JP4978145B2 - 超精密加工装置 - Google Patents
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しかも、振動源となる部材は、加工機本体の加工部位に切削剤を供給する切削剤供給装置の切削剤供給ノズルであり、切削剤供給ノズルには、振動レベルを低くするホースが連結されているので、切削剤供給ノズルをカバーに取付けても、切削剤供給ノズルからの振動が加工機本体に伝わることがなく、切削剤供給ノズルから供給される切削剤による加工部位の潤滑性および冷却性の向上と、加工精度の向上を両立させることが容易に実現することができる。
Claims (6)
- 加工機本体と、該加工機本体を包囲するカバーと、該カバー内に設けられる補助部材とを備えた超精密加工装置において、前記加工機本体を、除振装置を介して支持フレーム上に支持し、該支持フレームに前記カバーを取付け、該カバーに前記補助部材の内で振動源となる部材を取付け、前記振動源となる部材は、前記加工機本体の加工部位に切削剤を供給する切削剤供給装置の切削剤供給ノズルであり、該切削剤供給ノズルには、振動レベルを低くするホースが連結されていることを特徴とする超精密加工装置。
- 加工機本体と、該加工機本体を包囲するカバーと、該カバー内に設けられる補助部材とを備えた超精密加工装置において、前記加工機本体を、除振装置を介して床面上に設置し、前記カバーを取付けた支持フレームを前記除振装置を挿通しかつ該支持フレームがジャッキ等によって持ち上げられたとき前記除振装置に当接係合するように前記床面上に設置し、前記カバーに前記補助部材の内で振動源となる部材を取付けたことを特徴とする超精密加工装置。
- 請求項2において、前記床面は、前記除振装置を取り囲むように埋設された縁切り部材によって、前記除振装置を設置した床面と前記支持フレームを設置した床面が縁切りされていることを特徴とする超精密加工装置。
- 請求項1において、前記切削剤供給ノズルは、前記加工機本体の加工部位に液状の切削剤を供給する切削液供給装置の切削液供給ノズルからなるとともに、ミスト状の切削剤を供給するミスト供給装置のミスト供給ノズルを設けたことを特徴とする超精密加工装置。
- 請求項1において、前記加工機本体の加工部位で発生した切粉を回収する吸塵装置の吸塵ダクトを設けたことを特徴とする超精密加工装置。
- 請求項1または請求項5において、前記切削剤供給装置あるいは前記吸塵装置は、前記カバーの外部に前記支持フレームとは分離して設置されていることを特徴とする超精密加工装置。
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