JP4888148B2 - 半導体試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置に関する。

半導体デバイスを試験する半導体試験装置には、半導体デバイスの試験によって得られた試験結果を表示する様々なアプリケーションが予め用意されている。このアプリケーションは、例えばユーザが半導体デバイスの試験状況を確認する場合、又はユーザが作成した試験プログラムに記述された試験条件が妥当であるか否かを確認する場合（試験プログラムのデバッグを行う場合）等に用いられる。例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示ディスプレイ）の駆動ドライバ等のアナログ信号を取り扱う半導体デバイスの試験に用いられる半導体試験装置においては、駆動ドライバの出力電圧を所定のサンプリング周期でサンプリングして得られたサンプル値を、所定の順で表示するアプリケーションが用意されている。

図５は、従来の試験結果の表示例を示す図である。尚、図５においては、ＬＣＤの駆動ドライバから出力される信号を試験結果として表示した例について図示している。図５に示す通り、表示装置（図示省略）の表示領域Ｒ１１内において、紙面横方向に配列番号（ｐｏｓ）が設定されるとともに紙面縦方向に電圧が設定されており、配列番号順に試験結果としてのサンプル値が表示されることにより階段状の波形ＷＦ１１が表示される。尚、上記の配列番号とは、半導体試験装置が備えるメモリに設定され、駆動ドライバの出力電圧をサンプリングして得られるサンプル値が格納される配列の番号である。

また、表示領域Ｒ１１には、試験結果であるサンプル値の階段状の波形ＷＦ１１とともに、試験結果のパス／フェイルを判定するための判定値の上限値（上限判定値ＴＨ１１）及び下限値（下限判定値ＴＨ１２）が表示される。これら上限判定値ＴＨ１１及び下限判定値ＴＨ１２を波形ＷＦ１１とともに表示することで、ユーザは階調毎に所定の範囲内の電圧がＬＣＤの駆動ドライバから出力されているか否かを容易に判定することができる。

更に、表示領域Ｒ１１には、ユーザの操作によって表示領域Ｒ１１内で移動が可能なカーソルＣ１１，Ｃ１２も表示される。これらカーソルＣ１１，Ｃ１２を波形ＷＦ１１の表示位置に移動させることにより、その位置におけるサンプル値（電圧値）と、そのサンプル値が格納された配列の配列番号とからなる詳細情報ＩＦ１１，ＩＦ１２が表示される。図５に示す例では、カーソルＣ１１についての詳細情報ＩＦ１１はサンプル値が４．５９４５１［Ｖ］であり、配列番号が３２５１１である。また、カーソルＣ１２についての詳細情報ＩＦ１２はサンプル値が４．９０３１９［Ｖ］であり、配列番号が３２７６６である。これらの情報を表示することで、ユーザはフェイルが生じた箇所の配列番号及びサンプル値を正確に知ることができる。

尚、従来の半導体試験装置における信号波形の表示例については、例えば以下の非特許文献１を参照されたい。
「ＡＶｉＰＳユーザーズマニュアル」，横河電機株式会社，２００６年５月，第４版，ｐ．Ｃ１４．２

ところで、半導体デバイスが備える複数のピンから出力される信号をサンプリングして得られるサンプル値の配列への格納方法は試験プログラムによって定められているが、従来の半導体試験装置が備えるアプリケーションは、メモリの配列に格納されたサンプル値を配列番号順に表示しているだけである。このため、ユーザは、試験プログラムの記述内容を解析しなければ、アプリケーションを用いて表示されたサンプル値がどのピンから出力された信号をサンプルしたものであるかを知ることができず、異常が生じた場合の原因究明に時間がかかるという問題があった。

また、アプリケーションを用いて複数のサンプル値からなる試験結果を表示させる場合には、試験結果の全体を表示させ、或いはその一部を拡大表示させる操作がユーザによって頻繁に行われる。例えば、図５に示す階段状の波形ＷＦ１１は、一部を拡大表示させたものである。上述の通り、アプリケーションは、メモリの配列に格納されたサンプル値を配列番号順に表示しているだけであるため、ユーザがかかる操作を頻繁に行うと、表示されている部分が全体の中のどの部分であるかが分からなくなるという状況に陥り、これによっても異常が生じた場合の原因究明に時間がかかるという問題があった。

特に、図５に示す通り、ＬＣＤの駆動ドライバから出力される信号の波形ＷＦ１１は、階調数に応じた多数の段（例えば、２５６段）を有する階段状の信号であって、各部分における波形の形状が近似しているため、上記の状況が生じやすい。このため、ＬＣＤの駆動ドライバから出力される信号の波形を表示する場合には、表示されている部分がどの階調に対応するものであるかを知ることができれば異常の原因究明に要する時間を短縮することができると考えられる。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体デバイスの試験結果に関連する関連情報を必要に応じて表示することで、異常が生じた場合の原因究明に要する時間を短縮することができる半導体試験装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の半導体試験装置は、階調を指定する階調信号が入力されると、当該階調に応じた電圧を出力する半導体デバイス（３０）の試験を行う試験装置本体（１０）と、当該試験装置本体によって行われた試験で得られた試験結果を表示する表示部（２６）を有する端末装置（２０）とを備える半導体試験装置（１）において、前記試験装置本体は、前記半導体デバイスの試験により得られる試験結果と、当該試験結果に関連する情報であって前記半導体デバイスから試験結果としての電圧が得られたときに前記半導体デバイスに入力された前記階調信号によって指定される階調を特定する階調情報を含む関連情報とを対応させて記憶する記憶部（１３）を備え、前記端末装置は、ユーザにより操作される操作部（２４）と、前記試験装置本体の前記記憶部に記憶された前記試験結果と前記関連情報とを取得する取得部（２１）と、前記取得部が取得した前記試験結果を前記表示部に表示するとともに、前記操作部に対する所定の操作が前記ユーザによってされた場合に前記関連情報を前記表示部に表示する表示制御部（２２）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、試験装置本体が半導体デバイスに対して試験を行うと、その試験結果と試験結果に関連する関連情報とが対応づけられて試験装置本体の記憶部に記憶される。この記憶部に記憶された試験結果及び関連情報は、端末装置の取得部によって取得され、表示制御部によって表示部に表示される。また、ユーザが操作部に対して所定の操作を行うと表示制御部によって関連情報が表示部に表示される。
また、本発明の半導体試験装置は、前記関連情報が、前記試験結果が出力された前記半導体デバイスのピンを特定するピン情報を含むことを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置において、前記操作部に対する所定の操作は、ユーザが前記表示部に表示された前記試験結果の一部を特定する操作であることを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記表示制御部が、前記ユーザによる前記所定の操作によって特定された試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴としている。
更に、本発明の半導体試験装置は、前記表示制御部が、前記ユーザによる前記所定の操作によって前記試験結果の一部が複数特定された場合には、特定された各々の試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴としている。

本発明によれば、試験装置本体の試験によって得られた試験結果を表示部に表示するとともに、操作部に対する所定の操作がユーザによってされたときに試験結果に関連する関連情報を表示しており、ユーザの必要に応じて試験結果に関連する関連情報が即座に得られるため、異常が生じた場合の原因究明に要する時間を短縮することができるという効果がある。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による半導体試験装置について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置の構成を示すブロックである。図１に示す通り、本実施形態の半導体試験装置１は、半導体デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）３０の試験を行う試験装置本体１０と、試験装置本体１０に接続された端末装置２０とを備える。尚、本実施形態では、ＤＵＴ３０が多数のピンを備えており、階調を指定する階調信号が入力されると、その階調に応じた電圧を所定のピンから出力するＬＣＤの駆動ドライバである場合を例に挙げて説明する。

試験装置本体１０は、制御部１１、試験部１２、及び試験メモリ１３（記憶部）を備えており、ＤＵＴ３０に対して階調を指定する階調信号（例えば、８ビットのディジタル信号）を試験信号としてＤＵＴ３０に印加して試験を行う。制御部１１は、ユーザによって予め作成された試験プログラムＰ１に従って試験部１２及び試験メモリ１３等を制御することにより試験装置本体１０の動作を統括的に制御する。試験部１２は、制御部１１の制御の下で、ＤＵＴ３０の試験を行うための階調信号を生成するとともに、階調信号を印加したときにＤＵＴ３０から出力される電圧を所定のサンプリング周期でサンプリングして試験結果としてのサンプル値を得る。

試験メモリ１３は、ＤＵＴ３０の試験結果と、この試験結果に関連する関連情報とを対応させて記憶する。ここで、関連情報とは、試験結果としての電圧が出力されたＤＵＴ３０のピンを特定するピン情報、及びＤＵＴ３０から試験結果としての電圧が得られたときにＤＵＴ３０に入力された階調信号によって指定される階調を特定する階調情報の少なくとも一方を含む情報である。尚、本実施形態では、関連情報が上記のピン情報と階調情報とからなる情報である場合を例に挙げて説明する。この関連情報は、試験部１２で得られる。

試験メモリ１３には、試験プログラムＰ１によって試験結果格納用配列Ａ１と関連情報格納用配列Ａ２とが設けられている。ＤＵＴ３０の試験結果（サンプル値）は試験結果格納用配列Ａ１に格納され、試験部１２で得られる関連情報は関連情報格納用配列Ａ２に格納される。尚、試験結果格納用配列Ａ１及び関連情報格納用配列Ａ２に対する試験結果及び関連情報の格納方法は試験プログラムによって規定されるが、少なくとも対応する試験結果及び関連情報は、試験結果格納用配列Ａ１及び関連情報格納用配列Ａ２の配列番号が同一である部分に記憶されるよう規定されている。

上記の試験メモリ１３としては、例えばＤＲＡＭ（Dynamic Read Only Memory）等の内部記憶装置又はハードディスク等の外部記憶装置を用いることができる。尚、試験装置本体１０は、ＤＵＴ３０の試験結果を単に試験メモリ１３に記憶するのみならず、ＤＵＴ３０からの試験結果と予め設定された期待値とを比較してＤＵＴ３０のパス／フェイルの判定を行うことも可能である。

端末装置２０は、ユーザがアプリケーションを実行させてＤＵＴ３０の試験によって得られた試験結果を表示させることにより、ＤＵＴ３０の試験状況を確認し、或いは作成した試験プログラムに記述された試験条件が妥当であるか否かを確認するために用いるものである。また、ユーザによって所定の操作がなされた場合には、端末装置２０は表示されている試験結果とともに関連情報を表示する。更に、端末装置２０は、単に試験結果の表示を行うのみならず、試験プログラムＰ１を試験装置本体１０に転送したり、試験装置本体１０に制御信号を出力して試験装置本体１０の動作を制御するためにも用いられる。この端末装置２０は、ワークステーション又はパーソナルコンピュータにより実現することが望ましい。

図１に示す通り、端末装置２０は、試験データ取得部２１（取得部）、制御部２２、メモリ２３、操作部２４、表示制御部２５、及び表示部２６を備える。試験データ取得部２１は、試験装置本体１０の制御部１１との間で通信を行い、試験装置本体１０の試験メモリ１３に記憶されている試験結果及び関連情報を取得する。制御部２２は、端末装置２０の動作を統括的に制御する。具体的には、ユーザの指示に応じてメモリ２３に記憶された試験結果及び関連情報の読み出し制御を行い、その表示を表示制御部２５に制御させる。尚、図１においては図示を省略しているが、半導体デバイスの試験によって得られた試験結果を表示する様々なアプリケーションは制御部２２で実行されてその機能が実現される。

メモリ２３は、試験データ取得部２１が取得した試験結果及び関連情報を記憶する。図示の通り、メモリ２３には試験結果格納用配列Ａ１１と関連情報格納用配列Ａ１２とが設けられており、試験データ取得部２１が取得した試験結果は試験結果格納用配列Ａ１１に格納され、関連情報は関連情報格納用配列Ａ１２に格納される。このとき、試験結果及び関連情報は、半導体装置本体１０の試験メモリ１３に記憶されているときの対応づけが維持されるように格納される。このメモリ２３としては、例えばＤＲＡＭ等の内部記憶装置又はハードディスク等の外部記憶装置を用いることができる。

操作部２４は、ユーザによって操作され、端末装置２０が備える制御部２２に対してユーザの各種の指示を入力するためのものである。この操作部２４は、例えばキーボードやマウス等により実現される。表示制御部２５は、制御部２２の制御の下で、表示部２６の表示制御（ウィンドウの作成、ウィンドウの表示内容の更新等）を行う。尚、この表示制御部２５は、ＧＵＩ（Graphical User Interface：グラフィカル・ユーザ・インターフェイス）を実現するものであることが望ましい。表示部２４は、例えばＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、液晶表示装置等の表示装置を備えており、表示制御部２５の制御制御に応じた表示を行う。具体的には、ＤＵＴ３０の試験により得られた試験結果を表示し、所定の場合には試験結果とともに関連情報を表示する。

次に、ＤＵＴ３０の試験結果を表示する場合の動作について説明する。以下の説明では、まずＤＵＴ３０の試験時の試験装置本体１０の動作について説明し、次いで試験装置本体１０で得られた試験結果を表示する場合の動作について説明する。ＤＵＴ３０の試験が開始されると、制御部１１は試験プログラムＰ１に従った制御信号を試験部１２に出力する。これにより、試験装置本体１０の試験部１２において、試験信号としての階調信号が生成されてＤＵＴ３０に印加される。この試験信号が印加されると、ＤＵＴ３０からは階調信号で指定される階調に応じた電圧を出力する。ＤＵＴ３０から出力された電圧は、試験装置本体１０の試験部１２に入力されて所定のサンプリング周期でサンプリングされる。これにより、試験結果としてのサンプル値が得られる。

ここで、ＤＵＴ３０に印加される階調信号は試験部１２で生成されているため、試験部１２は、上記のサンプル値が得られたときの階調情報を得ることができる。また、ＤＵＴ３０から出力される電圧は試験部１２に入力されているため、試験部１２は上記のサンプル値がどのピンから出力された電圧をサンプリングして得られたものであるかを特定することができ、これによりピン情報を得ることができる。

試験部１２で得られた試験結果、及び上記の階調情報及びピン情報からなる関連情報は試験メモリ１３に出力されて、試験結果格納用配列Ａ１及び関連情報格納用配列Ａ２にそれぞれ格納される。試験部１２が階調信号を出力する度に上記の動作が繰り返されて、試験結果及び関連情報が試験メモリ１３に順次記憶されてＤＵＴ３０の試験結果が得られる。

図４は、試験装置本体１０で得られた試験結果を端末装置２０に表示させる場合に行われる端末装置２０の処理を示すフローチャートである。ユーザが操作部２４を操作して試験結果を表示させるアプリケーションを制御部２２に実行させ、試験データの取得の指示を行うことにより図４に示すフローチャートの処理が開始される。処理が開始されると、制御部２２の制御の下で、試験データ取得部２１が試験装置本体１０の制御部１１に試験データの取得要求を送信する。この要求を受信すると、制御部１１は、試験メモリ１３の試験結果格納用配列Ａ１及び関連情報格納用配列Ａ２に試験結果及び関連情報が格納されている場合には、それを読み出して端末装置２０の試験データ取得部２１に送信する。以上の処理により、試験データ取得部２１で試験データが取得される（ステップＳ１１）。

ステップＳ１１の処理が終了すると、制御部２２は試験データの有無を判断する（ステップＳ１２）。試験データが無いと制御部２２が判断した場合（判断結果が「ＮＯ」の場合）には、図２に示す処理が終了する。他方、試験データがあると判断した場合（判断結果が「ＹＥＳ」の場合）には、制御部２２は試験データ取得部２１が取得した試験データをメモリ２３に記憶させる（ステップＳ１３）。このとき、制御部２２は、試験データに含まれる試験結果及び関連情報を、半導体装置本体１０の試験メモリ１３に記憶されているときの対応づけが維持されるように、メモリ２３の試験結果格納用配列Ａ１１及び関連情報格納用配列Ａ１２にそれぞれ記憶させる。

以上の処理が終了すると、制御部２２は、ユーザから試験結果の表示指示が有ったか否かを判断する（ステップＳ１４）。この判断結果が「ＮＯ」である場合には、ステップＳ１４の処理を繰り返す。一方、ユーザが操作部２４を操作して試験結果の表示指示を行うと、ステップＳ１４の判断結果は「ＹＥＳ」となり、試験結果の表示が行われる（ステップＳ１５）。

具体的には、制御部２２がメモリ２３の試験結果記憶領域Ａ１１に記憶された試験結果を読み出して表示制御部２５に出力する。表示制御部２５は制御部２２から出力された試験結果を表示部２６に表示させる。ここで、上記の試験結果の表示指示を行うときに、ユーザが試験結果のパス／フェイルを判定するための判定値の上限値である上限判定値と下限値である下限判定値とを指定すれば、これらが試験結果とともに表示部２６に表示される。

図３は、試験結果の表示例を示す図である。尚、図３においては、ＬＣＤの駆動ドライバから出力される電圧（階調に応じて鋸波状に変化する電圧）の波形ＷＦ１と、その上限判定値及び下限判定値とを表示した例について図示している。図３に示す例において、ウィンドウＷ１には、信号波形を表示する表示領域Ｒ１、ユーザが表示領域Ｒ１の表示内容を変更するための各種の操作ボタンが設けられた操作領域Ｒ２、及び表示領域Ｒ１の表示内容を補足する情報が表示される表示領域Ｒ３が設けられている。

図３に示す通り、表示領域Ｒ１内において、紙面横方向に配列番号（ｐｏｓ）が設定されるとともに紙面縦方向に電圧が設定されており、配列番号順に試験結果としてのサンプル値が表示されることにより階段状の波形ＷＦ１が表示される。また、ユーザが上限判定値及び下限判定値を指定した場合には、これらが波形ＷＦ１とともに表示される。更に、表示領域Ｒ１には、ユーザの操作によって表示領域Ｒ１内で移動可能なカーソルＣ１，Ｃ２が表示される。

また、表示領域Ｒ１には、表示された波形ＷＦ１を紙面横方向に平行移動（スクロール）させるためのスクロールバーＳＢ１と、波形ＷＦ１を紙面縦方向にスクロールさせるためのスクロールバーＳＢ２とが設けられており、ユーザがスクロールバーＳＢ１，ＳＢ２を操作することにより、波形ＷＦ１の所望の部位を表示領域Ｒ１に表示させることができるようになっている。

操作領域Ｒ２には、各種操作ボタンが設けられているが、例えば波形ＷＦ１をＸ軸方向（紙面横方向）に手動で拡大させる操作ボタンＢ１１及び波形ＷＦ１をＸ軸方向に手動で縮小させる操作ボタンＢ１２が設けられている。また、波形ＷＦ１をＹ軸方向（紙面縦方向）に手動で拡大させる操作ボタンＢ２１及び波形ＷＦ１をＹ軸方向に手動で縮小させる操作ボタンＢ２２も設けられている。表示領域Ｒ３には、表示領域Ｒ１に表された波形ＷＦ１、上限判定値、及び下限判定値を区別するための情報が表示される。例えば、表示領域Ｒ１内において、試験結果は実線表示され、上限判定値は破線表示され、下限判定値は一点鎖線表示されている旨を示す情報、或いは、試験結果は白色表示され、上限判定値は黄色表示され、下限判定値は水色表示されている旨を示す情報等が表示される。

いま、ユーザが操作部２４を操作することにより、操作領域Ｒ２に表示された操作ボタンＢ１１，Ｂ２１、及び表示領域Ｒ１に設けられたスクロールバーＳＢ１，ＳＢ２を操作することにより、表示領域Ｒ１に波形ＷＦ１並びに上限判定値及び下限判定値を拡大表示させたとする。図４は、試験結果の拡大表示例を示す図である。図４を参照すると、試験結果の波形ＷＦ１、上限閾値ＴＨ１、及び下限閾値ＴＨ２が区別し得る状態で表示されているのが分かる。尚、拡大表示した場合には、表示領域Ｒ１の右下隅に、拡大表示である旨を示す文字「Ｚｏｏｍ」からなる表示Ｄ１がなされる。

試験結果等が表示されると、制御部２２は、ユーザによる所定のカーソル操作が有ったか否かを判断する（ステップＳ１６）。この判断結果が「ＮＯ」である場合には、ステップＳ１６の処理を繰り返す。ここで、図４に表示された波形ＷＦ１を参照すると、表示領域Ｒ１の右側部分において、波形ＷＦ１が上限判定値ＴＨ１を越えている部分があることが分かる。この原因を探るべく、ユーザが操作部２４を操作してカーソルＣ１，Ｃ２を表示領域Ｒ１内で移動させ、各々を波形ＷＦ１上の図示の位置に配置して波形ＷＦ１の一部を特定する。かかる操作がなされると、制御部２２はユーザによる所定のカーソル操作が有ったと判断してステップＳ１６の判断結果が「ＹＥＳ」となり、これにより関連情報を表示する処理が行われる（ステップＳ１７）。

この処理では、まず制御部２２が、カーソルＣ１，Ｃ２の各々が配置されている位置に表示されている試験結果（サンプル値）の配列番号を表示制御部２５から取得する。次に、取得した配列番号をもとにして、メモリ２３の関連情報記憶領域Ａ１２から、カーソルＣ１，Ｃ２の各々が配置されている位置に表示されている試験結果（サンプル値）に対応する関連情報を取得する。制御部２２がこの関連情報を表示制御部２５に出力すると、表示制御部２５は、図４に示す通り、カーソルＣ１，Ｃ２の近傍に関連情報ＩＦ１，ＩＦ２をそれぞれ表示する。

図４においては、サンプル値（電圧値）と配列番号とからなる詳細情報とともに関連情報が表示されている例を図示している。図４を参照すると、カーソルＣ１の近傍には、ピン情報「６４Ｐｉｎ」と階調情報「２５５ＧＳ」とからなる関連情報ＩＦ１が表示されており、この関連情報ＩＦ１とともにサンプル値「４．５９４５１」と配列番号「３２５１１」からなる詳細情報が表示されている。また、カーソルＣ２の近傍には、ピン情報「６４Ｐｉｎ」と階調情報「５１１ＧＳ」とからなる関連情報ＩＦ２が表示されており、この関連情報ＩＦ２とともにサンプル値「４．９０３１９」と配列番号「３２７６６」からなる詳細情報が表示されている。

以上の表示から、ユーザは、ＤＵＴ３０の第６４ピンから出力された電圧が、階調「２５５」の階調信号を与えたときに、階調「５１１」の階調信号に応じた異常電圧になったと読み取ることができる。これにより、ユーザは異常電圧が出力されたピンを容易に特定することができるとともに、どの階調の階調信号が入力されたときに異常電圧が出力されたかを容易に知ることができ、短時間で異常の原因を特定することができる。

以上、本発明の一実施形態による半導体試験装置について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、２つのカーソルＣ１，Ｃ２の各々の近傍に関連情報を表示する場合を例に挙げたが、カーソルは１つであっても、３つ以上であっても良い。また、操作部２４にマウスが設けられている場合には、表示領域Ｒ１内で移動可能なカーソルをマウスカーソルで代用させてもよい。つまり、ユーザが波形ＷＦ１上においてマウスカーソルを静止させた場合に、そのマウスカーソルの近傍に関連情報を表示させてもよい。

また、上記実施形態では、半導体試験装置１がＬＣＤの駆動ドライバを試験するものである場合を例に挙げて説明したが、メモリや論理回路を備えるＤＵＴを試験する半導体試験装置にも本発明を適用することができる。かかる半導体試験装置において表示部２６に表示させる関連情報としては、例えば前述したピン情報が挙げられる。また、このピン情報に加えてユーザが必要とする情報を適宜表示させるのが望ましい。

また、上記実施形態では、端末装置２０の制御部２２をハードウェアで実現する場合を例に挙げて説明したが、この制御部２２をソフトウェアにより実現しても良い。つまり、制御部２２を実現するプログラムをコンピュータに実行させることにより実現しても良い。このプログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されていてもよい。この記録媒体に記録されたプログラムをＣＤ−ＲＯＭドライブ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭドライブ等のドライブ装置を用いて読み取れば、コンピュータにインストールすることができる。或いは、インターネット等のネットワークにコンピュータを接続し、プログラムをネットワークからコンピュータにダウンロード可能にしても良い。コンピュータにダウンロードされたプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体から読み取る場合と同様にコンピュータにインストールすることができる。

本発明の一実施形態による半導体試験装置の構成を示すブロックである。 試験装置本体１０で得られた試験結果を端末装置２０に表示させる場合に行われる端末装置２０の処理を示すフローチャートである。 試験結果の表示例を示す図である。 試験装置本体１０で得られた試験結果を端末装置２０に表示させる場合に行われる端末装置２０の処理を示すフローチャートである。 従来の試験結果の表示例を示す図である。

符号の説明

１ 半導体試験装置
１０ 試験装置本体
１３ 試験メモリ
２０ 端末装置
２１ 試験データ取得部
２２ 表示制御部
２４ 操作部
２６ 表示部
３０ ＤＵＴ

Claims (5)

1. 階調を指定する階調信号が入力されると、当該階調に応じた電圧を出力する半導体デバイスの試験を行う試験装置本体と、当該試験装置本体によって行われた試験で得られた試験結果を表示する表示部を有する端末装置とを備える半導体試験装置において、
   前記試験装置本体は、前記半導体デバイスの試験により得られる試験結果と、当該試験結果に関連する情報であって前記半導体デバイスから試験結果としての電圧が得られたときに前記半導体デバイスに入力された前記階調信号によって指定される階調を特定する階調情報を含む関連情報とを対応させて記憶する記憶部を備え、
   前記端末装置は、ユーザにより操作される操作部と、
   前記試験装置本体の前記記憶部に記憶された前記試験結果と前記関連情報とを取得する取得部と、
   前記取得部が取得した前記試験結果を前記表示部に表示するとともに、前記操作部に対する所定の操作が前記ユーザによってされた場合に前記関連情報を前記表示部に表示する表示制御部とを備える
   ことを特徴とする半導体試験装置。
2. 前記関連情報は、前記試験結果が出力された前記半導体デバイスのピンを特定するピン情報を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
3. 前記操作部に対する所定の操作は、ユーザが前記表示部に表示された前記試験結果の一部を特定する操作であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体試験装置。
4. 前記表示制御部は、前記ユーザによる前記所定の操作によって特定された試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴とする請求項３記載の半導体試験装置。
5. 前記表示制御部は、前記ユーザによる前記所定の操作によって前記試験結果の一部が複数特定された場合には、特定された各々の試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴とする請求項４記載の半導体試験装置。

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