JP4890755B2 - 半導体レーザおよびその製造方法 - Google Patents
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Jpn. J. Appl. Phys. Vol.40 (2001) p.3075
応用物理学会 応用電子物性分科会研究例会「窒化物半導体のニューホライズン」、2003年1月22日(水)、島津製作所・関西支社・マルチホール
第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有する窒化物系III−V族化合物半導体基板上にレーザ構造を形成する窒化物系III−V族化合物半導体層が成長された、発振波長が405nmより長い半導体レーザであって、
レーザストライプの端と最近接の第2の領域の端との間の距離が0μm以上60μm以下である
ことを特徴とするものである。
第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有する窒化物系III−V族化合物半導体基板上にレーザ構造を形成する窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させ、この窒化物系III−V族化合物半導体層にレーザストライプを形成する、発振波長が405nmより長い半導体レーザの製造方法であって、
レーザストライプの端と最近接の第2の領域の端との間の距離が0μm以上60μm以下になるようにした
ことを特徴とするものである。
窒化物系III−V族化合物半導体層の成長方法としては、有機金属化学気相成長(MOCVD)、ハイドライド気相エピタキシャル成長またはハライド気相エピタキシャル成長(HVPE)、分子線エピタキシー(MBE)等を用いることができる。
第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有する窒化物系III−V族化合物半導体基板上にレーザ構造を形成する窒化物系III−V族化合物半導体層が成長された半導体レーザであって、
レーザストライプの端と最近接の第2の領域の端との間の距離が10μm以上50μm以下である
ことを特徴とするものである。
第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有する窒化物系III−V族化合物半導体基板上にレーザ構造を形成する窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させ、この窒化物系III−V族化合物半導体層にレーザストライプを形成する半導体レーザの製造方法であって、
レーザストライプの端と最近接の第2の領域の端との間の距離が10μm以上50μm以下になるようにした
ことを特徴とするものである。
第3および第4の発明においては、その性質に反しない限り、第1および第2の発明に関連して説明したことが成立する。
図2Aは、GaN基板上に、発振波長445nmのレーザ構造を形成するAlGaInN系半導体層を成長させた半導体レーザウェハのPL像を示し、撮影している領域は隣接する2本のストライプマスクにはさまれた領域である。これは波長445nmでの発光強度の分布を示している。観察している領域は縦方向(ストライプマスクの方向)に59μm、横方向に400μmである。図2Bは図2Aに示すPL像に対応するグラフで、暗点の密度の場所依存性を示す。横軸はストライプマスクに直交する方向の座標の値を示し、0μmおよび400μmはストライプマスクの中央の位置に対応する。図2Bより、位置が60μm以下の領域および440μm以上の領域で、暗点の密度が激減していることが分かる。この暗点が少ない領域はレーザストライプを形成するのに好適な領域である。
そこで、この発明の一実施形態においては、この暗点が少ない領域にレーザストライプを形成する。
単結晶GaNの基本的な結晶成長メカニズムは、ファセット面からなる斜面を有して成長し、そのファセット面斜面を維持して成長することで、転位を伝播させ、所定の位置に転位を集合させる。このファセット面により成長した領域は、転位の移動により、低欠陥領域となる。一方、そのファセット面斜面下部には、明確な境界を持った高密度の欠陥領域を有して成長が行われ、転位は、高密度の欠陥領域の境界あるいはその内部に集合し、ここで消滅あるいは蓄積する。この高密度の欠陥領域の形状によって、ファセット面の形状も異なる。欠陥領域がドット状の場合は、そのドットを底として、ファセット面が取り巻き、ファセット面からなるピットを形成する。また、欠陥領域がストライプ状の場合は、ストライプを谷底として、その両側にファセット面傾斜面を有し、横に倒した3角形のプリズム状のファセット面となる。この高密度の欠陥領域は、周りの低欠陥領域に対して、結晶の極性が反転している。こうして、この高密度の欠陥領域は、明確な境界を有しており、周りと区別される。この高欠陥密度領域を有して成長することにより、その周りのファセット面を埋め込むことなく、ファセット面を維持して成長を進行することができる。その後、GaN成長層の表面に研削、研磨を施すことにより表面を平坦化し、基板として使用できる形態とすることができる。高密度の欠陥領域を形成する方法は、下地基板上に、GaNを結晶成長する際に、高密度欠陥領域を形成する場所に、種を予め形成しておくことにより、発生させることができる。その種としては、種となる微小領域に非晶質、あるいは多結晶の層を形成する。その上から、GaNを成長することで、丁度その種の領域に、高密度の欠陥領域を形成することができる。
図4に示すように、まず、GaN基板1の表面をサーマルクリーニングなどにより清浄化した後、その上に有機金属化学気相成長(MOCVD)法により、n型GaN層11、n型AlGaNクラッド層12、n型GaN光導波層13、アンドープGaInN光導波層14、アンドープのGa1-x Inx N/Ga1-y Iny N多重量子井戸構造の活性層15、アンドープGaInN光導波層16、p型AlGaNキャップ層17、p型GaN光導波層18、p型AlGaNクラッド層19、p型GaNコンタクト層20およびp型GaInNコンタクト層21を順次エピタキシャル成長させる。
ここで重要なことは、このリッジ22、すなわちレーザストライプの端とGaN基板1の高欠陥密度領域2の端との間の距離dを0μm以上60μm以下、好適には10μm以上50μm以下とすることである。
次に、リソグラフィーによりp側電極形成領域を除いた領域の絶縁膜23の表面を覆うレジストパターン(図示せず)を形成する。
次に、このレジストパターンをマスクとして絶縁膜23をエッチングすることにより、開口23aを形成する。
以上により、目的とするAlGaInN系半導体レーザが製造される。
以上により、発振波長が例えば445nmと長波長で長寿命かつ高信頼性で特性も良好なAlGaInN系半導体レーザを実現することができる。
例えば、上述の実施形態において挙げた数値、材料、構造、形状、基板、原料、プロセスなどはあくまでも例に過ぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、材料、構造、形状、基板、原料、プロセスなどを用いてもよい。
Claims (7)
- 2×106 cm-2以下の第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に上記第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有するGaN基板であって、下地基板上の上記第2の領域を形成する場所に非晶質または多結晶の層からなる種を形成し、この種が形成された上記下地基板上に単結晶GaN層をファセット面からなる斜面を維持して成長させることにより転位を伝播させ、上記種の領域に集合させた後、上記下地基板を除去し、さらに上記単結晶GaN層の表面を平坦化することにより製造されたものの上に、レーザ構造を形成し、GaInNからなる活性層を有する窒化物系III−V族化合物半導体層が成長され、
レーザストライプの最近接の上記第2の領域側の端と最近接の上記第2の領域の上記レーザストライプ側の端との間の距離が10μm以上50μm以下であり、上記レーザストライプ中の上記活性層の暗点密度が1×10 6 cm -2 以下であり、発振波長が440nm以上の半導体レーザ。 - 発振波長が445nm以上である請求項1記載の半導体レーザ。
- 上記半導体レーザはAlGaInN系半導体レーザである請求項1または2記載の半導体レーザ。
- 上記第1の平均欠陥密度が1×10 6 cm -2 以下である請求項1〜3のいずれか一項記載の半導体レーザ。
- 2×10 6 cm -2 以下の第1の平均欠陥密度を有する結晶からなる第1の領域中に上記第1の平均欠陥密度より高い第2の平均欠陥密度を有するストライプ状の第2の領域を有するGaN基板であって、下地基板上の上記第2の領域を形成する場所に非晶質または多結晶の層からなる種を形成し、この種が形成された上記下地基板上に単結晶GaN層をファセット面からなる斜面を維持して成長させることにより転位を伝播させ、上記種の領域に集合させた後、上記下地基板を除去し、さらに上記単結晶GaN層の表面を平坦化することにより製造されたものの上に、レーザ構造を形成し、GaInNからなる活性層を有する窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させ、この窒化物系III−V族化合物半導体層にレーザストライプを形成する、発振波長が440nm以上の半導体レーザを製造する場合に、
レーザストライプの最近接の上記第2の領域側の端と最近接の上記第2の領域の上記レーザストライプ側の端との間の距離が10μm以上50μm以下になるようにし、上記レーザストライプ中の上記活性層の暗点密度が1×10 6 cm -2 以下になるようにした半導体レーザの製造方法。 - 発振波長が445nm以上である請求項5記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記半導体レーザはAlGaInN系半導体レーザである請求項5または6記載の半導体レーザの製造方法。
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