JP2000043267A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- ink jet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク滴吐出後における圧力発生室へのイン
クの充填速度を高めること。 【解決手段】 流路形成基板５が、リザーバ８と、圧力
発生手段側とノズルプレート側に形成された凹部からな
る第１、第２圧力発生室９、１０と、これらとリザーバ
８とを接続する第１、第２インク供給口１１、１２とを
備え、第２インク供給口１２を第１インク供給口１１よ
りもノズル開口６に位置させ、インク滴吐出後には流路
抵抗の小さな第２インク供給口１２を介しても第１の圧
力発生室９にインクを流れ込ませる。
クの充填速度を高めること。 【解決手段】 流路形成基板５が、リザーバ８と、圧力
発生手段側とノズルプレート側に形成された凹部からな
る第１、第２圧力発生室９、１０と、これらとリザーバ
８とを接続する第１、第２インク供給口１１、１２とを
備え、第２インク供給口１２を第１インク供給口１１よ
りもノズル開口６に位置させ、インク滴吐出後には流路
抵抗の小さな第２インク供給口１２を介しても第１の圧
力発生室９にインクを流れ込ませる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズル開口とリザ
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。
ーバに連通する圧力発生室のインクを圧力発生手段によ
り加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインク
ジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドは、共通の
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。
インク室とノズル開口に連通する圧力発生室を、圧力発
生手段、例えば圧力発生室に設けられた発熱素子や、圧
力発生室の一部を変形させることができるように設けら
れた圧電振動子等により加圧してインク滴を吐出させる
ように構成されている。
【０００３】図８は、圧力発生手段として圧電振動子を
使用したインクジェット式記録ヘッドの一例を示すもの
であって、リザーバ４０、インク供給口４１、及び圧力
発生室４２を区画、形成する流路形成基板４３と、一方
の開口を封止する弾性板４４と、各圧力発生室４２に連
通するノズル開口４５が穿設されたノズルプレート４６
とを積層して流路ユニット４７を形成し、ホルダ４８に
収容された圧電振動子４９の先端が圧力発生室４２の領
域に当接するようにホルダ４８の開口面５０に固定して
構成されている。なお、図中符号５１は、シールド部材
を兼ねる固定枠を示す。
使用したインクジェット式記録ヘッドの一例を示すもの
であって、リザーバ４０、インク供給口４１、及び圧力
発生室４２を区画、形成する流路形成基板４３と、一方
の開口を封止する弾性板４４と、各圧力発生室４２に連
通するノズル開口４５が穿設されたノズルプレート４６
とを積層して流路ユニット４７を形成し、ホルダ４８に
収容された圧電振動子４９の先端が圧力発生室４２の領
域に当接するようにホルダ４８の開口面５０に固定して
構成されている。なお、図中符号５１は、シールド部材
を兼ねる固定枠を示す。
【０００４】この流路基板４３は、圧電振動子により圧
力発生室が膨張した場合にはリザーバ４０のインクを速
やかに圧力発生室４２に流入させ、また圧力発生室４２
が縮小された場合には圧力発生室４２のインクをノズル
開口か４５らのインク滴として効率的に吐出するため
に、図９に示したように圧力発生室４２とリザーバ４０
とを適当な流体インピーダンスを備えるように、圧力発
生室４２の幅よりも絞られたインク供給口４１により両
者が接続されている。
力発生室が膨張した場合にはリザーバ４０のインクを速
やかに圧力発生室４２に流入させ、また圧力発生室４２
が縮小された場合には圧力発生室４２のインクをノズル
開口か４５らのインク滴として効率的に吐出するため
に、図９に示したように圧力発生室４２とリザーバ４０
とを適当な流体インピーダンスを備えるように、圧力発
生室４２の幅よりも絞られたインク供給口４１により両
者が接続されている。
【０００５】このような流路形成基板は、通常、（１１
０）面を表面とするシリコン単結晶基板を異方性エッチ
ングすることにより構成されているが、シリコン単結晶
基板の大半の領域に貫通孔を形成せざるを得なくなるた
め、流路形成基板の剛性が極端に低下して、組み立て作
業が困難となる。また剛性を高めようとしてシリコン単
結晶基板の厚みを厚くすると、エッチング時間が長くな
り生産性が低下したり、またコストが上昇するという問
題がある。
０）面を表面とするシリコン単結晶基板を異方性エッチ
ングすることにより構成されているが、シリコン単結晶
基板の大半の領域に貫通孔を形成せざるを得なくなるた
め、流路形成基板の剛性が極端に低下して、組み立て作
業が困難となる。また剛性を高めようとしてシリコン単
結晶基板の厚みを厚くすると、エッチング時間が長くな
り生産性が低下したり、またコストが上昇するという問
題がある。
【０００６】このような問題を解消するため、図１０
（イ）、（ロ）に示したようにシリコン単結晶基板５２
の両面にそれぞれ凹部からなる第１、第２圧力発生室５
３、５４を形成し、各圧力発生室５３、５４にはリザー
バ５５と連通する若干絞られた凹部からなる第１、第２
インク供給口５６、５７を設け、さらにノズル開口５８
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔５９を形
成したものが提案されている（特開平9-123448号公
報）。
（イ）、（ロ）に示したようにシリコン単結晶基板５２
の両面にそれぞれ凹部からなる第１、第２圧力発生室５
３、５４を形成し、各圧力発生室５３、５４にはリザー
バ５５と連通する若干絞られた凹部からなる第１、第２
インク供給口５６、５７を設け、さらにノズル開口５８
に対向する領域に貫通孔からなるノズル連通孔５９を形
成したものが提案されている（特開平9-123448号公
報）。
【０００７】これによれば、シリコン単結晶基板の貫通
孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保でき、こ
のためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、エッチ
ング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能とな
る。
孔が占める比率が少なくなるため、剛性を確保でき、こ
のためシリコン単結晶基板の厚みを薄くできて、エッチ
ング時間の短縮と材料費の節減を図ることが可能とな
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、圧力発
生室を単一物として形成する場合に比較して浅くなるた
め、リザーバから圧力発生室へのインクの供給に遅延が
生じやすく、駆動速度が低下するという問題がある。本
発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、
その目的とするところは駆動速度を向上することができ
る１つのノズル開口に対して２つの圧力発生室を備えた
記録ヘッドを提供することである。
生室を単一物として形成する場合に比較して浅くなるた
め、リザーバから圧力発生室へのインクの供給に遅延が
生じやすく、駆動速度が低下するという問題がある。本
発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、
その目的とするところは駆動速度を向上することができ
る１つのノズル開口に対して２つの圧力発生室を備えた
記録ヘッドを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、圧力発生手段側と前記ノズルプレート
側に形成された凹部からなる第１圧力発生室及び第２圧
力発生室と、第１圧力発生室と前記リザーバとを接続す
る第１インク供給口と、第２圧力発生室と前記リザーバ
とを接続し、かつ第１インク供給口よりも前記ノズル開
口側に位置する第２インク供給口と、前記ノズル開口に
対向する位置にノズル連通孔とを備えるようにした。
るために本発明においては、弾性板と、流路形成基板
と、ノズル開口を備えたノズルプレートとを積層して構
成された流路ユニットと、圧力発生手段とを備えたイン
クジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板
が、リザーバと、圧力発生手段側と前記ノズルプレート
側に形成された凹部からなる第１圧力発生室及び第２圧
力発生室と、第１圧力発生室と前記リザーバとを接続す
る第１インク供給口と、第２圧力発生室と前記リザーバ
とを接続し、かつ第１インク供給口よりも前記ノズル開
口側に位置する第２インク供給口と、前記ノズル開口に
対向する位置にノズル連通孔とを備えるようにした。
【００１０】
【作用】インク滴吐出後には流路抵抗の小さな第２圧力
発生室のインク供給口を介しても第１の圧力発生室にイ
ンクが流れ込み、インク滴吐出後の圧力発生室へのイン
クの充填速度が高まる。
発生室のインク供給口を介しても第１の圧力発生室にイ
ンクが流れ込み、インク滴吐出後の圧力発生室へのイン
クの充填速度が高まる。
【００１１】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子１は、その先端を流路ユニット
２を構成する弾性板３に当接した状態でヘッドホルダ４
に固定されている。この流路ユニット２は、弾性板３
と、流路形成基板５と、ノズル開口６を備えたノズルプ
レート７とを積層して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、圧力発生手段を構成する軸方
向に伸縮する圧電振動子１は、その先端を流路ユニット
２を構成する弾性板３に当接した状態でヘッドホルダ４
に固定されている。この流路ユニット２は、弾性板３
と、流路形成基板５と、ノズル開口６を備えたノズルプ
レート７とを積層して構成されている。
【００１２】流路形成基板５は、貫通孔として形成され
るリザーバ８と、圧電振動子１側とノズルプレート７側
に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室９、１
０と、第１圧力発生室９に連通する凹部として形成され
た第１インク供給口１１と、第２圧力発生室１０に連通
する第２インク供給口１２と、ノズル開口６に対向する
位置に貫通孔からなるノズル連通孔１３を形成して構成
されている。
るリザーバ８と、圧電振動子１側とノズルプレート７側
に形成された凹部からなる第１、第２圧力発生室９、１
０と、第１圧力発生室９に連通する凹部として形成され
た第１インク供給口１１と、第２圧力発生室１０に連通
する第２インク供給口１２と、ノズル開口６に対向する
位置に貫通孔からなるノズル連通孔１３を形成して構成
されている。
【００１３】第１、第２インク供給口１１、１２は、流
路抵抗を付与すべく一方の壁面から他方の壁面に突出す
る凸部１１ａ、１２ａを、かつ第２インク供給口１２が
第１インク供給口１１よりもノズル開口６に位置させて
形成されている。そして、第２インク供給口１２がノズ
ル開口側に偏っている分、リザーバ８のノズル開口側の
面が拡幅されている。
路抵抗を付与すべく一方の壁面から他方の壁面に突出す
る凸部１１ａ、１２ａを、かつ第２インク供給口１２が
第１インク供給口１１よりもノズル開口６に位置させて
形成されている。そして、第２インク供給口１２がノズ
ル開口側に偏っている分、リザーバ８のノズル開口側の
面が拡幅されている。
【００１４】この実施例において、圧電振動子１が収縮
して第１圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のイン
クが第１インク供給口１１から第１圧力発生室９に、ま
た第２インク供給口１２から第２圧力発生室１０に流れ
込む。このとき、第２インク供給口１２がノズル開口側
に位置するため、流路抵抗が低く第２圧力発生室１０へ
のインクの充填が速やかに行われ、ここからノズル連通
孔１３を経由して第１圧力発生室９にも流れ込む。
して第１圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のイン
クが第１インク供給口１１から第１圧力発生室９に、ま
た第２インク供給口１２から第２圧力発生室１０に流れ
込む。このとき、第２インク供給口１２がノズル開口側
に位置するため、流路抵抗が低く第２圧力発生室１０へ
のインクの充填が速やかに行われ、ここからノズル連通
孔１３を経由して第１圧力発生室９にも流れ込む。
【００１５】圧力発生室９、１０へのインクの充填が終
了した段階で、圧電振動子１が伸長して弾性板３がノズ
ルプレート側に押圧されると、ノズル連通孔１３を介し
て第２圧力発生室１０にインクが流れ込み、ノズル開口
６からインク滴が吐出する。
了した段階で、圧電振動子１が伸長して弾性板３がノズ
ルプレート側に押圧されると、ノズル連通孔１３を介し
て第２圧力発生室１０にインクが流れ込み、ノズル開口
６からインク滴が吐出する。
【００１６】インク滴の吐出後、圧電振動子１が元の状
態に復帰して第１圧力発生室９が膨張する。第２インク
供給口１２がノズル開口側に位置するため、流路抵抗が
低く第２圧力発生室１０、及びノズル連通孔１３を経由
して第１圧力発生室９に速やかにインクが充填される。
また、第２インク供給口１２の流路抵抗が第１インク供
給口１１の流路抵抗より小さいため、さらにインクの充
填能力を高めることができる。
態に復帰して第１圧力発生室９が膨張する。第２インク
供給口１２がノズル開口側に位置するため、流路抵抗が
低く第２圧力発生室１０、及びノズル連通孔１３を経由
して第１圧力発生室９に速やかにインクが充填される。
また、第２インク供給口１２の流路抵抗が第１インク供
給口１１の流路抵抗より小さいため、さらにインクの充
填能力を高めることができる。
【００１７】なお、上述の実施例においては凸部１１
ａ、１２ａを形成してインク供給口１１、１２として適
した流路抵抗を付与するようにしているが、図３
（イ）、（ロ）に示したように各インク供給口形成領域
に少なくとも１つの島状部１１ｂ、１２ｂを形成しても
同様の作用を奏する。
ａ、１２ａを形成してインク供給口１１、１２として適
した流路抵抗を付与するようにしているが、図３
（イ）、（ロ）に示したように各インク供給口形成領域
に少なくとも１つの島状部１１ｂ、１２ｂを形成しても
同様の作用を奏する。
【００１８】そして、第２インク供給口を形成する島状
部１２ｂは、ノズル連通孔１３に可及的に近い位置に形
成されている。このように第２インク供給口１２をノズ
ル連通孔１３側に形成することにより、インク滴吐出能
力を変化させることなく、圧力発生室全体の容積を減少
させて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスを
低減させることができる。言うまでもなく圧力発生室全
体のコンプライアンスが小さくなると、ヘルムホルツ共
振周波数が高くなり、その結果駆動周波数、インク滴の
飛行速度を向上できて、１つのドットによる面積の変
調、つまり階調性を高めることができる。
部１２ｂは、ノズル連通孔１３に可及的に近い位置に形
成されている。このように第２インク供給口１２をノズ
ル連通孔１３側に形成することにより、インク滴吐出能
力を変化させることなく、圧力発生室全体の容積を減少
させて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスを
低減させることができる。言うまでもなく圧力発生室全
体のコンプライアンスが小さくなると、ヘルムホルツ共
振周波数が高くなり、その結果駆動周波数、インク滴の
飛行速度を向上できて、１つのドットによる面積の変
調、つまり階調性を高めることができる。
【００１９】さらに好ましくは、図４（イ）、（ロ）に
示したように第１圧力発生室９を区画する隔壁１４の端
部１４ａをリザーバ８の壁面８ａよりも若干ノズル連通
孔１３側に後退させ、また第２圧力発生室１０を区画す
る隔壁１５の端部１５ａを、リザーバ８のインク供給口
側の壁面８ａの近傍にまで引き出すと、第１圧力発生室
９へのインクの流入抵抗と、容積を低減させることがで
きて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスの低
下により、駆動周波数、インク滴の飛行速度を向上する
ことができる。
示したように第１圧力発生室９を区画する隔壁１４の端
部１４ａをリザーバ８の壁面８ａよりも若干ノズル連通
孔１３側に後退させ、また第２圧力発生室１０を区画す
る隔壁１５の端部１５ａを、リザーバ８のインク供給口
側の壁面８ａの近傍にまで引き出すと、第１圧力発生室
９へのインクの流入抵抗と、容積を低減させることがで
きて、インクの圧縮性に起因するコンプライアンスの低
下により、駆動周波数、インク滴の飛行速度を向上する
ことができる。
【００２０】図５は本発明の他の実施例を示すものであ
って、ノズルプレート側に位置する第２圧力発生室１０
の深さｄ１が、圧電振動子１の側に位置する第１圧力発
生室９の深さｄ２よりも大きくなるように構成されてい
る。
って、ノズルプレート側に位置する第２圧力発生室１０
の深さｄ１が、圧電振動子１の側に位置する第１圧力発
生室９の深さｄ２よりも大きくなるように構成されてい
る。
【００２１】この実施例によれば、第２圧力発生室１０
へのインク流入速度を向上することができるばかりでな
く、リザーバの容積を拡大してクロストークを防止する
ことができる。
へのインク流入速度を向上することができるばかりでな
く、リザーバの容積を拡大してクロストークを防止する
ことができる。
【００２２】図６は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、この実施例においては第２インク供給口１２と
リザーバ８とを結ぶ領域Ａに凹部１２ｃを形成してリザ
ーバ８から第２インク供給口１２までの流路の抵抗を可
及的に下げるように構成されている。この実施例によれ
ば、第２圧力発生室１０へのインク流入速度の向上と、
クロストークの防止を図ることができる。
あって、この実施例においては第２インク供給口１２と
リザーバ８とを結ぶ領域Ａに凹部１２ｃを形成してリザ
ーバ８から第２インク供給口１２までの流路の抵抗を可
及的に下げるように構成されている。この実施例によれ
ば、第２圧力発生室１０へのインク流入速度の向上と、
クロストークの防止を図ることができる。
【００２３】このような流路形成基板は、シリコン単結
晶基板により構成する場合には領域Ａを余分にハーフエ
ッチングすることにより構成することができる。
晶基板により構成する場合には領域Ａを余分にハーフエ
ッチングすることにより構成することができる。
【００２４】また、図７に示したように流路形成基板５
を厚み方向に少なくとも４層に分割し、流路形成基板５
のリザーバ８や、ノズル連通孔１３、及び第１、第２圧
力発生室９、１０、領域Ａの凹部１２ｃに相当する領
域、及び第１、第２インク供給口１１、１２を形成する
貫通孔２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２
７、２８、２９、３０、３１、３２を形成した板材３
４、３５、３６、３７を用意し、これら３４乃至３７を
接着剤を介して積層固定することにより構成することが
できる。
を厚み方向に少なくとも４層に分割し、流路形成基板５
のリザーバ８や、ノズル連通孔１３、及び第１、第２圧
力発生室９、１０、領域Ａの凹部１２ｃに相当する領
域、及び第１、第２インク供給口１１、１２を形成する
貫通孔２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２
７、２８、２９、３０、３１、３２を形成した板材３
４、３５、３６、３７を用意し、これら３４乃至３７を
接着剤を介して積層固定することにより構成することが
できる。
【００２５】このようなフィルムには、エッチング可能
でかつインクに対して耐久性を有する材料、例えばステ
ンレス鋼板を使用することができる。特に感光性ドライ
フィルムは、露光作業とエッチングにより簡単に所望の
形状の貫通孔を高い精度で形成でき、かつ自己溶着性に
より密着するため最適な材料となる。
でかつインクに対して耐久性を有する材料、例えばステ
ンレス鋼板を使用することができる。特に感光性ドライ
フィルムは、露光作業とエッチングにより簡単に所望の
形状の貫通孔を高い精度で形成でき、かつ自己溶着性に
より密着するため最適な材料となる。
【００２６】なお、上述の実施例においては、圧力発生
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、１ノズル開口に対して２
つの圧力発生室を形成するとともに、一方の圧力発生室
をたわみモードの圧電振動子や、また加熱素子によりイ
ンクを加圧する場合には、これらに適用しても同様の作
用を奏することは明らかである。
手段として縦振動モードの圧電振動子を使用した記録ヘ
ッドに例を採って説明したが、１ノズル開口に対して２
つの圧力発生室を形成するとともに、一方の圧力発生室
をたわみモードの圧電振動子や、また加熱素子によりイ
ンクを加圧する場合には、これらに適用しても同様の作
用を奏することは明らかである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層して構成された流路ユニットと、圧力
発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記流路形成基板が、リザーバと、圧力発生手段側
と前記ノズルプレート側に形成された凹部からなる第１
圧力発生室及び第２圧力発生室と、第１圧力発生室と前
記リザーバとを接続する第１インク供給口と、第２圧力
発生室と前記リザーバとを接続し、かつ第１インク供給
口よりも前記ノズル開口側に位置する第２インク供給口
と、前記ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔とを
備えたので、インク滴吐出後には流路抵抗の小さな第２
圧力発生室のインク供給口を介しても第１の圧力発生室
にインクを充填することができ、駆動速度を向上するこ
とができる。
弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口を備えたノズル
プレートとを積層して構成された流路ユニットと、圧力
発生手段とを備えたインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記流路形成基板が、リザーバと、圧力発生手段側
と前記ノズルプレート側に形成された凹部からなる第１
圧力発生室及び第２圧力発生室と、第１圧力発生室と前
記リザーバとを接続する第１インク供給口と、第２圧力
発生室と前記リザーバとを接続し、かつ第１インク供給
口よりも前記ノズル開口側に位置する第２インク供給口
と、前記ノズル開口に対向する位置にノズル連通孔とを
備えたので、インク滴吐出後には流路抵抗の小さな第２
圧力発生室のインク供給口を介しても第１の圧力発生室
にインクを充填することができ、駆動速度を向上するこ
とができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
の流路形成基板のインク供給口近傍を拡大して示す斜視
図である。
の流路形成基板のインク供給口近傍を拡大して示す斜視
図である。
【図３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の記録ヘ
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。
【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の記録ヘ
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。
ッドの他の実施例を、流路形成基板のインク供給口近傍
の構造で示す斜視図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図７】同上記録ヘッドの製造方法を示す図である。
【図８】縦振動モードの圧電振動子をアクチュエータと
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。
するインクジェット式記録ヘッドの一例を示す組立斜視
図である。
【図９】記録ヘッドを構成するスペーサを拡大して示す
斜視図である。
斜視図である。
【図１０】図（イ）、（ロ）は、それぞれインクジェッ
ト式記録ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するス
ペーサを拡大して示す斜視図である。
ト式記録ヘッドの一例を示す断面図、これを構成するス
ペーサを拡大して示す斜視図である。
１ 圧電振動子 ２ 流路ユニット ３ 弾性板 ４ ヘッドホルダ ５ 流路形成基板 ６ ノズル開口 ７ ノズルプレート ８ リザーバ ９ 第１圧力発生室 １０ 第２圧力発生室 １１ 第１インク供給口 １２ 第２インク供給口 １３ ノズル連通孔
Claims (14)
- 【請求項１】 弾性板と、流路形成基板と、ノズル開口
を備えたノズルプレートとを積層して構成された流路ユ
ニットと、圧力発生手段とを備えたインクジェット式記
録ヘッドにおいて、前記流路形成基板が、リザーバと、
圧力発生手段と前記ノズルプレート側に形成された凹部
からなる第１圧力発生室及び第２圧力発生室と、第１圧
力発生室と前記リザーバとを接続する第１インク供給口
と、第２圧力発生室と前記リザーバとを接続し、かつ第
１インク供給口よりも前記ノズル開口側に位置する第２
インク供給口と、第１、第２圧力室を連通する少なくと
も１つ以上のノズル連通孔とを備えたインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項２】 第２圧力発生室が、第１圧力発生室より
も深く形成されている請求項１に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記リザーバと第２インク供給口とを結
ぶ領域が、第２圧力発生室よりも深く形成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記流路形成基板が、シリコン単結晶基
板を異方性エッチングすることにより構成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 第１、第２インク供給口が、壁面の一部
を突出させて形成されている請求項１に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 第１、第２インク供給口が、島状部を設
けることにより形成されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記リザーバの、第２インク供給口が形
成された側が部分的に拡幅されている請求項１に記載の
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 第１インク供給口が、第２インク供給口
よりも前記ノズル開口側に位置するように形成されてい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 第１圧力発生室を区画する隔壁の端部
が、第２圧力発生室を区画する隔壁の端部よりもノズル
開口側に位置するように前記各隔壁が形成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記流路形成基板が、前記リザーバ、
第１、第２圧力発生室、第１インク供給口、第２インク
供給口、及びノズル連通孔に対応する位置に貫通孔を形
成した複数枚の薄板を積層して構成されている請求項１
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記薄板がステンレス鋼板である請求
項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１２】 前記薄板が感光性ドライフィルムであ
る請求項１０に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１３】 前記流路形成基板がシリコン単結晶基
板の（１１０）面を異方性エッチングすることにより構
成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。 - 【請求項１４】 前記凹部がシリコン単結晶基板の（１
１０）面をハーフエッチングすることにより構成されて
いる請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10016799A JP3334752B2 (ja) | 1998-05-29 | 1999-04-07 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-148703 | 1998-05-29 | ||
| JP14870398 | 1998-05-29 | ||
| JP10016799A JP3334752B2 (ja) | 1998-05-29 | 1999-04-07 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000043267A true JP2000043267A (ja) | 2000-02-15 |
| JP3334752B2 JP3334752B2 (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=26441252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10016799A Expired - Fee Related JP3334752B2 (ja) | 1998-05-29 | 1999-04-07 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3334752B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1236573A2 (en) * | 2001-03-01 | 2002-09-04 | Seiko Instruments Inc. | Print head chip |
| JP2002292868A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-09 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置 |
| JP2006068916A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットヘッド |
| US7503643B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-03-17 | Fujifilm Corporation | Liquid droplet discharge head and image forming apparatus |
| JP2016193563A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
| CN108153004A (zh) * | 2016-12-05 | 2018-06-12 | 塔工程有限公司 | 喷墨型液体涂布模块 |
-
1999
- 1999-04-07 JP JP10016799A patent/JP3334752B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1236573A2 (en) * | 2001-03-01 | 2002-09-04 | Seiko Instruments Inc. | Print head chip |
| EP1236573A3 (en) * | 2001-03-01 | 2002-09-11 | Seiko Instruments Inc. | Print head chip |
| JP2002292868A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-09 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置 |
| US7503643B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-03-17 | Fujifilm Corporation | Liquid droplet discharge head and image forming apparatus |
| JP2006068916A (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-16 | Ricoh Printing Systems Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2016193563A (ja) * | 2015-04-01 | 2016-11-17 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置 |
| CN108153004A (zh) * | 2016-12-05 | 2018-06-12 | 塔工程有限公司 | 喷墨型液体涂布模块 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3334752B2 (ja) | 2002-10-15 |
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