JP2015150712A - 液体流路材、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体流路側への接着剤の漏出および液体流路間での液体の漏出を抑制することが可能な液体流路材、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力室基板２８には、複数の圧力室空部３４が互いに間隔を空けてそれぞれ形成され、圧力室基板の連通基板との接合面における隣り合う圧力室空部のうちの一方の圧力室空部の開口縁４７ａと他方の圧力室空部の開口縁４７ｂとの間の最短距離は、５０μｍ以上であり、これらの開口縁の間に挟まれた領域には、インク流路に対して独立した窪部３３が形成され、一方の圧力室空部の開口縁と窪部との間、または他方の圧力室空部の開口縁と窪部との間の少なくとも一方の最短距離が、３０μｍ以下である。
【選択図】図３

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドの液体流路を形成する液体流路材、これを有する液体噴射ヘッド、および、これを備えた液体噴射装置に関するものであり、特に、液体流路材を構成する基板同士が接着剤により接合される液体流路材、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置に関する。

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。

この種の液体噴射ヘッドとしては、複数の板状の構成部材（基板）を積層状態で接合することで、液体の流路が構成されているものがある。近年の液体噴射ヘッドの小型化に伴って液体流路は非常に微細であるため、液体流路の構成部材としては、結晶性を有するシリコン基板（シリコン単結晶基板）が好適に用いられ、当該基板に対する異方性エッチングによって液体流路が高精度に形成される（例えば、特許文献１）。また、基板同士は、接着剤により接合される。この際、接着剤の厚みを厚くしてしまうと、基板同士を接合した際に接着剤が液体流路側に漏れ出すおそれがある。この漏れ出した接着剤が、流路の隅角部等に沿って進行し、液体の噴射を行うための駆動部分に付着する等して液体の噴射に悪影響を及ぼす場合があった。このため、接着剤の厚さはできるだけ薄いことが望ましく、例えば、１０μｍ以下であることが望ましい。このような事情から、基板の接合面に対し、転写による接着剤の塗布が行われている（例えば、特許文献１参照。）。具体的には、スキージ台上で転写用フィルムに対してスキージにより接着剤を均一な厚さで塗布し、該フィルムに塗布された接着剤層を上記基板の接合面に転写する。これにより基板上の接着剤層の厚さを薄く調整することができる。接着剤としては、例えば、エポキシ系接着剤、シリコン系接着剤、あるいはウレタン系接着剤が用いられる。

特開２００９−１６５９３２号公報

ところが、上記の転写による方法では、図７（ａ）に示すように、接着剤５５が塗布された転写フィルム５６が基板５７に対して一旦貼り付けられた後、図７（ｂ）に示すように、転写フィルム５６を基板５７から剥がすことで、基板５７に接着剤５５を転写するのだが、図７（ｃ）に示すように、接着剤５５が相対的に厚い山の部分５５ａと、接着剤５５が相対的に薄い谷の部分５５ｂとが交互に反復的に形成されて、接着剤５５の厚さが不均一となる現象（以下、接着剤の波うち現象とも言う。）が生じる。この山の部分５５ａと谷の部分５５ｂの高低差や反復の度合は接着剤５５の組成や粘度等にもよるが、上記の各種接着の何れを用いた場合にも波うち現象が生じる場合がある。波うち現象が発生する正確な要因は不明であるが、転写フィルム５６を用いて基板にごく薄く接着剤を転写する構成であって、接着面積が比較的広い部分で生じる傾向にある。そして、転写された接着剤５５の厚みが波うち現象により均一でない状態で基板同士を接合した場合、谷の部分５５ｂでの接合力が不足し、接着不良が生じることがあった。その結果、複数の液体流路を有する液体噴射ヘッドにおいて、液体流路間でインクが漏出する問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体流路側への接着剤の漏出および液体流路間での液体の漏出を抑制することが可能な液体流路材、液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、基板同士を接着剤により接合することにより液体噴射ヘッドの液体流路の少なくとも一部を区画する液体流路材であって、
上記各基板のうち少なくとも一方の基板には、前記液体流路の一部となる第１の流路部および第２の流路部が、互いに間隔を空けてそれぞれ形成され、
前記一方の基板の接合面における第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁との間の最短距離は、５０μｍ以上であり、
前記接合面における第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁との間に挟まれた領域には、前記液体流路に対して独立した窪部が形成され、
前記第１の流路部の開口縁と前記窪部との間、または第２の流路部の開口縁と前記窪部との間の少なくとも一方の最短距離が、３０μｍ以下であることを特徴とする。

本発明によれば、一方の基板の接合面における流路開口間領域に窪部が形成され、一方の流路部の開口縁と窪部との間、または他方の流路部の開口縁と窪部との間の少なくとも一方の最短距離が３０μｍ以下に設定されることにより、基板の接合面に対して転写による接着剤の塗布が行われ構成において、接着剤の波うち現象の発生が低減され、接着剤層の厚さを比較的薄く且つ均一にすることができ、液体流路側への接着剤の漏出の抑制と、液体流路間の液体の漏出の抑制とを両立させることが可能となる。

また、上記構成において、前記窪部と前記第１の流路部の開口縁または第２の流路部の開口縁との間の最短距離、および、隣り合う窪部同士の最短距離が２２μｍ以下であることが望ましい。

当該構成によれば、一方の流路部の開口縁と窪部との間、または他方の流路部の開口縁と窪部との間の最短距離が２２μｍ以下に設定されることで、液体流路間の液体の漏出をより確実に抑制することが可能となる。

また、上記構成において、前記接合面における前記第１の流路部の開口縁と前記第２の流路部の開口縁との間に挟まれた領域には、複数の窪部が互いに間隔を空けて形成され、
隣り合う窪部同士の開口縁間の最短距離が、３０μｍ以下、望ましくは２２μｍ以下であることが望ましい。

当該構成によれば、隣り合う窪部同士の間の領域で接着剤の波うち現象の発生が抑制されるので、液体流路間の液体の漏出をさらに確実に抑制することが可能となる。

さらに、上記構成において、前記第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁とは互いに平行である構成を採用することができる。

また、本発明の液体噴射ヘッドは、上記何れかの構成の流路部材を備えることを特徴とする。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの要部断面図である。 圧力室形成基板の要部拡大図である。 流路ユニットの製造工程について説明する図である。 本発明の変形例の構成について説明する圧力室形成基板の要部拡大図である。 本発明の他の変形例の構成について説明する圧力室形成基板の要部拡大図である。 従来の構成における接着剤の転写について説明する図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げて行う。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２（着弾対象の一種）の表面に対してインクを噴射して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。

上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。

図２は、記録ヘッド３（本発明の液体噴射ヘッドの一種）の内部構成を示す断面図である。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、圧力発生ユニット１４および流路ユニット２１（本発明における液体流路材の一種）を備え、これらの部材が積層された状態でケース２６に取り付けて構成されている。流路ユニット２１は、複数の基板、具体的には、ノズルプレート２２、連通基板２３、および圧力室形成基板２９を有している。また、圧力発生ユニット１４は、弾性膜３０、圧電素子３５（圧力発生手段の一種）、および保護基板２４が積層されてユニット化されている。

ケース２６は、底面側に流路ユニット２１が固定される合成樹脂製の箱体状部材である。このケース２６の下面側には、当該下面からケース２６の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空部４７が形成されており、流路ユニット２１上に積層された圧力発生ユニット１４が収容空部４７に収容される。また、ケース２６には、インク導入路４５が形成されている。上記インクカートリッジ７側からのインクは、インク導入路４５を通じて流路ユニット２１の共通液室３２に導入されるように構成されている。

図３は、圧力室形成基板２９における連通基板２３との接合面の要部拡大平面図である。流路ユニット２１の構成部材である圧力室形成基板２９は、シリコン単結晶基板（結晶性基板の一種。以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板２９には、圧力室３１を区画する圧力室空部３４が、ノズルプレート２２の各ノズル２７に対応して異方性エッチング処理によって複数形成されている。このように、シリコン基板に対して異方性エッチングによって圧力室等の流路部分を形成することで、より高い寸法・形状精度を確保することができる。また、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面において、隣り合う圧力室空部３４の開口同士に挟まれた領域には、複数の窪部（凹部）３３が、互いに間隔を空けて複数形成されている。この窪部３３の詳細については後述する。

圧力室形成基板２９における圧力室空部３４の一方（上面側）の開口部は、圧力発生ユニット１４の弾性膜３０によって封止される。また、圧力室形成基板２９における弾性膜３０とは反対側の面には、連通基板２３が接合され、当該連通基板２３によって圧力室空部３４の他方の開口部が封止される。これにより、圧力室３１が区画形成される。圧力室３１は、ノズル２７の並設方向（第１の方向）に直交する方向（第２の方向）に長尺な空部である。この圧力室３１の第２の方向の一端部は、連通基板２３のノズル連通路３６を介してノズル２７と連通する。また、圧力室３１の第２の方向の他端部は、連通基板２３の個別連通口４２を介して共通液室３２と連通する。そして、この圧力室３１は、ノズル２７毎に対応してノズル列方向（第１の方向）に沿って複数並設されている。

連通基板２３は、圧力室形成基板２９と同様にシリコン基板から作製された板材である。この連通基板２３には、圧力室形成基板２９の複数の圧力室３１に共通に設けられる共通液室３２（リザーバー）となる空部が、異方性エッチングによって形成されている。この共通液室３２は、各圧力室３１の並設方向（即ち第１の方向）に沿って長尺な空部である。本実施形態における共通液室３２は、連通基板２３の板厚方向を貫通した第１液室３２ａと、連通基板２３の下面側から上面側に向けて当該共通液室形成部材２３の板厚方向の途中まで上面側に肉薄部３８を残した状態で形成された第２液室３２ｂと、から構成される。肉薄部３８は、当該第２液室３２ｂの天井面を構成する。この第２液室３２ｂの第２の方向における一端部（ノズル２７から遠い側の端部）は、第１液室３２ａと連通する一方、同方向の他端部は、圧力室３１の下方に対応する位置に形成されている。この第２液室３２ｂの他端部、すなわち、第１液室側５１とは反対側の縁部には、薄肉部４０を貫通する個別連通口４２が、圧力室形成基板２９の各圧力室３１に対応して第１の方向に沿って複数形成されている。この個別連通口４２の下端は、第２液室３２ｂと連通し、個別連通口４２の上端は、圧力室形成基板２９の圧力室３１と連通する。

上記のノズルプレート２２は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル２７を列状に開設した板材である。本実施形態では、３００ｄｐｉに対応するピッチで３００個のノズル２７を列設することでノズル列が構成されている。本実施形態においては、当該ノズルプレート２２に２条のノズル列が形成されている。本実施形態におけるノズルプレート２２は、シリコン基板から作製されている。そして、当該基板に対してドライエッチングを施すことにより円筒形状のノズル２７が形成されている。そして、上記の共通液室３２から個別連通口４２、圧力室３１、およびノズル連通路３６を通ってノズル２７に至るまでのインク流路が、本発明における液体流路に相当する。また、ノズル２７毎に設けられた個別連通口４２、圧力室３１、およびノズル連通路３６は、個別流路を構成する。この個別流路は、狭義の液体流路でもある。

圧力室形成基板２９の上面に形成された弾性膜３０は、例えば厚さが約１μｍの二酸化シリコンから構成される。また、この弾性膜３０上には、図示しない絶縁膜が形成される。この絶縁膜は、例えば、酸化ジルコニウムから成る。そして、この弾性膜３０および絶縁膜上における各圧力室３１に対応する位置に、圧電素子３５がそれぞれ形成される。圧電素子３５は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３５は、弾性膜３０および絶縁膜上に、金属製の下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層、および、金属製の上電極膜（何れも図示せず）が順次積層された後に、圧力室３１毎にパターニングされて構成される。そして、上電極膜または下電極膜の一方が共通電極とされ、他方が個別電極とされる。また、弾性膜３０、絶縁膜、および下電極膜が、圧電素子３５の駆動時に振動板として機能する。つまり、この部分が、液体噴射を行うための駆動部分に相当する。

上記流路ユニット２１を構成するノズルプレート２２、連通基板２３、および圧力室形成基板２９は、互いに接着剤によって接合される。接着剤としては、エポキシ系接着剤、シリコン系接着剤、若しくはウレタン系接着剤等が用いられる。ここで、図３に示すように、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面における隣り合う一方の圧力室空部３４の開口縁４７ａと他方の圧力室空部３４の開口縁４７ｂとの間の最短距離（開口縁の法線方向の距離）Ａは、５０μｍ以上である。このように、従来の液体噴射ヘッドにおいて、隣り合う液体流路の開口部同士の間の領域の幅が５０μｍ以上である場合に、接着剤を転写したときの当該接着剤の厚さが不均一となる波うち現象が生じやすく、これにより液体流路間での液体の漏出が生じる虞があった。本発明に係る流路ユニット２１は、当該流路ユニット２１を構成する基板に対して接着剤を転写する構成における接着不良を低減して、インクの漏出を抑制するように構成されている。以下、この点について説明する。

本発明に係る流路ユニット２１では、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面において隣り合う圧力室空部３４のうちの一方の圧力室空部３４の開口縁４７ａと他方の圧力室空部３４の開口縁４７ｂとの間に挟まれた領域（以下、流路開口間領域４８）に、これらの開口縁４７に沿って窪部３３が互いに間隔を空けて複数形成されている。この窪部３３は、圧力室空部３４と同様に異方性エッチングにより、上記接合面から圧力室形成基板２９の板厚方向の途中まで形成されており、圧力室３１等のインク流路から独立した空間である。圧力室形成基板２９の厚さが４００μｍであるのに対し、窪部３３の深さは、例えば、２０〜３０μｍ程度である。この窪部３３の開口縁から、一方の圧力室空部３４の開口縁４７ａまでの最短距離Ｂ１、或は、他方の圧力室空部３４の開口縁４７ｂまでの最短距離Ｂ２の少なくとも一方は、３０μｍ以下、望ましくは、２２μｍ以下（但し、Ｂ１＞０，Ｂ２＞０）に設定される。また、隣り合う窪部３３同士の間隔（窪部３３の開口縁同士の間隔）Ｃも３０μｍ以下、望ましくは、２２μｍ以下（但し、Ｂ１＞０，Ｂ２＞０）に設定される。本実施形態において、隣り合う圧力室空部３４のうちの一方の圧力室空部３４が本発明における第１の流路部に相当し、他方の圧力室空部３４が、本発明における第２の流路部に相当する。また、本実施形態における圧力室形成基板２９が一方の基板、連通基板２３が他方の基板にそれぞれ相当する。

本実施形態における流路ユニット２１を製造する際には、まず、圧力室形成基板２９（圧力室空部３４が形成されていない状態のシリコン基板）の上面に弾性膜３０、絶縁膜が順次形成された後、圧電素子３５が焼成により形成される。この状態で、圧力室形成基板２９の下面側（連通基板２３との接合面側）から、例えば水酸化カリウム水溶液からなるエッチング溶液を用いてウェットエッチング（異方性エッチング）によって圧力室空部３４および窪部３３が形成される。ここで、圧力室空部３４が圧力室形成基板２９を貫通する状態に形成されるのに対し、窪部３３は圧力室形成基板２９の板厚方向の途中まで形成されるように、エッチングのマスクパターンや加工時間が調整される。同様に、連通基板２３には、共通液室３２、個別連通口４２、およびノズル連通路３６等がウェットエッチングにより形成される。一方、ノズルプレート２２には、ドライエッチングによりノズル２７が形成される。

流路ユニット２１を構成する各基板に対してインク流路となる部分が形成されたならば、続いて、各基板を接着剤により接合する。以下においては、特に圧力室形成基板２９と連通基板２３とを接合する工程について、図４を参照しつつ説明する。なお、図４は、圧力室形成基板２９の流路開口間領域４８近傍の構成の模式的な断面図である。
まず、図４（ａ）に示すように、予めスキージにより接着剤５０が塗布された転写用フィルム４９を、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面に所定の圧力を付与しつつ貼付する。なお、接着剤の転写方法については従来から周知の方法を採用することができる。続いて、図４（ｂ）に示すように、転写フィルム４９を、圧力室形成基板２９の一方の端から他方の端に向けて圧力室形成基板２９から剥がしていく。これにより、図４（ｃ）に示すように、圧力室形成基板２９の接合面において、圧力室空部３４の開口および窪部３３の開口以外の部分に、接着剤５０が転写される。ここで、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面における流路開口間領域４８に窪部３３が複数形成されていることで、窪部３３と圧力室空部３４の開口との間、或は、窪部３３同士の間は、３０μｍ以下の幅の狭小な領域となり、この領域での接着剤の波うち現象の発生が抑制される。

圧力室形成基板２９に接着剤５０が転写されたならば、続いて、当該接着剤５０が転写された面に対して連通基板２３が接合される。この際、圧力室形成基板２９と連通基板２３との間の接着剤５０の一部は、窪部３３内に流入する。そして、接着剤５０が硬化すると、窪部３３に流入した接着剤５０のアンカー効果も手伝って、圧力室形成基板２９と連通基板２３とが強固に接着・接合される。窪部３３内の部分を除き、接着剤５０の厚さは１０μｍ以下と極めて薄く尚且つ均一となっており、また、接合時に基板間が押圧された際に余分な接着剤が窪部３３に流入するので、接着剤５０が圧力室３１等のインク流路側に漏出することが抑制される。同様にして、連通基板２３の圧力室形成基板２９とは反対側の面にノズルプレート２２が接着により接合される。この場合、連通基板２３のノズルプレート２２との接合面に対して接着剤が転写され、両基板が接合される。このようにして流路ユニット２１がユニット化され、当該流路ユニット２１の内部には、共通液室３２、個別連通口４２、圧力室３１、およびノズル連通路３６を通ってノズル２７に至るまでのインク流路が形成される。

このように、圧力室形成基板２９の連通基板２３との接合面における流路開口間領域４８に、インク流路に対して独立した窪部３３が形成され、一方の流路部の開口縁（開口縁４７ａ）と窪部３３との間、または他方の流路部の開口縁（開口縁４７ａ）と窪部３３との間の少なくとも一方の最短距離が３０μｍ以下に設定されることにより、基板の接合面に対して転写による接着剤の塗布が行われ構成において、接着剤の波うち現象の発生が低減され、接着剤層の厚さを比較的薄く且つ均一にすることができる。その結果、インク流路側への接着剤の漏出の抑制と、インク流路間のインクの漏出の抑制とを両立させることが可能となる。

実験では、流路開口間領域４８における接着剤層が形成される部分の幅が３０μｍ以下であれば、インク流路間でのインクの漏出を抑制する効果が得られ、当該部分の幅が２２μｍ以下であれば、漏出が殆ど生じないという結果が得られた。したがって、一方の流路部の開口縁と窪部３３との間、または他方の流路部の開口縁と窪部３３との間の最短距離が２２μｍ以下に設定されることで、インク流路間のインクの漏出をより確実に抑制することが可能となる。同様に、隣り合う窪部３３同士の開口縁間の最短距離が、３０μｍ以下であることが望ましく、２２μｍ以下であることがより望ましい。これにより、隣り合う窪部３３同士の間の領域で接着剤の波うち現象の発生が抑制されるので、インク流路間のインクの漏出をさらに確実に抑制することが可能となる。

ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

例えば、圧力室形成基板２９の隣り合う圧力室空部３４同士の間の流路開口間領域４８に窪部３３を設ける構成を例示したが、必ずしもこれには限られない。要は、液体流路材の一部を構成する基板の他の基板との接合面における隣り合う液体流路の開口同士の最短距離が５０μｍ以上であり、これらの液体流路間で液体の漏出が問題となる場合には、両開口縁に挟まれる領域に窪部を設けることにより、上記実施形態と同様の作用効果が得られる。

また、図５に示す変形例のように、インク流路部の開口縁同士は必ずしも平行でなくてもよく、互いに多少傾斜していてもよい。同図に例示した変形例では、圧力室３１（圧力室空部３４）の列が複数列設けられており、これらの圧力室列間でもインクの漏出が問題となる構成である。同図において上下方向（第１の方向）に沿って並設された複数の圧力室３１により圧力室列５１ａ，５１ｂが構成され、当該圧力室列５１ａ，５１ｂが、図の左右方向（第２の方向）に互いに最短距離Ｃを空けて並設されている。当該構成において図の左右に隣り合う圧力室空部３４の開口縁４７ｃ，４７ｄ同士は、互いに傾斜している。この構成において、窪部３３の開口縁から、一方の圧力室空部３４の開口縁４７ｃまでの最短距離、或は、他方の圧力室空部３４の開口縁４７ｄまでの最短距離の少なくとも一方は、３０μｍ以下、望ましくは、２２μｍ以下に設定される。また、隣り合う窪部３３同士の間隔も３０μｍ以下、望ましくは、２２μｍ以下に設定される。この構成において、図で左右に隣り合う圧力室空部３４のうちの一方の圧力室空部３４が本発明における第１の流路部に相当し、他方の圧力室空部３４が、本発明における第２の流路部に相当する。そして、両開口縁４７ｃ，４７ｄの最短距離Ｃ（流路開口間領域４８′の最少幅）に応じて、窪部３３の列を複数列設けることもできる。これにより、圧力室列５１ａ，５１ｂ間でインクの漏出を抑制することが可能となる。

さらに、窪部３３に関し、の開口形状が平行四辺形状のものを例示したが、これには限られない。例えば、図６に示す他の変形例のように、流路開口間領域に沿って延在する溝状の開口を有する窪部３３′を採用することもできる。この構成によれば、隣り合うインク流路部の開口間の流路開口間領域が溝状の窪部３３′によって分断されるので、これらのインク流路間におけるインクの漏出を一層確実に抑制することができる。なお、他の構成については上記実施形態と同様である。

そして、以上では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３（記録ヘッド３）を例に挙げて説明したが、本発明は、複数の板状の構成部材を接着剤により接合することで液体の流路が画成される構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。

１…プリンター，３…記録ヘッド，２１…流路ユニット，２２…ノズルプレート，２３…連通基板，２７…ノズル，２９…圧力室形成基板，３１…圧力室，３２…共通液室，３３…窪部，３４…圧力室空部，４７…圧力室空部の開口縁，４８…流路開口間領域，４９…転写用フィルム，５０…接着剤

Claims (6)

1. 基板同士を接着剤により接合することにより液体噴射ヘッドの液体流路の少なくとも一部を区画する液体流路材であって、
   上記各基板のうち少なくとも一方の基板には、前記液体流路の一部となる第１の流路部および第２の流路部が、互いに間隔を空けてそれぞれ形成され、
   前記一方の基板の接合面における第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁との間の最短距離は、５０μｍ以上であり、
   前記接合面における第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁との間に挟まれた領域には、前記液体流路に対して独立した窪部が形成され、
   前記第１の流路部の開口縁と前記窪部との間、または第２の流路部の開口縁と前記窪部との間の少なくとも一方の最短距離が、３０μｍ以下であることを特徴とする液体流路材。
2. 前記窪部と前記第１の流路部の開口縁または第２の流路部の開口縁との間の最短距離、および、隣り合う窪部同士の最短距離が、望ましくは２２μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の液体流路材。
3. 前記接合面における前記第１の流路部の開口縁と前記第２の流路部の開口縁との間に挟まれた領域には、複数の窪部が互いに間隔を空けて形成され、
   隣り合う窪部同士の開口縁間の最短距離が、３０μｍ以下、望ましくは２２μｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体流路材。
4. 前記第１の流路部の開口縁と第２の流路部の開口縁とは互いに平行であることを特徴とする請求項１から請求項３の何れ一項に記載の液体流路材。
5. 請求項１から請求項４の何れか一項に記載の液体流路材を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。

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