JPH02283669A - 碍子焼成用の懸垂棒の製造方法 - Google Patents
碍子焼成用の懸垂棒の製造方法Info
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- JPH02283669A JPH02283669A JP63326239A JP32623988A JPH02283669A JP H02283669 A JPH02283669 A JP H02283669A JP 63326239 A JP63326239 A JP 63326239A JP 32623988 A JP32623988 A JP 32623988A JP H02283669 A JPH02283669 A JP H02283669A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は碍子の焼成時に碍子を懸垂するための懸垂棒
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
従来の技術
碍子の焼成時に使用する懸垂棒として、ＳｉＣ再結晶質
のもの、たとえば再結晶ＳｉＣチューブが広く用いられ
ている。碍子の焼成は、酸化雰囲気中１３００℃の高温
下で行われていた。
のもの、たとえば再結晶ＳｉＣチューブが広く用いられ
ている。碍子の焼成は、酸化雰囲気中１３００℃の高温
下で行われていた。
発明が解決しようとする課題
碍子の焼成が前述したような苛酷な条件下で行われるこ
とから、再結晶質ＳｉＣ中に存在する気孔中に時間と共
にシリカが生成されて酸化が進み、曲り、折損等の事故
が発生していた。
とから、再結晶質ＳｉＣ中に存在する気孔中に時間と共
にシリカが生成されて酸化が進み、曲り、折損等の事故
が発生していた。
また、碍子の焼成には重油あるいは天然ガスを直接炉内
で燃焼する方式を採用する場合が多く、水蒸気、−酸化
炭素、水素、炭化水素等のガスが多く含有され、懸垂棒
のライフが短かった。
で燃焼する方式を採用する場合が多く、水蒸気、−酸化
炭素、水素、炭化水素等のガスが多く含有され、懸垂棒
のライフが短かった。
さらに、再結晶質ＳｉＣは気孔を１０〜３０％程度含む
ために表面の精度が悪く、碍子を吊す際、碍子内面に傷
が付く不具合が発生していた。
ために表面の精度が悪く、碍子を吊す際、碍子内面に傷
が付く不具合が発生していた。
発明の目的
この発明は、曲り、折損等のトラブルを大幅に少なく、
ライフが向上し、碍子内面に傷が付くのを防げる碍子焼
成用の懸垂棒の製造方法を提供することを目的とする。
ライフが向上し、碍子内面に傷が付くのを防げる碍子焼
成用の懸垂棒の製造方法を提供することを目的とする。
発明の要旨
この発明は請求項１〜３の碍子焼成用の懸垂棒の製造方
法を要旨としている。
法を要旨としている。
課題を解決するための手段
第１の発明は、ＳｉＣにカーボン源となる物質を混合し
、真空あるいは常圧押出成形機により成形し、その後１
４５０℃以上の温度で金属Ｓｉを注入したことを特徴と
する。
、真空あるいは常圧押出成形機により成形し、その後１
４５０℃以上の温度で金属Ｓｉを注入したことを特徴と
する。
第１の発明は、カーボン源となる物質を添加することに
よりカーボンと金属Ｓｉが２次的に生成するＳｉＣ量を
積極的に増加させ、相対的に含有Ｓｉ量を減らすことが
できるようにする。このためシリカが生成されず酸化が
進まず、曲り、折損等が発生しない。カーボン源とはカ
ーボンやフェノールレジンなどである。
よりカーボンと金属Ｓｉが２次的に生成するＳｉＣ量を
積極的に増加させ、相対的に含有Ｓｉ量を減らすことが
できるようにする。このためシリカが生成されず酸化が
進まず、曲り、折損等が発生しない。カーボン源とはカ
ーボンやフェノールレジンなどである。
後掲の表−１には、実施例の組成比が示されている。
金属Ｓｉの注入する際の温度が１４５０℃より低いとＳ
ｉの融点１４１２℃に近いためにＳ ｉ ｍ ｅ ｌ
ｔの粘性が高く、注入速度が遅い点で好ましくない。
ｉの融点１４１２℃に近いためにＳ ｉ ｍ ｅ ｌ
ｔの粘性が高く、注入速度が遅い点で好ましくない。
第１図を参照する。第１図は第１の発明による実施例の
懸垂棒（白丸で示す）と従来例の懸垂棒（黒丸）の時間
に対する酸化増量の変化を示している。
懸垂棒（白丸で示す）と従来例の懸垂棒（黒丸）の時間
に対する酸化増量の変化を示している。
従来の再結晶質ＳｉＣおよび第１の発明による再結晶Ｓ
ｉＣに金属Ｓ１を注入したものを２０ ＩＩＩｍ Ｘ
５ ｒｍのサイズに加工し、懸垂棒のサンプルとした。
ｉＣに金属Ｓ１を注入したものを２０ ＩＩＩｍ Ｘ
５ ｒｍのサイズに加工し、懸垂棒のサンプルとした。
これらを１２００℃の温度で２０時間、酸素を５１／ｌ
ｉｎの割合で流しながら重量増加を測定した。
ｉｎの割合で流しながら重量増加を測定した。
第１図では時間に対して酸化増量がほぼ直線関係にある
ことが判る。（これは即ち放物線刻に従うことがわかり
、酸化速度は酸化膜中の０２拡散が律速になっているこ
とを意味する） これより、第１の発明の懸垂棒は従来の懸垂棒に比較し
て酸化増量が小さいこと、すなわち耐酸化性に秀れてい
ることが判る。
ことが判る。（これは即ち放物線刻に従うことがわかり
、酸化速度は酸化膜中の０２拡散が律速になっているこ
とを意味する） これより、第１の発明の懸垂棒は従来の懸垂棒に比較し
て酸化増量が小さいこと、すなわち耐酸化性に秀れてい
ることが判る。
第２の発明は、ＳｉＣ中に金属Ｓｉが注入され、表面に
酸化膜が５μｍ以上形成されたことを特徴とする。
酸化膜が５μｍ以上形成されたことを特徴とする。
酸化膜の厚さが５μｍ未満では、前述したような酸化、
還元性のガスにより注入したＳの蒸発、あるいは酸化に
よるシリカの形成が促進される。
還元性のガスにより注入したＳの蒸発、あるいは酸化に
よるシリカの形成が促進される。
Ｓｉの蒸発は懸垂棒の強度を著しく低下させ、また表面
のシリカの形成は均一な厚さでなく不均一に盛上がって
形成される傾向があり、碍子との融着や碍子に傷を付け
る原因となり好ましくない。
のシリカの形成は均一な厚さでなく不均一に盛上がって
形成される傾向があり、碍子との融着や碍子に傷を付け
る原因となり好ましくない。
再結晶質ＳｉＣにＳｉを注入させたもの及びその後１１
００℃において大気中で１５時間酸化させることにより
表面に酸化膜を２０μｍ形成させた懸垂棒サンプル（サ
イズは直径４０ ｍ ｍ ｘ長さ５００ｍｍ）を重油燃
焼バーナーにより、炉内温度１３００℃に設定して約１
００時間熱処理を行った。
００℃において大気中で１５時間酸化させることにより
表面に酸化膜を２０μｍ形成させた懸垂棒サンプル（サ
イズは直径４０ ｍ ｍ ｘ長さ５００ｍｍ）を重油燃
焼バーナーにより、炉内温度１３００℃に設定して約１
００時間熱処理を行った。
その際の重量増加、及び表面の状態の一例を表−２に示
した。結果として、酸化膜を予め形成させたサンプルは
重量増加も、表面の状態も酸化膜を形成させなかったも
のに比較して良い傾向にあった。
した。結果として、酸化膜を予め形成させたサンプルは
重量増加も、表面の状態も酸化膜を形成させなかったも
のに比較して良い傾向にあった。
後掲の表−２には重油炉での酸化試験結果を示している
。第２の発明の実施例は従来例に比べて酸化による重量
増加が大幅に少ない。
。第２の発明の実施例は従来例に比べて酸化による重量
増加が大幅に少ない。
第３の発明は、ＳｉＣ懸垂棒中に金属Ｓｉが注入され、
大気中もしくは酸化性の雰囲気中で加熱処理され、懸垂
棒表面に酸化被膜が形成され酸化被膜が最大表面粗さで
Ｒ□８．＝１５０μｍ未満になっていることを特徴とす
る。
大気中もしくは酸化性の雰囲気中で加熱処理され、懸垂
棒表面に酸化被膜が形成され酸化被膜が最大表面粗さで
Ｒ□８．＝１５０μｍ未満になっていることを特徴とす
る。
酸化被膜の最大表面粗さが１５０μｍ未満となっている
のは、最大表面粗さ１５０μｍ以上では、碍子との摺動
で碍子に傷が付く恐れがあるためである。
のは、最大表面粗さ１５０μｍ以上では、碍子との摺動
で碍子に傷が付く恐れがあるためである。
後掲の表−３には、従来例と第３の発明の実施例におけ
る懸垂棒の最大表面粗さと碍子を懸垂した後の状態を示
している。
る懸垂棒の最大表面粗さと碍子を懸垂した後の状態を示
している。
発明の効果
請求項１の発明によれば、酸化を防ぎ折損、曲り等によ
るトラブルを激減できる。
るトラブルを激減できる。
請求項２の発明によれば、水蒸気等による苛酷な条件下
でもライフを向上できる。
でもライフを向上できる。
請求項３の発明では、碍子内面の傷不良が軽減できる。
第１図は酸化増量と時間の関係を示す図である。
表
Ｆｉｇ、 １
時間（Ｈｒ ）
Claims (3)
- １．ＳｉＣにカーボン源となる物質を混合 し、真空あるいは常圧押出成形機により成形し、その後
１４５０℃以上の温度で金属Ｓｉを注入することを特徴
とする碍子焼成用の懸垂棒の製造方法。 - ２．ＳｉＣ中に金属Ｓｉが注入され、表面 に酸化膜が５μｍ以上形成されたことを特徴とする碍子
焼成用の懸垂棒の製造方法。 - ３．ＳｉＣ懸垂棒中に金属Ｓｉが注入され、大気中もし
くは酸化性の雰囲気中で加熱処理され、懸垂棒表面に酸
化被膜が形成され酸化被膜が最大表面粗さでＲ＿ｍ＿ａ
＿ｘ＝１５０μｍ未満になっていることを特徴とする碍
子焼成用の懸垂棒の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63326239A JPH02283669A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 碍子焼成用の懸垂棒の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63326239A JPH02283669A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 碍子焼成用の懸垂棒の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02283669A true JPH02283669A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=18185547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63326239A Pending JPH02283669A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 碍子焼成用の懸垂棒の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02283669A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009190950A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Toshiba Corp | 炭化ケイ素複合材料及びその製造方法 |
| KR20120102676A (ko) * | 2009-11-09 | 2012-09-18 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 석영 유리 실린더의 제조 방법 및 그 제조 방법을 수행하기 위한 지지체 |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP63326239A patent/JPH02283669A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009190950A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Toshiba Corp | 炭化ケイ素複合材料及びその製造方法 |
| KR20120102676A (ko) * | 2009-11-09 | 2012-09-18 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 | 석영 유리 실린더의 제조 방법 및 그 제조 방법을 수행하기 위한 지지체 |
| JP2013510070A (ja) * | 2009-11-09 | 2013-03-21 | ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | 石英ガラスシリンダの製造方法、及び当該方法を実施するための担体 |
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