JP4937372B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
該再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、
該サーボ領域は、周期L0で配列された磁気ドット群を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、分割された複数の磁気ドット領域を含み、
該複数の磁気ドット領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、下記式(1)で表される関係を満たすことを特徴とする。
本発明の磁気記録再生装置は、ディスク状の磁気記録媒体、及び回動可能なアクチュエータアームに取り付けられた再生ヘッドを備えた磁気記録再生装置であって、
該磁気記録媒体は、
該再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、
該サーボ領域は、周期L0で配列された磁気ドット群を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、分割された複数の磁気ドット領域を含み、
該複数の磁気ドット領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、下記式(1)で表される関係を満たすことを特徴とする。
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、回動可能なアクチュエータアームに取り付けられた再生ヘッドを備えた磁気記録再生装置に適用され、該再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、該サーボ領域は、周期L0で配列された磁気ドット群を含み、該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、分割された複数の磁気ドット領域を含み、
該複数の領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、下記式(1)で表される関係を満たす磁気記録媒体の製造方法であって、
L0{Nm√3/2−0.3}≦Wm≦L0{Nm√3/2+0.3}…(1)
前記複数の磁気ドット領域に相当する凸パターンを有する第1のスタンパを形成する工程、
該第1のスタンパの凸パターンを、基材上に設けられたレジスト層にインプリント法により転写した後、レジストを硬化させてガイドを形成し、該ガイド内に自己組織化材料を適用して相分離せしめ、前記周期L0で配列された磁気ドット群に相当する自己組織化ドットパターンを形成し、該自己組織化ドットパターンに基づく第2のスタンパを作製する工程、
基板及び該基板上に設けられた磁気記録層を含む磁気記録媒体を用意し、該磁気記録層上にパターン転写用レジスト材料の塗布層を形成し、前記第2のスタンパのパターン面を該塗布層を介して貼り合わせ、該塗布層を硬化せしめた後、該第2のスタンパを剥離し、前記磁気記録層上に前記自己組織化ドットパターンが転写されて硬化されたレジスト材料層を形成し、該硬化されたレジスト材料層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に、前記磁気ドット群を形成する工程を具備する。
サーボ領域は、周期L0で配列された磁気ドット群を含み、
磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともダウントラック方向のドット配列が共通する磁気ドット群毎に、分割された複数の磁気ドット領域を含み、
複数の磁気ドット領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、下記式(1)で表される関係を満たすことを特徴とする。
本発明に用いられる各磁気ドット領域は、磁気ドット群をそのクロストラック方向に亘って分割した領域となっており、その幅が、トラック方向にL0×√3/2の整数倍の±0.3×L0以内の幅で規定されていることにより、少なくともダウントラック方向のドット配列が共通した領域となっている。
第1のスタンパの凸パターンを、基材上に設けられたレジスト層にインプリント法により転写した後、レジストを硬化させてガイドを形成し、ガイド内に自己組織化材料を適用して相分離せしめ、周期L0で配列された磁気ドット群に相当する自己組織化ドットパターンを形成し、自己組織化ドットパターンに基づく第2のスタンパを作成する工程、
基板及び該基板上に設けられた磁気記録層を含む磁気記録媒体を用意し、磁気記録層上にパターン転写用レジスト材料の塗布層を形成し、第2のスタンパのパターン面を塗布層を介して貼り合わせ、塗布層を硬化せしめた後、第2のスタンパを剥離し、磁気記録層上に自己組織化ドットパターンが転写されて硬化されたレジスト材料層を形成し、硬化されたレジスト材料層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に、磁気ドット群を形成することを特徴とする。
該磁気ドット群は、矢印rで表されるそのクロストラック方向に亘って、分割された複数の磁気ドット領域Zone 1,Zone 2,及びZone mzを含み、
mz個の磁気ドット領域のうち磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、上記式(1)で表される関係を満たす。
自己組織化ドットピッチの調査
溝に充填する自己組織化材料として、ジブロックコポリマのー種であるポリスチレン−ポリジメチルシロキサン(PS−PDMS)を用意した。
図10(a)ないし図10(f)に、ガイド用インプリントスタンパの製造工程を表す断面図を示す。
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:55℃
pH:4.0
電流密度:20A/dm2
このとき得られた電鋳膜の厚さは300μmであった。
ドットピッチL0が17nmとして計算すると、表2に示すように、3本配列では44.2nm、4本配列では58.9nm、5本配列では73.6nm、6本配列では88.3nmとなる。そこで、表1には、この計算値と実験値の差も合わせて示した。
本発明では、この溝幅Wgを用いて、記録磁性媒体用のインプリントガイドを設計することができる。
溝に充填するジブロックコポリマー種として、ポリスチレン−ポリジメチルシロキサン(PS−PDMS)を用いた。まず、自己組織化構造の周期長を調べるため、ガイドなしの平面ウエハ上で実験を行った。数平均分子量MnがPSで30000、PDMSで7500、分子量分散が1.10であるPS−PDMS(PS−PDMS #2)をトルエン溶媒で、0.50wt%に調整し、3インチのガイドなしウエハにスピンコートしたところ、30nm厚みのPS−PDMS膜を得た。この基板を180℃で12時間、真空中でアニール処理をした。次に、ICP(誘導結合プラズマ)エッチング装置で酸素プラズマエッチングをした後に、SEMで表面形状を観察したところ、30nmピッチのドット周期構造が観察された。
ホウ酸:40g/L
界面活性剤(ラウリル硫酸ナトリウム):0.15g/L
液の温度:50℃
pH:4.0
電流密度:10A/dm2
このとき得られた電鋳膜の厚さは300μmであった。
溝に充填するジブロックコポリマー種として、PS−PDMSを用いた。まず、自己組織化構造の周期長を調べるため、ガイドなしの平面ウエハ上で実験を行った。数平均分子量MnがPSで13500、PDMSで4000、分子量分散が1.07であるPS−PDMS(以下、PS−PDMS #3という)をトルエン溶媒で、0.30wt%に調整し、3インチのガイドなしウエハにスピンコートしたところ、20nm厚みのPS−PDMS膜を得た。この基板を180℃で12時間、真空中でアニール処理をした。次に、ICP(誘導結合プラズマ) エッチング装置で酸素プラズマエッチングをした後に、SEMで表面形状を観察したところ、22nmピッチのドット周期構造が観察された。
溝に充填するジブロックコポリマー種として、17nmピッチドットの自己組織化構造となるPS−PDMS #1を用いた。
一方、記録トラックは、120nmピッチで60nmの溝幅の同心円を作製した。
溝に充填するジブロックコポリマーとして、ポリスチレンーポリメタクリレート(PS−PMMA)の分子量89300(PS:74300,PMMA:15000 分子量分散Mw/Mn:1.13)を用意した。このPS−PMMAをPGMEAを溶媒として、2.0wt%とし、3インチのガイドなしのシリコンウエハにスピンコートし、180度で15時間真空アニール処理を実施した。AFMで膜表面を観察したところ、、PSマトリックスの中にPMMAドットが形成され、45nmの周期長を持っていること確認した。
Claims (5)
- ディスク状の磁気記録媒体であって、
再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、
該サーボ領域は、ピッチL0で配列された磁気ドット群を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともm個の磁気ドット領域(但し、mは2またはそれ以上の自然数である)を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともm個の磁気ドット領域(但し、mは2またはそれ以上の自然数である)を含む凸パターンを有する第1のスタンパを形成する工程、
該第1のスタンパの凸パターンを、基材上に設けられたレジスト層にインプリント法により転写した後、レジストを硬化させてガイドを形成し、該ガイド内に自己組織化材料を適用して相分離せしめ、前記ピッチL0で配列された磁気ドット群に相当する自己組織化ドットパターンを形成し、該自己組織化ドットパターンに基づく第2のスタンパを作成する工程、及び
基板及び該基板上に設けられた磁気記録層を含む磁気記録媒体を用意し、該磁気記録層上にパターン転写用レジスト材料の塗布層を形成し、前記第2のスタンパのパターン面を該塗布層を介して貼り合わせ、該塗布層を硬化せしめた後、該第2のスタンパを剥離し、前記磁気記録層上に前記自己組織化ドットパターンが転写されて硬化されたレジスト材料層を形成し、該硬化されたレジスト材料層をマスクとしてドライエッチングを行う工程により、磁気記録層表面に形成され、
該少なくともm個の磁気ドット領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、式(1)を満たし、
かつプリアンブル部の磁気ドット群が式(1)を満足する磁気記録媒体。
L0{Nm√3/2−0.23}≦Wm≦L0{Nm√3/2+0.24}…(1)
(但し、式中L0は17ないし45nm、Nmは6以下である。) - 前記プリアンブル部を構成する磁気ドット群を基準ドット群と見なし、アドレス部及びバースト部のうち少なくとも一方が該基準ドット群を含む請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 回動可能なアクチュエータアームに取り付けられ、磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動可能な再生ヘッドと、
ディスク状の磁気記録媒体であって、
該再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、
該サーボ領域は、ピッチL0で配列された磁気ドット群を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともm個の磁気ドット領域(但し、mは2またはそれ以上の自然数である)を含み、
該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともm個の磁気ドット領域(但し、mは2またはそれ以上の自然数である)を含む凸パターンを有する第1のスタンパを形成する工程、
該第1のスタンパの凸パターンを、基材上に設けられたレジスト層にインプリント法により転写した後、レジストを硬化させてガイドを形成し、該ガイド内に自己組織化材料を適用して相分離せしめ、前記ピッチL0で配列された磁気ドット群に相当する自己組織化ドットパターンを形成し、該自己組織化ドットパターンに基づく第2のスタンパを作成する工程、及び
基板及び該基板上に設けられた磁気記録層を含む磁気記録媒体を用意し、該磁気記録層上にパターン転写用レジスト材料の塗布層を形成し、前記第2のスタンパのパターン面を該塗布層を介して貼り合わせ、該塗布層を硬化せしめた後、該第2のスタンパを剥離し、前記磁気記録層上に前記自己組織化ドットパターンが転写されて硬化されたレジスト材料層を形成し、該硬化されたレジスト材料層をマスクとしてドライエッチングを行う工程により、磁気記録層表面に形成され、
該少なくともm個の磁気ドット領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の磁気ドット領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、式(1)を満たし、
かつプリアンブル部の磁気ドット群が式(1)を満足する磁気記録媒体とを具備する磁気記録再生装置。
L0{Nm√3/2−0.23}≦Wm≦L0{Nm√3/2+0.24}…(1)
(但し、式中L0は17ないし45nm、Nmは6以下である。) - 回動可能なアクチュエータアームに取り付けられた再生ヘッドを備えた磁気記録再生装置に適用され、該再生ヘッドが該磁気記録媒体上をそのクロストラック方向に移動する際の軌跡に相当する円弧に沿って設けられたサーボ領域を有し、該サーボ領域は、ピッチL0で配列された磁気ドット群を含み、該磁気ドット群は、そのクロストラック方向に亘って、少なくともm個の磁気ドット領域(但し、mは2またはそれ以上の自然数である)を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
前記複数の磁気ドット領域に相当する凸パターンを有する第1のスタンパを形成する工程、
該第1のスタンパの凸パターンを、基材上に設けられたレジスト層にインプリント法により転写した後、レジストを硬化させてガイドを形成し、該ガイド内に自己組織化材料を適用して相分離せしめ、前記ピッチL0で配列された磁気ドット群に相当する自己組織化ドットパターンを形成し、該自己組織化ドットパターンに基づく第2のスタンパを作成する工程、
基板及び該基板上に設けられた磁気記録層を含む磁気記録媒体を用意し、該磁気記録層上にパターン転写用レジスト材料の塗布層を形成し、前記第2のスタンパのパターン面を該塗布層を介して貼り合わせ、該塗布層を硬化せしめた後、該第2のスタンパを剥離し、前記磁気記録層上に前記自己組織化ドットパターンが転写されて硬化されたレジスト材料層を形成し、該硬化されたレジスト材料層をマスクとしてドライエッチングを行い、磁気記録層表面に、前記磁気ドット群を形成する工程を具備し、
少なくともm個の領域のうち該磁気記録媒体の最内周からm番目の領域のダウントラック方向の幅Wmと、m番目の領域のダウントラック方向のドット配列数Nmは、下記式(1)を満たし、かつ前記式(1)を満足する磁気ドット群がプリアンブル部を構成する磁気記録媒体の製造方法。
L0{Nm√3/2−0.23}≦Wm≦L0{Nm√3/2+0.24}…(1) - 前記プリアンブル部を構成する磁気ドット群を基準ドット群と見なし、該基準ドット群を組み合わせてアドレス部及びバースト部のうち少なくとも一方を構成する請求項4に記載の方法。
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