JP3494298B2 - 排気システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、室内の空気を屋外
に排出する排気システムに係り、特に真空装置を備えた
工場などに適用するのに好適な排気システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】工場などは、真空装置を有する場合が多
い。特に、半導体装置を製造する場合、多くの製造工程
において真空装置を使用する。そして、真空装置(真空
ポンプ)から排出された排気ガスは、通常、図８に示し
たように、工場内の各部屋の換気による空気とともに建
物の外(外部)に排出するようになっている。

【０００３】すなわち、図８に示したように、排気シス
テム１０は、工場の建物にダクトなどによって形成した
主排気流路１２が設けられ、この主排気流路１２の下流
側端部に排気用送風機１４が設置してある。そして、主
流路１２内の空気(排気ガス)２６は、排気用送風機１４
によって吸引され、図示しない除害装置などを介して建
物の外部に排出される。

【０００４】主排気流路１２には、複数の分岐流路１６
（１６ａ、１６ｂ、………）が接続される。これらの分
岐流路１６の先端には、真空チャンバ１８を排気する真
空ポンプ２０や、作業台２２の上方などに配設した作業
用ダクト２４を接続してある。そして、分岐流路１６
は、内部が主排気流路１２を介して送風機１４によって
吸引され、真空ポンプ２０の吐出した排気ガス２３や作
業室内の排気空気２５を主排気流路１２に導く。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体装置
の製造工場などにおいては、多数の真空装置が使用さ
れ、それらの真空装置に対応した真空ポンプ２０が分岐
流路１６を介して主排気流路１２に接続される。真空ポ
ンプ２０は、周知のように稼動開始時の排気量が多く、
真空チャンバ１８の内部が減圧されるのに従って排気量
が減少する。そして、複数の真空ポンプ２０が同時に稼
動されると、各真空ポンプ２０から吐出された排気ガス
２３が一度に主排気流路１２に流入し、主排気流路１２
の圧力が上昇する。主排気流路１２の内部圧力が上昇す
ると、主排気流路１２内の排気ガス２６が真空ポンプ２
０を接続していない分岐流路１６ｂを介して作業室に逆
流することになる。この逆流するガスには、真空チャン
バ１８内を高温の窒素ガスによってパージしたものや、
作業室において使用した有機溶媒の蒸気などの好ましく
ないものを含む場合が多く、作業室への排気ガスの逆流
を避ける必要がある。

【０００６】そこで、従来は、複数の真空ポンプ２０が
同時に稼動しても、主排気流路１２の内部の圧力が作業
室内の圧力より高くならないような排気能力を有する排
気用送風機１４を主排気流路１２に設置し、主排気流路
１０内の排気ガス２６が作業室に逆流しないようにして
いる。ところが、前記したように、真空ポンプ２０は、
稼動開始時の排気量が多く、時間の経過とともに減少す
る。また、常に多数の真空ポンプ２０が同時に稼動を開
始するわけではない。従って、図８に示したような従来
の排気システム１０にあっては、大きな排気能力を必要
とする時間は比較的短時間である。このため、従来の排
気システム１０においては、通常の排気量に比較して非
常に大きな排気能力を有する排気用送風機１４を設置す
る必要があり、設備費が高価になるとともに、大きな送
風機１４を駆動するために多くの電力エネルギーを必要
とし、運転コストも高くなる。

【０００７】一方、排気システム１０の運転コストを低
減するために、主排気流路１２の内部に圧力センサを設
置し、真空ポンプ２０が稼動して主排気流路１２内の圧
力が上昇すると、排気用送風機１４の回転数を上げて排
気量を増大させ、主排気流路１２内の圧力が低下すると
送風機１４の回転数を減少させるような排気システムも
ある。しかし、この場合においても、大きな排気能力を
有する排気用送風機１４を設置する必要がある。また、
主排気流路１２内に圧力センサを設置したり、圧力セン
サの検出値に応じて排気用送風機１４の回転数(排気能
力)を制御するためのインバータや制御装置などを必要
とし、設備費用が高くなる。

【０００８】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、設備費用の低減を図ることを目
的としている。また、本発明は、省エネルギーを図るこ
とを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る排気システムは、屋内の空気を外部
に排出する送風機を設けた主排気流路と、この主排気流
路に接続されて真空ポンプが吐出した排気ガスを前記主
排気流路に導く分岐流路と、この分岐流路に設けられて
前記真空ポンプの吐出した排気ガスが流入するバッファ
タンクと、このバッファタンクの流出口と前記主排気流
路との間に設けられ、前記真空ポンプの稼動開始時にお
ける前記バッファタンクからの排気ガスの流出量を、真
空ポンプからのバッファタンクへの流入量より少なくす
る流量制限部と、を有することを特徴としている。

【００１０】このようになっている本発明は、真空ポン
プが吐出した排気ガスをバッファタンクに流入させると
ともに、流量制限部を介してバッファタンク内の排気ガ
スを主排気流路に徐々に放出する。このため、複数の真
空ポンプが同時に稼動を開始させたとしても、主排気流
路に流入する真空ポンプからの排気ガスの量を少なくす
ることができる。従って、従来と同じ台数の真空ポンプ
が設置してあったとしても、排気用送風機の排気能力を
小さくすることができ、主排気流路の断面積も小さくす
ることが可能で、設備費用を削減できるとともに、送風
機の駆動エネルギーが削減できて運転費用を低減するこ
とができる。しかも、主排気流路の圧力によって排気用
送風機の回転数を変化させる必要がないため、圧力セン
サや制御装置を必要としない。もちろん、主排気流路内
の圧力によって排気用送風機の排気能力を変える場合で
あっても、送風機の最大排気能力を小さくすることがで
き、設備費用を削減することができる。

【００１１】本発明においては、１０１３２５Ｐａを１
気圧（標準大気圧）として説明する。通常の真空ポンプ
は、外部の圧力が１．３気圧程度以内であれば、正常に
稼動させることができる。従って、バッファタンクの大
きさは、バッファタンクから流量制限部を介して主排気
流路に流出させる排気ガスの量、経済的な効率(費用効
率)を考慮するとともに、真空ポンプの排気能力に影響
を与えないような値に設定される。

【００１２】流量制限部は、分岐流路の一部であって、
真空ポンプの吐出した排気ガスをバッファタンクに流入
させる流入路より小さな流路断面積を有し、バッファタ
ンク内の排気ガスを主排気流路に導く流出路によって構
成することができる。このように、分岐流路自体を流量
制限部とすることにより、構造の簡素化が図れるととも
に、保守が容易となる。

【００１３】流量制限部は、バッファタンクと主排気流
路との間の分岐流路に設けたオリフィスによって構成し
てもよい。このようにオリフィスによって流量制限部を
形成すると、従来の分岐流路をそのまま使用することが
でき、既存の排気システムへの適用を容易に行なうこと
ができる。

【００１４】分岐流路とバッファタンクとの周囲に、主
排気流路に連通した第２流路を形成してもよい。このよ
うないわゆる二重配管構造にすると、分岐流路とバッフ
ァタンクとから、これらの外側に設けた第２流路に万が
一漏れ出た排気ガスを、作業室などに拡散させることな
く主排気流路に確実に導くことができる。また、二重配
管構造にすると、第２流路の内側のバッファタンクと分
岐流路とからなる内側流路を高温の排気ガスが流れる場
合に、第２流路に存在する気体が断熱材として作用する
ため、作業室などの温度上昇を避けることができ、作業
室などに設置した機器への影響を避けることができ、空
調設備などの稼働率を下げることができる。

【００１５】そして、第２流路には、真空ポンプの吐出
口近くに吸引口を設けるとよい。このように、真空ポン
プの吐出口の近くに吸引口を設けると、真空ポンプから
万が一漏れ出るオイルミストを吸引口から第２流路内に
吸引することができ、オイルミストが作業室内などに拡
散して部品や製品などを汚染するのを防止することがで
きる。また、吸引開口を設けることにより、第２流路内
の気体の流れが良好となり、分岐流路とバッファタンク
とが第２流路を流れる気体によって冷却され、分岐流
路、バッファタンクに収容できる排気ガスの量を増大
し、排気ガスの処理能力が向上する。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明に係る排気システムの好ま
しい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
なお、従来技術において説明した部分と対応する部分に
ついては、同一の符号を付してその説明を省略する。

【００１７】図１は、本発明に係る第１実施形態の説明
図である。図１において、排気システム３０は、主排気
流路１２に複数の分岐流路３２(３２ａ、３２ｂ、……
…)が接続してある。これらの主排気流路１２、分岐流
路３２は、内部を流れる排気ガスによって亜鉛メッキ鋼
やアルミニウム、銅などの金属材料やポリ塩化ビニルな
どのプラスチック材料を適宜に選択して形成してある。
そして、作業用ダクト２４に接続した分岐流路３２ｂ
は、作業台２２において生じた有機溶媒の蒸気などを含
む排気空気３４を主排気流路１２に導くようになってお
り、ほぼ一様な流路断面積を有するように形成してあ
る。

【００１８】真空ポンプ２０が接続される分岐流路３２
ａは、中間部にバッファタンク３６が設けてあり、この
バッファタンク３６の流入口３８と真空ポンプ２０とを
接続する流入路４０と、バッファタンク３６の流出口４
２と主排気流路１２とを接続する流出路４４とに分かれ
ている。流入路４０は、真空ポンプ２０の吐出した排気
ガス４６をバッファタンク３６に流入させる。また、流
出路４４は、バッファタンク３６内の排気ガス４６を主
排気流路１２に導く。そして、流出路４４は、流路断面
積が流入路４０より小さくなった流量制限部を形成して
いる。このため、真空ポンプ２０の吐出した排気ガス４
６は、バッファタンク３６に流入するよりバッファタン
ク３６から流出するのに大きな流動抵抗を受け、バッフ
ァタンク３６から徐々に主排気流路１２に流入する。す
なわち、真空ポンプ２０の稼動開始時には、バッファタ
ンク３６から主排気流路１２に流出する排気ガスの量
が、真空ポンプ２０からバッファタンク３６に流入する
排気ガス４６の量より少なくなるようにしてある。

【００１９】このようになっている第１実施形態の排気
システム３０は、真空ポンプ２０を起動して真空チャン
バ１８内の排気を開始すると、真空ポンプ２０の吐出し
た排気ガス４６が流入路４０を介してバッファタンク３
６に流入する。バッファタンク３６に流入した排気ガス
４６は、流出口３８に接続した流出路４４を介して主排
気流路１２に導かれる。主排気流路１２に流入した排気
ガス４６は、分岐流路３２ｂから主排気流路１２に導か
れた排気空気３４などとともに、全体排気ガス４８とな
って排気用送風機１４に吸引され、図示しない除害装置
などによって除害処理がされたのち、大気中に放出され
る。

【００２０】ところで、実施形態の流出路４４は、流路
断面積が流入路４０の流路断面積より小さくしてある。
従って、真空ポンプ２０の吐出した排気ガス４６は、バ
ッファタンク３６に一時的に貯溜され、流出路４４を介
して徐々に主排気流路１２に放出される。このため、多
数の真空ポンプが同時に稼動を開始したとしても、真空
ポンプ２０の稼動開始時に、各真空ポンプ２０から主排
気流路１２に流入する排気ガス４６の量を大幅に低減す
ることができる。よって、実施形態の排気システム３０
は、排気用送風機１４の排気能力を従来より小さくした
としても、主排気流路１２内の圧力が上昇し、主排気流
路１２内の全体排気ガス４８が例えば分岐流路３２ｂな
どを介して作業室などに逆流することがなく、設備費を
削減することができるとともに、送風機１４の駆動エネ
ルギーを少なくできて運転コストを低減することができ
る。

【００２１】第１実施形態の排気システム３０は、バッ
ファタンク３６と主排気流路１２とを接続した流出路４
４の流路断面積が、バッファタンク３６の流入口３８と
真空ポンプ２０とを接続した流入路４０の流路断面積よ
り小さく設定してある。すなわち、排気ガス４６のバッ
ファタンク３６からの流出抵抗が、バッファタンク３６
への流入抵抗より大きくしてある。このため、真空ポン
プ２０の稼動開始時には、真空ポンプ２０から流入路４
０を介してバッファタンク２０に流入する排気ガス４６
の量より、流出路４４を介してバッファタンク３６から
主排気流路１２に流出する排気ガス４６の量が少なくな
り、バッファタンク３６および流入路４０の圧力が上昇
する。このため、バッファタンク３６の容積と流出路４
４の流路断面積とは、真空ポンプ２０の排気性能に影響
を与えないような値に設定してある。

【００２２】通常の真空ポンプの場合、外部の圧力が
１．３気圧程度であれば、性能に影響を与えることなく
排気が可能である。従って、バッファタンク３６の容積
と流出路４４の流路断面積とは、通常の真空ポンプ２０
を使用する場合、バッファタンク３６内の圧力が１．３
気圧を超えないように設定する。

【００２３】そして、バッファタンク３６の容積を大き
くすればするほど、真空ポンプ２０の性能に影響を与え
ることなく、流出路４４の断面積を小さくして、バッフ
ァタンク３６から流出する排気ガス４６の流動抵抗を大
きくすることができ、排気用送風機１４の排気能力をよ
り小さくできる。しかし、バッファタンク３６の大きさ
は、経済効率の観点から最適な大きさに選択することが
望ましい。

【００２４】図２は、第２実施形態の説明図である。こ
の実施形態の排気システム５０は、バッファタンク３６
の流出口４２と主排気流路１２とを接続した流出路４４
の流路断面積が、バッファタンク３６の流入口３８と真
空ポンプ２０とを接続した流入路４０の流路断面積と同
じにしてある。そして、流出路４４の主排気流路１２へ
の接続部に、流出制限部となるオリフィス５２が設けて
あって、バッファタンク３６から流出する排気ガス４６
の流動抵抗が大きくなるようにしてある。他の構成は、
第１実施形態と同様である。

【００２５】このように構成した第２実施形態の排気シ
ステム５０は、バッファタンク３６から流出路４４に流
出した排気ガス４６が、流路断面積の小さなオリフィス
５２を通過して主排気流路１２に流入する。このため、
バッファタンク３６に流入した排気ガス４６は、オリフ
ィス５２を介して徐々に主排気流路１２に導かれ、第１
実施形態と同様の効果を得ることができる。

【００２６】なお、前記実施の形態においては、オリフ
ィス５２を流出路４４の主排気流路１２との接続部の近
くに配設した場合について説明したが、オリフィス５２
の設置位置は、流出路４４の任意の位置であってよい。

【００２７】図３は、第３実施形態の説明図である。こ
の第３実施形態に係る排気システム６０は、真空ポンプ
２０の吐出した排気ガス４６を主排気流路１２に導く排
気系統が二重構造となっている。すなわち、分岐流路３
２ａを形成している流入路４０および流出路４４、並び
にバッファタンク３６の周囲に、間隙を隔てて外壁部６
２が設けてあり、流入路４０、流出路４４およびバッフ
ァタンク３６の周囲に第２流路６４が形成してある。こ
の外壁部６２は、分岐流路３２ａやバッファタンク３６
と同じ材質の部材を用い、分岐流路３２ａ、バッファタ
ンク３６と同様に形成してよい。そして、第２流路６４
は、主排気流路１２に連通する流出開口６６を有すると
ともに、真空ポンプ２０の吐出口の近くに吸引開口６８
が形成してある。

【００２８】このようになっている第３実施形態は、分
岐流路３２ａやバッファタンク３６から万が一排出ガス
４６が漏れても、作業室などに拡散させることなく主排
気流路１２に導くことができる。

【００２９】本発明においては、真空ポンプ２０から吐
出された排気ガス４６をバッファタンク３６に流入さ
せ、流入側より大きな流動抵抗を有する流出路４４を介
して、バッファタンク３６内の排気ガス４６を徐々に主
排気流路１２に流入させるようにしている。このため、
バッファタンク３６と分岐流路３２ａの内部の圧力が周
囲の圧力より上昇する。バッファタンク３６および分岐
流路３２ａは気密構造とするが、周囲に排気ガス４６が
漏れ出るおそれがある。そこで、第３実施形態において
は、分岐流路３２ａ、バッファタンク３６の周囲に、主
排気流路１２に連通した第２流路６４を形成し、分岐流
路３２ａ、バッファタンク３６から万が一排気ガス４６
が漏れ出ても、第２流路６４によって主排気流路１２に
導くようにしている。このため、分岐流路３２ａ、バッ
ファタンク３６の気密構造に万が一不備があっても、こ
れらから漏れ出た排気ガス４６が作業室などに拡散する
おそれがない。

【００３０】また、第３実施形態においては、真空ポン
プ２０からの排気ガス４６を主排気流路１２に導く排気
系統を、第２流路６４を設けた二重構造としたことによ
り、例えば真空チャンバ１８内を高温の窒素ガスなどに
よって置換する場合のように、真空ポンプ２０が高温の
排気ガス４６を吐出したとしても、第２流路６４に存在
する気体が断熱材の作用をするため、高温排気ガスによ
る作業室などへの熱的影響を防止することができる。し
かも、第３実施形態に係る排気システム６０は、真空ポ
ンプ２０の吐出口の近くに、第２流路６４の吸引開口６
８を設けたことにより、真空ポンプ２０からのオイルミ
ストが万が一漏れても、作業室の内部などに拡散させる
ことなく主排気流路１２に排出することができる。ま
た、吸引開口６８を設けたことにより、第２流路６４内
の気体の流れが良好となり、分岐流路３２ａとバッファ
タンク３６とが第２流路６４を流れる気体によって冷却
され、分岐流路３２ａ、バッファタンク３６に収容でき
る排気ガス４６の量を増大し、排気ガス４６の処理能力
が向上する。

【００３１】なお、上記において説明した実施形態は、
本発明の一態様であって、これに限定されるものでな
く、例えばバッファタンク３６から流出する排気ガス４
６の流動抵抗を大きくするために、流出路４４にダンパ
を設けたり、流出路４４の距離を大きくしたり曲げたり
してもよい。また、主排気流路１２内の圧力を検出して
排気用送風機１４の回転数を制御するような排気システ
ムにも適用できることはもちろんである。

【００３２】

【実施例】図４ないし図７は、容積３５リットル(Ｌ)の
真空チャンバに排気能力５．０Ｌ／ｓの真空ポンプを接
続するとともに、真空ポンプの排気経路に容積５０Ｌの
バッファタンクを設けた場合の、真空ポンプによる排気
シミュレーションの一例を示したものである。

【００３３】図４は、真空ポンプが稼動(排気)を開始し
てからの時間に対する真空チャンバ内の残留ガス量（標
準大気圧下換算）、標準大気圧に換算した真空ポンプの
排気量、バッファタンク内ガス量（標準大気圧下換
算）、バッファタンク内圧力（標準大気圧は１０１３２
５Ｐａに相当する。）、バッファタンクからの排気量
（標準大気圧下換算）を計算により求めた結果の一部を
示す図である。

【００３４】この図４における排気時間は、真空ポンプ
を稼動して排気を開始してからの経過時間である。ま
た、チャンバ内残留ガス量は、真空チャンバに残留して
いるガス(空気)の量をリットル(Ｌ)単位（標準大気圧下
換算）で示したものである。そして、チャンバ内残留ガ
ス量は、排気開示時に３５Ｌであったものが、排気を開
始してから０．５秒後に３．２５×１０Ｌに減少し、排
気を開始してから５秒後には１．９９×１０Ｌに減少
し、さらに排気を開始してから２０秒後には８．５１Ｌ
に減少していることを示している。

【００３５】図４に示した排気体積は、真空ポンプが吐
出する排気ガスの１秒当りの量を、１気圧の量に換算し
てリットルで示している。そして、１気圧での排気体積
の排気時間に対する変化を図５に示した。これらの図か
らわかるように、真空ポンプの排気量は、排気開始時
(稼動開始時)におけるを５．００Ｌ／秒をピークとし、
排気時間の経過とともに急速に減少する。そして、この
１気圧での排気体積は、図５に示したように、排気開始
から２０００秒が経過すると、１.００×１０^-4(１．０
０Ｅ−０４)Ｌ／秒を下回ってくる。

【００３６】バッファタンク内ガス量は、容積５０Ｌの
バッファタンク内のガス量を標準大気圧（標準大気圧１
気圧は１０１３２５Ｐａに相当する。）に換算してリッ
トルで示している。そして、真空ポンプによる排気時間
に対するバッファタンク内の圧力の変化を図６に示し
た。これらの図から、このシミュレーションにおいて
は、真空ポンプによる排気を開始してから７秒後に、バ
ッファタンク内の圧力が１．２４１９気圧とピークに達
し、このときのバッファタンク内のガス量は１気圧換算
で６２．０９６Ｌとなる。その後、バッファタンク内の
圧力は、漸減して１．３気圧を超えることはなく、真空
ポンプの排気能力に影響を与えることがない。

【００３７】図４に示したバッファタンクからの排気量
は、図１に示したバッファタンク３６から流出路４４を
介して主排気流路１２に流入する排気ガス４６の量に相
当し、１気圧に換算して１秒当り何リットルがバッファ
タンクから流出するかを示している。そして、図７に排
気時間と、１気圧に換算したバッファタンクからの排気
量(流出量)との関係を示した。これらの図から、真空ポ
ンプにより排気を開始してから７秒後に、バッファタン
クからの排気量が最大となり、１気圧に換算した排気量
が１．２０９６Ｌ／秒である。真空ポンプによる排気開
始から最初の１秒間の排気量４．７Ｌと比較すると、約
１／４となる。従って、主排気流路１２に設置する排気
用送風機１４の排気能力を大幅に小さくすることができ
ることがわかる。

【００３８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、真空ポンプが吐出した排気ガスをバッファタンクに
流入させ、流量制限部を介してバッファタンク内の排気
ガスを主排気流路に徐々に流入させる。このため、複数
の真空ポンプが同時に稼動を開始させたとしても、主排
気流路に流入する真空ポンプからの排気ガスの量を少な
くすることができ、従来と同じ台数の真空ポンプが設置
してあったとしても、排気用送風機の排気能力を小さく
することができ、主排気流路の断面積も小さくすること
が可能で、設備費用を削減できるとともに、送風機を駆
動するエネルギーを節減でき、運転費用を低減すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る排気システムの説
明図である。

【図２】本発明の第２実施形態に係る排気システムの説
明図である。

【図３】本発明の第３実施形態に係る排気システムの説
明図である。

【図４】本発明の効果をシミュレーションにより求めた
結果を示す図である。

【図５】シミュレーションにより求めた排気時間と、真
空ポンプの排気量を標準大気圧に換算した値との関係を
示す図である。

【図６】シミュレーションにより求めた排気時間とバッ
ファタンク内圧力との関係を示す図であって、１は標準
大気圧である。

【図７】シミュレーションにより求めた排気時間と、標
準大気圧に換算したときのバッファタンクからの排気量
との関係を示す図である。

【図８】従来の排気システムの説明図である。

【符号の説明】

１２………主排気流路、１４………排気用送風機、２０
………真空ポンプ、２４………作業用ダクト、３０、５
０、６０………排気システム、３２ａ、３２ｂ………分
岐流路、３４………排気空気、３６………バッファタン
ク、４０………流入路、４４、５２………流量制限部
(流出路、オリフィス)、４６………排気ガス、４８……
…全体排気ガス、６４………第２流路、６６………流出
開口、６８………吸引開口。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 優喜 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイ コーエプソン株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−152217（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−186066（ＪＰ，Ａ) 特開2000−24447（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 屋内の空気を外部に排出する送風機を設
   けた主排気流路と、 この主排気流路に接続されて真空ポンプが吐出した排気
   ガスを前記主排気流路に導く分岐流路と、 この分岐流路に設けられて前記真空ポンプの吐出した排
   気ガスが流入するバッファタンクと、 このバッファタンクの流出口と前記主排気流路との間に
   設けられ、前記真空ポンプの稼動開始時における前記バ
   ッファタンクからの排気ガスの流出量を、真空ポンプか
   らのバッファタンクへの流入量より少なくする流量制限
   部と、 を有することを特徴とする排気システム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の排気システムにおい
   て、 前記分岐流路は、前記バッファタンクの流出口と前記主
   排気流路とを接続する流出路と、前記バッファタンクの
   流入口と前記真空ポンプの吐出口とを接続する流入路と
   からなり、 前記流量制限部は、前記流入路より流路断面積が小さい
   流出路である、 ことを特徴とする排気システム。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の排気システムにおい
   て、前記流量制限部は、前記バッファタンクと前記主排
   気流路との間の前記分岐流路に設けたオリフィスである
   ことを特徴とする排気システム。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の排
   気システムにおいて、前記分岐流路と前記バッファタン
   クとの周囲に形成され、前記主排気流路に連通した第２
   流路を有することを特徴とする排気システム。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の排気システムにおい
   て、前記第２流路は、前記真空ポンプの吐出口の近くに
   設けた吸引開口を有していることを特徴とする排気シス
   テム。