JP4902842B2 - プラズマ発生方法およびプラズマ発生装置 - Google Patents
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Description
実施形態1のプラズマ発生装置を図1に示す。このプラズマ発生装置は、液体60中に外壁の一部が浸された容器(細管)10の中、すなわち液体60に隣接する空間にプラズマを発生させる装置である。この装置は、第1の電極30と、第1の電極30を内部に格納する容器10と、液体60に浸される第2の電極20と、第1の電極30と第2の電極20との間に交流電圧あるいはパルス電圧を印加する電源40とを備えている。
実施形態2に係るプラズマ発生装置は、図4に示すように、実施形態1に係るプラズマ発生装置の第2の電極20を異なる形態としたものである。本実施形態に係るプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法は実施形態1と大部分が同じであるので、異なっている点を主に説明する。
実施形態3に係るプラズマ発生装置は、図5に示すように、実施形態1に係るプラズマ発生装置の第2の電極20を異なる形態としたものである。本実施形態に係るプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法は実施形態1と大部分が同じであるので、異なっている点を主に説明する。
実施形態4に係るプラズマ発生装置は、図6に示すように、液体60、槽50、第1の電極30、電源40は実施形態1と同じであるが、その他の部分が実施形態1と異なっているので、異なっている部分を説明する。
実施形態5に係るプラズマ発生装置は、図7に示すように、容器14が実施形態4と異なっているが、その他の部分は実施形態4と同じであるので、異なっている部分を説明する。
実施形態6に係るプラズマ発生装置は、図8に示すように、液体60、槽50、第1の電極30、電源40は実施形態1と同じであるが、その他の部分が実施形態1と異なっているので、異なっている部分を説明する。
実施形態7は、生体中に容器を挿入して生体中でプラズマを発生させるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法に係るものである。
実施形態8は、図11に示すように実施形態7と比べると第2の電極122が異なっており、他の構成は同じであるので、実施形態7と異なっているところを説明する。なお、図11においては生体100のうち表面の一部のみを示し、他の部分は省略している。図11において、符号100で示された生体表面の上側が生体100である。なお、図12〜14についてもこの点は同じである。
実施形態9に係るプラズマ発生装置は、電源40が実施形態7と同じであるが、その他の部分は実施形態7と異なっているので、異なっている部分を説明する。
実施形態10に係るプラズマ発生装置は、図13に示すように容器114が実施形態9と異なっているが、その他の部分は実施形態9と同じであるので、異なっている部分を説明する。
実施形態11に係るプラズマ発生装置は、図14に示すように、生体100、第1の電極30、電源40は実施形態7と同じであるが、その他の部分が実施形態7と異なっているので、異なっている部分を説明する。
上記の実施形態は本発明の例であり、本発明はこれらの例に限定されない。例えば、第1の電極の導電性部材の形状は線状に限定されず、板状、箔状等どのような形状でもよい。
15 メンブレンフィルタ(透過膜)
20、22、24 第2の電極
30 第1の電極
31 導電性部材
32 被覆
40 電源
60 液体
80 ガス導入部(ガス流入部材)
100 生体
110 容器
112 容器
114 容器
115 メンブレンフィルタ(透過膜)
120 第2の電極
122 第2の電極
124 第2の電極
Claims (18)
- 絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えた第1の電極が格納されている容器の外面を液体に接触させる工程と、
第2の電極を絶縁体または誘電体よりなる介在部材を介して前記液体に接触させる工程と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加して、前記第1の電極の周囲である前記容器の内部空間にプラズマを発生させるプラズマ発生工程と
を含む、プラズマ発生方法。 - 接地されている液体に隣接した空間においてプラズマを発生させるプラズマ発生方法であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えた第1の電極が格納されている容器の外面を液体に接触させる工程と、
第2の電極を絶縁体または誘電体よりなる介在部材を介して接地させる工程と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加して、前記第1の電極の周囲である前記容器の内部空間にプラズマを発生させるプラズマ発生工程と
を含む、プラズマ発生方法。 - 前記導電性部材は線状の部材であって、前記容器は細管である、請求項1又は2に記載のプラズマ発生方法。
- 前記容器は透光性を有している、請求項1から3のいずれか一つに記載のプラズマ発生方法。
- 前記プラズマ発生工程において、前記容器内に所定のガスを流入させる、あるいは封入しておく、請求項1から4のいずれか一つに記載のプラズマ発生方法。
- 前記プラズマの発生により化学変化した前記所定のガスを前記容器の外に放出する工程をさらに備えた、請求項5に記載のプラズマ発生方法。
- 前記液体は電気伝導率が0.055μS/cm以上または比誘電率が60以上である、請求項1または2に記載のプラズマ発生方法。
- 液体に隣接した空間においてプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、外面が前記液体に接触する容器と、
前記液体に絶縁体または誘電体からなる介在部材を介して接触する第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と
を備えている、プラズマ発生装置。 - 接地されている液体に隣接した空間においてプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、外面が前記液体に接触する容器と、
絶縁体または誘電体からなる介在部材を介して接地される第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と
を備えている、プラズマ発生装置。 - 生体内でプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、前記生体内に挿入されて前記第1の電極と前記生体との間に介在する容器と、
前記生体に絶縁体または誘電体からなる介在部材を介して接触する第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と
を備えている、プラズマ発生装置。 - 接地されている生体内でプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、前記生体内に挿入されて前記第1の電極と前記生体との間に介在する容器と、
絶縁体または誘電体からなる介在部材を介して接地される第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と
を備えている、プラズマ発生装置。 - 前記導電性部材は線状の部材であって、前記容器は細管である、請求項8から11のいずれか一つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記容器は透光性を有している、請求項8から12のいずれか一つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記容器内に所定のガスを流入させるガス流入部材をさらに備えている、請求項8から13のいずれか一つに記載のプラズマ発生装置。
- 前記容器内には所定のガスが封入されている、請求項8から13のいずれか一つに記載のプラズマ発生装置。
- 少なくとも前記容器の一部は、前記所定のガスが前記プラズマによって化学変化した物質を選択的に通過させる透過膜からなっている、請求項14または15に記載のプラズマ発生装置。
- 液体に隣接した空間においてプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、外面が前記液体に接触する容器と、
前記液体に電気的に接続する第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と
を備え、
前記容器内には所定のガスが封入されており、
少なくとも前記容器の一部は、前記所定のガスが前記プラズマによって化学変化した物質を選択的に通過させる透過膜からなっている、プラズマ発生装置。 - 液体に隣接した空間においてプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、
絶縁体または誘電体により被覆された導電性部材を備えており、プラズマを発生させる第1の電極と、
前記第1の電極を格納し、外面が前記液体に接触する容器と、
前記液体に電気的に接続する第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源と、
前記容器内に所定のガスを流入させるガス流入部材と
を備え、
少なくとも前記容器の一部は、前記所定のガスが前記プラズマによって化学変化した物質を選択的に通過させる透過膜からなっている、プラズマ発生装置。
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