JP5003570B2 - アイソレータのフィルタ交換方法 - Google Patents

アイソレータのフィルタ交換方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5003570B2
JP5003570B2 JP2008103374A JP2008103374A JP5003570B2 JP 5003570 B2 JP5003570 B2 JP 5003570B2 JP 2008103374 A JP2008103374 A JP 2008103374A JP 2008103374 A JP2008103374 A JP 2008103374A JP 5003570 B2 JP5003570 B2 JP 5003570B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
isolator
exhaust
casing
isolator body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008103374A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009248295A (ja
Inventor
和仁 谷本
建二 中道
匡樹 東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibuya Corp
Original Assignee
Shibuya Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shibuya Corp filed Critical Shibuya Corp
Priority to JP2008103374A priority Critical patent/JP5003570B2/ja
Publication of JP2009248295A publication Critical patent/JP2009248295A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5003570B2 publication Critical patent/JP5003570B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

本発明は、内部を陰圧に維持した状態で使用するアイソレータに係り、特に、アイソレータの排気口に設けられたフィルタを交換するアイソレータのフィルタ交換方法に関するものである。
内部で有害な粉末を取り扱ったり、原子力の分野等で使用されるアイソレータは、これらの有害な物質を外部に出さないために、内部を陰圧に維持した状態で使用される。このようなアイソレータに設けられているフィルタを交換する方法として、古い使用済みのフィルタを新しいフィルタによって押し出して交換する方法が従来から知られている(例えば、特許文献1または特許文献2等参照)。
前記特許文献1に記載された「スライド交換式フィルタ装置」は、円筒状のフィルタケーシング20と、その内部に収容される複数の円柱状フィルタユニット(常用フィルタユニット22aと予備フィルタユニット22b)とを有し、これらフィルタユニット22a、22bの間に所定の長さのスペーサ30が介装されている。そして、フィルタケーシング20の側壁には、軸方向で互いに異なる位置に(フィルタユニットの軸方向長さ以上の間隔をおいて)給気配管24と排気配管26を接続している。
この引用文献1に記載された発明の構成によると、通常の使用状態では、グローブボックス(本発明のアイソレータに相当する)内の空気は、給気配管24を通ってフィルタケーシング20内に吸い込まれ、常用フィルタユニット22aで濾過され、排気配管26から排出される。
フィルタユニット22を交換する際には、フィルタケーシング20の予備フィルタユニット22b側の開口部から次の予備フィルタユニット22cを挿入し、フィルタユニット押し込み治具42を取り付ける。そして、この治具42によって各フィルタユニット22a、22b、22cを徐々に押し込み、2つの予備フィルタユニット22b、22cをそれぞれ常用のフィルタユニット22aと先に挿入されていた予備のフィルタユニット22bの位置に移動させるとともに、使用済みとなった常用フィルタユニット22aを押し出して廃棄する。
前記のようにフィルタケーシング20内を、フィルタユニット22を移動させると、各ユニット22によって排気配管26および給気配管24を閉塞する状態になる。陰圧状態で使用するアイソレータでは、フィルタを交換する際にも、使用済みのフィルタやアイソレータ内から有害物質が外部に出ないようにアイソレータ内の陰圧を維持する必要があるが、前記のように給気配管24および排気配管26を閉塞した状態になると、陰圧が維持できず有害物質が放出されてしまうおそれがあるので、前記特許文献1では、フィルタの交換時にも陰圧を維持できるように構成している。つまり、「給気配管24とフィルタケーシング20との間には、開閉弁32を備えた給気側バイパス配管34を接続し、また、フィルタケーシング20と排気配管26との間には、開閉弁36を備えた排気側バイパス配管38を接続する」ことにより、フィルタ交換時の給気配管24と排気配管26が塞がれるときには、開閉弁32、36を開放して、バイパス通路34、38により排気側の流路を確保して陰圧を維持するようにしている。
また、特許文献2に記載された「グローブボックス用排気ユニット」は、筒状ケーシング10がグローブボックス(本発明のアイソレータに相当)のボックス本体1の側面に開口した排気口4に気密に接続されており、ケーシング10の本体1側にフィルタ12を装着するとともに、後端側を負圧源に接続して、グローブボックス内の空気をフィルタ12を介して排気してグローブボックス内を負圧に維持するようにしている。
この発明のケーシング10の中間部上面には、上端に開閉蓋14aを有する筒状のフィルタ投入口14が設けられており、さらに、ケーシング10内にフィルタ投入口14の底部を密閉する上昇位置とフィルタ装着部11の下面と同レベルの下降位置とに昇降自在な板状の昇降部材15を設けている。さらに、昇降部材15の昇降軌跡より後方の後退位置からフィルタ装着部11に向かってケーシング10の軸線方向に進退自在な板状の押圧部材16が設けられている。
前記構成のケーシング10内に設けられたフィルタ12を交換する際には、先ず、フィルタ投入口14に、上端の開閉蓋14aを開いて新しいフィルタ12を挿入する。フィルタ12投入後開閉蓋14aを閉じ、次に昇降部材15用のハンドル15eを操作して昇降部材15を下降位置に下降させ、新しいフィルタ12を昇降部材15に支持させた状態でケーシング10内に下降させる。次いで、押圧部材16をハンドル16eの操作で前進させて、昇降部材15上の新しいフィルタ12を押圧部材16によりフィルタ装着部11に押し込み、このフィルタ装着部11に装着されていた使用済みのフィルタ12を排気口4からグローブボックス内に押し出して回収する。
この特許文献2に記載した発明では、フィルタ投入口14の開閉蓋14aを開いて新しいフィルタ12を入れる際に、上昇している昇降部材15によってフィルタ投入口14を密封しておくことにより、グロ−ブボックス内の負圧を維持するようにしている。
特許第2928765号公報(第3−4頁、図1) 特許第2525323号公報(第2−3頁、図2)
前記各特許文献に記載された発明では、フィルタを交換する際にアイソレータ内の負圧を維持するために特別な機構を必要としている。例えば、特許文献1では、給気配管24とフィルタケーシング20との間に、開閉弁32を備えた給気側バイパス配管34を接続し、フィルタケーシング20と排気配管26との間に、開閉弁36を備えた排気側バイパス配管38を接続して、フィルタ交換時にはバイパス通路34、38により排気側の流路を確保して陰圧を維持するようにしている。また、特許文献2では、昇降部材を設けて、フィルタ投入口14から新しいフィルタ12を投入する際には、昇降部材によってフィルタ投入口14の底部を密閉してケーシング10内およびグローブボックス内の負圧を維持するようにしている。
本発明は、前記各引用文献に記載された発明のような特別な機構を必要とせず、陰圧を維持することができ、しかも、作業性が良く、有害物質による汚染リスクの少ないアイソレータのフィルタ交換方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、複数のアイソレータ本体と、各アイソレータ本体に設けられた排気口と、各排気口を介してアイソレータ本体の内部に連通する筒状のフィルタケーシングと、各フィルタケーシング内に収容されるフィルタと、前記フィルタケーシングに接続され、フィルタを介してアイソレータ本体の内部を吸気する排気手段と、各アイソレータ本体間を連通する連通口を開閉可能な開閉手段とを備え、各アイソレータ本体内部を陰圧状態に維持可能なアイソレータにおける前記フィルタの交換方法において、前記連通口を開放して、フィルタを交換するアイソレータ本体と他のアイソレータ本体とを連通するとともに、フィルタを交換するアイソレータ本体の排気手段を停止させ、このアイソレータ本体内部を他のアイソレータ本体の排気手段によって陰圧状態に維持しつつ、新しいフィルタにより使用済みフィルタを前記フィルタケーシングからアイソレータ本体内に押し出して、フィルタの交換を行うことを特徴とするものである。
本発明のフィルタ交換方法は、複数のアイソレータ本体を連通し、一方のアイソレータ本体のフィルタを交換する際には、隣接する他方のアイソレータ本体の排気手段によって、フィルタを交換するアイソレータ本体の内部も陰圧を維持できるようにしたので、アイソレータ内の陰圧を維持するために必要とする構成のほかに、特別な構造を設ける必要がなく、簡単な構成で、有害物質を外部に放出するおそれがない状態でフィルタを交換することができる。
複数のアイソレータ本体にそれぞれ排気口が設けられ、これら各排気口を介して、フィルタが収容されたフィルタケーシングが連結されている。各フィルタケーシングに排気手段が接続され、アイソレータ本体の内部に連通して吸気するようになっており、その内部を陰圧に維持できる。各アイソレータ本体の連結部には、その内部間を連通する連通口が設けられ、開閉手段によって開閉できるようになっている。そして、フィルタを交換する際には、前記開閉手段を開放してアイソレータ本体間を連通し、フィルタを交換するアイソレータ本体の排気手段を停止するとともに、このアイソレータ本体と連通口によって連通しているアイソレータ本体の排気手段を運転することにより、前記フィルタを交換する側のアイソレータ本体も陰圧を維持することを可能にしたことで、特別な機構を必要とせず、陰圧で使用する通常のアイソレータの構成によって、汚染リスクのないフィルタ交換を可能にするという目的を達成する。
以下、図面に示す実施例により本発明を説明する。図1は本発明の一実施例に係るフィルタ交換方法によってフィルタの交換が行われるアイソレータの側面図である。このアイソレータ(全体として符号1で示す)は複数のアイソレータ本体を備えている。一方が内部で作業を行う作業用アイソレータ(第1アイソレータ本体)2、他方がこの作業用アイソレータ2に接続されたパスボックス(第2アイソレータ本体)4である。これら両アイソレータ本体2、4の接続部には、両室内を連通する連通口6が形成されている。この連通口6は、シャッタ(開閉手段)8によって開閉できるようになっており、両アイソレータ本体2、4間で物品を出し入れする際等に開放して両室内を連通する。また、後に説明するように、本発明に係るフィルタ交換方法を実施する際にこのシャッタ8を開放して、両アイソレータ本体2、4の内部間を連通する。
第1アイソレータ本体2の、第2アイソレータ本体4との連結部と逆側の壁面(図1の左側の壁面)に、バッグ10を装着するバッグポート12が形成されている。このバッグポート12にバッグ10の開口部を被せてゴムリング14および金属製のクランプバンド15で固定することにより、第1アイソレータ本体2内の気密状態を保持してバッグ10を装着することができる。また、第1アイソレータ本体2の側壁には、一対のグローブ16、16が取り付けられており、作業者がこれらグローブ16、16から両手を第1アイソレータ本体2内に挿入して、アイソレータ1の内部と外部とを完全に遮断した状態で、第1アイソレータ2の内部で作業を行うことが可能である。
第1アイソレータ本体2の上部に排気口18が形成され、この排気口18に円筒状のフィルタケーシング20が取り付けられている。フィルタケーシング20の外部側の開口部22は蓋24によって密閉される。このフィルタケーシング20の外部側開口部22寄りに、排気通路26を介して吸気するブロア(排気手段)28が接続されている。前記第1アイソレータ本体2の排気口18と、フィルタケーシング20に接続された排気通路26の間に、複数(この実施例では2個)の排気用のフィルタ30(30A、30B)が収容される。前記ブロア28を作動させることにより、第1アイソレータ本体2内の気体をフィルタ30A、30Bを通して排気することができ、第1アイソレータ本体2の内部を陰圧に維持することができる。また、第1アイソレータ本体2の上部に、前記排気口18と並んで給気口19が形成され、この給気口19に円筒状のフィルタケーシング21が取り付けられている。フィルタケーシング21の外部側の開口部23は蓋25によって密閉される。このフィルタケーシング21の外部側開口部23寄りに給気通路27が設けられている。前記給気口19とフィルタケーシング21に接続された給気通路27の間に、複数(この実施例では2個)の給気用のフィルタ31(31A、31B)が収容される。給気側にはブロアがなく、排気通路26側からの吸引力によって、前記フィルタ31を介して給気通路27から外気を給気するようになっている。第1アイソレータ本体2には、圧力計33が設けられており、この圧力計33の計測に基づいてブロア28を制御して内部を設定圧力からなる所定の陰圧状態に維持する。
第2アイソレータ本体4の、前記第1アイソレータ本体2との連結部と逆側の壁面(図1の右側の壁面)に開口部32が形成されており、この開口部32は扉34によって開閉できるようになっている。また、この第2アイソレータ本体4の上部に排気口36が形成され、この排気口36に、前記第1アイソレータ本体2と同様の構成の円筒状のフィルタケーシング38が取り付けられている。フィルタケーシング38の外部側の開口部40は蓋42によって密閉される。この外部側開口部40寄りに、排気通路44を介して吸気するブロア(排気手段)46が接続されている。第2アイソレータ4の排気口36と、フィルタケーシング38に接続された排気通路44の間に、複数(この実施例では2個)のフィルタ48(48A、48B)が収容される。前記ブロア46を作動させることにより、第2アイソレータ本体4の内部の気体をフィルタ48A、48Bを通して排気することができ、第2アイソレータ本体4の内部を第1アイソレータ本体2の内部と同様に陰圧に維持することができる。また、第2アイソレータ本体4の上部に給気口37が形成され、この給気口37に、前記第1アイソレータ本体2と同様の構成の円筒状のフィルタケーシング39が取り付けられている。フィルタケーシング39の外部側の開口部41は蓋43によって密閉される。この外部側開口部41寄りに、給気通路45が設けられている。前記給気口37と、フィルタケーシング39に接続された給気通路45の間に、複数(この実施例では2個)のフィルタ49(49A、49B)が収容される。この第2アイソレータ本体4でも給気側にはブロアはなく、排気通路44側からの吸引力によって、前記フィルタ49を介して給気通路45から外気を給気するようになっている。第2アイソレータ本体4にも、圧力計35が設けられており、この圧力計35の計測に基づいてブロア46を制御して内部を設定圧力からなる所定の陰圧状態に維持する。なお、通常運転時およびフィルタ交換時ともに、各ブロア28、46は、同じアイソレータ本体2、4内の圧力計33、35に基づいて制御される。
前記構成のアイソレータ1の排気用のフィルタを交換する方法について説明する。このアイソレータ1を通常運転している場合には、第1アイソレータ本体2と第2アイソレータ本体4とを連結している連通口6のシャッタ8を閉じた状態で、各アイソレータ本体2、4のフィルタケーシング20、38に接続されているブロア28、46を運転して、各アイソレータ本体2、4の内部をそれぞれ陰圧状態に維持している。
排気用のフィルタ30、48を交換する場合には、両アイソレータ本体2、4の連結部に設けられている連通口6のシャッタ8を開放して、これらアイソレータ本体2、4の内部を連通する。この実施例に係るフィルタ交換方法では、2つのアイソレータ本体2、4のフィルタ30、48を同時に交換せず、一方のアイソレータ本体2または4のフィルタ30または48を先に交換した後、他方のアイソレータ本体4または2のフィルタ48または30の交換を行う。
例えば、第2アイソレータ本体4のフィルタ48の交換を行う場合には、この第2アイソレータ本体4のフィルタケーシング38に接続されているブロア46を停止し、他方の第1アイソレータ本体2のブロア28を運転しておく。第2アイソレータ本体4のフィルタケーシング38の蓋42を外して、新たなフィルタ48Cを挿入し、このフィルタ48Cを押し込んで、先にフィルタケーシング38内に収容されていた2つのフィルタ48A、48Bを同時に押し下げる(図2に示す状態)。このアイソレータ1の運転中に上方に位置していたフィルタ48Bを、下方のフィルタ48Aの位置まで押し込むと、下方に位置していた使用済みのフィルタ48Aが、排気口36から第2アイソレータ本体4内に落下して、フィルタケーシング38からアイソレータ本体4内へ押し出される。上方に位置していたフィルタ48Bと新しく収容されたフィルタ48Cが、運転中の2つのフィルタ48A、48Bの位置(図1に示す位置)に停止する。この交換方法のように、第2アイソレータ本体4のフィルタケーシング38の蓋42を開けて新しいフィルタ48Cを挿入するとともに、使用済みのフィルタ48Aを除去する場合に、この第2アイソレータ本体4のブロア46は停止しているが、第1アイソレータ本体2との間の連通口6を開放し、第1アイソレータ本体2のブロア28を運転することにより、第2アイソレータ本体4の内部も陰圧を維持しているので、第2アイソレータ本体4の内部の有害物質等が外部に放出されるおそれがなく安全である。
第2アイソレータ本体4のフィルタ48を交換した後、第1アイソレータ本体2のフィルタ30の交換を行う。このときには、連通口6のシャッタ8を開放した状態で、両アイソレータ本体2、4の内部を連通したまま、今度は、第1アイソレータ本体2のブロア28の運転を停止し、第2アイソレータ本体4のブロア46の運転を行う。この状態で、第1アイソレータ本体2のフィルタケーシング20の蓋24を外して、新しいフィルタ(図示せず)を挿入する。第2アイソレータ本体4のフィルタ48の交換時と同様に、新しいフィルタを下方に押し込んで、下に位置していた使用済みのフィルタ30Aを第1アイソレータ本体2の内部に落下させる。アイソレータ1の運転中に上方に位置していたフィルタ30Bと新しいフィルタが、前記運転中のフィルタ30A、30B(図1に示す状態)と同様の位置にセットされる。この場合も、第1アイソレータ本体2の内部は、第2アイソレータ本体4のブロア46の作動によって陰圧に保持されているので、使用済みのフィルタ30Aも含めたアイソレータ1内部の有害物質が外部に流出するおそれがなく安全である。また、給気用フィルタ31、49を交換する場合には、両アイソレータ本体2、4間を連通させず、ブロア28、46を運転した排気状態で、排気用のフィルタ30、48と同様に新しいフィルタにより使用済みのフィルタを押し出して交換する。
アイソレータ本体2、4の内部に落下した使用済みのフィルタ30A、31A、48A、49Aは、作業者がグローブ16を介してアイソレータ本体2内に手を挿入して、バッグ10内に収容する。その後、バッグ10のバッグポート12側を融着してシールした後、使用済みのフィルタ30A、31A、48A、49Aを収容した底部側を切り離す。使用済みのフィルタ30A、31A、48A、49Aを収容したバッグ10は密封状態のまま焼却等の処分を行う。
本発明の一実施例に係るフィルタ交換方法が行われるアイソレータの側面図である。(実施例1) 前記アイソレータのフィルタ交換の過程を示す図である。
符号の説明
1 アイソレータ
2 アイソレータ本体(第1アイソレータ本体)
4 アイソレータ本体(第2アイソレータ本体)
6 連通口
8 開閉手段(シャッタ)
18 第1アイソレータ本体の排気口
20 第1アイソレータ本体のフィルタケーシング
28 排気手段(第1アイソレータのブロア)
30A フィルタ
30B フィルタ
36 第2アイソレータ本体の排気口
38 第2アイソレータ本体のフィルタケーシング
46 排気手段(第2アイソレータのブロア)
48A フィルタ
48B フィルタ
48C フィルタ

Claims (1)

  1. 複数のアイソレータ本体と、各アイソレータ本体に設けられた排気口と、各排気口を介してアイソレータ本体の内部に連通する筒状のフィルタケーシングと、各フィルタケーシング内に収容されるフィルタと、前記フィルタケーシングに接続され、フィルタを介してアイソレータ本体の内部を吸気する排気手段と、各アイソレータ本体間を連通する連通口を開閉可能な開閉手段とを備え、各アイソレータ本体内部を陰圧状態に維持可能なアイソレータにおける前記フィルタの交換方法において、
    前記連通口を開放して、フィルタを交換するアイソレータ本体と他のアイソレータ本体とを連通するとともに、フィルタを交換するアイソレータ本体の排気手段を停止させ、このアイソレータ本体内部を他のアイソレータ本体の排気手段によって陰圧状態に維持しつつ、新しいフィルタにより使用済みフィルタを前記フィルタケーシングからアイソレータ本体内に押し出して、フィルタの交換を行うことを特徴とするアイソレータのフィルタ交換方法。
JP2008103374A 2008-04-11 2008-04-11 アイソレータのフィルタ交換方法 Expired - Fee Related JP5003570B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008103374A JP5003570B2 (ja) 2008-04-11 2008-04-11 アイソレータのフィルタ交換方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008103374A JP5003570B2 (ja) 2008-04-11 2008-04-11 アイソレータのフィルタ交換方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009248295A JP2009248295A (ja) 2009-10-29
JP5003570B2 true JP5003570B2 (ja) 2012-08-15

Family

ID=41309454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008103374A Expired - Fee Related JP5003570B2 (ja) 2008-04-11 2008-04-11 アイソレータのフィルタ交換方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5003570B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111086029A (zh) * 2019-12-31 2020-05-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 手套箱系统

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5617440B2 (ja) * 2010-08-30 2014-11-05 澁谷工業株式会社 無菌作業装置
JP6258021B2 (ja) * 2013-11-29 2018-01-10 澁谷工業株式会社 アイソレータ
JP6242206B2 (ja) * 2013-12-18 2017-12-06 澁谷工業株式会社 無菌アイソレータ
CN106514721B (zh) * 2016-12-26 2018-11-13 河南华瑞高新材料有限公司 一种手套箱过渡舱

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5560899A (en) * 1978-10-31 1980-05-08 Shinwa Boeki Kk Filter exchanging method in radioactive dust*gas removal unit
JPS5863898A (ja) * 1981-10-13 1983-04-15 株式会社東芝 排気処理装置のフイルタユニツト交換方法
JP3201701B2 (ja) * 1994-12-28 2001-08-27 敏夫 淡路 半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理方法及びその装置
JP2001149726A (ja) * 1999-12-01 2001-06-05 Shibuya Kogyo Co Ltd アイソレータ内のフィルタ交換方法
JP3810762B2 (ja) * 2003-10-01 2006-08-16 核燃料サイクル開発機構 不活性雰囲気試験装置
JP4374294B2 (ja) * 2004-08-02 2009-12-02 株式会社日立産機システム 安全キャビネット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111086029A (zh) * 2019-12-31 2020-05-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 手套箱系统
CN111086029B (zh) * 2019-12-31 2021-10-08 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 手套箱系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009248295A (ja) 2009-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5003570B2 (ja) アイソレータのフィルタ交換方法
JP6242206B2 (ja) 無菌アイソレータ
JP5009657B2 (ja) 作業用隔絶袋体、及びアイソレーター
US9157538B2 (en) Method of operating a valve
JP5018639B2 (ja) アイソレータからの物品搬出方法およびアイソレータ
SG177861A1 (en) Biosafety cabinetry
JP6681995B2 (ja) 吸着材を交換できる浄化装置及びグローブボックス
US20190193287A1 (en) Aseptic work system
JP5626507B2 (ja) 接続装置
JP5715984B2 (ja) グローブボックスのグローブ交換方法
JP2005327815A (ja) 収納容器のガス置換装置およびそれを用いたガス置換方法
JP5368056B2 (ja) アイソレーター装置及びアイソレーター装置におけるフィルター交換方法
JP4238861B2 (ja) 遠心分離機を組み込んだ安全キャビネット及びバイオクリーンベンチ
JP2005081452A (ja) バキュームグローブボックス
JP2008035745A (ja) カートリッジ用検査装置
ITMI20011154A1 (it) Apparecchio per l'aspirazione di materiale polveroso e similare
KR20080039044A (ko) 공기유동 차단장치
JP2015089574A (ja) アイソレータおよびアイソレータからの物品排出方法
JP2001149726A (ja) アイソレータ内のフィルタ交換方法
CN210147545U (zh) 一种便捷型石墨夹具
US20170287740A1 (en) Fume removal apparatus for semiconductor manufacturing chamber
JP2928765B2 (ja) スライド交換式フィルタ装置
JP4532279B2 (ja) フィルタユニットのドレナージ装置のための支持装置および受けヘッド
CN207412421U (zh) 过氧化氢低温等离子体灭菌器过氧化氢分接器组件
JP3212755U (ja) サンプリングシリンダ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101028

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110719

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120321

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120424

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120507

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5003570

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees