JP5005328B2 - フォトレジスト端面剥離・洗浄方法及び装置 - Google Patents
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Description
マスクの左端面及び右端面にスリットノズルを押し当て、マスク端部に保護流体を噴射すると共にマスク表面に保護流体を流しつつ、スリットノズルから薬液を噴射してマスク端面のフォトレジストを除去し、マスクを90度回転させた後、マスクの前端面及び後端面にスリットノズルを押し当て、マスク端部に保護流体を噴射すると共にマスク表面に保護流体を流しつつ、スリットノズルから薬液を噴射してマスク端面のフォトレジストを除去することを特徴とするフォトレジスト端面剥離・洗浄方法の構成とした。
(2)
マスク側の面に形成したスリットにマスク端面のフォトレジストを除去する薬液が噴射されるノズルを設置し、マスク端面のフォトレジストを除去する際に前記マスクの左右端面に押し当てられる左右スリットノズルと、前記マスク端部に保護流体を噴射するシャワーノズルと、前記マスク表面に保護流体を流す表面用シャワーノズルと、前記マスク裏面に保護流体を流す裏面用シャワーノズルと、前記マスクの左右端面のフォトレジストを除去した後に前記マスクの他の端面が前記左右スリットノズルに位置するまで前記マスクを回転させるマスクホルダーと、からなることを特徴とするフォトレジスト端面剥離・洗浄装置の構成とした。
(3)
前記左右スリットノズルの前記スリット入口側のマスクに押し当てられる箇所は斜めにカットした面とし、前記押し当てが、前記マスク端面の角と前記スリットノズルの斜めにカットされた面とが接することを特徴とする(2)に記載のフォトレジスト端面剥離・洗浄装置の構成とした。
(4)
前記薬液が、オゾン水、硫酸・過酸化水素水混合液、弗酸・硝酸混合液又は有機溶剤のいずれかであることを特徴とする(2)又は(3)に記載の
フォトレジスト端面剥離・洗浄装置の構成とした。
(5)
前記保護流体が、水、空気、窒素ガス、アルゴンガス又は有機溶剤のいずれかであることを特徴とする(2)〜(4)の何れかに記載のフォトレジスト端面剥離・洗浄装置の構成とした。
2 左スリットノズル
2a 右スリットノズル
2b スリット
2c ノズル
2d 供給口
2e 薬液
2f スリットノズル
2g スリットノズル
3 左端部シャワーノズル
3a 右端部シャワーノズル
3b 保護流体
4 上クランプ
4a 下クランプ
4b 左前クランプピン
4c 右前クランプピン
4d 左後クランプピン
4e 右後クランプピン
5 マスクホルダー
6 表面用シャワーノズル
6a 裏面用シャワーノズル
6b 保護流体
7 マスク
7a 表面
7b 裏面
7c 左端面
7d 右端面
7e 前端面
7f 後端面
7g マスク
8 フォトレジスト端面剥離・洗浄方法
8a マスク搬入
8b マスクホルダー下降
8c マスク挟持
8d スリットノズル押当て
8e 保護流体噴射
8f 薬液噴射
8g スリットノズル退避
8h クランプ解除
8i マスクホルダー上昇
8j マスク90度回転
8k マスク搬出
Claims (5)
- マスクの左端面及び右端面にスリットノズルを押し当て、マスク端部に保護流体を噴射すると共にマスク表面に保護流体を流しつつ、スリットノズルから薬液を噴射してマスク端面のフォトレジストを除去し、マスクを90度回転させた後、マスクの前端面及び後端面にスリットノズルを押し当て、マスク端部に保護流体を噴射すると共にマスク表面に保護流体を流しつつ、スリットノズルから薬液を噴射してマスク端面のフォトレジストを除去することを特徴とするフォトレジスト端面剥離・洗浄方法。
- マスク側の面に形成したスリットにマスク端面のフォトレジストを除去する薬液が噴射されるノズルを設置し、マスク端面のフォトレジストを除去する際に前記マスクの左右端面に押し当てられる左右スリットノズルと、
前記マスク端部に保護流体を噴射するシャワーノズルと、
前記マスク表面に保護流体を流す表面用シャワーノズルと、
前記マスク裏面に保護流体を流す裏面用シャワーノズルと、
前記マスクの左右端面のフォトレジストを除去した後に前記マスクの他の端面が前記左右スリットノズルに位置するまで前記マスクを回転させるマスクホルダーと、
からなることを特徴とするフォトレジスト端面剥離・洗浄装置。 - 前記左右スリットノズルの前記スリット入口側のマスクに押し当てられる箇所は斜めにカットした面とし、前記押し当てが、前記マスク端面の角と前記スリットノズルの斜めにカットされた面とが接することを特徴とする請求項2に記載のフォトレジスト端面剥離・洗浄装置。
- 前記薬液が、オゾン水、硫酸・過酸化水素水混合液、弗酸・硝酸混合液又は有機溶剤のいずれかであることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のフォトレジスト端面剥離・洗浄装置。
- 前記保護流体が、水、空気、窒素ガス、アルゴンガス又は有機溶剤のいずれかであることを特徴とする請求項2〜請求項4の何れか1項に記載のフォトレジスト端面剥離・洗浄装置。
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