JP4968839B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係るオゾン発生装置の実施の形態1を説明するためのブロック図である。図2は、本実施の形態1におけるオゾン濃度と比電力との関係を示すグラフであり、比電力は放電電力を原料ガス流量で割った値(放電電力/原料ガス流量)である。
図3は、本発明に係るでオゾン発生装置の実施の形態2を説明するためのブロック図である。図4は、オゾン濃度と比電力との相関データが冷却水の水温毎に求められたグラフであり、上から順に5,10,15,20,25,30,35deg.の場合を示している。
図5は、本発明に係るオゾン発生装置の実施の形態3を説明するためのブロック図であり、上記実施の形態1同様のシステム構成を示している。
予め流量計4からオゾン濃度計5までの体積(V)を計算しておき、下記(式1)の計算式により、流量計4で計測した流量(Q)から遅延時間(T)を計算する。
T=V/Q (式1)
S006の後にS008が追加されており、S008では第1の時点からの第2の所定時間(2×T1)の終りが、第2の時点からの第2の所定時間(2×T2)の終りよりも遅いかどうかをチェックする。遅ければ(S008がNOの場合)は、S005に戻る。早ければ、S006で第2の時点から第2の所定時間(2×T2)までフィードフォワード制御を継続する。
図8のフローチャートによれば、フィードフォワード制御では十分な応答性が得られない場合にフィードフォワード制御を行うことになり、所定の濃度のオゾンを安定供給するオゾン発生装置を得ることができる。
以上のことは、以降の実施の形態でもあてはまる。
実施の形態4は、フィードフォワード制御を開始する条件を変更した実施の形態である。システム構成は、実施の形態3の場合と同じである。図9に、本実施の形態4における運転制御の流れを示すフローチャートである。
フィードバック制御中であるS001の状態で、所定周期(ここでは0.1秒)で流量計4の計測値をチェックする。前回よりも流量が減少している場合には、S002AがYESになり、S003で遅延時間T1を計算する。S020で、T1が所定の流量値(ここでは2秒)よりも大きいかどうかをチェックする。大きければ、この時点を第1の時点とし、S004で第1の時点から第2の所定時間(遅延時間T1の所定倍(ここでは2倍))の間、フィードフォワード制御を行う。フィードフォワード制御では、所定周期ごとに出力を変化させる。なお、S002AがNOまたはS020がNOの場合は、S001のフィードバック制御を継続する。
図10は、本発明の実施の形態5に係るオゾン発生装置のオゾン発生器の構造を説明する部分断面図である。オゾン発生器1は、両端が開放した円筒の接地電極11と、接地電極11に挿入される片端が封じられた2本のガラス管12と、それぞれのガラス管12の内側に設けられた高圧交流電力が印加される高圧電極13とを有する。接地電極11の内部には冷却水が流れている。ガラス管12の封じられていない側が接地電極11の外側に出ており、接地電極11の両端では、高圧電極13に接地電極11と対向しない部分が存在する。ガラス管12と接地電極11の間に原料ガスが流れ、接地電極11と高圧電極13の間で発生する放電によりオゾンを生成する。
なお、図10には、接地電極の中に両側からガラス管を挿入する場合を示したが、片側だけから挿入した場合でも同様の効果がある。
3 電源、4 流量計、5 オゾン濃度計。
Claims (11)
- 酸素ガスを含む原料ガスを放電処理して所定濃度のオゾンを含むオゾン化ガスを生成するオゾン発生器と、上記オゾン発生器に流入する原料ガスの流量計と、上記オゾン発生器に放電を発生させる電力を供給する電源と、上記流量計が計測した流量が入力されて上記電源を制御する制御装置とを備え、上記制御装置は、上記電源が供給する電力を上記オゾン発生器に流入する原料ガスの流量で割った比電力と上記オゾン発生器が生成するオゾン濃度との間の関係を表現した相関データと、上記相関データを用いてオゾン濃度の目標値と上記流量計が計測した流量とから上記電力を求めるフィードフォワード制御部とを有することを特徴とするオゾン発生装置。
- 上記オゾン発生器を冷却する冷却水の温度を計測する温度計を備え、上記温度計で計測された温度が上記制御装置に入力され、上記相関データが冷却水の温度により異なる複数のものがあり、上記フィードフォワード制御部が上記温度計で計測された温度に対応する上記相関データを用いることを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 上記オゾン発生器から出るオゾン化ガスのオゾン濃度を計測するオゾン濃度計を備え、上記オゾン濃度計が計測したオゾン濃度が上記制御装置に入力され、上記オゾン濃度計が計測したオゾン濃度と目標値との差がゼロになるように上記電源をフィードバック制御するフィードバック制御部を上記制御装置が有し、上記フィードフォワード制御部が動作していない時は上記フィードバック制御部が動作することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のオゾン発生装置。
- 上記流量計が計測した流量が第1の所定時間に所定割合以上に変化したことを検出した第1の時点から第2の所定時間が経過するまでは上記フィードフォワード制御部で求めた電力を出力するように上記電源を制御することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れかに記載のオゾン発生装置。
- 上記流量計が計測した流量が減少して所定値以下であることを検出した第1の時点から第2の所定時間が経過するまでは上記フィードフォワード制御部で求めた電力を出力するように上記電源を制御することを特徴とする請求項1ないし請求項3の何れかに記載のオゾン発生装置。
- 上記第2の所定時間を上記流量計が計測した変化後の流量に応じて変化させることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のオゾン発生装置。
- 上記第1の時点以後である上記フィードフォワード制御部が動作中の第2の時点に上記流量計が計測した流量が変化したことを検出した場合に、上記第2の時点から上記第2の所定時間が経過するまでは上記フィードフォワード制御部で求めた電力を出力するように上記電源を制御することを特徴とする請求項4ないし請求項6の何れかに記載のオゾン発生装置。
- 上記第1の時点以後である上記フィードフォワード制御部が動作中の第2の時点に上記流量計が計測した流量が変化したことを検出した場合に、上記第1の時点から上記第2の所定時間が経過するまで、または上記第2の時点から上記第2の所定時間が経過するまでの何れか遅い方までは上記フィードフォワード制御部で求めた電力を出力するように上記電源を制御することを特徴とする請求項6に記載のオゾン発生装置。
- 上記第1の時点以後である上記フィードフォワード制御部が動作中の第2の時点に、上記流量計が計測した流量が変化して所定の流量値より大きいことを検出した場合は、すぐに上記フィードフォワード制御部の動作を終了させることを特徴とする請求項5に記載のオゾン発生装置。
- 上記流量計が計測した流量が所定の流量値より小さい第2の所定の流量値以下である間は上記フィードフォワード制御部で求めた電力を出力するように上記電源を制御することを特徴とする請求項1ないし請求項9の何れかに記載のオゾン発生装置。
- 上記オゾン発生器が、放電を発生させる対となる電極のうち片側の前記電極が冷却され、もう片側の前記電極が冷却されず、冷却される前記電極の少なくとも片端において冷却される前記電極と対向しない部分を冷却されない前記電極が有することを特徴とする請求項1ないし請求項10の何れかに記載のオゾン発生装置。
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