JP4997975B2 - フッ化カルボニルの製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、上記方法には、爆発の危険性、副反応によるフッ化カルボニルの反応収率の低下、激しい発熱等の問題があった。以下、詳細に説明する。
フッ化カルボニルは、300℃以上で四フッ化メタンと二酸化炭素とに分解される(非特許文献2〜4参照。)。したがって、反応熱が十分に除熱されないと、四フッ化メタンおよび二酸化炭素が副生すると考えられる。
二酸化炭素とフッ化カルボニルとは、分子径が近いため、両者を吸着分離することは困難である。また、いずれもアルカリ性物質と容易に反応するため、中和による分離も不可能である。更に、両者は沸点が近いため、蒸留分離も困難である(特許文献1参照。)。よって、反応の際に、除熱により二酸化炭素の副生を抑制することは、高純度のフッ化カルボニルを得るうえで、極めて重要である。
このような問題に対して、高温の気体の除熱に適した反応装置、例えば、反応空間と冷却媒体との境界の面積(伝熱面積)が反応空間の容積に対して比較的大きい装置を用いる方法、反応熱量を抑制するために反応させる量を抑える方法等が考えられるが、生産量に対する装置の費用が高くなるという問題があり、工業的な大量生産には不利となる。
このように、一酸化炭素とフッ素とを原料とするフッ化カルボニルの工業的製造方法は、未だ確立されていなかった。
したがって、本発明は、一酸化炭素とフッ素とを原料とし、激しい発熱、副反応による収率の低下等の問題がない、フッ化カルボニルの製造方法を提供することを目的とする。
(2)一酸化炭素ガスとフッ素ガスとを液体の中で接触させて反応を行わせ、フッ化カルボニルを得る、フッ化カルボニルの製造方法。
(4)前記液体が、前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの両方を実質的に溶解させず、かつ、前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの両方を、前記液体中に気泡の状態で分散させ、前記気泡同士を衝突させることにより、両者を接触させる、上記(3)に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
(5)前記液体が、C−H結合を含まずC−F結合を含む含フッ素化合物である上記(3)または(4)に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
(6)前記液体が、フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物である上記(1)または(2)に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
(7)前記フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物が、末端に−CF(CF3)COF基を有する化合物である上記(6)に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
(8)前記フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物が、C2F5[CF2OCF(CF3)]nCOF(ただし、nは1〜4の整数)で表される化合物である上記(7)に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
10 反応器
12 第1の差込管
14 第2の差込管
16 かくはん翼
18 かくはん機
20、56 冷却ジャケット
22、58 冷却水供給管
24、60 冷却水排出管
26、62 気体排出管
28 二重管型熱交換器
30 冷却水供給管
32 冷却水排出管
34 液体
36 反応器の上部空間
50 気相反応器
52 第1の気体導入管
54 第2の気体導入管
本発明のフッ化カルボニルの製造方法では、一酸化炭素ガスとフッ素ガスとを液体の中に導入し、液体中で一酸化炭素とフッ素とを反応させ、フッ化カルボニルを得る。また、一酸化炭素ガスとフッ素ガスとを液体の中で接触させて反応を行わせ、フッ化カルボニルを得る。
一酸化炭素ガスとしては、高純度であるものを用いるのが好ましく、具体的には99.5体積%以上、特には99.9%体積以上であるものが好ましい。よって、原料とする一酸化炭素ガス中に不純物が多く含まれる場合は、精製処理により当該不純物を分離、除去することが好ましい。
ただし、当該不純物が、反応に実質的に影響を与えるものではなく、かつ、目的生成物であるフッ化カルボニルと精製分離しやすいものである場合は、上記の範囲まで不純物を低減しなくてもよい。
一酸化炭素ガスに含まれうる不純物の種類はその製造方法により異なる。例えば、スチームクラッキング法により一酸化炭素ガスを製造する場合、不純物として二酸化炭素が生成する。この場合は、生成した一酸化炭素ガスをソーダライム等のアルカリと接触させた後、シリカゲル等で脱水することにより二酸化炭素を除去できる。
また、一酸化炭素ガスと同様、フッ素ガスとしても高純度であるものを用いるのが好ましく、具体的には99.0体積%以上、特には99.5体積%以上であるものを用いるのが好ましい。よって、原料とするフッ素ガス中に不純物が多く含まれる場合は、精製処理により当該不純物を分離、除去することが好ましい。
希釈用ガスがフッ化カルボニルである場合には、製造したフッ化カルボニルから希釈用ガスを除去する工程を省略することができる。また、希釈用ガスが窒素ガス、ヘリウムガス、ネオンガスおよびアルゴンガスからなる群から選ばれる少なくとも1種である場合には、フッ化カルボニルと希釈用ガスとの沸点の差が大きいため、蒸留による分離が容易となる。
フッ素ガスと実質的に反応しない物質としては、例えば、C−H結合を含まずC−F結合を含む含フッ素化合物が挙げられる。具体的には、例えば、ペルフルオロアルカン類(例えば、3M社製のフロリナートFC−72)、ペルフルオロエーテル類(例えば、3M社製のフロリナートFC−75およびFC−77)、ペルフルオロポリエーテル類(例えば、デュポン社製のクライトックス、アウジモント社製のフォンブリンおよびガルデン、ダイキン工業社製のデムナム等)、ペルフルオロエステル類、クロロフルオロカーボン類、クロロフルオロポリエーテル類、ペルフルオロアルキルアミン(例えば、ペルフルオロトリアルキルアミン)、不活性流体(例えば、3M社製の各種フロリナート)が挙げられる。また、C2F5[CF2OCF(CF3)]mCF2OC2F5(ただし、mは=1〜4の整数)で表される化合物も使用でき、なかでもC3F7OCF(CF3)CF2OC2F5は好ましい。
また、上述したように、本発明に用いられる液体はフッ素ガスと実質的に反応しない物質であるのが好ましいが、前記液体がフッ素ガスと反応してフッ化カルボニルを生成させるものである場合、そのような液体は好適に用いられる。このような場合は、反応により生じる物質がフッ化カルボニルであるため、得られるフッ化カルボニルの純度は低下しない。
フッ素ガスと反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物としては、末端に−CF(CF3)COF基を有する化合物が好ましく、さらにはC−H結合を含まない含フッ素化合物が好ましい。例えば、C2F5[CF2OCF(CF3)]nCOF(ただし、nは1〜4の整数)で表される化合物が好ましく、具体的には、C3F7OCF(CF3)COF、C3F7OCF(CF3)CF2OCF(CF3)COF等のペルフルオロカルボン酸フロライド類が挙げられる。
しかしながら、前記液体とフッ素ガスとの反応率が高すぎる場合は、発熱の問題が生じる可能性があるので、反応率は0.4モル%以下、特には0.2モル%以下とするのが好ましい。
後に例示するようなフッ化カルボニルの製造装置においては、生成したフッ化カルボニルが反応器内の空間に一時的に貯留されるが、このような空間に未反応の一酸化炭素ガスおよびフッ素ガスが供給されると、反応熱が十分に除熱されないことがある。したがって、液体中で上記反応が実質的に終了するのが好ましい。
上述したように、一酸化炭素ガスおよびフッ素ガスのそれぞれを気泡にして液体中に分散させ、気泡同士を衝突させて反応を行う場合、反応効率が高くなる。
気泡の大きさは、小さいほど個々の気泡の衝突による反応熱が小さくなり、除熱をしやすくなる点で好ましい。気泡を小さくする方法としては、例えば、吹き込み管を用いて原料ガスを液体中に供給する方法;原料ガスに焼結フィルター、ガス透過膜、気液混合器等を通過させる方法;反応器内の液体を混合するかくはん装置を用いる方法が挙げられる。
図1は、フッ化カルボニルの製造装置を表す模式図である。図1に示されるフッ化カルボニルの製造装置1は、基本的に、反応器10と、反応器10に気体を供給するための第1の差込管12および第2の差込管14と、反応器10の内容物をかくはんするためのかくはん翼16を有するかくはん機18と、反応器10を冷却するための冷却ジャケット20と、冷却ジャケット20に冷却水(冷却媒体であればよい。以下同じ)を供給するための冷却水供給管22と、冷却ジャケット20から冷却水を排出するための冷却水排出管24と、反応器10から気体を排出するための気体排出管26と、気体排出管26の途中に設けられた二重管型熱交換器28と、二重管型熱交換器28に冷却水を供給するための冷却水供給管30と、二重管型熱交換器28から冷却水を排出するための冷却水排出管32とを具備する。
ついで、モーターによりかくはん機18のかくはん翼16を回転させて、液体34を激しくかくはんする。同時に、冷却水供給管22から冷却ジャケット20に冷却水を供給し、冷却水排出管24から排出させる。
上記の状態で、初めに、第1の差込管12から反応器10にフッ素ガス希釈用の希釈ガスを供給し、反応器10内の圧力を制御する。ついで、希釈ガスを流したまま、更に、第1の差込管12から反応器10にフッ素ガスを供給する。その後、速やかに第2の差込管14から反応器10に一酸化炭素ガスを供給する。これにより、液体34の中で、第1の差込管12から供給されたフッ素ガスの気泡と、第2の差込管14から供給された一酸化炭素ガスの気泡とが衝突し、反応ガスが生成する。
最後に、得られた反応粗ガスを蒸留装置(図示せず)により精製して、高純度のフッ化カルボニルを得る。
1.フッ化カルボニルの製造
(実施例1)
図1に示されるフッ化カルボニルの製造装置を用いて、以下のようにしてフッ化カルボニルを製造した。図1に示されるフッ化カルボニルの製造装置1において、反応器10は、ステンレス製、内径150mm、深さ315mm、内容積約5Lであり、第1の差込管12および第2の差込管14は内径各6mmであった。
ついで、モーターにより600rpmでかくはん機18のかくはん翼16を回転させて、液体34を激しくかくはんした。同時に、冷却水供給管22から冷却ジャケット20に温度17℃の冷却水を供給し、冷却水排出管24から排出させた。冷却水の流量は、400L/時であった。
上記の状態で、初めに、第1の差込管12から反応器10にフッ素ガス希釈用の窒素ガスを流量5000SCCMで供給し、反応器10内の圧力を0.09MPa(ゲージ圧)に制御した。ついで、窒素ガスを流したまま、更に、第1の差込管12から反応器10にフッ素ガスを流量1000SCCMで供給した(フッ素濃度16.7体積%)。その後、速やかに第2の差込管14から反応器10に一酸化炭素ガスを流量1000SCCMで供給した。これにより、液体34の中で、第1の差込管12から供給されたフッ素ガスの気泡と、第2の差込管14から供給された一酸化炭素ガスの気泡とが衝突し、反応ガスが生成した。
このようにして、反応を60分間連続的に行った。反応終了時において、反応器10の気相温度は83℃であり、液体34の温度は34℃であり、冷却水排出管24における冷却水の温度は22℃であった。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は97.3%、二酸化炭素ガスの選択率は2.7%であった。四フッ化メタンは検出されなかった。ここで、選択率(モル%基準)は、フッ化カルボニル/(フッ化カルボニル+二酸化炭素+四フッ化メタン)×100 で表される。
冷却ジャケット20に供給した冷却水の温度を−10℃とし、フッ素ガス希釈用の窒素ガスの流量を3360SCCMとし、反応器10内の圧力を0.1MPa(ゲージ圧)とし、フッ素ガスの流量を2000SCCMとし(フッ素濃度37.3体積%)、一酸化炭素ガスの流量を2000SCCMとした以外は、実施例1と同様の方法により、フッ化カルボニルを製造した。
反応終了時において、反応器10の気相温度は27.1℃であり、液体34の温度は18.1℃であり、冷却水排出管24における冷却水の温度は−8℃であった。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は99.0%、二酸化炭素ガスの選択率は0.9%、四フッ化メタンの選択率は0.1%であった。
(実施例3)
冷却ジャケット20に供給した冷却水の温度を−10℃とし、フッ素ガス希釈用のフッ化カルボニルの流量を2450SCCMとし、反応器10内の圧力を0.1MPa(ゲージ圧)とし、フッ素ガスの流量を2000SCCMとし(フッ素濃度45体積%)、一酸化炭素ガスの流量を2000SCCMとした以外は、実施例1と同様の方法により、フッ化カルボニルを製造した。
反応終了時において、反応器10の気相温度は50℃であり、液体34の温度は27℃であり、冷却水排出管24における冷却水の温度は−6℃であった。
二重管型熱交換器28による冷却を経て気体排出管26から排出された反応粗ガスを、ガスクロマトグラフに導入して、組成を分析した。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は99.89%、二酸化炭素ガスの選択率は0.08%、四フッ化メタンの選択率は0.03%であった。
反応器に入れる液体をC3F7OCF(CF3)CF2OC2F5 7.38kgとする以外は、実施例3と同様の方法により、フッ化カルボニルを製造した。
反応終了時において、反応器10の気相温度は42.4℃であり、液体34の温度は21.5℃であり、冷却水排出管24における冷却水の温度は−5℃であった。
二重管型熱交換器28による冷却を経て気体排出管26から排出された反応粗ガスを、ガスクロマトグラフに導入して、組成を分析した。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は99.9%、二酸化炭素ガスの選択率は0.09%、四フッ化メタンは0.01%であった。
(実施例5)
反応器に入れる液体を3M社のフロリナートFC−77 8.0kgとする以外は、実施例3と同様の方法により、フッ化カルボニルを製造した。
反応終了時において、反応器10の気相温度は57.6℃であり、液体34の温度は18.2℃であり、冷却水排出管24における冷却水の温度は−7℃であった。
二重管型熱交換器28による冷却を経て気体排出管26から排出された反応粗ガスを、ガスクロマトグラフに導入して、組成を分析した。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は99.9%、二酸化炭素ガスの選択率は0.06%、四フッ化メタンは検出限界0.02%であった。
(比較例1)
図2に示されるフッ化カルボニルの製造装置を用いて、以下のようにしてフッ化カルボニルを製造した。
図2は、別のフッ化カルボニルの製造装置を表す模式図である。図2に示されるフッ化カルボニルの製造装置2は、基本的に、気相反応器50(ステンレス製、内径25mm)と、気相反応器50に気体を供給するための第1の気体導入管52および第2の気体導入管54(内径各10mm)と、気相反応器50を冷却するための冷却ジャケット56と、冷却ジャケット56に冷却水を供給するための冷却水供給管58と、冷却ジャケット56から冷却水を排出するための冷却水排出管60と、気相反応器50から気体を排出するための気体排出管62とを具備する。
上記の状態で、初めに、第1の気体供給管52から気相反応器50にフッ素ガス希釈用の窒素ガスを流量5000SCCMで供給し、気相反応器50内の圧力を0.02MPa(ゲージ圧)に制御した。ついで、窒素ガスを流したまま、更に、第1の気体供給管52から気相反応器50にフッ素ガスを流量1000SCCMで供給した(フッ素濃度16.7体積%)。その後、速やかに第2の気体供給管54から気相反応器50に一酸化炭素ガスを流量1000SCCMで供給した。これにより、気相反応器50内で、第1の気体供給管52から供給されたフッ素ガスと、第2の気体供給管54から供給された一酸化炭素ガスとが衝突し、反応ガスが生成した。
このようにして、反応を60分間連続的に行った。反応終了時において、気相反応器50の内部の温度は最高で400℃に達しており、冷却水排出管60における冷却水の温度は18℃であった。
その結果、一酸化炭素ガスの反応率は100%、フッ化カルボニルガスの選択率は95.1%、二酸化炭素ガスの選択率は4.3%、四フッ化メタンの選択率は0.6%であった。
なお、2004年12月16日に出願された日本特許出願2004−364183号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (9)
- 一酸化炭素ガスとフッ素ガスとを液体の中に導入し、液体中で一酸化炭素とフッ素とを反応させ、フッ化カルボニルを得る、フッ化カルボニルの製造方法。
- 一酸化炭素ガスとフッ素ガスとを液体の中で接触させて反応を行わせ、フッ化カルボニルを得る、フッ化カルボニルの製造方法。
- 前記液体が、前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの一方または両方を実質的に溶解させない、請求項1または2に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記液体が、前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの両方を実質的に溶解させず、かつ、前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの両方を、前記液体中に気泡の状態で分散させ、前記気泡同士を衝突させることにより、両者を接触させる、請求項3に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記液体が、C−H結合を含まずC−F結合を含む含フッ素化合物である請求項3または4に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記液体が、フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物である請求項1または請求項2に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物が、末端に−CF(CF3)COF基を有する化合物である請求項6に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記フッ素と反応した場合にフッ化カルボニルを生じさせる化合物が、C2F5[CF2OCF(CF3)]nCOF(ただし、nは1〜4の整数)で表される化合物である請求項7に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
- 前記一酸化炭素ガスおよび前記フッ素ガスの一方または両方が、フッ化カルボニルガス、窒素ガス、ヘリウムガス、ネオンガスおよびアルゴンガスからなる群から選ばれる少なくとも1種の希釈用ガスで希釈されている、請求項1〜8のいずれか1項に記載のフッ化カルボニルの製造方法。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP2591851A1 (en) * | 2011-11-08 | 2013-05-15 | Alfa Laval Corporate AB | A tube module |
US8932406B2 (en) * | 2012-09-04 | 2015-01-13 | Matheson Tri-Gas, Inc. | In-situ generation of the molecular etcher carbonyl fluoride or any of its variants and its use |
CN105967166B (zh) * | 2016-06-16 | 2018-11-09 | 邯郸净化设备研究所 | 一种碳酰氟的纯化方法和制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000026106A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-25 | Seiko Epson Corp | 反応性フッ化ガスの生成方法及び装置、並びに表面処理方法及び装置 |
JP2003267712A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Central Glass Co Ltd | 二フッ化カルボニルの製造方法 |
JP2004277215A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Research Institute Of Innovative Technology For The Earth | フッ化カルボニルの製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5318674A (en) * | 1993-06-30 | 1994-06-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Process for preparing perfluoroalkanesulfonyl fluorides |
JP4112198B2 (ja) | 2000-09-11 | 2008-07-02 | 財団法人地球環境産業技術研究機構 | クリーニングガス及びエッチングガス、並びにチャンバークリーニング方法及びエッチング方法 |
JP4136378B2 (ja) | 2002-01-18 | 2008-08-20 | セントラル硝子株式会社 | Cof2の精製方法 |
CA2548383C (en) | 2003-12-11 | 2012-05-15 | Asahi Glass Company, Limited | Methods for producing carbonyl fluoride and apparatus for the production |
JP4997975B2 (ja) | 2004-12-16 | 2012-08-15 | 旭硝子株式会社 | フッ化カルボニルの製造方法 |
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JP2003267712A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Central Glass Co Ltd | 二フッ化カルボニルの製造方法 |
JP2004277215A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Research Institute Of Innovative Technology For The Earth | フッ化カルボニルの製造方法 |
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