JP4970784B2 - 接合装置、部材の接合方法及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、接着剤層を介して２つの部材を接合する、接合装置、部材の接合方法及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。

インクジェットプリンタヘッドに係る従来技術例として、下部基板２の一面の一部に薄膜を形成し、この薄膜に上部基板を接合させてこの上部基板と前記下部基板との間に前記薄膜の厚さに一致した隙間を形成し、この隙間に表面張力を利用して低粘度の接着剤を充填した後にこの接着剤を硬化させて基板を形成するようにした「インクジェットプリンタヘッドの製造方法」がある（例えば特許文献１参照）。
また、天板のインク供給からインク吐出側に向けて各インク流路に所定の気体を噴射させつつ、エネルギー発生素子と天板との接合面に接着剤を塗布する工程と、オリフィスプレートを当該接合面の所定位置に位置決めし、貼り合わせする工程を備えたことを特徴とする「インクジェット記録ヘッドの製造方法，そのインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを具備したインクジェット記録装置」がある（例えば特許文献２参照）。
また、流路板にノズル溝と逃げ溝が設けられている。流路板上に接着剤をスクリーン印刷法あるいは転写接合法で設ける。駆動板を流路板に接合する時、接着剤は逃げ溝へ流入するため、ノズル溝への接着剤のはみ出しは減少され、品質の安定と歩留りの向上が図れる「インクジェットヘッドの製作方法」がある（例えば特許文献３参照）。

従来、インクジェットプリンタヘッドの製造方法において、一般的に２つの部材の接合を行う場合には、部品精度を保ち、信頼性の高い接合を実現しなければならないという要請がある。ところが、インクジェットヘッド部品は高画質化、高速記録化に対応するために集積度が高くなっており、微細な流路が形成されている。そのため、接着剤接合を行った場合に、接着剤のはみ出しによる流路の閉塞或いは接着剤の形状バラツキが生じると、ヘッドの噴射特性にバラツキが生じて画像品質が低下することになる。

そこで、これらの対策としては、ギャップ剤を混入してつぶれ量を抑えるという方法が用いられていたが、通常の接合にギャップ剤を用いた場合、ギャップ剤径の１．５倍程度の塗布膜厚が必要であるとされていることから、塗布量の１／３ははみ出すことになり、はみ出しの低減化には限界がある。

そこで、接着剤のはみ出しを低減するためには接着剤層の厚みそのものを薄くする方法がある。また、上記特許文献３に開示されているように、流路板の溝以外の部分に接着剤の逃げ溝を形成して、はみ出した接着剤を逃げ溝に逃がすようにした接合方法、或いは、上記特許文献１に開示されているように、二つの基板（薄層部材）間に均一な隙間を形成し、この隙間に表面張力を利用して低い粘度の接着剤を充填して接合する方法、或いは、上記特許文献２に開示されているように、インク供給口からインク吐出側に向けて各インク流路に所定の気体を噴射させつつ貼り合わせを行い、余剰接着剤の入り込まないようにした接合方法等が提案されている。

接着剤層を薄くした薄膜接合を行うには、接合面の精度の向上が要求され、Ｓｉ同士といった極めて平面性の高いもの同士の接合にしか適用できないという点が問題となる。これまでの一般的な薄膜接合は５〜１０μm程度であり、この接合層（接着層）が数μｍ程度の薄層部材の厚みばらつきを吸収し、接合が可能となっていた。しかしながら、これが仮に１μｍ厚みでの接合を行うとなると、当然、それ以下の部品の平面性が要求されることになる。そのため、これまでは平面性の悪い部材と薄膜接合は両立できないという課題があった。

また、上述のように接着剤の逃げ溝を形成する方法も、逃げ溝を確保できるスペースがある場合には有効であるが、前述したようにインクジェットヘッドは集積度が高くなっているため、十分な逃げ溝を同一平面上に形成することが難しくなっているという課題がある。

さらに、上述のように最初に２つの薄層部材間の接合ギャップを決めておき、その接合ギャップに表面張力により接着剤を流し込む充填接着法は、２つの薄層部材の凹部や孔部などがなく同一平面である場合には有効であるが、インクジェットヘッド部品のように接合面に微細な流路パターンが形成されていたり、厚みばらつきによるギャップ幅の分布があったりすると、接合面全体に接着剤を表面張力で充填することは困難であり、部分的に未着領域が発生し易く、接合信頼性が低くなるという課題がある。

このように、部分的に未着領域があるインクジェットヘッドではインク滴吐出特性にバラツキが生じたり、吐出不能になるなどの課題が生じたりして、このようなインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置における画像品質の低下を招くという課題も生じる。
特開平１０−２９１３２３号公報 特開平１１−１６５４１９号公報 特開平５−３３００６７号公報

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、偏肉厚部材と定肉厚部材の接合において、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好に接合できる、接合装置、部材の接合方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

かかる目的を達成するために、本発明の接合装置は、偏肉厚部材と定肉厚部材とを接合する接合装置であって、定肉厚部材上に対して、接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤塗布手段と、接着剤層が形成された定肉厚部材に対して、接着剤層を介して偏肉厚部材を加圧して接合する加圧接合手段と、を有し、接着剤塗布手段は、定肉厚部材における偏肉厚部材の厚肉部と接合する部分よりも偏肉厚部材の薄肉部と接合する部分に相対的に厚く、接着剤層を形成することを特徴とする。

また、本発明の接合装置において、接着剤塗布手段は、接着剤を転写法で塗布することを特徴とする。

また、本発明の接合装置において、接着剤塗布手段は、接着剤が擦り込まれる凹部が周面に形成され、回転駆動する第１のロールと、凹部に擦り込まれた接着剤をかき取るための凸部が周面に形成され、第１のロールと同期して回転駆動する第２のロールとを、を有し、凹部に接着剤が擦り込まれた第１のロールに同期して第２のロールが回転することにより、凸部が凹部に擦り込まれた接着剤をかき取り、かき取られた接着剤が定肉厚部材の偏肉厚部材との接合面に付着して、接着剤層を形成し、凹部は、偏肉厚部材の定肉厚部材と接合する部分の凸形状を測定した結果に基づいて形成されたものであることを特徴とする。

また、本発明の接合装置において、凸部は、溝領域の深さの寸法よりも微細であり、第２のロールの所定の周面に取り付けられる弾性部材の表面上に所定の密度で網目状に形成されることを特徴とする。

また、本発明の接合装置において、第１のロールの周面と同一面状に接着剤を凹部に擦り込むための接着剤擦り込み手段をさらに有することを特徴とする。

また、本発明の接合装置において、定肉厚部材は、インクジェットヘッドを構成する部材として、ノズルから吐出されるインクが通過する液室を形成する流路板であり、偏肉厚部材は、インクジェットヘッドを構成する部材として、流路板と接合され、インクを吐出する際に液室に振動を伝える振動板であることを特徴とする。

本発明の部材の接合方法は、偏肉厚部材と定肉厚部材とを接合する接合装置で行われる、部材の接合方法であって、定肉厚部材上に対して、接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、接着剤層が形成された定肉厚部材に対して、接着剤層を介して偏肉厚部材を加圧して接合する加圧接合工程と、を有し、接着剤塗布工程は、定肉厚部材における偏肉厚部材の厚肉部と接合する部分よりも偏肉厚部材の薄肉部と接合する部分に相対的に厚く、接着剤層を形成することを特徴とする。

また、本発明の部材の接合方法において、接着剤塗布工程は、接着剤を転写法で塗布することを特徴とする。

また、本発明の部材の接合方法において、接着剤塗布工程は、回転駆動する第１のロールの周面に偏肉厚部材の定肉厚部材と接合する部分の凸形状を測定した結果に基づいて形成された凹部に接着剤を擦り込み、第１のロールと同期して回転駆動する第２のロールの周面に形成された凸部により凹部に擦り込まれた接着剤をかき取り、かき取られた接着剤が定肉厚部材の偏肉厚部材との接合面に付着して、接着剤層を形成することを特徴とする。

また、本発明の部材の接合方法において、凸部は、溝領域の深さの寸法よりも微細であり、第２のロールの所定の周面に取り付けられる弾性部材の表面上に所定の密度で網目状に形成されることを特徴とする。

また、本発明の部材の接合方法において、第１のロールの周面と同一面状に接着剤を凹部に擦り込むことを特徴とする。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インクジェットヘッドを構成する部材としての、ノズルから吐出されるインクが通過する液室を形成する流路板と、インクを吐出する際に液室に振動を伝える振動板とを、本発明の部材の接合方法で接合することを特徴とする。

本発明によれば、偏肉厚部材と定肉厚部材の接合方法において、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好に接合することが可能となる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。

本実施例の目的は、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好に接合できる偏肉厚部材と定肉厚部材の接合方法を提供することを目的とする。

また、本実施例の目的は、凹凸のある面の凸部のみに接着剤を介して接合する必要のある部材（例えばインクジェットヘッド構成部材）に対しても、凸部のみに接着剤の薄層を形成し、接着剤のはみ出しを抑えて凸部接合面全体を良好に接合できる偏肉厚部材と定肉厚部材の接合方法を提供することを目的とする。

また、本実施例の目的は、インクジェットヘッド構成部材である振動板と流路板の接合が、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好にできる接合装置を提供することを目的とする。

また、本実施例の目的は、インクジェットヘッド構成部材の接合を上記接合装置で行うことで、接合状態の良好な印字ヘッドを作製し、この印字ヘッドを使用してインクを吐出して記録用紙に画像を形成することにより、安定した噴射特性で高画質を形成することを目的とする。

また、本実施例の目的は、インクジェットヘッド構成部材の接合を上記接合装置で行うことで、良好な接合状態が得られる。エッジシューター方式の印字ヘッドに採用することにより、各部分の精度良い微細化やオリフィスのマルチ化、あるいはヘッド小型化を極めて容易にし、量産性に富むインクジェットヘッドの製造を可能とする。また、サイドシューター方式の印字ヘッドに採用することにより、エネルギーをより効率良くインク滴の形成とその飛行の運動エネルギーへと変換することを目的とする。

本実施例における装置構成について図面を参照して詳細に説明する。
図１に示すように、本実施例の接合装置は、アニロックスロールモータ（図示せず）により回転駆動されるアニロックスロール（第１のロール）５６と、印刷ロールモータ（図示せず）により回転駆動される印刷ロール５７（第２のロール）とを、それぞれ軸心を平行にするとともに、互いの周面を所定の間隔離間させて装置のフレーム（図示せず）に軸支して配置される。

アニロックスロール５６の周面は、図４に示すように、接着剤５４の被塗布部材への所望接着剤膜厚毎に軸方向に領域（図４の７３ａ〜ｅ）が分割されて形成されており、図２に示すように、領域毎に所定の形状、寸法及びピッチで微細な溝が形成されている。あらかじめ偏肉厚部品５９の偏肉形状を測定し、その偏肉形状にほぼ同一な形状の接着剤層が形成されるように、アニロックスロール５６の溝領域について、幅、形状、寸法及びピッチを溝加工しておく。

印刷ロール５７の周面の一部には、図１及び図５に示すように、凸版（弾性部材）５３が取付けられている。凸版５３は樹脂からなり、フォトエッチング等によりその表面には、上記溝部の深さ寸法よりも小さい微細な凸部が所定の密度の網目状パターンに形成されている。

また、図１において、印刷ロール５７の下側には、ステージ５１が配設されており、その上面には、接着剤５４の塗布が行われる被塗布部材である定肉厚部材５２（例えばインクジェットヘッド構成部品の一つである流路板１２）が取り付け取り外し可能、かつ、固定状態に載置されるようになっている。ステージ５１は、一対のガイドレール６０に移動可能に設けられ、このステージ５１は、移動手段としてのスクリュウ駆動軸（図示せず）を介してステージモータ（図示せず）によって、ガイドレール６０に沿って移動させられるようになっている。

また、図１において、上ステージ５８がステージ５１に平行に配設されており、その下面には偏肉厚部品５９（例えばインクジェットヘッド構成部品の一つである振動板１３）が取り付け取り外し可能、かつ、固定状態に載置されるようになっている。

次に、本実施例における装置動作の概略について図面を参照して詳細に説明する。
図１において、アニロックスロール５６の表面に接着剤５４を塗布し、アニロックスロール５６を回転させると、図３に示すように、アニロックスロール５６周面に形成した溝内に、ドクターブレード（接着剤擦り込み手段）５５でアニロックスロール５６周面に塗布された接着剤７２が、周面と同一面状として擦り込まれる。ドクターブレード５５の方向は、溝の方向とが直角に交差しているためドクターブレード５５の先端が溝内に入り込むことなく、図３に示すように溝の凹部内にのみ接着剤を残して残余をかきとることができる。

次に、印刷ロールモータ（図示せず）とアニロックスロールモータ（図示せず）は、コントローラ（図示せず）によって、アニロックスロール５６の周速度と印刷ロール５７の凸版５３の周速度とを同期して回転するよう制御される。そして、印刷ロール５７が回転すると、印刷ロール５７の凸版５３表面に形成された微細な凸部により、アニロックスロール５６の溝部に擦り込まれた接着剤７２がかき取られ、アニロックスロール５６から凸版５３への接着剤の転写すなわち、接着剤を付着させることが容易にでき、かつ、所定量を塗布することができる。

このように、アニロックスロール５６の溝に擦り込まれていた接着剤７２（図３参照）は、印刷ロール５７の凸版５３表面の多数の凸部間に形成されている隙間に付着される。この時凸版５３へ付着する単位面積あたりの接着剤量は、アニロックスロール溝領域（図４の７３ａ〜ｅ）毎に異なる（同一領域内では同一量）。

次に、印刷ロールモータ（図示せず）とステージモータ（図示せず）は、コントローラ（図示せず）により印刷ロール５７の凸版５３の周速度と、ステージ５１すなわち被塗布部材５２の移動速度が同一となるように制御され、凸版５３周面と被塗布部材５２は圧接状態で移動する。この移動の際、凸版５３上の接着剤（図示せず）は、図６ステップ<０>に示す被塗布部材５２の塗布面に付着される。このようにして凸版５３表面に形成されている凸部間に転写された接着剤は、被塗布部材５２の塗布面に付着された直後は、凸部の網目状パターンにならって、暫くは凸凹しているが時間と共に一様な厚さにレベリングされ、アニロックスロール５６の領域毎（図４の７３ａ〜ｅ）に膜厚均一な接着剤層が形成される（図６ステップ<１>参照）。

次に、ステージモータ（図示せず）は、コントローラ（図示せず）により、ステージ５１を上ステージ５８の真下に移動制御し、加圧モータ（図示せず）が上ステージ５８を下向きに加圧動作駆動（図６ステップ<２>参照）し、接着剤塗布済みの定肉厚部品５２に偏肉厚部品５９が加圧接合される（図６ステップ<３>参照）。

次に、ＰＺＴ方式印字ヘッドの概要構造について図面を参照して詳細に説明する。
図７に示すように、ＰＺＴ方式印字ヘッド１は、駆動ユニット３と、この駆動ユニット３に接合した液室ユニット２と、を備えている。

駆動ユニット３は、基板１５上に複数の圧電素子駆動部（以下駆動部という）１４a及び支柱部１４ｂを交互に配設してなり、これらの駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂは、所定の間隔をおいて基板１５に接合される。

液室ユニット２は、図９にも示すように、インク滴を吐出する複数のノズル４０を有するノズル板１１と、図８に示すように、ノズル４０に対応した液室３０が形成されている流路板１２と、液室３０に対応し、かつ、駆動ユニット３の駆動部１４ａの振動を液室に伝える振動板１３と、から形成されている。液室ユニット２を構成する、ノズル板１１、流路板１２、及び振動板１３は、流路板１２上面に接着剤１６を塗布し、接着剤１６を介して高い精度で接合される。図１０に、流路板１２とノズル板１３の接合後の状態を示す。

液室ユニット２には、図示しないインク供給機構によりインクが供給され、液室３０にインクが供給される。そして、駆動ユニット３の各圧電素子駆動部１４ａ及び支柱部１４ｂ上面に接着剤１６を介して液室ユニット２を高い精度で接着接合している。よって、圧電素子を選択的に駆動することにより、液室ユニット２のノズル４０からインク滴が吐出される。

本実施例で用いることができるインクジェットヘッドは、電歪素子に電圧を印加して電歪素子を変形させることでインクを吐出する、いわゆるピエゾ方式であっても良いし、電熱変換素子に電流を流すことで発熱させて、発熱によりインクを発泡させることでインクを吐出する、いわゆるサーマル方式であっても良い。

ピエゾ方式を用いる場合、ピエゾ素子を肥大させたり縮小したり、ピエゾ素子の変形量を調整したりしてそれらの駆動波形を調整することで、様々な大きさのインク滴を吐出させることができる。そのため、階調性が良好な画像を形成するのに有利である。一方、サーマル方式は、ノズルの高集積化が容易であるため、多ノズルヘッドの作製に向いている。そのため、解像度が高い画像を高速で印刷するのに有利である。

また、本実施例で用いることができるインクジェットヘッドは、インク流路から吐出口にかけての形状が直線的であるエッジシューター方式であっても良いし、インク流路の向きと吐出口の向きが異なるサイドシューター方式であっても良い。

エッジシューター方式の記録ヘッドの例を図１１（Ａ）、（Ｂ）に示す。この記録ヘッドは、図１１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、吐出エネルギー発生体１０７（該発生体に吐出信号を印加する電極および該発生体に必要に応じて設けられる保護層などは省略してある）を有する基板１０１に、流路１０４の側壁およびオリフィス１０５を構成する壁材１０２及び流路１０４の覆いを構成する天板１０３を積層した構成を有する。

この記録ヘッドにおいては、インクが貯えられている液室（不図示）から流路１０４にインクが充填された状態で、不図示の電極を介して記録信号を吐出エネルギー発生体１０７に印加すると、該発生体から発生した吐出エネルギーが流路１０４内のインクに吐出エネルギー発生体１０７上方（吐出エネルギー作用部）で作用し、その結果、インクがオリフィス１０５から液滴として吐出される。吐出されたインク滴はオリフィス５前方に送り込まれた紙などの被記録材に付着される。

このようなエッジシューター方式の記録ヘッドにおいては、各部分の精度良い微細化やオリフィスのマルチ化、あるいは小型化が極めて容易であり、また量産性に富むという利点を有する。その一方で、インク滴吐出の際の応答周波数やインク滴の飛行速度に限界がある。また、電熱変換素子が発熱することでインク中に気泡が発生するが、この気泡が温度低下により収縮し、吐出エネルギー発生体１０７近辺で消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊される。この現象はいわゆるキャビテーション現象と呼ばれ、エッジシューター方式において顕著である。そのため、エッジシューター方式の記録ヘッドは寿命が比較的短い。

サイドシューター方式の記録ヘッドの例を図１２に示す。この記録ヘッドは、天板１０３にオリフィス１０５を設け、一点鎖線１１４ｃで示すように、流路１０４内の吐出エネルギー作用部へのインクの流れ方向と、オリフィス１０５の開口中心軸とを直角となした構成を有する。このような構成にすることによって、吐出エネルギー発生体１０７からのエネルギーをより効率良く、インク滴の形成とその飛行の運動エネルギーへと変換でき、また、インクの供給によるメニスカスの復帰も速いという構造上の利点を有し、吐出エネルギー発生体に発熱素子を用いた場合に特に効果的である。また、エッジシューターにおいて問題となる気泡が消滅する際の衝撃により吐出エネルギー発生体１０７を徐々に破壊する、いわゆるキャビテーション現象をサイドシューターであれば回避することができる。つまり、サイドシューターにおいて気泡が成長し、その気泡がオリフィス１０５に達すれば気泡が大気に通じることになり温度低下による気泡の収縮が起こらない。そのため、記録ヘッドの寿命が長いという長所を有する。

以上説明したように、本実施例の接合方法によれば、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好に接合できる偏肉厚部材と定肉厚部材の接合方法を提供できるという効果が得られる。

本実施例の接合方法によれば、凹凸のある面の凸部のみ接着剤を介して接合する必要のある部材（例えばインクジェットヘッド構成部材）に対しても、凸部のみ接着剤の薄層を形成し、接着剤のはみ出しを抑えて凸部接合面全体を良好に接合できる偏肉厚部材と定肉厚部材の接合方法を提供することができるという効果が得られる。

本実施例の接合装置によれば、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好に接合できる偏肉厚部材と定肉厚部材の接合装置を提供できるという効果が得られる。

本実施例の接合装置によれば、インクジェットヘッド構成部材である振動板と流路板の接合が、接着剤のはみ出しを抑えて接合面全面を良好にできる接合装置を提供できるという効果が得られる。

本実施例のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッド構成部材の接合を上記接合装置で行うことで、接合状態の良好な印字ヘッドを作製し、この印字ヘッドを使用してインクを吐出して記録用紙に画像を形成することにより、安定した噴射特性で高画質を形成することができるという効果が得られる。

本実施例のインクジェットヘッドによれば、インクジェットヘッド構成部材の接合を上記接合装置で行うことで、良好な接合状態が得られる。エッジシューター方式の印字ヘッドに採用することにより、各部分の精度良い微細化やオリフィスのマルチ化、あるいはヘッド小型化を極めて容易にし、量産性に富むインクジェットヘッドの製造を可能とする。また、サイドシューター方式の印字ヘッドに採用することにより、エネルギーをより効率良くインク滴の形成とその飛行の運動エネルギーへと変換することができるという効果が得られる。

以上、本発明の実施例について説明したが、上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。

本発明は、偏肉厚部材と定肉厚部材の接着剤層を介した接合に応用できる。

接合装置の構成の要部概略を模式的に示す側面図である。 アニロックスロール表面の溝部を模式的に示す側断面図である。 アニロックスロール表面に接着剤を貯留した状態を模式的に示す側断面図である。 アニロックスロールを示す正面図である。 印刷ロールを示す正面図である。 部材の接合方法の各ステップを示す側面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドを示す側面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドの流路板を示す上面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドのノズル板を示す上面図である。 ＰＺＴ方式印字ヘッドにおける流路板とノズル板の接合後を示す上面図である。 （Ａ）はエッジシューター方式印字ヘッドの外観の要部概略を示す斜視図であり、（Ｂ）はエッジシューター方式印字ヘッドの構造を示す側断面図である。 サイドシューター方式印字ヘッドの構造を示す側断面図である。

符号の説明

１ ＰＺＴ方式印字ヘッド
２ 液室ユニット
３ 駆動ユニット
１１ ノズル板
１２ 流路板
１３ 振動板
１４ａ 圧電素子駆動部
１４ｂ 圧電素子支柱部
１５ 基板
１６ 接着剤
１７ａ,b,c,d 仮接合領域
１８ａ,b,c,d 仮接合接着剤
２１ ノズル板位置検出基準マーク
２２ａ 流路板のノズル板用位置検出基準マーク
２２ｂ 流路板の振動板用位置検出基準マーク
２３ 振動板位置検出基準マーク
３０ 液室
４０ ノズル孔
５１ ステージ
５２ 定肉厚部材（例えばインクジェット構成部品の一つである流路板１２）
５３ 凸版
５４ 接着剤
５５ ブレード
５６ アニロックスロール
５７ 印刷ロール
５８ 上ステージ
５９ 偏肉厚部材（例えばインクジェット構成部品の一つである振動板１３）
６０ ガイドレール
７１ アニロックスロール表面の断面
７２ 接着剤
７３ アニロックスロール表面の溝加工領域
７４ アニロックスロールシャフト
７５ 印刷ロールシャフト
１０１ 基板
１０２ 壁材
１０３ 天板
１０４ 流路
１０５ オリフィス
１０７ 吐出エネルギ−発生体

Claims (12)

1. 偏肉厚部材と定肉厚部材とを接合する接合装置であって、
   前記定肉厚部材上に対して、接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤塗布手段と、
   前記接着剤層が形成された定肉厚部材に対して、前記接着剤層を介して前記偏肉厚部材を加圧して接合する加圧接合手段と、を有し、
   前記接着剤塗布手段は、前記定肉厚部材における前記偏肉厚部材の厚肉部と接合する部分よりも前記偏肉厚部材の薄肉部と接合する部分に相対的に厚く、前記接着剤層を形成することを特徴とする接合装置。
2. 前記接着剤塗布手段は、前記接着剤を転写法で塗布することを特徴とする請求項１記載の接合装置。
3. 前記接着剤塗布手段は、
   前記接着剤が擦り込まれる凹部が周面に形成され、回転駆動する第１のロールと、
   前記凹部に擦り込まれた接着剤をかき取るための凸部が周面に形成され、前記第１のロールと同期して回転駆動する第２のロールとを、を有し、
   前記凹部に前記接着剤が擦り込まれた前記第１のロールに同期して前記第２のロールが回転することにより、前記凸部が前記凹部に擦り込まれた接着剤をかき取り、かき取られた接着剤が前記定肉厚部材の前記偏肉厚部材との接合面に付着して、前記接着剤層を形成し、
   前記凹部は、前記偏肉厚部材の前記定肉厚部材と接合する部分の凸形状を測定した結果に基づいて形成されたものであることを特徴とする請求項１又は２記載の接合装置。
4. 前記凸部は、前記第２のロールの所定の周面に取り付けられる弾性部材の表面上に所定の密度で網目状に形成されることを特徴とする請求項３記載の接合装置。
5. 前記第１のロールの周面と同一面状に前記接着剤を前記凹部に擦り込むための接着剤擦り込み手段をさらに有することを特徴とする請求項３又は４記載の接合装置。
6. 前記定肉厚部材は、インクジェットヘッドを構成する部材として、ノズルから吐出されるインクが通過する液室を形成する流路板であり、
   前記偏肉厚部材は、インクジェットヘッドを構成する部材として、前記流路板と接合され、前記インクを吐出する際に前記液室に振動を伝える振動板であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の接合装置。
7. 偏肉厚部材と定肉厚部材とを接合する接合装置で行われる、部材の接合方法であって、
   前記定肉厚部材上に対して、接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、
   前記接着剤層が形成された定肉厚部材に対して、前記接着剤層を介して前記偏肉厚部材を加圧して接合する加圧接合工程と、を有し、
   前記接着剤塗布工程は、前記定肉厚部材における前記偏肉厚部材の厚肉部と接合する部分よりも前記偏肉厚部材の薄肉部と接合する部分に相対的に厚く、前記接着剤層を形成することを特徴とする部材の接合方法。
8. 前記接着剤塗布工程は、前記接着剤を転写法で塗布することを特徴とする請求項７記載の部材の接合方法。
9. 前記接着剤塗布工程は、
   回転駆動する第１のロールの周面に前記偏肉厚部材の前記定肉厚部材と接合する部分の凸形状を測定した結果に基づいて形成された凹部に前記接着剤を擦り込み、
   前記第１のロールと同期して回転駆動する第２のロールの周面に形成された凸部により前記凹部に擦り込まれた接着剤をかき取り、
   かき取られた接着剤が前記定肉厚部材の前記偏肉厚部材との接合面に付着して、前記接着剤層を形成することを特徴とする請求項７又は８記載の部材の接合方法。
10. 前記凸部は、前記第２のロールの所定の周面に取り付けられる弾性部材の表面上に所定の密度で網目状に形成されることを特徴とする請求項９記載の部材の接合方法。
11. 前記第１のロールの周面と同一面状に前記接着剤を前記凹部に擦り込むことを特徴とする請求項９又は１０記載の部材の接合方法。
12. インクジェットヘッドを構成する部材としての、ノズルから吐出されるインクが通過する液室を形成する流路板と、前記インクを吐出する際に前記液室に振動を伝える振動板とを、請求項７から１１のいずれか１項に記載の部材の接合方法で接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

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