JP2007203483A - 液体流路部材および液体噴出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】インクリークの発生、および液体流路への接着剤のはみ出しを抑制した液体流路部材および液体噴出装置を提供することである。
【解決手段】複数のプレートが接着剤層２７を介して積層接着され、各プレートに形成された貫通孔１ａ〜４ａまたは溝により内部に液体流路９が形成された液体流路部材１４であり、相対するいずれか一方または両方のプレートには、該プレートの貫通孔２ａ，３ａまたは溝の周囲に、相対するプレート２，３間に空隙２０を形成するための凸部３ｄが突設されており、該凸部３ｄの先端に平坦部３ｅが形成されている。この液体流路部材１４を備えた液体噴出装置である。
【選択図】図１

Description

本発明は、布、紙、プラスチック、金属、ガラス、セラミックス、シリコンやＧａＡｓ等の半導体用基板等の記録媒体の表面に、微小な液滴を噴射して記録を行うインクジェット印刷ヘッドに好適に使用できる液体流路部材および液体噴出装置に関する。

インクジェット印刷ヘッドは、例えば流路部材に設けられた液体圧力室内の液体を加圧し、該液体加圧室から液滴を噴出させて記録媒体に記録するものである。このような流路部材は、貫通孔または溝を各々有する複数のプレートが積層され、内部に液体流路が形成されている。

例えば、インクジェットプリンタに搭載されているインクジェット印刷ヘッドでは、インク室、圧力室、噴出孔等のインク流路（液体流路）を構成するために、一般に、複数のプレートを積層し、これらのプレート同士を接着剤で接着している（例えば、特許文献１）。図１１（ａ）は、従来のインクジェット印刷ヘッドを示す概略断面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）の部分拡大断面図である。

図１１（ａ），（ｂ）に示すように、このインクジェット印刷ヘッドは、噴出孔プレート１２１と、プールプレート１２２と、供給孔プレート１２３と、封止プレート１２４と、圧力室プレート１２５と、振動プレート１２６とを積層した液体流路部材に、アクチュエータ（液体加圧手段）１２７が取り付けられて構成されている。

噴出孔プレート１２１には、インクを噴出させるための液体噴出孔１２８が形成されている。この液体噴出孔１２８は、プールプレート１２２、供給孔プレート１２３および封止プレート１２４にそれぞれ設けられた貫通孔で構成される連通孔１２９を介して、圧力室プレート１２５に設けられた圧力室１３０と連通している。圧力室１３０は、封止プレート１２４に形成された供給連通路１３１と、供給孔プレート１２３に形成された供給孔１３２とを介して、プールプレート１２２に形成されたインクプール１３３と接続されている。そして、このような各プレートは、図１１（ｂ）に示すように、接着剤層１３５を介して積層接着されている。

ところが、各プレートには、液体噴出孔１２８、連通孔１２９等の非常に微小な径の孔や溝が設けられているため、これらの孔が余剰の接着剤によって埋まったり、余剰の接着剤がはみ出した肉盛り１３５ａ、１３５ｂによって流れが阻害され、液体噴出孔１２８から液滴を正常に噴出させることができないという問題がある。

接着剤のはみ出し量を少なくするには、接着剤を薄く塗布することで、余剰となる接着剤量を減らす方法が考えられるが、この方法では、薄く塗布するあまり、接着剤層１３５が形成されない部位（隙間）が発生する。このため、隣接する液体流路間において、インクが該隙間を介して一方の流路から他方の流路へ流れ出るインクリークの問題が発生し、製造歩留りが低下する。

特許文献２には、相対する一方のプレートに、相対する他方のプレート表面に当接する接着剤遮蔽用突起部が形成された液体流路部材が記載されている。
しかしながら、突起部の先端を他方のプレート表面に当接させると、積層接着時の圧力で該突起部の先端が他方のプレート中に食い込むので、他方のプレート厚みが不均一になり、その結果、インクリークが発生するおそれがある。

特開平５−３３００６７号公報 特開２００５−２３８７６２号公報

本発明の課題は、インクリークの発生、および液体流路への接着剤のはみ出しを抑制した液体流路部材および液体噴出装置を提供することである。

上記課題を解決するための本発明の液体流路部材および液体噴出装置は、以下の構成からなる。
（１）複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、各プレートに形成された貫通孔または溝により内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、相対するいずれか一方または両方のプレートには、該プレートの貫通孔または溝の周囲に、相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されており、該凸部の先端に平坦部が形成されていることを特徴とする液体流路部材。
（２）相対するいずれか一方または両方のプレートには、接着剤を保持するための接着剤溜り部が、前記凸部に対して貫通孔または溝から離隔する側に凹設されている前記（１）記載の液体流路部材。
（３）前記平坦部は、相対するいずれか一方または両方のプレート表面と略平行である前記（１）または（２）記載の液体流路部材。
（４）前記凸部を複数設けてなる前記（１）〜（３）のいずれかに記載の液体流路部材。
（５）前記接着剤溜り部を複数設けてなる前記（２）〜（４）のいずれかに記載の液体流路部材。
（６）複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、各プレートに形成された貫通孔または溝により内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、相対する一方のプレートには、該プレートの貫通孔または溝の周囲に、先端に平坦部が形成され相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されており、相対する他方のプレートには、接着剤を保持するための接着剤溜り部が、前記凸部に対して貫通孔または溝から離隔する側に凹設されていることを特徴とする液体流路部材。
（７）前記（１）〜（６）のいずれかに記載の液体流路部材と、液体加圧手段とを備え、前記液体流路部材には前記液体流路と連通した液体噴出孔が設けられていることを特徴とする液体噴出装置。
（８）前記液体噴出孔が複数設けられ、前記液体加圧手段により各液体噴出孔から独立して液滴が噴出される前記（７）記載の液体噴出装置。
（９）インクジェット印刷ヘッドである前記（８）記載の液体噴出装置。

前記（１）記載の液体流路部材によれば、相対するいずれか一方または両方のプレートには、相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されているので、前記空隙内に接着剤層を形成することができるという効果がある。しかも、前記凸部は、貫通孔または溝の周囲に形成されているので、積層接着時の圧力で貫通孔または溝の内壁面側（液体流路の内壁面側）に押し出されてきた接着剤が前記凸部により遮られることにより、液体流路への接着剤のはみ出しを抑制することができる。その結果、接着剤が液体流路の内壁から液体流路内にはみ出して液体の流れが阻害されるのを抑制することができ、液体流路内において液体の円滑な流れを達成することができる。さらに、前記凸部の先端には平坦部が形成されているので、凸部の先端が他方のプレート表面に当接しにくくなり、積層接着時に凸部の先端が他方のプレート中に食い込むことによるプレート厚みが不均一になるのを抑制することができ、インクリークの発生を抑制することができる。また、インクリークの発生が抑制されることにより、製造歩留りが向上するので、コストダウンを図ることができる。

前記（２）記載の液体流路部材によれば、積層接着時の圧力で貫通孔または溝の内壁面側に押し出されてきた接着剤は、まず接着剤溜り部で保持されて、ついで、前記凸部によりその流れを遮られるので、液体流路への接着剤のはみ出し抑制効果を向上させることができる。
前記（３）〜（５）記載の液体流路部材によれば、インクリークの発生および液体流路への接着剤のはみ出しをより抑制することができる。
前記（６）記載の液体流路部材によれば、インクリークの発生を抑制することができると共に、相対するプレートにおいて、一方のプレートに所定の凸部を突設し、他方のプレートに所定の接着剤溜り部を凹設するので、接着剤溜り部に接着剤を保持しやすくなり、液体流路への接着剤のはみ出しを確実に抑制することができる。
前記（７）記載の液体噴出装置によれば、上記のような液体流路部材を備えているので、液体流路内において液体の円滑な流れを達成し、液体噴出孔からばらつきの少ない安定した液滴を噴出させることができる
前記（８）記載の液体噴出装置によれば、液体噴出孔が複数設けられ、液体加圧手段により各噴出孔から独立して液滴が噴出されるように構成されているので、例えば前記（９）のようにインクジェット方式の印刷機に適用した場合には、精細で美しい画像を得ることができる。

本発明の液体流路部材および液体噴出装置について、これらをインクジェット印刷ヘッドに適用した場合を例に挙げて、図面を参照し詳細に説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態にかかる液体流路部材を示す概略断面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。

図１（ａ）に示すように、本実施形態にかかる液体流路部材１４は、噴出孔プレート１と、プールプレート２と、供給孔プレート３と、封止プレート４と、圧力室プレート５と、振動プレート６とが接着剤層を介して積層接着されたものである。

噴出孔プレート１には、液体を噴出させるための液体噴出孔１ａが形成されている。この液体噴出孔１ａは、プールプレート２、供給孔プレート３および封止プレート４にそれぞれ設けられた貫通孔２ａ，３ａ，４ａで構成される連通孔９を介して、圧力室プレート５に設けられた貫通孔５ａにより形成された圧力室１０と連通している。圧力室１０は、封止プレート４に設けられた貫通孔４ｂにより形成された供給連通路１１と、供給孔プレート３に形成された供給孔３ｂとを介して、プールプレート２に設けられた貫通孔２ｂにより形成されたプール１３に接続されている。このプール１３には、インクジェット印刷用のインクが収容されている。このインクは、外部に設けられたインクタンク（不図示）から液体プール１３内に供給される。

上記のように、各プレートに液体噴出孔１ａ、貫通孔２ａ〜５ａ、貫通孔２ｂ，４ｂ、供給孔３ｂなどの貫通孔が形成されていることにより、液体流路部材１４の内部には、液体プール１３から供給孔３ｂ、供給連通路１１、圧力室１０、連通孔９、液体噴出孔１ａに至るまでの液体流路が形成されている。

ここで、この液体流路部材１４では、相対するいずれか一方のプレートの表面に、相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されている。具体例を挙げて説明すると、例えば図１（ｂ）に示すように、供給孔プレート３には、その表面３ｃに、プールプレート２と供給孔プレート３との間に空隙２０を形成するための凸部３ｄが突設されて隔壁をなしている。これにより、該空隙２０内に接着剤層２７を形成することができる。また、凸部３ｄは隔壁をなしているので、プールプレート２，供給孔プレート３の積層接着時の圧力で、貫通孔２ａ，３ａ側に押し出されてきた接着剤の進路が凸部３ｄで遮られる。その結果、液体流路への接着剤のはみ出し量が少なくなる。

凸部３ｄは、その高さを調整することにより、相対するプレート間に形成される空隙２０内に形成される接着剤層２７の厚み、すなわち接着剤層２７の接着力を調整することができる。凸部３ｄの高さは、特に限定されるものではなく、接着剤層２７に要求される接着力に応じて、任意の高さを選定すればよい。

また、凸部３ｄの先端には平坦部３ｅが形成されている。これにより、図１（ｂ）に示すように、凸部３ｄの先端とプールプレート２の表面２ｃとの間には接着剤層２７が介在して、凸部３ｄの先端がプールプレート２の表面２ｃに当接しにくくなるので、積層接着時の圧力で凸部３ｄの先端がプールプレート２中に食い込むことを防止することができる。その結果、該プレート２の厚みが不均一になるのを抑制することができ、インクリークの発生を抑制することができる。このことから、平坦部３ｅは、凸部３ｄの先端がプールプレート２の表面２ｃに当接しにくくなる程度の面積および平坦度を有しているのが好ましい。また、平坦部３ｅは、プールプレート２および／または供給孔プレート３の各表面と略平行であるのが好ましい。これにより、凸部３ｄの先端がプールプレート２の表面２ｃにより当接しにくくなる。
一方、凸部３ｄの先端に平坦部３ｅが形成されていないと、積層接着時の圧力で凸部の先端がプレート表面に当接してプレート中に食い込み、プレート厚みが不均一になって、インクリークが発生する。

液体流路部材１４をインクジェット印刷ヘッドに適用する場合には、液体流路部材１４を構成する各プレート、すなわち噴出孔プレート１、プールプレート２、供給孔プレート３、封止プレート４、圧力室プレート５および振動プレート６の材料としては、例えばＦｅ−Ｃｒ系またはＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ系のステンレス鋼、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系などの金属、超硬合金、シリコン、アルミナ、ジルコニアなどのセラミックスなどが挙げられる。また、これらのプレートを接着する接着剤、すなわち接着剤層２７としては、例えばエポキシ樹脂系接着剤、ＵＶ樹脂系接着剤などが挙げられる。

次に、本実施形態におけるプレートを積層接着する方法について、プールプレート２と供給孔プレート３の積層接着を例に挙げて説明する。図２（ａ）は、プールプレート２と供給孔プレート３を接合する直前の状態を示す概略断面図であり、図２（ｂ）は、プールプレート２と供給孔プレート３を接合した後の状態を示す概略断面図である。なお、図２においては、前述した図１の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。

まず、図２（ａ）に示すように、貫通孔２ａを有するプールプレート２と、貫通孔３ａおよびこの貫通孔３ａの近傍でかつ貫通孔３ａの周囲を囲むように突設された凸部３ｄを有する供給孔プレート３とを公知の成形方法により作製する。ついで、供給孔プレート３の表面３ｃに、所定量の接着剤層２７をスクリーン印刷等の公知の手段により塗布する。このとき、接着剤層２７は、凸部３ｄに対して貫通孔３ａの反対側の表面３ｃ上にのみ塗布するのが好ましい。これにより、積層接着時の圧力で、凸部３ｄを超えて接着剤が貫通孔２ａ，３ａ側に押し出されてきても、その量を著しく低減させることができる。

次に、プールプレート２，供給孔プレート３を所定の圧力をかけて貼り合わせる。このとき、図２（ｂ）に示すように、貼り合わせ時の圧力で接着剤が貫通孔２ａ，３ａ側に押し出され移動してくるが、接着剤の進路が凸部３ｄにより遮られるので、貫通孔２ａ，３ａ内への接着剤のはみ出し量が少なくなる。

次に、本発明の他の実施形態にかかる液体流路部材について、図面を参照して詳細に説明する。図３は、本発明の他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。なお、図３においては、前述した図１および図２の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。

この実施形態の液体流路部材は、上記した所定の凸部が、相対する両方のプレート表面に突設されている。具体的には、図３に示すように、供給孔プレート３には、貫通孔３ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部３ｆが突設されている。また、プールプレート２には、貫通孔２ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部２ｄが突設されている。これにより、プールプレート２，供給孔プレート３の積層接着時の圧力で、貫通孔２ａ，３ａ側に押し出されてきた接着剤の進路が、まず凸部２ｄで遮られる。そして、凸部２ｄを超えて押し出された接着剤の進路が凸部３ｆにより遮られる。その結果、液体流路への接着剤のはみ出し量がより少なくなる。

図４は、本発明のさらに他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。図５は、この実施形態におけるプレートを積層接着する方法を示す概略断面図である。なお、図４および図５においては、前述した図１〜図３の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。

この実施形態の液体流路部材は、相対する一方のプレートに、接着剤を保持するための接着剤溜り部が、前記凸部に対して貫通孔から離隔する側に凹設されている。具体的には、図４に示すように、供給孔プレート３には、接着剤を保持するための接着剤溜り部３ｇが、凸部３ｄに対して貫通孔３ａから離隔する側に凹設されている。これにより、プールプレート２，供給孔プレート３の積層接着時の圧力で、貫通孔２ａ，３ａ側に押し出されてきた接着剤は、まず接着剤溜り部３ｇで保持される。そして、該接着剤溜り部３ｇを超えて押し出された接着剤の進路が凸部３ｄにより遮られる。その結果、液体流路への接着剤のはみ出し抑制効果がさらに向上する。また、接着剤溜り部３ｇを凹設することにより、接着剤層２７を十分な厚みで形成することが可能となる。
この接着剤溜り部３ｇの形状としては、特に限定されるものではなく、接着剤層２７の厚みや、凸部３ｄの高さ等に応じて、任意の形状で凹設すればよい。

次に、この実施形態におけるプレートを積層接着する方法について説明する。まず、図５（ａ）に示すように、貫通孔２ａを有するプールプレート２を公知の成形方法により作製する。さらに、貫通孔３ａおよびこの貫通孔３ａの近傍でかつ貫通孔３ａの周囲を囲むように突設された凸部３ｄと、該凸部３ｄに対して貫通孔３ａから離隔する側に凹設された接着剤溜り部３ｇとを有する供給孔プレート３を公知の成形方法により作製する。

ついで、供給孔プレート３の表面３ｃに、所定量の接着剤層２７をスクリーン印刷等の公知の手段により塗布する。このとき、接着剤層２７は、接着剤層２７ａを凸部３ｄと接着剤溜り部３ｇとの間の表面３ｃ上に所定量で塗布し、接着剤層２７ｂを接着剤溜り部３ｇに対して貫通孔３ａから離隔する側の表面３ｃ上に所定量で塗布するのが好ましい。これにより、図５（ｂ）に示すように、貼り合わせ時の圧力で貫通孔２ａ，３ａ側に押し出され移動してきた接着剤層２７ｂの余剰分は、接着剤溜り部３ｇに保持されるので、前記余剰分が貫通孔２ａ，３ａに多量に流れ込むのを防止することができる。また、接着剤溜り部３ｇと凸部３ｄとの間の表面３ｃに塗布された接着剤層２７ａにより、該表面３ｃにも確実に接着剤層が形成されるので、インクリークの発生が抑制される。さらに、この接着剤層２７ａの余剰分は接着剤溜り部３ｇに保持されると共に、凸部３ｄによりその進路が遮られるので、液体流路への接着剤のはみ出し量が少なくなる。

ここで、本発明にかかる凸部は、相対する両方のプレートにそれぞれ突設されていてもよい。また、本発明にかかる接着剤溜り部は、相対する両方のプレートにそれぞれ凹設されていてもよい。これらにより、液体流路への接着剤のはみ出し抑制効果がさらに向上する。

具体的には、例えば図６に示すように、供給孔プレート３には、貫通孔３ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部３ｈが突設され、該凸部３ｈに対して貫通孔３ａから離隔する側に接着剤溜り部３ｉが凹設されている。また、プールプレート２には、貫通孔２ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部２ｅが突設され、該凸部２ｅに対して貫通孔２ａから離隔する側に接着剤溜り部２ｆが凹設されている。これにより、貼り合わせ時の圧力で接着剤が貫通孔２ａ，３ａ側に押し出され移動してくると、該接着剤は、まず接着剤溜り部２ｆ，３ｉで保持される。そして、接着剤溜り部２ｆ，３ｉを超えて押し出された接着剤の進路が、さらに凸部２ｅ，３ｈにより遮られるので、液体流路への接着剤のはみ出し量がより少なくなる。

本発明にかかる凸部や接着剤溜り部は、それぞれ複数設けられていてもよい。このような構成をとる場合にも、液体流路への接着剤のはみ出し抑制効果がさらに向上する。凸部、接着剤溜り部を設ける個数としては、特に限定されるものではないが、通常２〜４個程度の範囲内から任意に選定すればよい。また、凸部と接着剤溜り部とが交互に複数設けられていてもよい。

凸部を複数設けた場合を例に挙げて説明すると、例えば図７に示すように、供給孔プレート３には、接着剤溜り部３ｇが凹設されていると共に、貫通孔３ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部３ｊ，３ｋがそれぞれ突設されている。これにより、貼り合わせ時の圧力で押し出され移動してきた接着剤は、まず接着剤溜り部３ｇに保持される。そして、接着剤溜り部３ｇを超えて押し出された接着剤の進路が、さらに凸部３ｊ，３ｋにより遮られるので、液体流路への接着剤のはみ出し量がより少なくなる。
なお、上記した図６および図７においては、前述した図１〜図５の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。

ここで、上記で説明した実施形態では、凸部および接着剤溜り部は、同一プレートに突設および凹設される場合と、両方のプレートにそれぞれ突設および凹設される場合について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、相対する一方のプレートに所定の凸部が突設され、相対する他方のプレートに所定の接着剤溜り部が凹設されていてもよい。凸部および接着剤溜り部を、このように突設および凹設すると、接着剤溜り部に接着剤を保持しやすくなる。以下、この流路部材について、図面を参照し詳細に説明する。

図８は、この液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。図９は、この液体流路部材におけるプレートを積層接着する方法を示す概略断面図である。なお、図８および図９においては、前述した図１〜図７の構成と同一または同等な部分には同一の符号を付して説明は省略する。

図８に示すように、この液体流路部材は、プールプレート２には、貫通孔２ａの周囲に、先端に平坦部が形成された凸部２ｇが突設されている。また、供給孔プレート３には、凸部２ｇに対して貫通孔３ａから離隔する側に接着剤溜り部３ｌが凹設されている。このように、凸部２ｇ，接着剤溜り部３ｌを突設、凹設すると、該接着剤溜り部３ｌに接着剤が保持されやすくなる。特に、プレートを積層接着する際に塗布される接着剤層２７を、下記のように塗布する場合に有用である。

この実施形態のプレートを積層接着するには、まず図９（ａ）に示すように、供給孔プレート３の表面３ｃに塗布される接着剤層２７として、接着剤層２７ｃを、貫通孔３ａと接着剤溜り部３ｌとの間であり、かつ凸部２ｇの先端と接する位置の表面３ｃ上に所定量で塗布する。ついで、接着剤層２７ｄを、接着剤溜り部３ｌに対して貫通孔３ａから離隔する側の表面３ｃ上に所定量で塗布するのがよい。これにより、図９（ｂ）に示すように、貼り合わせ時には、まず凸部２ｇの先端（平坦部）が接着剤層２７ｃと接触するので、接着剤層２７ｃの余剰分が接着剤溜り部３ｌへ押し込まれる。その結果、接着剤溜り部３ｌに接着剤が保持されやすくなる。

次に、貼り合わせ時の圧力で接着剤が貫通孔２ａ，３ａ側に押し出され移動してくるが、接着剤層２７ｄの余剰分は、接着剤溜り部３ｌに保持され、さらに凸部２ｇによりその進路が遮られるので、液体流路への接着剤のはみ出し量がより少なくなる。

なお、上記で説明した実施形態では、プールプレート２と供給孔プレート３を貼り合わせる場合を例に挙げて説明したが、他のプレートの積層接着においても上記と同様に実施すればよい。すなわち、液体噴出孔１ａ、貫通孔２ａ〜５ａ、貫通孔２ｂ，４ｂ、供給孔３ｂなどの貫通孔の周囲に、上記と同様にして凸部を設けることで、貫通孔内への接着剤のはみ出しを抑制することができる。

また、図１（ａ）に示す液体流路部材１４では、圧力室１０が３枚のプレート（すなわち、封止プレート４、貫通孔５ａを設けた圧力室プレート５および振動プレート６）を積層して形成されているが、例えば１枚のプレートに貫通孔を設けることにより圧力室を形成したり、溝を設けたプレートに別のプレートを積層することにより圧力室を形成することもできる。

次に、本発明の一実施形態にかかる液体噴出装置について説明する。図１０（ａ）は、本実施形態にかかる液体噴出装置を示す概略断面図であり、図１０（ｂ）は、該液体噴出装置の平面図（液体噴出孔側から見た図）であり、図１０（ｃ）は、該液体噴出装置の底面図（液体加圧手段側から見た図）である。

図１０（ａ）に示すように、本実施形態の液体噴出装置は、上記した液体流路部材１４と、アクチュエータ（液体加圧手段）７とを備えている。液体流路部材１４には、複数の液体流路と、該液体流路のそれぞれに対応した複数の液体噴出孔１ａとを備えている。また、図７（ｂ），（ｃ）に示すように、液体噴出装置は、液体流路部材１４に設けられた複数の液体噴出孔１ａと、該液体噴出孔１ａのそれぞれに対応した複数のアクチュエータ７とを備えている。これにより、いずれかのアクチュエータ７が変位すると、該アクチュエータ７の直下に位置する圧力室１０が押圧され、この圧力室１０およびこれと連通する連通孔９に存在する液体を加圧して液体噴出孔１ａから液滴を噴出させることができる。

図７（ｂ），（ｃ）に示すように、例えばアクチュエータ７が変位すると、このアクチュエータ７に対応して設けられた液体噴出孔１ａから液滴が噴出し、別のアクチュエータ７’が変位すると、アクチュエータ７’に対応して設けられた液体噴出孔１ａ’から液滴が噴出する。このように、各液体噴出孔は、個別に制御されており、所望の部位にかつ所望の時間に液滴を噴出させることができる。

以上のように、本発明の液体噴出装置は、上記した液体流路部材を備えているため、液体流路内に大きな肉盛りが形成されるのを防止でき、液滴の進行方向や液滴量がばらつくことなく、均一な液体噴出を実現できる。特に、本発明を印刷ヘッドと印刷ヘッドにインクを供給する機構と印刷ヘッドの液体噴出孔から噴出されるインクを定着される紙、布等の媒体を特定の速度で送り出す機構とを備えたインクジェット方式の印刷機に応用した場合、精彩で美しい印刷状態を得ることができる。また、本発明は、バブルジェット（登録商標）方式、圧電アクチュエータ方式を問わず、全てのインクジェット印刷ヘッドに適応することができる。また、工業用印刷機への応用も期待できる。

（ａ）は、本発明の一実施形態にかかる液体流路部材を示す概略断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の部分拡大断面図である。 （ａ）は、本発明の一実施形態にかかるプレートとプレートを接合する直前の状態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、これらのプレートを接合した後の状態を示す概略断面図である。 本発明の他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。 本発明のさらに他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。 （ａ）は、本発明のさらに他の実施形態にかかるプレートとプレートを接合する直前の状態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、これらのプレートを接合した後の状態を示す概略断面図である。 本発明のさらに他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。 本発明のさらに他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。 本発明のさらに他の実施形態にかかる液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。 （ａ）は、本発明のさらに他の実施形態にかかるプレートとプレートを接合する直前の状態を示す概略断面図であり、（ｂ）は、これらのプレートを接合した後の状態を示す概略断面図である。 （ａ）は、本発明の一実施形態にかかる液体噴出装置を示す概略断面図であり、（ｂ）は、該液体噴出装置の平面図（液体噴出孔側から見た図）であり、（ｃ）は、該液体噴出装置の底面図（液体加圧手段側から見た図）である。 （ａ）は、従来のインクジェット印刷ヘッドを示す概略断面図であり、（ｂ）は、（ａ）の部分拡大断面図である。

符号の説明

１ 噴出孔プレート
１ａ，１ａ’ 液体噴出孔
２ プールプレート
２ａ，２ｂ，３ａ，４ａ，４ｂ，５ａ 貫通孔
２ｃ，３ｃ 表面
２ｄ，２ｅ，２ｇ，３ｄ，３ｆ，３ｈ，３ｊ，３ｋ 凸部
２ｆ，３ｇ，３ｉ，３ｇ，３ｌ 接着剤溜り部
３ 供給孔プレート
３ｂ 供給孔
３ｅ 平坦部
４ 封止プレート
５ 圧力室プレート
６ 振動プレート
７，７’ アクチュエータ
９ 連通孔
１０ 圧力室
１１ 供給連通路
１３ 液体プール
１４ 液体流路部材
２０ 空隙
２７，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ 接着剤層

Claims (9)

1. 複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、各プレートに形成された貫通孔または溝により内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、相対するいずれか一方または両方のプレートには、該プレートの貫通孔または溝の周囲に、相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されており、該凸部の先端に平坦部が形成されていることを特徴とする液体流路部材。
2. 相対するいずれか一方または両方のプレートには、接着剤を保持するための接着剤溜り部が、前記凸部に対して貫通孔または溝から離隔する側に凹設されている請求項１記載の液体流路部材。
3. 前記平坦部は、相対するいずれか一方または両方のプレート表面と略平行である請求項１または２記載の液体流路部材。
4. 前記凸部を複数設けてなる請求項１〜３のいずれかに記載の液体流路部材。
5. 前記接着剤溜り部を複数設けてなる請求項２〜４のいずれかに記載の液体流路部材。
6. 複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、各プレートに形成された貫通孔または溝により内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、
   相対する一方のプレートには、該プレートの貫通孔または溝の周囲に、先端に平坦部が形成され相対するプレート間に空隙を形成するための凸部が突設されており、
   相対する他方のプレートには、接着剤を保持するための接着剤溜り部が、前記凸部に対して貫通孔または溝から離隔する側に凹設されていることを特徴とする液体流路部材。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の液体流路部材と、液体加圧手段とを備え、前記液体流路部材には前記液体流路と連通した液体噴出孔が設けられていることを特徴とする液体噴出装置。
8. 前記液体噴出孔が複数設けられ、前記液体加圧手段により各液体噴出孔から独立して液滴が噴出される請求項７記載の液体噴出装置。
9. インクジェット印刷ヘッドである請求項８記載の液体噴出装置。
   

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