JP3944145B2 - 記録媒体、情報記録再生方法、インプリントスタンパ、および情報記録再生装置 - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体、情報記録再生方法、インプリントスタンパ、および情報記録再生装置に関する。

近年、パソコンなど情報機器の飛躍的な機能向上により、記録密度の高い情報記録再生装置に対する期待は高まるばかりである。記録密度を向上させるためには、記録媒体において記録の書き込み単位である１つの記録セルや記録マークなどの記録材料の大きさを微小化することが必要である。

一般的に、ハードディスクなどの磁気記録媒体（メディア）の記録層には、単結晶の粒度分布の広い多結晶体を用いている。粒の小さい単結晶程、熱揺らぎの影響を大きく受けるため、粒の小さい単結晶よりなる小さな記録セルほど、ノイズが増大し、記録が不安定になる。また、小さな記録セルでは、記録セル間の相互作用が相対的に大きくなることもノイズを増大させる要因となる。

これらの問題を回避するため、磁気記録の分野においては、あらかじめ記録材料を非記録材料により分断し、単一の記録材料を単一の記録セルとして記録再生を行うパターンドメディアが提案されている（例えば、非特許文献１参照。）。

このパターンドメディアの作成方法には、光や電子線を用いた人工的描画法やジブロックポリマーや微粒子等の自己組織材料により記録材料を作成する方法が挙げられる。前者は高精度高記録密度のメディアを作成できるが、後者より時間がかかる。一方、後者は高記録密度のメディアを短時間で作成することができるが、前者より精度は落ちる（例えば、特許文献１参照。）。

一方、パターンドメディアを記録再生する時は、記録ヘッドと再生ヘッドを備えた記録再生ヘッドがメディア上を走行する。記録再生ヘッドの位置決めは、メディア上のサーボ領域に記録された位置決め信号を用いて行われる。この位置決めによって、記録再生ヘッドがメディア上の各記録ドットに対して正しくアクセスし、記録再生を行う。
Ｓ．Ｙ．Ｃｈｏｕ ｅｔ ａｌ．，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，７６（１９９４）ｐｐ６６７３ 特開２００１-８２４３６公報

高記録密度のデータ領域を持つ磁気記録媒体は高精度のサーボ領域を必要とする。上述した自己組織材料によるパターンドメディアの作成方法においては、想定される記録媒体の記録密度は約200Gbpsi以上、記録ドットの直径は約100nm以下となる。すると、約10nm以下の位置決め精度が必要となる。

しかし、サーボ領域の位置決め信号のような微細なパターンを描くのに、ドット形状（粒形状）の記録材料は適さない。また、自己組織材料を用いると、材料自身の揺らぎやアニール時の揺らぎに起因するドットの位置ずれ、サイズずれが生じる。この位置ずれやサイズずれのため、現状の自己組織材料は、高精度を必要とするサーボ領域の位置決め信号には適さない。従って、サーボ領域の位置決め信号は、人工的描画法を用いて形成される
ことが望ましい。

このような状況を鑑みて、本発明者らは一枚の基板に両方の方法を混在させることを試み、以下のような問題を発見した。

記録媒体のサーボ領域とデータ領域を異なる方法を用いて製造すると、双方の領域間において相対的位置ずれが生じる。例えば、人工的描画法によりサーボ領域を形成し、自己組織材料を用いた方法によりデータ領域を形成して磁気記録媒体を製造する。このとき、夫々の方法はある基準点を定めて行われ、この基準点を基板上の同じ位置に固定するための位置決めが必要となる。この位置決め精度には、機械的な再現性、温度ムラによる膨張ムラ、不純物の混入等に起因する限界があるので、人工的描画法により形成したサーボ領域と自己組織化材料を用いた方法により形成したデータ領域では、位置ずれが生じる。

従来の位置決め方法としては、物理的方法、光学的方法等が挙げられる。

物理的な位置決め方法としては、ある特定のガイド構造物に対象物を接触させることで位置決めを行う。しかし、構造物と対象物との空気の層の厚みなどが誤差の要因となり、位置決め精度は10μm程度が限界である。一方、光学的位置決め方法は、二つの対象物に描かれた光学的な印を合わせることで行う。けれども、光の波長が誤差の要因となり、位置決め精度は50nm程度が限界となる。電子線を用いた場合も、約15nmが限界である。

このように、いずれの位置決め方法も、約10nm以下という位置決め精度の限界を達成することはできない。従って、例えば、約200Gbpsi以上の高記録密度媒体について、上述した一枚の基板上に複数の異なる方法を混在させて記録媒体を製造した際に生じる各々のパターン領域の相対的位置ずれを補正することはできない。

本発明は、このような事情に鑑み、記録媒体のサーボ領域とデータ領域を異なる方法を用いて形成した際に生じる各々の領域の相対的位置ずれを、記録媒体の情報記録再生の際に、位置ずれを簡便に補正することを可能にし、サーボ領域の高い位置決め精度を損なうことなく、高記録密度である記録媒体の情報記録再生を実現するものである。

上記目的を達成するために、第一の発明の記録媒体は、セクタサーボ方式であって、複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えたデータ位置決め信号領域を具備する複数のデータ領域と、を備えることを特徴とする。

また、第二の発明の情報記録再生方法は、記録再生ヘッドにより記録媒体のサーボ領域内の位置決め信号と、記録媒体のデータ領域内の位置決め信号とを読み取る工程と、読み取られたサーボ領域内の位置決め信号と、データ領域内の位置決め信号により、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を計算する工程と、相対的位置情報を元に記録再生ヘッドの位置を制御して、記録媒体の所定のトラック上を掃引しつつ、情報の記録もしくは再生を行う工程と、を備えたことを特徴とする。

また、第三の発明の記録媒体製造用インプリントスタンパは、セクタサーボ方式の記録媒体のサーボ領域に対応し、表面に複数の矩形状の凹部または凸部を備える第一の転写領域、及び、記録媒体のデータ領域に位置整合し、表面が平坦な第一の非転写領域、を備えるサーボ領域用インプリントスタンパと、記録媒体のデータ領域内のデータ記録領域に対
応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部を備える第二の転写領域、記録媒体のデータ位置決め信号領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部よりなる矩形状の区画と平坦な矩形状の区画とからなるパターンを備える第三の転写領域、及び、記録媒体のサーボ領域に位置整合し、表面が平坦な第二の非転写領域、を備えるデータ領域用インプリントスタンパとからなり、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパは対をなすことを特徴とする。

また、第四の発明の記録媒体製造用インプリントスタンパは、セクタサーボ方式の記録媒体のサーボ領域に対応し、表面に複数の矩形状の凹部または凸部を備える第一の転写領域と、記録媒体のデータ領域内のデータ記録領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部を備える第二の転写領域と、記録媒体のデータ位置決め信号領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部によりなる矩形状の区画と平坦な矩形状の区画とからなるパターンを備える第三の転写領域と、を備えることを特徴とする。

また、第五の発明の情報記録再生装置は、複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えたデータ位置決め信号領域を具備するデータ領域と、を備えることを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体と、
磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、
磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、
記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、
記録再生ヘッドにより読み出されたサーボ領域とデータ領域の位置決め信号から、サーボ領域とデータ領域との相対的位置情報を計算する手段と、
相対的位置情報を元に記録再生ヘッドの記録媒体上の位置を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。

また、第六の発明の情報記録再生装置は、複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えるデータ位置決め信号領域を具備するデータ領域と、を備えたことを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体と、磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報の記憶をしている記憶手段と、相対的位置情報を元に記録再生ヘッドの記録媒体上の位置を制御する制御手段と、を少なくとも備えたことを特徴とする。

また、第七の発明の情報記録再生装置は、複数の矩形状の記録材料を備える第１のサーボ領域と、前記サーボ領域によって区切られた領域にあって、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備える第１のデータ領域と、を備えたセクタサーボ方式の第１の記録媒体と、 前記第１の記録媒体を駆動する駆動手段と、前記第１の記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、前記記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数の第２のサーボ領域と、前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えるデータ位置決め信号領域を具備する第２のデータ領域とを備えるセクタサーボ方式の第２の記録媒体上を前記記録再生ヘッドが掃引することにより読み取られた前記第２のサーボ領域内の位置決め信号と前記第２のデータ領域内の位置決め信号とにより計算された前記第１のサーボ領域と前記第１のデータ領域の相対的位置情報を記憶している記憶手段と、前記相対的位置情報を元に前記記録再生ヘッドの前記第１の記録媒体上の位置を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする
次に、上記各発明において、使用した言葉について説明する。

本発明における「矩形」とは、矩形における短辺の１／２以下の曲率半径を持った曲線により描かれた角と辺により形成される。この矩形における角近傍の曲線の曲率半径は、矩形を描く描画装置の分解能に基づく。

「非転写領域」とは、磁気記録媒体製造におけるインプリントスタンパを転写する工程において、被転写体と接触もしくは非接触の状態にあって、転写後の被転写体に凹凸構造を形成しない領域を示す。

第一の発明によれば、高精度のサーボ領域と高記録密度のデータ領域との相対的位置ずれを、各領域にある位置決め信号により補正することで、高い位置決め精度と高記録密度とを実現する記録媒体を提供することができる。

第二の発明によれば、相対的な位置ずれのあるサーボ領域とデータ領域の記録再生において、その位置ずれを補正することで、高精度・高記録密度の記録媒体の記録再生が可能となる。

第三の発明によれば、サーボ領域用インプリントスタンパの第一の転写領域は、サーボ領域に好適な凹凸構造を有し、データ領域用インプリントスタンパの第二の転写領域および第三の転写領域は、データ領域に好適な凹凸構造を有し、これらのインプリントスタンパは互いに対である記録媒体製造用インプリントスタンパを提供することが可能である。

第四の発明によれば、サーボ領域に好適な凹凸構造を有する第一の転写領域とデータ領域に好適な凹凸構造を有する第二の転写領域および第三の転写領域を記録媒体に一括転写することが可能である記録媒体製造用インプリントスタンパを提供することができる。

第五の発明によれば、高精度のサーボ領域と高記録密度のデータ領域との相対的位置ずれを、各領域にある位置決め信号により補正することが可能である情報記録再生装置を提供することができる。

第六の発明によれば、高精度のサーボ領域と高記録密度のデータ領域の相対的位置ずれ情報を記憶する手段を備えているため、記録再生の度に相対的位置情報を計算する必要がない。このため、より素早く記録再生を行うことが可能である情報記録再生装置を提供できる。

第七の発明によれば、当該装置に内包される記録媒体にデータ位置決め信号はなく、高記録密度のデータ領域の相対的位置ずれ情報を記憶する手段は備える。このため、より高記録密度である記録媒体を内包する情報記録再生装置を提供できる。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しながら説明する。尚、実施の形態や実施例を通して共通の構成には同一の符号を付すものとし、重複する説明は省略する。また、各図は発明の説明とその理解を促すための模式図であり、その形状や寸法、比などは実際の装置と異なる個所があるが、これらは以下の説明と公知の技術を参酌して適宜、設計変更することができる。

なお、以下の実施の形態では、サーボ領域は人工的描画法を用いた方法で形成し、データ領域は自己組織材料を用いた方法を用いて磁気記録媒体を製造している。

また、以下の実施の形態では、記録媒体として、ハードディスクの磁気記録媒体を想定
としているが、これに限定されるものではない。
（第一の実施の形態）
以下に、第一の発明の磁気記録媒体に関わる第一の実施の形態を説明する。図１（ａ）、図２および図３を参照して説明する。

図１（ａ）は、磁気記録媒体１ｅを示す表面模式図である。図２は、図１（ａ）の磁気記録媒体１ｅのサーボ領域３ｅとその近傍のデータ記録領域５ｅ２の一部を拡大した表面模式図である。図３は、図１（ａ）の磁気記録媒体１ｅのデータ領域５ｅの一部を拡大した表面模式図である。

図１（ａ）に示すように、磁気記録媒体１ｅは、直径約6.5ｃｍの円盤状であって、セクタサーボ方式である。従って、この磁気記録媒体１ｅにおいて、データ領域５ｅのトラックは磁気記録媒体１ｅの表面に同心円状に並び、各トラックの位置情報（プリアンブル信号、アドレス信号、バースト信号等）を具備するサーボ領域３ｅは対応する複数のトラックを横断するように磁気記録媒体１ｅの内縁から外縁に向かって放射状に６箇所形成されている。磁気記録媒体のデータ領域５ｅは、サーボ領域３ｅ以外の領域であり、磁気記録媒体１ｅの内縁から外縁に向かう６箇所の放射状の領域となる。各々のデータ領域５ｅ内には、データ記録領域５ｅ２およびデータ位置決め信号領域５ｅ３が存在する。データ記録領域５ｅ２は、データ領域５ｅ内の内縁部にあり、磁気記録媒体１eの内縁から外縁に向かう放射状の領域である。データ位置決め信号領域５ｅ３は、データ領域５ｅの外縁部にある扇状の領域である。

データ位置決め信号領域５ｅ３に必要な幅は、サーボ領域３ｅとデータ領域５ｅの位置ずれの大きさに影響される。データ位置決め信号領域５ｅ３は、円盤の外縁から約0.02cmの領域であるが、図１（ａ）においては、便宜上、その幅は太く示している。なお、図１（ａ）においては、データ位置決め信号領域５ｅ３は外縁部にあるが、これに限定されず、例えば、データ領域５ｅ内の内縁部にあってもよい。

上述したように、磁気記録媒体１ｅにおいて、サーボ領域３ｅは人工的描画法を用いた方法で形成し、データ領域５ｅは自己組織材料を用いた方法で形成し、夫々の方法を用いるときの位置あわせには物理的方法を用いることを想定している。従って、図１（ａ）は数インチの円盤を捕らえる巨視的な概略図なので位置ずれは確認されないが、微視的には、サーボ領域３ｅとデータ領域５ｅは約30μm以下の位置ずれが生じている可能性が高い。

次に、磁気記録媒体１ｅの各領域について説明する。

図２は、本実施の形態の磁気記録媒体の一部について表面を拡大した模式図である。サーボ領域３ｅとデータ記録領域５ｅ２は、実際には数十μｍ離れているが、便宜上、両領域間の距離を縮めて描いている。

図２に示すように、サーボ領域３ｅは、人工的描画法で作成されるので、複数の矩形状の記録材料により構成される。サーボ領域３ｅの位置決め信号は従来と同様であり、例えば、プリアンブル信号３ｅ１、アドレス信号３ｅ２、バースト信号３ｅ３で構成される。この領域を記録再生ヘッドが紙面左右方向に通過する際に得られる信号から、記録再生ヘッドの、サーボ領域上の位置を正確に把握することが出来る。

プリアンブル信号３ｅ１は、トラック方向に直交する縞模様のパターンである。

アドレス信号３ｅ２は、トラック情報とセクタ情報を備える。記録再生ヘッドがトラッ
クをまたいでいる途中でもアドレス情報が得られる様に、グレイコードを用いることが好ましい。図２においては、便宜上、アドレス信号３ｅ２は4列のパターンにより構成されるものとしたが、例えば、約40万のトラック数を想定とすると、アドレス信号３ｅ２は約20列のパターンを備える。

バースト信号３ｅ３は、トラック内の位置情報を取得するためのものであり、例えば、トラックの中心位置を指定する情報を備える。バースト信号３ｅ３は、例えば、Ａバースト３ｅ３１、Ｂバースト３ｅ３２、Ｃバースト３ｅ３３、Ｄバースト３ｅ３４の４種により構成され、夫々のバーストはトラック方向に直交する４列の矩形記録材料により構成される。各列は、矩形記録材料の等間隔な断続パターンにより構成され、一つの矩形記録材料のトラック方向に垂直な一辺および断続パターンの間隔は、トラック幅に等しい。

Ａバースト３ｅ３１、Ｂバースト３ｅ３２、Ｃバースト３ｅ３３およびＤバースト３ｅ３４は、矩形記録材料の形状やトラック幅に直交する断続パターンは等しく、断続パターンにおける位相のみ異なる。夫々のバーストは四半周期づつ位相が異なるので、Ｂバースト３ｅ３２は、Ａバースト３ｅ３１に対し半周期のずれが生じ、Ｃバースト３ｅ３３は、Ａバースト３ｅ３１に対し四半周期遅く、Ｄバースト３ｅ３４は、Ａバースト３ｅ３１に対し四分の三周期遅い（紙面下方向をプラス方向とした。）。

バースト信号３ｅ３によるトラックの中心位置を指定する方法を述べる。後述するように、図２においては、２ドット行を１トラックとし、例えば、上から２、３行目が１トラックとなる。ドット行２，３行目のトラックの位置決めは、３行目のドット行の中心の位置決めを基準に行い、Ｃバースト３ｅ３３において最上段にある４つの矩形記録材料の上辺およびＤバースト３ｅ３４において最上段にある４つの矩形記録材料の下辺を用いる。

一つの矩形記録材料の大きさは、例えば、バースト信号３ｅ３においては、約43×25ｎｍ²である。なお、図２においては、便宜上、矩形の四角は直角をなすパターンであるが、実際の角の曲率半径は約12nmである。

なお、図２においては、夫々のバーストは、４列の矩形記録材料により構成される。しかし、実際には、約20列の矩形記録材料により構成される。約20個の矩形記録材料の平均値を取ることにより、約2ｎｍの位置決め精度を達成できる。

図２のデータ記録領域５ｅ２は、前述のサーボ領域３ｅ近傍にある一部の領域である。データ記録領域５ｅ２については、図３を用いて詳細に説明する。

図３に示すように、データ領域５ｅは、自己組織材料を用いた方法により形成されるため、主に、六方格子状に配列した記録ドット５ｅ１によって構成される。記録ドット５ｅ１は直径約10ｎｍ、隣り合う記録ドット５ｅ１との中心間の距離は約25ｎｍであり、記録密度は約795Gbpsiである。

データ記録領域５ｅ２は、六方格子状に配列した記録ドット５ｅ１よりなる記録帯５ｅ２１と記録材料の存在しないガイド帯５ｅ２２を備えている。これらの帯はトラックに対して平行である。

記録帯５ｅ２１の幅は、自己組織化材料の結晶性に依存し、磁気記録媒体製造の際の、自己組織化材料の規則配列によるトラックの形成工程において、自己組織材料が単一の六方格子によって形成できる範囲の広さにする。図３においては、便宜上、記録帯５ｅ２１の幅は狭いが、実際は、例えば、約1μｍである。

ガイド帯５ｅ２２は、上述したトラックの形成工程において、自己組織化材料がガイド帯５ｅ２２に平行に整列し、トラックを形成するのを助ける。図３においては、ガイド帯５ｅ２２は、約50ｎｍを想定している。

データ位置決め信号領域５ｅ３は、プリアンブル信号領域５ｅ３１、アドレス信号領域５ｅ３２、バースト信号領域５ｅ３３等から構成される。少なくともアドレス信号領域５ｅ３２とバースト信号領域５ｅ３３は必要である。各信号領域は、夫々、六方格子状に記録ドット５ｅ１よりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画により構成されたパターンを備えている。

この区画によるパターンは、図２におけるサーボ領域３ｅのパターンと同様の形状であり、その大きさのみ異なる。このパターンは、サーボ領域３ｅにおいては、トラック幅を基準に描かれ、データ位置決め信号領域５ｅ３においては、データ位置決めトラック幅を基準に描かれる。図３におけるデータ位置決めトラックは、トラック4行によって構成され、3行のデータ位置決めトラックを描いている。なお、図２と同様に、図３においても、2ドット行を1トラックとする。

これらの信号領域はサーボ領域における位置決め信号と同様の特徴を持つ。

プリアンブル信号領域５ｅ３１のパターンの形状は、従来のサーボ領域におけるプリアンブル信号のパターンの形状と同様であり、トラック方向に直行する縞模様のパターンである。

アドレス信号領域５ｅ３２は、データ位置決めトラック情報とセクタ情報を備える。記録再生ヘッドがデータ位置決めトラックをまたいでいる途中でもアドレス情報が得られる様に、グレイコードを用いることが好ましい。図１１においては、便宜上、アドレス信号領域５ｅ３２は2列のパターンにより構成されるものとしたが、例えば、データ位置決め信号領域５ｅ３のデータ位置決めトラック数を約700と想定すると、アドレス信号３ｅ２は約12列のパターンを備える。

バースト信号領域５ｅ３３は、データ位置決めトラック内の位置情報を取得するためのものであり、例えば、データ位置決めトラックの中心位置を指定する情報を備える。図１１においては、バースト信号領域５ｅ３３は、４種類８列のトラックに直交する列を備え、それらの列は六方格子状に記録ドット５ｅ１よりなる矩形状の区画による等間隔な断続パターンにより構成される。矩形状の区画のトラック方向に垂直な一辺の長さと断続パターンの断続部分の間隔は、データ位置決めトラックの幅に等しい。夫々の断続パターンは、四半周期ずつ位相が異なり、互いにデータ位置決めトラック幅の整数倍もしくは半整数倍にてずれが生じている。

ヘッドが通過する際には、これらの断続パターンから、ヘッドが横切る面積に比例した強度の信号が得られ、それぞれの断続パターンからの信号強度を比較することで、ヘッドのデータ位置決めトラック内の位置が分かる。

データ位置決め信号領域５ｅ３の六方格子状に記録ドット５ｅ１よりなる区画の一つの大きさは、例えば、バースト信号では、約156.4×97.5ｎｍ²である。この区画の大きさは、サーボ領域３ｅの一つ一つの矩形記録材料より数倍大きい。従って、一つ一つのパターンは十分な数の記録ドット５ｅ１により構成されているため、発明が解決しようとする課題に記載した記録ドット５ｅ１の位置ずれ、サイズずれを平均化することができ、約2ｎｍの位置決め精度を達成できる。

なお、この一つ一つの区画の大きさ、引いてはデータ位置決め信号領域５ｅ３の大きさは、要求される位置決め精度、記録ドット５ｅ１の大きさ、記録ドット５ｅ１の位置ずれ及びサイズずれの程度等に影響される。

以下に、第一の実施の形態の変形例について、図１（ｂ）を参照して説明する。

第一の発明に関わる磁気記録媒体は、図１（ａ）に示されるようなその形状が円盤状であるものに限定されるものではない。磁気記録媒体の表面の形状が長方形状である変形例について図１（ｂ）を参照して説明する。

図１（ｂ）は、この変形例に関わる磁気記録媒体１ｅ'を示す表面模式図である。この磁気記録媒体１ｅ'はセクタサーボ方式であり、その表面は長方形状である。

各トラックは磁気記録媒体の長手方向に延びて、互いに平行に並び、サーボ領域３ｅ'は、複数のトラックをまたがるように形成される。よって、図１（ｂ）に示すように、そのサーボ領域３ｅ'は全トラックに直交するように形成され、磁気ヘッドの進行方向（トラックの長手方向）において所定の間隔にて四箇所形成される。なお、位置決め信号の精度は、その位置決め信号の近傍であるほど高い。従って、サーボ領域３ｅ'の数、大きさおよび場所は求められる位置決め精度によって異なる。

データ領域５ｅ'はサーボ領域３ｅ'以外の領域である。さらに、各々のデータ領域５ｅ'内には、データ記録領域５ｅ２'およびデータ位置決め信号領域５ｅ３'が存在する。図１（ｂ）においては、データ位置決め信号領域５ｅ３'は、長方形状の領域であり、トラック方向が、長手方向となる。この領域は、トラックの直交方向において所定の間隔にて三箇所形成される。なお、位置決め信号の精度は、その位置決め信号の近傍であるほど高い。従って、位置決め信号領域５ｅ３'の数、大きさおよび場所は求められる位置決め精度によって異なる。データ記録領域５ｅ２'は、データ領域５ｅ'内においてデータ位置決め信号領域５ｅ３'以外の領域に形成されている。

以上のように、第一の実施の形態の磁気記録媒体は、サーボ領域３ｅは人工的描画法を用いた方法によって作られているので高精度であり、データ領域５ｅは自己組織化材料を用いた方法によって作られているので高記録密度であって簡便に形成することができ、サーボ領域３ｅとデータ領域５ｅそれぞれに位置決め信号が存在するのが特徴である。後述するように、この特徴のため、この磁気記録媒体を用いた磁気記録再生方法においてサーボ領域３ｅとデータ領域５ｅの相対的位置ずれを補正することができる。さらに、データ位置決め信号領域５ｅ３の大きさは、求められる位置決め精度によって自在に変化させることができる。従って、磁気記録媒体の記録密度の高さに応じて、位置決め信号の精度を容易に対応させることが可能である。なお、これらの効果は、変形例についても同様である。
（第二の実施の形態）
以下に、第二の発明に関わる磁気情報記録再生方法について説明する。この実施の形態は、第一の実施の形態における磁気記録媒体を用いた磁気情報記録再生方法であり、図４（ａ）および図４（ｂ）を参照して説明する。

図４（ａ）は、磁気記録媒体の回転中心に対する、サーボ領域とデータ領域夫々の位置ずれ情報を説明するための模式図である。図４（ｂ）は、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置ずれ情報を説明するための模式図である。

まず、位置決め信号により、回転中心と円形状の磁気情報の中心間の位置ずれを読み取る方法を述べる。一般に、磁気記録媒体の製造工程における位置決め精度には限界がある
ため、磁気記録媒体が円盤である場合、円盤の回転中心と、円盤表面における円形状の磁気情報の中心には位置ずれが生じる。この位置ずれは、物理的に位置合わせを行った場合、約30μｍ以内である。このずれは、磁気記録再生の過程において、サーボ領域の位置決め信号を用いて補正することができる。

回転中心における任意の径方向を基準として角度をＸ軸に取り、磁気情報の位置ずれをＹ軸に取る（円の外側をプラス方向とした。）。そして磁気記録媒体が一回転する360度に渡って位置ずれ情報を求める。すると、全方向の位置ずれ情報を読み取ることができ、その位置ずれ情報はほぼサインカーブを描く。磁気記録再生においては、この位置ずれ情報を元に、所定のトラックを走行するように、記録再生ヘッドの磁気記録媒体上の位置を制御する。

以下、この実施の形態の磁気情報記録再生方法について図４（ａ）および（ｂ）を参照して説明する。

記録再生ヘッドがデータ領域の位置決め信号より情報を読み取る方法は、一般にサーボ領域の位置決め信号において行われる方法と同様である。図２に示したように、データ位置決め信号領域５ｅ３は記録ドット５ｅ１よりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画を備えることにより構成されたパターンになっている。記録再生ヘッドが、本発明のデータ位置決め信号領域５ｅ３を通過すると、記録ドット５ｅ１よりなる区画では記録ドット５ｅ１に記録された信号が得られ、記録ドット５ｅ１が存在しない部分では信号が得られない。この信号の有無により、記録再生ヘッドは、記録再生ヘッドのデータ領域に対する位置情報を得る。

図１（ａ）に示すように、磁気記録媒体１ｅの外縁部には、サーボ領域３ｅとデータ位置決め信号領域５ｅ３が交互に配列している。従って、記録再生ヘッドが磁気記録媒体１ｅの外縁部のトラックを通過すると、サーボ領域３ｅとデータ領域５ｅ、双方の位置決め信号を夫々得ることが出来る。図４（ａ）に示すように、これらの位置決め信号により、磁気記録媒体の回転中心を基準とした、サーボ領域の位置ずれ情報７とデータ領域の位置ずれ情報９を求めることができる。

図４（ａ）に示すように、サーボ領域の位置ずれ情報７とデータ領域の位置ずれ情報９はほぼサインカーブを示す。サーボ領域の位置ずれ情報７の振り幅は、磁気記録媒体の回転中心とサーボ領域の中心間の距離を示し、その最大値におけるＸ軸の角度は、磁気記録媒体の回転中心から見て、その方向にサーボ領域の中心があることを示す。データ領域の位置ずれ情報９についても同様である。このときの位置ずれ情報の振り幅は、磁気記録媒体製造時の位置合わせが物理的方法であった場合、約30μｍ以内となる。

なお、サーボ領域は全角度において存在するわけではないので、サーボ領域の位置ずれ情報７は一部の角度について得られるのみであるが、この一部の位置ずれ情報をもとに全方向の位置ずれ情報を推測することは可能であり、図４(ａ)においては、得られた一部の角度から計算される全角度についての情報を示す。データ領域の位置ずれ情報９についても同様である。

図４（ｂ）に示すように、データ領域の位置ずれ情報９からサーボ領域の位置ずれ情報７を差し引くことにより、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置ずれ情報１１を求める。この位置ずれ情報１１を元に、記録再生の折には、磁気記録再生ヘッドが所定のトラックを走行するように、記録再生ヘッドの磁気記録媒体上の位置を制御する。

なお、後述するように、データ領域においては、データ記録領域およびデータ位置決め
領域を一括してデータ領域用インプリントスタンパによって転写するので、磁気記録媒体のデータ領域のデータ記録領域とデータ位置決め信号領域において位置ずれは生じることはない。

以下に、第二の実施の形態の変形例を示す。

この変形例は、第二の実施の形態の磁気情報記録再生方法において、さらにサーボ領域に対するデータ領域の相対的位置情報を記憶することができる記憶手段を備えた装置を用いる方法である。第一の実施の形態の磁気記録媒体においては、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置情報は、その製造時に決定され、その後変化することはない。従って、一度、位置ずれ情報を取得した後は、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置情報を磁気情報記録再生装置の記憶手段に記憶しておき、記録再生の折に読み出して使用することもできる。この場合、記録再生の都度、データ領域とサーボ領域の位置決め信号を検知し、相対的位置ずれ情報を計算しなくても良いという点で有利である。

以上のように、この磁気記録媒体は、サーボ領域とデータ領域のそれぞれの位置決め信号を読み取ることにより、データ領域のサーボ領域に対する相対的位置ずれ情報を得る。そして、この相対的位置ずれ情報を元に、所定のトラックを走行するように、記録再生ヘッドの磁気記録媒体上の位置を制御する。これにより、サーボ領域とデータ領域を異なる方法で形成した場合の、両領域の位置ずれを補正することができる。
（第三の実施の形態）
以下に、第三の発明に関わる磁気記録媒体製造用インプリントスタンパについて、図５（ａ），図５（ｂ），図６（ａ）および図６（ｂ）を参照して説明する。

図５（ａ）は、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの転写面を示す表面模式図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のサーボ領域用インプリントスタンパ１ａと対をなすデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの転写面を示す表面模式図である。図６（ａ）は、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの実線２ａで示す部分の断面模式図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のサーボ領域用インプリントスタンパ１ａと対をなすデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの実線２ｂで示す部分の断面模式図である。

図５（ａ）におけるサーボ領域用インプリントスタンパ１ａと図５（ｂ）におけるデータ領域用インプリントスタンパ１ｂは、図１（ａ）における磁気記録媒体１ｅを製造するためのものである。

従って、図５（ａ）は図１（ａ）に対応する。すなわち、磁気記録媒体１ｅのサーボ領域３ｅに対応するサーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の転写領域３ａは内縁から外縁に向かう放射状の領域であり、同様の領域が磁気記録媒体上に６箇所形成されている。磁気記録媒体１ｅのデータ領域５ｅに位置整合するサーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の非転写領域５ａは、第一の転写領域３ａ以外の領域であり、内縁から外縁に向かう放射状の領域となる。

同様に、図５（ｂ）も図１（ａ）に対応する。データ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二の転写領域５ｂ２は磁気記録媒体１ｅのデータ記録領域５ｅ２に対応し、第三の転写領域５ｂ３はデータ位置決め信号領域５ｅ３に対応し、第二の非転写領域３ｂは磁気記録媒体１ｅのサーボ領域５ｅに位置整合する。すなわち、図５（ｂ）に示すように、第二および第三の転写領域５ｂ２，５ｂ３は、第二の非転写領域３ｂ以外の領域であり、内縁から外縁に向かう６箇所の放射状の領域となる。さらに、第二の転写領域５ｂ２は、内縁部にある放射状の領域であり、第三の転写領域５ｂ３は、データ領域用インプリントスタンパ１ｂの外縁部にある扇状の領域である。

サーボ領域用インプリントスタンパ１ａは、図５（ａ）に示すように、磁気記録媒体のサーボ領域に対応する第一の転写領域３ａと、磁気記録媒体のデータ領域に位置整合する第一の非転写領域５ａを備えている。また、データ領域用インプリントスタンパ１ｂは、図５（ｂ）に示すように、磁気記録媒体のデータ領域に対応する第二および第三の転写領域５ｂ２，５ｂ３と磁気記録媒体のサーボ領域に位置整合する第二の非転写領域３ｂを備えている。

つまり、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の転写領域３ａとデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二の非転写領域３ｂは位置整合し、これらに位置整合する磁気記録媒体用基板等の部分表面には、第一の転写領域３ａが転写されることになる。この第一の転写領域３ａは、図１（ａ）における磁気記録媒体１ｅのサーボ領域３ｅの形成に供する。

同様に、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の非転写領域５ａとデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二および第三の転写領域５ｂ２，５ｂ３とは位置整合し、これらに位置整合する磁気記録媒体用基板の部分表面には、第二および第三の転写領域５ｂ２，５ｂ３が転写されることになる。この第二の転写領域５ｂ２および第三の転写領域５ｂ３は、図１（ａ）における磁気記録媒体１ｅのデータ領域５ｅの形成に供する。

次に、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの各領域について説明する。

第一の転写領域３ａの凹凸構造は、サーボ領域に好適な人工的描画法により形成できる。第一の転写領域３ａは、夫々の底面が矩形状をなす複数の凹部により構成される。図６（ａ）に示すように、これらの凹部の深さは約50ｎｍである。凹部の底面の矩形は、例えば、バースト信号に対応する底面では、約43×25ｎｍ²、角の曲率半径12nmを想定している。

なお、図６（ａ）に示す第一の転写領域３ａには便宜上、一つの凹部のみ示すが、実際の第一の転写領域３ａには、この凹部が多数存在している（図６（ａ）に対応する図である、図６（ｂ）、図６（ｃ）、図７（ａ）、図７（ｂ）および図７（ｃ）についても同様）。

サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の非転写領域５ａは、凹凸構造のない、平坦な表面を備える。この特徴により、第一の非転写領域５ａは、被転写体に、後述するデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二および第三の転写領域５ｂ２，５ｂ３による良好な転写を妨げることがない。

次に、データ領域用インプリントスタンパ１ｂの各領域について説明する。

第二の転写領域５ｂ２および第三の転写領域５ｂ３の凹凸構造は、データ領域に好適な自己組織材料を用いた方法により形成できる。第二の転写領域５ｂ２および第三の転写領域５ｂ３は、主に、六方格子状に配列した複数のドット状の凹部５ｂ１により構成され、これらのドット状の凹部５ｂ１は記録ドットに対応する。この実施の形態においては、図６（ｂ）に示すように、ドット状の凹部５ｂ１の上面から見た直径は約10ｎｍであり、その深さは約50ｎｍを想定している。ドット状の凹部５ｂ１と隣接するドット状の凹部５ｂ１との中心間の距離は約25ｎｍである。なお、ドット状の凹部５ｂ１は上面から見たときに円形であればよい。従って、ドット状の凹部５ｂ１は、図６（ｂ）においては円柱状であるが、半球状等の形状でもよい。

第二の転写領域５ｂ２は、六方格子状に配列した複数のドット状の凹部５ｂ１よりなる記録帯に対応する領域と凹部が存在しないガイド帯を備える。

第三の転写領域５ｂ３は、磁気記録媒体におけるプリアンブル信号領域、アドレス信号領域、バースト信号領域等に対応する領域から構成される。各信号領域に対応する領域は、夫々、ドット状の凹部よりなる矩形状の区画と凹部が存在しない矩形状の区画により構成されたパターンを備える。一つの区画の大きさは、例えば、バースト信号では、約156.4×97.5ｎｍ²である。

データ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二の非転写領域３ｂは、凹凸構造のない、平坦な表面を備える。この特徴により、第二の非転写領域３ｂは、被転写体に、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の転写領域３ａによる良好な転写を妨げることがない。

なお、現状では、直径約６．５ｃｍの磁気記録媒体用インプリントスタンパの表面は、完全な平面ではなく、高さ約１μｍまでの誤差を持つなだらかな曲面を持つことがある。従って、転写の際には、この曲面に沿って被転写体が密着する。この曲面の高さは、第一の転写領域３ａ、第二の転写領域５ｂ２および第三の転写の領域５ｂ３におけるパターンの凹部の深さ約50ｎｍより数十倍の大きさではあるが、曲面の高さの変化は緩やかであるために、凹凸構造の転写には大きな影響を与えない。また、第一の非転写領域５ａおよび第二の非転写領域３ｂの「平坦な表面」も完全な表面ではなく、上述した曲面を持つ可能性が高く、また、凹凸構造の転写には大きな影響を与えない。

次に、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａおよびデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの材料について説明する。

サーボ領域用インプリントスタンパ１ａおよびデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの材料は、金属、合金、金属酸化物、セラミック材料、ガラス等の無機材料や半導体、もしくはこれらの混合物などが挙げられる。特に、ニッケル（Ni）、アルミニウム（Al）、シリコン（Si）、シリコンカーバイド（SiC）、ガラス、石英、ダイヤモンド等が好ましい。

以下に、第三の実施の形態の変形例を示す。

本変形例は、上記第三の実施の形態に関わるインプリントスタンパについて、インプリントスタンパの記録ドットに対応する部位を凸部としたものである。以下、図７（ａ）および図７（ｂ）を参照して説明する。

図７（ａ）および（ｂ）は、記録ドットに対応する部位がドット状の凸部５ｂ１'であるときのインプリントスタンパを示す断面模式図である。図７（ａ）は、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａ'の断面模式図、図７（ｂ）は、データ領域用インプリントスタンパ１ｂ'の断面模式図である。

この変形例は、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の転写領域３ａおよびデータ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二の転写領域５ｂ２および第三の転写領域５ｂ３の凹部が凸部になる他は、上述した第三の実施の形態と同様である。以下に、異なる点を中心に説明する。

図７（ａ）に示すように、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａ'の第一の転写領域３ａ'において、複数の凸部により構成され、夫々の頭部は矩形状をなし、その高さは約5
0ｎｍである。また、図７（ｂ）に示すように、データ領域用インプリントスタンパ１ｂ'の第二の転写領域５ｂ２'および第三の転写領域５ｂ３'は、主に、六方格子状に配列した複数のドット状の凸部５ｂ１'の集合により構成され、これらのドット状の凸部５ｂ１'は記録ドットに対応する。この実施の形態においては、ドット状の凸部５ｂ１'の上面から見た直径は約10ｎｍであり、その高さは約50ｎｍを想定している。また、隣接する複数のドット状の凸部５ｂ１'との中心間の距離は約25ｎｍである。なお、ドット状の凸部５ｂ１'は上面から見たときに円形であればよい。従って、ドット状の凸部５ｂ１'は、図７（ｂ）においては円柱状であるが、半球状等の形状でもよい。

従来一般的には、一つの基板上に複数の方法を混在させる方法を用いる場合には、サーボ領域の位置決め信号を描いた後に自己組織材料を塗布することが考えられる。この場合、人工的描画により形成したいサーボ領域まで自己組織材料によるパターンで覆ってしまうため、不要であるドット状の凹部または凸部がサーボ領域にも生じてしまい、サーボ領域の位置決め信号の精度が下がってしまっていた。しかし、このインプリントスタンパを用いて磁気記録媒体を製造すれば、サーボ領域に不要であるドット状の凹部または凸部は生じないため、位置決め精度を高めることができる。

このインプリントスタンパは、データ領域において、位置決め信号に対応する第三の転写領域を備えるのが特徴である。上述したように、この特徴のため、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａとデータ領域用インプリントスタンパ１ｂを一枚の基板に順次転写したことにより生じるサーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれを補正することができる。

この実施の形態の製造方法によって製造される磁気記録媒体は、複数の異なる種類のサーボ領域の凹凸構造とデータ領域の凹凸構造の組み合わせがある場合に、個々の磁気記録媒体毎に的確なサーボ領域の凹凸構造とデータ領域の凹凸構造を選択できる特徴がある。この特徴により、データ領域の凹凸構造は等しくても、磁気記録再生装置毎に最適化されたサーボ領域の凹凸構造を選択できる効果がある。

また、サーボ領域用媒体インプリントスタンパ１ａとデータ領域用媒体インプリントスタンパ１ｂとで寿命が異なる場合に、各インプリントスタンパを個別に交換することで、他方のインプリントスタンパの使用期間を延ばす効果がある。なお、これらの効果は変形例についても得られる。
（第四の実施の形態）
以下に、第四の発明に関わる磁気記録媒体製造用インプリントスタンパについて、図５（ｃ）および図６（ｃ）を参照して説明する。この実施の形態は、上記データ領域インプリントスタンパとサーボ領域インプリントスタンパを複合化し、一括転写を可能にするインプリントスタンパの例である。

図５（ｃ）は、複合型インプリントスタンパ１ｃの転写面を示す表面模式図である。図６（ｃ）は、複合型インプリントスタンパ１ｃの実線２ｃで示す部分の断面模式図である。

図５（ｃ）における複合型インプリントスタンパ１ｃは、図５（ａ）のサーボ領域用インプリントスタンパ１ａおよび図５（ｂ）のデータ領域用インプリントスタンパ１ｂを１枚の基板上に順次転写し作成した原盤をさらに転写することにより製造する。また、複合型インプリントスタンパ１ｃは、図１（ａ）の磁気記録媒体１ｅを製造するためのものである。

なお、複合型インプリントスタンパ１ｃを製造する際のサーボ領域用インプリントスタンパ１ａとデータ領域用インプリントスタンパ１ｂを順次転写する工程において、位置決
め方法は従来の物理的方法で行われる。従って、図５（ｃ）は数インチの円盤を捕らえる巨視的な模式図なので位置ずれは確認されないが、微視的には、複合型インプリントスタンパの第一の転写領域３ｃと第二および第三の転写領域５ｃ２，５ｃ３は約30μm以下の位置ずれが生じている可能性が高い。

図５（ｃ）における複合型インプリントスタンパ１ｃは、図５（ａ）におけるサーボ領域用インプリントスタンパ１ａ、図５（ｂ）におけるデータ領域用インプリントスタンパ１ｂ、および図１（ａ）における磁気記録媒体１ｅに対応する。すなわち、複合型インプリントスタンパ１ｃの第一の転写領域３ｃは、サーボ領域用インプリントスタンパ１ａの第一の転写領域３ａに対応し、さらに、磁気記録媒体１ｅのサーボ領域３ｅに対応する。複合型インプリントスタンパ１ｃの第二の転写領域５ｃ２は、データ領域用インプリントスタンパ１ｂの第二の転写領域５ｂ２に対応し、さらに、磁気記録媒体１ｅのデータ記録領域５ｅ２に対応する。複合型インプリントスタンパ１ｃの第三の転写領域５ｃ３は、データ領域用インプリントスタンパ１ｂの第三の転写領域５ｂ３に対応し、さらに、磁気記録媒体１ｅのデータ記録領域５ｅ３に対応する。

つまり、図５（ｃ）に示すように、複合型インプリントスタンパ１ｃ上において、サーボ領域３ｅに対応するの第一の転写領域３ｃは内縁から外縁に向かう放射状の領域であり、同様の領域が６箇所形成されている。同様に、データ領域５ｅに対応する第二および第三の転写領域５ｃ２，５ｃ３は、第一の転写領域３ｃ以外の領域であり、内縁から外縁に向かう６箇所の放射状の領域となる。さらに、第二の転写領域５ｃ２は複合型インプリントスタンパ１ｃ上の内縁部にある放射状の領域であり、第三の転写領域５ｃ３は外縁部にある扇状の領域である。

複合型インプリントスタンパ１ｃにおける第一の転写領域３ｃの凹凸構造はサーボ領域用インプリントスタンパにおける第一の転写領域と同様であり、第二の転写領域５ｃ２および第三の転写領域５ｃ３の凹凸構造は、データ領域用インプリントスタンパにおける第二の転写領域および第三の転写領域と同様である。

第一の転写領域３ｃおよび第二の転写領域５ｃ２の断面模式図を図６（ｃ）に示す。第一の転写領域３ｃは、夫々の底面が矩形状をなす複数の凹部により構成される。第二の転写領域５ｃ２は、記録ドットに対応する、六方格子状に配列した複数のドット状の凹部５ｃ１よりなる記録帯に対応する領域と凹部が存在しないガイド帯を備えている。第三の転写領域５ｃ３は、磁気記録媒体におけるプリアンブル信号領域、アドレス信号領域、バースト信号領域等に対応する領域から構成される。各信号領域に対応する領域は、夫々、ドット状の凹部よりなる矩形状の区画と凹部が存在しない矩形状の区画により構成されたパターンを備える。

なお、複合型インプリントスタンパ１ｃの材料は、第三の実施の形態において説明したサーボ領域用インプリントスタンパおよびデータ領域用インプリントスタンパと同様である。

以下に、第四の実施の形態の変形例を示す。

本変形例は、上記第四の実施の形態に関わるインプリントスタンパについて、インプリントスタンパの記録ドットに対応する部位を凸部としたものである。以下、図７（ｃ）を参照して説明する。

複合型インプリントスタンパ１ｃ'は、第三の実施の形態の変形例におけるサーボ領域用インプリントスタンパ１ａ'およびデータ領域用インプリントスタンパ１ｂ'を１枚の基
板上に順次転写し作成した原盤をさらに転写することにより製造する。

従って、図７（ｃ）は、記録ドットに対応する部位がドット状の凸部５ｃ１'であるときの複合型インプリントスタンパ１ｃ'の断面模式図であり、図７（ａ）サーボ領域用インプリントスタンパ１ａ'および図７（ｂ）データ領域用インプリントスタンパ１ｂ'に対応する。

この変形例は、複合型インプリントスタンパ１ｃの第一の転写領域３ｃ、第二の転写領域５ｃ２および第三の転写領域５ｃ３の凹部が凸部になる他は、上述したものと同様である。以下に、異なる点を中心に説明する。

図７（ｃ）に示すように、複合型インプリントスタンパ１ｃ'の第一の転写領域３ｃ'は、複数の凸部により構成され、夫々の頭部は矩形状をなす。第二の転写領域５ｃ２'は、主に、記録ドットに対応する、六方格子状に配列した複数のドット状の凸部５ｃ１'により構成され、第三の転写領域５ｃ３'についても同様である。なお、ドット状の凸部５ｃ１'は上面から見たときに円形であればよい。従って、ドット状の凸部５ｃ１'は、図７（ｃ）においては円柱状であるが、半球状等の形状でもよい。

本実施の形態の複合型インプリントスタンパ１ｃは、データ領域にも位置決め信号に対応する領域が存在するのが特徴である。上述したように、この特徴によって、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを一枚の基板に順次転写したことにより生じるサーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれを補正することができる。

また、複合型インプリントスタンパ１ｃを用いれば、磁気記録媒体の製造時に、第一の転写領域３ｃ、第二の転写領域５ｃ２および第三の転写領域５ｃ３を一括転写することが可能である。第三の実施の形態における、サーボ領域用媒体インプリントスタンパとデータ領域用媒体インプリントスタンパを用いた製造方法では、これらを順次転写している。従って、第三の実施の形態に比べ、本実施の形態は、一回の転写工程に要する時間（例えば、約３秒）について時間短縮ができる。

また、上述したように、転写の工程における位置決め精度には限界があり、物理的位置決め方法を用いた場合、約30μm以下の位置ずれが生じる。この実施の形態においては、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを順次転写する工程において、サーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれが生じる。従って、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを用いて直接磁気記録媒体を製造した場合、サーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれは磁気記録媒体ごとに異なる。すると、全ての磁気記録媒体について、相対的位置ずれ情報を取得する必要がある。

一方、この実施の形態においては、原盤作成工程において、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを用いる。その後、原盤、次いで複合型インプリントスタンパ１ｃを製造する。このとき、同一原盤由来の磁気記録媒体は、全て同一の相対的位置ずれ情報を備える。従って、複合型媒体インプリントスタンパ１ｃを用いて磁気記録媒体を製造した場合、一度、磁気記録媒体のサーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれ情報を取得すれば、同一原盤由来の磁気記録媒体全てにその相対的位置ずれ情報を用いることができる。

現状では、一つの原盤からは約100枚のインプリントスタンパ、一枚のインプリントスタンパから約10万枚の磁気記録媒体を製造できると考えられている。従って、製造工程において、サーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれ情報を取得し、磁気情報記録再生装置の記憶手段に記憶させる場合、複合型インプリントスタンパ１ｃを用いて製造した１枚の
磁気記録媒体の位置ずれ情報を取得するだけで、約1000万枚の磁気記録媒体の位置ずれ情報を得られる。この位置ずれ情報取得の工程には、一枚あたりに約10秒の時間がかかる。従って、約1000万枚の磁気記録媒体を製造するのに、さらに約一億秒すなわち約三万時間分製造時間を短縮することができる。

以上から本実施の形態は、高記録密度かつ高い位置決め精度を具有する磁気記録媒体の大量生産に適している。なお、これらの効果は、変形例についても同様である。
（第五の実施の形態）
以下に、第五の発明に関わる磁気情報記録再生装置について説明する。この実施の形態の磁気情報記録再生装置は、第一の実施の形態における磁気記録媒体を内包する。

第五の実施の形態の磁気情報記録再生装置は、第一の実施の形態の磁気記録媒体と、この磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、記録再生ヘッドにより読み出されたサーボ領域とデータ領域の位置決め信号から、サーボ領域とデータ領域との相対的位置情報を計算する手段と、相対的位置情報を元に記録再生ヘッドの記録媒体上の位置を制御する制御手段を備える。この磁気情報再生装置を用いて、第二の実施の形態において述べた磁気情報記録再生方法によって磁気記録媒体の記録および再生を行う。なお、上述した制御手段は、円盤状の磁気記録媒体に対応したディスク−アーム式の記録再生ヘッド移動機構と制御回路よりなる。

以下に、第五の実施の形態の変形例を示す。

第一の実施の形態の変形例である表面形状が長方形状の磁気記録媒体を内包した磁気情報再生装置について図８を参照して説明する。この変形例は、磁気記録媒体と各手段の形状が異なるのみで、その使用用途および効果は上述した実施の形態と同様である。

図８は、磁気記録媒体がドラム型であるときの磁気情報記録再生装置を説明するための内部模式斜視図である。図８に示すように、この変形例の磁気記録媒体はドラム型であって、その表面の形状は、長方形状である。このドラムは一定方向に回転し、記録再生ヘッド１３は記録再生ヘッド移動機構であるヘッド移動軸１５に沿って上下に移動し、磁気情報記録再生を行う。

この磁気情報記録再生装置により、サーボ領域とデータ領域を異なる方法によって製造した際に生じるサーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれを、サーボ領域とデータ領域の位置決め信号領域から取得する相対的位置ずれ情報によって、簡便かつ精密に位置ずれを補正することができる。なお、この効果は変形例についても同様である。
（第六の実施の形態）
以下に、第六の発明に関わる磁気情報記録再生装置について説明する。この実施の形態においては、第一の実施の形態における磁気記録媒体を内包する磁気情報記録再生装置について説明する。また、この実施の形態の磁気情報記録再生装置は、記憶手段を備え、第二の実施の形態の変形例に対応するものである。

第六の実施の形態の磁気情報記録再生装置は、第一の実施の形態の磁気記録媒体と、この磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、この磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を記憶している記憶手段と、この相対的位置ずれ情報を元に記録再生ヘッドの磁気記録媒体上の位置を制御する制御手段を持つ。

また、この磁気情報記録再生装置の製造の際には、磁気記録媒体のサーボ領域とデータ
領域の位置決め信号から、サーボ領域とデータ領域との相対的位置情報を計算する工程が必要となる。けれども、第四の実施の形態に述べた複合型インプリントスタンパを用いて製造を行えば、製造時間の長期化は抑制できる。

なお、この磁気情報記録再生装置の記憶手段に、第一の実施の形態の磁気記録媒体を用いてもよい。

第五の実施の形態においては、記録再生の度にサーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を計算する工程は必要であった。けれども、この磁気情報再生装置を用いれば、その工程は必要ではなくなるので、その分素早く記録再生を行うことができる。
（第七の実施の形態）
以下に、第七の発明に関わる磁気情報記録再生装置について説明する。この実施の形態においては、第四の実施の形態における複合型インプリントスタンパによって製造されたサーボ領域とデータ記録領域を備える磁気記録媒体を内包する磁気情報記録再生装置について説明する。この実施の形態の磁気情報記録再生装置は内包する磁気記録媒体上にデータ位置決め領域は備えないが、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を記憶する記憶手段は備える。

第七の実施の形態の磁気情報記録再生装置は、サーボ領域とデータ記録領域を備える磁気記録媒体と、この磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、この磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、この記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置ずれ情報を記憶している記憶手段と、相対的位置情報を元に記録再生ヘッドの磁気記録媒体上の位置を制御する制御手段とを備える。

この実施の形態の磁気情報再生装置は、磁気記録媒体にデータ位置決め信号領域はないが、サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置ずれ情報は具有することを特徴とする。以下、この磁気情報記録再生装置の製造方法を述べる。

まず、第三の実施の形態におけるサーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを製造する。このとき、後に製造する磁気記録媒体の直径より、直径の大きいインプリントスタンパを製造し、後に製造する磁気記録媒体より外縁部にデータ領域用インプリントスタンパの第三の転写領域を位置させる。すなわち、この磁気情報再生装置内の磁気記録媒体は直径約6.5cmを想定としているので、これらのインプリントスタンパの直径は約6.54cmであり、第三の転写領域は、円盤の外縁から約0.02cm以内の領域に存在する。

次に、サーボ領域用インプリントスタンパとデータ領域用インプリントスタンパを順次転写し、原盤を製造する。このとき、サーボ領域とデータ領域の相対的位置ずれは原盤固有である。従って、同一原盤由来の約1000万枚の磁気記録媒体ならば、相対的位置ずれ情報は共有できる。

次に、この原盤を転写し、複合型インプリントスタンパを製造する。この複合型インプリントスタンパは、第三の転写領域を備え、直径約6.54cmである。

次に、この複合型インプリントスタンパを転写して直径約6.54cmの磁気記録媒体Ａを一枚製造する。磁気記録媒体Ａは、直径約6.54cm以内の部分にサーボ領域、直径約6.5cm以内の部分にデータ記録領域、円盤の外縁から約0.02cm以内の領域にデータ位置決め領域を備える。その後は内側の円盤中心から直径約6.5cmの部分のみ転写し、サーボ領域とデータ記録領域を備える磁気記録媒体Ｂを製造する。一枚のみ製造した磁気記録媒体Ａは、第一の実施の形態における磁気記録媒体１ｅと同様の形状であり、その直径のみ異なる。従
って、磁気記録媒体Ａは、データ位置決め領域を備えるので、第二の実施の形態に述べた方法を用いて、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を取得することができる。

この相対的位置情報は同一原盤由来のデータ位置決め領域を具有しない磁気記録媒体Ｂに適用できる。従って、サーボ領域とデータ記録領域を備える磁気記録媒体Ｂを内包した約1000万台の磁気情報記録再生装置の記憶手段にこの相対的位置情報を記録する。これにより、位置決め精度は約2nmであり、記録密度は約800Gbpsiである磁気記録媒体を備えた磁気記録再生装置を製造できる。

なお、原盤から製造する複合型インプリントスタンパについては、一枚目は第三の転写領域を備えたものでなければならないが、二枚目以降については、第一の転写領域と第二の転写領域を備えていればよい。

また、サーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を取得した後は、その後はデータ位置決め信号領域５ｅ３は必要ないので、その領域は切断してもよい。その場合、磁気記録媒体Ａは、直径約8.0cmであり、直径約6.5cm以内の部分にサーボ領域３ｅとデータ記録領域５ｅ２を備え、直径約7.5cm付近にサーボ領域３ｅとデータ位置決め信号領域５ｅ３を備える。また、磁気記録媒体Ａを製造するインプリントスタンパは第三の転写領域を備え、直径約8.0cmである。なお、切断する方法を用いるとき、磁気記録媒体Ａは、一枚だけ製造するのではなく、多数枚製造してもよい。

第一の実施の形態に記載した磁気記録媒体では、磁気記録媒体の大きさが一定であるとき、磁気記録媒体のデータ位置決め信号領域が広いほどサーボ領域に対するデータ領域の位置決め精度が高まるが、磁気記録媒体のデータ記録領域が相対的に狭くなるので磁気記録媒体の記録密度は下がる。けれども、第七の実施の形態においては、データ位置決め信号領域を規格外の部分に位置させているので、データ位置決め信号領域の増大によりデータ記録領域が狭まることがない。従って、サーボ領域に対するデータ領域の位置決めの高精度化と、データ領域の高記録密度化の両方が可能となる。

また、第六の実施の形態と同様に、記録再生の度にサーボ領域とデータ領域の相対的位置情報を計算する必要はないので、その分素早く記録再生を行うことができる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらに限られず、特許請求の範囲に記載の発明の要旨の範疇において様々に変更可能である。
また、本発明は、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。

さらに、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。

第一の発明に関わる第一の実施の形態による磁気記録媒体を説明するための表面模式図。 第一の発明に関わる第一の実施の形態による磁気記録媒体のサーボ領域を説明するための表面模式図。 第一の発明に関わる第一の実施の形態による磁気記録媒体のデータ領域を説明するための表面模式図。 第二の発明に関わる第二の実施の形態による磁気記録再生方法を説明するための図。 第三の発明に関わる第三の実施の形態および第四の発明に関わる第四の実施の形態によるインプリントスタンパを説明するための表面模式図。 第三の発明に関わる第三の実施の形態および第四の発明に関わる第四の実施の形態によるインプリントスタンパを説明するための断面模式図。 第三の発明に関わる第三の実施の形態の変形例および第四の発明に関わる第四の実施の形態の変形例によるインプリントスタンパを説明するための断面模式図。 第五の発明に関わる第五の実施の形態の変形例を説明するための斜視模式図。

符号の説明

１ａ、１ａ' サーボ領域用インプリントスタンパ
１ｂ、１ｂ' データ領域用インプリントスタンパ
１ｃ、１ｃ' 複合型インプリントスタンパ
１ｅ、１ｅ' 磁気記録媒体
２ａ サーボ領域用インプリントスタンパ上の実線
２ｂ データ領域用インプリントスタンパ上の実線
２ｃ 複合型インプリントスタンパ上の実線
３ａ、３ａ' サーボ領域用インプリントスタンパの第一の転写領域
３ｂ、３ｂ' データ領域用インプリントスタンパの第二の非転写領域
３ｃ、３ｃ' 複合型インプリントスタンパの第一の転写領域
３ｅ、３ｅ' 磁気記録媒体のサーボ領域
３ｅ１ 磁気記録媒体のサーボ領域のプリアンブル信号
３ｅ２ 磁気記録媒体のサーボ領域のアドレス信号
３ｅ３ 磁気記録媒体のサーボ領域のバースト信号
３ｅ３１ Ａバースト
３ｅ３２ Ｂバースト
３ｅ３３ Ｃバースト
３ｅ３４ Ｄバースト
５ａ、５ａ' サーボ領域用インプリントスタンパの第一の非転写領域
５ｂ１ データ領域用インプリントスタンパの第二の転写領域のドット状の凹部
５ｂ１' データ領域用インプリントスタンパの第二の転写領域のドット状の凸部
５ｂ２、５ｂ２' データ領域用インプリントスタンパの第二の転写領域
５ｂ３ データ領域用インプリントスタンパの第三の転写領域
５ｃ１ 複合型インプリントスタンパの第二の転写領域のドット状の凹部
５ｃ１' 複合型インプリントスタンパの第二の転写領域のドット状の凸部
５ｃ２、５ｃ２' 複合型インプリントスタンパの第二の転写領域
５ｃ３ 複合型インプリントスタンパの第三の転写領域
５ｅ 磁気記録媒体のデータ領域
５ｅ１ 磁気記録媒体のデータ領域の記録ドット
５ｅ２ 磁気記録媒体のデータ記録領域
５ｅ２１ 記録帯
５ｅ２２ ガイド帯
５ｅ３ 磁気記録媒体のデータ位置決め信号領域
５ｅ３１ 磁気記録媒体のデータ位置決め信号領域のプリアンブル信号領域
５ｅ３２ 磁気記録媒体のデータ位置決め信号領域のアドレス信号領域
５ｅ３３ 磁気記録媒体のデータ位置決め信号領域のバースト信号領域
７ サーボ領域位置ずれ情報
９ データ領域位置ずれ情報
１１ サーボ領域に対するデータ領域の相対的位置ずれ情報
１３ 記録再生ヘッド
１５ ヘッド移動軸

Claims (8)

1. 複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、
   前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えたデータ位置決め信号領域を具備する複数のデータ領域と、を備えることを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体。
2. 複数の矩形状の磁性記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、
   前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の磁性記録ドットよりなる記録帯と磁性記録材料が存在しないガイド帯を備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の磁性記録ドットよりなる矩形状の区画と磁性記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えたデータ位置決め信号領域を具備する複数のデータ領域と、を備えることを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体。
3. 記録再生ヘッドにより記録媒体のサーボ領域内の位置決め信号と、前記記録媒体のデータ領域内の位置決め信号とを読み取る工程と、
   読み取られた前記サーボ領域内の位置決め信号と、前記データ領域内の位置決め信号により、前記サーボ領域と前記データ領域の相対的位置情報を計算する工程と、
   前記相対的位置情報を元に前記記録再生ヘッドの位置を制御して、前記記録媒体の所定のトラック上を掃引しつつ、情報の記録もしくは再生を行う工程と、を備えたことを特徴とする情報記録再生方法。
4. セクタサーボ方式の記録媒体のサーボ領域に対応し、表面に複数の矩形状の凹部または凸部を備える第一の転写領域、及び、前記記録媒体のデータ領域に位置整合し、表面が平坦な第一の非転写領域、を備えるサーボ領域用インプリントスタンパと、
   前記記録媒体のデータ領域内のデータ記録領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部を備える第二の転写領域、前記記録媒体のデータ位置決め信号領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部よりなる矩形状の区画と平坦な矩形状の区画とからなるパターンを備える第三の転写領域、及び、前記記録媒体のサーボ領域に位置整合し、表面が平坦な第二の非転写領域、を備えるデータ領域用インプリントスタンパとからなり、
   前記サーボ領域用インプリントスタンパと前記データ領域用インプリントスタンパは対をなすことを特徴とする記録媒体製造用インプリントスタンパ。
5. セクタサーボ方式の記録媒体のサーボ領域に対応し、表面に複数の矩形状の凹部または凸部を備える第一の転写領域と、
   前記記録媒体のデータ領域内のデータ記録領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部を備える第二の転写領域と、
   前記記録媒体のデータ位置決め信号領域に対応し、表面に六方格子状に配列した複数のドット状の凹部または凸部によりなる矩形状の区画と平坦な矩形状の区画とからなるパターンを備える第三の転写領域と、
   を備えることを特徴とする記録媒体製造用インプリントスタンパ。
6. 複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えたデータ位置決め信号領域を具備するデータ領域と、を備えることを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体と、
   前記磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、
   前記磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、
   前記記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、
   前記記録再生ヘッドにより読み出された前記サーボ領域と前記データ領域の位置決め信号から、前記サーボ領域と前記データ領域との相対的位置情報を計算する手段と、
   前記相対的位置情報を元に前記記録再生ヘッドの前記記録媒体上の位置を制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
7. 複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数のサーボ領域と、前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えるデータ位置決め信号領域を具備するデータ領域と、を備えたことを特徴とするセクタサーボ方式の記録媒体と、
   前記磁気記録媒体を駆動する駆動手段と、
   前記磁気記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、
   前記記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、
   前記サーボ領域と前記データ領域の相対的位置情報の記憶をしている記憶手段と、
   前記相対的位置情報を元に前記記録再生ヘッドの前記記録媒体上の位置を制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする情報記録再生装置。
8. 複数の矩形状の記録材料を備える第１のサーボ領域と、
   前記サーボ領域によって区切られた領域にあって、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備える第１のデータ領域と、
   を備えたセクタサーボ方式の第１の記録媒体と、
   前記第１の記録媒体を駆動する駆動手段と、
   前記第１の記録媒体上を掃引する記録再生ヘッドと、
   前記記録再生ヘッドに入出力する信号を処理する電子回路と、
   複数の矩形状の記録材料によるパターンを具備する複数の第２のサーボ領域と、前記複数のサーボ領域によって区切られた領域に形成され、六方格子状に配列した複数の記録ドットを備えるデータ記録領域、及び、六方格子状に配列した複数の記録ドットよりなる矩形状の区画と記録材料が存在しない矩形状の区画とからなるパターンを備えるデータ位置決め信号領域を具備する第２のデータ領域とを備えるセクタサーボ方式の第２の記録媒体上を前記記録再生ヘッドが掃引することにより読み取られた前記第２のサーボ領域内の位置決め信号と前記第２のデータ領域内の位置決め信号とにより計算された前記第１のサーボ領域と前記第１のデータ領域の相対的位置情報を記憶している記憶手段と、
   前記相対的位置情報を元に前記記録再生ヘッドの前記第１の記録媒体上の位置を制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする情報記録再生装置。

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