JP4921808B2 - 露光装置における光源ユニットおよび露光装置における光軸調整方法 - Google Patents

露光装置における光源ユニットおよび露光装置における光軸調整方法 Download PDF

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Description

本発明はレーザ光を用いて露光し、画像を得る電子写真方式の複写機やプリンタ等において、露光装置の光源とレンズ系とを位置調整する露光装置における光源ユニット及び露光装置における光軸調整方法に関する。
電子写真方式の画像形成装置にあっては、近年レーザ発光素子を光源とする露光装置からのレーザ光を用いて感光体を露光して、感光体上に静電潜像を得る装置がある。このレーザ光を光源とする露光装置の光源ユニットは、レーザ光をポリゴンミラー等の偏向器に集光するレンズ系を備えている。一般にレーザ発光素子及び駆動回路はレーザホルダに支持され、レンズ系はレンズホルダに搭載される。光源ユニットにてレーザ発光素子とレンズ系を位置調整して、光軸を一致させるため、従来は、レーザホルダとレンズホルダをX、Y方向にフリーに移動しながら行う装置があった。
即ち、X、Y方向に移動可能な精密ステージを用い、ステージにマウントされるニードルでレーザホルダをレンズホルダにおしあてながら、両ホルダを摺り合わせて位置調整していた。さらに調整後はニードルを強く押し当てて、両ホルダがずれないように確かめながら両ホルダを固定するネジのトルクを段階的に締めるようにしていた。
又従来、画像形成装置において、光源ユニットの複数の光学素子の2つを固定後、次に3つめを固定することにより、すべての光学素子を固定する装置がある。(例えば特許文献1参照。)
特開2000−314844号公報(第6,7頁、図7、図8)
しかしながら前者の調整方法では、両ホルダがずれないように確かめながらネジを段階的に締めるために、固定操作に時間を要し、調整に時間がかかっていた。さらに両ホルダを摺り合わせて高精度に移動するためには、極力小さい範囲で規制する必要があることから、ニードルの貫通孔をレーザホルダのレーザ発光素子近傍形成必要があった。従って、レーザ発光素子近傍の駆動回路の配線に制約を生じていた。尚(特許文献1)は、複数の光学素子の固定順を示すものの、位置調整の仕方について述べるものではない。
そこで本発明は上記課題を解決するものであり、位置調整後の光源基板とレンズ基板との固定操作時間の短縮を図る。又レーザ発光素子近傍の駆動回路の配線の自由度を向上する。これにより光源ユニットの製造性にすぐれ、且つ設計の自由度の高い、露光装置における光源ユニットおよび露光装置における光軸調整方法を提供することを目的とする。
本発明は上記課題を解決するための手段として、レーザ光源と、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を所定位置に導くレンズ系と、前記レーザ光源を支持し、前記レーザ光源の光軸周囲の一方向に第1の長穴と第2の長穴を備える基板ホルダと、前記レンズ系を支持し、第1の円穴と第2の円穴を備えるレンズホルダと、前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを第1の方向に相対的に移動可能に継合する規制部材とを備え、前記第1の長穴は、前記規制部材および前記レーザ光源の中心を結ぶ中心線の延長上にあって、長辺が前記中心線と平行であり、前記第1の円穴は、前記第1の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第1の長穴の短辺の長さ未満であり、前記第2の長穴は、短辺の方向が前記第1の方向の延長上にあり、前記第2の円穴は、前記第2の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第2の長穴の短辺の長さ未満とするものである。
本発明によれば、光源基板とレンズ基板を位置調整後、両基板を短時間で固定可能となる。又、位置調整のためにレーザ光源近傍にて光源基板に孔を開ける必要が無く、レーザ光源の駆動基板の設計上の制約が無く、駆動基板設計時の自由度を向上できる。これにより光源ユニットの製造性に優れ、且つ設計時の自由度の向上を得られる。
以下、本発明の実施例1について図1乃至図9を用いて説明する。
図1は、本発明の画像形成装置である4連タンデム方式のカラー複写機1のフロントカバー1aを開けた概観斜視図であり、図2は、カラー複写機1の画像形成部7を示す概略構成図である。カラー複写機1は上方にスキャナ部2及び胴内排紙部3を備える。カラー複写機1は、エンドレスのベルト部材である中間転写ベルト10の下側に沿って並列配置されるイエロ(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(K)の4組の画像形成ユニット11Y、11M、11C及び11Kを備える。
各画像形成ユニット11Y、11M、11C及び11Kは、それぞれ像担持体である感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kを有している。感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K周囲には、その矢印m方向の回転方向に沿って帯電チャージャ13Y、13M、13C及び13K、現像装置14Y、14M、14C及び14K、及び感光体クリーニング装置16Y、16M、16C及び16Kを配置してなっている。感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K周囲の帯電チャージャ13Y、13M、13C及び13Kから現像装置14Y、14M、14C及び14Kにいたる間には、レーザ露光装置17により露光々が照射される。
帯電チャージャ13Y、13M、13C及び13Kは、感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K表面を例えば−700V程度に一様に全面帯電する。現像装置14Y、14M、14C及び14Kは、それぞれイエロ(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(K)のトナー及びキャリアからなる二成分現像剤を感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kに供給する。
レーザ露光装置17はイエロ(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、ブラック(K)の複数のレーザダイオード117から出射されたレーザ光をポリゴンミラー121により感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kの軸線方向に走査する。さらに結像レンズ系122を経て各感光体ドラム12Y、12M及び12C、12B上に結像する。
中間転写ベルト10は、耐熱性及び耐磨耗性の点から安定した材料である例えば半導電性ポリイミドで製造される。中間転写ベルト10は、駆動ローラ21、従動ローラ20及び、第1〜第4のテンションローラ22〜25により張架される。中間転写ベルト10の感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kに対向する1次転写位置には、1次転写ローラ18Y、18M、18C及び18Kにより1次転写電圧が印可され、感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K上のトナー像は中間転写ベルト10に1次転写される。感光体クリーニング装置16Y、16M、16C及び16Kは、1次転写終了後に感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K上の残留トナーを廃トナーとして回収する。
中間転写ベルト10の駆動ローラ21により支持される2次転写位置には、2次転写ローラ27が対向配置される。2次転写位置にあっては、例えば給紙部4から給紙される被転写媒体であるシート紙P等を介して2次転写ローラ27により2次転写電圧が印加され、中間転写ベルト10上のトナー像はシート紙Pに2次転写される。中間転写ベルト10の2次転写ローラ27の下流にはクリーニング部材であるベルトクリーナ10aが接離可能に対向配置される。ベルトクリーナ10aは、2次転写終了後に中間転写ベルト10に残留するトナーを廃トナーとして回収する。
感光体クリーニング装置16Y、16M、16C及び16K更にはベルトクリーナ10aにより回収された残留トナーは、廃トナーボックス30に収納される。廃トナーボックス30は、カラー複写機1の画像形成部7のフロントサイドに細長く延在される。廃トナーボックス30は、満杯になったときには、新たなものと交換する。
次にレーザ露光装置17に用いる、図3〜図7に示す光源ユニット120について述べる。図3は、説明を簡略にするために、例えば1つの光源ユニット120を有するレーザ露光装置17を示すものである。レーザ露光装置17は、ハウジング17a内に、レーザ光源であるレーザダイオード117及び、有限焦点レンズ118a及びシリンドリカルレンズ118bを有するレンズ系118からなる光源ユニット120を搭載している。レーザ露光装置17はレーザダイオード117から出射されたレーザ光を感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kの軸線方向に走査するポリゴンミラー121、さらにレーザ光を各感光体ドラム12Y、12M、12C及び12K上に結像する結像レンズ系122を有する。
光源ユニット120は、製造時、レーザダイオード117とレンズ系118とを位置調整して光軸を一致させた後、固定する。図4〜図7に示すように、回路基板126のほぼ中央にレーザダイオード117が設けられている。回路基板126は基板ホルダ127に支持され図6に示すX軸,Y軸方向に移動可能とされる。回路基板126及び基板ホルダ127により光源基板を構成する。レンズ系118は、図6に点線で示すレンズホルダ128に支持され、X軸、Y軸方向に移動可能とされる。
基板ホルダ127には、位置調整のための第1の長穴127a、第2の長穴127b及び第3の長穴である規制用長穴127cが形成される。レンズホルダ128には、位置調整のための第1の円穴128a、第2の円穴128b及び位置決めピン128cが形成される。位置決めピン128cは、規制用長穴127cの短辺の長さを直径とし、規制用長穴127cに挿通され、第1の方向であり規制用長穴127cの長辺方向である図6に示すX軸方向に移動可能とされる。規制用長穴127c及び位置決めピン128cにより、基板ホルダ127とレンズホルダ128を相対的に移動可能とする規制部材を構成する。
更に基板ホルダ127の第1の長穴127aは、規制用長穴127cに挿通される位置決めピン128cと、レーザダイオード117の中心を結ぶ中心線(図6にあってはX軸)の延長上にあり、長辺が中心線(X軸方向)と平行となっている。第2の長穴127bは、短辺の方向が第1の方向の延長上にある(図6にあってはX軸)よう形成されている。
レンズホルダ128の第1の円穴128aは、基板ホルダ127とレンズホルダ128を重ね合わせたとき、第1の長穴127aに対向する。第2の円穴128bは、基板ホルダ127とレンズホルダ128を重ね合わせたとき、第2の長穴127bに対向する。第1の円穴128aの直径は第1の長穴127aの短辺の長さより小さく、第2の円穴128bの直径は第2の長穴127bの短辺の長さより小さい。
次に位置調整操作について述べる。まず規制用長穴127cに位置決めピン128cを挿通し、更にレンズホルダの第1の円穴128を第1の長穴127aに対向し、第2の円穴128bを第2の長穴127bに対向するよう、基板ホルダ127とレンズホルダ128を重ねる。この後、図8、図9に示す第1及び第2の調整ツール131、132を用いて、位置調整を行う。
第1の調整ツール131の先端には、円筒131aを回転軸とする偏芯カム131bが形成される。円筒131aは、第1の円穴128aに挿入可能であり、偏芯カム131bは、第1の長穴127aに挿入され、回転時に第1の長穴127aに当接して、基板ホルダ127をY軸方向に移動可能とする。第2の調整ツール132の先端も第1の調整ツール131と同様の形状をしている。第2の調整ツール132の先端の円筒132aは、第2の円穴128bに挿入可能であり、偏芯カム132bは、第2の長穴127bに挿入され、回転時に第2の長穴127bに当接して、基板ホルダ127をX軸方向に移動可能とする。
基板ホルダ127とレンズホルダ128を重ねた後、第1の調整ツール131を第1の長穴127aに差込み、第2の調整ツール132を第2の長穴127bに差込む。即ち、第1の調整ツール131の円筒131aを第1の円穴128aに挿入して、偏芯カム131bを第1の長穴127aに挿入する。又、第2の調整ツール132の円筒132aを第2の円穴128bに挿入して、偏芯カム132bを第2の長穴127bに挿入する。
次いで、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132を回転して、レーザダイオード117とレンズ系118の光軸を一致させる。即ち、第1の調整ツール131を回転すると円筒131aを回転軸として、偏芯カム131bは、第1の長穴127aに当接する。これにより、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は、位置決めピン128cを軸として図6に示す矢印n方向に相互に回転移動する。
一方第2の調整ツール132を回転すると、円筒132aを回転軸として、偏芯カム132bは、第21の長穴127bに当接する。これにより、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は相互に図6に矢印tで示すX軸方向に移動する。このとき規制用長穴127cと位置決めピン128cも相互にX軸方向に移動する。
このようにして、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132を回転して、レーザダイオード117とレンズ系118の光軸を一致させる。レーザダイオード117とレンズ系118の光軸が一致したら、止め部130にて基板ホルダ127とレンズホルダ128を一体的にネジで固定する。このとき、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は、位置決めピン128c、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132により、3箇所を位置決めされている。従ってネジ止め時、基板ホルダ127及びレンズホルダ128がずれる恐れがまったく無く、ネジ止め操作を速く行える。実際に光源ユニット120の光軸の調整および固定に要する時間は、約1分となった。従来の、ニードルを用いる装置で行う場合には、約1.5分を要したのに比べて、著しく短縮された。この後、光源ユニット120をハウジング17aに組み込む。
このようにしてなるレーザ露光装置17を搭載するカラー複写機1にて画像形成プロセスが開始されると、スキャナやパソコン端末等から画像情報が入力され、各感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kが回転され各画像形成ユニット11Y、11M、11C及び11Kにて、順次画像形成工程が実施される。イエロ(Y)の画像形成ユニット11Yでは感光体ドラム12Y表面が帯電チャージャ13Yにより一様に帯電される。
次いで感光体ドラム12Yは、露光位置17Yにてイエロ(Y)の画像情報に対応するレーザ光を照射されて静電潜像を形成される。更に感光体ドラム12Yは、現像装置18Yにてトナー像を形成される。更に感光体ドラム12Yは、矢印s方向に回転される中間転写ベルト10と接触して1次転写ローラ18Yによりトナー像を中間転写ベルト10上に1次転写する。
このイエロ(Y)のトナー像形成プロセスと同様にして、マゼンタ(M)、シアン(C)及びブラック(K)のトナー像形成プロセスを行う。各感光体ドラム12M、12C及び12K上に形成されたトナー像は、中間転写ベルト10上のイエロ(Y)のトナー像が形成された同一位置に順次重ねて転写される。中間転写ベルト10上には、イエロ(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)及びブラック(K)を多重転写してなるフルカラートナー像が形成される。
この後中間転写ベルト10に重ね合わされたフルカラートナー像は2次転写ローラ27位置に達し、二次転写ローラ27の転写バイアスにより、シート紙P上に一括2次転写される。次いでシート紙Pは定着工程を経てトナー像を完成される。定着後シート紙Pは、片面画像であればそのまま胴内排紙部3に排紙される。又両面画像あるいは多重プリントを行う場合は、再搬送ユニット(図示せず)を経て2次転写ローラ27位置に再搬送される。
一方中間転写ベルト10は、2次転写終了後、ベルトクリーナ10aにより残留トナーをクリーニングされる。又感光体ドラム12Y、12M、12C及び12Kは、トナー像を中間転写ベルト10に1次転写した後、感光体クリーニング装置16Y、16M、16C及び16Kにより残留トナーを除去され、次ぎの画像形成プロセス可能とされる。
ベルトクリーナ10aは、中間転写ベルト10に摺接するクリーニングブレード50により、中間転写ベルト10から回収した廃トナーをオーガ51でフロント側に搬送する。フロント側に搬送された廃トナーは、ダクトを介して廃トナーボックス30内に流入され、集積される。
この実施例によれば、規制用長穴127c及び位置決めピン128cにより基板ホルダ127とレンズホルダ128を継合した状態で、第1の調整ツール131を第1の長穴127a内で回転する。これにより位置決めピン128cを軸に、基板ホルダ127及びレンズホルダ128を相互に回転移動する。また、第2の調整ツール132を第2の長穴128a内で回転する。これにより基板ホルダ127及びレンズホルダ128を相互にX軸方向に移動する。この後、基板ホルダ127及びレンズホルダ128を一体的に固定する時点では、位置決めピン128c、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132の3箇所を位置決めされている。即ち、ネジ止め時に、基板ホルダ127及びレンズホルダ128がずれる恐れが無く、ネジ止め操作を速く行え、従来に比べて、光源ユニット120の光軸の調整および固定に要する時間を短縮できる。又従来のように、レーザダイオード117近傍にて、回路基板126に調整のための穴を開ける必要が無く、レーザダイオード117の駆動回路設計時の制約が無く、設計の自由度を広げられる。又調整ツール131、132は、従来調整のために必要としていた精密ステージに比べて安価であり、調整用の冶具のコスト低減を図れる。
次に本発明の実施例2について図10乃至図12を用いて説明する。本実施例は、実施例1において、位置調整用の長穴及び円穴の形成位置が異なるものの、その他の構成は同じであることから、実施例1と同一部分については同一符号を付しその説明を省略する。本実施例では図12に示すように、規制用長穴227c及び位置決めピン228cが夫々、レーザダイオード117位置より下方に配置される。規制用長穴227cの長辺は、第1の方向であるX軸方向と平行な点線β上にあり、規制用長穴227c及び位置決めピン228cは、X軸方向に相互に移動可能となっている。
位置決めピン228cと、レーザダイオード117の中心を結ぶ中心線αの延長上にて基板ホルダ127には、長辺方向が中心線αに平行な第4の長穴227aが形成される。図12の点線β上の延長上にて基板ホルダ127には、第5の長穴227bが形成される。第5の長穴227bは、短辺の方向が点線βの延長上にあるよう形成されている。
レンズホルダ128には、基板ホルダ127とレンズホルダ128を重ね合わせたとき、第4の長穴227aあるいは第5の長穴227bに夫々対向する第4の円穴228aあるいは第5の円穴228bが形成される。
位置調整操作時には、実施例1と同じ調整ツールを使用する。第1の実施例と同様に、規制用長穴227cに位置決めピン228cを挿通した後、図11に示すように第2の調整ツール132を第4の長穴227aに差込み、第1の調整ツール131を第5の長穴227bに差込む。第2の調整ツール132を回転すると偏芯カム132bは第4の長穴227aに当接する。これにより、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は、位置決めピン228cを軸として相互に、図12に示す矢印u方向に回転移動する。
一方第1の調整ツール131を回転すると、偏芯カム131bは第5の長穴227bに当接する。これにより、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は相互に図12に矢印vで示すX軸と平行な方向に移動する。
このようにして、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132を回転して、レーザダイオード117とレンズ系118の光軸を一致させる。レーザダイオード117とレンズ系118の光軸が一致したら、止め部230にて基板ホルダ127とレンズホルダ128を一体的にネジで固定する。このとき、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は、位置決めピン228c、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132により3箇所を位置決めされ、ネジ止め操作を速く行える。
この実施例によれば、実施例1と同様、基板ホルダ127とレンズホルダ128を継合した状態で、第4の長穴227a内で第2の調整ツール132を回転して、位置決めピン228cを軸に、基板ホルダ127及びレンズホルダ128を相互に回転移動する。又第5の長穴227b内で第1の調整ツール131を回転して、基板ホルダ127及びレンズホルダ128を相互にX軸と平行な方向に移動する。
この後、レーザダイオード117とレンズ系118の光軸を調整後に、基板ホルダ127及びレンズホルダ128を一体的に固定する時点では、基板ホルダ127及びレンズホルダ128は、位置決めピン228c、第1の調整ツール131及び第2の調整ツール132により、3箇所を位置決めされている。従ってネジ止め時に基板ホルダ127及びレンズホルダ128がずれる恐れが無く、ネジ止め操作を速く行え、光源ユニット120の光軸の位置調整および固定に要する時間を短縮できる。又実施例1と同様、レーザダイオード117近傍にて、回路基板126に調整のための穴を開ける必要レーザダイオード117の駆動回路の設計の自由度を広げられる。更に調整用の冶具のコスト低減を図れる。
尚この発明は上記実施例に限られるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可能であり、例えば光源基板あるいはレンズホルダの形状は限定されないし、長穴及び円穴のサイズも冶具のサイズ等に応じて任意である。又長穴の形状も、楕円、矩形等いずれであっても良い。また、光源基板とレンズホルダとが相互に移動可能であれば、長穴をレンズ基板側に形成し、円穴を光源基板側に形成する等しても良い。更に露光装置に搭載される光源ユニットの数も限定されない。
本発明の第1の実施例のカラー複写機のフロンとカバーを開けた状態を示す外観斜視図である。 本発明の第1の実施例の画像形成部を示す概略説明図である。 本発明の第1の実施例の光源ユニットを露光装置に光源ユニットを搭載した例を示す概略説明図である。 本発明の第1の実施例の光源ユニットに調整ツールを挿入した状態を示す概略斜視図である。 本発明の第1の実施例の基板ホルダ及びレンズ系を示す概略斜視図である。 本発明の第1の実施例の基板ホルダ及びレンズホルダの移動方向を示す概略説明図である。 本発明の第1の実施例の光源ユニットを示す概略斜視図である。 本発明の第1の実施例の第1の調整ツールを示す概略斜視図である。 本発明の第1の実施例の調整ツール及び長穴を示す説明図である。 本発明の第2の実施例の光源ユニットを示す概略斜視図である。 本発明の第2の実施例の光源ユニットに調整ツールを挿入した状態を示す概略斜視図である。 本発明の第2の実施例の基板ホルダ及びレンズホルダの移動方向を示す概略説明図である。
符号の説明
1…カラー複写機
2…スキャナ部
3…胴内排紙部
4…給紙部
7…画像形成部
10…中間転写ベルト
11Y、11M、11C、11K…画像形成ユニット
12Y、12M、12C、12K…感光体ドラム
17…レーザ露光装置
117…レーザダイオード
118…レンズ系
120…光源ユニット
126…回路基板
127…基板ホルダ
127a…第1の長穴
127b…第2の長穴
127c…規制用長穴
128…レンズホルダ
128a…第1の円穴
128b…第2の円穴
128c…位置決めピン
131、132…第1、第2の調整ツール

Claims (5)

  1. レーザ光源と、
    前記レーザ光源から照射されるレーザ光を所定位置に導くレンズ系と、
    前記レーザ光源を支持し、前記レーザ光源の光軸周囲の一方向に第1の長穴と第2の長穴を備える基板ホルダと、
    前記レンズ系を支持し、第1の円穴と第2の円穴を備えるレンズホルダと、
    前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを第1の方向に相対的に移動可能に継合する規制部材とを備え、
    前記第1の長穴は、前記規制部材および前記レーザ光源の中心を結ぶ中心線の延長上にあって、長辺が前記中心線と平行であり、前記第1の円穴は、前記第1の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第1の長穴の短辺の長さ未満であり、前記第2の長穴は、短辺の方向が前記第1の方向の延長上にあり、前記第2の円穴は、前記第2の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第2の長穴の短辺の長さ未満であることを特徴とする露光装置における光源ユニット。
  2. 前記規制部材は、前記基板ホルダ形成され、長辺が前記第1の方向と平行な第3の長穴と、前記第3の長穴と対向する位置にて、前記レンズホルダに形成され、前記第3の長穴の短辺の長さを直径とし、前記第3の長穴に挿通される位置決めピンとからなることを特徴とする請求項1記載の露光装置における光源ユニット。
  3. レーザ光源を支持し、前記レーザ光源の光軸周囲の一方向に第1の長穴と第2の長穴を備える基板ホルダと、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を所定位置に導くレンズ系を支持し、第1の円穴と第2の円穴を備えるレンズホルダと、前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを第1の方向に移動可能に継合する規制部材とを備え、
    前記第1の長穴は、前記規制部材および前記レーザ光源の中心を結ぶ中心線の延長上にあって、長辺が前記中心線と平行であり、前記第1の円穴は、前記第1の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第1の長穴の短辺の長さ未満であり、前記第2の長穴は、短辺の方向が前記第1の方向の延長上にあり、前記第2の円穴は、前記第2の長穴と対向する位置にあり、直径が前記第2の長穴の短辺の長さ未満である露光装置における光軸調整方法において、
    前記第1の長穴に嵌まり、前記第1の円穴を回転軸とする第1の偏芯カムを回転して、前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを前記規制部材を中心とする回転方向に相対的に移動する回転移動ステップと、
    前記第2の長穴に嵌まり、前記第2の円穴を回転軸とする第2の偏芯カムを回転して、前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを前記第1の方向に相対的に移動する平行移動ステップとを具備することを特徴とする露光装置における光軸調整方法。
  4. 前記規制部材は、前記基板ホルダ形成され、長辺が前記第1の方向と平行な第3の長穴と、前記第3の長穴と対向する位置にて、前記レンズホルダに形成され、前記第3の長穴の短辺の長さを直径とし、前記第3の長穴に挿通される位置決めピンとからなることを特徴とする請求項3記載の露光装置における光軸調整方法。
  5. 前記回転移動ステップ及び前記平行移動ステップ終了後、前記第1の偏芯カム及び前記第2の偏芯カムを嵌めた状態で、前記基板ホルダ及び前記レンズホルダを固定することを特徴とする請求項3または請求項4記載の露光装置における光軸調整方法。
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