JP4947165B2 - 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、リザーバ部の最も気泡が滞留する領域に突部を設けることによって、液体供給口から液体を取り込んだ際に、液体に含有する気泡がリザーバ部内に滞留することがない。
かかる第2の態様では、リザーバ部に突部を容易に且つ高精度に形成することができ、また、気泡の滞留を防止することができる。
かかる第3の態様では、突部が圧力発生室の列方向に対応する領域のみに設けられているので、気泡が滞留し易い箇所のリザーバ形成基板の形状を最小限の範囲で変えればよい。
かかる第4の態様では、リザーバ部の最も気泡が滞留する領域に突部を容易に且つ高精度に形成することができる。
かかる第5の態様では、突部によってリザーバ部内に気泡が滞留するのを確実に防止できる。
かかる第6の態様では、リザーバ部及び突部を同時に且つ高精度に形成することができる。
かかる第7の態様では、液体吐出特性が実質的に安定し且つ信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
かかる第8の態様では、突部を形成する工程を増やすことなく、リザーバ部と突部とを同時に且つ高精度に形成することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では、面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ1〜2μmの弾性膜50が形成されている。
本実施形態では、各圧力発生室12の長辺を第1の(111)面で、短辺を第2の(111)面で形成している。この圧力発生室12は、流路形成基板10をほぼ貫通して弾性膜50に達するまでエッチングすることにより形成されている。ここで、弾性膜50は、シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵される量がきわめて小さい。
なお、実際には、マスク膜34、35のそれぞれの開口部34a、35aは、リザーバ部31として、圧力発生室12の列方向に向かって垂直な側壁が形成されるように、図6に示すように、マスクパターンを所定の傾斜角度で櫛刃状に形成している。
図8は、実施形態2に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図及びそのB−B′断面図である。図示するように、本実施形態のリザーバ形成基板30Aには、コンプライアンス基板40とリザーバ部31Aの圧力発生室12の列方向に延びる圧力発生室12側の側壁とで画成される隅部の圧力発生室12の列方向両端部の角部に、庇状にせり出すように突出した突部33Aが設けられている。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1及び2では、突部33、33Aをリザーバ部31、31Aの側壁のコンプライアンス基板40の接合された開口部側に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、突部をリザーバ部の厚さ方向に亘って設けるようにしてもよい。
また、例えば、上述の実施形態では、成膜及びリソグラフィプロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッド等にも本発明を採用することができる。
Claims (2)
- 液滴を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設して画成された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して複数の前記圧力発生室に対応する領域に設けられて複数の前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合され且つ複数の前記圧力発生室の長手方向一端部に連通して液体を供給するリザーバの一部を構成する厚さ方向に貫通したリザーバ部の設けられたリザーバ形成基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記リザーバ形成基板の前記流路形成基板とは反対側上には、前記リザーバ部に対向する領域が厚さ方向に完全に除去された開口部が形成された固定板と、この固定板の下に設けられ前記リザーバ部の一方面を封止すると共に可撓性を有する材料で形成された封止膜と、前記固定板及び前記封止膜を厚さ方向に貫通し前記リザーバ部の開口に連通する液体導入口を備えた液体導入口形成板が形成され、
前記リザーバ部における複数の前記圧力発生室の並設方向に延びる前記圧力発生室側の壁と前記液体導入口形成板とで画成される領域に、
複数の前記圧力発生室の並設方向に対応する領域に、
前記圧力発生室側の壁から前記開口部の中に入り込むような向きでせり出すように突出して前記封止膜の底面と接する突部が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 液滴を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設して画成された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して複数の前記圧力発生室に対応する領域に設けられて複数の前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側に接合され且つ複数の前記圧力発生室の長手方向一端部に連通して液体を供給するリザーバの一部を構成する厚さ方向に貫通したリザーバ部の設けられたリザーバ形成基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記リザーバ形成基板の前記流路形成基板とは反対側上には、前記リザーバ部に対向する領域が厚さ方向に完全に除去された開口部が形成された固定板と、この固定板の下に設けられ前記リザーバ部の一方面を封止すると共に可撓性を有する材料で形成された封止膜と、前記固定板及び前記封止膜を厚さ方向に貫通し前記リザーバ部の開口に連通する液体導入口を備えた液体導入口形成板が形成され、
前記リザーバ部における複数の前記圧力発生室の並設方向に延びる前記圧力発生室側の壁と前記液体導入口形成板とで画成される領域に、
複数の前記圧力発生室の並設方向に対応する領域の少なくとも一部に、
前記圧力発生室側の壁から前記開口部の中に入り込むような向きでせり出すように突出して前記封止膜の底面と接する突部が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034417A JP4947165B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
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JP2010034417A JP4947165B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003287111A Division JP4492059B2 (ja) | 2003-08-05 | 2003-08-05 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010105409A JP2010105409A (ja) | 2010-05-13 |
JP4947165B2 true JP4947165B2 (ja) | 2012-06-06 |
Family
ID=42295286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010034417A Expired - Fee Related JP4947165B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4947165B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07329293A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-19 | Citizen Watch Co Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
JP3424721B2 (ja) * | 1996-10-18 | 2003-07-07 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 |
JPH1148475A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-02-23 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
JP2001287363A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 |
JP2002036545A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-05 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
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2010
- 2010-02-19 JP JP2010034417A patent/JP4947165B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010105409A (ja) | 2010-05-13 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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