JP4888148B2 - 半導体試験装置 - Google Patents
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Description
「AViPSユーザーズマニュアル」,横河電機株式会社,2006年5月,第4版,p.C14.2
この発明によると、試験装置本体が半導体デバイスに対して試験を行うと、その試験結果と試験結果に関連する関連情報とが対応づけられて試験装置本体の記憶部に記憶される。この記憶部に記憶された試験結果及び関連情報は、端末装置の取得部によって取得され、表示制御部によって表示部に表示される。また、ユーザが操作部に対して所定の操作を行うと表示制御部によって関連情報が表示部に表示される。
また、本発明の半導体試験装置は、前記関連情報が、前記試験結果が出力された前記半導体デバイスのピンを特定するピン情報を含むことを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置において、前記操作部に対する所定の操作は、ユーザが前記表示部に表示された前記試験結果の一部を特定する操作であることを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記表示制御部が、前記ユーザによる前記所定の操作によって特定された試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴としている。
更に、本発明の半導体試験装置は、前記表示制御部が、前記ユーザによる前記所定の操作によって前記試験結果の一部が複数特定された場合には、特定された各々の試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴としている。
10 試験装置本体
13 試験メモリ
20 端末装置
21 試験データ取得部
22 表示制御部
24 操作部
26 表示部
30 DUT
Claims (5)
- 階調を指定する階調信号が入力されると、当該階調に応じた電圧を出力する半導体デバイスの試験を行う試験装置本体と、当該試験装置本体によって行われた試験で得られた試験結果を表示する表示部を有する端末装置とを備える半導体試験装置において、
前記試験装置本体は、前記半導体デバイスの試験により得られる試験結果と、当該試験結果に関連する情報であって前記半導体デバイスから試験結果としての電圧が得られたときに前記半導体デバイスに入力された前記階調信号によって指定される階調を特定する階調情報を含む関連情報とを対応させて記憶する記憶部を備え、
前記端末装置は、ユーザにより操作される操作部と、
前記試験装置本体の前記記憶部に記憶された前記試験結果と前記関連情報とを取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記試験結果を前記表示部に表示するとともに、前記操作部に対する所定の操作が前記ユーザによってされた場合に前記関連情報を前記表示部に表示する表示制御部とを備える
ことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記関連情報は、前記試験結果が出力された前記半導体デバイスのピンを特定するピン情報を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。
- 前記操作部に対する所定の操作は、ユーザが前記表示部に表示された前記試験結果の一部を特定する操作であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体試験装置。
- 前記表示制御部は、前記ユーザによる前記所定の操作によって特定された試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴とする請求項3記載の半導体試験装置。
- 前記表示制御部は、前記ユーザによる前記所定の操作によって前記試験結果の一部が複数特定された場合には、特定された各々の試験結果の近傍に前記関連情報を表示することを特徴とする請求項4記載の半導体試験装置。
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