JP4970031B2 - ファブリペロー干渉計のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法 - Google Patents
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Description
2d=nλ 1
であり、dは共振器のミラー間の距離であり、nは整数(=次数)であり、λは波長である。ミラー間の物質の屈折率の値は、1であると仮定される。いわゆる、長い干渉計では、nは通常、100〜100000である。本発明は、nが1〜3であり、まさしく短い干渉計に関して有利である。干渉計の通過帯域の幅B(=FWHM)は、ミラーの反射係数r及びdの値によって決まる。すなわち、
B=(1−rλ2)/√r2πd 2
である。
λn−λn+1=2d/n−2d/(n+1)=2d/n(n+1) 3
である。
たとえば、以下の手順の一部を適用することによって、性能目的及び利用可能な機器に従って、FPI自己分析を常に行うことができる。
1.特定のリズム(たとえば、10/1)を有する、測定と分析の連続自動交互サイクル、すなわち、たとえば、10回の測定の1サイクル後に、自動的に、分析を含む1回の測定が行われ、その後、標準的な測定が続く。分析は、サイクルに従って続く。迅速な応答時間が要求されない場合、分析はまた一回で終了できる。
2.特定の分析間隔(たとえば、時間、日、週、又は月)が規定され、その後、分析が自動的に開始する。分析は一回で終了する。
3.条件限度を超えた時(圧力、温度、RH等)。
4.ユーザのイニシアチブで。
5.ユーザが、エラー報告、及び、おそらくは制御電圧を補正するための命令を受け取るように、先に述べた手順(1〜4)の任意の手順を利用して。
6.制御電圧が自動的に補正されるように、先に述べた手順(1〜4)の任意の手順を利用して。
さらに、分析のための適当な時間を規定し、分析結果の信頼性を確保するために、たとえば、以下の条件もまた必要とされる。以下の条件は、必要に応じて適用される可能性がある。
*説明する分析は、被測定ガスが存在することを必要とするため、ガスの含有量が十分である条件を必要とする。これは、吸収条件、たとえば、Tx/T0<0.95として提示される可能性がある。値はセンサタイプに固有である。
*分析は、変化状態がはっきりしている間(ガス含有量が急激に変化するか、又は、センサ信号のノイズが著しく多い間)は実行することができない。すなわち、被測定信号は、十分に安定でなければならない。分析に基づく補正は、安定性条件が満たされた時に一回だけ行われる。こうした条件には、たとえば、以下のものがある。
*含有量条件:Tx/Rx(又は、Tx/T0)は、分析の前後で特定の限度内になければならない。
*ノイズ条件:たとえば、分析の前後における標準的な測定(たとえば、1分)と並行した連続ノイズ測定。ノイズレベルは十分に低くなければならない。
*FPIにおけるVabs変化に対する下限は、Vabsの連続する非常に小さな変化による、出力ノイズの増加を防止するように(たとえば、分析の吸収−電圧ステップと同じであるように)規定されなければならない。
*さらに、累積的なVabs補正に対する上限が必要とされ、それによって、元のVabs特性推定を、完全な形で行うことが可能になるであろう。
*1つの分析はいくつかの分析サイクルを含む可能性があり、それによって、選択された新しいVabsが、実際に新しい吸収最大値であることが確実になるであろう。さらに、取得された新しいVabs値から、平均が計算される可能性がある。平均が使用される場合、信頼性を確保するために、見出されたVabsの発散について条件が設定されなければならない。
*センサタイプ固有電圧ステップ(たとえば、0.2V)が、自己分析のために選択される。
*実際に、使用されるVabsに加えて、1電圧ステップの距離にある電圧点(たとえば、Vabs−0.2V、図の左側の点)が選択される。この点の信号値は、N2仮想直線の対応する電圧の値で除算される。取得された比がVabsにおいて計算された対応する比より大きい場合、Vabs+0.2V制御電圧(図の左から3番目の点)を使用して新しい比を計算することによって分析が続けられる。この比もまた、Vabsにおいて計算された対応する比より大きい場合、分析は終了し,Vabs電圧は補正されない。制御電圧Vabs+0.2Vによる比が、図3と同様に、Vabsにおいて計算された対応する比より小さい場合、分析は、図の右にさらに続く。すなわち、制御電圧Vabs+0.4Vについて信号値が測定され、これと、直線の対応する値との比が上記のように計算される。分析は、こうして、新しいVabsが見出されるまで、すなわち、新しいFPI制御電圧が最大吸収に対応するまで続く。上述した分析における測定点を測定するシーケンスは、変更できる。
*新しいVabsに対応する新しいVrefが、ここで計算される。上部ミラーの静電気力と弾性力の間の均衡条件から生ずる、FPI制御電圧とそのボイド間隔の間の関係が導出される。新しいVabs及びVref(又は、それらに対して行った補正の大きさ)は、メモリに記憶され、測定時に利用される。
Claims (16)
- 少なくとも1つの吸収最大値(ABS)又は最小値が知られている、所定のガスを測定することを目的とする、ファブリペロー干渉計内のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法において、
−少なくとも2つの較正点は、該較正点(ABS)の少なくとも1つが、前記被測定ガスの1つの吸収最大値(ABS)についての制御電圧信号対に関する情報を含み、他のものが、基準測定値(REF)についての対応する対に関する情報を含むように、制御された条件でN2のような基準ガスを使用してデバイス固有に定義され、
−対応する制御電圧信号対の信号−制御電圧定義が、前記被測定ガスについて行われる方法であって、
−「仮想」信号−制御電圧感度曲線は、前記基準ガスを使用して形成された前記較正点を使用して形成され、
―前記信号値は、前記被測定ガスの存在下で、前記予め選択された吸収最大値(ABS)及び/又は最小値の付近で測定され、
―比が、前記被測定ガスの前記信号値及び前記基準ガスの前記信号値から形成され、
―少なくとも1つの最小値又は最大値に対応する前記制御電圧値が、前記比から定義され、
その場合、前記被測定ガスの前記吸収最小値又は最大値の波長に基づいて、前記ミラー間の前記距離の前記電圧感度を明確に定義することができ、Vabs及びVrefのFPI電圧値に対して必要な補正を行うことができる、
ここで、Vabsは吸収帯域(ABS4.26μm)に対応するFPI制御電圧であり、及びVrefは基準帯域(REF3.9μm)に対応するFPI制御電圧である、
ことを特徴とするファブリペロー干渉計内のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法。 - 前記被測定ガスは、二酸化炭素(CO2)であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基準ガスは窒素(N2)であることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記定義は、前記デバイスの始動と関連して自動的に実行されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記定義は、規則的な時間間隔で実行されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記定義は、特定数の測定の後に実行されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記定義は、前記測定ガスの特定の含有量条件が満たされる時に実行されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記定義は、圧力、温度及び湿度の環境条件の変化に基づいて実行されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記定義は、ユーザがそうしたいと望む時にはいつでも実行されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の方法。
- FPI電圧値が、前記測定ガスの含有量について設定されることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の方法。
- Vabsの下限及び/又は上限が、変数Vabs及びVrefの変化の大きさについて設定されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の方法。
- 多点基準曲線が、前記基準ガスから形成されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の方法。
- ファブリペロー干渉計の基本方程式:
2d=nλ 1
ここで、dは共振器のミラー間の距離であり、nは整数(=次数)であり、λは波長である、において、nが1〜3である短いファブリペロー干渉計と共に使用されることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の方法。 - 新しいVabs値に対応する新しいVref値は、上部ミラーの静電気力と弾性力の間の均衡条件から前記FPI制御電圧とボイド間隔の間の関係を導出することによって計算されることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに1項に記載の方法。
- ユーザは、制御電圧補正を行うための命令を必要とする状況で、エラーメッセージを常に与えられることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の方法。
- 前記制御電圧補正は自動的に行われることを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の方法。
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