JP4999800B2 - シリコンエッチング液 - Google Patents
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容積1,000(ml)のフッ素樹脂製の容器に表1に示す各種添加物質を溶解させた22質量%のTMAH水溶液900(ml)を導入後、オイルバスを用いて液温が80℃になるまで加熱した。
TMAHの濃度、添加物質の種類及び量を表1に示す様に変えた以外は実施例1と同様にしてシリコン(100)面のエッチング速度を調べ、FE−SEMでシリコン(111)面及びシリコン(100)面を観察した。その結果を表1に示す。
長時間、連続使用によるエッチング速度の低下の有無を調べるために、予め液温80℃で24時間加熱後、実施例1と同様の方法で、エッチング速度を調べ、FE−SEMでシリコン(111)面及びシリコン(100)面を観察した。その結果を表2に示す。
添加物質の種類及び添加量を表3に示すように変えた以外は、実施例1と同様にしてシリコン(100)面のエッチング速度を調べ、FE−SEMでシリコン(111)面及びシリコン(100)面を観察した。その結果を表3に示す。
添加物質の種類及び添加量を表4に示すように変えた以外は、実施例18と同様にして、長時間、連続使用によるエッチング速度を調べ、FE−SEMでシリコン(111)面及びシリコン(100)面を観察した。その結果を表4に示す。
Claims (2)
- マスクされたシリコンウェハをエッチングする工程を含むシリコンデバイスの製造方法において、前記エッチングを請求項1に記載のエッチング液を用いて行うことを特徴とするシリコンデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008204108A JP4999800B2 (ja) | 2008-08-07 | 2008-08-07 | シリコンエッチング液 |
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JP2010040908A JP2010040908A (ja) | 2010-02-18 |
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JP (1) | JP4999800B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3983499A4 (en) * | 2019-06-13 | 2023-08-02 | Versum Materials US, LLC | LIQUID COMPOSITIONS FOR SELECTIVE REMOVAL OF POLYSILICON OVER P-DOped SILICON AND SILICON-GERMANIUM DURING FABRICATION OF A SEMICONDUCTOR DEVICE |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2599021B2 (ja) * | 1989-11-09 | 1997-04-09 | 新日本製鐵株式会社 | シリコンウエハのエッチング方法および洗浄方法 |
JPH0982676A (ja) * | 1995-09-11 | 1997-03-28 | Mitsubishi Chem Corp | 表面処理組成物及びそれを用いた基体の表面処理方法 |
JP2002299300A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kaijo Corp | 基板処理方法 |
JP4684869B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2011-05-18 | 株式会社トクヤマ | シリコンエッチング液 |
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2008
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Publication number | Publication date |
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