JP4996657B2 - インクジェット装置を用いた配線印刷方法 - Google Patents

Description

本発明は、回路配線の形成方法に関するもので、より詳細には、インクジェット装置を用いた回路の配線印刷方法に関する。

インクジェット印刷技術は、主にオフィスオートメーション（ＯＡ）分野で使用されてきた技術であって、産業用としては包装材マーキング（marking）や衣類印刷などの分野で主に使用されているが、現在、銀及びニッケルなどのナノ金属粒子を含む機能性インクの開発と共に応用の可能性がますます広がり、ナノ金属粒子を含む機能性インクを用いて印刷回路基板の回路パターンの形成などに適用されつつある。

近来、インクジェットを用いた技術が日々発展しており、電子産業分野では液晶ディスプレイのカラーフィルタ（color filter）や、印刷回路基板（ＰＣＢ）などの製造工程にインクジェットを利用しようとする方法が広く研究されている。オフィス用インクジェットとは異なり、産業用としてインクジェット方法を利用するためには、インクジェットヘッドに形成された１２８個または２５６個の複数のノズル全てが正常動作しなければならない。

インクジェット技術の発達に伴い、現在のインクジェットプリントヘッドのノズルサイズは１０μｍ以内に減少した。しかし、その結果、インクジェットプリントヘッドを用いて印刷する場合、吐出インクの液滴のサイズが著しく減少する問題、周辺環境条件（例えば、周辺の温度、湿度、ホコリなど）によりインクが乾燥しやすくなってノズル部位に粘膜が形成され液滴吐出が不可能な状態、すなわちノズル詰まりの問題などが発生した。上述の問題点は、基板上に印刷される回路配線の断線を引き起こし、結果的に、印刷された印刷回路基板（ＰＣＢ）は不良処理されることになる。

したがって、最近のインクジェット技術の発達に起因する、上述のような印刷不良問題を解決できる配線印刷方法が求められている。

こうした従来技術の問題点を解決するために、本発明は、産業用プリンタ及び一般用プリンタに使用されているインクジェットシステムの印刷品質補完に関する技術であって、１次印刷の完了後、印刷不良が発生した部分に対して２次補完印刷を行うことにより、優れた印刷品質を有する印刷物（例えば、印刷回路基板など）を量産できる技術を提供することを目的とする。

本発明のその他の目的は以下の説明から容易に理解できよう。

本発明の一実施形態によれば、インクジェット装置を用いて基板上に回路配線を印刷する方法が提供される。本発明の実施例による配線印刷方法は、基板上に印刷しようとする回路配線の情報を含む原本ビットマップイメージを生成する工程と、上記インクジェット装置を用いて上記基板上に上記原本ビットマップイメージによる回路配線を１次印刷する工程と、上記基板上に１次印刷した回路配線を撮像して１次印刷イメージを生成する工程と、上記１次印刷イメージに基づいて、不良印刷部分に対応する補完印刷情報を含む補完ビットマップイメージを生成する工程と、上記インクジェット装置を用いて上記基板上に上記補完ビットマップイメージに該当する部分を２次印刷する工程と、を含む。

ここで、上記インクジェット装置は、吐出されるインクが充填される複数の圧力チャンバと、上記複数の圧力チャンバそれぞれにインク吐出のための駆動力を提供する圧電アクチュエータと、上記複数の圧力チャンバに供給されるインクが収容されているマニフォールドと、上記マニフォールドから上記複数の圧力チャンバそれぞれにインクを供給する複数のリストリクタと、上記複数の圧力チャンバからインクを吐出する複数のノズルと、を備えた圧電方式のインクジェットプリントヘッドを含む。このとき、上記複数のノズルは上記プリントヘッドの長手方向に沿ってアレイ状に配列されてもよい。

上記原本及び補完ビットマップイメージは、上記インクジェット装置に備えられたノズルから吐出されるインク液滴一つによる印刷サイズを１ピクセルサイズに対応させた解像度（ＤＰＩ、dot per inch）を有することができる。

上記原本及び補完ビットマップイメージは、上記基板がローディングされる印刷テーブルの全区域をビットマップイメージ化した後、上記基板が上記印刷テーブル上にローディングされた実際位置の座標に合わせて、上記基板上に印刷される回路配線の情報を代入することにより生成されたイメージファイルであることができる。

ここで、上記補完ビットマップイメージを生成する工程は、上記１次印刷イメージをビットマップイメージ化する工程と、上記ビットマップイメージ化した１次印刷イメージと上記原本ビットマップイメージとを比較する工程と、上記比較結果に基づいて、上記１次印刷の不良印刷部分に対応して上記補完ビットマップイメージを生成する工程と、を含むことができる。

ここで、上記２次印刷する工程は、上記補完印刷情報に基づいて、上記インクジェット装置における上記１次印刷過程中に上記印刷不良が発生したノズルを除いた正常動作ノズルにより行われることができる。

また、本発明の配線印刷方法は、上記２次印刷する工程の前に、上記補完印刷情報に基づいて、上記インクジェット装置における上記１次印刷過程中に上記印刷不良が発生したノズルを交換するか、掃除をする工程をさらに含むことができる。

本発明の実施例によれば、１次印刷の完了後に印刷不良が発生した部分に対して２次補完印刷を行うことにより、優れた印刷品質を確保でき、量産性の高い印刷物（例えば、印刷回路基板など）を製作することができる。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本発明の実施例による配線印刷方法に用いられる圧電方式のインクジェットプリントヘッドの分解斜視図である。 図１に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッドの垂直断面図である。 図２に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッドの動作原理を説明するための図面である。 図２に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッドの動作原理を説明するための図面である。 本発明の実施例による配線印刷方法を示す順序図である。 基板上に印刷される回路配線の情報が含まれているビットマップイメージファイルを例示する図面である。 印刷テーブルにローディングされた基板の位置を例示する図面である。 図６ｂに示された基板のローディング位置の座標に合わせて、図６ａに示された回路配線情報を代入した原本ビットマップイメージを示す図面である。 １次印刷過程中に印刷不良が発生した場合を仮定した１次印刷イメージを例示する図面である。 図６ｄに示された１次印刷イメージに基づいて生成された補完ビットマップイメージを示す図面である。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、本願では特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。

「第１」、「第２」などのような序数を含む用語は、多様な構成要素を説明するために用いられるに過ぎず、構成要素がそれらの用語により限定されるものではない。それらの用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的だけに用いられる。例えば、本発明の権利範囲内における第１構成要素は第２構成要素であると命名することができ、同様に第２構成要素も第１構成要素であると命名することができる。「及び／または」という用語は、複数の関連のある記載項目の組み合わせまたは複数の関連のある記載項目のうち何れかの項目を含む。

ある構成要素が他の構成要素に「連結」あるいは「接続」されていると記載された場合は、その他の構成要素に直接的に連結されているか、または接続されていることもでき、中間に他の構成要素が存在することもできると理解しなければならない。反面、ある構成要素が他の構成要素に「直接連結」あるいは「直接接続」されていると記載された時には、中間に他の構成要素が存在しないと理解しなければならない。

本願で用いた用語は、ただ特定の実施例を説明するために用いたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文の中で明らかに表現しない限り、複数の表現を含む。本願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、工程、動作、構成要素、部品、またはこれらを組合せたものの存在を指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、工程、動作、構成要素、部品、またはこれらを組合せたものの存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解しなくてはならない。

他に定義しない限り、技術的または科学的用語を含んで、ここで用いられる全ての用語は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同一の意味を有する。一般的に用いられる予め定義しているような用語は、関連技術の文脈上の意味と一致する意味を有すると解釈すべきで、本願で明らかに定義しない限り、理想的または過度に形式的意味に解釈しない。

以下、本発明の実施例による配線印刷方法を説明する前に、本発明の理解を助けるために添付した図１から図４を参照して、本発明の実施例による配線印刷方法に用いられるインクジェット装置の構造及び動作原理について説明する。

通常、インクジェット装置はインク吐出方式に応じて次の二つに大別できる。その一つは、加熱ヒータなどの熱源を用いてインクにバブル（bubble）を発生させ、そのバブルの膨張力によりインクを吐出させる熱駆動方式のインクジェットプリントヘッドであり、他の一つは、静電気的な引力／斥力の利用、または電圧印加時の圧電体の変形力を利用することによりインクを吐出させる電気駆動方式のインクジェットプリントヘッドである。

上記二つのインクジェットプリントヘッドのいずれも本発明の実施例による配線印刷方法に利用可能なものであることは明らかであり、添付した図１から図４は、その中でも特に圧電方式のインクジェットプリントヘッドを一例として説明したことに過ぎない。

図１は、本発明の実施例による配線印刷方法に用いられる圧電方式のインクジェットプリントヘッドの分解斜視図であり、図２は、図１に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッドの垂直断面図である。また、図３及び図４は、図２に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッドの動作原理を説明するための図面である。

図１及び図２を参照すると、圧電方式のインクジェットプリントヘッド１００は、複数の圧力チャンバ１０３を含むインク流路と、上記複数の圧力チャンバ１０３それぞれにインク吐出のための駆動力を提供する圧電アクチュエータ１３０と、上記インク流路内に設置され、インクの逆流を遮断する複数の一方向シャッター１２２と、を備える。

上記インク流路は、吐出されるインクが充填され、インクを吐出させるための圧力変化を発生する複数の圧力チャンバ１０３と、複数の圧力チャンバ１０３に供給されるインクが収容されているマニフォールド１０１と、マニフォールド１０１から複数の圧力チャンバ１０３それぞれにインクを供給する複数のリストリクタ１０２と、複数の圧力チャンバ１０３からインクを吐出する複数のノズル１０５と、を含む。

複数のノズル１０５は、図１に示すように、インクジェットプリントヘッド１００の長手方向に沿ってアレイ状に配列されてもよい。図１では、複数のノズル１０５がプリントヘッドの長手方向に沿って１列に配列された場合を例に挙げたが、複数のノズル１０５はプリントヘッドの長手方向に沿って２列以上の配列を有するように形成されることもできることは明らかである。

また、図１では、図面図示の便宜のために、ノズル１０５を５個図示したが、備えられるノズル１０５の数は特に制限されない。

圧力チャンバ１０３とノズル１０５との間には、圧電アクチュエータ１３０により生じたエネルギーをノズル１０５側に集中させ、急激な圧力変化を緩衝するためのダンパ１０４を備えることができる。

上述したようにインク流路を形成する構成要素は、積層されている複数の流路プレート１１１，１１２，１１３に形成される。例えば、複数の流路プレート１１１，１１２，１１３は、図示されているように、第１流路プレート１１１、第２流路プレート１１２、及び第３流路プレート１１３で構成されることができる。

具体的には、第１流路プレート１１１の底面に複数の圧力チャンバ１０３が所定深さで形成される。複数の圧力チャンバ１０３は並んで配列されており、それぞれの圧力チャンバ１０３はインクの流れ方向の方が長い直六面体の形状を有することができる。そして、第１流路プレート１１１の圧力チャンバ１０３の上部壁は、圧電アクチュエータ１３０の駆動により変形される振動板１０７の役割をする。

第２流路プレート１１２にマニフォールド１０１が形成される。マニフォールド１０１は、図示されているように、第２流路プレート１１２を垂直に貫通して形成されてもよく、第２流路プレート１１２の上面から所定深さで形成されてもよい。そして、第２流路プレート１１２には、マニフォールド１０１と複数の圧力チャンバ１０３それぞれの一端部とを連結する複数のリストリクタ１０２が形成される。リストリクタ１０２は、図示されているように、第２流路プレート１１２の上面から所定深さで形成されることができる。また、第２流路プレート１１２には、複数の圧力チャンバ１０３それぞれの他端部に対応する位置に圧力チャンバ１０３とノズル１０５とを連結するダンパ１０４が垂直に貫通形成される。

第３流路プレート１１３には、ダンパ１０４に対応する位置にノズル１０５が貫通形成される。そして、ノズル１０５は出口方を先細にしてその断面積が次第に減少するテーパ形状に形成されることができる。

上述のように構成された三つの流路プレート１１１，１１２，１１３は、それぞれシリコン基板で構成されることができる。この場合、半導体工程により上記シリコン基板の表面を微細加工することによりインク流路を多様に形成することができる。しかし、これに限定されなく、三つの流路プレート１１１，１１２，１１３それぞれは、シリコン基板ではなく、加工性に優れた他の基板で構成されることもできる。

一方、上記では、インク流路の構成要素が三つの流路プレート１１１，１１２，１１３に分けて配置されているが、このようなインク流路の配置構造は単なる例示に過ぎない。すなわち、本発明の実施例によるインクジェットプリントヘッド１００は、多様な構成のインク流路を備えることができ、このようなインク流路は三つの流路プレート１１１，１１２，１１３だけでなく、三つ以上または三つ以下の流路プレートに形成されることもできる。

圧電アクチュエータ１３０は、圧力チャンバ１０３が形成された第１流路プレート１１１の上部に形成され、圧力チャンバ１０３にインク吐出のための駆動力を提供する。このような圧電アクチュエータ１３０は具体的に図示されていないが、共通電極の役割をする下部電極、電圧の印加により変形される圧電膜（例えば、ＰＺＴ膜など）、及び駆動電極の役割をする上部電極が第１流路プレート１１１上に順次積層された構造を有することができる。

また、一方向シャッター１２２は、複数のリストリクタ１０２の出口にそれぞれ設けられる。ここで、一方向シャッター１２２は、リストリクタ１０２から圧力チャンバ１０３にインクが供給される際にはリストリクタ１０２を開放し、圧力チャンバ１０３から上記ノズル１０５を通してインクが吐出される際にはリストリクタ１０２を閉鎖してインクの逆流を遮断する役割をする。しかし、このような一方向シャッター１２２は、インクジェットプリントヘッド１００の作動時に、インクの逆流防止の効率を高めるために機能的に設けられた付加的構成要素に過ぎないため、省略可能である。

図３及び図４を参照して、図１及び図２に示されたインクジェットプリントヘッド１００の動作原理を簡略に説明する。

先ず、図３を参照すると、インクの吐出のために圧電アクチュエータ１３０が駆動されると、その下部の振動板１０７が変形されて圧力チャンバ１０３の体積が減少する。これにより、圧力チャンバ１０３内の圧力が増加するので、圧力チャンバ１０３内のインクはダンパ１０４及びノズル１０５を介して外部に吐出される。このとき、圧力チャンバ１０３内の圧力の増加から、一方向シャッター１２２は下方に反り変形してリストリクタ１０２の出口を塞ぐことになり、圧力チャンバ１０３からリストリクタ１０２へのインクの逆流は完全に遮断されることができる。

上述した原理からインクが吐出された後、図４に示すように、振動板１０７が元の状態に戻ると、圧力チャンバ１０３の体積も増加することになる。この圧力チャンバ１０３内の圧力変化により、一方向シャッター１２２は上方に反り変形してリストリクタ１０２の出口を開放する。これにより、マニフォールド１０１に収容されていたインクがリストリクタ１０２を通して圧力チャンバ１０３内に流入される。

上述したように、図１及び図２に示された圧電方式のインクジェットプリントヘッド１００においては、圧電アクチュエータ１３０の駆動の可否による圧力チャンバ１０３内の圧力変化によって、インクの吐出が決定される。

以上、本発明に用いられるインクジェット装置に関して説明したが、以下では、上述したインクジェット装置を用いた本発明の実施例による配線印刷方法に関して、図５を中心にして、図６ａから図６ｅを参照しながら詳細に説明する。

図５は、本発明の実施例による配線印刷方法を示す順序図である。

先ず、ステップＳ５１０で、基板上に印刷しようとする回路配線の原本ビットマップイメージを生成する。

ここで、原本ビットマップイメージとは、印刷回路基板（printed circuit board）の場合、その印刷回路基板に印刷されるそれぞれの回路配線（すなわち、メタルラインのような導電線（conductive line））の座標情報を含むビットマップイメージのことである。

上述の原本ビットマップイメージは、以下の過程を通して生成される。

先ず、基板上に印刷しようとする回路配線が「Ｈ」状のラインである場合、図６ａに示すように、その配線が印刷される位置座標に合わせてビットマップファイルを、予め準備する。最も単純なビットマップファイルである場合、配線が印刷される座標に該当するピクセル（pixel）（図６ａの斜線表示された各々のピクセル部分）にバイナリ（binary）１を付与し、その他の座標に該当するピクセルにはバイナリ０を一括付与する方式（勿論、その反対であってもよい）により生成されることができる。

ただし、図６ａに示されたのは、回路配線が実際印刷される対象物（すなわち、基板２１０）だけを基準にして生成したビットマップファイルであって、インクジェット装置を用いた実際印刷過程に適用するためには、これを印刷テーブル２００を基準にする図６ｃのファイル形態に変換する必要がある。

図６ｃに示すように、原本ビットマップイメージは、基板２１０がローディングされる印刷テーブル２００の全区域をビットマップイメージ化した後、基板２１０がその印刷テーブル２００上にローディングされた実際位置（図６ｂ参照）の座標に合わせて、その基板２１０上に印刷される回路配線の情報を代入することにより生成される（これは、後述する図６ｅの補完ビットマップイメージの生成においてもほぼ同じである ）。

これにより、図６ａのビットマップファイルによる旧座標（すなわち、図６ａのＰ（０，０）を基準にした座標）は、図６ｃに示すように、印刷テーブル２００を基準（すなわち、図６ｃのＰ＿ｎｅｗ（０，０）を基準）にした新座標（すなわち、図６ｃのＰ＿ｎｅｗ（ｘ、ｙ）を基準にした座標）に変更される。

ここで、図６ｃの原本ビットマップイメージ（後述する図６ｅの補完ビットマップイメージにおいても同じである）の１ピクセルサイズは、インクジェット装置のノズルから吐出されるインク液滴一つによる印刷サイズと同じサイズに対応付けることができる。この場合、ステップＳ５１０から生成される原本ビットマップイメージは、インクジェット装置のノズルから吐出されるインク液滴一つによる印刷サイズを１ピクセルサイズに対応付けた解像度を有することになる。ただし、原本ビットマップイメージが有する解像度は、設計仕様に応じて多様に調整または変化できることは勿論である。

上述したように、基板上に印刷しようとする回路配線の原本ビットマップイメージを生成した後、ステップＳ５２０で、その原本ビットマップイメージに基づいて、インクジェット装置を用いて実際に基板上に回路配線を印刷する。本実施例では、このように原本ビットマップイメージに基づいた配線印刷過程を、後述する補完印刷過程と区別するために、１次印刷過程と命名する。

例えば、１次印刷過程は、原本ビットマップイメージに基づいて、インクジェットプリントヘッドに備えられている複数のノズルのうち、回路配線が印刷される座標（すなわち、ピクセル）にマッピングされたノズルは該当する座標位置でインク液滴を吐出し、そうではないノズルはインク吐出を停止する方式で行われる。このとき、インクジェットプリントヘッドは、Ｘ軸及びＹ軸方向に全て移動可能に構成されて、任意の順でＸ軸方向の１列を全て印刷し、その後、Ｙ軸方向に移動してその次の１列を全て印刷する方式で配線印刷を行うこともできる。

または、通常のインクジェットシステムでは、インクジェットプリントヘッドが一方向にだけ印刷するように構成されることができる。すなわち、インクジェットプリントヘッドは、例えば、Ｘ軸方向にだけ水平移動しながら配線印刷するように構成され、その代わりに印刷テーブルが印刷順に合わせて、連動してＹ軸方向に移動することにより、印刷対象物（すなわち、基板）の２次元領域全体の配線印刷を行うことである。

しかし、上述した配線印刷過程から発生する印刷不良の問題は、製品の量産段階で必ず解決しなければならない、非常に重要な問題である。従来には、ノズル詰まり、不良、誤動作などによる印刷不良が発生した印刷回路基板（ＰＣＢ）はそのまま不良処理され廃棄するしかなかった。これは印刷回路基板の製作過程において、量産性を大きく低下させ、製作費用及び時間の増加のため、製品コストが上昇する主な原因であった。

すなわち、従来方式では、インクジェット装置を用いて印刷する途中にノズル詰まりにより印刷不良が発生した時、これを補完できる方法がなかった。また、印刷不良が発生したピクセルの位置情報を確認できる方法もなかったので、印刷イメージを部分的に補完して再び印刷する方法がなかった。

したがって、本発明の実施例では、２次的な補完印刷方法を用いて上記のような印刷不良の問題を根本的に解決することにより、量産性を大きく改善でき、かつ、製品信頼性を高め、製品コストも大きく低減できる配線印刷方法を提示する。これは後述するステップＳ５３０からステップＳ５７０の説明により明確に理解できよう。

ステップＳ５３０で、前工程により、１次印刷された回路配線を撮像したイメージファイル（以下、これを１次印刷イメージとする）を獲得する。従来方式によっても印刷不良の識別のために撮像装置を用いた印刷イメージの目視確認作業などは存在したため、その撮像方法に関する詳細な説明は省略する。

しかし、本発明の実施例では、従来方式のような目視確認作業を行うことではなく、イメージ処理によるイメージの自動分析作業を行う。

すなわち、ステップＳ５４０で、ステップＳ５３０から獲得された１次印刷イメージをビットマップイメージ化し、ステップＳ５５０で、そのビットマップイメージ化した１次印刷イメージと原本ビットマップイメージとを比較することで、１次印刷過程中に印刷不良が発生した部分を確認する。

図６ｄには、ステップＳ５３０から獲得された１次印刷イメージが、ステップＳ５４０を経てビットマップイメージに変換された場合の一例が示されている。図６ｄを参照すると、ビットマップイメージ化した１次印刷イメージに不良印刷部分が存在することを確認することができる。

したがって、図６ｄのビットマップイメージ化した１次印刷イメージと図６ｃの原本ビットマップイメージとを比較すれば、印刷不良が発生した部分（すなわち、図６ｅの斜線部分）の正確な座標を見出すことができる。

次に、ステップＳ５６０で、上記比較結果に基づいて、１次印刷から発生した不良印刷部分に対応する補完印刷情報（すなわち、補完印刷を必要とする座標情報）を含む補完ビットマップイメージを生成する。

本ステップから生成された補完ビットマップイメージは、図６ｅのようであり、ステップＳ５７０で、このような補完ビットマップイメージに基づいて、インクジェット装置を用いて基板上に不良印刷部分に対する２次印刷を行うことにより、印刷不良の問題が補正された良品の印刷回路基板が完成される。

ステップＳ５７０の２次印刷過程には、次の二つの方法を用いることができる。先ず、補完ビットマップイメージに含まれた補完印刷情報（すなわち、補完印刷を必要とする座標情報）を分析すれば、インクジェット装置を用いた１次印刷過程中に印刷不良が発生したノズル（すなわち、誤動作したノズル）を確認することができる。これは、原本ビットマップイメージに基づいた１次印刷過程は、そのインクジェットシステム上で全て記録されるため、その記録を逆に追跡すると印刷不良が発生した座標及びそれにマッピングされるノズル情報を確認することができるからである。

すなわち、本発明の実施例によるインクジェットシステムでは、インクが吐出されるノズルのヘッドの位置及び印刷テーブルの位置が座標化されて非常に精密に制御されるため、これを用いれば、ノズルを補完印刷地点に正確に移動させることができ、その後の補完印刷過程を通して良品の回路配線を完成することができる。

よって、２次印刷を実施する一方法として、１次印刷過程中に印刷不良が発生したノズルを交換するか、掃除（洗浄または詰まり除去など）することにより誤動作したノズルを修理した後に、補完印刷を必要とする部分の座標が含まれた補完ビットマップイメージを用いて２次印刷を実施する方法がある。また、他の方法として、１次印刷過程中に印刷不良が発生したノズルを除き、正常動作ノズルだけを用いて２次印刷を実施する方法もある。

上述したように、本発明の実施例によれば、１次印刷の完了後、印刷不良が発生した部分に対して、イメージプロセシングにより再生成した補完ビットマップイメージを２次印刷することにより、優れた印刷品質及び量産性の高い印刷物（例えば、印刷回路基板など）を製作することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、及び図面中において示した装置、システム、及び方法における動作、手順、ステップ、及び工程等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、及び図面中の動作フローに関して、便宜上「先ず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１００ インクジェットプリントヘッド
１０１ マニフォールド
１０２ リストリクタ
１０３ 圧力チャンバ
１０４ ダンパ
１０５ ノズル
１０７ 振動板
１１１ 流路プレート
１３０ 圧電アクチュエータ

Claims (7)

1. インクジェット装置を用いて基板上に回路配線を印刷する方法であって、
   前記基板上に印刷しようとする回路配線の情報を含む原本ビットマップイメージを生成する工程と、
   前記インクジェット装置を用いて前記基板上に前記原本ビットマップイメージによる回路配線を１次印刷する工程と、
   前記基板上に１次印刷された回路配線を撮像して１次印刷イメージを生成する工程と、
   前記原本ビットマップイメージと前記１次印刷イメージとを比較することによって不良印刷部分を特定し、当該不良印刷部分に対応する補完印刷情報を含む補完ビットマップイメージを生成する工程と、
   前記インクジェット装置を用いて前記基板上に前記補完ビットマップイメージに該当する部分を２次印刷する工程と、
   を含むインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
2. 前記インクジェット装置は、
   吐出されるインクが充填される複数の圧力チャンバと、前記複数の圧力チャンバそれぞれにインク吐出のための駆動力を提供する圧電アクチュエータと、前記複数の圧力チャンバに供給されるインクが収容されているマニフォールドと、前記マニフォールドから前記複数の圧力チャンバそれぞれにインクを供給する複数のリストリクタと、前記複数の圧力チャンバからインクを吐出する複数のノズルと、を備える圧電方式のインクジェットプリントヘッドを含み、
   前記複数のノズルは、前記プリントヘッドの長手方向に沿ってアレイ状に配列されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
3. 前記原本及び補完ビットマップイメージは、前記インクジェット装置に備えられているノズルから吐出されるインク液滴一つによる印刷サイズを１ピクセルサイズに対応させた解像度（ＤＰＩ）を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
4. 前記原本及び補完ビットマップイメージは、前記基板がローディングされる印刷テーブルの全区域をビットマップイメージ化した後、前記基板が前記印刷テーブル上にローディングされた実際位置の座標に合わせて、前記基板上に印刷される回路配線の情報を代入することにより生成されたイメージファイルであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
5. 前記補完ビットマップイメージを生成する工程は、
   前記１次印刷イメージをビットマップイメージ化する工程と、
   前記ビットマップイメージ化した１次印刷イメージと前記原本ビットマップイメージとを比較する工程と、
   前記比較結果に基づいて不良印刷部分を特定し、前記１次印刷における前記不良印刷部分に対応して前記補完ビットマップイメージを生成する工程と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
6. 前記２次印刷する工程の前に、
   前記補完印刷情報に基づいて、前記インクジェット装置を用いて前記１次印刷過程中に前記印刷不良が発生したノズルを交換するか、掃除をする工程をさらに含む請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。
7. 前記２次印刷する工程は、
   前記補完印刷情報に基づいて、前記インクジェット装置における前記１次印刷過程中に前記印刷不良が発生したノズルを除いた正常動作ノズルにより行われることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置を用いた配線印刷方法。

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