JP4940008B2 - めっき成膜装置および成膜制御方法 - Google Patents
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Description
めっき液を構成する成分を含む薬液を前記めっき液タンクへ補充する工程と、めっき成膜処理に実際に用いられるめっき液の状態を示すパラメータに基づいて、そのめっき液を用いて行われるめっき成膜条件を決定する成膜制御工程と、を具備し、前記めっき液の状態を示すパラメータは、溝配線におけるボトムアップ量、めっき膜における不純物量、めっき成膜のオーバープレーティング、めっき膜中の欠陥量の中から選ばれた1つまたは複数の特性を一定に保持するために予め求められたパラメータであり、前記めっき成膜条件は、めっき成膜時の電流値とめっき成膜時の基板回転数のいずれか一方または両方であり、前記成膜制御工程は、前記めっき液の状態を示すパラメータとめっき成膜条件との相関データを記憶しておき、実際にめっき成膜に用いられるめっき液の状態を示すパラメータをこの相関データと照合することによって、そのめっき液でのめっき成膜条件を決定することを特徴とするめっき成膜制御方法が得られる。
Claims (4)
- 被成膜基板の表面にCu膜をめっき成膜するためのめっき槽と、
前記めっき槽との間でめっき液を循環させるための液タンクと、
めっき成膜処理に用いられるめっき液に含まれる所定の成分の濃度を分析するめっき液分析部と、
めっき液を構成する成分を含む薬液を前記めっき液タンクへ補充する薬液供給部と、
めっき成膜処理に実際に用いられるめっき液の状態を示すパラメータに基づいて、そのめっき液を用いて行われるめっき成膜条件を決定する成膜制御部と、を具備し、
前記めっき液の状態を示すパラメータは、溝配線におけるボトムアップ量、めっき膜における不純物量、めっき成膜のオーバープレーティング、めっき膜中の欠陥量の中から選ばれた1つまたは複数の特性を一定に保持するために予め求められたパラメータであり、
前記めっき成膜条件は、めっき成膜時の電流値とめっき成膜時の基板回転数のいずれか一方または両方であり、
前記成膜制御部は、前記めっき液の状態を示すパラメータと前記めっき成膜条件との相関データを記憶しておき、実際にめっき成膜に用いられるめっき液の状態を示すパラメータをこの相関データと照合することによって、そのめっき液でのめっき成膜条件を決定することを特徴とするめっき成膜装置。 - 前記めっき液の状態を示すパラメータは、めっき成膜処理に実際に用いられるめっき液を構成する各種成分の濃度と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからのその使用時間と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからめっき成膜処理された基板枚数と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからめっき成膜処理で消費されたクーロン量と、前記めっき液タンクまたは前記めっき槽へ定期的に補充される薬液量と、前記めっき液タンクまたは前記めっき槽から定期的に排出されるめっき液量、の中から選択された1つまたは複数のパラメータであることを特徴とする請求項1に記載のめっき成膜装置。
- 被成膜基板の表面にCu膜をめっき成膜するためのめっき槽と液タンクとの間でめっき液を循環させる工程と、
めっき成膜処理に用いられるめっき液に含まれるめっき液の成分の濃度を分析する工程と、
めっき液を構成する成分を含む薬液を前記めっき液タンクへ補充する工程と、
めっき成膜処理に実際に用いられるめっき液の状態を示すパラメータに基づいて、そのめっき液を用いて行われるめっき成膜条件を決定する成膜制御工程と、を具備し、
前記めっき液の状態を示すパラメータは、溝配線におけるボトムアップ量、めっき膜における不純物量、めっき成膜のオーバープレーティング、めっき膜中の欠陥量の中から選ばれた1つまたは複数の特性を一定に保持するために予め求められたパラメータであり、
前記めっき成膜条件は、めっき成膜時の電流値とめっき成膜時の基板回転数のいずれか一方または両方であり、
前記成膜制御工程は、前記めっき液の状態を示すパラメータとめっき成膜条件との相関データを記憶しておき、実際にめっき成膜に用いられるめっき液の状態を示すパラメータをこの相関データと照合することによって、そのめっき液でのめっき成膜条件を決定することを特徴とするめっき成膜制御方法。 - 前記めっき液の状態を示すパラメータは、めっき成膜処理に実際に用いられるめっき液を構成する各種成分の濃度と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからのその使用時間と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからめっき成膜処理された基板枚数と、前記めっき液タンクに新しいめっき液が供給されてからめっき成膜処理で消費されたクーロン量と、前記めっき液タンクまたは前記めっき槽へ定期的に補充される薬液量と、前記めっき液タンクまたは前記めっき槽から定期的に排出されるめっき液量、の中から選択された1つまたは複数のパラメータであることを特徴とする請求項3に記載のめっき成膜制御方法。
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