JP2018125582A - 微動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】搭載した発熱体の位置決め精度を向上しながら、発熱体との間の熱伝導を効果的に行う。【解決手段】ベース部材2と、ベース部材2に固定される固定部7と、固定部7に対して相対移動可能に配置され、発熱体3を搭載する可動部8と、可動部8と固定部7とを連結する弾性部9と、固定部9に対して可動部8を微小移動させるアクチュエータ10とを備える微動素子4と、ベース部材2および発熱体3に接触して配置され、発熱体3とベース部材2との間の熱伝導を行う可撓性を有する伝熱部材5と、伝熱部材5と可動部8との間の伝熱を遮断する断熱手段6とを備える微動装置1を提供する。【選択図】図2
Description
本発明は、微動装置に関するものである。
従来、圧電アクチュエータを用いてCCDを微動させて複数回撮像することにより、CCDの画素数の複数倍の画素数の画像を取得する画素ずらし方式の撮像装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この特許文献1の撮像装置では、バネステージと呼ばれる微動装置の可動部にCCDが取り付けられ、CCDの裏面に放熱用のヒートシンクが密着して配置され、ヒートシンクに冷却素子が調整ネジによって密着して固定されている。
この特許文献1の撮像装置では、バネステージと呼ばれる微動装置の可動部にCCDが取り付けられ、CCDの裏面に放熱用のヒートシンクが密着して配置され、ヒートシンクに冷却素子が調整ネジによって密着して固定されている。
しかしながら、特許文献1の撮像装置では、冷却素子の放熱を受ける調整ネジがバネステージに直接固定されているため、冷却素子の動作状態によって調整ネジに放熱される熱量が変動すると、バネステージの温度変化が発生し、バネステージを構成している部品の熱変形やアクチュエータの状態変化によって、CCDの位置変動を生じてしまうと言う不都合がある。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、搭載した発熱体の位置決め精度を向上しながら、発熱体との間の熱伝導を効果的に行うことができる微動装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の一態様は、ベース部材と、該ベース部材に固定される固定部と、該固定部に対して相対移動可能に配置され、発熱体を搭載する可動部と、該可動部と前記固定部とを連結する弾性部と、前記固定部に対して前記可動部を微小移動させるアクチュエータとを備える微動素子と、前記ベース部材および前記発熱体に接触して配置され、前記発熱体と前記ベース部材との間の熱伝導を行う可撓性を有する伝熱部材と、該伝熱部材と前記可動部との間の伝熱を遮断する断熱手段とを備える微動装置を提供する。
本発明の一態様は、ベース部材と、該ベース部材に固定される固定部と、該固定部に対して相対移動可能に配置され、発熱体を搭載する可動部と、該可動部と前記固定部とを連結する弾性部と、前記固定部に対して前記可動部を微小移動させるアクチュエータとを備える微動素子と、前記ベース部材および前記発熱体に接触して配置され、前記発熱体と前記ベース部材との間の熱伝導を行う可撓性を有する伝熱部材と、該伝熱部材と前記可動部との間の伝熱を遮断する断熱手段とを備える微動装置を提供する。
本態様によれば、アクチュエータの作動によりベース部材に固定された固定部に対して可動部が微小移動させられることにより、可動部に搭載された発熱体がベース部材に対して微小移動させられる。発熱体とベース部材との間に配置された伝熱部材は、ベース部材に対して発熱体が移動させられると変形させられながらベース部および発熱体との接触状態を維持する。
これにより、発熱体とベース部材との間の熱伝導が伝熱部材を介して効果的に行われる。一方、伝熱部材と可動部との間に設けられた断熱部材によって、伝熱部材から可動部への伝熱が遮断される。これにより、ベース部材と発熱体との間の伝熱が行われても、可動部の急激な温度変化が防止され、搭載した発熱体の位置決め精度を向上しながら、発熱体との間の熱伝導を効果的に行うことができる。
上記態様においては、前記発熱体が撮像素子であってもよい。
このようにすることで、撮像素子の位置決め精度を向上しながら微小移動させ、撮像素子において発生した熱を伝熱手段によって効果的にベース部材に逃がすことができる。
このようにすることで、撮像素子の位置決め精度を向上しながら微小移動させ、撮像素子において発生した熱を伝熱手段によって効果的にベース部材に逃がすことができる。
また、上記態様においては、前記発熱体が冷却素子であってもよい。
このようにすることで、例えば撮像素子を冷却素子によって効果的に冷却し、冷却素子において発生した熱を伝熱手段によって効果的にベース部材に逃がすことができる。
このようにすることで、例えば撮像素子を冷却素子によって効果的に冷却し、冷却素子において発生した熱を伝熱手段によって効果的にベース部材に逃がすことができる。
また、上記態様においては、前記断熱手段が前記伝熱部材を前記可動部に固定する断熱部材であってもよい。
このようにすることで、伝熱部材と可動部とが断熱部材によって確実に断熱されるとともに、伝熱部材が可動部に安定的に保持され、発熱体と伝熱部材とが相対移動しないように固定される。
このようにすることで、伝熱部材と可動部とが断熱部材によって確実に断熱されるとともに、伝熱部材が可動部に安定的に保持され、発熱体と伝熱部材とが相対移動しないように固定される。
また、上記態様においては、前記断熱手段が、前記伝熱部材を前記可動部に固定する第1断熱部材と、前記発熱体を前記可動部に固定する第2断熱部材とを備えていてもよい。
このようにすることで、発熱体から可動部への伝導も第2断熱部材によって遮断され、発熱体とベース部材との間の伝熱を効果的に行うことができる。
このようにすることで、発熱体から可動部への伝導も第2断熱部材によって遮断され、発熱体とベース部材との間の伝熱を効果的に行うことができる。
また、上記態様においては、前記第1断熱部材と前記第2断熱部材とが一体的に構成されていてもよい。
このようにすることで、発熱体とベース部材との間の伝熱を効果的に実施しながら、部品点数を削減することができる。
このようにすることで、発熱体とベース部材との間の伝熱を効果的に実施しながら、部品点数を削減することができる。
また、上記態様においては、前記固定部と前記ベース部材との間の伝熱を遮断する第3断熱部材を備えていてもよい。
このようにすることで、ベース部材から固定部への伝熱も遮断して、微動素子の温度変化を抑制し、発熱体をさらに精度よく位置決めしながら微動させることができる。
このようにすることで、ベース部材から固定部への伝熱も遮断して、微動素子の温度変化を抑制し、発熱体をさらに精度よく位置決めしながら微動させることができる。
本発明によれば、搭載した発熱体の位置決め精度を向上しながら、発熱体との間の熱伝導を効果的に行うことができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態に係る微動装置1について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る微動装置1は、図1に示されるように、顕微鏡200に搭載される撮像装置(カメラ)100に内蔵され、撮像素子3を水平方向(後述する対物レンズ203の光軸に対して垂直方向)に微動させる装置である。顕微鏡200は、顕微鏡本体201と、ステージ202と、対物レンズ203と、接眼レンズ204と、鏡筒205と、結像レンズ206と、撮像装置100とを備えている。
本実施形態に係る微動装置1は、図1に示されるように、顕微鏡200に搭載される撮像装置(カメラ)100に内蔵され、撮像素子3を水平方向(後述する対物レンズ203の光軸に対して垂直方向)に微動させる装置である。顕微鏡200は、顕微鏡本体201と、ステージ202と、対物レンズ203と、接眼レンズ204と、鏡筒205と、結像レンズ206と、撮像装置100とを備えている。
本実施形態に係る微動装置1は、図2および図3に示されるように、ベース部材2と、該ベース部材2に固定され撮像素子(発熱体、微動対象部材)3を搭載する微動素子4と、撮像素子3とベース部材2との間に配置される伝熱部材5と、伝熱部材5と微動素子4との間に配置された断熱部材(断熱手段、第1断熱部材)6とを備えている。
微動素子4は、図2および図3に示されるように、ベース部材2に固定される固定部7と、撮像素子3を固定する可動部8と、固定部7と可動部8とを接続し弾性変形可能な弾性部9と、弾性部9を弾性変形させることにより固定部7に対して可動部8を微小移動させるアクチュエータ10とを備えている。固定部7、弾性部9、後述するアーム部13および可動部8は、金属製の円板部材に、例えば、ワイヤカット加工等によって板厚方向に貫通する複数の溝を形成することにより構成されている。
固定部7は、円板部材の外周部分に配置され、可動部8は、固定部7の略中央に配置された略正方形に形成されている。可動部8の中心には板厚方向に貫通する貫通孔11が形成され、該貫通孔11の内周面には雌ネジが形成されている。可動部8の4隅は、弾性部9としての4つの板バネ部9aを介して、固定部7に接続されている。
これらの板バネ部9aはL字状の2つの溝を略平行に形成することにより構成されている。各板バネ部9aの幅は、後述するX軸およびY軸方向にバネとして作用するように薄く形成されている。
可動部8の中心を通過し相互に直交するX軸およびY軸の各軸線上に沿って延びるように、弾性部9としての駆動バネ部9bが形成されている。これら駆動バネ部9bの幅はそれぞれ、X方向またはY方向にバネとして作用するように薄く形成されている。各駆動バネ部9bは可動部8の各辺の中央に接続されている。
アクチュエータ10は、可動部8の各辺の各駆動バネ部9bに並列する位置に配置され、ヒンジ部12によって固定部7に連結されるとともに、先端が駆動バネ部9bの一端に接続されたアーム部13と、可動部8の2辺に対応する各アーム部13と固定部7との間に配置されたピエゾ素子14とを備えている。
ピエゾ素子14は加えられた電圧信号に応じて一方向に伸縮するように配置されており、伸縮によりアーム部13の一端に押引力が加えられる結果、アーム部13がヒンジ部12を支点として揺動させられ、可動部8が、アクチュエータ10の伸縮方向に対して直交する方向に押し引きされるようになっている。
ピエゾ素子14は加えられた電圧信号に応じて一方向に伸縮するように配置されており、伸縮によりアーム部13の一端に押引力が加えられる結果、アーム部13がヒンジ部12を支点として揺動させられ、可動部8が、アクチュエータ10の伸縮方向に対して直交する方向に押し引きされるようになっている。
撮像素子3は、図2に示されるように、可動部8に支柱(結合部材)15によって固定された基板16上に実装され、発熱体としての電源50を備えている。
伝熱部材5は、例えば、シリコーンゴムやシリコーンゲルに無機熱伝導性フィラーを含有させてなる可撓性を有するシート状に形成され、可動部8の貫通孔11を貫通して、撮像素子3の電源50およびベース部材2の表面に密着状態に配置されている。これにより、撮像素子3の電源50において発生した熱が伝熱部材5を介してベース部材2に伝導されるようになっている。
伝熱部材5は、例えば、シリコーンゴムやシリコーンゲルに無機熱伝導性フィラーを含有させてなる可撓性を有するシート状に形成され、可動部8の貫通孔11を貫通して、撮像素子3の電源50およびベース部材2の表面に密着状態に配置されている。これにより、撮像素子3の電源50において発生した熱が伝熱部材5を介してベース部材2に伝導されるようになっている。
断熱部材6は、断熱性を有する樹脂からなり、伝熱部材5を嵌合させる中央孔17を有する円筒状に形成され、外周面に可動部8の雌ネジに締結される雄ネジを有している。断熱性を有する樹脂としては、例えば、ポリカーボネートあるいはポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂を挙げることができる。
また、断熱部材6には、径方向外方に突出する鍔部18が設けられている。断熱部材6は、鍔部18が可動部8に突き当たるまで雄ネジと雌ネジとを締結することにより、可動部8にしっかりと固定されている。
図2中、符号19は、ベース部材2に固定された第1カバー部材であり、ベース部材2と第1カバー部材19との間をOリング20によって密封することにより、撮像素子3を収容する空間を密封するようになっている。この空間内には乾燥した空気や不活性ガス等が封入されている。
第1カバー部材19には、撮像素子3の撮像面に対向する位置に光学的に透明な防塵ガラスからなる窓部21が設けられている。
図中、符号22は、撮像装置100を顕微鏡本体201に着脱するためのCマウント等の取付部である。
図中、符号22は、撮像装置100を顕微鏡本体201に着脱するためのCマウント等の取付部である。
また、図2中、符号23は、ベース部材2に固定された第2カバー部材であり、第2カバー部材23とベース部材2との間の空間には、撮像素子3の出力信号を処理して画像データを取得する回路が形成された基板24が収容されている。符号25は、基板24に接続され、画像データを外部に出力するためのコネクタである。
このように構成された本実施形態に係る微動装置1の作用について以下に説明する。
本実施形態に係る微動装置1を用いて撮像素子3を微小移動させる場合には、ピエゾ素子14に電圧信号を供給してピエゾ素子14を伸縮させる。これにより、ピエゾ素子14の押引力がアーム部13および駆動バネ部9bを介して可動部8に押引力を加えられる。
本実施形態に係る微動装置1を用いて撮像素子3を微小移動させる場合には、ピエゾ素子14に電圧信号を供給してピエゾ素子14を伸縮させる。これにより、ピエゾ素子14の押引力がアーム部13および駆動バネ部9bを介して可動部8に押引力を加えられる。
微動素子4による撮像素子3の変位を、例えば、撮像素子3の画素ピッチ未満(本実施形態では画素ピッチの1/2)の振幅でX軸方向およびY方向の2方向に実施することにより、撮像素子3の画素ずらしを実施して、画素ずらしせずに取得した画像よりも高解像の画像を得ることができる。
この場合において、撮像素子3による撮影に伴い電源50が発熱するが、発生した熱は、電源50に密着して配置されている伝熱部材5を介してベース部材2に伝導され、第1カバー部材19および第2カバー部材23を経由して大気に放散される。これにより電源50が冷却される。
伝熱部材5と可動部8とが断熱部材6によって断熱されているので、電源50において発生した熱の大部分が伝熱部材5を経由してベース部材2に伝熱される。したがって、可動部8の急激な温度変化が防止され、熱変形等による急激な位置ズレの発生を効果的に防止することができるという利点がある。
また、この場合において、伝熱部材5は、断熱部材6によって可動部8に固定されているとともに、ベース部材2に密着させられているが、可撓性を有しているので、ベース部材2に対して可動部8が相対的に変位させられても、変形させられることにより、可動部8への固定状態とベース部材2への密着状態とを維持することができる。これにより、伝熱部材5を介した撮像素子3からベース部材2への効果的な伝熱と、可動部8への伝熱の遮断とを行うことができる。
ここで、ベース部材2は、第1カバー部材19および第2カバー部材23に固定されていて、移動しないため、材質を鉄や銅で構成したり、体積を微動素子4よりも大きくしたりすることが可能である。
これにより、可動部8の質量を増やすことなく、伝熱部材5の伝熱先であるベース部材2の熱容量を大きくすることができる。すなわち、可動部8の動特性を劣化させることなく、可動部8の急激な温度変化が防止され、撮像素子3から伝熱部材5を介した伝熱部材5への伝熱をより効果的に行うことができる。
なお、本実施形態においては、撮像素子3からの熱をシート状の伝熱部材5に直接伝熱させることとしたが、これに代えて、図4に示されるように、撮像素子3を冷却するための基板16の裏面に取り付けられたヒートシンク26およびペルチェ素子(冷却素子、発熱体)27を装備し、ペルチェ素子27をヒートシンク26に押し付ける調整ネジ28および調整ネジ28とベース部材2との間に配置した熱伝導グリス29によって、伝熱部材5を構成してもよい。
調整ネジ28は、円板状の外周面に断熱部材6の内面に形成した雌ネジに締結される雄ネジを有している。
撮像素子3は、基板16上に実装されており、伝熱部材5とは別の支柱15によって可動部8に固定されている。
撮像素子3は、基板16上に実装されており、伝熱部材5とは別の支柱15によって可動部8に固定されている。
これにより、ペルチェ素子27は、ヒートシンク26、基板16および支柱15を介して可動部8に固定されることとなる。
また、ヒートシンク26とペルチェ素子27との界面やペルチェ素子27と調整ネジ28との界面に、熱伝導グリスを塗布してもよい。
また、ヒートシンク26とペルチェ素子27との界面やペルチェ素子27と調整ネジ28との界面に、熱伝導グリスを塗布してもよい。
ヒートシンク26および調整ネジ28は、銅あるいはアルミニウム等の熱伝導率の高い金属材料により構成されている。
熱伝導グリス29としては、例えば、シリコーンオイルに高熱伝導無機粉末を配合した材料を挙げることができる。熱伝導グリス29は粘性を有し、可動部8が移動した場合には変形して可動部8の移動を阻害せず、撮像装置100が傾斜しても調整ネジ28とベース部材2との隙間から流出しないようになっている。
熱伝導グリス29としては、例えば、シリコーンオイルに高熱伝導無機粉末を配合した材料を挙げることができる。熱伝導グリス29は粘性を有し、可動部8が移動した場合には変形して可動部8の移動を阻害せず、撮像装置100が傾斜しても調整ネジ28とベース部材2との隙間から流出しないようになっている。
このように構成することにより、ペルチェ素子27を使用することで撮像素子3を例えば室温以下に冷却することができる。
また、撮像素子3を急速に冷却するために、ペルチェ素子27に流す電流を急増させて、ペルチェ素子27の発熱量が急増した場合であっても、伝熱部材5と可動部8との間の断熱部材6の断熱作用によって、ペルチェ素子27で発生した熱の大部分が伝熱部材5を介してベース部材2に伝熱されるようになっている。
また、撮像素子3を急速に冷却するために、ペルチェ素子27に流す電流を急増させて、ペルチェ素子27の発熱量が急増した場合であっても、伝熱部材5と可動部8との間の断熱部材6の断熱作用によって、ペルチェ素子27で発生した熱の大部分が伝熱部材5を介してベース部材2に伝熱されるようになっている。
したがって、撮像素子3の画素ずらしを実施する際に、可動部8の急激な温度変化が防止され、熱変形等による急激な位置ズレの発生を効果的に防止し、熱ノイズの少ない高精細な画像を得ることができるという利点がある。
また、本実施形態においては、図5に示されるように、基板16を可動部8に固定する支柱(第2断熱部材、結合部材)30も断熱材料により構成することにしてもよい。これにより、撮像素子3からの発熱が支柱30を経由して可動部8に伝導することも防止することができ、微動素子4の急激な温度変化による急激な位置ズレの発生をより効果的に防止することができるという利点がある。
また、断熱部材6を可動部8の貫通孔11の雌ネジに締結することに代えて、図6に示されるように、断熱材料からなる支柱31によって固定することにしてもよい。図6に示す例では、円筒状の断熱部材6の鍔部18を径方向に延ばし、基板16および可動部8に断熱材料からなる支柱31を介して固定している。その結果、円筒状の断熱部材6および支柱31を一体的に構成することができ、部品点数を削減して安価に構成することができるという利点がある。
また、図7に示されるように、固定部7とベース部材2との間に断熱部材(第3断熱部材)32を配置してもよい。これにより、伝熱部材5を介してベース部材2に移動した熱が、固定部7との接続部を経由して微動素子4に戻ることを防止して、微動素子4の急激な温度変化による急激な位置ズレの発生をより効果的に防止することができるという利点がある。
また、本実施形態においては、撮像装置100内に備えられ、発熱体として撮像素子3、あるいは撮像素子3および撮像素子3を冷却するペルチェ素子27を微小移動する微動装置1について説明したが、これに代えて、図8に示されるように、標本Xを搭載するステージ(微動対象部材)202を微小移動させる場合に本発明の微動装置1を適用してもよい。この場合、ステージ202を冷却するペルチェ素子27が発熱体となる。
この場合においても、ペルチェ素子27を使用することでステージ202を冷却して、ステージ202に搭載した標本Xを冷却しても、ペルチェ素子27で発生した熱が微動素子4の可動部8に伝熱してしまうことが防止され、標本Xを精度よく微動させることができるという利点がある。図中、符号33はベース部材2に伝わった熱を放出するためのフィン34を備えた放熱器である。
また、本実施形態においては、断熱手段として円筒状の断熱部材6を例示したが、伝熱部材5と微動素子4の可動部8との間に円筒状の隙間を形成することにより、隙間を断熱手段としてもよい。これによっても、可動部8に搭載された発熱体の熱を伝導する伝熱部材5から可動部8への伝熱を防止することができる。
また、本実施形態においては、発熱体からの熱をベース部材2に伝熱する伝熱部材5を例示したが、ペルチェ素子27に流す電流の極性を反転させてベース部材2側からステージ202に熱を供給する伝熱部材を備える場合に適用してもよい。
なお、本実施形態においては、伝熱部材5と発熱体とを直接接触させているが、これに限られるものではない。例えば、伝熱部材5と発熱体との間に他の部材を介在させ、伝熱部材5と発熱体とを間接的に接触させるようにしてもよい。
1 微動装置
2 ベース部材
3 撮像素子(発熱体、微動対象部材)
4 微動素子
5 伝熱部材
6 断熱部材(断熱手段、第1断熱部材)
7 固定部
8 可動部
9 弾性部
10 アクチュエータ
27 ペルチェ素子(発熱体、冷却素子)
30 支柱(第2断熱部材、結合部材)
32 断熱部材(第3断熱部材)
2 ベース部材
3 撮像素子(発熱体、微動対象部材)
4 微動素子
5 伝熱部材
6 断熱部材(断熱手段、第1断熱部材)
7 固定部
8 可動部
9 弾性部
10 アクチュエータ
27 ペルチェ素子(発熱体、冷却素子)
30 支柱(第2断熱部材、結合部材)
32 断熱部材(第3断熱部材)
Claims (7)
- ベース部材と、
該ベース部材に固定される固定部と、該固定部に対して相対移動可能に配置され、発熱体を搭載する可動部と、該可動部と前記固定部とを連結する弾性部と、前記固定部に対して前記可動部を微小移動させるアクチュエータとを備える微動素子と、
前記ベース部材および前記発熱体に接触して配置され、前記発熱体と前記ベース部材との間の熱伝導を行う可撓性を有する伝熱部材と、
該伝熱部材と前記可動部との間の伝熱を遮断する断熱手段とを備える微動装置。 - 前記発熱体が撮像素子である請求項1に記載の微動装置。
- 前記発熱体が冷却素子である請求項1に記載の微動装置。
- 前記断熱手段が前記伝熱部材を前記可動部に固定する断熱部材である請求項1から請求項3のいずれかに記載の微動装置。
- 前記断熱手段が、前記伝熱部材を前記可動部に固定する第1断熱部材と、前記発熱体を前記可動部に固定する第2断熱部材とを備える請求項1から請求項3のいずれかに記載の微動装置。
- 前記第1断熱部材と前記第2断熱部材とが一体的に構成されている請求項5に記載の微動装置。
- 前記固定部と前記ベース部材との間の伝熱を遮断する第3断熱部材を備える請求項1から請求項6のいずれかに記載の微動装置。
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---|---|---|---|
JP2017013963A JP2018125582A (ja) | 2017-01-30 | 2017-01-30 | 微動装置 |
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JP (1) | JP2018125582A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102230492B1 (ko) * | 2019-10-01 | 2021-03-22 | 주식회사 뷰웍스 | 영상촬영장치 |
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2017
- 2017-01-30 JP JP2017013963A patent/JP2018125582A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102230492B1 (ko) * | 2019-10-01 | 2021-03-22 | 주식회사 뷰웍스 | 영상촬영장치 |
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