JP4970510B2 - 組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法およびその半導体装置の試験システム - Google Patents

Description

本発明は、組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法およびその半導体装置の試験システムに関し、特に複数のスイッチングモジュールを整合させた組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法およびその半導体装置の試験システムに関する。

一般的に、ウェハ上の集積回路素子にはまずその電気的特性の試験を行って、集積回路素子の製品規格に対する合否を判定する必要がある。電気的規格に合格した集積回路素子は選び出されて後続の封止工程を行う一方で、電気的規格に合格しなかった集積回路素子は、余分な封止コストの増加をなくすために破棄される。封止が完成した集積回路素子には再度電気的特性の試験を行い、基準に合わない素子を篩い分けて、最終的な歩留まりを高める必要がある。

各形式の測定ユニットを備えた電子機器は、ウェハ上の素子および回路の機能を測定および分析するために広く使用されている。所望の試験が行えるようにするために、測定ユニットから引き出されている複数本の試験リード線は測定ユニットと被検査素子またはウェハ上の素子および回路の選択点とを接続している。集積回路素子の電気的特性を試験する場合、慣例によれば、カスタマイズされた、または汎用型のマトリクス装置（またはマルチプレクサ）で試験機器と複数（または一つ）の被検査素子との間の接続の切替えを容易にしている。マトリクス装置は、使用者のコマンドに基づいて入力ポートから出力ポートまでの任意の組合せで接続するように構成されている。

ウェハ段階において、被検査素子の電気的特性の試験について言えば、一つ以上の試験機器（測定したい電気的特性による）をマトリクス装置の入力ポートに接続して、プローブカードをマトリクス装置の出力ポートに接続し、そして被検査素子をさらにプローブカードに接続する。マトリクス装置の入力ポートおよび出力ポートはリレースイッチ（ｒｅｌａｙ ｓｗｉｔｃｈ）に接続されて、当該マトリクス装置またはマルチプレクサの接続経路を構成しており、そしてマトリクス装置の入力ポートと出力ポートとの間の電気的な接続はリレースイッチによりオン・オフされる。上記した技術は封止段階での被検査素子の試験、またはプリント回路上のソケットを用いて試験機器の回路に直接（またはマトリクス装置またはマルチプレクサを介して）接続して試験するものにも応用できる。特許文献１から５などの文献には、集積回路素子の試験にマトリクス装置を応用する技術が開示されている。

米国特許第６,０６９,４８４号明細書 米国特許第５,１２４,６３８号明細書 米国特許第５,５５９,４８２号明細書 米国特許第６,７９１,３４４号明細書 米国特許第６,１００,８１５号明細書

従来のように、複数のスイッチングモジュールを並列または直列に接続するならば、使用者はこれらスイッチングモジュールの入力ポートおよび出力ポートの複雑な接続関係を覚えていなければ、前記入力ポートと前記出力ポートとの間の電気的な接続チャネルを正確に切換えることができず、この方法では使用者の作業における負担が大幅に増大してしまう。

本発明は、使用者の作業効率を高めるとともに、試験コストの削減に寄与する、複数のスイッチングモジュールを整合した組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法およびその半導体装置の試験システムを開示する。

本発明の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法における一実施例では、まず、複数の第１の入力ポートと、複数の第１の出力ポートと、前記第１の入力ポートと前記第１の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されている複数の第１のスイッチと、を備えた第１のスイッチングモジュール；および、複数の第２の入力ポートと、複数の第２の出力ポートと、前記第２の入力ポートと前記第２の出力ポートの電気的接続をオンまたはオフするように構成されている複数の第２のスイッチと、を備えた第２のスイッチングモジュール、この二つのスイッチングモジュールを設定する。次に、少なくとも前記第１の出力ポートうちの一つと前記第２の入力ポートのうちの一つとを接続して、複数の入力端子と、複数の出力端子と、前記入力端子および前記出力端子の接続状態を表す複数の仮想スイッチとを備えた組合せ型スイッチングマトリクスを形成する。続いて、前記第１の出力ポートと前記第２の入力ポートとの接続関係を考慮して、前記仮想スイッチと前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチとの対応関係を含む接続マッピングテーブルを作成する。その後、前記入力端子、前記出力端子および前記仮想スイッチのオン・オフ状態を表すチャネル切換えインターフェイスを表示する。この構造では、さらに拡張させて、第３のスイッチングモジュール、第４のスイッチングモジュールまたは更に多くのスイッチングモジュールを使用してもよい。

本発明の半導体装置の試験システムにおける一実施例では、組合せ型スイッチングマトリクスと、プロセッサと、前記組合せ型スイッチングマトリクスと前記プロセッサとを接続するコントローラとを備えている。前記組合せ型スイッチングマトリクスは、第１のスイッチングモジュールと第２のスイッチングモジュールとを備えており、前記第１のスイッチングモジュールは複数の第１の入力ポートと、複数の第１の出力ポートと、複数の第１のスイッチとを備えており、前記第２のスイッチングモジュールは複数の第２の入力ポートと、複数の第２の出力ポートと、複数の第２のスイッチとを備えている。前記第１のスイッチは前記第１の入力ポートと前記第１の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されており、前記第２のスイッチは前記第２の入力ポートと前記第２の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されている。少なくとも前記第１の出力ポートのうちの一つは前記第２の入力ポートのうちの一つに接続される。前記プロセッサは前記使用者による入力に基づいて変更コマンドを生成するように構成されており、前記コントローラは前記変更コマンドに基づいて、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチの接続状態を制御するように構成されている。

本発明では、簡単なスイッチングモジュールを使用することで、高度で複雑、かつカスタマイズされたスイッチングマトリクス（またはマルチプレクサ）を構成することができ、標準的なスイッチングモジュールを使用し構成し得るので、特定の試験需要を満たすことができる。また、入力ポートおよび出力ポートの数が少ない簡易型のマトリクスは、本発明により後々拡張しアップグレードすることができるものであり、被検査素子および回路の試験に応じて、入力ポートおよび出力ポートを増加することも可能である。

本発明の一実施例における半導体装置の試験システムの機能ブロック図 図１におけるスイッチングモジュールの一実施例を示す図 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築フローチャート 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法を示す図 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法を示す図 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法を示す図 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法を示す図 本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法を示す図 本発明の他の実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築フローチャート 本発明の他の実施例における組合せ型スイッチングマトリクスの構築フローチャート

上記では本発明の技術的特徴および長所をかなり広範囲に概略的に説明しているが、下記の本発明の詳細な説明により良く理解されうるものである。本発明の特許請求の標的を構成するその他技術的特徴および長所は下記に説明する。本発明が属する技術分野における当業者であれば、下記に開示する技術的思想および特定の実施例を用いて、容易に改変、またはその他構成または手順を設計して、本発明と同一目的を達成することができることを理解するはずである。本発明が属する技術分野における当業者であれば、これら等価の構造は別紙の特許請求の範囲で限定する本発明の技術的思想および範囲を逸脱しないことも理解するはずである。

図１には本発明の一実施例における試験システム１０の機能ブロック図を示す。前記試験システム１０は複数の測定ユニット１２と、組合せ型スイッチングマトリクス３０と、プローブカード１４と、被検査素子（例えば集積回路素子）１６と、コントローラ１８と、操作システム２０とを備えている。前記測定ユニット１２は、被検査素子を駆動するための、例えば電流源、電圧源またはディジタル信号源といった電源供給手段と、前記被検査素子１６の電気的特性を測定するための、電流計、電圧計、オシロスコープまたはデジタイザなどの検出機器（図示しない）とを備えている。ウェハ段階の電気的特性の試験では、前記プローブカード１４は、前記被検査素子１６の接触パッドに接触するための複数本のプローブを備えている。前記組合せ型スイッチングマトリクス３０は、同一または異なるスイッチングモジュールとすることができる互いに接続されている複数のスイッチングモジュール４０を備えている。前記操作システム２０は、モニタ２２と、入力装置２４と、記憶手段２６と、前記記憶手段２６、前記入力装置２４、前記モニタ２２および前記コントローラ１８の動作を制御するよう構成されているプロセッサ２８とを備えている。

図２には図１におけるスイッチングモジュール４０の一実施例を示す。前記スイッチングモジュール４０はＭ個の行端子と、Ｎ個の列端子とを備えており、ＭおよびＮは１より大きい整数である。前記行端子１からＭまでは対応する行配線４２に接続されており、前記列端子１からＮまでは対応する列配線４４に接続されている。行配線４２と列配線４４との間に接続されている二つの接続点はマトリクス方式で配列されているスイッチ４６（ＳＷ_ｉ,ｊ）を備えており、この下付文字の前部分は各行配線４２の位置に対応していることを表し、後部分は各列配線４４の位置に対応していることを表している。スイッチＳＷ_１,１がオフのときには行端子１と列端子１とが電気的に接続されている状態を表し、スイッチＳＷ_１,１がオンのときは行端子１と列端子１とは電気的に接続されていない状態を表す。前記スイッチ４６（ＳＷ_ｉ,ｊ）はリレースイッチ（ｒｅｌａｙ）により実現することができ、そして前記コントローラ１８は前記プロセッサ２８の変更コマンドに基づいて構築され、前記スイッチ４６のオン・オフ状態を制御して、前記測定ユニット１２と前記被検査素子１６との電気的な接続経路を切換えるようになっている。

前記試験システム１０において、試験信号は前記測定ユニット１２の一つから生成され、さらに前記組合せ型スイッチングマトリクス３０のスイッチングモジュール４０、前記プローブカード１４を介して前記被検査素子１６に送信される。また一方では、前記被検査素子１６の電気信号は前記プローブカード１４を介して、さらに前記組合せ型スイッチングマトリクス３０のスイッチングモジュール４０を介して前記測定ユニット１２のセンサに送信される。また、前記スイッチングモジュール４０の行端子および列端子は双方向の信号伝送機能を備えている。前記行端子はデータを受信するための前記スイッチングモジュール４０の入力ポートとすることができ、このとき前記列端子は前記スイッチングモジュール４０の出力ポートとされる。前記行端子もまたデータを送信するための前記スイッチングモジュール４０の出力ポートとすることができ、このとき前記列端子は前記スイッチングモジュール４０の入力ポートとされる。

前記被検査素子１６のピン数変化に対応すべき解決方法としては、使用者が直接、各種の被検査素子１６に対して、対応する行／列端子を有するスイッチングマトリクスを実際に製作するものがあるが、この方法ではスイッチングマトリクスの間に整合させるインターフェイスが設計されていないため、組み合わせることはできない。また別の解決方法として、複数のスイッチングモジュールを並列または直列に接続することで、対応する行／列端子を有する組合せ型スイッチングマトリクス３０を製作することもある。しかしながら、この方法では構築も維持も難しい。なぜならば、複数のスイッチングモジュール４０を並列または直列に接続するならば、使用者はこれらスイッチングモジュール４０の入力ポートおよび出力ポートの複雑な接続関係を覚えていなければ、前記入力ポートと前記出力ポートとの間の電気的な接続チャネルを正確に切換えることができず、この方法では使用者の作業における負担が明らかに大幅に増大してしまうからである。使用者にとっての作業効率を高めて、試験にかかるコスト削減に寄与するために、本発明では、既存のスイッチングモジュールを使用し、使用者はこれらスイッチングモジュール４０の入力ポートと出力ポートの複雑な接続関係を覚える必要のない組合せ型スイッチングマトリクス３０の構築方法を提供している。

図３には本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクス３０の構築フローチャートが示されており、主に下記のようなステップが含まれる。第１のスイッチングモジュールおよび第２のスイッチングモジュールを選択する（ステップＳ１０）、前記第１のスイッチングモジュールおよび前記第２のスイッチングモジュールの入力ポートおよび出力ポートを設定する（ステップＳ２１０）、少なくとも前記第１の出力ポートのうちの一つおよび前記第２の入力ポートのうちの一つを接続して、前記組合せ型スイッチングマトリクスを形成する（ステップＳ３２０）、前記第１のスイッチングモジュールの出力ポートと前記第２のスイッチングモジュールの入力ポートとの接続関係を考慮して、接続マッピングテーブルを作成する（ステップＳ４０）、前記入力端子、前記出力端子および前記仮想スイッチのオン・オフ状態を表すチャネル切換えインターフェイスを表示する（ステップＳ５０）。以下にて、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０の構築方法の仔細を説明する。

図４ないし図８には本発明の一実施例における組合せ型スイッチングマトリクス３０の構築方法を例示している。図３のステップＳ１０および図４を参照する。まず前記モニタ２２には、使用者がその中の第１のスイッチングモジュール４０Ａおよび第２のスイッチングモジュール４０Ｂを選択できるようにデータベース５０が表示される。前記スイッチングモジュールのリストを有するデータベース５０は、例えば図４に示すように、スイッチングモジュール４０Ａ〜４０Ｘまでのモデル番号、列端子および行端子の数といった複数のスイッチングモジュール４０Ａ〜４０Ｘのデータを格納するための前記記憶手段２６により実現される。前記第１のスイッチングモジュール４０Ａは複数の第１の接続ポート（三個の行端子と三個の列端子）と、複数の第１のスイッチ（Ａ_ｉ,ｊ）とを備えており、前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂは複数の第２の接続ポート（二個の行端子と四個の列端子）と、複数の第２のスイッチ（Ｂ_ｉ,ｊ）とを備えている。

図５を参照する。使用者は前記入力装置２４（例えばマウス、キーボードまたはタッチペン）により前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの一部第１の接続ポート（例えば三個の列端子）を第１の出力ポートＡＯ１〜ＡＯ３に設定し、その他の第１の接続ポート（つまり三個の行端子）を第１の入力ポートＡＩ１〜ＡＩ３に設定するとともに、前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの一部第２の接続ポート（例えば二個の行端子）を第２の入力ポートＢＩ１〜ＢＩ２に設定し、その他の第２の接続ポート（つまり四個の列端子）を第２の出力ポートＢＯ１〜ＢＯ４に設定する。上述したように、前記スイッチングモジュール４０Ａおよび４０Ｂの行端子および列端子は双方向の信号伝送機能を備えているので、使用者は需要に応じて前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの三つの列端子を入力ポートに、二個の行端子を出力ポートに選択的に設定できる。前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂもまた同様である。

図３のステップＳ３０および図６を参照する。使用者は前記入力装置２４により、前記第１の出力ポートＡＯ１〜ＡＯ３のうちの一つ（二列目の端子ＡＯ２）と前記第２の入力ポートＢＩ１〜ＢＩ２のうちの一つ（一行目の端子ＢＩ１）とを接続して、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０を形成する。前記組合せ型スイッチングマトリクス３０は複数の入力端子Ｉ１〜Ｉ３（つまり第１のスイッチングモジュール４０Ａの三個の行端子ＡＩ１〜ＡＩ３）と、複数の出力端子Ｏ１〜Ｏ４（つまり第２のスイッチングモジュール４０Ｂの四個の列端子ＢＯ１〜ＢＯ４）とを備えている。つまり、前記第１のスイッチングモジュール４０Ａと前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂとを組み合わせることで、３×４の仮想スイッチングモジュール（つまり組合せ型スイッチングマトリクス３０）が形成されるので、新たな３×４のスイッチングモジュールを実際に別途製作する必要はなくなる。

本発明の一実施例において、前記第１の出力ポートＡＯ２（二列目の端子）と前記第２の入力ポートＢＩ１（一行目の端子）とを接続し、前記入力装置２４によりまず前記第１の出力ポートＡＯ２を第１の接続点として選択して、さらに前記第２の入力ポートＢＩ１を第２の接続点として選択するとともに、前記第１の接続点と第２の接続点とを接続して接続関係を確立することができる。本発明の他の実施例において、前記第１の出力ポートＡＯ２（二列目の端子）と前記第２の入力ポートＢＩ１（一行目の端子）とを接続し、前記入力装置２４によりまず前記第１の出力ポートＡＯ２を第１の接続点として選択するとともに配線を形成し、前記第１の接続点を開始点として、さらに前記配線を前記第２の入力ポートＢＩ１にまで引き延ばして接続関係を確立することができる。

図３のステップＳ４０および図７を参照する。前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ２と前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの入力ポートＢＩ１との接続関係を考慮して、前記プロセッサ２８が接続マッピングテーブル５２を作成する。前記組合せ型スイッチングマトリクス３０は、前記入力端子Ｉ１〜Ｉ３および前記出力端子Ｏ１〜Ｏ４のチャネルのオン・オフ状態を表す複数の仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）を備えている。前記接続マッピングテーブル５２は前記仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）と前記第１のスイッチ（Ａ_ｉ,ｊ）および前記第２のスイッチ（Ｂ_ｉ,ｊ）との対応関係を表している。本発明の一実施例において、前記記憶手段２６も前記接続マッピングテーブル５２を格納するように構成されている。

例示するならば、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０の入力ポートＩ１と出力ポートＯ１との間に信号チャネルを確立したいのであれば、前記仮想スイッチＳ_１,１はオフにしなければならず、そして前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ２と前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの入力ポートＢＩ１との接続関係に基づいて、前記仮想スイッチＳＷ_１,１のオフは前記第１のスイッチ（Ａ_１,３）および前記第２のスイッチ（Ｂ_１,１）が同時にオフ状態とならなければならないことを表す。つまり前記仮想スイッチ（Ｓ_１,１）と前記第１のスイッチ（Ａ_１,３）と前記第２のスイッチ（Ｂ_１,１）の論理的な接続関係は論理ＡＮＤとなる。同様に、その他の仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）と第１のスイッチ（Ａ_ｉ,ｊ）と第２のスイッチ（Ｂ_ｉ,ｊ）の論理的な接続関係もまた確立されて前記接続マッピングテーブル５２を形成することができる。

図３のステップＳ５０および図８を参照する。前記モニタ２２には、前記入力端子Ｉ１〜Ｉ３と、前記出力端子Ｏ１〜Ｏ４と、前記仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）のオン・オフ状態を表す複数のアイコンを含むチャネル切換えインターフェイス６０が表示されている。例えば、前記仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）がオフ状態であることを表す第１のアイコン（第１の色または第１の図形）を使用するとともに、前記仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）がオン状態であることを表す第２のアイコン（第２の色または第２の図形）を使用している。本発明の一実施例において、前記仮想スイッチ（Ｓ_１,３）がオフ状態であることを表す、塗りつぶした円のアイコンを使用するとともに、前記仮想スイッチ（例えば、Ｓ_１,１）がオン状態であることを表す白抜きの円のアイコンを使用している。

上記ステップによれば、操作システム２０は前記組合せ型スイッチングマトリクス３０を構築する仮想ステップを実行すると見なすことができる。もし仮想の結果が、前記被検査素子１６を試験する需要（入力端子数および出力端子数）に符合するのであれば、使用者は前記第１のスイッチングモジュール４０Ａおよび第２のスイッチングモジュール４０Ｂの実物を使用して、図６に示す接続方式に基づき前記第１の出力ポートＡＯ２と前記第２の入力ポートＢＩ１とを実際に電気的に接続することで、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０の実物を形成することができる。その後、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０の出力端子Ｏ１〜Ｏ４を前記プローブカード１４に電気的に接続するとともに、前記入力端子Ｉ１〜Ｉ２を前記測定ユニット１２に接続することで、前記組合せ型スイッチングマトリクス３０を使用して前記測定ユニット１２と前記被検査素子１６との間の電気的な接続経路を迅速に切換えることができる。また、使用者は前記入力装置２４により組合せ型スイッチングマトリクス３０の仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）のオン・オフ状態を変更することができる。

本発明の一実施例において、前記入力装置２４はタッチペンであり、前記チャネル切換えインターフェイス６０を表示する前記モニタ２２はタッチスクリーン型のモニタである。使用者はタッチペン２４で前記タッチスクリーン型のモニタ２２に表示されているチャネル切換えインターフェイス６０の仮想スイッチ（Ｓ_１,３）に直接触れることができる。前記プロセッサ２８は前記接続マッピングテーブル５２に基づいて、前記仮想スイッチ（Ｓ_１,３）に対応する第１のスイッチ（Ａ_１,３）および前記第２のスイッチ（Ｂ_１,３）のオン・オフ状態を変更するように、変更コマンドを前記コントローラ１８に送信するとともに、前記モニタ２２は前記チャネル切換えインターフェイス６０の仮想スイッチ（Ｓ_１,３）の表示状態を対応させて変更する（塗りつぶした円から白抜きの円に変更する）。

前記操作システム２０および前記チャネル切換えインターフェイス６０により、使用者は前記組合せ型スイッチングマトリクス３０における仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）と前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの第１のスイッチ（Ａ_ｉ,ｊ）および前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの第２のスイッチ（Ｂ_ｉ,ｊ）との複雑な対応関係に配慮することなく、前記測定ユニット１２と前記被検査素子１６との電気的な接続経路を容易にしかも正確に切換えることができる。よって本発明は、使用者が前記組合せ型スイッチングマトリクス３０（複数のスイッチングモジュールを並列または直列に接続した）を使用する作業上の負担を大幅に軽減することができるのは明らかである。

図９および図１０には本発明の他の実施例における組合せ型スイッチングマトリクス７０の構築フローチャートが示されている。まず第１のスイッチングモジュール４０Ａ、第２のスイッチングモジュール４０Ｂ、第３のスイッチングモジュール４０Ｃおよび第４のスイッチングモジュール４０Ｄを選択し、さらに各スイッチングモジュールの入力ポート（ＡＩ１〜ＡＩ３、ＢＩ１〜ＢＩ２、ＣＩ１〜ＣＩ２、ＤＩ１〜ＤＩ２）および出力ポート（ＡＯ１〜ＡＯ３、ＢＯ１〜ＢＯ４、ＣＯ１〜ＣＯ５、ＤＯ１〜ＤＯ６）を設定する。その後、前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ２を前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの入力ポートＢＩ１に接続し、前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ３を前記第３のスイッチングモジュール４０Ｃの入力ポートＣＩ１に接続し、前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ３を前記第４のスイッチングモジュール４０Ｄの入力ポートＤＩ１に接続することで、前記組合せ型スイッチングマトリクス７０を形成する。次に前記第１のスイッチングモジュール４０Ａの出力ポートＡＯ２およびＡＯ３と、前記第２のスイッチングモジュール４０Ｂの入力ポートＢＩ１との接続関係、前記第３のスイッチングモジュール４０Ｃの入力ポートＣＩ１との接続関係、前記第４のスイッチングモジュール４０Ｄの入力ポートＤＩ１との接続関係に基づいて、接続マッピングテーブル（図示しない）を作成し、さらに、図１０に示すように、前記組合せ型スイッチングマトリクス７０の入力端子Ｉ１〜Ｉ３、出力端子Ｏ１〜Ｏ１５および前記仮想スイッチ（Ｓ_ｉ,ｊ）のオン・オフ状態を表すチャネル切換えインターフェイス７２を表示する。

本発明の技術内容および技術的特徴は上記のように開示したが、本発明が属する技術分野における当業者であれば、添付する特許請求の範囲で限定する本発明の技術的思想および範囲を逸脱することなく、本発明の教示および開示に様々な置換および付加を行うことは可能であることは理解するはずである。例えば、上記に開示した数多くの手順は、異なる方法で実施するか、またはその他手順に置き換えるか、または上記二種類の方式の組合せを採用することは可能である。

またこれ以外にも、本願の権利範囲は上記にて開示した特定の実施例の手順、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに限定されるものではない。本発明が属する技術分野の当業者であれば、本発明が教示および開示する製造工程、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに基づいて、現在または未来の開発者のいずれを問わず、本願の実施例に開示するものと実質的に同じ方式で実質的に同じ効果を実行して、実質的に同じ結果に到達できるうえ本発明に使用できることが理解できるはずである。したがって、別紙の特許請求の範囲は、この種の手順、機器、製造、物質の成分、装置、方法またはステップに用いるものを包括するのに用いることもできる。

１０ 試験システム
１２ 測定ユニット
１４ プローブカード
１６ 被検査素子
１８ コントローラ
２０ 操作システム
２２ モニタ
２４ 入力装置
２６ 記憶手段
２８ プロセッサ
３０ 組合せ型スイッチングマトリクス
４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ，４０Ｘ スイッチングモジュール
４０Ｘ スイッチングモジュール
４２ 行配線
４４ 列配線
４６ スイッチ
５０ データベース
５２ 接続マッピングテーブル
６０，７２ チャネル切換えインターフェイス
７０ 組合せ型スイッチングマトリクス
Ｓ１０，Ｓ２０，Ｓ３０，Ｓ４０，Ｓ５０ ステップ

Claims (24)

1. 組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法であって、
   まず、複数の第１の入力ポートと、複数の第１の出力ポートと、前記第１の入力ポートと前記第１の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されている複数の第１のスイッチと、を備えた第１のスイッチングモジュール、および、複数の第２の入力ポートと、複数の第２の出力ポートと、前記第２の入力ポートと前記第２の出力ポートの電気的接続をオンまたはオフするように構成されている複数の第２のスイッチと、を備えた第２のスイッチングモジュール、この二つのスイッチングモジュールを設定するステップと、
   少なくとも前記第１の出力ポートうちの一つと前記第２の入力ポートのうちの一つとを接続して、複数の入力端子と、複数の出力端子と、前記入力端子および前記出力端子の接続状態を表す複数の仮想スイッチとを備えた組合せ型スイッチングマトリクスを形成するステップと、
   前記第１の出力ポートと前記第２の入力ポートとの接続関係を考慮して、前記仮想スイッチと前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチとの対応関係が記載されている接続マッピングテーブルを作成するステップと、
   前記入力端子、前記出力端子および前記仮想スイッチを含むチャネル切換えインターフェイスを表示するステップと、
   を含むことを特徴とする組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
2. 第１のスイッチングモジュールおよび第２のスイッチングモジュールを設定するステップが、
   複数の接続ポートを備えた前記第１のスイッチングモジュール、および複数の接続ポートを備えた前記第２のスイッチングモジュールを選択することと、
   前記第１のスイッチングモジュールの一部接続ポートを前記第１の入力ポートに、その他接続ポートを前記第１の出力ポートに割り当てることと、
   前記第２のスイッチングモジュールの一部接続ポートを前記第２の入力ポートに、その他接続ポートを前記第２の出力ポートに割り当てることと、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
3. 前記第１のスイッチングモジュールおよび前記第２のスイッチングモジュールを選択できるように、前記第１のスイッチングモジュールおよび前記第２のスイッチングモジュールのデータが記載されているデータベースをモニタに表示すること、をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
4. 少なくとも前記第１の出力ポートうちの一つと前記第２の入力ポートのうちの一つとを接続するステップに、マウス、キーボードまたはタッチパネルを使用することを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
5. 少なくとも前記第１の出力ポートうちの一つと前記第２の入力ポートのうちの一つとを接続するステップが、
   前記第１の出力ポートのうちの一つを第１の接続点として選択することと、
   前記第２の入力ポートのうちの一つを第２の接続点として選択することと、
   前記第１の接続点と前記第２の接続点とを接続することと、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
6. 少なくとも前記第１の出力ポートうちの一つと前記第２の入力ポートのうちの一つとを接続するステップが、
   前記第１の出力ポートのうちの一つを第１の接続点として選択することと、
   前記第１の接続点を開始点とする配線を形成することと、
   前記配線を前記第２の入力ポートのうちの一つにまで引き延ばして接続関係を確立することと、
   を含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
7. 前記第１の出力ポートと前記第２の入力ポートとの接続関係に基づいて接続マッピングテーブルを作成するステップが、ＡＮＤ論理を用いて前記第１のスイッチと前記第２のスイッチとを関連づけることを含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
8. 前記仮想スイッチがオフ状態であることを表す第１のアイコンを使用するとともに、前記仮想スイッチがオン状態であることを表す第２のアイコンを使用することを含む前記チャネル切換えインターフェイスを表示することを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
9. 前記第１のアイコンが第１の色であり、前記第２のアイコンが第２の色であることを特徴とする請求項８に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
10. 前記第１のアイコンが第１の形状であり、前記第２のアイコンが第２の形状であることを特徴とする請求項８に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
11. 使用者による入力に基づいて、前記仮想スイッチのオン・オフ状態を変更するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
12. 前記仮想スイッチのオン・オフ状態を変更することが、前記接続マッピングテーブルに基づいて、前記仮想スイッチに対応する第１のスイッチおよび前記第２のスイッチのオン・オフ状態を変更することを含むことを特徴とする請求項１１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
13. 前記仮想スイッチのオン・オフ状態を変更することが、前記仮想スイッチを表す異なるアイコンを使用することを含むことを特徴とする請求項１１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
14. 前記チャネル切換えインターフェイスが、アレイ方式で配列されているアイコンで前記仮想スイッチを表しているものであることを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
15. 前記出力端子をプローブカードに電気的に接続することと、
    前記入力端子を測定ユニットに電気的に接続することと、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の組合せ型スイッチングマトリクスの構築方法。
16. 半導体装置の試験システムであって、
    第１のスイッチングモジュールと、第２のスイッチングモジュールとを備えた組合せ型スイッチングマトリクスであり、前記第１のスイッチングモジュールは複数の第１の入力ポートと、複数の第１の出力ポートと、複数の第１のスイッチとを備えており、前記第２のスイッチングモジュールは複数の第２の入力ポートと、複数の第２の出力ポートと、複数の第２のスイッチとを備えており、前記第１のスイッチは前記第１の入力ポートと前記第１の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されており、前記第２のスイッチは前記第２の入力ポートと前記第２の出力ポートとの電気的接続をオンまたはオフするように構成されており、少なくとも前記第１の出力ポートのうちの一つは前記第２の入力ポートのうちの一つに接続される、組合せ型スイッチングマトリクスと、
    使用者による入力に基づいて変更コマンドを生成するように構成されているプロセッサと、
    前記変更コマンドに基づいて、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチのオン・オフ状態を制御するように構成されているコントローラと、
    を備えたことを特徴とする半導体装置の試験システム。
17. 前記組合せ型スイッチングマトリクスが、
    前記第１の入力ポートに対応する複数の入力端子と、
    前記第２の出力ポートに対応する複数の出力端子と、
    前記入力端子および前記出力端子のオン・オフ状態に対応する複数の仮想スイッチと、を備えたことを特徴とする請求項１６に記載の半導体装置の試験システム。
18. 前記入力端子、前記出力端子および前記仮想スイッチを表す複数のアイコンを含むチャネル切換えインターフェイスを表示するように構成されているモニタをさらに備えたことを特徴とする請求項１７に記載の半導体装置の試験システム。
19. 前記チャネル切換えインターフェイスが、前記仮想スイッチを表すアイコンをアレイ方式で表示するものであることを特徴とする請求項１８に記載の半導体装置の試験システム。
20. 前記出力端子に電気的に接続されるプローブカードと、
    前記入力端子に電気的に接続される測定ユニットと、
    をさらに備えたことを特徴とする請求項１７に記載の半導体装置の試験システム。
21. 前記プローブカードに電気的に接続される被検査素子をさらに備えたことを特徴とする請求項２０に記載の半導体装置の試験システム。
22. 前記使用者による入力を受け付けるように構成されている入力装置と、
    前記仮想スイッチと第１のスイッチおよび前記第２のスイッチとの対応関係を含む接続マッピングテーブルを格納するように構成されている記憶手段と、
    をさらに備えたことを特徴とする請求項１６に記載の半導体装置の試験システム。
23. 前記入力装置がマウス、キーボードまたはタッチペンであることを特徴とする請求項２２に記載の半導体装置の試験システム。
24. 前記記憶手段が前記第１のスイッチングモジュールおよび前記第２のスイッチングモジュールのデータを格納することを特徴とする請求項２２に記載の半導体装置の試験システム。

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