JP2003127360A5 - - Google Patents

Description

【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、ノズル開口を有するノズルプレートと、このノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内にインク吐出のための圧力を付与する圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板は、主面が（１１０）面であるシリコン単結晶基板からなると共に前記圧力発生室が前記流路形成基板を異方性エッチングすることによって形成され、且つ前記流路形成基板と前記ノズルプレートとが接着剤を介して接合され、前記流路形成基板の前記ノズルプレートとの接合面に、各圧力発生室の前記ノズル開口との連通側の長手方向端部である内側に向かって傾斜する傾斜面に連通すると共に前記接着剤が入り込んだ少なくとも一つの溝部が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。

かかる第１の態様では、流路形成基板とノズルプレートとを接着する際に、無駄な接着剤が溝部に流れ込む。これにより、圧力発生室内に接着剤が流れ出す量を著しく抑えることができ、ノズル開口の詰まり等の不良を防止することができる。主面が（１１０）面であるシリコン単結晶基板を用いた場合、接着剤によるノズル開口の詰まりが特に起こりやすいが、溝部を設けることによってノズル開口の詰まりを確実に防止することができる。

本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記溝部が異方性エッチングによって形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。

本発明の第８の態様は、第７の態様において、前記圧力発生室と前記溝部とが別工程で形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。

かかる第８の態様では、圧力発生室及び溝部をより高精度に形成することができる。

本発明の第９の態様は、第１〜８の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。

かかる第９の態様では、ヘッドの吐出不良を防止でき、信頼性を向上したインクジェット式記録装置を実現することができる。

Claims (9)

1. ノズル開口を有するノズルプレートと、このノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板の圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられて前記圧力発生室内にインク吐出のための圧力を付与する圧電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
   前記流路形成基板は、主面が（１１０）面であるシリコン単結晶基板からなると共に前記圧力発生室が前記流路形成基板を異方性エッチングすることによって形成され、且つ前記流路形成基板と前記ノズルプレートとが接着剤を介して接合され、前記流路形成基板の前記ノズルプレートとの接合面に、各圧力発生室の前記ノズル開口との連通側の長手方向端部である内側に向かって傾斜する傾斜面に連通すると共に、前記接着剤が入り込んだ少なくとも一つの溝部が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
2. 請求項１において、前記溝部の幅が２０μｍよりも小さく且つ深さが５μｍよりも小さいことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
3. 請求項１又は２において、前記溝部は、前記圧力発生室の幅方向略中央部に連通して設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
4. 請求項１又は２において、前記溝部が、前記圧力発生室の少なくとも幅方向両端部にそれぞれ連通して設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
5. 請求項１〜４の何れかにおいて、前記溝部内には、前記流路形成基板と前記ノズルプレートとを接着する接着剤が充填されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
6. 請求項１〜５の何れかにおいて、前記圧力発生室の配列密度が２００ｄｐｉ以上であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
7. 請求項１〜６の何れかにおいて、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記溝部が異方性エッチングによって形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
8. 請求項７において、前記圧力発生室と前記溝部とが別工程で形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
9. 請求項１〜８の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。