル酸やメタ
クリル酸などの不飽和1塩基酸を付加した化合物を液状
ビニルモノマーに溶解したもの(ビニルエステル樹脂)
などが挙げられる。
As the unsaturated polyester resin, a polyester obtained by dissolving an unsaturated dibasic acid such as maleic anhydride or a derivative thereof and a polyhydric alcohol in a liquid vinyl monomer, or an epoxy resin containing acrylic acid or methacrylic acid Compound in which saturated monobasic acid is added dissolved in liquid vinyl monomer (vinyl ester resin)
And so on.

【0027】ポリイミド樹脂としては、テトラカルボン
酸2無水物とジアミンの重縮合で得られる重縮合型ポリ
イミド、例えば東レ(株)“セミコファイン”、または
マレイミドやビスマレイミドの付加重合で得られるも
の、例えばTechnochemie社“Compim
id”751などが挙げられる。
As the polyimide resin, a polycondensation type polyimide obtained by polycondensation of tetracarboxylic dianhydride and diamine, for example, "Semicofine" manufactured by Toray Industries, Inc., or one obtained by addition polymerization of maleimide or bismaleimide, For example, "Compim" by Technochemie.
id "751 and the like.

【0028】感光性樹脂で耐熱性・耐薬品性に優れた樹
脂としては、光架橋性アクリル樹脂、感光性ポリイミ
ド、ナフトキノンジアジドを感光基として含むノボラッ
ク樹脂などが挙げられるがこれらに限定されるものでは
ない。
Examples of the photosensitive resin having excellent heat resistance and chemical resistance include, but are not limited to, photocrosslinkable acrylic resin, photosensitive polyimide, and novolac resin containing naphthoquinonediazide as a photosensitive group. is not.

【0029】光架橋性アクリル樹脂としては、アクリル
樹脂に多官能アクリレートやモノマやオリゴマ、および
光開始剤を添加した光硬化型アクリル樹脂が挙げられ
る。
Examples of the photocrosslinkable acrylic resin include a photocurable acrylic resin obtained by adding a polyfunctional acrylate, a monomer or an oligomer, and a photoinitiator to the acrylic resin.

【0030】感光性ポリイミドのうち、光硬化性ポリイ
ミドとしては、テトラカルボン酸とジアミンを組み合わ
せて双極性非プロトン性溶剤中で一般的に製造されるポ
リイミド前駆体のワニスにメタクリル基などの感光基を
有しているアミノ化合物を混合したもの(例えば特公昭
59−52822号公報)、光により2量化または重合
可能な基をエステル結合で導入したもの(例えば米国特
許−3957512号明細書)、N−メチロールアクリ
ドアミド化合物をポリイミド前駆体のワニスに混合した
もの(例えば高分子学会予稿集p807、1990
年)、あるいはアクリルモノマーをポリイミド前駆体の
ワニスに混合したもの(例えば特開平2−50161号
公報)などが挙げられる。
Among the photosensitive polyimides, as the photocurable polyimide, a polyimide precursor varnish generally produced in a dipolar aprotic solvent by combining a tetracarboxylic acid and a diamine is used as a photosensitive group such as a methacryl group. A mixture of amino compounds having a group (for example, Japanese Patent Publication No. 59-52822), a group in which a dimerizable or photopolymerizable group is introduced by an ester bond by light (for example, US Pat. No. 3,957,512), N -A mixture of a methylol acridamide compound and a varnish of a polyimide precursor (for example, Proceedings of the Polymer Society of Japan, p807, 1990).
Year) or a mixture of a polyimide precursor varnish with an acrylic monomer (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2-50161).

【0031】感光性ポリイミドのうち、光可溶性ポリイ
ミドとしては、ポリアミド酸に光分解性の感光基をエス
テル結合で導入したもの(例えば特開平1−61747
号公報)、ポリアミド酸にナフトキノンジアジド化合物
を添加したもの(例えば高分子学会予稿集40巻3号8
21(1991))などが挙げられる。
Among the photosensitive polyimides, as the photo-soluble polyimide, a polyamic acid into which a photodegradable photosensitive group is introduced through an ester bond (for example, JP-A-1-61747).
), A polyamic acid to which a naphthoquinonediazide compound is added (for example, Proceedings of the Polymer Society of Japan, Vol. 40, No. 3, 8).
21 (1991)) and the like.

【0032】ナフトキノンジアジド誘導体を感光基とし
て含有するノボラック樹脂としては、例えばポリヒドロ
キシベンゾフェノンとo−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸のエステルをクレゾールノボラック樹脂に混合した
もの、あるいはフェノールノボラック樹脂のナフトキノ
ン−1,2−ジアジド−5−スルホン酸エステルなどが
挙げられる。
Examples of the novolak resin containing a naphthoquinonediazide derivative as a photosensitive group include, for example, a mixture of polyhydroxybenzophenone and an ester of o-naphthoquinonediazide sulfonic acid in a cresol novolac resin, or a naphthoquinone-1,2-phenol phenol novolac resin. Examples thereof include diazide-5-sulfonic acid ester.

【0033】ブラックマトリクスに含まれる着色成分と
しては、高い遮光性が得られることが望ましく、また現
像あるいはエッチングによる黒色樹脂層のパターニング
性を損なわないために粒径が1μm以下の微粒子である
ことが望ましく、より好ましくは0.1μm以下のもの
が望ましい。遮光性の高い微粒子としては例えばカーボ
ンブラック、顔料、染料、およびTi、Cr、Niなど
の金属酸化物の微粒子などが挙げられるが、これらに限
定されるものではない。
As the coloring component contained in the black matrix, it is desirable to obtain a high light-shielding property, and in order not to impair the patterning property of the black resin layer by development or etching, it is fine particles having a particle size of 1 μm or less. Desirably, more preferably 0.1 μm or less. Examples of the fine particles having a high light-shielding property include, but are not limited to, carbon black, pigments, dyes, and fine particles of metal oxides such as Ti, Cr, and Ni.

【0034】ブラックマトリクスの厚さは通常0.05
〜30μmであることが好ましく、塗布性、パターン解
像度、光学濃度(OD値)などから最適値を決めること
ができる。OD値は0.5〜4の範囲で可能であるが、
本発明の目的から2.0以上が好ましい 本発明のカラーフィルタは、例えば、次の様にして作製
できる。まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要
に応じて接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディ
ップ法、ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなど
の回転塗布装置を用い、インキ反発性黒色感光性樹脂層
を構成する組成物溶液を塗布・乾燥および必要に応じて
キュアして黒色感光性樹脂層を形成する。次に写真化学
的手法、いわゆるフォトリソグラフィの方法により、ケ
ミカル灯、高圧水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタ
ルハライドランブなどのランプを用いて、所定のパター
ンのマスクを介して露光し、現像することで、非硬化部
の黒色感光性樹脂層を除去して、インキ反発性ブラック
マトリクスは形成される。黒色樹脂層の除去された部分
のサイズの相互の比率と形状は、露光に用いるマスクの
調整によって自由に変更することが可能である。
The thickness of the black matrix is usually 0.05.
It is preferably ˜30 μm, and the optimum value can be determined from coating properties, pattern resolution, optical density (OD value) and the like. The OD value can be in the range of 0.5 to 4,
For the purpose of the present invention, 2.0 or more is preferable, and the color filter of the present invention can be produced, for example, as follows. First, after forming a transparent thin film as an adhesive layer on a polished / washed glass substrate, if necessary, use the dip method, coaters such as rollers, spin coating equipment such as whalers and spinners to repel ink. The composition solution that forms the black photosensitive resin layer is applied, dried, and cured if necessary to form a black photosensitive resin layer. Next, by a photochemical method, a so-called photolithography method, using a lamp such as a chemical lamp, a high-pressure mercury lamp, a mercury xenon lamp, and a metal halide lamp, by exposing through a mask of a predetermined pattern and developing, The black photosensitive resin layer in the uncured portion is removed to form the ink repellent black matrix. The mutual ratio and size of the removed portions of the black resin layer can be freely changed by adjusting the mask used for exposure.

【0035】インキ反発性ブラックマトリクスを形成す
るには、あるいは次のような手段をとることもできる。
まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要に応じて
接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディップ法、
ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなどの回転塗
布装置を用い、インキ反発性黒色樹脂層を構成する組成
物溶液を塗布・乾燥および必要に応じてキュアしてイン
キ反発性黒色樹脂層を形成する。さらにその上に、ディ
ップ法、ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなど
の回転塗布装置を用い、感光性樹脂層を構成する組成物
溶液を塗布・乾燥する。次に写真化学的手法、いわゆる
フォトリソグラフィの方法により、ケミカル灯、高圧水
銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドランブ
などのランプを用いて、所定のパターンのマスクを介し
て露光を行う。その後、感光性樹脂層の現像液で現像す
ることで、感光性樹脂層を所定のパターンに除去する。
インキ反発性黒色樹脂として感光性樹脂現像液に溶解す
るものを選んだ場合、感光性樹脂の現像と同時にインキ
反発性黒色樹脂層にエッチングを施すことができ、所定
のパターンにインキ反発性黒色樹脂を除去することがで
きる。インキ反発性黒色樹脂が感光性樹脂の現像液に溶
解しない場合は、得られた感光性樹脂層のパターンをマ
スクとしてインキ反発性黒色樹脂が溶解するエッチング
液を用いてエッチングし、その後、感光性樹脂層を剥離
することにより所定の形状にインキ反発性黒色樹脂層の
除去されたパターン、すなわちインキ反発性を有するブ
ラックマトリクスを得ることができる。
In order to form an ink-repellent black matrix, the following means can be used.
First, after forming a transparent thin film as an adhesive layer on the polished and washed glass substrate as necessary, the dipping method,
An ink repellent black resin layer is formed by applying and drying a composition solution forming the ink repellent black resin layer and curing it as necessary using a coater such as a roller, a whaler, and a spin coater such as a spinner. . Furthermore, a dip method, a coater such as a roller, a spin coating device such as a whaler or a spinner is used to coat and dry the composition solution constituting the photosensitive resin layer. Next, exposure is performed through a mask having a predetermined pattern using a lamp such as a chemical lamp, a high pressure mercury lamp, a mercury xenon lamp, and a metal halide lamp by a photochemical method, so-called photolithography method. Then, the photosensitive resin layer is developed with a developing solution to remove the photosensitive resin layer into a predetermined pattern.
When a resin that dissolves in a photosensitive resin developer is selected as the ink-repellent black resin, the ink-repellent black resin layer can be etched simultaneously with the development of the photosensitive resin, and the ink-repellent black resin can be formed into a predetermined pattern. Can be removed. If the ink-repellent black resin does not dissolve in the photosensitive resin developer, use the resulting pattern of the photosensitive resin layer as a mask to etch with an ink-repellent black resin-soluble etchant, and then remove the photosensitive By removing the resin layer, it is possible to obtain a pattern in which the ink-repellent black resin layer is removed in a predetermined shape, that is, a black matrix having ink-repellent property.

【0036】インキ反発性ブラックマトリクスを形成す
るには、あるいは次のような手段をとることもできる。
まず、研磨・洗浄されたガラス基板の上に必要に応じて
接着剤層となる透明薄膜を形成したのち、ディップ法、
ローラ等のコータ類、ホエラー、スピナーなどの回転塗
布装置を用い、黒色樹脂層を構成する組成物溶液を塗布
・乾燥および必要に応じてキュアして黒色樹脂層を形成
する。さらにその上に、ディップ法、ローラ等のコータ
類、ホエラー、スピナーなどの回転塗布装置を用い、イ
ンキ反発成分を含有する感光性樹脂層を構成する組成物
溶液を塗布・乾燥する。次に写真化学的手法、いわゆる
フォトリソグラフィの方法により、ケミカル灯、高圧水
銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドランブ
などのランプを用いて、所定のパターンのマスクを介し
て露光を行う。その後、感光性樹脂層の現像液で現像す
ることで、感光性樹脂層を所定のパターンに除去する。
黒色樹脂層として感光性樹脂現像液に溶解するものを選
んだ場合、感光性樹脂の現像と同時に黒色樹脂層にエッ
チングを施すことができ、所定のパターンに黒色樹脂を
除去することができる。黒色樹脂が感光性樹脂の現像液
に溶解しない場合は、得られた感光性樹脂層のパターン
をマスクとして黒色樹脂が溶解するエッチング液を用い
てエッチングし、インキ反発性を有するブラックマトリ
クスを得ることができる。
In order to form an ink-repellent black matrix, the following means can be used.
First, after forming a transparent thin film as an adhesive layer on the polished and washed glass substrate as necessary, the dipping method,
Using a coater such as a roller, a whaler, a spin coater such as a spinner, a composition solution forming the black resin layer is applied, dried, and cured as necessary to form a black resin layer. Further, using a dipping method, a coater such as a roller, a whaler, a spin coater such as a spinner, a composition solution that forms a photosensitive resin layer containing an ink repellent component is applied and dried. Next, exposure is performed through a mask having a predetermined pattern using a lamp such as a chemical lamp, a high pressure mercury lamp, a mercury xenon lamp, and a metal halide lamp by a photochemical method, so-called photolithography method. Then, the photosensitive resin layer is developed with a developing solution to remove the photosensitive resin layer into a predetermined pattern.
When the black resin layer that is soluble in the photosensitive resin developer is selected, the black resin layer can be etched simultaneously with the development of the photosensitive resin, and the black resin can be removed in a predetermined pattern. If the black resin does not dissolve in the developing solution of the photosensitive resin, use the resulting photosensitive resin layer pattern as a mask to etch with an etching solution that dissolves the black resin to obtain a black matrix having ink repulsion. You can

【0037】本発明は、主に液晶表示素子のためのカラ
ーフィルタの提供を目的にしている。カラーフィルタの
各画素のサイズは100μm前後であり、各画素間に設
けられる遮光用ブラックマトリクスの線幅は20μm前
後である。これらの画素は、線状に配置されたいわゆる
ストライブタイプであったり、ブラックマトリクスに周
りを囲まれた着色部が格子状に配置される場合もある。
これらのインキ反発性ブラックマトリクスで細分された
部位に、印刷法、インクジェット法、フォトリソグラフ
ィー法などで着色インキ等の着色剤あるいはその部位を
染色するための染色成分を供給して赤、緑、青の三原色
に着色し、画素を形成する。インキ反発性ブラックマト
リクスの表面の撥水・撥油性をなくす基板処理を加熱あ
るいは洗浄などによって行なった後、必要に応じてトッ
プコート剤塗布、熱硬化を行ないカラーフィルタ提供の
目的を達成するものである。
The present invention is mainly intended to provide a color filter for a liquid crystal display device. The size of each pixel of the color filter is about 100 μm, and the line width of the light-shielding black matrix provided between each pixel is about 20 μm. These pixels may be a so-called stripe type in which they are arranged in a line, or a colored portion surrounded by a black matrix may be arranged in a grid.
Red, green, and blue are supplied to the areas subdivided by these ink-repellent black matrices by supplying a coloring agent such as a coloring ink by a printing method, an inkjet method, a photolithography method, or a dyeing component for dyeing the area. The three primary colors are formed to form pixels. To achieve the purpose of providing a color filter by subjecting the surface of the ink-repellent black matrix to water- and oil-repellency-free treatment to a substrate by heating or washing, and then applying a top coat agent and heat curing as necessary. is there.

【0038】印刷法によって着色する場合は、水なし平
版を用いた平型オフセット印刷などが印刷精度の上で好
ましいが、勿論この方法に限定されるものではない。そ
れらの印刷法により、インキ反発性ブラックマトリクス
で仕切られた基板露出部を赤、緑、青の三原色のインキ
で着色する。
In the case of coloring by a printing method, planographic offset printing using a waterless planographic printing plate is preferable from the viewpoint of printing accuracy, but it is not limited to this method. By these printing methods, the exposed portion of the substrate partitioned by the ink-repellent black matrix is colored with the inks of the three primary colors of red, green and blue.

【0039】インクジェット法によって着色する場合
は、着色成分とバインダー樹脂を含む着色インキを用い
ることができる。着色成分としては、耐熱性、耐光性な
どに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バ
インダー樹脂としては、透明で、耐熱性に優れた樹脂が
好ましく、例えばメラミン樹脂や、アクリル系樹脂など
が挙げられるが、これらに限定されるものではない。こ
れらの成分を含むインキを、インクジェット装置を用い
て噴射し、インキ反発性ブラックマトリクスで仕切られ
た基板露出部を直接に着色する。
When coloring by the ink jet method, a coloring ink containing a coloring component and a binder resin can be used. As the coloring component, it is preferable to use pigments and dyes having excellent heat resistance and light resistance. The binder resin is preferably a transparent resin having excellent heat resistance, and examples thereof include a melamine resin and an acrylic resin, but the binder resin is not limited thereto. Ink containing these components is jetted using an inkjet device to directly color the exposed portion of the substrate partitioned by the ink-repellent black matrix.

【0040】インクジェット装置を用いて染料を含むイ
ンキを噴射し、該基板露出部分を染色しようとする場合
には、必要に応じて予め黒色樹脂層の下に可染性媒体を
塗布しておく。可染性媒体としては、用いる染料との親
和性の良好な材料を選択することが好ましい。酸性染料
を用いる場合は、例えば、既知の天然高分子材料である
コラーゲン、カゼイン、ゼラチンのほか、アミノ基や4
級アンモニウム塩を導入したアクリル系ポリマー、ポリ
ビニルアルコールなどの合成高分子材料が適用される。
用いる染料としては酸性染料に限定されるものではな
く、塩基性染料、直接染料、油溶性染料および反応性染
料などを用いることができる。その場合可染性媒体とし
ては、用いる染料が染着可能な基をもつものを選択する
ことが好ましい。これら可染性媒体上にインキ反発性の
ブラックマトリクスパターンを上記の方法で作成する。
その後インクジェット法によって染料成分を含むインキ
を、インキ反発性ブラックマトリクスで仕切られた可染
性媒体露出部に噴射することによって可染性媒体層を
赤、緑、青の三原色に染色する。
When an ink containing a dye is jetted by using an ink jet device to dye the exposed portion of the substrate, a dyeable medium is previously applied under the black resin layer if necessary. As the dyeable medium, it is preferable to select a material having a good affinity with the dye used. When an acid dye is used, for example, in addition to known natural polymer materials such as collagen, casein and gelatin, amino groups and 4
A synthetic polymer material such as an acrylic polymer and polyvinyl alcohol into which a quaternary ammonium salt is introduced is applied.
The dye used is not limited to an acid dye, but a basic dye, a direct dye, an oil-soluble dye, a reactive dye, or the like can be used. In that case, it is preferable to select, as the dyeable medium, one having a group capable of dyeing the dye used. An ink-repellent black matrix pattern is formed on these dyeable media by the above method.
Then, an ink containing a dye component is jetted onto the exposed portion of the dyeable medium partitioned by the ink repellent black matrix by an inkjet method to dye the dyeable medium layer into three primary colors of red, green and blue.

【0041】フォトリソグラフィー法によって着色する
場合は、感光性のカラーペーストを用いて、所定のパタ
ーンを形成する方法、非感光性のカラーペーストを塗布
した上にフォトレジストを塗布し、エッチングにより画
素を形成する方法があるが、これらの方法に限定される
ものではない。それらの方法によりインキ反発性ブラッ
クマトリクスで仕切られた基板露出部を赤、緑、青の三
原色に着色する。
In the case of coloring by the photolithography method, a method of forming a predetermined pattern by using a photosensitive color paste, a method of applying a non-photosensitive color paste and then applying a photoresist, and etching the pixel There are forming methods, but the present invention is not limited to these methods. By these methods, the exposed portion of the substrate partitioned by the ink-repellent black matrix is colored into the three primary colors of red, green and blue.

【0042】ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性
をなくす基板処理を加熱によって行う場合は、着色部の
硬化あるいは定着を行った後、これらの着色基板をイン
キ反発成分の分解、失活温度以上に加熱する。該基板処
理を洗浄によって行う場合は、着色部の硬化あるいは定
着を行った後、これらの着色基板を黒色樹脂および着色
部分は耐性をもち、インキ反発成分が可溶である溶剤に
浸漬洗浄後、乾燥する。
When the substrate treatment for eliminating the water and oil repellency of the surface of the black matrix is carried out by heating, the colored portion is cured or fixed and then these colored substrates are decomposed or deactivated at a temperature not lower than the deactivation temperature. Heat to. When the substrate treatment is performed by washing, after curing or fixing the colored portion, these colored substrates are immersed in a solvent in which the black resin and the colored portion have resistance, and the ink repellent component is soluble, and then washed. dry.

【0043】なお、本発明の透明基板としては、特に限
定されることなく、例えば、ガラス、プラスチックフィ
ルムまたはシートなどが好ましく用いられる。
The transparent substrate of the present invention is not particularly limited and, for example, glass, plastic film or sheet is preferably used.

【0044】透明基板上に必要に応じて形成される透明
薄膜は、黒色樹脂層および画素と透明基板の接着性を向
上するための接着剤層となるものであり、例えば、(N
−トリメトキシシリルプロピル)ポリエチレンイミンな
どのアミノアルキルアルコキシシラン誘導体を用いるこ
とができるが、これらに限定されるものではない。
The transparent thin film formed on the transparent substrate as necessary serves as a black resin layer and an adhesive layer for improving the adhesiveness between the pixel and the transparent substrate. For example, (N
Aminoalkylalkoxysilane derivatives such as -trimethoxysilylpropyl) polyethyleneimine can be used, but are not limited thereto.

【0045】トップコートは、画素部分の保護および平
坦化を目的として設けられる。トップコート剤は、溶剤
で粘度、固形分を調整された、シリカ系コーティング
剤、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン、ポリイ
ミド系などの耐熱性・耐薬品性に優れた透明な熱硬化性
樹脂が好ましく用いられるが、これらに限定されるもの
ではない。塗布は通常カラーフィルタ付きの全面基板に
スピンコートされるが、この方法に限られるものではな
い。
The top coat is provided for the purpose of protecting and flattening the pixel portion. The top coat agent is preferably a transparent thermosetting resin having excellent heat resistance and chemical resistance, such as silica-based coating agent, acrylic resin, epoxy resin, silicone, or polyimide-based agent, whose viscosity and solid content are adjusted by a solvent. It is used, but is not limited to these. The coating is usually spin-coated on the entire surface substrate with a color filter, but the method is not limited to this method.

【0046】[0046]

【実施例】以下に本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.

【0047】実施例1 (N−トリメトキシシルプロピル)ポリエチレンイミン
(PS076、チッソ(株)製)のエタノール0.2重
量%溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数1500rp
m、10秒で塗布した後、150℃で10分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、その上に以下の組成を
有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数5
00rpm、2秒、次いで1000rpm、10秒で塗
布した後、80℃で15分間プリベークを行った。
Example 1 A 0.2% by weight ethanol solution of (N-trimethoxysilpropyl) polyethyleneimine (PS076, manufactured by Chisso Corp.) was prepared as a primer solution. Spin on a glass substrate washed and dried with a spinner at 1500 rpm
m, applied for 10 seconds, and dried at 150 ° C. for 10 minutes to provide an adhesive layer. Then, a photocurable black photosensitive resin liquid having the following composition was spinned thereon with a spinner at a rotation speed of 5
After coating at 00 rpm for 2 seconds, then 1000 rpm for 10 seconds, prebaking was performed at 80 ° C. for 15 minutes.

【0048】 [黒色感光性樹脂液組成] スチレン/メチルメタクリレート/メタクリル酸(3:3:4(共重合比) )からなる3元アクリル共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させたポ リマ 8.35重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 3.00重量部 エポキシアクリレート 2.00重量部 “イルガキュア”369(チバガイギ社製) 0.59重量部 “イルガキュア”907(チバガイギ社製) 0.59重量部 トリチオホスフィト 0.39重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 4.03重量部 フッ素系界面活性剤“EFTOP”EF−123A−1 ((株)トーケムプロダクツ製) 0.70重量部 フッ素系界面活性剤“MEGAFAC”F−179 (大日本インキ化学工業(株)製) 3.50重量部 2−ブトキシエタノール 76.85重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
210mJ/cm2 露光した後2−アミノエタノール
0.125%水溶液で現像し、未露光部の黒色感光性樹
脂層を除去した。続いて150℃、30分の熱処理を行
い、厚さ1.5μmの層とした。以上の操作により、ガ
ラス基板上にインキ反発性の仕切り壁の機能を有する黒
色樹脂ブラックマトリクスが形成された。
[Black photosensitive resin liquid composition] Polymer 8.35 obtained by adding glycidyl methacrylate to a ternary acrylic copolymer composed of styrene / methyl methacrylate / methacrylic acid (3: 3: 4 (copolymerization ratio)). Parts by weight Trimethylolpropane triacrylate 3.00 parts by weight Epoxy acrylate 2.00 parts by weight "Irgacure" 369 (manufactured by Ciba-Gaigi) 0.59 parts by weight "Irgacure" 907 (manufactured by Ciba-Gaigi) 0.59 parts by weight Trithiophosphite 0.39 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 4.03 parts by weight Fluorine-based surfactant "EFTOP" EF-123A-1 (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) 0.70 parts by weight Fluorine-based Surfactant "MEGAFAC" F-179 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) .50 parts by weight of 2-butoxyethanol 76.85 parts by weight, and then vacuum contact a predetermined pattern mask, and developed with 2-aminoethanol 0.125% aqueous solution was 210 mJ / cm 2 exposure in the chemical lamp, unexposed portions The black photosensitive resin layer of was removed. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes to form a layer having a thickness of 1.5 μm. By the above operation, the black resin black matrix having the function of the ink-repellent partition wall was formed on the glass substrate.

【0049】赤、緑、青、各色のインキを下記の要領で
調合した。まず、赤色顔料としてPR177を5重量
部、界面活性剤“ニューコール”710F(日本乳化剤
(株)製)5重量部、水79重量部にガラスビーズを加
え、ホモジナイザーを用いて10時間撹拌し、顔料分散
液を作製した。上記分散液89重量部にメラミン樹脂
(住友化学(株)製“スミテックレジン”M−3)10
重量部、硬化剤(住友化学(株)製“スミテックスアク
セレレーター”ACX)1重量部を混合しカラーフィル
ター作製用赤インキを得た。緑インキ(顔料としてPG
36を使用)および、青インキ(顔料としてPB15を
使用)も同様の方法で調整した。
Inks of red, green, and blue were prepared in the following manner. First, 5 parts by weight of PR177 as a red pigment, 5 parts by weight of a surfactant "Newcol" 710F (manufactured by Nippon Emulsifier Co., Ltd.), and 79 parts by weight of water were added with glass beads, and stirred for 10 hours using a homogenizer. A pigment dispersion was prepared. Melamine resin (“Sumitec Resin” M-3, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was added to 89 parts by weight of the above dispersion liquid.
1 part by weight of a curing agent (“Sumitex Accelerator” ACX manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) was mixed to obtain a red ink for producing a color filter. Green ink (PG as pigment
36) and blue ink (using PB15 as a pigment) were prepared in the same manner.

【0050】上記インキ反発性ブラックマトリクスに対
する後退接触角は水に対して100.0°、上記赤イン
キ、緑インキ、青インキに対してそれぞれ50.0°、
50.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the ink repellent black matrix is 100.0 ° with respect to water, 50.0 ° with respect to the red ink, the green ink and the blue ink, respectively.
It was 50.0 ° and 20.0 °.

【0051】上記組成からなるインキを黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。
The ink having the above composition was jetted to the portions where the red, green and blue pixels were to be formed in the portion where the black resin layer was removed, by using an ink jet type ink jet device, and colored in each color.

【0052】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。
After being colored with these inks, the ink is stored at 150 ° C. for 20 minutes.
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes.

【0053】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。
The ink was suitable for ink jet and could be jetted well. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0054】基板を280℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂(“セミコフ
ァイン”sp900、東レ)のNメチルピロリドン30
wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で
10分乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。
After heat-treating the substrate at 280 ° C. for 1 hour to eliminate water and oil repellency of the surface of the black matrix, a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) N-methylpyrrolidone 30 was used as a top coat.
The wt% solution was applied with a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0055】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0056】比較例1 (N−トリメトキシシルプロピル)ポリエチレンイミン
(PS076、チッソ(株)製)のエタノール0.2重
量%溶液をプライマ液として準備する。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数1500rp
m、10秒で塗布した後、150℃で10分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、その上に実施例1記載
の組成を有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで
回転数500rpm、2秒、次いで1000rpm、1
0秒で塗布した後、80℃で、15分間プリベークを行
った。
Comparative Example 1 A 0.2% by weight ethanol solution of (N-trimethoxysilpropyl) polyethyleneimine (PS076, manufactured by Chisso Corporation) was prepared as a primer solution. Spin on a glass substrate washed and dried with a spinner at 1500 rpm
m, applied for 10 seconds, and dried at 150 ° C. for 10 minutes to provide an adhesive layer. Then, a photocurable black photosensitive resin liquid having the composition described in Example 1 was spun on the spinner at a rotation speed of 500 rpm for 2 seconds, and then 1000 rpm for 1 second.
After applying for 0 seconds, prebaking was performed at 80 ° C. for 15 minutes.

【0057】次に実施例1と同様の手順で露光、現像、
150℃30分の熱処理を行い、厚さ1.5μmの黒色
樹脂プラックマトリクスを得た。
Next, in the same procedure as in Example 1, exposure, development,
Heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes to obtain a black resin plaque matrix having a thickness of 1.5 μm.

【0058】上記組成からなるインキを、黒色樹脂層の
除去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分に
インクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それ
ぞれの色に着色した。
The ink having the above composition was jetted onto the portions of the portion where the black resin layer had been removed where red, green and blue pixels were to be formed, using an ink jet type ink jet device, and colored in each color.

【0059】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。
After coloring with these inks, at 20 ° C., 20
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes.

【0060】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。
The ink was suitable for ink jet and could be jetted well. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0061】基板上にトップコートとしてポリイミド樹
脂(“セミコファイン”sp900、東レ)のNメチル
ピロリドン30wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗
布後100℃で10分乾燥した後、280℃で1時間加
熱しイミド化反応を完了した。トップコートは黒色樹脂
ブラックマトリクス部分と画素部分で0.5μmの段差
が発生した。
A 30 wt% N-methylpyrrolidone solution of a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) was applied as a top coat on the substrate with a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The topcoat had a step difference of 0.5 μm between the black resin black matrix portion and the pixel portion.

【0062】実施例2 実施例1において、ガラス基板上にあらかじめ次の組成
よりなる水溶性感光材料をスピナーで塗布し、乾燥した
後210mJ/cm2 全面露光で架橋させて厚さ10μ
mの可染性媒体層を形成しておいた。
Example 2 In Example 1, a water-soluble photosensitive material having the following composition was previously coated on a glass substrate with a spinner, dried and then crosslinked by 210 mJ / cm 2 whole surface exposure to a thickness of 10 μm.
m dyeable medium layer has been formed.

【0063】 可染性媒体層の組成 低分子量ゼラチン(平均分子量20,000) 15重量部 重クロム酸アンモニウム 2重量部 水 85重量部 その後実施例1と同様の手順で黒色感光性樹脂塗布、乾
燥、露光、現像、熱処理を行い、インキ反発性黒色樹脂
ブラックマトリクスを形成した。
Composition of dyeable medium layer Low molecular weight gelatin (average molecular weight 20,000) 15 parts by weight Ammonium dichromate 2 parts by weight Water 85 parts by weight Then, black photosensitive resin was applied and dried by the same procedure as in Example 1. Exposure, development, and heat treatment were performed to form an ink-repellent black resin black matrix.

【0064】仕切り壁に囲まれた可染性媒体層に、次の
組成の酸性染料を含むインキ(酸性染料は、日本化薬の
レッド14P、グリーン1P、ブルー5Pを使用)をイ
ンクジェット装置で噴射して赤、青、緑に染色した。
An ink containing an acid dye having the following composition (acid dyes used are Nippon Kayaku's Red 14P, Green 1P, and Blue 5P) is jetted on the dyeable medium layer surrounded by the partition wall by an ink jet device. And dyed red, blue and green.

【0065】 インキ組成 酸性染料 3重量部 酢酸 10重量部 水 87重量部 上記黒色樹脂ブラックマトリクスに対する後退接触角は
水に対して100.0°、上記赤インキ、緑インキ、青
インキに対してそれぞれ56.0°、58.0°、3
0.0°であった。
Ink composition Acid dye 3 parts by weight Acetic acid 10 parts by weight Water 87 parts by weight Receding contact angle with respect to the black resin black matrix is 100.0 ° with respect to water, and with respect to the red ink, green ink and blue ink respectively 56.0 °, 58.0 °, 3
It was 0.0 °.

【0066】黒色樹脂ブラックマトリクスによるインキ
の反発は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見
られなかった。
Repulsion of the ink by the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0067】基板を280℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂(“セミコフ
ァイン”sp900、東レ)のNメチルピロリドン30
wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で
10分乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。
The substrate was heat-treated at 280 ° C. for 1 hour to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, and then N-methylpyrrolidone 30 of polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) was used as a top coat.
The wt% solution was applied with a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0068】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0069】実施例3 軟化点145℃のシクロペンタジエン系樹脂(日石化学
(株)製“日石ネオレジン”540)50重量部とアル
キッド樹脂5重量部、石油系溶剤(日本石油(株)製5
号ソルベント)45重量部を、窒素気流下に混合、加熱
昇温して200℃で1時間加熱撹拌してワニスAを得
た。このワニスA80重量部とフタロシアニンブルー2
0重量部を3本ロールで混練して青インキを得た。緑イ
ンキの場合はフタロシアニングリーン、赤インキの場合
はブリリアントカーミン6Bを使用して調整した。
Example 3 50 parts by weight of a cyclopentadiene resin having a softening point of 145 ° C. (“Nisseki Neo Resin” 540 manufactured by Nisseki Chemical Co., Ltd.), 5 parts by weight of an alkyd resin, and a petroleum solvent (manufactured by Nippon Oil Co., Ltd.) 5
No. solvent) (45 parts by weight) was mixed under a nitrogen stream, heated and heated to 200 ° C. for 1 hour with stirring to obtain a varnish A. 80 parts by weight of this varnish A and phthalocyanine blue 2
A blue ink was obtained by kneading 0 parts by weight with a triple roll. Phthalocyanine green was used for green ink, and Brilliant Carmine 6B was used for red ink.

【0070】実施例1において作成した、黒色樹脂ブラ
ックマトリクスに対する後退接触角は水に対して10
0.0°、上記赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ48.0°、48.0°、20.0°であっ
た。
The receding contact angle of the black resin black matrix prepared in Example 1 was 10 with respect to water.
0.0 °, and 48.0 °, 48.0 °, and 20.0 ° for the above red ink, green ink, and blue ink, respectively.

【0071】実施例1記載の、黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板の、黒色樹脂除去部分のうち、赤、
緑、青、各色に対応する画素部分を、上記インキと「東
レ水なし平版」を用いた平版オフセット印刷を用いてそ
れぞれの色に順に印刷して着色した。インキは水なし印
刷性が良好であり、ブラックマトリクスが十分な反発性
を示し、滲み、はみ出し、各色の混合は見られなかっ
た。
Of the black resin-removed portion of the glass substrate with black resin black matrix described in Example 1, red,
Pixel portions corresponding to green, blue and each color were sequentially printed in each color using the above ink and "Toray waterless lithographic planographic offset printing" and colored. The ink had good waterless printability, the black matrix exhibited sufficient repulsion, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0072】基板を280℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてポリイミド樹脂(“セミコフ
ァイン”sp900、東レ)のNメチルピロリドン30
wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で
10分間乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミド化
反応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。
After heat-treating the substrate at 280 ° C. for 1 hour to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) N-methylpyrrolidone 30 was used as a top coat.
The wt% solution was applied with a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0073】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0074】実施例4 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光硬
化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数500rp
m、10秒、次いで、3000rpm、30秒で塗布し
た後、80℃で30分間プリベークを行った。
Example 4 A photocurable black photosensitive resin liquid having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rp.
m, 10 seconds, then 3000 rpm for 30 seconds, and then prebaked at 80 ° C. for 30 minutes.

【0075】 [黒色感光性樹脂液組成] 光硬化型ポリイミド“フォトニース”UR−3100(東レ(株)製) 10重量部 ポリフッ化ビニリデン 5重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 5重量部 N−メチルピロリド 80重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
200mJ/cm2 露光した後、“フォトニース”現像
液DV−605(東レ(株)製)を用いて23℃で現像
した。
[Black photosensitive resin liquid composition] Photocurable polyimide "Photo Nice" UR-3100 (manufactured by Toray Industries, Inc.) 10 parts by weight polyvinylidene fluoride 5 parts by weight Carbon Black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 5 Parts by weight N-methylpyrrolid 80 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-contacted and exposed to 200 mJ / cm 2 with a chemical lamp, and then “Photonice” developer DV-605 (manufactured by Toray Industries, Inc.) is used for 23 parts. Developed at ° C.

【0076】現像後、イソプロパノールでリンスをおこ
なった。続いて150℃で30分の熱処理をおこなっ
た。以上の操作により、ガラス基板上にインキ反発性黒
色樹脂ブラックマトリクスが形成された。
After development, rinsing was performed with isopropanol. Then, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. By the above operation, the ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0077】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実
施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 70.0 ° with respect to water, 25.0 ° with respect to the red ink, green ink and blue ink described in Example 1, and 22. It was 0 ° and 20.0 °.

【0078】実施例1記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。インキはインクジェットに適してお
り、良好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクス
のインキ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の
混合は見られなかった。
The ink described in Example 1 was applied to the areas of the removed black resin layer where red, green and blue pixels were to be formed, using an ink jet type ink injection device, and colored in the respective colors. . The ink was suitable for inkjet, and good ejection was possible. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0079】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。続いて窒素雰囲気中150℃から300℃に3〜5
℃/minで昇温し、300℃で30分の加熱処理(ブ
ラックマトリクスの表面の撥水・撥油をなくす基板処
理)を兼ねたポリイミドキュアを行い、厚さ1.5μm
の層とした。
After coloring with these inks, the ink was stored at 150 ° C. for 20 minutes.
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes. Then, in a nitrogen atmosphere, from 150 ° C to 300 ° C for 3-5
The temperature is raised at ℃ / min, and the polyimide cure is performed at 300 ℃ for 30 minutes as well as the heat treatment (substrate treatment to eliminate the water and oil repellency of the black matrix surface), and the thickness is 1.5 μm.
Layers.

【0080】トップコートとしてポリイミド樹脂(“セ
ミコファイン”sp900、東レ)のNメチルピロリド
ン30wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後10
0℃で10分間乾燥した後、280℃で1時間加熱しイ
ミド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。
A 30 wt% N-methylpyrrolidone solution of a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) was applied as a top coat by a spinner. 10 after application
After drying at 0 ° C. for 10 minutes, it was heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0081】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果、色差にしてΔE≦3
であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. As a result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope, the color difference is ΔE ≦ 3
And obtained a high quality color filter.

【0082】実施例5 (N−トリメトキシシルプロピル)ポリエチレンイミン
(PS076、チッソ(株)製)のエタノール0.2重
量%溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数1500rp
m、10秒で塗布した後、150℃で10分の条件で乾
燥して接触層を設けた。次いで、その上に以下の組成を
有する光硬化型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数5
00rpm、2秒、次いで1000rpm、10秒で塗
布した後、80℃で15分間プリベークを行った。
Example 5 A 0.2% by weight ethanol solution of (N-trimethoxysilpropyl) polyethyleneimine (PS076, manufactured by Chisso Corporation) was prepared as a primer solution. Spin on a glass substrate washed and dried with a spinner at 1500 rpm
m, applied for 10 seconds, and then dried at 150 ° C. for 10 minutes to provide a contact layer. Then, a photocurable black photosensitive resin liquid having the following composition was spinned thereon with a spinner at a rotation speed of 5
After coating at 00 rpm for 2 seconds, then 1000 rpm for 10 seconds, prebaking was performed at 80 ° C. for 15 minutes.

【0083】 [黒色感光性樹脂液組成] スチレン/メチルメタクリレート/メタクリル酸(3:3:4(共重合比) )からなる3元アクリル共重合体にグリシジルメタクリレートを付加させたポ リマ 8.35重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 3.00重量部 エポキシアクリレート 2.00重量部 “イルガキュア”369(チバガイギ社製) 0.59重量部 “イルガキュア”907(チバガイギ社製) 0.59重量部 トリチオホスフィト 0.39重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 4.03重量部 4フッ化エチレン微粒子“ルブロン”LD−100 (ダイキン工業(株)製) 1.40重量部 2−ブトキシエタノール 79.65重量部 次に所定のパターヘンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で210mJ/cm2露光した後2−アミノエタノール
0.125%水溶液で現像し、未露光部の黒色感光性樹
脂層を除去した。続いて150℃、30分の熱処理を行
い、厚さ1.5μmの層とした。以上の操作により、ガ
ラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクス
が形成された。
[Black photosensitive resin liquid composition] Polymer 8.35 obtained by adding glycidyl methacrylate to a ternary acrylic copolymer composed of styrene / methyl methacrylate / methacrylic acid (3: 3: 4 (copolymerization ratio)). Parts by weight Trimethylolpropane triacrylate 3.00 parts by weight Epoxy acrylate 2.00 parts by weight "Irgacure" 369 (manufactured by Ciba-Gaigi) 0.59 parts by weight "Irgacure" 907 (manufactured by Ciba-Gaigi) 0.59 parts by weight Trithiophosphite 0.39 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 4.03 parts by weight Polytetrafluoroethylene fine particles "Lubron" LD-100 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) 1.40 parts by weight 2-Butoxyethanol 79 .65 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-bonded, and a chemical lamp is used. 210 mJ / cm 2 and developed with 2-aminoethanol 0.125% aqueous solution after exposure to remove the black photosensitive resin layer in the unexposed portion. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes to form a layer having a thickness of 1.5 μm. By the above operation, the ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0084】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して75.0°、実
施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ46.0°、48.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 75.0 ° with respect to water, and 46.0 ° and 48. with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, respectively. It was 0 ° and 20.0 °.

【0085】実施例1記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した。
The ink described in Example 1 was applied to the areas where red, green and blue pixels were to be formed in the areas where the black resin layer had been removed by using an ink jet type ink ejecting device, and colored in respective colors. .

【0086】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。
After coloring with these inks, the ink was stored at 150 ° C. for 20 minutes.
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes.

【0087】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。
The ink was suitable for ink jet, and good jetting was possible. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0088】基板を280℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてアクリル系トップコート剤を
スピンナーで塗布した。塗布後90℃で10分乾燥した
後、200℃で60分加熱、硬化した。トップコートは
平坦に塗布できた。
The substrate was heated at 280 ° C. for 1 hour to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, and then an acrylic top coat agent was applied as a top coat by a spinner. After coating, it was dried at 90 ° C. for 10 minutes, and then heated and cured at 200 ° C. for 60 minutes. The top coat could be applied evenly.

【0089】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0090】実施例6 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナーで回転数500rpm、2秒、次いで
1000rpm、10秒で塗布した。150℃で、30
分加熱乾燥を行った後、下記の組成の感光性樹脂液をス
ピンナーで1000rpm、10秒で塗布し、80℃で
10分加熱乾燥した。
Example 6 A black resin solution having the following composition was applied onto a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rpm for 2 seconds and then 1000 rpm for 10 seconds. 30 at 150 ° C
After heat-drying for minutes, a photosensitive resin liquid having the following composition was applied with a spinner at 1000 rpm for 10 seconds, and heat-dried at 80 ° C. for 10 minutes.

【0091】 [黒色樹脂液組成] ポリイミド“セミコファイン”sp710(東レ(株)製) 30重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 15重量部 N−メチルピロリドン 40重量部 [感光性樹脂液組成] ポジ型フォトレジスト(Shipley "Micropsit"RC100 30CP) 100重量部 溶剤 (Shipley Thinner C) 45重量部 シリコーン微粒子“トスパール”(東芝シリコーン(株)製) 5重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
1分間露光した後、Shipey“Micropsi
t”Deveroper/水=1/5の現像液にて現像
した。このとき、現像液によって感光性樹脂層の現像と
同時に黒色樹脂層もエッチングされ、ガラス基板上にイ
ンキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクスが形成された。
[Black Resin Liquid Composition] Polyimide “Semicofine” sp710 (manufactured by Toray Industries, Inc.) 30 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 15 parts by weight N-methylpyrrolidone 40 parts by weight [Photosensitive resin Liquid composition] Positive photoresist (Shipley "Micropsit" RC100 30CP) 100 parts by weight Solvent (Shipley Thinner C) 45 parts by weight Silicone fine particles "Tospearl" (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) 5 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is applied. After vacuum contact and exposure with a chemical lamp for 1 minute, Shipy "Micropsi"
It was developed with a developing solution of t ″ Deveroper / water = 1/5. At this time, the black resin layer was etched simultaneously with the development of the photosensitive resin layer by the developing solution, and an ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate. Been formed.

【0092】上記手順で作製した黒色ブラックマトリク
スに対する後退接触角は水に対して70.0°、実施例
1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black black matrix produced by the above procedure is 70.0 ° with respect to water, and 25.0 ° and 22.0 with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, respectively. Was 20.0 °.

【0093】実施例1記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、150℃で20分間加熱すること
により着色部のインキを熱硬化させた。続いてを行いブ
ラックマトリクスを硬化すると同時にブラックマトリク
スの表面の撥水・撥油性をなくす300℃で30分の熱
処理を行った。
The ink described in Example 1 was applied to the areas where the red, green, and blue pixels were to be formed in the removed portions of the black resin layer, using an ink jet type ink jet device, and colored in the respective colors. Then, the ink in the colored portion was thermally cured by heating at 150 ° C. for 20 minutes. Subsequently, the black matrix was cured, and at the same time, a heat treatment was performed at 300 ° C. for 30 minutes to eliminate the water and oil repellency of the surface of the black matrix.

【0094】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。
The ink was suitable for ink jet and could be jetted well. The ink repulsion property of the black matrix was good, and bleeding, protrusion, and mixing of each color were not observed.

【0095】トップコートとしてポリイミド樹脂(“セ
ミコファイン”sp900、東レ)のNメチルピロリド
ン30wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後10
0℃で10分乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミ
ド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。
A 30 wt% N-methylpyrrolidone solution of a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) was applied as a top coat by a spinner. 10 after application
After drying at 0 ° C. for 10 minutes, it was heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0096】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0097】実施例7 (N−トリメトキシシルプロピル)ポリエチレンイミン
(PS076、チッソ(株)製)のエタノール0.2重
量%溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数1500rp
m、10秒で塗布した後、150℃で10分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、以下の組成の光溶解型
黒色感光性樹脂液を塗布し、60℃熱風中で乾燥し、厚
さ2μmの感光性樹脂層を設けた。
Example 7 A 0.2% by weight ethanol solution of (N-trimethoxysilpropyl) polyethyleneimine (PS076, manufactured by Chisso Corporation) was prepared as a primer solution. Spin on a glass substrate washed and dried with a spinner at 1500 rpm
m, applied for 10 seconds, and dried at 150 ° C. for 10 minutes to provide an adhesive layer. Next, a photodissolving black photosensitive resin solution having the following composition was applied and dried in hot air at 60 ° C. to form a photosensitive resin layer having a thickness of 2 μm.

【0098】 [黒色感光性樹脂液組成] エステル化度45%のフェノールノボラック樹脂(住友ベークライト製“ス ミレジン”PR50235)のナフトキノン1,2−ジアジド5−スルホン酸エ ステル)分子量約1300) 10.0重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 3.5重量部 フッ素系界面活性剤“EFTOP”EF−123A−1 ((株)トーケムプロダクツ製) 0.7重量部 フッ素系界面活性剤“MEGAFAC”F−179 (大日本インキ化学工業(株)製) 3.5重量部 1,4−ジオキサン 82.3重量部 次に所定のパタータンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で210mJ/cm2露光した後NaOH2wt%水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて150℃、30分の熱処理をおこなった。以上の操
作によりガラス基板上にインキ反発製黒色樹脂ブラック
マトリクスが形成された。
[Black photosensitive resin solution composition] Naphthoquinone 1,2-diazide 5-sulfonic acid ester of phenol novolac resin ("Sumiresin" PR50235 manufactured by Sumitomo Bakelite) having an esterification degree of 45%, molecular weight: about 1300) 10. 0 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 3.5 parts by weight Fluorosurfactant "EFTOP" EF-123A-1 (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) 0.7 parts by weight Fluorosurfactant Agent "MEGAFAC" F-179 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 3.5 parts by weight 1,4-dioxane 82.3 parts by weight Next, a predetermined pattern mask was vacuum-adhered to 210 mJ / with a chemical lamp. After the exposure, the black photosensitive resin layer in the exposed area was removed by developing with a 2 wt% NaOH aqueous solution. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. By the above operation, an ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0099】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して100.0°、
実施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ50.0°、50.0°、20.0°であっ
た。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 100.0 ° with respect to water,
The red ink, the green ink, and the blue ink described in Example 1 were 50.0 °, 50.0 °, and 20.0 °, respectively.

【0100】実施例1と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。
An ink having the same composition as in Example 1 was jetted onto the portions of the portion where the black resin layer had been removed where red, green and blue pixels were to be formed by using an ink jet type ink jet device, and the respective colors were jetted. Colored.

【0101】これらのインキ着色後、150℃で20分
間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させた。
After coloring these inks, the ink in the colored portion was thermally cured by heating at 150 ° C. for 20 minutes.

【0102】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。
The ink was suitable for ink jet and could be jetted well. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0103】基板をエタノール洗浄、乾燥してブラック
マトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、トップ
コートとしてポリイミド樹脂(“セミコファイン”sp
900、東レ)のNメチルピロリドン30wt%溶液を
スピンナーで塗布した。塗布後100℃で10分乾燥し
た後、280℃で1時間加熱しイミド化反応を完了し
た。トップコートは平坦に塗布できた。
The substrate was washed with ethanol and dried to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, and a polyimide resin (“Semicofine” sp
900 wt% Toray) N-methylpyrrolidone 30 wt% solution was applied by a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0104】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0105】実施例8 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光溶
解型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数500rp
m、10秒、次いで3000rpm、30秒で塗布した
後、80℃で、30分間プリベークを行った。
Example 8 A photo-dissolving black photosensitive resin liquid having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rp.
m, 10 seconds, then 3000 rpm for 30 seconds, and then prebaked at 80 ° C. for 30 minutes.

【0106】 [黒色感光性樹脂液組成] 光溶解型ポリイミド 10重量部[Black photosensitive resin liquid composition] 10 parts by weight of light-soluble polyimide

【化3】 ポリフッ化ビニリデン 5重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 5重量部 N−メチルピロリドン 80重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
200mJ/cm2露光した後、NaOH2wt%水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて150℃、30分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。
[Chemical 3] Polyvinylidene fluoride 5 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 5 parts by weight N-methylpyrrolidone 80 parts by weight Next, a predetermined pattern mask was vacuum-adhered and exposed with a chemical lamp at 200 mJ / cm 2 and then NaOH 2 wt. % Aqueous solution to remove the black photosensitive resin layer in the exposed area. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. By the above operation, the ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0107】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実
施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 70.0 ° with respect to water, 25.0 ° with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, and 22. It was 0 ° and 20.0 °.

【0108】実施例1と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。インキはインクジェッ
トに適しており、良好な噴射ができた。黒色樹脂ブラッ
クマトリクスのインキ反発性は良好であり、滲み、はみ
出し、各色の混合は見られなかった。
The ink having the same composition as in Example 1 was jetted onto the portions of the portion where the black resin layer was removed where red, green and blue pixels were to be formed by using an ink jet type ink jet device, and the respective colors were jetted. Colored. The ink was suitable for inkjet, and good ejection was possible. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0109】これらのインキ着色後、150℃で20分
間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させた。
続いて窒素雰囲気中150℃から300℃に3〜5℃/
minで昇温し、300℃で30分の加熱処理(ブラッ
クマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくす基板処理)
を兼ねたポリイミドキュアを行い、ブラックマトリクス
を厚さ1.5μmの層とした。
After coloring these inks, the ink in the colored portion was thermally cured by heating at 150 ° C. for 20 minutes.
Then, from 150 ° C to 300 ° C in a nitrogen atmosphere at 3-5 ° C /
Heat treatment at 300 ° C for 30 minutes by raising the temperature in min (substrate treatment to eliminate the water and oil repellency of the black matrix surface)
Polyimide cure that also serves as the above was performed to form a black matrix layer having a thickness of 1.5 μm.

【0110】トップコートとしてシリカ系コーティング
剤のプロピレングリコールモノメチルエーテル20wt
%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で10
分乾燥した後、300℃て1時間加熱し硬化させた。ト
ップコートは平坦に塗布できた。
20 wt% of silica-based coating agent propylene glycol monomethyl ether as a top coat
% Solution was applied with a spinner. 10 at 100 ° C after coating
After minute drying, it was heated at 300 ° C. for 1 hour to cure. The top coat could be applied evenly.

【0111】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0112】実施例9 (N−トリメトキシシルプロピル)ポリエチレンインン
(PS076、チッソ(株)製)のエタノール0.2重
量%溶液をプライマ液として準備した。これを洗浄・乾
燥したガラス基板上にスピナーで回転数1500rp
m、10秒で塗布した後、150℃で10分の条件で乾
燥して接着層を設けた。次いで、以下の組成の光溶解型
黒色感光性樹脂液を塗布し、60℃熱風中で乾燥し、厚
さ2μmの感光性樹脂層を設けた。
Example 9 A 0.2% by weight ethanol solution of (N-trimethoxysilpropyl) polyethylenein (PS076, manufactured by Chisso Corp.) was prepared as a primer solution. Spin on a glass substrate washed and dried with a spinner at 1500 rpm
m, applied for 10 seconds, and dried at 150 ° C. for 10 minutes to provide an adhesive layer. Next, a photodissolving black photosensitive resin solution having the following composition was applied and dried in hot air at 60 ° C. to form a photosensitive resin layer having a thickness of 2 μm.

【0113】 [黒色感光性樹脂液組成] エステル化度45%のフェノールノボラック樹脂(住友ベークライト製“ス ミレジン”PR50235)のナフトキノン1,2−ジアジド5−スルホン酸エ ステル)分子量約1300) 10.0重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 3.5重量部 4フッ化エチレン微粒子“ルブロン”LD−100 (ダイキン工業(株)製) 1.4重量部 1,4−ジオキサン 85.1重量部 次に所定のパタータンマスクを真空密着し、ケミカル灯
で210mJ/cm2露光した後NaOH2wt%水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて150℃、30分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発製黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。
[Black Photosensitive Resin Liquid Composition] Naphthoquinone 1,2-diazide 5-sulfonic acid ester of phenol novolac resin (“Sumiresin PR50235” manufactured by Sumitomo Bakelite) having an esterification degree of 45%, molecular weight: about 1300) 10. 0 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 3.5 parts by weight Tetrafluoroethylene fine particles "LUBRON" LD-100 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.) 1.4 parts by weight 1,4-dioxane 85. 1 part by weight Next, a predetermined pattern mask was vacuum-contacted, exposed to 210 mJ / cm 2 with a chemical lamp, and developed with a 2 wt% NaOH aqueous solution to remove the black photosensitive resin layer in the exposed part. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. By the above operation, the ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0114】上記手順で作製した黒色ブラックマトリク
スに対する後退接触角は水に対して75.0°、実施例
3記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ46.0°、48.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black black matrix produced by the above procedure is 75.0 ° with respect to water, and 46.0 ° and 48.0 with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 3, respectively. Was 20.0 °.

【0115】上記組成を有する黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板の、黒色樹脂除去部分のうち、赤、
緑、青、各色に対応する画素部分を、実施例3記載のイ
ンキと「東レ水なし平版」を用いた平版平型オフセット
印刷を用いてそれぞれの色に順に印刷して着色した。イ
ンキは水なし印刷性が良好であり、ブラックマトリクが
十分な反発性を示し、滲み、はみ出し、各色の混合は見
られなかった。
Of the black resin-removed portion of the glass substrate with the black resin black matrix having the above composition, red,
Pixel portions corresponding to each color of green, blue and each color were sequentially printed and colored in each color using planographic offset printing using the ink described in Example 3 and "Toray waterless planographic printing". The ink had good waterless printability, black matrix showed sufficient resilience, bleeding, squeezing out, and mixing of each color was not observed.

【0116】基板を300℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし
た後、トップコートとしてアクリル系トップコート剤を
スピンナーで塗布した。塗布後90℃で10分乾燥した
後、200℃で60分加熱、硬化した。トップコートは
平坦に塗布できた。
The substrate was heated at 300 ° C. for 1 hour to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, and then an acrylic top coat agent was applied as a top coat with a spinner. After coating, it was dried at 90 ° C. for 10 minutes, and then heated and cured at 200 ° C. for 60 minutes. The top coat could be applied evenly.

【0117】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0118】実施例10 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する光溶
解型黒色感光性樹脂液をスピナーで回転数500rp
m、10秒、次いで3000rpm、30秒で塗布した
後、80℃で30分間プリベークを行った。
Example 10 A photo-dissolving black photosensitive resin liquid having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rp.
m, 10 seconds, then 3000 rpm for 30 seconds, and then prebaked at 80 ° C. for 30 minutes.

【0119】 [黒色感光性樹脂液組成] 光溶解型ポリイミド(実施例8記載) 10重量部 シリコーン微粒子“トスパール”(東芝シリコーン(株)製) 5重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 5重量部 N−メチルピロリドン 80重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
200mJ/cm2 露光した後、NaOH2wt%水溶
液で現像し、露光部の黒色感光性樹脂層を除去した。続
いて150℃、30分の熱処理をおこなった。以上の操
作により、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。
[Black photosensitive resin liquid composition] Light-soluble polyimide (described in Example 8) 10 parts by weight Silicone fine particles "Tospearl" (manufactured by Toshiba Silicone Co., Ltd.) 5 parts by weight Carbon black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) ) 5 parts by weight N-methylpyrrolidone 80 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-contacted, exposed to a chemical lamp at 200 mJ / cm 2 and developed with a 2 wt% NaOH aqueous solution to remove the black photosensitive resin layer in the exposed part. did. Subsequently, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes. By the above operation, the ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0120】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実
施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそ
れぞれ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 70.0 ° with respect to water, 25.0 ° with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, and 22. It was 0 ° and 20.0 °.

【0121】実施例1と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。
An ink having the same composition as in Example 1 was jetted onto the portions where the red, green, and blue pixels of the portion where the black resin layer was removed are to be formed, using an ink jet type ink jet device, and the respective colors were jetted. Colored.

【0122】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。続いて窒素雰囲気中150℃から300℃に3〜5
℃/minで昇温し、300℃で30分の熱処理を行っ
てブラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくし、
ブラックマトリクスを厚さ1.5μmの層とした。
After coloring with these inks, the ink was stored at 150 ° C. for 20 minutes.
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes. Then, in a nitrogen atmosphere, from 150 ° C to 300 ° C for 3-5
Heat treatment at 300 ° C for 30 minutes to raise the water / oil repellency of the surface of the black matrix,
The black matrix was a layer having a thickness of 1.5 μm.

【0123】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。黒色樹脂ブラックマトリクスのイン
キ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は
見られなかった。
The ink was suitable for ink jet, and good jetting was possible. Ink resilience of the black resin black matrix was good, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0124】トップコートとしてアクリル系トップコー
ト剤をスピンナーで塗布した。塗布後90℃で10分乾
燥した後、200℃で60分加熱、硬化した。トップコ
ートは平坦に塗布できた。
An acrylic top coat agent was applied as a top coat by a spinner. After coating, it was dried at 90 ° C. for 10 minutes, and then heated and cured at 200 ° C. for 60 minutes. The top coat could be applied evenly.

【0125】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚は最大で0.2μmであった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦3
であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦ 3 as a color difference.
And obtained a high quality color filter.

【0126】実施例11 洗浄・乾燥したガラス基板上に、以下の組成を有するイ
ンキ反発性黒色樹脂液をスピナーで回転数500rp
m、2秒、次いで1000rpmで10秒で塗布し、8
0℃で15分間加熱した。
Example 11 An ink-repellent black resin liquid having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rp.
m, 2 seconds, then 1000 rpm for 10 seconds, 8
Heat at 0 ° C. for 15 minutes.

【0127】 [インキ反発性黒色樹脂液組成] エポキシ樹脂(三井石油化学(株)“エポミック”R301)30重量部 カーボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 20重量部 フッ素系界面活性剤“EFTOP”EF−123A−1 ((株)トーケムプロダクツ製) 3重量部 フッ素系界面活性剤“MEGAFAC”F−179 (大日本インキ化学工業(株)製) 100重量部 次にその上に以下の組成を有する感光性樹脂液をスピナ
ーをスピナーで1000rpmで10秒塗布し、80℃
で、30分間加熱乾燥した。
[Ink Repellent Black Resin Liquid Composition] Epoxy Resin (Mitsui Petrochemical Co., Ltd. “Epomic” R301) 30 parts by weight Carbon Black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 20 parts by weight Fluorosurfactant “EFTOP” "EF-123A-1 (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) 3 parts by weight Fluorosurfactant" MEGAFAC "F-179 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 100 parts by weight Next, on it The photosensitive resin liquid having the composition is applied to the spinner by a spinner at 1000 rpm for 10 seconds, and the temperature is 80 °
Then, it was dried by heating for 30 minutes.

【0128】 [感光性樹脂溶液組成] ポジ型フォトレジスト(Shipley "Micropsit"RC100 30CP) 100重量部 溶剤 (Shipley Thinner C) 43重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
1分間露光した後、Shipey“Micropsi
t”Deveroper/水=1/5の現像液にて現像
をおこない感光性樹脂層のパターンを得た。次に、感光
性樹脂層除去部分のインキ反発性黒色樹脂層をトルエン
でエッチングし、所定のパターンにインキ反発性黒色樹
脂を除去した。感光性樹脂層を5%水酸化ナトリウム水
溶液で除去した後、150℃で20分加熱硬化してガラ
ス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラックマトリクスを
得た。
[Photosensitive resin solution composition] Positive photoresist (Shipley "Micropsit" RC100 30CP) 100 parts by weight Solvent (Shipley Thinner C) 43 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-adhered, and a chemical lamp is used for 1 minute. After exposure, Shipey "Micropsi"
Development was carried out with a developing solution of t ″ Deveroper / water = 1/5 to obtain a pattern of the photosensitive resin layer. Next, the ink-repellent black resin layer in the portion where the photosensitive resin layer was removed was etched with toluene to give a predetermined pattern. The ink-repellent black resin was removed in the pattern of 1. The photosensitive resin layer was removed with a 5% aqueous sodium hydroxide solution, and then heat-cured at 150 ° C. for 20 minutes to obtain an ink-repellent black resin black matrix on the glass substrate. It was

【0129】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して100.0°、
実施例1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対して
それぞれ50.0°、50.0°、20.0°であっ
た。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure is 100.0 ° with respect to water,
The red ink, the green ink, and the blue ink described in Example 1 were 50.0 °, 50.0 °, and 20.0 °, respectively.

【0130】実施例1と同一組成からなるインキを、黒
色樹脂層の除去された部分の赤、緑、青の画素を形成す
べき部分にインクジェット式インキ噴射装置を用いて噴
射し、それぞれの色に着色した。
An ink having the same composition as in Example 1 was jetted onto the portions of the portion where the black resin layer had been removed where red, green and blue pixels were to be formed, using an ink jet type ink jet device, and the respective colors were jetted. Colored.

【0131】これらのインキで着色後、150℃で20
分間加熱することにより着色部のインキを熱硬化させ
た。
After coloring with these inks, at 20 ° C., 20
The ink in the colored portion was thermoset by heating for minutes.

【0132】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。インキ反発性樹脂ブラックマトリク
スのインキ反発性は良好であり、滲み、はみ出し、各色
の混合は見られなかった。
The ink was suitable for ink jet, and good jetting was possible. Ink-repellent resin The black matrix had a good ink-repellent property, and bleeding, squeezing out, and mixing of each color were not observed.

【0133】基板をイソプロパノール洗浄、乾燥してブ
ラックマトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、
トップコートとしてポリイミド樹脂(“セミコファイ
ン”sp900、東レ)のNメチルピロリドン30wt
%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で10
分乾燥した後、280℃で1時間加熱処理しイミド化反
応を完了した。トップコートは平坦に塗布できた。
After washing the substrate with isopropanol and drying it to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix,
Polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) 30 wt% N-methylpyrrolidone as top coat
% Solution was applied with a spinner. 10 at 100 ° C after coating
After minute drying, heat treatment was performed at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0134】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で0.2μmであった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルタ得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3, and a high quality color filter was obtained.

【0135】実施例12 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナ−で回転数500rpm、 2秒、次いで1000rp
m 、10秒で塗布した。150 ℃で、30分加熱乾燥を行った
後、下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm
、10秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。
Example 12 A black resin liquid having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rpm for 2 seconds and then 1000 rp.
m, applied for 10 seconds. After heating and drying at 150 ° C for 30 minutes, add a photosensitive resin solution of the following composition to 1000 rpm with a spinner.
The coating was applied for 10 seconds and dried by heating at 80 ° C for 10 minutes.

【0136】 [黒色樹脂液組成] ポリイミド“セミコファイン”sp710(東レ(株)製) 30 重量部 カ−ボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 15 重量部 N−メチルピロリドン 40 重量部 [感光性樹脂液組成] ポジ型フォトレジスト(東京応化 6030) 52.1 重量部 溶剤 (Shipley Thinner C ) 41.0 重量部 フッ素系界面活性剤“EFTOP” EF-123A-1 ((株)ト−ケムプロダクツ製) 0.4 重量部 フッ素系界面活性剤“MEGAFAC” F-179 (大日本インキ化学工業(株)製) 6.5 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
1分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper/
水=1/6の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に黒色樹脂層もエッチ
ングされ、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。
[Black Resin Liquid Composition] Polyimide “Semicofine” sp710 (manufactured by Toray Industries, Inc.) 30 parts by weight Carbon Black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 15 parts by weight N-methylpyrrolidone 40 parts by weight [Photosensitive] Resin composition] Positive photoresist (Tokyo Ohka 6030) 52.1 parts by weight Solvent (Shipley Thinner C) 41.0 parts by weight Fluorosurfactant "EFTOP" EF-123A-1 (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) 0.4 Part by weight Fluorine-based surfactant "MEGAFAC" F-179 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 6.5 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-contacted and exposed with a chemical lamp for 1 minute, and then Shipley "Microposit "Deveroper /
It was developed with a water = 1/6 developer. At this time, the black resin layer was also etched by the developing solution at the same time as the development of the photosensitive resin layer, and an ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0137】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実施例
1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angles with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure are 70.0 ° with respect to water, and 25.0 °, 22.0 ° and 20.0 ° with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, respectively. there were.

【0138】実施例1記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、150 ℃で20分間加熱することによ
り着色部のインキを熱硬化させた。続いて300 ℃で30分
の熱処理を行いブラックマトリクスを硬化すると同時に
基板処理を行い、ブラックマトリクス表面の撥水・撥油
性をなくした。
The ink described in Example 1 was applied to the areas where the red, green and blue pixels were to be formed in the areas where the black resin layer had been removed by using an ink jet type ink ejecting device, and colored in the respective colors. Then, the ink in the colored portion was thermoset by heating at 150 ° C. for 20 minutes. Subsequently, heat treatment was performed at 300 ° C. for 30 minutes to cure the black matrix and simultaneously subject the substrate to treatment to eliminate the water and oil repellency of the black matrix surface.

【0139】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。
The ink was suitable for ink jet, and good jetting was possible. The ink repulsion property of the black matrix was good, and bleeding, protrusion, and mixing of each color were not observed.

【0140】トップコートとしてポリイミド樹脂(“セ
ミコファイン”sp900、東レ)のNメチルピロリド
ン30wt%溶液をスピンナーで塗布した。塗布後10
0℃で10分乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミ
ド化反応を完了した。トップコートは平坦に塗布でき
た。
As a top coat, a 30 wt% N-methylpyrrolidone solution of a polyimide resin (“Semicofine” sp900, Toray) was applied by a spinner. 10 after application
After drying at 0 ° C. for 10 minutes, it was heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0141】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦3
であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦ 3 as a color difference.
And obtained a high quality color filter.

【0142】実施例13 洗浄・乾燥したガラス基板上に以下の組成を有する黒色
樹脂液をスピナ−で回転数500rpm、 2秒、次いで1000rp
m 、10秒で塗布した。150 ℃で、30分加熱乾燥を行った
後、下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm
、10秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。
Example 13 A black resin solution having the following composition was spun on a washed and dried glass substrate with a spinner at a rotation speed of 500 rpm for 2 seconds and then 1000 rp.
m, applied for 10 seconds. After heating and drying at 150 ° C for 30 minutes, add a photosensitive resin solution of the following composition to 1000 rpm with a spinner.
The coating was applied for 10 seconds and dried by heating at 80 ° C for 10 minutes.

【0143】 [黒色樹脂液組成] ポリイミド“セミコファイン”sp710(東レ(株)製) 30 重量部 カ−ボンブラックMA100(三菱化成(株)製) 15 重量部 N−メチルピロリドン 40 重量部 [感光性樹脂液組成] ポジ型フォトレジスト(Shipley "Microposit" RC100 30CP) 70 重量部 溶剤 (Shipley Thinner C ) 30 重量部 フッ素系界面活性剤“EFTOP” EF-123A-1 ((株)トーケムプロダクツ製) 0.70 重量部 フッ素系界面活性剤“MEGAFAC” F-179 (大日本インキ化学工業(株)製) 3.50 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
1分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper/
水=1/6の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に黒色樹脂層もエッチ
ングされ、ガラス基板上にインキ反発性黒色樹脂ブラッ
クマトリクスが形成された。
[Black Resin Liquid Composition] Polyimide “Semicofine” sp710 (manufactured by Toray Industries, Inc.) 30 parts by weight Carbon Black MA100 (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd.) 15 parts by weight N-methylpyrrolidone 40 parts by weight [Photosensitive] Resin Composition] Positive photoresist (Shipley "Microposit" RC100 30CP) 70 parts by weight Solvent (Shipley Thinner C) 30 parts by weight Fluorosurfactant "EFTOP" EF-123A-1 (manufactured by Tochem Products Co., Ltd.) ) 0.70 parts by weight Fluorine-based surfactant "MEGAFAC" F-179 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) 3.50 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-adhered and exposed with a chemical lamp for 1 minute, and then Shipley "Microposit" Deveroper /
It was developed with a water = 1/6 developer. At this time, the black resin layer was also etched by the developing solution at the same time as the development of the photosensitive resin layer, and an ink-repellent black resin black matrix was formed on the glass substrate.

【0144】上記手順で作製した黒色樹脂ブラックマト
リクスに対する後退接触角は水に対して70.0°、実施例
1記載の赤インキ、緑インキ、青インキに対してそれぞ
れ25.0°、22.0°、20.0°であった。
The receding contact angle with respect to the black resin black matrix produced by the above procedure was 70.0 ° with respect to water, and 25.0 °, 22.0 ° and 20.0 ° with respect to the red ink, the green ink and the blue ink described in Example 1, respectively. there were.

【0145】実施例1記載のインキを、黒色樹脂層の除
去された部分の赤、緑、青の画素を形成すべき部分にイ
ンクジェット式インキ噴射装置を用いて噴射し、それぞ
れの色に着色した後、150 ℃で20分間加熱することによ
り着色部のインキを熱硬化させた。
The ink described in Example 1 was applied to the areas where the red, green and blue pixels were to be formed in the areas where the black resin layer had been removed by using an ink jet type ink ejecting device, and colored in the respective colors. Then, the ink in the colored portion was thermoset by heating at 150 ° C. for 20 minutes.

【0146】インキはインクジェットに適しており、良
好な噴射ができた。ブラックマトリクスのインキ反発性
は良好であり、滲み、はみ出し、各色の混合は見られな
かった。
The ink was suitable for ink jet, and good jetting was possible. The ink repulsion property of the black matrix was good, and bleeding, protrusion, and mixing of each color were not observed.

【0147】基板をエタノール洗浄、乾燥してブラック
マトリクスの表面の撥水・撥油性をなくした後、トップ
コートとしてポリイミド樹脂(“セミコファイン”sp
900、東レ)のNメチルピロリドン30wt%溶液を
スピンナーで塗布した。塗布後100℃で10分乾燥し
た後、280℃で1時間加熱しイミド化反応を完了し
た。トップコートは平坦に塗布できた。
The substrate was washed with ethanol and dried to remove the water and oil repellency of the surface of the black matrix, and a polyimide resin (“Semicofine” sp.
900 wt% Toray) N-methylpyrrolidone 30 wt% solution was applied by a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0148】画素間の段差を触針式膜厚計で測定したと
ころ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色ム
ラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦3
であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured by a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦ 3 as a color difference.
And obtained a high quality color filter.

【0149】実施例14 画素部分を着色するワニスとしてアクリル樹脂前駆体溶
液 10.0重量部、ブリリアントカーミン6B 0.5重量
部、溶剤 7.0重量部を混練して赤ワニスを得た。緑ワニ
スの場合はフタロシアニングリーン、青ワニスの場合は
フタロシアニンブルーを使用して調製した。
Example 14 As a varnish for coloring a pixel portion, 10.0 parts by weight of an acrylic resin precursor solution, 0.5 parts by weight of Brilliant Carmine 6B and 7.0 parts by weight of a solvent were kneaded to obtain a red varnish. It was prepared using phthalocyanine green for green varnish and phthalocyanine blue for blue varnish.

【0150】実施例1において作製した、黒色樹脂ブラ
ックマトリクスに対する後退接触角は水に対して 100.0
°、上記赤、緑、青の各ワニスに対してそれぞれ34.0
°、32.0°、20.0°であった。
The receding contact angle of the black resin black matrix produced in Example 1 was 100.0 with respect to water.
°, 34.0 each for the red, green and blue varnishes above
They were °, 32.0 ° and 20.0 °.

【0151】実施例1記載の、黒色樹脂ブラックマトリ
クス付きガラス基板に、上記ワニスの第1色目をスピン
ナーで塗布し、80℃で10分間プリベーク処理をした後、
下記の組成の感光性樹脂液をスピンナーで1000rpm 、10
秒で塗布し、80℃で10分加熱乾燥した。
The glass substrate with a black resin black matrix described in Example 1 was coated with the first color of the above varnish with a spinner and prebaked at 80 ° C. for 10 minutes.
Spin a photosensitive resin liquid of the following composition with a spinner at 1000 rpm, 10
It was applied for 2 seconds and heated and dried at 80 ° C. for 10 minutes.

【0152】 [感光性樹脂液組成] ポジ型フォトレジスト(Shipley "Microposit" RC100 30CP) 70 重量部 溶剤 (Shipley Thinner C ) 30 重量部 次に所定のパターンマスクを真空密着し、ケミカル灯で
1分間露光した後、Shipley "Microposit" Deveroper/
水=1/6の現像液にて現像した。このとき、現像液に
よって感光性樹脂層の現像と同時に下層もエッチングに
よってパターンニングし、第1色目に対応する画素部分
を着色した。その層を 150℃で30分間ポストベーク処理
をした。同様にして第2色目、第3色目を形成した。黒
色樹脂ブラックマトリクスのワニス反発性は良好であ
り、ブラックマトリクスの上に段差がない、精度の良い
画素パターンが形成できた。
[Photosensitive resin liquid composition] Positive photoresist (Shipley "Microposit" RC100 30CP) 70 parts by weight Solvent (Shipley Thinner C) 30 parts by weight Next, a predetermined pattern mask is vacuum-adhered, and a chemical lamp is used for 1 minute. After exposure, Shipley "Microposit" Deveroper /
It was developed with a water = 1/6 developer. At this time, at the same time as the development of the photosensitive resin layer with the developing solution, the lower layer was also patterned by etching to color the pixel portion corresponding to the first color. The layer was post-baked at 150 ° C for 30 minutes. Similarly, the second color and the third color were formed. The varnish repulsion of the black resin black matrix was good, and it was possible to form a highly accurate pixel pattern having no step on the black matrix.

【0153】基板を280℃で1時間の加熱処理を行
い、ブラックマトリクス表面の撥水・撥油性をなくした
後、トップコートとしてポリイミド樹脂(セミコファイ
ンsp900、東レ)のNメチルピロリドン30wt%
溶液をスピンナーで塗布した。塗布後100℃で10分
乾燥した後、280℃で1時間加熱しイミド化反応を完
了した。トップコートは平坦に塗布できた。
After heat-treating the substrate at 280 ° C. for 1 hour to eliminate the water and oil repellency of the black matrix surface, a polyimide resin (Semicofine sp900, Toray) N-methylpyrrolidone 30 wt% was used as a top coat.
The solution was applied with a spinner. After coating, it was dried at 100 ° C. for 10 minutes and then heated at 280 ° C. for 1 hour to complete the imidization reaction. The top coat could be applied evenly.

【0154】画素間の段差をを触針式膜厚計で測定した
ところ、膜厚差は最大で 0.2μm であった。各画素の色
ムラを顕微分光器で測定した結果は、色差にしてΔE≦
3であり、高品質のカラーフィルターを得た。
When the step difference between the pixels was measured with a stylus type film thickness meter, the maximum film thickness difference was 0.2 μm. The result of measuring the color unevenness of each pixel with a microspectroscope is ΔE ≦
3 and a high quality color filter was obtained.

【0155】[0155]

【発明の効果】本発明によると、カラーフィルタの製造
において、インキ滲みや混色が確実に防止され、かつ十
分な平坦性を持ったカラーフィルタを提供することがで
きる。これによって印刷法やインクジェット法を用い
て、非常に高精度なカラーフィルタを得ることができ
る。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a color filter in which ink bleeding and color mixing are surely prevented in manufacturing a color filter and which has sufficient flatness. This makes it possible to obtain a very high-precision color filter by using a printing method or an inkjet method.

Claims (24)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板上の所定位置に、複数色の画素
および、該画素の間隙にブラックマトリクスが形成され
たカラーフィルタの製造方法において、ブラックマトリ
クスおよび画素をいずれかの表面が撥水・撥油性を有す
るように形成した後に、該撥水・撥油性をなくす基板処
理の工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。
1. A method of manufacturing a color filter in which pixels of a plurality of colors are formed at predetermined positions on a transparent substrate, and a black matrix is formed in the gaps between the pixels. A method of manufacturing a color filter, comprising a step of treating the substrate to eliminate the water / oil repellency after forming the oil filter to have oil repellency.
【請求項2】 インキ反発性樹脂組成物を用いて表面が
撥水・撥油性を有するブラックマトリクスを形成した後
に、着色インキを用いて画素を形成することを特徴とす
る請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。
2. The color according to claim 1, wherein a pixel is formed by using a colored ink after forming a black matrix having a water-repellent / oil-repellent surface using an ink repellent resin composition. Filter manufacturing method.
【請求項3】 該ブラックマトリクスの表面が画素形成
時に画素を形成するための着色インキに対し20°以上
の後退接触角をもつインキ反発性を有することを特徴と
する請求項2記載のカラーフィルタの製造方法。
3. The color filter according to claim 2, wherein the surface of the black matrix has an ink repulsion property having a receding contact angle of 20 ° or more with respect to a coloring ink for forming pixels at the time of forming pixels. Manufacturing method.
【請求項4】 該基板処理が加熱処理であることを特徴
とする請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。
4. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the substrate treatment is heat treatment.
【請求項5】 該基板処理が溶剤による処理であること
を特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの製造方
法。
5. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the substrate treatment is a treatment with a solvent.
【請求項6】 該基板処理に用いられる溶剤が、撥水・
撥油性を有する成分を溶解するものであることを特徴と
する請求項5記載のカラーフィルタの製造方法。
6. The solvent used in the substrate treatment is water repellent
The method for producing a color filter according to claim 5, wherein the component having oil repellency is dissolved.
【請求項7】 該基板処理に用いられる溶剤が、エタノ
ールであることを特徴とする請求項6記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
7. The method of manufacturing a color filter according to claim 6, wherein the solvent used for treating the substrate is ethanol.
【請求項8】 該基板処理に用いられる溶剤が、イソプ
ロパノールであることを特徴とする請求項6記載のカラ
ーフィルタの製造方法。
8. The method for producing a color filter according to claim 6, wherein the solvent used for treating the substrate is isopropanol.
【請求項9】 該ブラックマトリクスを構成するインキ
反発性樹脂組成物が、含フッ素化合物および/または含
ケイ素化合物を含有することを特徴とする請求項2記載
のカラーフィルタの製造方法。
9. The method for producing a color filter according to claim 2, wherein the ink-repellent resin composition constituting the black matrix contains a fluorine-containing compound and / or a silicon-containing compound.
【請求項10】 含フッ素化合物が、含フッ素基と、親
水基および/または親油基を有するモノマまたはオリゴ
マであることを特徴とする請求項9記載のカラーフィル
タの製造方法。
10. The method for producing a color filter according to claim 9, wherein the fluorine-containing compound is a monomer or oligomer having a fluorine-containing group and a hydrophilic group and / or a lipophilic group.
【請求項11】 含フッ素基と、親水基および/または
親油基を有するモノマまたはオリゴマが、 一般式Rf-X-Rf'、または 一般式(Rf-X-R)-Y-(R'-X'-Rf') で表わされる化合物であることを特徴とする請求項10
記載のカラーフィルタの製造方法。(ここでRfおよびR
f' はフルオロアルキル基、R およびR'はアルキレン基
を表し、RfとRf' また、R とR'は同一でも異なっていて
も良い。また、X,X'およびY は、-COO-,-OCOO-,-CONR"
-,-OCONR"-,-SO2NR"-,-CONH-,SO2-,-SO2O-,-O-,-NR"-,-
S-,-CO-,-OSO2O-,-OPO(OH)O- のうちいずれかを表し、
X,X'およびY は同一でも異なっていても良い。R"はアル
キル基または水素を表す。)
11. A monomer or oligomer having a fluorine-containing group and a hydrophilic group and / or a lipophilic group is represented by the general formula Rf-X-Rf ', or the general formula (Rf-XR) -Y- (R'-X. 11. A compound represented by "-Rf").
A method for manufacturing the described color filter. (Where Rf and R
f'represents a fluoroalkyl group, R and R'represent an alkylene group, and Rf and Rf 'may be the same or different. Also, X, X 'and Y are -COO-,-OCOO-,-CONR "
-,-OCONR "-,-SO2NR"-,-CONH-, SO2-,-SO2O-,-O-,-NR "-,-
Represents one of S-,-CO-,-OSO2O-,-OPO (OH) O-,
X, X'and Y may be the same or different. R "represents an alkyl group or hydrogen.)
【請求項12】 含フッ素化合物がフッ素原子を有する
高分子化合物であることを特徴とする請求項9記載のカ
ラーフィルタの製造方法。
12. The method for producing a color filter according to claim 9, wherein the fluorine-containing compound is a polymer compound having a fluorine atom.
【請求項13】 フッ素原子を有する高分子化合物が、
ブラックマトリクス中に溶解状態または分子オーダーで
の混合状態で含有されていることを特徴とする請求項1
2記載のカラーフィルタの製造方法。
13. A polymer compound having a fluorine atom,
The black matrix is contained in a dissolved state or a mixed state in a molecular order, wherein the black matrix is contained.
2. The method for manufacturing a color filter according to 2.
【請求項14】 フッ素原子を有する高分子化合物が、
ブラックマトリクス中に微粒子状の分散状態で含有され
ていることを特徴とする請求項11記載のカラーフィル
タの製造方法。
14. A polymer compound having a fluorine atom,
The method for producing a color filter according to claim 11, wherein the black matrix contains the fine particles in a dispersed state.
【請求項15】 含ケイ素組成物が、シリコーン微粒子
であることを特徴とする請求項9記載のカラーフィルタ
の製造方法。
15. The method for producing a color filter according to claim 9, wherein the silicon-containing composition is fine silicone particles.
【請求項16】 シリコーン微粒子がブラックマトリク
ス中に分散状態で含有されていることを特徴とする請求
項15記載のカラーフィルタの製造方法。
16. The method for producing a color filter according to claim 15, wherein the silicone fine particles are contained in a black matrix in a dispersed state.
【請求項17】 ブラックマトリクスがアクリル酸、メ
タクリル酸またはこれらのエステル化物の重合体を含有
することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの
製造方法。
17. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the black matrix contains a polymer of acrylic acid, methacrylic acid or an esterified product thereof.
【請求項18】 ブラックマトリクスが、ポリイミド樹
脂を含有することを特徴とする請求項1記載のカラーフ
ィルタの製造方法。
18. The method of manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the black matrix contains a polyimide resin.
【請求項19】 ブラックマトリクスが、メラミン樹脂
を含有することを特徴とする請求項1記載のカラーフィ
ルタの製造方法。
19. The method for producing a color filter according to claim 1, wherein the black matrix contains a melamine resin.
【請求項20】 インキ反発性樹脂組成物が、ナフトキ
ノンジアジド基を有する樹脂を含有することを特徴とす
る請求項2記載のカラーフィルタの製造方法。
20. The method for producing a color filter according to claim 2, wherein the ink-repellent resin composition contains a resin having a naphthoquinonediazide group.
【請求項21】 着色インキを用いて着色する方法が、
インクジェット式インキ噴射装置を用いた方法であるこ
とを特徴とする請求項2記載のカラーフィルタの製造方
法。
21. A method of coloring with a coloring ink comprises:
The method of manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the method uses an ink jet type ink jet device.
【請求項22】 着色インキを用いて着色する方法が、
フォトリソグラフィー法であることを特徴とする請求項
2記載のカラーフィルタの製造方法。
22. A method of coloring using a coloring ink,
The method for producing a color filter according to claim 2, wherein the method is a photolithography method.
【請求項23】 着色インキを用いて着色する方法が、
印刷法であることを特徴とする請求項2記載のカラーフ
ィルタの製造方法。
23. A method of coloring with a coloring ink comprises:
The method of manufacturing a color filter according to claim 2, wherein the method is a printing method.
【請求項24】 請求項1〜23のいずれかに記載の液
晶表示用カラーフィルタの製造方法。
24. A method of manufacturing a color filter for liquid crystal display according to claim 1.
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