JP4979167B2 - プラズマエッチング方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はエッチング方法に関し、とくに光電子装置、電子装置、及びマイクロ機械装置の生産の分野で特に有利に利用できるエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの半導体デバイス（semiconductor devices）は、周期表のIII属から選んだ一つ以上の元素及びV属から選んだ一つ以上の元素を有する（III−V属材料）。このような材料の例は、燐化インジウム（InP）、砒化ガリウム（GaAs）、三元化合物（例えば、InxGa1-xAs）及び四元化合物（例えば、InxGa1-xAsyP1-y）である。
【０００３】
一般に半導体デバイスの製造は、固体基板の表面を、エッチング又は蒸着等により加工する処理を含む。固体基板を表面処理する従来技術の一例は、該固体基板と化学的及び／又は物理的に反応してグロー放電する分子からなるガスのプラズマに対して固体基板を曝すものである。
【０００４】
III−V属材料は、炭化水素ガスを用いるエッチング加工が可能である。アビシェイ・カッツ（Avishay Katz）著、アーテック・ハウス、ボストン、ロンドン刊の「燐化インジウムと関連材料、加工処理、技術、及びデバイス」は、InPと関連材料のエッチング加工を記載する。
【０００５】
上記書物の考察によれば、基板の表面のエッチングは、揮発性の有機金属種（organometal species、例えばメチルIII属化合物、一例は(CH3)xIn）及びハロゲンV属元素化合物の形成により行われると認められる。
【０００６】
有機金属種とくに(CH3)xInの形成は決定的に重要であるが、その理由は、V属元素とりわけ燐が揮発性であって表面でのV属元素欠乏が発生し得るからである。III属元素とくにInの強化（enrichment）は、インジウム強化領域のエッチングが困難となるマイクロマスク効果を招き、下地の結晶がマスクされ粗表面の形態（morphology）となる問題が生じる。
【０００７】
しかし、インジウムメチル（indium methyl）形成の高速化を補償する炭化水素エッチングガスの増大は、表面上でのエッチング阻止ポリマー膜の形成とマスク上でのポリマービルドアップ（polymer build-up）分断とを引き起こす。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の一目的は、III属元素のエッチングを促進し且つV属元素の優先エッチングを避けるエッチング方法の提供にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施例によるプラズマエッチング方法は、周期表のIII及びV属の群から選んだ元素組成を有すると共に所定のマスクされた領域を有する基板、とくに所定のマスクされた領域を有するInP基板のエッチング方法において、窒素結合メチル化合物が含まれるガスを使うことによりプラズマ環境内へ自由メチル基を提供する。
【００１０】
とくに、エッチングガスとしてメチルアミン（CH3NH2）、ジメチルアミン（(CH3)2NH）及びトリメチルアミン（(CH3)3N）を使うことができる。好ましい基板材料はInN、InP、InAs、InSb、InGaAs、InGaAsP、GaN、GaP、GaAs、GaSb、AlP、AlAs、AlSb、AlGaAs、AlGaN及びAlGaInNである。
【００１１】
更に、周期表のIII及びV属の群から選んだ表面元素組成を有する前記材料だけがエッチングできるのではなく、周期表のII及びVI属の群から選んだ表面元素組成を有する前記材料もまた前記エッチングガス（etchant gas）によってエッチングできる。ただし、好ましいエッチングガスはトリメチルアミンである。好ましい前記II−VI属材料はCdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe、MgS、MgSe、MgTe、MnS、MnSe、MnTe、PbS、PbSe、PbTe、SnS、SnSe、SnTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdHgTe及びこれら化合物に基づく他の合金である。
【００１２】
好ましくは、窒素に結合されたメチル化合物からなるエッチングガスに他のガスを混合する。この混合すべきガスは、例えばH2、N2、O2、希ガス（例えばAr）若しくはハロゲン（例えばCl2、BCl2）含有ガス、又はこれらの任意の組合せからなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例である方法は、より平滑なイオンビーム・エッチング処理済み面を作るので、従来技術の上記欠点を軽減することが見出された。
【００１４】
更に、ポリマー形成炭化水素基を上回るメチル基の優先形成の故に、低いポリマー形成が期待されるが、その理由は後者（メチル基）のより低い結合エネルギーにある。このことは、メチル基の含有率がより高いガス流を許容してV属元素の優先エッチングに対抗させ、同時にポリマー形成を低く維持し、それによってプロセス最適化に有用なパラメータスペース（parameter space）を増大させる。
【００１５】
更にまた、磁界と共にマイクロ波電力を加えること、マイクロ波電力のみを加えること、無線周波数電力を加えること、又は直流電力を加えることによってプラズマに形成された前記エッチングガスを使うことにより、イオンビーム・エッチング以外のプラズマエッチングの適用が可能になる。その適用は、III／V属化合物材料におけるIII属元素の強化エッチングを導き出し、V属元素の優先除去に対抗する。
【００１６】
本発明は各種態様で実施可能であるが、添付図面を参照して好ましい実施例を以下に説明する。
【００１７】
表１は、異なるエネルギーの使用でエッチングしたInP表面の粗さ（roughness）実効値rms.の測定結果を示す。プロセスガスの最初の二列（TMA欄及び(TMA＋Ar)欄）は、本発明の実施例の方法でエッチングしたInP表面の粗さを示す。その最後の列（Ar欄）は、標準的Arスパッタリング法でエッチングしたInP表面のrms.粗さを示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
本発明の一実施例によるInP基板エッチング方法を添付図により説明する。
【００２０】
（１）本発明の一実施例によるInP基板エッチング方法で使われる誘導結合無線周波数プラズマ（ICP）イオンビーム・エッチングシステムの説明
【００２１】
図１において、プラズマ形成のためにプラズマ発生室１を使う。コイル６から13.56MHzの無線周波数電力をプラズマ発生室１へ誘導結合することにより、プラズマを発生する。コイル６からの無線周波数電力は、誘電体結合窓８を介してプラズマ発生室１へ結合されが、その窓は、プラズマ発生室１内の真空圧をコイル６における大気圧から遮断する。エッチング室２を、抽出グリッド３及び加速グリッド４を介してプラズマ発生室１へ結合する。負バイアスを抽出グリッド３へ加えると共に正バイアスを加速グリッド４へ加えることにより、プラズマ発生室１内で発生したプラズマ中のイオンをInP基板10へ向け加速する。InP基板10は、抽出グリッド３及び加速グリッド４に関しては接地されている基板台11上に載置される。
【００２２】
永久磁石５によって、コイル６からプラズマ発生室１内のガスプラズマへの無線周波数電力結合を強化（enhance）する。ガスが、ガス導入孔７を介してプラズマ発生室１へ注入される。エッチング室２に排出ポート９を設け、過剰のエッチングガス及び反応済みガスを、その孔９を介してエッチング室２の外へ排出する。
【００２３】
この誘導結合無線周波数プラズマイオンビーム・エッチングシステムの特徴は、ターゲットに衝突するイオンのエネルギーを数eVから900eVまでの範囲内で制御できることにある。更に他の特徴として、エッチングを、基板に対する著しい加熱無しに、即ち室温近くで行えることにある。
【００２４】
InP基板10をエッチングするときは、それを先ず基板台11上に載せる。次いでガス導入孔７を介してトリメチルアミン（(CH3)3N）ガスをプラズマ発生室１へ導入し、且つコイル６からの誘導結合により無線周波数電力をプラズマ発生室１へ導入してプラズマを形成する。そのプラズマからの正イオン種が、抽出グリッド３と加速グリッド４との間に印加されるグリッドバイアスに起因して生じる電圧によって、InP基板10に向けて加速される。InP基板10に衝突するイオンのイオンエネルギーは、基板台11の接地に起因して加速グリッド４に加えられるバイアスによって定まる。その衝突するイオンは、InP基板10に対してエッチングを行う。
【００２５】
イオンビーム・エッチング装置とは異なる装置、即ち図２に示すような平行板形エッチング装置を使うことも可能である。この図示例の平行板形エッチング装置では、13.56MHzの無線周波数電力が対向電極間に印可され、それによりエッチング室２内のエッチングガスをプラズマに形成して、基板10のエッチングを行う。エッチング室は、ガス導入口22及びガス排出口23を有する。
【００２６】
図９に示すダイオード形エッチング装置においては、13.56MHzの無線周波数電力が、基板10が載置された電極に加えられ、それによりエッチング室内のエッチングガスをプラズマに形成して基板10のエッチングを行う。そのエッチング室２の壁は接地される。エッチング室２は、ガス導入口22及びガス排出口23を有する。
【００２７】
図３に示すECR（electron cyclotron resonance）エッチング装置のエッチング室２は、ガス入口22とガス排出口23と基板31用の取り付け台とを有する。マイクロ波入口34を設け、更に電力結合を強化するために永久磁石35を用いる。
【００２８】
図４に示すICP（inductively coupled plasma）エッチング装置のエッチング室は、基板31を支持し且つガス入口22及びガス排出口23を有する。
【００２９】
図５に示すバレル・リアクタ・プラズマエッチング装置のエッチング室は、ガス入口22及びガス排出口23を有し且つ基板31を支持する。
【００３０】
任意形式のプラズマ源、とくに図６に示すようなECRプラズマ源又は図１に示すようなICPプラズマ源を有するイオンビーム・エッチング装置を使うことができる。図６において、エッチング室は、基板31を支持し且つガス入口22及びガス排出口23を有する。電力結合を強化するために使う永久磁石35及びマイクロ波入口66と共に、電圧グリッド64を設ける。
【００３１】
【実施例】
以下の詳細な説明は、イオンビーム・エッチング装置の使用に係るものであるが、当業者によく知られた他形式の高及び低密度プラズマ装置（上記に略述したものを含む。）もまた使用することができる。
【００３２】
（２）本発明の一実施例によるInP基板のエッチング方法の説明
【００３３】
先ず、スピン被覆法（spin coating method）によりInP基板上へレジストを被覆する。次に被覆後のレジストを「から焼成（baking）」により硬化させ、厚さ1.2μmのレジストフィルムを形成する。次にそのレジストフィルムをフォトマスクの使用により選択的に露光し、更にその基板を現像液に浸漬して不要部分を除去し、図７Ａに示す開口のあるレジストマスク72のように仕上げる。図７Ａは、仕上ったレジストマスク72を有する基板31（又は10）を示す。
【００３４】
次に、図１に示す誘導結合プラズマイオンビーム・エッチング装置を使い、エッチング室２内の基板台11上にレジストマスク付き基板10（又は31）を載せる。その後、エッチング室２の内部及びプラズマ発生室１の内部を排気する。
【００３５】
予め定めた基本圧力に達した後、トリメチルアミンガスをプラズマ発生室１内へ導入し、一定のポンプ速度によるガス流を変化させることにより圧力を1.0×10-4Torrないし6.0×10-4Torrに維持する。本実施例の場合、圧力を2.0×10-4Torrに維持し、トリメチルアミンガス流の流速を例えば３sccm（standard cc per minute）に維持する。更に、170Wの放送周波数電力をプラズマ発生室１へ導入する。こうすることにより、放送周波数電力の誘導結合によってトリメチルアミンはプラズマに形成される。プラズマガスは、加速グリッド４及び抽出グリッド３を通ってエッチング室２へ進み、イオン化種がInP基板10（又は31）へ向け加速され、衝突してエッチングを開始する。他の高密度の実施例においては、イオン化種の加速を電気的バイアスの印加により達成するが、その印加手段は当業者によく知られている。この加速バイアスは、エッチング過程において決定的な役割を演ずる。エッチングの後、レジストマスクは、アセトンによって図７Ｂに示すように除去される。残存レジストの残渣は酸素プラズマ処理によって除去される。
【００３６】
（３）次に前記エッチングの結果を説明する。
【００３７】
図８は、３sccmのトリメチルアミン流及び2.0×10-4Torrの圧力下で、30分間エッチングを加えたInP基板のエッチング後試料の走査電子顕微鏡写真を示す。抽出グリッド３及び加速グリッド４のバイアスは、接地された基板台11に対してそれぞれ−300V及び＋300Vであった。
【００３８】
前記表１は、エッチング後のInP表面を原子間力顕微鏡で測定したrms.粗さを示す。エッチング深さは、全ての場合に200nmであった.
【００３９】
表１のプロセスガスの第１列は、上記のトリメチルアミン（TMA）ガスを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さを衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った.
【００４０】
表１のプロセスガスの第２列は、上記のトリメチルアミン（TMA）とArとの混合ガスを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さのダイアグラム（diagram）を衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った。エッチングは、表１のプロセスガスの第１列に示したものと同じ条件下で、同じエッチング装置の中で行った。トリメチルアミン及びArのガス流はそれぞれ３sccm及び５sccmであった。
【００４１】
表１のプロセスガスの第３列は、標準的Arスパッタリングを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さのダイアグラム（diagram）を衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った。エッチングは、表１のプロセスガスの第１列に示したものと同じ条件下で、同じエッチング装置の中で行った。Arのガス流は５sccmであった。
【００４２】
原子間力顕微鏡の観察結果から、トリメチルアミンに基づくプロセスが標準Ar切削（milling）に比し極めて平滑な形態（即ち、低いrms.粗さ）を創り出せることが認められる。従って、本発明の実施例によるエッチング方法の使用により極めて平滑なエッチング済みInP表面形態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使う誘導結合形プラズマイオンビーム・エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図２】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使う平行板形プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【図３】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うECR（electron cyclotron resonance）エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図４】は、ICP（inductively coupled plasma）エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図５】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うバレル・リアクタ・プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【図６】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うECRプラズマイオンビーム・エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図７】は、（Ａ）レジストマスクを着けたInP試料の断面図、及び（Ｂ）レジストマス除去後のエッチング済みInP試料の断面図である。
【図８】は、本発明の一実施例のエッチング方法に基づくエッチング後のInPの試験構造を示す走査電子顕微鏡画像である。
【図９】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うダイオード形プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【符号の説明】
１…プラズマ発生室 ２…エッチング室
３…抽出グリッド ４…加速グリッド
５…永久磁石 ６…コイル
７…ガス導入孔 ８…誘電体製結合窓
９…排出ポート 10…InP基板
11…基板台 22…ガス導入口
23…ガス排出口 31…基板
34…マイクロ波入口 35…永久磁石
64…グリッド 66…マイクロ波入口
72…レジストマスク
【発明の属する技術分野】
本発明はエッチング方法に関し、とくに光電子装置、電子装置、及びマイクロ機械装置の生産の分野で特に有利に利用できるエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの半導体デバイス（semiconductor devices）は、周期表のIII属から選んだ一つ以上の元素及びV属から選んだ一つ以上の元素を有する（III−V属材料）。このような材料の例は、燐化インジウム（InP）、砒化ガリウム（GaAs）、三元化合物（例えば、InxGa1-xAs）及び四元化合物（例えば、InxGa1-xAsyP1-y）である。
【０００３】
一般に半導体デバイスの製造は、固体基板の表面を、エッチング又は蒸着等により加工する処理を含む。固体基板を表面処理する従来技術の一例は、該固体基板と化学的及び／又は物理的に反応してグロー放電する分子からなるガスのプラズマに対して固体基板を曝すものである。
【０００４】
III−V属材料は、炭化水素ガスを用いるエッチング加工が可能である。アビシェイ・カッツ（Avishay Katz）著、アーテック・ハウス、ボストン、ロンドン刊の「燐化インジウムと関連材料、加工処理、技術、及びデバイス」は、InPと関連材料のエッチング加工を記載する。
【０００５】
上記書物の考察によれば、基板の表面のエッチングは、揮発性の有機金属種（organometal species、例えばメチルIII属化合物、一例は(CH3)xIn）及びハロゲンV属元素化合物の形成により行われると認められる。
【０００６】
有機金属種とくに(CH3)xInの形成は決定的に重要であるが、その理由は、V属元素とりわけ燐が揮発性であって表面でのV属元素欠乏が発生し得るからである。III属元素とくにInの強化（enrichment）は、インジウム強化領域のエッチングが困難となるマイクロマスク効果を招き、下地の結晶がマスクされ粗表面の形態（morphology）となる問題が生じる。
【０００７】
しかし、インジウムメチル（indium methyl）形成の高速化を補償する炭化水素エッチングガスの増大は、表面上でのエッチング阻止ポリマー膜の形成とマスク上でのポリマービルドアップ（polymer build-up）分断とを引き起こす。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の一目的は、III属元素のエッチングを促進し且つV属元素の優先エッチングを避けるエッチング方法の提供にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施例によるプラズマエッチング方法は、周期表のIII及びV属の群から選んだ元素組成を有すると共に所定のマスクされた領域を有する基板、とくに所定のマスクされた領域を有するInP基板のエッチング方法において、窒素結合メチル化合物が含まれるガスを使うことによりプラズマ環境内へ自由メチル基を提供する。
【００１０】
とくに、エッチングガスとしてメチルアミン（CH3NH2）、ジメチルアミン（(CH3)2NH）及びトリメチルアミン（(CH3)3N）を使うことができる。好ましい基板材料はInN、InP、InAs、InSb、InGaAs、InGaAsP、GaN、GaP、GaAs、GaSb、AlP、AlAs、AlSb、AlGaAs、AlGaN及びAlGaInNである。
【００１１】
更に、周期表のIII及びV属の群から選んだ表面元素組成を有する前記材料だけがエッチングできるのではなく、周期表のII及びVI属の群から選んだ表面元素組成を有する前記材料もまた前記エッチングガス（etchant gas）によってエッチングできる。ただし、好ましいエッチングガスはトリメチルアミンである。好ましい前記II−VI属材料はCdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe、MgS、MgSe、MgTe、MnS、MnSe、MnTe、PbS、PbSe、PbTe、SnS、SnSe、SnTe、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdHgTe及びこれら化合物に基づく他の合金である。
【００１２】
好ましくは、窒素に結合されたメチル化合物からなるエッチングガスに他のガスを混合する。この混合すべきガスは、例えばH2、N2、O2、希ガス（例えばAr）若しくはハロゲン（例えばCl2、BCl2）含有ガス、又はこれらの任意の組合せからなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例である方法は、より平滑なイオンビーム・エッチング処理済み面を作るので、従来技術の上記欠点を軽減することが見出された。
【００１４】
更に、ポリマー形成炭化水素基を上回るメチル基の優先形成の故に、低いポリマー形成が期待されるが、その理由は後者（メチル基）のより低い結合エネルギーにある。このことは、メチル基の含有率がより高いガス流を許容してV属元素の優先エッチングに対抗させ、同時にポリマー形成を低く維持し、それによってプロセス最適化に有用なパラメータスペース（parameter space）を増大させる。
【００１５】
更にまた、磁界と共にマイクロ波電力を加えること、マイクロ波電力のみを加えること、無線周波数電力を加えること、又は直流電力を加えることによってプラズマに形成された前記エッチングガスを使うことにより、イオンビーム・エッチング以外のプラズマエッチングの適用が可能になる。その適用は、III／V属化合物材料におけるIII属元素の強化エッチングを導き出し、V属元素の優先除去に対抗する。
【００１６】
本発明は各種態様で実施可能であるが、添付図面を参照して好ましい実施例を以下に説明する。
【００１７】
表１は、異なるエネルギーの使用でエッチングしたInP表面の粗さ（roughness）実効値rms.の測定結果を示す。プロセスガスの最初の二列（TMA欄及び(TMA＋Ar)欄）は、本発明の実施例の方法でエッチングしたInP表面の粗さを示す。その最後の列（Ar欄）は、標準的Arスパッタリング法でエッチングしたInP表面のrms.粗さを示す。
【００１８】
【表１】
本発明の一実施例によるInP基板エッチング方法を添付図により説明する。
【００２０】
（１）本発明の一実施例によるInP基板エッチング方法で使われる誘導結合無線周波数プラズマ（ICP）イオンビーム・エッチングシステムの説明
【００２１】
図１において、プラズマ形成のためにプラズマ発生室１を使う。コイル６から13.56MHzの無線周波数電力をプラズマ発生室１へ誘導結合することにより、プラズマを発生する。コイル６からの無線周波数電力は、誘電体結合窓８を介してプラズマ発生室１へ結合されが、その窓は、プラズマ発生室１内の真空圧をコイル６における大気圧から遮断する。エッチング室２を、抽出グリッド３及び加速グリッド４を介してプラズマ発生室１へ結合する。負バイアスを抽出グリッド３へ加えると共に正バイアスを加速グリッド４へ加えることにより、プラズマ発生室１内で発生したプラズマ中のイオンをInP基板10へ向け加速する。InP基板10は、抽出グリッド３及び加速グリッド４に関しては接地されている基板台11上に載置される。
【００２２】
永久磁石５によって、コイル６からプラズマ発生室１内のガスプラズマへの無線周波数電力結合を強化（enhance）する。ガスが、ガス導入孔７を介してプラズマ発生室１へ注入される。エッチング室２に排出ポート９を設け、過剰のエッチングガス及び反応済みガスを、その孔９を介してエッチング室２の外へ排出する。
【００２３】
この誘導結合無線周波数プラズマイオンビーム・エッチングシステムの特徴は、ターゲットに衝突するイオンのエネルギーを数eVから900eVまでの範囲内で制御できることにある。更に他の特徴として、エッチングを、基板に対する著しい加熱無しに、即ち室温近くで行えることにある。
【００２４】
InP基板10をエッチングするときは、それを先ず基板台11上に載せる。次いでガス導入孔７を介してトリメチルアミン（(CH3)3N）ガスをプラズマ発生室１へ導入し、且つコイル６からの誘導結合により無線周波数電力をプラズマ発生室１へ導入してプラズマを形成する。そのプラズマからの正イオン種が、抽出グリッド３と加速グリッド４との間に印加されるグリッドバイアスに起因して生じる電圧によって、InP基板10に向けて加速される。InP基板10に衝突するイオンのイオンエネルギーは、基板台11の接地に起因して加速グリッド４に加えられるバイアスによって定まる。その衝突するイオンは、InP基板10に対してエッチングを行う。
【００２５】
イオンビーム・エッチング装置とは異なる装置、即ち図２に示すような平行板形エッチング装置を使うことも可能である。この図示例の平行板形エッチング装置では、13.56MHzの無線周波数電力が対向電極間に印可され、それによりエッチング室２内のエッチングガスをプラズマに形成して、基板10のエッチングを行う。エッチング室は、ガス導入口22及びガス排出口23を有する。
【００２６】
図９に示すダイオード形エッチング装置においては、13.56MHzの無線周波数電力が、基板10が載置された電極に加えられ、それによりエッチング室内のエッチングガスをプラズマに形成して基板10のエッチングを行う。そのエッチング室２の壁は接地される。エッチング室２は、ガス導入口22及びガス排出口23を有する。
【００２７】
図３に示すECR（electron cyclotron resonance）エッチング装置のエッチング室２は、ガス入口22とガス排出口23と基板31用の取り付け台とを有する。マイクロ波入口34を設け、更に電力結合を強化するために永久磁石35を用いる。
【００２８】
図４に示すICP（inductively coupled plasma）エッチング装置のエッチング室は、基板31を支持し且つガス入口22及びガス排出口23を有する。
【００２９】
図５に示すバレル・リアクタ・プラズマエッチング装置のエッチング室は、ガス入口22及びガス排出口23を有し且つ基板31を支持する。
【００３０】
任意形式のプラズマ源、とくに図６に示すようなECRプラズマ源又は図１に示すようなICPプラズマ源を有するイオンビーム・エッチング装置を使うことができる。図６において、エッチング室は、基板31を支持し且つガス入口22及びガス排出口23を有する。電力結合を強化するために使う永久磁石35及びマイクロ波入口66と共に、電圧グリッド64を設ける。
【００３１】
【実施例】
以下の詳細な説明は、イオンビーム・エッチング装置の使用に係るものであるが、当業者によく知られた他形式の高及び低密度プラズマ装置（上記に略述したものを含む。）もまた使用することができる。
【００３２】
（２）本発明の一実施例によるInP基板のエッチング方法の説明
【００３３】
先ず、スピン被覆法（spin coating method）によりInP基板上へレジストを被覆する。次に被覆後のレジストを「から焼成（baking）」により硬化させ、厚さ1.2μmのレジストフィルムを形成する。次にそのレジストフィルムをフォトマスクの使用により選択的に露光し、更にその基板を現像液に浸漬して不要部分を除去し、図７Ａに示す開口のあるレジストマスク72のように仕上げる。図７Ａは、仕上ったレジストマスク72を有する基板31（又は10）を示す。
【００３４】
次に、図１に示す誘導結合プラズマイオンビーム・エッチング装置を使い、エッチング室２内の基板台11上にレジストマスク付き基板10（又は31）を載せる。その後、エッチング室２の内部及びプラズマ発生室１の内部を排気する。
【００３５】
予め定めた基本圧力に達した後、トリメチルアミンガスをプラズマ発生室１内へ導入し、一定のポンプ速度によるガス流を変化させることにより圧力を1.0×10-4Torrないし6.0×10-4Torrに維持する。本実施例の場合、圧力を2.0×10-4Torrに維持し、トリメチルアミンガス流の流速を例えば３sccm（standard cc per minute）に維持する。更に、170Wの放送周波数電力をプラズマ発生室１へ導入する。こうすることにより、放送周波数電力の誘導結合によってトリメチルアミンはプラズマに形成される。プラズマガスは、加速グリッド４及び抽出グリッド３を通ってエッチング室２へ進み、イオン化種がInP基板10（又は31）へ向け加速され、衝突してエッチングを開始する。他の高密度の実施例においては、イオン化種の加速を電気的バイアスの印加により達成するが、その印加手段は当業者によく知られている。この加速バイアスは、エッチング過程において決定的な役割を演ずる。エッチングの後、レジストマスクは、アセトンによって図７Ｂに示すように除去される。残存レジストの残渣は酸素プラズマ処理によって除去される。
【００３６】
（３）次に前記エッチングの結果を説明する。
【００３７】
図８は、３sccmのトリメチルアミン流及び2.0×10-4Torrの圧力下で、30分間エッチングを加えたInP基板のエッチング後試料の走査電子顕微鏡写真を示す。抽出グリッド３及び加速グリッド４のバイアスは、接地された基板台11に対してそれぞれ−300V及び＋300Vであった。
【００３８】
前記表１は、エッチング後のInP表面を原子間力顕微鏡で測定したrms.粗さを示す。エッチング深さは、全ての場合に200nmであった.
【００３９】
表１のプロセスガスの第１列は、上記のトリメチルアミン（TMA）ガスを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さを衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った.
【００４０】
表１のプロセスガスの第２列は、上記のトリメチルアミン（TMA）とArとの混合ガスを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さのダイアグラム（diagram）を衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った。エッチングは、表１のプロセスガスの第１列に示したものと同じ条件下で、同じエッチング装置の中で行った。トリメチルアミン及びArのガス流はそれぞれ３sccm及び５sccmであった。
【００４１】
表１のプロセスガスの第３列は、標準的Arスパッタリングを使ってエッチングしたInP表面のrms.粗さのダイアグラム（diagram）を衝突イオンの異なるエネルギーについて示す。加速グリッド電圧及びプロセス時間のみを変え、他の全てのパラメータを一定に保った。エッチングは、表１のプロセスガスの第１列に示したものと同じ条件下で、同じエッチング装置の中で行った。Arのガス流は５sccmであった。
【００４２】
原子間力顕微鏡の観察結果から、トリメチルアミンに基づくプロセスが標準Ar切削（milling）に比し極めて平滑な形態（即ち、低いrms.粗さ）を創り出せることが認められる。従って、本発明の実施例によるエッチング方法の使用により極めて平滑なエッチング済みInP表面形態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使う誘導結合形プラズマイオンビーム・エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図２】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使う平行板形プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【図３】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うECR（electron cyclotron resonance）エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図４】は、ICP（inductively coupled plasma）エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図５】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うバレル・リアクタ・プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【図６】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うECRプラズマイオンビーム・エッチング装置の構造を示す側面図である。
【図７】は、（Ａ）レジストマスクを着けたInP試料の断面図、及び（Ｂ）レジストマス除去後のエッチング済みInP試料の断面図である。
【図８】は、本発明の一実施例のエッチング方法に基づくエッチング後のInPの試験構造を示す走査電子顕微鏡画像である。
【図９】は、本発明の一実施例のエッチング方法で使うダイオード形プラズマエッチング装置の構造を示す側面図である。
【符号の説明】
１…プラズマ発生室 ２…エッチング室
３…抽出グリッド ４…加速グリッド
５…永久磁石 ６…コイル
７…ガス導入孔 ８…誘電体製結合窓
９…排出ポート 10…InP基板
11…基板台 22…ガス導入口
23…ガス排出口 31…基板
34…マイクロ波入口 35…永久磁石
64…グリッド 66…マイクロ波入口
72…レジストマスク
Claims (10)
- 所定のマスクされた領域を有するInP基板のエッチング方法において、ａ）窒素に結合された一つ以上のメチル基（CH3）が備わった分子を含むガスをプラズマに形成する過程と、ｂ）前記基板のマスクされない領域を前記プラズマによりエッチングする過程とからなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１の方法において、前記エッチングガスをメチルアミン（CH3NH2）、ジメチルアミン（(CH3)2NH）及びトリメチルアミン（(CH3)3N）からなる群より選んでなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１の方法において、前記エッチングガスに、H2、N2、O2、Ar若しくは他の希ガス、Cl2、BCl3若しくは他のハロゲン含有ガス、又はこれらの任意の組合せから選んだ他のガスを混合してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から３の何れかの方法の前記過程ａ）において、前記エッチングガスへマイクロ波電力と共に磁界を加えることにより前記ガスをプラズマに形成してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から３の何れかの方法の前記過程ａ）において、前記エッチングガスへマイクロ波電力を加えることにより前記ガスをプラズマに形成してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から３の何れかの方法の前記過程ａ）において、前記エッチングガスへ無線周波数電力を加えることにより前記ガスをプラズマに形成してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から３の何れかの方法の前記過程ａ）において、前記エッチングガスへ直流電力を加えることにより前記ガスをプラズマに形成してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から７の何れかの方法において、イオンを直流バイアスにより加速してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項８の方法において、前記直流バイアスが０−2000eVの範囲のエネルギーを発生してなるプラズマエッチング方法。
- 請求項１から７の何れかの方法において、前記加えられた電力を０−2000eVの範囲のイオンエネルギーに変換してなるプラズマエッチング方法。
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