JP2009262463A - 液体噴射ヘッド、および、これを備えた液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】微小な貫通孔が接着剤で塞がれることを抑制しつつ気泡の排出性を高めることが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口８や供給口２０などの微小な第１貫通孔の第１の大きさよりも大きい第２の大きさに設定され、これらの第１貫通孔に連通してインク流路の一部を構成する第２貫通孔、即ち、第１連通口２４、リザーバ２３、及び供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性を、少なくとも第１貫通孔の開口周囲の接着剤に対する親和性よりも高く設定し、プレート部材の接合時にプレート部材間から流れ出た接着剤を第２貫通孔の内周面に積極的に導くように構成した。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関し、特に、気泡の排出性を高めた液体噴射ヘッド、および、これを備えた液体噴射装置に関する。

圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液体を噴射（吐出）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。

例えば、上記の記録ヘッドでは、複数の構成部品を積層して構成されている。例えば、特許文献１に開示されている記録ヘッドは、圧力発生手段としてのアクチュエータユニットと、圧力室を形成する圧力室ユニットと、液体流路を形成する流路ユニットとから成り、これらを重ね合わせた状態で一体化して構成されている。

圧力室ユニットは、複数の圧力室（圧力発生室）を形成した圧力室プレート（スペーサ）、ノズル連通口や供給側連通口を形成した連通口プレート（第２の蓋体）、及び、圧電振動子を実装した振動板（第１の蓋板）とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。上記流路ユニットは、供給口を形成した供給口プレート（インク供給口形成基板）、リザーバ（共通液室）を形成したリザーバプレート（リザーバ形成基板）、及び、複数のノズル開口を列設してノズル列が形成されたノズルプレートから成るプレート部材を積層し、各プレート部材の間を接着剤で接合して一体化することで構成されている。そして、記録ヘッドによってインクを噴射する場合、インクを噴射するのに先だって圧力室を予備的に膨張させると、リザーバ側から供給口を通じて圧力室内にインクが供給され、この予備膨張の後に圧力室を急激に収縮させるとノズル開口からインクが噴射される。

上記構成の記録ヘッドでは、記録ヘッド内部のインク流路（液体流路）が全てインクで満たされている状態が最も望ましいが、記録ヘッド内へのインクの充填（初期充填）時やインクカートリッジの交換時に空気を巻き込んだり、外気がヘッドの構造体の壁面を透過するなどして、インク流路内に気泡が生じることがあり、これを完全に阻止することは困難である。インク流路内に入り込んだ気泡は、互いに合体し次第に大きくなる。そして、このような気泡がインク流路内に滞留すると、噴射動作（記録動作）時の圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等の不具合を招く虞がある。

このような気泡による不具合を防止するために、上記の記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置においては、さまざまな回復動作が行われている。例えば、ノズル開口を通じて記録ヘッド内のインクと共に気泡を強制的に吸引して排出するクリーニング動作が行われている。

特開平１１−２７７７４３号公報

ところが、図５に示すように、各プレート部材の間を接合している接着剤Ａが、インク流路５２の内壁面に対して窪んでいると、この窪んだ部分に気泡Ｂが入り込む虞がある。このような窪みに気泡Ｂが入り込んだ場合、クリーニング動作によってもこの気泡Ｂを排出することが困難となり、上述の不具合が解消されないという問題があった。その一方で、上記の窪みが生じないように、接合時の接着剤を多めにして流路側に接着剤がはみ出すようにした場合、この流れ出た接着剤がノズル開口や供給口などの微小な貫通孔５３を塞いでしまう虞があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、微小な貫通孔が接着剤で塞がれることを抑制しつつ気泡の排出性を高めることが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。

本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、第１の大きさの第１貫通孔を有する第１プレートと、前記第１の大きさよりも大きい第２の大きさの第２貫通孔を有する第２プレートと、を含む複数のプレートを積層して成る流路ユニットを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが連通する状態で前記第１プレートと前記第２プレートとが接着剤によって接合され、
前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性が、少なくとも前記第１プレートの第２プレート接合面における前記第１貫通孔の開口周囲の前記接着剤に対する親和性よりも高く設定され、
前記第１プレートと前記第２プレートとの接合時に両プレートの間から流れ出た接着剤が第２貫通孔の内周面に導入されたことを特徴とする。

上記構成によれば、第２貫通孔の内周面の接着剤に対する親和性が、少なくとも第１プレートの第２プレート接合面における第１貫通孔の開口周囲の接着剤に対する親和性よりも高く設定され、第１プレートと第２プレートとの接合時に両プレートの間から流れ出た接着剤が第２貫通孔の内周面に導入されるので、第１プレートと第２プレートとの間において接着剤が流路の内周面に対して窪むことを防止することができ、尚かつ、径の小さい第１貫通孔側に接着剤が流動することを抑制することができる。これにより、接着剤が第１貫通孔を塞ぐことを防止しつつ、気泡の排出性を向上することができる。

上記構成において、前記第１プレートの第２プレート接合面において、前記第１貫通孔の開口周囲の領域である第１領域の前記接着剤に対する親和性よりも、該第１領域の周囲の第２領域の前記接着剤に対する親和性が高いことが望ましい。
また、前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性が、前記第２領域の前記接着剤に対する親和性よりも高いことが望ましい。

この構成によれば、第１領域の接着剤に対する親和性よりも第２領域の接着剤に対する親和性を高めることによって、第１プレートと第２プレートとの間から接着剤を流れ出易くすることができ、流れ出た接着剤を積極的に第２貫通孔の内周面に導くことができる。また、流れ出た接着剤を少なくとも第２領域で留めることができ、第１貫通孔が接着剤で塞がれることを効果的に抑制することができる。

上記構成において、前記第２プレートの第１プレート接合面とは反対側の面に第３プレートが接合され、該第３プレートの第２プレート接合面の前記接着剤に対する親和性が、前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性よりも低いことが望ましい。

この構成によれば、第２貫通孔の内周面の接着剤に対する親和性を第３プレートの第２プレート接合面の接着剤に対する親和性よりも高くすることによって、第２貫通孔の内周面に接着剤を留めることができ、接着剤の流れすぎを防止することができる。

上記構成において、前記第２貫通孔の内周面に接着剤に対する親和化膜を形成する構成を採用することができる。
また、前記第２プレートを前記第１プレートの材料よりも前記接着剤に対する親和性の高い材料で作製する構成を採用することもできる。

また、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

上記の発明によれば、上記構成の液体噴射ヘッドを備えるので、クリーニング動作時の液体流路内の気泡の排出効率が向上し、これにより、クリーニング動作で消費される液体量を低減することが可能となる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明における液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという。）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという。）を例に挙げて行う。

図１は、記録ヘッド６を備えるヘッドユニット１を記録ヘッド６のノズルプレート側から見た斜視図、図２は記録ヘッド６を圧電振動子側から見た斜視図、図３は記録ヘッド６の要部断面図である。

図１に示すように、ヘッドユニット１はキャリッジ２を備えており、キャリッジ２におけるベース板部３の上面にはインクカートリッジ等の液体供給源が取り付け可能なホルダ部５が形成されている。一方、ホルダ部５とは反対側となるベース板部３の底面側には、記録ヘッド６が取り付けられている。この記録ヘッド６と、ホルダ部５に保持された液体供給源とはインク供給路７によって連通される。従って、記録ヘッド６には、インク供給路７を通じてインク（液体の一種）が供給される。なお、本実施形態のように、インクカートリッジをキャリッジ２に装着する構成には限らず、プリンタの筐体側にインクカートリッジを装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド６に供給するタイプ（所謂オフキャリッジタイプ）の構成を採用することもできる。

そして、記録ヘッド６に供給されたインクは、記録ヘッド６の外側表面に複数形成されたノズル開口８から吐出される。このノズル開口８はドット形成密度に対応したピッチで列状に穿設されており、本実施形態においてはノズル列が２列横並びに形成されている。本実施形態におけるノズル開口８の内径は、２０（μｍ）に設定されている。

図２，３に示すように、記録ヘッド６は、圧力室ユニット９と流路ユニット１０と圧電振動子１６とから構成されており、これらを重ね合わせた状態で一体化してある。圧力室ユニット９は、圧力室１１を区画するための圧力室プレート１２、第３連通口１３や供給側連通口１４を形成した連通口プレート１５、及び、圧電振動子１６を実装した振動板１７とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。また、流路ユニット１０は、供給口２０や第２連通口２１を形成した供給口プレート２２、リザーバ２３や第１連通口２４を形成したリザーバプレート２５、及び、ノズル開口８が形成されたノズルプレート２６からなるプレート部材（ヘッド構成部材）を接着剤によって接着して積層することで構成されている。

圧力室プレート１２は、圧力室を形成するのに適した厚さのセラミックス材の薄板、例えばアルミナやジルコニア等によって構成され、圧力室を区画するための空部がプレートの厚さ方向に貫通した状態で形成されている。圧力室１１は、ノズルプレート２６のノズル開口８のピッチと同じ一定のピッチで列状に開設され、列設方向と直交する左右方向に細長い長孔である。

連通口プレート１５は、圧力室プレート１２と同様のジルコニア等のセラミックス材であって、第３連通口１３と供給側連通口１４とを開設した薄板によって構成されている。第３連通口１３は、圧力室１１のノズル開口８側の一端部に連通し、ノズル開口８よりも十分に大きい寸法に設定された貫通孔である。そして、この第３連通口１３は、後述する第２連通口２１及び第１連通口２４と一連となってノズル連通口として機能する。また、供給側連通口１４は、第３連通口１３とは反対側の圧力室１１の他端部に連通し、板厚方向を貫通する円形の孔である。この供給側連通口１４は、供給口２０と共にリザーバ２３と圧力室１１との間を連通する。なお、図３に示すように、供給側連通口１４を圧力室１１の端部よりも圧力室長手方向の外側に僅かにずらして配置することにより、圧力室１１と供給側連通口１４との間に段差部１８が形成されている。このように段差部１８を設けることで、後述する接着剤が圧力室１１側に進入し難いようにしている。

振動板１７は、弾性を有するセラミックス材の薄板で構成されている。圧力室１１とは反対側となる振動板１７の外側表面には、各圧力室１１に対応した状態で複数の圧電振動子１６が配設される。例示した圧電振動子１６は、撓み振動モードの振動子であり、駆動電極１６ａと共通電極１６ｂとによって圧電体１６ｃを挟んで構成されている。そして、圧電振動子１６の駆動電極１６ａに駆動信号が印加されると、駆動電極と共通電極との間には電位差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体に付与され、圧電体が付与された電場の強さに応じて変形する。即ち、駆動電極１６ａの電位を高くする程、圧電体層は電場と直交する方向に収縮し、圧力室１１の容積を少なくするように振動板１７を変形させる。

圧力室ユニット９の供給口プレート２２は、ステンレス鋼等の金属材料によって作製された薄手の板材である。この供給口プレート２２には、板厚方向を貫通する供給口２０を上記の供給側連通口１４に対応させて形成し、また、板厚方向を貫通する第２連通口２１を上記の第３連通口１３に対応させて形成している。この第２連通口２１は、第３連通口１３と同じ直径の円形の孔である。また、供給口２０の内径は、供給側連通口１４の内径よりも十分に絞られた微小な貫通孔であり、円筒形状のストレート部と、圧力室１１側からリザーバ２３側に向けて縮径するテーパー部とから構成されている。

リザーバプレート２５は、供給口プレート２２と同様にステンレス鋼等の金属材料によって構成された板材である。このリザーバプレート２５には、リザーバ２３を区画するための空部が板厚方向を貫通した状態で形成されている。このリザーバ２３は、共通液室として機能する部分であり、インクの種類（色）毎に設けられる。また、リザーバプレート２５には、板厚方向を貫通する第１連通口２４が上記の第２連通口２１に対応させて形成されている。

ノズルプレート２６は、ステンレス鋼等の金属材料によって構成された薄い板状部材である。このノズルプレート２６には、複数のノズル開口８を列設してノズル列（ノズル群の一種）が横並びに形成されており、本実施形態においてノズル列は一定のピッチ（例えば、１８０ｄｐｉ）で開設された１８０のノズル開口８によって構成されている。

そして、圧力室ユニット９と供給口プレート２２との間、供給口プレート２２とリザーバプレート２５との間、および、リザーバプレート２５とノズルプレート２６との間を、それぞれ接着剤Ａによって接合する。この接着剤Ａとしては、エポキシ樹脂系接着剤、或いは、ＥＶＡ（エチレン-酢酸ビニル共重合体：Ethylene-Vinyl Acetate）樹脂系接着剤等が用いられる。接着剤Ａは、常温で固形のシート状に成型されており、これを各プレート部材間に介在させた状態でヒートツールによって加熱しつつプレート部材の積層方向に圧力を掛けることで接着剤Ａが溶融し、その後の硬化によって各プレート部材が接合されて一体化される。

各プレート部材を一体化することにより、図３に示すように、リザーバ２３と圧力室１１の他端部とが、供給口２０および供給側連通口１４を通じて連通する。また、圧力室１１の一端部とノズル開口８とが、リザーバプレート２５の第１連通口２４、供給口プレート２２の第２連通口２１、および連通口プレート１５の第３連通口１３からなるノズル連通口を通じて連通する。そして、リザーバ２３から圧力室１１を通ってノズル開口８に至る一連のインク流路（液体流路）がノズル開口８毎に形成される。そして、上記構成の記録ヘッド６では、圧電振動子１６を変形させることで対応する圧力室１１が収縮或いは膨張し、圧力室１１内のインクに圧力変動が生じる。このインク圧力を制御することで、ノズル開口８からインクを噴射（吐出）させることができる。

ところで、この種の記録ヘッドでは、各プレート部材の間を接合している接着剤Ａの量が不足した場合、硬化した接着剤がインク流路の内壁面に対して窪み、この窪んだ部分に気泡が入り込む虞がある。このような窪みに気泡が入り込むと、クリーニング動作によってもこの気泡を排出することが困難となる。その一方で、上記の窪みが生じないように、接着剤の量を多めにしてインク流路側に接着剤がはみ出すようにした場合、流れ出た接着剤がノズル開口８や供給口２０などの微小な貫通孔を塞いでしまう虞があった。

このような問題に鑑み、本発明に係る記録ヘッド６では、接合時にプレート部材の間から流れ出る程度に接着剤の量を調整し、尚且つ、流れ出た接着剤を積極的に誘導することで、上記問題を解決している。具体的には、ノズル開口８や供給口２０などの微小な第１貫通孔の第１の内径（第１の内寸。本発明における第１の大きさに相当）よりも大きい第２の内径（第２の内寸。本発明における第２の大きさに相当）に設定され、これらの第１貫通孔に連通してインク流路の一部を構成する第２貫通孔、即ち、第１連通口２４、リザーバ２３、及び供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性を、少なくとも第１貫通孔の開口周囲の接着剤に対する親和性よりも高く設定し、プレート部材の接合時にプレート部材間から流れ出た接着剤Ａを第２貫通孔の内周面に積極的に導くように構成している。したがって、本実施形態においては、ノズルプレート２６及び供給口プレート２２が本発明における第１プレートに相当し、リザーバプレート２５及び連通口プレート１５が本発明における第２プレートに相当する。

以下、第１貫通孔として供給口２０、第２貫通孔として供給側連通口１４を例に挙げて説明するが、ノズル開口８を第１貫通孔、第１連通口２４を第２貫通孔とする場合、及び、供給口２０を第１貫通孔、リザーバ２３を第２貫通孔とする場合においても以下と同様であるため、その説明は省略する。
図４（ａ）は、供給口２０及び供給側連通口１４周辺の構成を説明する拡大断面図であり、（ｂ）は、供給口２０周辺の構成を説明する平面図である。本実施形態において、第１プレートとしての供給口プレート２２と第２プレートとしての連通口プレート１５とは、同じステンレス鋼で作製されているため、何らの対策をしない状態では両者の接着剤に対する親和性（親液性）は同程度である。そこで、供給側連通口１４の内周面に親液化剤を塗布することで親液化膜２８（接着剤に対する親和化膜の一種）を形成し、供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性を、供給口プレート２２の連通口プレート接合面における供給口２０の開口周囲部の接着剤に対する親和性よりも高めている。ここで、親液化剤としては、例えばポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）を用いることができる。その他、供給側連通口１４の内周面に二酸化チタンをコーティングし、このコーティング膜に紫外線照射することにより親液化することも可能である。

このように、供給口２０に連通する供給側連通口１４の内周面に親液化膜２８を形成することにより、供給口プレート２２と連通口プレート１５との接合時に両プレートの間から流れ出た接着剤Ａが、親液性が高い供給側連通口１４の内周面側に導入されて堆積するので、供給口プレート２２と連通口プレート１５との間において接着剤Ａが流路の内周面に対して窪むことを防止することができ、尚かつ、供給側連通口１４よりも径が小さい供給口２０側に接着剤Ａが流れることを抑制することができる。これにより、接着剤Ａが供給口２０を塞ぐことを防止しつつ、クリーニング動作時における気泡の排出性を向上することができる。そして、上記構成の記録ヘッド６を備えるプリンタでは、クリーニング動作時において記録ヘッド６のインク流路内の気泡の排出効率が向上するので、クリーニング動作で消費されるインク量を低減することが可能となる。

また、本実施形態においては、図４（ｂ）に示すように、供給口プレート２２の連通口プレート側の面において、供給口２０の開口周囲の領域である第１領域２９（同図において薄いハッチングの部分）の接着剤に対する親和性を、この第１領域２９の周囲に設定された第２領域３０（濃いハッチングの部分）の接着剤に対する親和性よりも低くしている。換言すると、第２領域３０を親液化することにより、この第２領域３０の接着剤に対する親和性を第１領域２９の接着剤に対する親和性よりも高めている。ここで、第１領域２９は、供給口２０の開口縁から供給側連通口１４の内周面に至るまでの範囲の半分程度の幅に設定された領域であり、第２領域３０は、上記範囲のうちの第１領域２９よりも外側の領域である。そして、供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性は、第２領域３０の接着剤に対する親和性よりも高くなっている。つまり、第１領域２９、第２領域３０、供給側連通口１４の内周面の順に親液性が高くなっている。

このように、第１領域２９の接着剤に対する親和性よりも第２領域３０の接着剤に対する親和性を高めることによって、供給口プレート２２と連通口プレート１５との間から接着剤Ａを流れ出易くすることができ、流れ出た接着剤Ａを積極的に供給側連通口１４の内周面に導くことができる。また、流れ出た接着剤Ａを少なくとも第２領域３０で留めることができ、供給口２０が接着剤Ａで塞がれることを抑制することができる。また、第１領域２９、第２領域３０、供給側連通口１４の内周面の順に接着剤に対する親和性を高めることによって、第２領域３０から供給側連通口１４の内周面にかけて接着剤Ａが傾斜するように付着するので、この部分のインクや気泡が円滑に流れやすくなり、気泡の排出性を一層向上させることが可能となる。そして、このような記録ヘッド６を備えるプリンタでは、クリーニング動作時のインク流路内の気泡の排出効率が向上し、これにより、クリーニング動作で消費されるインク量を低減することが可能となる。

さらに、本実施形態では、連通口プレート１５の供給口プレート接合面とは反対側の面に接合された圧力室プレート１２（本発明における第３プレートに相当）に関し、連通口プレート１５との接合面の接着剤に対する親和性を、供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性よりも低くしている。特に、供給側連通口１４と連通する圧力室１１の他端部近傍（段差部１８）の接着剤に対する親和性を供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性よりも低くしている。これにより、最も親和性が高い供給側連通口１４の内周面に接着剤Ａを留めることができ、圧力室１１側への接着剤Ａの流れすぎを防止することができる。接着剤に対する親和性を低くする方法としては、例えば、フッ素系の撥液剤を塗布すること等が挙げられる。

なお、上記実施形態においては、第２貫通孔の内周面に親液化膜２８を形成することで、この第２貫通孔の内周面の接着剤に対する親和性を第１貫通孔の開口周囲の接着剤に対する親和性よりも高くした構成を例示したが、これには限られない。例えば、第２プレート（即ち、連通口プレート１５及びリザーバプレート２５）を、第１プレート（即ち、供給口プレート２２及びノズルプレート２６）の材料よりも接着剤に対する親和性の高い材料で作製する構成を採用することも可能である。この構成によっても上記第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

また、上記実施形態では、本発明に係る液体噴射ヘッドとして、プリンタ（液体噴射装置の一種）に搭載される記録ヘッド６を例示したが、本発明は、複数のプレート部材を接着剤によって接合して構成される他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

ヘッドユニットをノズルプレート側から見た斜視図である。 記録ヘッドを圧力室ユニット側から見た斜視図である。 記録ヘッドの要部断面図である。 （ａ）は供給口及び供給側連通口周辺の構成を説明する拡大断面図であり、（ｂ）は供給口周辺の構成を説明する平面図である。 従来構成の記録ヘッドの要部断面図である。

符号の説明

６…記録ヘッド，８…ノズル開口，９…圧力室ユニット，１０…流路ユニット，１１…圧力室，１２…圧力室プレート，１３…第３連通口，１４…供給側連通口，１５…連通口プレート，１６…圧電振動子，１７…振動板，２０…供給口，２１…第２連通口，２２…供給口プレート，２３…リザーバ，２４…第１連通口，２５…リザーバプレート，２６…ノズルプレート，２８…親液化膜，２９…第１領域，３０…第２領域

Claims (7)

1. 第１の大きさの第１貫通孔を有する第１プレートと、前記第１の大きさよりも大きい第２の大きさの第２貫通孔を有する第２プレートと、を含む複数のプレートを積層して成る流路ユニットを備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが連通する状態で前記第１プレートと前記第２プレートとが接着剤によって接合され、
   前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性が、少なくとも前記第１プレートの第２プレート接合面における前記第１貫通孔の開口周囲の前記接着剤に対する親和性よりも高く設定され、
   前記第１プレートと前記第２プレートとの接合時に両プレートの間から流れ出た接着剤が第２貫通孔の内周面に導入されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１プレートの第２プレート接合面において、前記第１貫通孔の開口周囲の領域である第１領域の前記接着剤に対する親和性よりも、該第１領域の周囲の第２領域の前記接着剤に対する親和性が高いことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性が、前記第２領域の前記接着剤に対する親和性よりも高いことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記第２プレートの第１プレート接合面とは反対側の面に第３プレートが接合され、該第３プレートの第２プレート接合面の前記接着剤に対する親和性が、前記第２貫通孔の内周面の前記接着剤に対する親和性よりも低いことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第２貫通孔の内周面に接着剤に対する親和化膜が形成されたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記第２プレートが、前記第１プレートの材料よりも前記接着剤に対する親和性の高い材料で作製されたことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
7. 請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置。

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