JP3201701B2

JP3201701B2 - 半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理方法及びその装置

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Publication number: JP3201701B2
Application number: JP33981294A
Authority: JP
Inventors: 敏夫淡路
Original assignee: 敏夫淡路
Priority date: 1994-12-28
Filing date: 1994-12-28
Publication date: 2001-08-27
Anticipated expiration: 2016-08-27
Also published as: JPH08186066A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子製造工程の
微粒子粉塵処理方法及びその装置に係り、特に、粒径
０．０１μｍ以上の微粒子粉塵を長期間にわたって捕獲
して廃棄できるようにした半導体素子製造工程の微粒子
粉塵処理方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンピュータ及びこれを応用する
電子制御装置は目を見張るように発達してきており、そ
の発展の方向及び範囲は無限に広がるように思われる。
このため、コンピュータに使用される電子部品として主
要な地位を占める半導体電子素子の製造技術及びその生
産量も著しく急速に成長している。

【０００３】これら半導体素子の原料となる半導体とし
ては、ゲルマニウム（Ｇｅ）、シリコン（Ｓｉ）が多用
され、また、特殊な素子にはガリウム砒素（ＧａＡ
ｓ）、ガリウム燐（ＧａＰ）なども実用化されている。

【０００４】半導体素子製造工程は、例えば半導体の円
柱を形成する半導体柱形成工程、これをスライスして半
導体ウエハを形成するウエハ形成工程、この半導体ウエ
ハにマスキング、薄膜形成、ドーピング、エッチングな
どを繰り返すことにより多数の素子を形成する素子形成
工程、素子が形成された半導体ウエハを各素子に分断す
る裁断工程などからなる。

【０００５】このような半導体製造工程においては、例
えば０．０１〜５０μｍ程度の非常に微細な微粒子粉塵
が発生することが知られており、また、この微粒子粉塵
は、それ自体が公害防止の観点から放散することが禁止
される有害物質であったり、これを含有する気体が有害
物質であったり、雰囲気中の有害物質を吸着したり、収
着したりしていることが知られている。

【０００６】半導体製造工程において使用され、或いは
生成される有害物質としては、以下に例示するシリコン
系、砒素系、燐系、硼素系、水素化金属系、フロン系、
ハロゲン、ハロゲン化物、窒素酸化物、その他のものが
ある。

【０００７】シリコン系有害ガスとしては、モノシラン
(SiH₄)、ジクロルシラン、三塩化一水素ケイ素(SiHC
l₃)、四塩化ケイ素(SiCl₄)、四フッ化ケイ素(SiF₄)、ジ
シラン(Si₂H₆)、ＴＥＯＳ(Si(OC₂H₅)などが代表的であ
る。

【０００８】砒素系有害ガスとしては、アルシン(As
H₃)、フッ化砒素(III)(AsF₃)、フッ化砒素(V)(AsF₅)、
塩化砒素(III)(AsCl₃)、塩化砒素(V)(AsCl₅)などが代表
的であり、燐系有害ガスとしては、ホスフィン(PH₃)、
フッ化燐(III)(PF₃)、フッ化燐(V)(PF₅)、塩化燐(III)
(PCl₃)、塩化燐(V)(PCl₅)、オキシ塩化燐(POCl₃)などが
代表的である。

【０００９】硼素系有害ガスとしては、ジボラン(B
₂H₆)、三フッ化硼素(BF₃)、三塩化硼素(BCl₃)、三臭化
硼素(BBr₃)などが代表的であり、また、水素化金属系有
害ガスとしては、セレン化水素(H₂Se)、モノゲルマン(G
eH₄)、テルル化水素(H₂Te)、スチビン(SbH₃)、水素化錫
(SnH₄)などが代表的であり、フロン系有害ガスとしては
四フッ化メタン(CF₄)、三フッ化一水素メタン(CHF₃)、
二フッ化二水素メタン(CH₂F₂)、六フッ化二水素プロパ
ン(C₃H₂F₆)、八フッ化プロパン(C₃F₈)などがその例とし
て挙げられる。

【００１０】有害ガスであるハロゲン及びハロゲン化物
としては、フッ素(F₂)、フッ化水素(HF)、塩素(Cl₂)、
塩化水素(HCl)、四塩化炭素(CCl₄)、臭化水素(HBr₂)、
三フッ化窒素(NF₃)、四フッ化硫黄(SF₄)、六フッ化硫黄
(SF₆)、フッ化タングステン(VI)(WF₆)、フッ化モリブデ
ン(VI)(MoF₆)、四塩化ゲルマニウム(GeCl₄)、塩化錫(Sn
Cl₄)、塩化アンチモン(VI)(SbCl₅)、塩化タングステン
(VI)(WCl₆)、六塩化モリブデン(MoCl₆)などが代表的で
ある。

【００１１】有害ガスである窒素酸化物としては、一酸
化窒素(NO)、二酸化窒素(NO₂)、一酸化二窒素(N₂O)など
が挙げられ、その他の有害ガスとしては、硫化水素(H
₂S)、アンモニア(NH₃)、トリメチルアミン((CH₃)₃N)な
どをその例として挙げることができる。

【００１２】この他にも、引火性を有するエタン(C
₂H₆)、プロパン(C₃H₈)や、窒素(N₂)、酸素(O₂)、アルゴ
ン(Ar)、二酸化炭素(CO₂)などが含まれた雰囲気中で微
粒子粉塵が生成されることが知られている。

【００１３】公害防止の精神が徹底しつつある今日で
は、これらの有害成分や粉塵を含んだ排ガスをそのまま
大気中に放出することは許可されず、まず、排ガス中か
ら粉塵を除去し、種々の処理を施して、安全で清浄なガ
スにして放出することが求められている。

【００１４】そこで、従来、排煙ガスなどの排ガス中か
ら粉塵を除去するために、サイクロン、スクラバー、ベ
ンチュリスクラバー、バグフィルター、電気集塵機、ル
ーパ、沈降室などが利用されていることから、半導体製
造工程から生じる排ガス中から粉塵を除去する場合にも
これらの装置を利用することが提案されている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの装置
で捕獲できる塵埃の限界粒径は、サイクロンでは３．０
μｍ、スクラバーでは１．０μｍ、ベンチュリスクラバ
ー、バグフィルター及び電気集塵機では０．１μｍ、ル
ーパでは１０μｍ、沈降室では５０μｍであり、これら
の従来の装置では０．０１〜５０μｍ程度の非常に微細
な微粒子粉塵を捕獲することはできない。

【００１６】そこで、目の大きさが０．０１μｍ程度の
フィルタを用いることを考えたが、この考えには次のよ
うな問題があることが分かった。

【００１７】即ち、現在の技術レベルはせいぜい目の大
きさが１μｍ程度のフィルタを形成できる程度であり、
目の大きさが０．０１μｍ程度のフィルタを形成するこ
とが不可能である。

【００１８】又、仮に目の大きさが０．０１μｍ程度の
フィルタを形成できたとしても、このように目が小さい
フィルタでは圧力損失が著しく大きくなり、微粒子粉塵
発生源からフィルタに微粒子粉塵を運ぶ気流を形成する
ためには著しく能力が大きく、従って、著しく大型の排
気装置或いは圧送装置を用いる必要がある。その結果、
装置の敷設面積が大きくなるとともに、設備費用が著し
く高くなるので、実用的でない、ということが分かっ
た。

【００１９】しかも、この場合、微粒子粉塵がフィルタ
に捕獲されることによって短期間に圧力損失が一層大と
なってその交換が必要となる。

【００２０】そこで、本発明者は研究を重ねた結果、本
発明に先立って、集塵装置のフィルタを目の大きさが上
流側から下流側に順に小さくなる３層以上のフィルタを
積層した積層フィルタで構成し、このフィルタで微粒子
粉塵発生源から導かれた気体を濾過する半導体素子製造
工程の微粒子粉塵処理方法及びその装置を発明し、実用
化に向けて試験を行ったところ、予期した通り０．０１
μｍ以上の粉塵を確実に捕集できることが認められた
(特開平６ー２９６８１５号公報)。

【００２１】しかし、この試験を繰り返す中で、予想以
上に積層フィルタの目詰まりの進行が速くなり、積層フ
ィルタの交換を予想した以上に頻繁にしなければならな
いことが認められた。

【００２２】そこで、更に研究を重ねた結果、半導体製
造工程で生成する微粒子粉塵を含有する気体には真空ポ
ンプやオイルロータリーなどから漏れた油分、研磨、切
断などに用いる水性或いは油性の工作液などの液体成分
が微小滴状になって浮遊したり、ダクトの周面に付着し
た後、気流に押されたりして積層フィルタまで運ばれ、
微粒子粉塵と混ざって積層フィルタに層状にベッタリと
付着し、目詰まりの進行を加速していることが分かっ
た。

【００２３】本発明は、上記技術的事情に鑑みて完成さ
れたものであり、構成が簡単で、しかも、小型でありな
がら、０．０１μｍ程度以上の微粒子粉塵を長期間にわ
たって捕獲できる半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理
方法及びその装置を提供することを目的とする。

【００２４】ところで、この明細書において、本発明と
は、本発明に係る半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理
方法と本発明に係る半導体素子製造工程の微粒子粉塵処
理装置の両方を含む意味で有る。

【００２５】

【課題を解決するための手段】まず、本発明に係る半導
体素子製造工程の微粒子粉塵処理方法（以下、本発明方
法という。）について説明する。

【００２６】本発明方法は、半導体素子製造工程におい
て微粒子粉塵を発生する微粒子粉塵発生源から微粒子粉
塵を含有する気体を目の大きさが上流側から下流側に順
に小さくなる３層以上のフィルタを積層した積層フィル
タで濾過して微粒子粉塵を分離して回収する半導体素子
製造工程の微粒子粉塵処理方法において、上記の目的を
達成するため、微粒子粉塵発生源から上記気体を上記積
層フィルタに通す前に回転ブラシに通して水分及び油分
を分離することを特徴とする方法である。

【００２７】この場合、上記回転ブラシを縦軸心回りに
回転させ、この回転ブラシの下側から上側に上記気体を
通過させるようにしても良いのである。

【００２８】この回転ブラシとしては、回転によって水
分及び油分を分離し得る構造であれば特に限定されるも
のではなく、円盤状或いは螺旋状等、種々の構造のもの
が挙げられるのであり、又、この回転ブラシは定位置で
回転しても良く、或いは左右又は上下に移動するように
構成されても良いのである。

【００２９】本発明方法においては、所望により、上記
液分離室の底部に、吸水性ポリマー、吸油性ポリマー又
は吸水性ポリマーと吸油性ポリマーの積層体を配置し、
分離された水分又は油或いは水分と油をこの吸水性ポリ
マー、吸油性ポリマー又は吸水性ポリマーと吸油性ポリ
マーの積層体に吸収させて廃棄するようにしても良いの
である。

【００３０】又、本発明方法においては、気体を回転ブ
ラシと積層フィルタとの間で積層フィルタの最も上流側
のフィルタよりも目が大きい別の予備フィルタ(予備集
塵手段)に通し、これによって、予め、比較的大きな粉
塵を捕獲するようにしても良いのである。

【００３１】本発明方法においては、作業者や使用後の
積層フィルタの安全性や取扱性を良好にするために、微
粒子粉塵を捕獲した積層フィルタを廃棄用機器内に密封
して廃棄するようにしても良いのである。

【００３２】次に、本発明に係る半導体素子製造工程の
微粒子粉塵処理装置（以下、本発明装置という。）につ
いて説明する。

【００３３】本発明装置は、半導体素子製造工程におい
て微粒子粉塵を発生する微粒子粉塵発生源から導かれる
微粒子粉塵を含む気体を濾過する上流側から下流側に目
の大きさが順に小さくなる３層以上のフィルタを積層し
た積層フィルタを有する集塵装置を設けた半導体素子製
造工程の微粒子粉塵処理装置において、上記本発明方法
を実施するため、微粒子粉塵発生源と積層フィルタとの
間に配置された円筒形の液分離室と、この液分離室内に
液分離室の軸心回りに回転可能に設けられた回転ブラシ
と、この回転ブラシを回転駆動する駆動装置とを備える
液分離装置が設けられていることを特徴とするものであ
る。

【００３４】本発明装置においては、液分離室が縦軸に
配置され、この液分離室が回転ブラシの下方で開口し、
微粒子粉塵発生源に液分離室を連通させる入口と、上記
回転ブラシの上方で開口し、集塵装置に連通する出口と
を備えるように構成しても良いのである。

【００３５】本発明装置において、この回転ブラシとし
ては、回転によって水分及び油分を分離し得る構造であ
れば特に限定されるものではなく、円盤状或いは螺旋状
等、種々の構造のものが挙げられのであり、又、この回
転ブラシは定位置で回転しても良く、或いは左右又は上
下に移動するように構成されても良いのである。

【００３６】又、本発明装置においては、所望により、
液分離装置が液分離室の底部に収納される吸水性ポリマ
ー、吸油性ポリマー又は吸水性ポリマーと吸油性ポリマ
ーの積層体を備えるても良いのである。

【００３７】本発明装置においては、液分離室における
回転ブラシよりも下側の部分が分離可能に設けられてい
ることにより、この液分離室が至極簡単に分離、交換が
できるので、保守管理が至極容易になるのである。

【００３８】又、本発明装置においては、液分離装置と
積層フィルタとの間で気体を濾過する積層フィルタの最
も上流側のフィルタよりも目が大きい別の予備フィルタ
(予備集塵手段)が設けられていることにより、予め、比
較的大きな粉塵を捕獲できるので、積層フィルタを一層
長期間にわたって使用できるのである。

【００３９】本発明装置においては、液分離装置の出口
に複数の集塵装置が接続され、複数の集塵装置の中から
選択された１つ又は複数の集塵装置に選択的に気流を導
く集塵装置選択手段が設けられていることにり、半導体
素子の製造を円滑に行うことができるので至極有益であ
る。

【００４０】又、本発明装置においては、液分離装置の
出口に接続される１つ又は複数の集塵装置の集塵室に複
数の積層フィルタが並列的に設けられ、その集塵室の複
数の積層フィルタの中から選択された１つ又は複数の積
層フィルタに選択的に気流を導くフィルタ選択手段が設
けられることにより、半導体素子の製造を円滑に行うこ
とができるので至極有益である。

【００４１】本発明装置においては、集塵装置には、微
粒子粉塵を捕獲した積層フィルタを密封する廃棄用容器
が設けられていることにり、微粒子粉塵を捕獲した積層
フィルタの廃棄処理が容易に行えるので有益である。

【００４２】特に、本発明装置において、集塵装置の匣
体と別体に形成され、且つ匣体に挿抜される廃棄用容器
が設けられていることにり、微粒子粉塵を捕獲した積層
フィルタの廃棄処理が一層容易に行えるので、至極有益
である。

【００４３】この場合、集塵装置の匣体が廃棄用容器に
兼用されているものが、構造が簡単で、しかも取り扱い
易いので望ましい。

【００４４】

【作用】本発明によれば、微粒子粉塵発生源から微粒子
粉塵を含有する気体が液分離装置に導入されて回転ブラ
シに接触すると、この気流に含まれている油分及び水分
が、回転ブラシの毛に付着し、回転ブラシの回転により
与えられる遠心力で気流から分離され、捕獲される。

【００４５】したがって、この回転ブラシの下流側に設
けられた積層フィルタに油分及び水分が流れなくなり、
油分及び水分を含んだ粉塵が積層フィルタにベッタリと
付着して当該積層フィルタの目詰まりの進行が加速され
ることを防止でき、積層フィルタの交換周期を著しく長
くすることができる作用を有する。

【００４６】又、このように回転ブラシによって油分及
び水分を除去する場合には、水分及び油分の分離に際し
ての圧力損失が小さく、微粒子粉塵発生源から回転ブラ
シ及び積層フィルタを通って大気中に排出される気流を
形成する送風機の能力の増加を最小限度に抑えることが
でき、装置全体の小型化及びコンパクト化を図る上で有
利になる。

【００４７】

【実施例】以下、本発明の一実施例に係る半導体素子製
造工程の微粒子粉塵処理方法及びその装置を図面に基づ
いて具体的に説明する。

【００４８】本発明方法の一実施例に係る半導体素子製
造工程の微粒子粉塵処理方法は、図１の構成図に示すよ
うに、半導体素子製造工程において微粒子粉塵を発生す
る微粒子粉塵発生源１から導出ダクト２により導かれる
微粒子粉塵を含有する気体から油分及び水分を分離する
液分離装置３と、この液分離装置３において油分及び水
分を分離された気体を中間ダクト４を介して吸入し、微
粒子粉塵を除去する集塵装置５と、この集塵装置５に接
続された排気ダクト６と、排気ダクト６に介在させた有
害ガス処理装置１３と、この有害ガス処理装置１３の上
流側で排気ダクト６に介在させた送風機７とを備えてい
る。

【００４９】この送風機７は、気体を微粒子粉塵発生源
から導出ダクト２、液分離装置３、中間ダクト４、集塵
装置５及び排気ダクト６を経て、大気中に放出させるよ
うに構成してあれば、導出ダクト２或いは中間ダクト４
に介在させたり、液分離装置３内或いは集塵装置５内に
設けたりしてもよい。

【００５０】上記液分離装置３は、円筒形の匣体３１を
備え、この匣体３１の内部に円筒状に形成された液分離
室３２が形成され、この匣体３１の一端部に液分離室３
２を導出ダクト２に連通させる入口３３が形成されると
共に、他端部に液分離室３２を中間ダクト４を連通させ
る出口３５が形成されている。

【００５１】又、液分離室３２内には入口と出口の間で
液分離室３２を横断するように、円盤状の回転ブラシ３
６が回転可能に設けられ、更に、この回転ブラシ３６を
駆動する駆動装置３７が液分離室３２外に設けられる。

【００５２】液分離室３２及び回転ブラシ３６の軸心
は、水平方向に向けてもよいが、回転ブラシ３６によっ
て気体から分離された油分、水分及び微粒子粉塵の一部
分が回転ブラシ３６の下流側に移動することを防止し、
確実に回収するためには、液分離室３２及び回転ブラシ
３６の軸心を直立させ、入口３３を回転ブラシ３６より
も下方に配置し、出口３５を回転ブラシ３６よりも上方
に配置することが至当である。

【００５３】従って、この実施例では、液分離室３２を
縦軸に配置し、回転ブラシ３６を縦軸心回りに回転可能
に設け、液分離室３２の回転ブラシ３６よりも下方の周
面に入口３３を開口し、液分離室３２の上壁３４の中心
から偏心した位置に出口３５を開口させている。

【００５４】ところで、上記回転ブラシ３６としては、
上述のように円盤状に形成しても良いが、これに代え
て、螺旋状等、種々の構造のものに形成しても良く、
又、この回転ブラシ３６は定位置で回転しても良く、或
いは左右又は上下に移動するように構成されても良いの
であり、要は、回転によって水分及び油分を分離し得る
構造であれば特に限定されるものではない。

【００５５】又、上記駆動装置３７は、液分離室３２の
下方に設けることも可能であるが、このように液分離室
３２を縦軸に配置し、回転ブラシ３６を縦軸心回りに回
転可能に配置し、その下方に入口３３を上方に出口３５
を配置する場合には、回転ブラシ３６によって気体から
分離された油分、水分及び微粒子粉塵の一部分の回収を
容易にするため、液分離室３２の上部のみに回転ブラシ
３６の中心軸３８を配置することが有利であるので、液
分離室３２の上方に駆動装置３７が配置されている。

【００５６】ここでは、駆動装置３７を上壁３４の上側
に配置しているが、駆動装置３７を上壁３４の下側、即
ち、液分離室３２内に設けてもよい。

【００５７】上記匣体３１を形成する素材は特に限定さ
れず、例えば、紙、木、合成樹脂、金属などを用いるこ
とができるが、気体の圧力に耐える程度の機械的強度、
特に剛性を有することが必要である。

【００５８】この実施例では、機械的強度に優れ、ま
た、耐候性、耐薬品性及び耐酸性、耐アルカリ性及び耐
熱性に優れた合成樹脂で匣体３１を形成している。

【００５９】また、上記匣体３１の形状は、内部に液分
離室３２を形成できる中空形状であれば特に限定され
ず、立方形、直方形などの多角立方体、円筒形、楕円筒
形などに形成すればよいが、製造コストの低減を図るた
めできるだけ単純な形状に形成することが好ましい。

【００６０】この実施例では、匣体３１を平板材に曲げ
たり、回転モールド成形、ハンドレイアップ法などによ
って簡単に成形できる円筒形に形成している。

【００６１】更に、上記匣体３１の大きさは予め求めら
れる単位時間の処理量、後述する吸油性ポリマー８、吸
水性ポリマー９などの交換周期などの処理能力に対応し
て設計すればよい。

【００６２】上記液分離室３２は、匣体３１の内部に形
成してあれば良く、匣体３１の内部に液分離室３２を区
画する隔壁を設けてもよいが、この実施例では、構成を
簡単にするとともに、小型化、コンパクト化及び軽量化
を図るため、匣体３１そのものが液分離室３２の周囲壁
を構成するようにしている。

【００６３】上記回転ブラシ３６の毛の素材は、特に限
定されず、例えば天然又は合成の繊維、鋼、真鍮、銅な
どの金属線など、一般にブラシの毛に使用されているも
のの中から自由に選択することができる。

【００６４】この実施例では、回転ブラシ３６の毛先や
液分離室３２の周囲壁の摩耗を長期間にわたって防止す
るために、合成樹脂製の毛を用いた回転ブラシ３６が使
われている。

【００６５】この回転ブラシ３６に気体が接触すると、
気体に含まれた油分及び水分は回転ブラシ３６の毛の間
に捕捉され、気体から分離される。回転ブラシ３６に捕
捉された油分及び水分は回転ブラシ３６の回転に伴う遠
心力で液分離室３２の周壁３９に運ばれ、液分離室３２
の周壁３９に沿って自重で液分離室３２の底部に流下
し、油分と水分とが上下に分離して溜まる。

【００６６】又、気体に含まれた粉塵の一部分も回転ブ
ラシ３６の毛の間に捕捉されたり、回転ブラシ３６に付
着した油分或いは水分に吸着されたりして、油分或いは
水分と共に液分離室３２の周壁３９に運ばれ、更に、液
分離室３２の底部に流れ落ちる。

【００６７】残りの微粒子粉塵は回転ブラシ３６の毛の
間を通る気体に乗って出口３５から中間ダクト４を経て
集塵装置５に吸引される。

【００６８】このようにして回転ブラシ３６により油分
及び水分を分離する場合には、液分離に伴う圧力損失が
小さいので、微粒子粉塵発生源１から回転ブラシ３６及
び積層フィルタ５３を通って大気中に排出される気体を
形成する送風機の能力の増加を最小限度に抑えることが
でき、装置全体の小型化及びコンパクト化を図る上で有
利になる。

【００６９】この実施例においては、油分の廃棄処理を
容易にするために、液分離室３２の底部に、必要に応じ
て、吸油性ポリマー８が配置され、液分離室３２の底部
に流下した油分を吸油性ポリマー８に吸着させ、この吸
油性ポリマー８と共に油分を液分離室３２から取り出し
て廃棄できるようにしている。

【００７０】ここで使用される吸油性ポリマー８とは油
を吸収し、保持するものであれば特に限定されるもので
はなく、この場合、公知のものが使用可能である。

【００７１】又、この実施例においては、水分の廃棄処
理を容易にするために、液分離室３２の底部に、必要に
応じて、吸水性ポリマー９が配置され、液分離室３２の
底部に流下した水分を吸水性ポリマー９に吸着させ、こ
の吸油性ポリマー８と共に水分はこの吸水性ポリマー９
と共に水分を液分離室３２から取り出して廃棄できるよ
うにしている。

【００７２】ここで使用される吸水性ポリマー９とは水
を吸収し、保持するものであれば特に限定されるもので
はなく、この場合、公知のものが使用可能である。

【００７３】液分離室３２の底部に吸油性ポリマー８或
いは吸水性ポリマー９を配置する形態は特に限定される
ものではなく、具体的には、例えば粒状或いは粉末状の
ものを液分離室３２の底部に適当な厚さに敷き詰めた
り、吸油性ポリマー８或いは吸水性ポリマー９を担持し
た多孔質体を液分離室３２の底部に配置したり、吸油性
ポリマー８或いは吸水性ポリマー９を配合した合成樹脂
フィルムないしシートを液分離室３２の底部に配置した
りすればよい。

【００７４】これらの形態の中では、廃棄処理時の作業
性を高めるために、吸油性ポリマー８或いは吸水性ポリ
マー９を担持した多孔質体、又は、吸油性ポリマー８或
いは吸水性ポリマー９を配合した合成樹脂フィルムない
しシートを液分離室３２の底部に配置する方法が推奨さ
れる。

【００７５】上記匣体３１には、液分離室３２内の廃棄
物を取り出すために、液分離室３２の底部を外部に連通
させる開口部とこの開口部を密封する蓋体とを設けても
よいが、この実施例では、回収作業者が廃棄物に接触す
る機会を少なくして、作業の安全性を高めるために、匣
体３１の入口３３よりも下側の下部３１ａを、パッキン
３１ｄを介して、その上部３１ｂから分解できるように
し、廃棄物を入れた匣体３１の下部３１ａに蓋３１ｃを
して、匣体３１の下部３１ａごと運搬できるように構成
している。

【００７６】もっとも、廃棄物の回収にあたって液分離
装置３全体を交換することは妨げない。

【００７７】又、上記液分離室３２の底面をじょうご状
に形成し、その下端に連設した取出口から、随時、廃棄
物を取り出せるようにしてもよい。

【００７８】上記集塵装置５には、筒状の匣体５１とこ
れの内部に形成された集塵室５２に配置される積層フィ
ルタ５３とが設けられ、この匣体５１の一端には液分離
室３２の出口３５に集塵室５２を連通させる導入口５４
が、他端には集塵室５２を排気ダクト６を介して、送風
機７、有害ガス処理装置１３を経て大気中に連通させる
導出口５５が形成される。

【００７９】上記匣体５１を形成する素材は特に限定さ
れるものではなく、具体的には、例えば、紙、木、合成
樹脂、金属などを用いることができるが、気体の圧力に
耐える程度の機械的強度、特に剛性を有することが必要
である。

【００８０】この実施例では、機械的強度に優れ、ま
た、耐候性、耐薬品性及び耐酸性、耐アルカリ性及び耐
熱性に優れた合成樹脂で匣体５１を形成している。

【００８１】また、上記匣体５１の形状は、内部に集塵
室５２を形成できる中空形状であれば特に限定されず、
立方形、直方形などの多角立方体、円筒形、楕円筒形な
どに形成すればよいが、製造コストの低減を図るためで
きるだけ単純な形状に形成することが好ましい。

【００８２】この実施例では、図１に示すように、匣体
５１を平板材を折り曲げたり、繋ぎ合わせたりして簡単
に成形できる直方形に形成しているが、例えば図３又は
図９に示すように縦軸の筒状に形成する場合には敷設面
積を狭くでき、特に図９に示すように、液分離装置３の
上側に直結する場合には一層敷設面積を狭くできる。

【００８３】なお、上記匣体５１の大きさは予め求めら
れる単位時間の処理量、積層フィルタ５３の交換周期な
どの処理能力に対応して設計すればよい。

【００８４】上記集塵室５２は、匣体５１の内部に形成
してあれば良く、匣体５１の内部に集塵室５２を区画す
る隔壁を設けてもよいが、この実施例では、構造を簡単
にするとともに、小型化、コンパクト化及び軽量化を図
るため、匣体５１そのものが集塵室５２の周囲壁を構成
するようにしている。

【００８５】上記積層フィルタ５３は、集塵室５２に導
入された気体を漏れなく貫流させるために、集塵室５２
内を導入室５６と浄気室５７との２室に気密状に区画し
て設けられている。

【００８６】ここで、積層フィルタ５３は集塵室５２内
に設けられる隔壁とともに集塵室５２内を上記２室に区
画するようにしてもよいが、この実施例では、構成を簡
単にするため、積層フィルタ５３のみによって集塵室５
２内が２室５６、５７に区画される。

【００８７】上記積層フィルタ５３のフィルタ５３Ａ・
５３Ｂ・５３Ｃの積層数は３層以上とするのが好まし
く、１層又は２層のフィルタでは粒径０．０１μｍの微
粒子粉塵を捕獲できない場合が有るので好ましくない。

【００８８】また、積層フィルタ５３の上流側に目の小
さいフィルタ５３Ｂ又はフィルタ５３Ｃを配置すること
は、そのフィルタ５３Ｂ又はフィルタ５３Ｃの目の大き
さで比較的小さな微粒子粉塵を捕獲できるが、目詰まり
が早く、使用可能な期間が短くなるので好ましくない。

【００８９】積層フィルタ５３の各フィルタ５３Ａ・５
３Ｂ・５３Ｃの目の大きさは、捕獲される微粒子粉塵の
粒径分布などを考慮して適宜設定される。

【００９０】この実施例では、目の大きさが２００μｍ
程度の第１層フィルタ５３Ａと、目の大きさが５０〜２
００μｍの第２層フィルタ５３Ｂと、目の大きさが１〜
５０μｍ程度の第３層フィルタ５３Ｃとが積層されてい
る。

【００９１】積層フィルタ５３の厚さは、微粒子粉塵発
生源１と大気圧との圧力差、積層フィルタ５３の通気性
ないし圧力損失、積層フィルタ５３の機械的強度等を考
慮して決定すればよく、５ｍｍ以上とすることが好まし
い。

【００９２】又、積層フィルタ５３の各フィルタ５３Ａ
・５３Ｂ・５３Ｃの厚さも、同様に微粒子粉塵発生源１
と大気圧との圧力差、各フィルタ５３Ａ・５３Ｂ・５３
Ｃの通気性ないし圧力損失、各フィルタ５３Ａ・５３Ｂ
・５３Ｃの機械的強度とを考慮して決定すればよいが、
第１層フィルタ５３Ａの厚さが積層フィルタ５３の全厚
さの２０〜５０％、第２層フィルタ５３Ｂの厚さが積層
フィルタ５３の全厚さの３０〜６０％、第３層フィルタ
５３Ｃの厚さが積層フィルタ５３の全厚さの１〜２５％
とすることが適当である。

【００９３】この実施例では、第１層フィルタ５３Ａは
厚さ約４ｍｍであってポリプロピレン繊維を重ねて形成
されており、第２層フィルタ５３Ｂは厚さ約３ｍｍであ
ってポリプロピレン繊維を重ねて形成されており、第３
層フィルタ５３Ｃは厚さ約１ｍｍであってポリプロピレ
ン繊維を重ねて形成されており、この積層フィルタ５３
全体の厚さは約８ｍｍに形成されている。

【００９４】上記積層フィルタ５３の形状は特に限定さ
れるものではなく、板形、筒形、錐形、錐台形、球形な
ど自由に形成することができ、板形としては平板形、曲
板形、波板形などに形成できる。また、筒形、錐形、錐
台形の場合にはその一端又は両端を開放することがで
き、その断面形状は円形、楕円形、弦月形、三角以上の
多角形、芒星形など自由に形成することができる。

【００９５】この実施例においては、説明を簡単にする
と共に、形状を簡単にして製造コストを削減するため、
積層フィルタ５３を板状に形成しているが、図３に示す
ように、縦軸の有底筒形に形成する場合には、体積の割
に積層フィルタ５３の面積を広くできると共に敷設面積
を狭くできる。

【００９６】上記積層フィルタ５３を構成する各フィル
タ５３Ａ・５３Ｂ・５３Ｃの素材はポリプレピレン繊維
に特に限定されるものではなく、具体的には、例えば、
天然繊維、合成繊維或いはこれらの混合物、延伸合成樹
脂フィルム、発泡合成樹脂、合成樹脂の可溶混練物を溶
出して形成した多孔質体、セラミックス多孔質体などを
用いることができ、又、繊維を用いる場合には、その組
織は編成組織であっても、織成組織であっても、不織組
織であっても、フェルトであってもよい。

【００９７】上記天然繊維は有機のものと無機のものと
に分類され、有機天然繊維としては、綿、スフ、パルプ
などの植物性繊維、羊毛、牛毛、豚毛、馬毛などの絨
毛、絹などの動物性繊維がその例として挙げられ、ま
た、無機天然繊維としてはガラス繊維などのセラミック
繊維、ロックウール、アスベストなどがその例として挙
げられる。

【００９８】上記合成繊維は有機のものと無機のものと
に分類され、有機合成繊維としてはポリアミド繊維、ア
クリル繊維、ポリエステル繊維、アセテート繊維などが
その例として挙げられ、無機合成繊維としてはカーボン
繊維、ボロン繊維などがその例として挙げられる。

【００９９】もっとも、各フィルタの素材は処理される
気体中に含まれる物質と反応して崩壊したり、腐食され
たりしない素材を用いることが好ましい。

【０１００】なお、ここで複数層のフィルタ５３Ａ・５
３Ｂ・５３Ｃを積層するということは、各層のフィルタ
５３Ａ・５３Ｂ・５３Ｃが順に密着して設けられるとい
う意味であって、必ずしも各層のフィルタ５３Ａ・５３
Ｂ・５３Ｃが例えば接着などの手法により不可分に一体
化されなくても良い。

【０１０１】又、上記積層フィルタ５３は補強材で補強
することが可能であり、この補強材としては、例えば金
属、合成樹脂などからなる有孔板、網がその例として挙
げられる。この補強材は積層フィルタ５３の何れかの層
のフィルタに接着、ビス止め、リベット止め、係着など
の方法によって固定してもよく、また、どのフィルタと
も結合しなくてもよい。

【０１０２】更に、上記積層フィルタ５３は樹脂含浸に
より補強してもよく、この場合、樹脂はいずれか１層の
フィルタのみに含浸させてもよく、複数層のフィルタに
含浸させてもよく、又、全層のフィルタに含浸させても
よい。

【０１０３】上述したように、微粒子粉塵発生源１から
ダクト２、液分離装置３及び中間ダクト４を介して集塵
室５２に導入された気体からは、油分と、水分と、粉塵
の一部分が除去されているが、粉塵、特に粒径０．０１
μｍ以上の微粒子状の粉塵を多量に含んでいる。

【０１０４】積層フィルタ５３に微粒子粉塵を含む気体
を貫流させると、図２に示すように、第１層フィルタ５
３Ａの目ａの大きさよりも粒径の大きい塵埃は全て第１
層フィルタ５３Ａに捕獲され、捕獲された塵埃が第１層
フィルタ５３Ａの目ａを塞ぐ面積は次第に広くなる。

【０１０５】これにより、第１層フィルタ５３Ａの目ａ
の平均的大きさは小さくなるが、ここで塵埃が球形であ
り、フィルタの目が正方形であると仮定し、第１層フィ
ルタ５３Ａの目ａと同じ大きさの塵埃が第１層フィルタ
５３Ａの目ａに捕獲されたと考えると、塵埃が詰まった
目ではその目の大きさの約０．１１倍以下の塵埃が通過
できることになる。

【０１０６】この値は第１層フィルタ５３Ａがほぼ完全
に目詰まりした状態での理論的な集塵限界粒径である
が、この状態では圧力損失が非常に大きくなり、微粒子
粉塵を含有した気体を積層フィルタ５３に貫流させるた
めには非常に大型で、高出力の送風機７が必要になる。

【０１０７】そこで、装置の小型化及び小能力化を図る
ため、実際には、積層フィルタ５３の圧力損失が小さい
うちに積層フィルタ５３の交換時期が設定され、この交
換時期では送風機７に過度の負担を与えないようにされ
る。

【０１０８】図２の模式図に示すように、第１層フィル
タ５３Ａと第２層フィルタ５３Ｂとの境界では、第１層
フィルタ５３Ａの目ａはこれよりも目の大きさが小さい
第２層フィルタ５３Ｂの目ｂによって分割され、また、
第２層フィルタ５３Ｂの目ｂの一部分が第１層フィルタ
５３Ａの目ａによって分割される。

【０１０９】このため、第１層フィルタ５３Ａと第２層
フィルタ５３Ｂとの境界での目の平均値は第２層フィル
タ５３Ｂの目ｂの大きさよりも小さくなり、この境界に
第２層フィルタ５３Ｂの目ｂの大きさよりも小さい塵埃
が多量に捕獲され、これにより、この境界の実質的な目
の大きさは第２層フィルタ５３Ｂの目ｂの大きさよりも
かなり小さくなる。

【０１１０】フィルタ５３Ａ・５３Ｂ・５３Ｃの積層
数、各層のフィルタ５３Ａ・５３Ｂ・５３Ｃの目ａ・ｂ
・ｃの大きさなどにより最終層のフィルタ（ここでは第
３層フィルタ５３Ｃ）とその前層のフィルタ５３Ｂとの
境界でも実質的な目の大きさが決定され、積層フィルタ
５３の集塵限界粒径が決まる。

【０１１１】現実には最終層のフィルタ５３Ｃの目ｃの
大きさが１μｍ以上のものしか製造できないが、適宜第
２層のフィルタ５３Ｂの目の大きさと第３層のフィルタ
５３Ｃの目の大きさを選定することにより集塵限界粒径
を０．０１μｍ〜５０μｍ程度とすることができ、この
実施例では集塵限界粒径を０．０１μｍとすることがで
きる。

【０１１２】この積層フィルタ５３に導かれた気体は、
油分及び水分が除去されているので、積層フィルタ５３
に油分や水分が付着するおそれはないので、積層フィル
タ５３の目詰まりの進行が油分や水分によって加速され
ることがなく、長期間にわたって０．０１μｍ以上の微
粒子粉塵を捕集できるようになる。

【０１１３】なお、本発明において積層フィルタ５３の
フィルタ５３Ａ・５３Ｂ・５３Ｃの層数は３層に限定さ
れず、４層以上にしてもよい。

【０１１４】このようにして油分、水分及び微粒子粉塵
を除去された気体には、有害ガスが含まれているので、
この気体を有害ガス処理装置１３に導入し、有害ガス処
理装置１３内で主として酸化、還元、中和などの化学処
理や活性炭やセオライト等による吸着や吸収によって無
害化してから、排気ダクト６から大気中に放出するよう
にしている。

【０１１５】この装置において、積層フィルタ５３は、
この実施例のように、１つの集塵室５２内に１つの積層
フィルタ５３を設けるだけでもよいが、例えば図４、図
５又は図６の各模式図に示すように、１つの集塵室５２
に複数の積層フィルタ５３を並列的に設けることは妨げ
ない。

【０１１６】１つの集塵室５２に複数の積層フィルタ５
３を並列的に設ける場合には、図５及び図６に示すよう
に、この複数の積層フィルタ５３の中から選択された１
又は複数の積層フィルタ５３に選択的に気体を導くフィ
ルタ選択手段５８を設け、これら複数の積層フィルタ５
３の中の１つを交換している間に他の積層フィルタ５３
に気体を貫流させて、長期間にわたって集塵能力を一定
以上に保持させると共に、半導体の製造を中断すること
なく積層フィルタ５３を交換できるようにすることがで
きる。

【０１１７】このフィルタ選択手段５８は、並列的に設
けられた複数の積層フィルタ５３の中から選択された１
又は複数の積層フィルタ５３に選択的に気体を導くよう
に構成してあればよい。

【０１１８】例えば図５に示すように、導入室５６を１
つ（又は複数）の積層フィルタ５３ごとに複数の導入小
室５６ａ〜５６ｃに区画する隔壁５８ａと、各導入小室
５６ａ〜５６ｃを中間ダクトに連通させる分岐導入路５
８ｂと、分岐導入路５８ｂの分岐点に設けられ、中間ダ
クトに導入小室５６ａ〜５６ｃを選択的に連通させる方
向制御弁５８ｃとで構成することができる。

【０１１９】又、例えば図６に示すように、浄気室５７
を１つ（又は複数）の積層フィルタ５３とごに複数の浄
気小室５７ａ〜５７ｃに区画する隔壁５８ｄと、各浄気
小室５７ａ〜５７ｃを排気ダクト６に連通させる分岐導
出路５８ｅと、分岐導出路５８ｅの集合点に設けられ、
且つ排気ダクト６に浄気小室５７ａ〜５７ｃを選択的に
連通させる方向制御弁５８ｆとでフィルタ選択手段５８
を構成してもよい。

【０１２０】もちろん、このフィルタ選択手段５８とし
ては、フィルタを選択できる構造であれば特に限定され
るものではない。

【０１２１】更に、図９に示すように、液分離装置３の
出口５５に複数の集塵装置５を接続し、複数の集塵装置
の中から選択された１つ又は複数の集塵装置５に選択的
に気体を導く集塵装置選択手段を設けて、集塵装置５の
中から選択された１つ又は複数の集塵装置５に選択的に
気体を流して、長期間にわたって集塵能力を一定以上に
保持させると共に、半導体の製造を中断することなく積
層フィルタ５３を交換できるようにすることができる。

【０１２２】この場合、更に、各集塵装置５に複数の積
層フィルタ５３を並列的に設け、選択された積層フィル
タ５３に気体を貫流させるようにすることも可能であ
る。

【０１２３】更に、この実施例において、例えば図７、
図８及び図９の各模式図に示すように、１つ（又は複
数）の集塵室５２に設けられた積層フィルタ５３と液分
離装置３との間に積層フィルタ５３の最も上流側の第１
層のフィルタ５３Ａよりも目の大きい別のフィルタを備
える予備集塵手段１１を設けることは妨げなく、この予
備集塵手段１１を設けることにより、積層フィルタ５３
の集塵能力の低下を一層長期間にわたって防止できる。

【０１２４】この予備集塵手段１１は多段に設けてもよ
く、予備集塵手段１１としては、サイクロン、スクラバ
ー、ベンチュリスクラバー、バグフィルター、電気集塵
機、ルーパ、沈降室、単層のフィルタを用いることがで
きる他、上記積層フィルタ５３と同様に構成された、集
塵限界粒径が大きい積層フィルタを用いることができ
る。

【０１２５】この場合、比較的粒径の大きい微粒子粉塵
がこの予備集塵装置１１によって捕集されるので、集塵
装置５の積層フィルタ５３に捕集される微粒子粉塵の総
量が少なくなり、集塵装置５の積層フィルタ５３の交換
周期を一層長くすることができる。

【０１２６】特に予備集塵手段１１として単層のフィル
タや積層フィルタを用いる場合には、図８及び図９に示
すように、予備集塵手段１１を積層フィルタ５３と共に
安全に廃棄できるようにするため、予備集塵手段１１を
集塵室５２内に配置することが推奨される。

【０１２７】本発明においては、微粒子粉塵を捕獲した
積層フィルタ５３の廃棄に際して、有害物質に対する不
特定多数の第三者の安全を確保するため、微粒子粉塵を
捕獲した積層フィルタ５３を密封する廃棄用容器を設け
ることが好ましい。

【０１２８】この廃棄用容器は、匣体５１と別体に形成
して匣体５１を繰り返し利用できるようにし、これによ
り、メンテナンス費用を削減するようにしてもよいが、
この実施例では、安全性を高めるという観点から、例え
ば図３に示すように、上記導入口５４及び導出口５５を
匣体１の近傍で中間ダクト４或いは排気ダクト６にフラ
ンジＦ結合し、この導入路５４のフランジＦ結合点より
下流側の部分と、導出口５５のフランジＦ結合点より上
流側の部分とにそれぞれを全開閉する閉止弁５９を設
け、上記匣体５１を上記廃棄用容器に兼用し、廃棄時に
これらの閉止弁５９を閉弁して、集塵装置５から有害物
質が放散されることを防止している。

【０１２９】ところで、図３において、気体を集塵装置
５に導入するにあたり、上記に代えて、逆に、番号５５
箇所を気体の導入口とし、番号５４箇所を導出口として
も良いのである。

【０１３０】なお、廃棄用容器を匣体５１と別体に形成
する場合には、図示はしないが、積層フィルタ５３、廃
棄用容器、或いはこれらの組立品を匣体５１に出し入れ
できるように、上記匣体５１の一部分に適当な大きさの
開口部と、この開口部を開閉する蓋とが設けられる。

【０１３１】匣体５１と別体に形成された廃棄用容器
は、集塵を行う前に、上記蓋を開いて、積層フィルタ５
３を包んだ状態で、又は、積層フィルタ５３を配置する
前に集塵室５２内に配置したり、積層フィルタ５３の廃
棄時に集塵室５２に挿入したりすればよい。

【０１３２】そして、廃棄される積層フィルタ５３を集
塵室５２内で廃棄用容器内に密封してから集塵室５２か
ら取り出したり、集塵室５２内で積層フィルタ５３を非
密封状に包んで集塵室５２外に取り出した後、集塵室５
２外で廃棄用容器を密封したりすればよい。

【０１３３】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明装置は、
微粒子粉塵発生源と積層フィルタとの間に配置された筒
形の液分離室と、液分離室内に液分離室の軸心回りに回
転可能に設けられた回転ブラシと、この回転ブラシを回
転駆動する駆動装置とを備える液分離装置が設けられて
いるので、微粒子発生源から気体を積層フィルタに通す
前に回転ブラシに通して水分及び油分を分離する本発明
方法を実施することができる。

【０１３４】そして、本発明方法によれば、水分及び油
分が除去された気体が積層フィルタに貫流されるので、
水分及び油分によって積層フィルタの目詰まりの進行が
加速されるおそれがなく、長期間にわたって０．０１μ
ｍ以上の微粒子粉塵を捕集して廃棄することができる。

【０１３５】本発明装置において、特に液分離室が縦軸
に配置され、この液分離室が回転ブラシの下方で開口
し、微粒子粉塵発生源に液分離室を連通させる入口と、
回転ブラシの上方で開口し、集塵装置に液分離室を連通
させる出口とを備える場合には、本発明方法において、
上記回転ブラシを縦軸心回りに回転させ、この回転ブラ
シの下側から上側に上記気体を通過させる方法を実施す
ることができ、これにより、回転ブラシによって気体か
ら分離された油分、水分及び微粒子粉塵の一部分が回転
ブラシの下流側に移動することを防止し、確実に回収す
ることができる。

【０１３６】この場合には、油分及び水分の分離によっ
ての圧力損失が小さいので、微粒子粉塵発生源から回転
ブラシ及び積層フィルタを通って大気中に排出される気
体を形成する送風機の能力の増加を最小限度に抑えるこ
とができ、装置全体の小型化及びコンパクト化を図る上
で有利になる。

【０１３７】又、本発明装置において、特に液分離装置
が液分離室の底部に吸水性ポリマー、吸油性ポリマー及
び吸水性ポリマーと吸油性ポリマーの積層体を備える場
合には、分離された水分或いは油分又は水分と油分をこ
のポリマーに吸収させて当該ポリマーと共に廃棄する方
法を実施することができ、これにより、分離された水分
或いは油分又は水分と油分の廃棄処理が至極容易にでき
るようになる。

【０１３８】本発明装置において、特に液分離室の回転
ブラシよりも下側の部分が分離可能に設けられている場
合には、廃棄物の搬出作業時に廃棄物を入れたまま液分
離室の回転ブラシよりも下側の部分を搬出することによ
り作業者が廃棄物に接触する機会を極力少なくすること
ができる結果、安全性を一層高めることができる。

【０１３９】又、本発明装置において、特に液分離装置
と積層フィルタとの間で気体を濾過する積層フィルタの
最も上流側のフィルタよりも目が大きい別の予備フィル
タが設けられる場合には、本発明方法において、気体を
回転ブラシと積層フィルタとの間で積層フィルタの最も
上流側のフィルタよりも目が大きい別の予備フィルタに
通す方法を実施することができる結果、これにより、積
層フィルタの交換周期を一層長くすることができる。

【０１４０】本発明装置において、特に液分離装置の出
口に複数の集塵装置が接続され、且つ複数の集塵装置の
中から選択された１つ又は複数の集塵装置に選択的に気
体を導く集塵装置選択手段が設けられている場合には、
これら複数の集塵装置の中の１つの集塵装置の積層フィ
ルタを交換している間に他の集塵装置の積層フィルタに
気体を流させて、長期間にわたって集塵能力を一定以上
に保持させると共に、半導体の製造を中断することなく
積層フィルタの交換ができるのである。

【０１４１】又、本発明装置において、特に液分離装置
の出口に接続される唯一又は複数の集塵装置の集塵室に
複数の積層フィルタが並列的に設けられ、その集塵室の
複数の積層フィルタの中から選択された１つ又は複数の
積層フィルタに選択的に気体を導くフィルタ選択手段が
設けられている場合には、その集塵室の複数の積層フィ
ルタの中の一つの積層フィルタを交換している間に他の
積層フィルタに気体を流させて、長期間にわたって集塵
能力を一定以上に保持させると共に、半導体の製造を中
断することなく積層フィルタの交換できるので至極有益
である。

【０１４２】更に、本発明装置において、集塵装置に、
更に、微粒子粉塵を捕獲した積層フィルタを密封する廃
棄用容器が設けられている場合には、本発明方法におい
て、微粒子粉塵を捕獲した積層フィルタを廃棄用容器内
に密封して廃棄する方法を実施することができる結果、
作業者が廃棄物に接触する機会を極力少なくして安全性
を一層高めることができる。

【０１４３】この場合、集塵装置の匣体を廃棄用容器に
兼用すれば、作業者が廃棄物に接触する機会が一層少な
くなり、安全性を一層高めることができるのである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明装置の構成図である。

【図２】図２は、本発明に用いられる第１層と第２層の
フィルタの関係を示す模式図である。

【図３】図３は、本発明の他の装置の構成図である。

【図４】図４は、本発明に好適に用いられる他の集塵装
置の構成図である。

【図５】図５は、本発明に好適に用いられる更に他の集
塵装置の構成図である。

【図６】図６は、本発明に好適に用いられる更に他の集
塵装置の構成図である。

【図７】図７は、本発明の又他の装置の構成図である。

【図８】図８は、本発明の更に他の装置の構成図であ
る。

【図９】図９は、本発明の他の装置の構成図である。

【符号の説明】

１微粒子粉塵発生源３液分離装置５集塵装置７送風機８吸油性ポリマー９吸水性ポリマー３１匣体３２液分離室３３入口３５出口３６回転ブラシ３７駆動装置５１匣体５２集塵室５３積層フィルタ５３Ａ第１層フィルタ５３Ｂ第２層フィルタ５３Ｃ第３層フィルタ５４導入口５５導出口５６導入室５７浄気室

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体素子製造工程において微粒子粉塵
を発生する微粒子粉塵発生源から微粒子粉塵を含有する
気体を目の大きさが上流側から下流側に順に小さくなる
３層以上のフィルタを積層した積層フィルタで濾過して
微粒子粉塵を分離して回収する半導体素子製造工程の微
粒子粉塵処理方法において、上記微粒子粉塵発生源からの上記気体を上記積層フィル
タに通す前に回転ブラシに通して水分及び油分を分離す
ることを特徴とする半導体素子製造工程の微粒子粉塵処
理方法。
【請求項２】回転ブラシを縦軸心回りに回転させ、こ
の回転ブラシの下側から上側に気体を通過させる請求項
１に記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理方法。
【請求項３】回転ブラシが定位置で回転可能に、又は
左右或いは上下に移動可能に形成されている請求項１又
は２に記載の微粒子粉塵処理方法。
【請求項４】液分離室の底部に、吸水性ポリマー、吸
油性ポリマー又は吸水性ポリマーと吸油性ポリマーの積
層体を配置し、分離された水分又は油或いは水分と油を
この吸水性ポリマー、吸油性ポリマー又は吸水性ポリマ
ーと吸油性ポリマーの積層体に吸収させて廃棄する請求
項１ないし３のいずれか１項に記載の半導体素子製造工
程の微粒子粉塵処理方法。
【請求項５】気体を回転ブラシと積層フィルタとの間
で積層フィルタの最も上流側のフィルタよりも目が大き
い別の予備フィルタに通す請求項１ないし５のいずれか
１項に記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理方
法。
【請求項６】微粒子粉塵を捕獲した積層フィルタを廃
棄用機器内に密封して廃棄する請求項１ないし５のいず
れか１項に記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理
方法。
【請求項７】半導体素子製造工程において微粒子粉塵
を発生する微粒子粉塵発生源から導かれる微粒子粉塵を
含む気体を濾過する上流側から下流側に目の大きさが順
に小さくなる３層以上のフィルタを積層した積層フィル
タを有する集塵装置を設けた半導体素子製造工程の微粒
子粉塵処理装置において、微粒子粉塵発生源と積層フィルタとの間に配置された筒
形の液分離室と、この液分離室内に液分離室の軸心回り
に回転可能に設けられた回転ブラシと、この回転ブラシ
を回転駆動する駆動装置とを備える液分離装置が設けら
れていることを特徴とする半導体素子製造工程の微粒子
粉塵処理装置。
【請求項８】液分離室が縦軸に配置され、この液分離
室が回転ブラシの下方で開口し、微粒子粉塵発生源に液
分離室を連通させる入口と、上記回転ブラシの上方で開
口し、集塵装置に連通する出口とを備える請求項７に記
載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理装置。
【請求項９】回転ブラシが円盤状或いは螺旋状に形成
されている請求項７又は８に記載の半導体素子製造工程
の微粒子粉塵処理装置。
【請求項１０】液分離装置が液分離室の底部に収納さ
れる吸水性ポリマー、吸油性ポリマー又は吸水性ポリマ
ーと吸油性ポリマーの積層体を備える請求項７ないし９
いずれか１項に記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵
処理装置。
【請求項１１】液分離室における回転ブラシよりも下
側の部分が分離可能に設けられている請求項７ないし１
０のいずれか１項に記載の半導体素子製造工程の微粒子
粉塵処理装置。
【請求項１２】液分離装置と積層フィルタとの間で気
体を濾過する積層フィルタの最も上流側のフィルタより
も目が大きい別の予備フィルタが設けられている請求項
７ないし１１のいずれか１項に記載の半導体素子製造工
程の微粒子粉塵処理装置。
【請求項１３】液分離装置の出口に複数の集塵装置が
接続され、複数の集塵装置の中から選択された１つ又は
複数の集塵装置に選択的に気流を導く集塵装置選択手段
が設けられている請求項７ないし１２のいずれか１項に
記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理装置。
【請求項１４】液分離装置の出口に接続される１つ又
は複数の集塵装置の集塵室に複数の積層フィルタが並列
的に設けられ、その集塵室の複数の積層フィルタの中か
ら選択された１つ又は複数の積層フィルタに選択的に気
流を導くフィルタ選択手段が設けられている請求項７な
いし１３のいずれか１項に記載の半導体素子製造工程の
微粒子粉塵処理装置。
【請求項１５】集塵装置には、微粒子粉塵を捕獲した
積層フィルタを密封する廃棄用容器が設けられている請
求項７ないし１４のいずれか１項に記載の半導体素子製
造工程の微粒子粉塵処理装置。
【請求項１６】集塵装置の匣体と別体に形成され、匣
体に挿抜される廃棄用容器が設けられている請求項１５
に記載の半導体素子製造工程の微粒子粉塵処理装置。
【請求項１７】集塵装置の匣体が廃棄用容器に兼用さ
れている請求項１６に記載の半導体素子製造工程の微粒
子粉塵処理装置。