JP5002482B2 - 炭化ケイ素複合材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
炭化ケイ素、シリコン、二酸化ケイ素の3相を含み、前記シリコンはネットワーク状に連続して存在し、前記二酸化ケイ素の少なくとも一部は、厚みが10nm以上300μm以下表面層として存在し、前記炭化ケイ素、前記シリコン、及び前記二酸化ケイ素の体積比が、それぞれ55〜90%、8〜40%、0.1〜5%であり、不純物量が10ppm以上5%未満であって、前記炭化ケイ素の粒径が0.1μm以上10μm以下であることを特徴とする、炭化ケイ素複合材料及びその製造方法に関する。
上述したように、本発明の炭化ケイ素複合材料においては、炭化ケイ素、シリコン、二酸化ケイ素の3相を含み、前記シリコンはネットワーク状に連続して存在する。前記炭化ケイ素複合材料が、このような組成及び構造を呈することによって、内部の気孔は十分に低減されるようになる。なお、ここで言う「ネットワーク状」とは、以下のことを意味すると定義する。すなわち、本発明の炭化ケイ素複合材料中に仮想的に3次元座標としてのX軸、Y軸、Z軸を設定した場合に、シリコンが連続して途切れなくX軸方向にも、Y軸方向にも、Z軸方向もつながっている状態、言い換えればいわゆる網目状に連続していることを意味する。
上述したような構造及び組成の炭化ケイ素複合材料の製造方法は特に限定されるものではないが、例えば以下のような方法によって形成することができる。
本発明の炭化ケイ素複合材料は、低い気孔率に起因するととともに、その本来的な特性に起因して、耐腐蝕性、弾性率、耐熱衝撃性、耐機械衝撃性、及び耐熱性に優れる。したがって、このような特性の種々の用途に適用することができる。例えば、化学プラント用熱交換器部材、鏡面部材、鏡面構造部材、半導体製造装置部品、メカニカルシール部品、摺動部品、ガスタービン部品及び装飾用品などに使用することができる。
(1)原料
本実施例では、表1に示す材料組成比の焼結体が得られるよう、炭化ケイ素、炭素、シリコンの各成分粉末を用いて、試験を行った。
(2)方法
最初に、表1に示す種々の平均粒径の炭化ケイ素、炭素の各成分粉末を混合、造粒した後、冷間等方圧加圧法(CIP)を用いて、所定の形状に成形した。次いで、得られた成形体に対して溶融シリコンを含浸して、減圧下またはアルゴンガス雰囲気下で、1400〜1800℃に加熱して、1時間で反応焼結を行い、所定の焼結体を得た。この焼結体を以下に示す種々の試験片に加工した後、大気中でアニール処理を実施した。なお、得られた試験片の特性に関して表1に示す。
(3)評価
室温強度、高温強度、耐熱衝撃性、耐食性を、それぞれJIS R1601に定める3点曲げ強さ試験方法、JIS R1604に定める高温3点曲げ試験方法、JIS R1648に定める熱衝撃試験方法、及びJIS R1614に定める腐食試験方法で測定した。得られた試験片の各測定値に関し、表1及び2にその値を示す。
本比較例においては、上述した実施例において、含浸させる溶融シリコン量を低減し、上記同様の方法を経ることにより試験片を得た。得られた試験片の特性に関して表2に示す。また、実施例と同様の試験を経て得た各評価値についても、同じく表2に示す。
Claims (12)
- 炭化ケイ素、シリコン、二酸化ケイ素の3相を含み、前記シリコンはネットワーク状に連続して存在し、
前記二酸化ケイ素の少なくとも一部は、厚みが10nm以上300μm以下表面層として存在し、
前記炭化ケイ素、前記シリコン、及び前記二酸化ケイ素の体積比が、それぞれ55〜90%、8〜40%、0.1〜5%であり、不純物量が10ppm以上5%未満であって、
前記炭化ケイ素の粒径が0.1μm以上10μm以下であることを特徴とする、炭化ケイ素複合材料。 - 気孔率が0.01%以上、2%未満であることを特徴とする、請求項1に記載の炭化ケイ素複合材料。
- 前記二酸化ケイ素を含む前記表面層の気孔率が0.01%以上、2%未満であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の炭化ケイ素複合材料。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、化学プラント用熱交換器部材。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、鏡面部材。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、鏡面構造部材。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、半導体製造装置部品。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、メカニカルシール部品。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、摺動部品。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、ガスタービン部品。
- 請求項1〜3のいずれか一に記載の炭化ケイ素複合材料を含むことを特徴とする、装飾用品。
- 炭化ケイ素及び炭素を含む炭化ケイ素−炭素成形体を形成する工程と、
前記炭化ケイ素−炭素成形体に対して溶融シリコンを含浸させ、シリコン含浸炭化ケイ素−炭素成形体を形成する工程と、
前記シリコン含浸炭化ケイ素−炭素成形体を非酸化性雰囲気中で焼結した後にアニール処理を行い、炭化ケイ素、シリコン、二酸化ケイ素の3相を含み、前記シリコンがネットワーク状に連続して存在し、前記二酸化ケイ素の少なくとも一部は、厚みが10nm以上300μm以下表面層として存在し、前記炭化ケイ素、前記シリコン、及び前記二酸化ケイ素の体積比が、それぞれ55〜90%、8〜40%、0.1〜5%であり、不純物量が10ppm以上5%未満であって、前記炭化ケイ素の粒径が0.1μm以上10μm以下である炭化ケイ素複合材料を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、炭化ケイ素複合材料の製造方法。
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