JP4964610B2 - 固体撮像素子の放熱構造及び固体撮像デバイス - Google Patents

Description

本発明は、固体撮像素子を備えるテレビジョンカメラ、ビデオカメラなどの撮像装置に用いられる固体撮像素子の放熱構造及び固体撮像デバイスに関する。

近年、固体撮像素子を３個用いる撮像装置として３板式カラーカメラ（以下３板カメラという）が開発され広く用いられるようになってきている。このような従来の３板カメラの構造について、図面を用いて説明する。

図１は、従来の３板カメラにおける撮像ブロック１０の模式断面図である。図１に示すように、撮像ブロック１０は、３板カメラにおける図示しない撮像レンズを通過して入射された光を所定の色成分に分解する色分解プリズムと、複数の固体撮像素子と、各々の固体撮像素子が搭載された撮像素子基板とにより構成されている。

図１に示すように、色分解プリズムは、３つのプリズム部材１ｒ、１ｇ、１ｂが互いに密着して接合されることより構成され、入射光を３つの色成分に分解する３色分解プリズム１である。それぞれのプリズム部材１ｒ、１ｇ、１ｂの接合界面は、ダイクロイックミラー４、５となっている。また、３つのプリズム部材１ｒ、１ｇ、１ｂの光の出射面には、個別に固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂが接着剤を介して固定されている。

図１において、３色分解プリズム１に入射した光束７は、ダイクロイックミラー４、５によって、３つの色成分、すなわち光の３原色の光束６ａ、６ｂ、６ｃに色分解され、各々の固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂに受光される。ダイクロイックミラー４、５にて３原色に分解反射された光束のうちの光束６ａ、６ｂは、それぞれのプリズム部材１ｇ、１ｂ内にて再度全反射されることで、裏返し像（鏡像）ではなく表像を形成する光束として固体撮像素子２ｇ、２ｂに受光される。それぞれの固体撮像素子２ｇ、２ｂ、２ｒにて受光されたそれぞれの光束は、それぞれの撮像素子基板３ｒ、３ｇ、３ｂにて撮像信号の処理がなされて、撮像信号が合成されたカラーテレビジョン信号が得られる。

このような構成を有する従来の３板カメラでは、３色の被写体像の重ね合わせを精度良く行う必要がある。重ね合わせの精度、すなわちレジストレーションの精度が悪いと色ずれやモアレ偽信号が発生し、画質は微妙に劣化する。従って、レジストレーションの精度低下が生じないように、それぞれの固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂへ加わる外力負荷を低減させる必要がある。

また、固体撮像素子は高温環境下で使用すると、白傷による画質劣化、寿命短縮、等々の問題が発生するため、所定の温度以下での使用する必要がある。近年特に、固体撮像素子が搭載される３板カメラに代表される撮像装置においては、軽薄短小、多機能・高機能化による消費電力の増加に伴って、固体撮像素子の周辺温度（装置筐体内部温度）は益々上昇する傾向にあり、固体撮像素子を冷却する手段が不可欠となっている。

そのため、従来の撮像装置においては、固体撮像素子へ加わる外力負荷を低減させながら、固体撮像素子を効率的に冷却するための様々な放熱構造が提案されている（例えば、特許文献１、２、３参照）。

まず、特許文献１においては、伝熱部材にネジによって設置された熱電冷却素子が、それぞれの固体撮像素子の背面に接触するように配置された放熱構造が提案されている。このような放熱構造においては、各部材の熱膨張や熱収縮に伴う変形量を、ネジのバックラッシュにより吸収することができるため、冷却素子から固体撮像素子に対して熱変形に伴う力が加わらないようにすることができる。

また、特許文献２においては、熱伝導板に固定された熱電冷却素子を、熱伝導板の弾性を利用して、固体撮像素子の背面に適切な力にて密着させるように配置させた放熱構造が提案されている。このような放熱構造においては、熱伝導板の弾性を利用することで、冷却素子を固体撮像素子の背面に密着させることができ、効率的な放熱を実現することができる。

特許文献３においては、熱電冷却素子を用いない放熱構造として、固体撮像素子の背面と撮像素子基板との間に、金属部品の一端を挿入配置させるとともに、金属部材の他端を金属フレームに固定させて、固体撮像素子から金属部品に伝達される熱を金属フレームへと逃がすような放熱構造が提案されている。

特開平１−２９５５７５号公報 特開２００２−２４７５９４号公報 特開２００１−３０８５６９号公報

近年、このような３板カメラにおけるそれぞれの固体撮像素子の位置決めは、μｍオーダの精度が要求されつつあり、例えばそれぞれの固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの位置決めは光軸方向では焦点深度があるため数十μｍ、被写体映像面内方向ではμｍオーダの精度を必要とするようになりつつある。

しかしながら、特許文献１の放熱構造においては、ネジのバックラッシュにより外力の吸収を行っているため、微小な熱変形により生じる外力を十分に吸収することはできず、作用する外力の大きさによっては、撮像素子の位置決め精度に影響を与える場合があり、この位置ずれによるレジストレーションの精度低下が問題となる。また、特許文献２の放熱構造では、熱伝導板の弾性力により固体撮像素子に外力が付加され、その外力は熱膨張等により変化するため、位置決め精度に影響を与えてしまう場合がある。また、特許文献１及び２の放熱構造では、比較的高価な熱電冷却素子が用いられているため、撮像装置がコスト上昇するという問題もある。

また、冷却素子を用いない特許文献３の放熱構造においても、金属フレームにその一端が固定された状態の金属部品が固体撮像素子の背面に接触するように配置されているため、金属部材の熱膨張・収縮によるスプリングバックに起因する負荷が固体撮像素子側の接触端部を通じて固体撮像素子に加わり、固体撮像素子とプリズム部材との接着面において位置ずれが生じ、この位置ずれによるレジストレーションの精度低下が問題となる。また、特許文献１〜３のいずれの放熱構造もその構造が複雑なものであり、取り付け作業や取り扱い作業が容易なものとは言えない。

また、固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの前面とプリズム１ｒ、１ｇ、１ｂとの接着にはＵＶ接着剤（紫外線硬化性接着剤）が用いられ、接着剤を接着面間に塗布した状態で各固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの位置調整（６軸）を実施した後に、紫外線を照射して接着剤を硬化させ、接着面を固定する工法が広く利用されている。

しかしながら、このようなＵＶ接着剤は高温クリープ特性（高温環境下で負荷を掛け続けるとクリープする特性）を有するため、特に固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの周辺温度（装置筐体内部温度）が高くなると、上記金属部品等のスプリングバックに起因する負荷が深刻な問題となる。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、固体撮像素子を備える撮像装置に用いられる固体撮像素子の放熱構造において、比較的簡単な構造にて、固体撮像素子に加わる外力負荷を低減させながら、固体撮像素子を冷却する固体撮像素子の放熱構造及びこのような放熱構造を有する固体撮像デバイスを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、プリズム部材に固定された固体撮像素子に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された放熱部材を備え、上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像素子の放熱構造を提供する。

本発明の第２態様によれば、上記放熱部材の上記接触部は、接触補助材料を介して上記固体撮像素子に接触されている、第１態様に記載の固体撮像素子の放熱構造を提供する。

本発明の第３態様によれば、上記放熱部材において、上記フィン状の放熱部は、上記箔状部材がその厚み方向に湾曲された又は折り曲げられた形状を有する、第１態様又は第２態様に記載の固体撮像素子の放熱構造を提供する。

本発明の第４態様によれば、光を複数の色成分に分解する色分解プリズムを構成する複数の上記プリズム部材に固定された複数の上記固体撮像素子に、複数の上記放熱部材を個別に接触させている、第１態様から第３態様のいずれか１つに記載の固体撮像素子の放熱構造を提供する。

本発明の第５態様によれば、上記フィン状の放熱部における上記放熱部材の幅方向が、全ての上記放熱部材において、同一の方向に配置されている、第４態様に記載の固体撮像素子の放熱構造を提供する。

本発明の第６態様によれば、プリズム部材と、上記プリズム部材に固定された固体撮像素子と、上記固体撮像素子に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された放熱部材とを備え、上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像デバイスを提供する。

本発明の第７態様によれば、複数のプリズム部材で構成され、光を複数の色成分に分解する色分解プリズムと、複数の上記プリズム部材に個別に固定された複数の固体撮像素子と、上記各々の固体撮像素子に個別に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された複数の放熱部材とを備え、上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像デバイスを提供する。

本発明の第８態様によれば、上記放熱部材の上記接触部は、接触補助材料を介して上記固体撮像素子に接触されている、第６態様又は第７態様に記載の固体撮像デバイスを提供する。

本発明の第９態様によれば、上記放熱部材において、上記フィン状の放熱部は、上記箔状部材がその厚み方向に湾曲された又は折り曲げられた形状を有する、第６態様から第８態様のいずれか１つに記載の固体撮像デバイスを提供する。

本発明の第１０態様によれば、上記フィン状の放熱部における上記放熱部材の幅方向が、全ての上記放熱部材において、同一の方向に配置されている、第７態様に記載の固体撮像デバイスを提供する。

本発明によれば、固体撮像素子に接触される接触部とフィン状の放熱部とを有する放熱部材が、従来の放熱構造のように筐体などの他の部材に固定されて、筐体へと熱を逃がしてやるような構造が採用されるのではなく、筐体などの他の部材に固定されることなく、フィン状の放熱部を通じてその周囲の気体中に放熱させるような構造が採用されていることにより、放熱部材を通じて固体撮像素子に付加されるスプリングバックなどの応力負荷を著しく低減させることができる。また、このような放熱部材は、固体撮像素子の表面に接触されて配置されているものの、上記接触部及び上記フィン状の放熱部が共に箔状部材にて形成されているため、放熱部材の自重を、部材形態を保持できる限度にまで軽減することができる。従って、放熱部材の自重により固定撮像素子へ付加される応力負荷を抑制することができる。従って、比較的簡単な構造にて、必要な放熱性能を確保しながら、放熱部材を通じて固体撮像素子へ付加される応力負荷を低減することができ、レジストレーションの精度低下を抑制可能な固体撮像素子の放熱構造及びこのような放熱構造を有する固体撮像デバイスを提供することができる。

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる固体撮像素子の放熱構造が採用される３板カメラにおける撮像ブロック２０（放熱構造が装備されていない状態）の模式斜視図を図２に示し、本第１実施形態の放熱構造が装備された状態の撮像ブロック２０の模式斜視図を図３に示す。なお、撮像ブロック２０の構造自体は、図１に示す撮像ブロック１０と同じ構造であるため、同じ構成部材には同じ参照符号を付してその説明を省略する。

図２及び図３に示すように、本第１実施形態の固体撮像素子の放熱構造は、高熱伝導性材料により形成された箔状部材により構成されたフィン状の放熱部材（放熱フィン部材）１１、１２、１３を、それぞれの固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの背面に接触させるように個別に配置させた構造を有している。各固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂにて発生した熱は、各々の放熱部材１１、１２、１３を通して他の部材を介在させることなく、その周囲の気体中、すなわち大気中に放出され、その結果、それぞれの固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの温度を低減させることができる。

ここで、それぞれ同一の形状を有する放熱部材１１、１２、１３を代表して、放熱部材１１の外観構造を示す模式斜視図を図４に示す。

図４に示すように、放熱部材１１は、固体撮像素子２ｒの背面（光束の受光面とは逆側の面）と接触することで、固体撮像素子２ｒにて発生した熱をこの接触によって放熱部材１１に伝熱させる接触部１１ａをその底部に備え、この底部において互いに対向するそれぞれの端部より図示上方に向けて延在する箔状部材を複数回その厚み方向に湾曲させるあるいは折り曲げることによりその周囲の雰囲気との接触面積、すなわち放熱面積を増大させるように複数のフィンが蛇腹状に形成された放熱部１１ｂをその上部に備えている。

この放熱部材１１においては、所定の幅寸法を有する箔状部材を用いて、接触部１１ａと放熱部１１ｂとが形成されている。このような箔状部材は、高熱伝導性材料（高い熱伝導率を有する材料）として、例えば、銅若しくはグラファイトシートなどが用いられ、箔状として例えば０．１ｍｍ以下の厚みで形成される。

このような構造を有する放熱部材１１は、図３に示すように、固体撮像素子２ｒと撮像素子基板３ｒとの間に、その箔状部材にて形成された接触部１１ａが配置されるとともに、この配置状態において接触部１１ａの底面が、固体撮像素子２ｒの背面に接触された状態とされる。なお、固体撮像素子２ｒにて生じた熱を効果的に逃がすことができるような接触面積を確保するために、固体撮像素子２ｒの背面における平坦な部分の略全体に接触部１１ａが接触するように接触部１１ａの形状（長さ及び幅寸法）が決定されている。また、放熱部材１１の接触部１１ａと固体撮像素子２ｒの背面との実質的な接触性を高めるために、両者の間に接触補助材料として例えばグリスなどが塗布されて配置されるような場合であってもよい。すなわち、本発明において、固体撮像素子と放熱部材との間の接触とは、他の部材を介在させることなく両者を直接的に接触させるような場合と、固体撮像素子と放熱部材との間の接触性を向上させることを目的として、グリスなどに代表される接触補助材料を介在させて両者を間接的に接触させるような場合のいずれの場合をも含むものである。

また、放熱部材１１の接触部１１ａは、固体撮像素子２ｒと撮像素子基板３ｒとの間に配置されており、両者によって軽く挟まれて、放熱部材１１の配置位置が保持されている。また、このような場合に代えて、両者によって挟まれることなく、固体撮像素子２ｒとの接触性が保たれた状態にて、放熱部材１１がある程度自由にスライド移動可能な構成を採用することもできる。すなわち、固体撮像素子と放熱部材との間の接触性が保たれていれば、固体撮像素子に対する放熱部材の相対的な移動の有無は問わない。

また、図３に示すように、その他の放熱部材１２、１３についても、放熱部材１１と同様な構成にて、固体撮像素子２ｇ、２ｂに個別に接触するように配置されている。さらに、このようにそれぞれの放熱部材１１、１２、１３が撮像ブロック２０に装備された状態において、各々の放熱部材１１、１２、１３は、他の放熱部材、筐体、レンズ鏡筒ケースなどの他の部材に接触することが無いように配置されている。

本第１実施形態の固体撮像素子の放熱構造によれば、撮像ブロック２０を構成するそれぞれのプリズム部材１ｒ、１ｇ、１ｂに個別に固定された固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの背面に、個別に放熱部材１１、１２、１３を接触させるように配置して、それぞれの放熱部材１１、１２、１３が備える蛇腹状の放熱部によりその周囲雰囲気中へ放熱させるような構成が採用されていることにより、従来の放熱構造にように放熱部材が放熱側端部においても他の部材に固定されているような場合と比して、熱膨張・熱収縮によるスプリングバックにより放熱部材から固体撮像素子へ付加される応力負荷を著しく減少させることができる。

さらに、このようなフィン状の放熱部材１１、１２、１３における接触部及び放熱部を含めた全体構造を、その厚みが０．１ｍｍ以下の高熱伝導性材料からなる箔状部材により構成する（例えば一体的に構成する）ことにより、放熱部材１１、１２、１３の自重を大幅に軽減することができる。特に本第１実施形態のフィン状の放熱部材は、接触部と放熱部との間の距離を最短距離とするような構成を採用する一般的な放熱フィン部材とは異なり、上記距離の最短距離化よりも軽量化を重視して箔状部材により形成している。より具体的には、図４に示すように、所定の幅寸法を有する箔状部材を複数回湾曲させる若しくは折り曲げることにより複数のフィンを蛇腹状に形成している点において、一般的な放熱フィン部材とは大きく異なっている。このようにその自重を大幅に軽量化した放熱部材を用いることで、自重により固体撮像素子に与える応力負荷を大幅に低減することができる。

従って、比較的簡単な構造にて、必要な放熱性能を確保しながら、放熱部材を通じて固体撮像素子へ付加される応力負荷を低減することができ、レジストレーションの精度低下を抑制可能な固体撮像素子の放熱構造を提供することができる。

また、放熱部材１１における接触部１１ａは、固体撮像素子２ｒの背面に接触し、接触部１１ａの互いに対向するそれぞれの端部より延在するように放熱部１１ｂが形成されていることにより、固体撮像素子にて発生する熱をそれぞれの端部より放熱部材へと伝達して放熱させることができ、放熱部が一方の端部より延在する場合に比べ高い放熱効率を有し、固体撮像素子の温度を均一にすることができるという効果を得ることができる。

ここで、本第１実施形態の変形例にかかる放熱構造が装備された撮像ブロック３０の模式斜視図を図５に示す。図５に示す撮像ブロック３０においては、それぞれの撮像素子基板３ｒ、３ｇ、３ｂが、それぞれのプリズム部材１ｒ、１ｇ、１ｂに対して９０度その基板の表面沿いの方向に回転された配置位置にて固定されている。さらに、この撮像素子基板３ｒ、３ｇ、３ｂの配置位置に合わせて、それぞれの放熱部材１１、１２、１３も９０度回転された配置位置に装備されている。その結果、図５に示すように、それぞれの放熱部材１１、１２、１３の放熱部のフィンの方向を同一方向Ｄとすることができる。言い換えれば、放熱部材の幅方向を同一方向Ｄとすることができる。これにより、それぞれの放熱部材１１、１２、１３の放熱部のフィンにおける気体の流れ方向Ｄを、同一方向とすることができる。

このように放熱部の気体の流れ方向Ｄを全ての放熱部材１１、１２、１３にて同一方向とすることで、例えば、方向Ｄが鉛直方向となるように撮像ブロック３０を配置して、周辺空気の対流を積極的に利用して放熱効率を向上させることができる。また、全ての放熱部材１１、１２、１３にて均等に放熱効果を得ることができる。また、方向Ｄが鉛直方向とされないような場合であっても、送風機などを用いて方向Ｄに沿った気流を機械的に形成することで放熱効率を向上させることができ、全ての放熱部材１１、１２、１３にて均等に放熱効果を得ることができる。

（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる固体撮像素子の放熱構造が装備された撮像ブロック４０の模式斜視図を図６に示す。また、図６の撮像ブロック４０に装備されている放熱部材４１、４２、４３の中から代表して放熱部材４１の模式斜視図を図７に示す。なお、撮像ブロック４０自体の構成は、上記第１実施形態の撮像ブロック２０と同じであるので、同じ構成部材には同じ参照符号を付してその説明を省略する。

図６及び図７に示すように、本第２実施形態の放熱部材４１、４２、４３は、各々の固体撮像素子２ｒ、２ｇ、２ｂの背面に個別に接触するように配置されている構成において、上記第１実施形態の放熱構造と同様な構成となっているものの、それぞれの放熱部材４１、４２、４３における放熱部の形態が上記第１実施形態の放熱部の形態とは異なっている。

具体的には、上記第１実施形態の放熱部材１１の放熱部１１ｂは、大略蛇腹状に形成された複数のフィン状の形態を有しているのに対して、図７に示す本第２実施形態の放熱部材４１の放熱部４１ｂは、所定の幅寸法を有する箔状部材をその厚み方向に渦巻き状に湾曲させたフィン状の形態を有している。放熱部材４１の接触部４１ａにおける互いに対向するそれぞれの端部より図示上方に向けて延在するそれぞれの箔状部材を、互いに異なる方向に湾曲させて渦巻き形状の放熱部４１ｂが形成されている。

このような渦巻き状の形態を有する放熱部材４１、４２、４３は、上記第１実施形態の放熱部材１１、１２、１３と同様な放熱特性を有することに加えて、箔状部材の両端部を湾曲させることで製造することができるため、その製造を比較的に容易なものとすることができるという利点を有している。

また、上記第１実施形態の変形例にかかる放熱構造と同様に、図８に示すように、このような渦巻き状の放熱部材４１、４２、４３を、各々の気体の流れ方向Ｄが同一の方向となるように撮像ブロック５０に装備させることもできる。

なお、上記それぞれの実施形態においては、放熱部材の形態の一例として、大略蛇腹状の形態、及び渦巻き状の形態について説明したが、このような形態にのみ限られるものではなく、箔状部材を固体撮像素子以外の部材（他の放熱部材や筐体など）に接触せず、必要な放熱効率を得ることができるような形態であれば、その他様々な形態を採用することができる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、特許請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

従来の３板式カラーカメラにおける撮像ブロックの模式構成図 本発明の第１実施形態の固体撮像素子の放熱構造が未装備状態の撮像ブロックの模式斜視図 図２の撮像ブロックに本第１実施形態の放熱構造を装備した状態の模式斜視図 本第１実施形態の放熱部材の模式斜視図 本第１実施形態の変形例にかかる放熱構造が装備された状態の撮像ブロックの模式斜視図 本発明の第２実施形態の固体撮像素子の放熱構造が装備された状態の撮像ブロックの模式斜視図 本第２実施形態の放熱部材の模式斜視図 本第２実施形態の変形例にかかる放熱構造が装備された状態の撮像ブロックの模式斜視図

符号の説明

１ ３色分解プリズム
１ｒ プリズム部材（赤色）
１ｇ プリズム部材（緑色）
１ｂ プリズム部材（青色）
２ｒ 固体撮像素子（赤色用）
２ｇ 固体撮像素子（緑色用）
２ｂ 固体撮像素子（青色用）
３ｒ 撮像素子基板（赤色用）
３ｇ 撮像素子基板（緑色用）
３ｂ 撮像素子基板（青色用）
４ ダイクロイックミラー
５ ダイクロイックミラー
６ａ 原色の光束（赤色用）
６ｂ 原色の光束（緑色用）
６ｃ 原色の光束（青色用）
７ 光束
１０、２０、３０、４０、５０ 撮像ブロック
１１、１２、１３ 放熱部材
１１ａ 接触部
１１ｂ 放熱部
４１、４２、４３ 放熱部材
４１ａ 接触部
４１ｂ 放熱部

Claims (10)

1. プリズム部材に固定された固体撮像素子に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された放熱部材を備え、
   上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像素子の放熱構造。
2. 上記放熱部材の上記接触部は、接触補助材料を介して上記固体撮像素子に接触されている、請求項１に記載の固体撮像素子の放熱構造。
3. 上記放熱部材において、上記フィン状の放熱部は、上記箔状部材がその厚み方向に湾曲された又は折り曲げられた形状を有する、請求項１又は２に記載の固体撮像素子の放熱構造。
4. 光を複数の色成分に分解する色分解プリズムを構成する複数の上記プリズム部材に固定された複数の上記固体撮像素子に、複数の上記放熱部材を個別に接触させている、請求項１から３のいずれか１つに記載の固体撮像素子の放熱構造。
5. 上記フィン状の放熱部における上記放熱部材の幅方向が、全ての上記放熱部材において、同一の方向に配置されている、請求項４に記載の固体撮像素子の放熱構造。
6. プリズム部材と、
   上記プリズム部材に固定された固体撮像素子と、
   上記固体撮像素子に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された放熱部材とを備え、
   上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像デバイス。
7. 複数のプリズム部材で構成され、光を複数の色成分に分解する色分解プリズムと、
   複数の上記プリズム部材に個別に固定された複数の固体撮像素子と、
   上記各々の固体撮像素子に個別に接触される接触部と、上記接触部を通して伝達された熱をその周囲の気体中に放熱するフィン状の放熱部とを有し、上記接触部及び上記放熱部が高熱伝導性材料からなる箔状部材により形成された複数の放熱部材とを備え、
   上記接触部は上記固体撮像素子の一方の面の略全面に接触するように配置され、上記接触部における互いに対向するそれぞれの端部より延在する上記箔状部材により上記フィン状の放熱部が形成される、固体撮像デバイス。
8. 上記放熱部材の上記接触部は、接触補助材料を介して上記固体撮像素子に接触されている、請求項６又は７に記載の固体撮像デバイス。
9. 上記放熱部材において、上記フィン状の放熱部は、上記箔状部材がその厚み方向に湾曲された又は折り曲げられた形状を有する、請求項６から８のいずれか１つに記載の固体撮像デバイス。
10. 上記フィン状の放熱部における上記放熱部材の幅方向が、全ての上記放熱部材において、同一の方向に配置されている、請求項７に記載の固体撮像デバイス。

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