JP4358259B2 - 半導体製造装置および半導体製造方法 - Google Patents
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- リン酸液が滞留され、形成されたSiN量の異なる複数種の半導体基板を順次前記リン酸液でエッチング処理するためのエッチング処理槽と、
前記エッチング処理槽内の前記リン酸液における積算SiNエッチング量を算出し、予め求められた前記積算SiNエッチング量と対酸化膜選択比との相関より、前記リン酸液の液質調整が必要か否かを判断し、必要に応じて前記リン酸液の液質調整量を算出する制御ユニットと、
前記液質調整量に基づき、前記リン酸液の液質を調整する機構を具備することを特徴とする半導体製造装置。 - 前記リン酸液の液質を調整する機構は、前記リン酸液を排出する機構と、新しいリン酸液を供給する機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。
- 前記リン酸液の液質を調整する機構は、シリコン成分を供給する機構を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造装置。
- 前記積算SiNエッチング量は、前記半導体基板1枚あたりのSiN膜厚、開口率及びその枚数に基づいて算出されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体製造装置。
- 形成されたSiN量の異なる複数種の半導体基板が順次エッチング処理に供されるリン酸液における積算SiNエッチング量を算出し、
予め求められた前記積算SiNエッチング量と対酸化膜選択比との相関より、前記リン酸液の液質調整が必要か否かを判断し、
前記液質調整が必要と判断された場合、前記リン酸液における液質調整量を算出し、
前記液質調整量に基づき、前記リン酸液の液質を調整し、
前記液質が調整された前記リン酸液を用いて、前記半導体基板をエッチング処理することを特徴とする半導体製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149465A JP4358259B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
US12/133,023 US7635397B2 (en) | 2007-06-05 | 2008-06-04 | Manufacturing apparatus for semiconductor device and manufacturing method for semiconductor device |
US12/591,154 US8148175B2 (en) | 2007-06-05 | 2009-11-10 | Manufacturing apparatus for semiconductor device and manufacturing method for semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149465A JP4358259B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008305851A JP2008305851A (ja) | 2008-12-18 |
JP4358259B2 true JP4358259B2 (ja) | 2009-11-04 |
Family
ID=40096237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007149465A Expired - Fee Related JP4358259B2 (ja) | 2007-06-05 | 2007-06-05 | 半導体製造装置および半導体製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7635397B2 (ja) |
JP (1) | JP4358259B2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5368116B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2013-12-18 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP5370381B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2013-12-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 |
JP5490071B2 (ja) | 2011-09-12 | 2014-05-14 | 株式会社東芝 | エッチング方法 |
JP5795983B2 (ja) | 2012-03-27 | 2015-10-14 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6009268B2 (ja) * | 2012-08-09 | 2016-10-19 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 洗浄液生成装置、洗浄液生成方法、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
JP6118689B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2017-04-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2015070080A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 |
JP6502633B2 (ja) * | 2013-09-30 | 2019-04-17 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP6370233B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
US10147619B2 (en) | 2015-08-27 | 2018-12-04 | Toshiba Memory Corporation | Substrate treatment apparatus, substrate treatment method, and etchant |
TW201713751A (zh) * | 2015-10-06 | 2017-04-16 | 聯華電子股份有限公司 | 酸槽補酸系統與方法 |
CN105390391B (zh) * | 2015-10-29 | 2018-04-03 | 上海华力微电子有限公司 | 一种h3po4槽小换酸的控制方法 |
US10515820B2 (en) * | 2016-03-30 | 2019-12-24 | Tokyo Electron Limited | Process and apparatus for processing a nitride structure without silica deposition |
US10325779B2 (en) | 2016-03-30 | 2019-06-18 | Tokyo Electron Limited | Colloidal silica growth inhibitor and associated method and system |
JP6789751B2 (ja) * | 2016-10-04 | 2020-11-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 |
JP6857526B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-04-14 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および、基板処理方法 |
JP6909620B2 (ja) * | 2017-04-20 | 2021-07-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
KR102264002B1 (ko) * | 2017-10-20 | 2021-06-11 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 |
JP6777704B2 (ja) * | 2017-10-20 | 2020-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP6516908B2 (ja) * | 2018-07-03 | 2019-05-22 | 東京エレクトロン株式会社 | リン酸水溶液を用いたエッチング処理制御装置及びリン酸水溶液を用いたエッチング処理制御方法並びに基板をリン酸水溶液でエッチング処理させるプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP7096112B2 (ja) * | 2018-09-13 | 2022-07-05 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
JP2020150126A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 混合装置、混合方法および基板処理システム |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06163509A (ja) * | 1992-07-27 | 1994-06-10 | Mitsubishi Kasei Corp | エッチング処理液の制御方法 |
JPH09275091A (ja) * | 1996-04-03 | 1997-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体窒化膜エッチング装置 |
US5830375A (en) * | 1996-06-10 | 1998-11-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Automated method for monitoring and controlling the orthophosphoric acid etch rate of silicon nitride insulator layers |
US6399517B2 (en) * | 1999-03-30 | 2002-06-04 | Tokyo Electron Limited | Etching method and etching apparatus |
US6326313B1 (en) * | 1999-04-21 | 2001-12-04 | Advanced Micro Devices | Method and apparatus for partial drain during a nitride strip process step |
US6376261B1 (en) * | 2000-01-03 | 2002-04-23 | Advanced Micro Devices Inc. | Method for varying nitride strip makeup process based on field oxide loss and defect count |
JP2001217219A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-10 | Tokyo Electron Ltd | 液処理方法及び液処理装置 |
US20030011774A1 (en) * | 2001-06-05 | 2003-01-16 | Dibello Gerald N. | Methods and systems for monitoring process fluids |
JP2004288963A (ja) | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法及びその装置 |
JP2005079212A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Trecenti Technologies Inc | 半導体製造装置、及び半導体装置の製造方法 |
EP1704586A1 (en) * | 2003-12-30 | 2006-09-27 | Akrion Llc | System and method for selective etching of silicon nitride during substrate processing |
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TWI235425B (en) * | 2004-05-26 | 2005-07-01 | Promos Technologies Inc | Etching system and method for treating the etching solution thereof |
-
2007
- 2007-06-05 JP JP2007149465A patent/JP4358259B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-06-04 US US12/133,023 patent/US7635397B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-11-10 US US12/591,154 patent/US8148175B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8148175B2 (en) | 2012-04-03 |
US7635397B2 (en) | 2009-12-22 |
JP2008305851A (ja) | 2008-12-18 |
US20100136716A1 (en) | 2010-06-03 |
US20080305564A1 (en) | 2008-12-11 |
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