JP4340889B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、被検査対象が出力する信号の波形品位によって、被検査対象を検査する検査装置に関し、詳しくは、官能検査を含む検査工程を自動化し、安定した結果をえることができる検査装置に関するものである。

デジタル通信の送受信に用いられる通信用デバイス（マルチプレクサＩＣ、デマルチプレクサＩＣ、変調器用ドライバＩＣ、超高速ロジックＩＣ等）（例えば、非特許文献１参照）の出荷検査ラインや、通信用デバイスを含む通信用測定装置（例えば、パルスパターン発生装置、ビット誤り率測定装置等）（例えば、非特許文献２参照）の出荷検査ライン等では、アイパターンと呼ばれる波形画像を基に波形品位（波形品質とも呼ばれる）を求め検査を行なっている（例えば、特許文献１参照）。特に、高速（例えば、ビットレートが１０［Ｇｂｐｓ］を越えるようなもの）通信用デバイスでは、アイパターンが波形品位の指標としてよく用いられる。

図８は、従来の検査装置の構成を示した図である。高速通信用デバイス１は、被検査対象であり、ハイレベル、ロウレベルのパルスパターン信号を出力する。電源部２は、通信用デバイス１に電力を供給すると共に制御信号（電流、電圧等）を出力する。

オシロスコープ３は、通信用デバイス１からの信号を測定してアイパターンを作成し、アイパターンから波形品位を表す特性値を求める。また、オシロスコープ３は、アイパターンや特性値を表示画面に表示する。パソコン４は、通信用デバイス１の検査結果を記録する。

このような装置の動作を説明する。
まず、検査員が電源部２を手動操作して、通信用デバイス１へ所定の電力、複数の制御信号を出力させる。ここで、制御信号は通信用デバイス１の波形品位を決めるパラメータとみなせ、例えば、振幅を制御する電圧、クロスポイントを制御する電圧、オフセットを制御する電圧、波形の上限値や下限値をクリップさせるレベルを制御する電圧等である。

そして、オシロスコープ３が、通信用デバイス１から出力される信号を測定し、アイパターンおよび特性値を表示する。特性値とは、波形品位を示すものであり、アイパターンから求められる。また、市販される通常のオシロスコープ３には、代表的な特性値を求める手段が組み込まれており、代表的な特性値としては、例えば、振幅（ハイレベルとロウレベルの差）、オフセット（０［Ｖ］のレベルと、ロウレベルとハイレベルの中間レベルとの差）、クロスポイント、Ｓ／Ｎ（signal to noise ratio）、ジッタ、立上がり時間、立下り時間等といったものがある。また、これらの特性値が、通信用デバイスの仕様となることが多い。

そして、検査員が、オシロスコープ３に表示されるアイパターン、特性値を目視で確認する。さらに、検査員が、制御信号の電圧値や電流値等のパラメータ、特性値、合否の結果等をパソコンに入力する。

また、特性値が仕様で規定される値を満たしていない場合、検査員がアイパターン、特性値を見つつ、電源部２を手動操作して、通信用デバイス１へのパラメータを変更する。

なお、通信用デバイス１は、例えば、オフセットをあげるために、オフセットを調整するためのパタメータである電圧のみを変更したとしても、クロスポイント、振幅も変化してしまう。さらには、Ｓ／Ｎ、ジッタ等のほかの特性とも密接に関連している。従って、一つの特性値を改善するだけであっても、複数のパラメータを操作する必要がある。もちろん、過大な電圧や電流を通信用デバイス１に出力することが無いように、電源部２に設けられる図示しない電圧計や電流計等の値も目視で確認しつつ、パラメータの操作を行なう。

一方、特性値が仕様にさえ収まっていればよいというわけでもなく、理想的には、例えば、振幅、クロスポイントは仕様で定められた範囲内であっても設定した値（例えば、振幅５［Ｖ］、クロスポイント５０［％］）に近い程よく、Ｓ／Ｎは値が大きいほどよく、ジッタは値が小さいほどよい。

また、仕様には記載されず、図示しない解析手段が求めない特性値（以下、特徴量という）にも考慮して、パラメータを調整し、高い波形品位となるように調整を繰り返し、検査を行う必要がある。つまり、特性値が仕様を満たしていても、特徴量が悪いと不良品としてみなすこともある。従って、検査員は、特徴量や特性値を目視で確認しつつ、制御用の複数のパラメータを手動で操作し、高い波形品位となるように調整・検査を行なう。

青木，他４名，「５０Ｇｂｐｓ光通信用ＨＢＴ−ＩＣモジュールの開発」，横河技報，横河電機株式会社，2002年，第46巻，第2号，p.3-6 堤，他５名，「超小型10Gbis/Sビット誤り率測定器の開発」，ＡＮＤＯ技報、安藤電気株式会社，2004年1月，第73号，p.18-22 特開２０００−２９５２９８号公報（段落番号０００２−０００７、第３図）

検査工程としては、オシロスコープ３に波形画像や特性値が自動的に表示され、電源部２に通信デバイス１を制御する電圧値、電流値等が自動的に表示される。しかしながら、仕様を満たすことはもちろん、より高い波形品位とするために、検査員が目視で検査しつつ、電源部２の複数のパラメータを手動で操作し、最適なパラメータの組み合わせを探さなければならない。従って、以下のような問題があった。

通信用デバイス１は、検査員が操作できる制御用のパラメータと、波形画像からえられる特性値や特徴量とが、多対多の関係であり、多入力多出力の系となる。そのため、パラメータの操作が難しく、波形画像から得られる特性値、特徴量を調整するためには、検査員の経験に基づくノウハウや勘に頼って操作しなければならず、波形品位にバラツキが生じるという問題があった。さらには、検査員の経験量の差によって、検査時間のバラツキや長時間化という問題があった。

その上、目視や個人の経験などに依存する検査（官能検査）となるので、官能検査自体でもある下記の問題もあった。
（１）個人差によるバラツキ。感覚や識別能力には、個人差によるバラツキがある。また、どの特性値、特徴量を重点的に調整するかといったバラツキもある。
（２）感情による影響。その日の気分、生活環境、健康状態、疲労等によって、五感が左右されることがあり、そのために検査の判定基準が、その都度変化してしまう。
（３）表現のばらつき。波形品位が”大変良い”と判断しても、どの点から”大変”の表現を使うかの境界も個人差がある。また、検査員によっては、針小棒大な表現をする人もいれば、その逆の人もいる。官能検査は、具体的に表現をすることが難しいだけに、表現には個人差が大きくでる。
（４）習熟度による変化。検査員は、一般的に作業に習熟してくると、無意識により高い波形品位となるように調整・検査を行なう。また、ユーザから苦情等があると、検査の基準が極端に厳しくなるなど、外部の変化により心理状態が左右されることもある。

そこで本発明の目的は、官能検査を含む検査工程を自動化し、安定した結果をえることができる検査装置を実現することにある。

請求項１記載の発明は、
被検査対象が出力する信号の波形品位によって、被検査対象を検査する検査装置において、
前記被検査対象の出力を制御する制御信号を複数出力する電源部と、
前記被検査対象が出力する信号を測定し、波形画像を作成する波形測定部と、
この波形測定部が測定した波形画像から波形品位を示す値を複数求める解析手段と、
この解析手段によって求められた値が目標値を満たすかを判断する判断手段と、
この判断手段の判断結果によって、前記電源部が出力する制御信号の設定値を変更する最適化手段と
を設け、
前記解析手段は波形品位を示すものとして、振幅、オフセット、クロスポイント、Ｓ／Ｎ、ジッタ、立上がり時間、立下がり時間、ロウレベルにおける最大幅と最小幅との比、ハイレベルにおける最大幅と最小幅の比、閉領域における面積のうち、所望の項目を求めることを特徴とするものである。

請求項２記載の発明は、
通信用デバイスとこの通信用デバイスの出力を制御する制御信号を複数出力する電源部とを備えた通信用測定装置が出力する信号の波形品位によって、通信用測定装置を検査する検査装置において、
前記通信用測定装置が出力する信号を測定し、波形画像を作成する波形測定部と、
この波形測定部が測定した波形画像から波形品位を示す値を複数求める解析手段と、
この解析手段によって求められた値が目標値を満たすかを判断する判断手段と、
この判断手段の判断結果によって、前記通信用測定装置の電源部が出力する制御信号の設定値を変更する最適化手段と
を設け、
前記解析手段は波形品位を示すものとして、振幅、オフセット、クロスポイント、Ｓ／Ｎ、ジッタ、立上がり時間、立下がり時間、ロウレベルにおける最大幅と最小幅との比、ハイレベルにおける最大幅と最小幅の比、閉領域における面積のうち、所望の項目を求めることを特徴とするものである。

請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、
前記解析手段によって求められた値、判断手段の判断結果、判断を行なった波形画像となる制御信号の設定値とを記憶する検査結果記憶部を設けたことを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
波形画像は、アイパターンであることを特徴とするものである。

本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項１〜４によれば、最適化手段が、判断手段の判断結果によって、波形品位を示す値と目標値とから制御信号の設定値を再計算し、電源部に求めた設定値で制御信号を出力させる。そして、目標値を満たすまで繰り返し、調整・検査を行なう。これにより、官能検査を含む検査工程を自動化し、安定した結果をえるとともに、検査員の工数を削減することができる。

請求項３によれば、自動検査を繰り返し、検査結果記憶部に検査結果、制御信号の設定値を保存し蓄積していくので、保存された検査結果、設定値を解析することにより、被検査対象または通信用測定装置が出力する標準波形等の定義や、検討を行なったりすることができる。さらに、被検査対象と所望のアイパターンとなる制御信号の設定値とを合わせてユーザに出荷することができる。これにより、ユーザは、制御信号の設定値を参照すれば、容易に波形品位の高い信号を出力することができる。

以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施例］
図１は、本発明の第１の実施例を示す構成図である。ここで、図８と同一のものには同一符号を付し説明を省略する。図１において、オシロスコープ３は、波形測定装置であり、波形測定部３１、演算手段３２を有し、通信用デバイス１から信号から入力され、波形画像と特性値を出力する。波形測定部３１は、通信用デバイス１が出力する信号を測定し、波形画像（例えば、アイパターン）を作成する。演算手段３２は、アイパターンから波形品位を示す値を求める。波形品位を示すものとしては、例えば、振幅、オフセット、クロスポイント、Ｓ／Ｎ、ジッタ、立上がり時間、立下がり時間等である。

パソコン４の代わりにパソコン５が設けられる。パソコン５は、抽出手段５１、判断手段５２、最適化手段５３、検査結果記憶部５４とを有し、オシロスコープ３からアイパターンの波形画像、特性値が入力される。また、電源部２から制御信号の出力値（電圧値や電流値等）が入力される。そして、パソコン５は、電源部２が出力する制御信号の設定値を変更する。

抽出手段５１は、波形測定部３１のアイパターンから波形品位を示す値である特徴量を抽出する。特徴量としては、例えば、ロウレベルにおける最大幅と最小幅との比、ハイレベルにおける最大幅と最小幅の比、所望の閉領域における面積等であり、Ｓ／Ｎやジッタ等で表されない値を定量化したものである。ここで、図２は、特徴量の一例を示した例であり、ロウレベルにおける最大幅ｘ１と最小幅ｘ２をもとめ、アイパターンの特徴量として幅の比（ｘ２／ｘ１）を求めた一例である。図２中では、ハイレベルを１レベル、ロウレベルを０レベルとしている。
なお、演算手段３２、抽出手段５１で解析手段を構成している。

判断手段５２は、アイパターンから求めた波形品位を示す値（演算手段３２の特性値、抽出手段５１の特徴量）が目標値を満たすかを判断する。また、判断手段５２は、判断結果を最適化手段５３、検査結果記憶部５４に出力する。

最適化手段５３は、判断手段５２からの判断結果によって、電源部２が出力する制御信号の設定値を変更する。検査結果記憶部５４は、判断手段５２の判断結果、最適化手段５３の求めた設定値等を記録する。

パソコン５とオシロスコープ３の接続、パソコン５と電源部２の接続は、例えば、ＧＰＩＢ(General Purpose Interface Bus)，ＵＳＢ(Universal Serial Bus)、ＲＳ２３２Ｃ、イーサネット（登録商標）等、何でもよい。

このような装置の動作を説明する。図３は、図１に示す装置の動作を説明したフローチャートである。
まず、最適化手段５３が、通信用デバイス１に出力させる波形の設定値（例えば、振幅＝５［Ｖ］、クロスポイント＝５０［％］、オフセット＝０［Ｖ］）および波形の設定値に対応する特性値、特徴量の目標値を、図示しない目標値記憶部から読み出す。目標値は、通信用デバイス１の仕様にあわせて設定するが、仕様と同程度の値にしてもよく、仕様よりも厳しくしてもよい。また、どの特性値、特徴量を重点的に調整・検査するかも予め考慮して目標値を設定するとよい（Ｓ１０）。

そして、最適化手段５３が図示しない初期値記憶部から初期値を読み出し、電源部２への制御信号の設定値（例えば、電圧値）を計算し、求めた設定値を電源部２に出力する（Ｓ１１）。

電源部２が、設定値に基づく制御信号を通信用デバイス１に出力する。そして、通信用デバイス１から出力される信号をオシロスコープの波形測定部３１が測定してアイパターンを作成し、演算手段３２とパソコン５の抽出手段５１に出力する。アイパターンの波形画像は、例えば、ビットマップ等に変換して出力するとよい。そして、演算手段３２が、アイパターンから特性値を求める（Ｓ１２）。

パソコン５の抽出手段５１が、アイパターンから画像処理を行って特徴量を抽出する（例えば、大谷，他５名，「フラットパネルディスプレイの画質検査アルゴリズム」，横河技報，横河電機株式会社，2003年，第47巻，第3号，p.23-26）（Ｓ１３）。

そして、判断手段５２が、演算手段３２の特性値と抽出手段５１の特徴量とが、目標値を満たすかを判断する。例えば、振幅、オフセット、クロスポイントは、波形の設定値に近ければ近いほどよいので、目標値はある一定の幅をもって設けられ、特性値、特徴量が目標値に入っていればよい。また、Ｓ／Ｎは、大きければ大きい程よいので、目標値よりも大きいかで判定する。さらに、ジッタは、小さければ小さい程よいので、目標値よりも小さいかで判定する。そして、目標値を満たす場合、判断手段５２が検査終了と判断し、検査結果記憶部５４に検査結果を記録する。この際、波形の設定値、波形測定部３１からのアイパターン、最適化手段５３が求めた制御信号の設定値、電源部２からの通信用デバイスへの出力値（電力値、制御信号の電圧値、電流値等）、測定日時等もまとめて記録するとよい。

ここで、検査結果の一例を図４、図５に示す。図４は、記録されるアイパターンの一例であり、図５は、検査結果の一覧表の例である。例えば、１行目に、通信デバイス１のモジュール名、２〜３行目に通信デバイス１を動作させる電圧値、４〜２０行目に波形の設定値、波形の設定値に対する制御信号の設定値、電源部２が出力する電圧値、電流値、特性値、特徴量、２１行目に合否の結果、２２行目に検査開始時刻、２３行目に検査終了時刻、２４行目に検査に要した検査時間が示されている（Ｓ１４、Ｓ１５）。

一方、特性値、特徴量のいずれか１個でも目標値を満たさない場合は検査の終了条件を満たさないので、判断手段５２が検査を続行と判断し、この判断結果、特徴量、特性値を最適化手段５３に出力し、再度、最適化手段５３に制御信号の設定値を再計算させて、電源部２の制御信号の電圧値を変更させる。そして、合格するまで、調整・検査を繰り返す（Ｓ１４、Ｓ１１〜１３）。なお、調整・検査を所定の回数繰り返しても、特性値・特徴量が目標値を満たさない場合は、判断手段５２が、通信用デバイス１を不良品として判断し、検査結果記憶部５４に不合格と記録する。

続いて、最適化手段５３の説明をする。通信用デバイス１が出力する信号を制御するパラメータと、アイパターンから得られる波形品位を示す値（特性値や特徴量）とは、多対多の関係であり、多入力多出力の系となっている。従って、このような多入力のパラメータを最適化するには、ニュートン法、Ｓｉｍｐｌｅｘ法、ニューラルネットワーク法、田口メソッド法等のアルゴリズムを用いるとよい。振幅、クロスポイント、オフセットの特性値については、目標値との乖離度最小にするようにパラメータの再計算をする。Ｓ／Ｎ、ジッタ等の特性値、特徴量については、目標値よりも大きく（または小さく）し、特性値、特徴量の絶対値が最大値（または最小値）となるようにパラメータの再計算をする。

次に、検査装置の表示例（例えば、パソコン５の表示画面）を図６に示す。例えば、検査が始まると、モジュール名が入力される。続いて、検査結果を記録する保存フォルダ、ファイル名が表示され、検査開始日時や検査の予想終了時間等の検査条件、良品率の履歴が表示され、調整・検査が実行される。ここでは、２チャネル分を続けて検査する例を示している。各チャネルで、波形の設定値を複数に変更して、それぞれの設定値に対する合否が表示される（例えば、振幅１〜４［Ｖ］のそれぞれに対して、クロスポイントを４０〜７０［％］に変化させている）。検査が終了すると、検査開始日時、検査終了日時等の検査条件、良品率などの履歴が今回の結果として表示される。

このように、最適化手段５３が、判断手段５２の判断結果によって、波形品位を示す値と目標値とから制御信号の設定値を再計算し、電源部２に求めた設定値で制御信号を出力させる。そして、目標値を満たすまで繰り返し、調整・検査を行なう。これにより、官能検査を含む検査工程を自動化し、安定した結果をえるとともに、検査員の工数を削減することができる。

また、自動検査を繰り返し、検査結果記憶部５４に検査結果、制御信号の設定値を保存し蓄積していくので、保存された検査結果、設定値を解析することにより、通信用デバイス１が出力する標準波形等の定義や、検討を行なったりすることができる。さらに、通信用デバイス１と所望のアイパターンとなる制御信号の設定値とを合わせてユーザに出荷するとよい。これにより、ユーザは、制御信号の設定値を参照すれば、容易に波形品位の高い信号を出力することができる。

［第２の実施例］
図７は、本発明の第２の実施例を示す構成図である。ここで、図１と同一のものには同一符号を付し説明を省略する。図１においては、通信用のデジタル信号を出力する通信用デバイス１を検査する構成を示したが、波形画像および特性値を求める波形測定装置を検査してもよい。

図７において、被検査対象のオシロスコープ６が設けられる。オシロスコープ６は、波形測定装置であり、オシロスコープ３と同様に、波形測定部６１、演算手段６２を有し、通信用デバイス１から信号が入力され、波形画像と特性値をパソコン５に出力する。波形測定部６１は、通信用デバイス１から入力される信号を測定し波形画像（例えば、アイパターン）を作成する。演算手段６２は、解析手段であり、波形測定部６１が測定した波形画像から波形品位を示す値を複数求める。

パソコン５の検査結果記憶部５４の代わりに設定値記憶部５５が設けられる。設定値記憶部５５は、最適化手段５３と相互に接続され、最適化手段５３が求めた制御信号の設定値を記憶する。また、判断手段５２と相互に接続され、波形品位を示す値も記憶する。なお、通信用デバイス１は、波形出力部である。また、オシロスコープ３は校正済みとする。

このような装置の動作を説明する。
まず、オシロスコープ３を用いて、図１に示す装置と同様に所望の波形の設定値に対する最適な制御信号の設定値を求める。そして、最適な制御信号の設定値およびこの設定値における特性値、特徴量を判断手段５２および最適化手段５３が、設定値記憶部５５に格納する。

続いて、オシロスープ３の代わりに、被検査対象のオシロスコープ６を接続する。そして、最適化手段５３が、設定値記憶部５５から制御信号の設定値を読み出し、電源部２に出力する。これにより、電源部２が、制御信号の設定値に基づく制御信号を通信用デバイス１に出力する。そして、通信用デバイス１が、制御信号に従って、オシロスコープ６に信号を出力する。

さらに、オシロスコープ６の波形測定部６１が信号を測定しアイパターンの波形画像を作成し、演算手段６２と抽出手段５１に出力する。また、演算手段６２が、波形画像から特性値を演算し、判断手段５２に出力する。

そして、抽出手段５１が、アイパターンの特徴量を抽出し、判断手段５２に出力する。判断手段５２が、設定値記憶部５５から、特性値、特徴量を読み出し、抽出手段５１の求めた特徴量、演算手段６２が求めた特性値とを比較し、全ての特性値、特徴量の誤差が所定の範囲に収まっているかを判断する。所定の範囲に収まっていればオシロスコープ６を合格と判断し、収まっていなければ不合格と判断する。

すなわち、オシロスコープ３とオシロスコープ６以外は全く同じ検査系で測定し、さらに同一の制御信号に基づいて通信用デバイス１が信号を出力している。従って、測定した結果が異なるのは、オシロスコープ３、６によるものとみなせる。

なお、判断手段５２による判断が合格となるように、オシロスコープ６の調整を行なってもよい。

このように、所望のアイパターンとなる制御信号の設定値に基づいて、通信用デバイス１がオシロスコープ６に信号を出力する。そして、判断手段５２が、オシロスコープ６の波形画像、特性値と、予め基準用のオシロスコープ３で求めた波形画像、特性値とで比較し、オシロスコープ６の合否を判断する。これにより、官能検査を含む検査工程を自動化し、安定した結果をえるとともに、検査員の工数を削減することができる。

なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下のようなものでもよい。
図１に示す装置において、通信用デバイス１を被検査対象として検査する構成を示したが、この通信用デバイス１と電源部２を含む通信用測定装置の検査に用いてもよい。すなわち、図１において、通信用デバイス１と電源部２が、通信用測定装置に設けられる。なお、通信用測定装置には、所望のアイパターンとなる制御信号の設定値を保存させる記憶部を設けるとよい。そして、通信用測定装置をユーザが使用する場合、ユーザの設定した波形の設定値に対応する制御信号の設定値を電源部が読み出し、読み出した制御信号の設定値に基づいて、電源部２が制御信号を出力する。

図７に示す装置において、電源部２と通信用デバイス１とを別々に設ける構成を示したが、この通信用デバイス１と電源部２を同じ筐体に設け、通信用測定装置としてもよい。

図１に示す装置において、抽出手段５１、判断手段５２、最適化手段５３、検査結果記憶部５４をパソコン５に設ける構成を示したが、オシロスコープ３に設けてもよい。

図７に示す装置において、抽出手段５１をパソコン５に設ける構成を示したが、オシロスコープ３、６に設けてもよい。

図１に示す装置において、判断手段５２が、特徴量、特性値のうち１個でも目標値を満たさないと、検査を続行または不合格と判断する構成を示したが、所望の項目が目標値を満たせば合格と判断してもよい。また、特徴量、特性値の他にも終了条件を設けてもよい。もちろん、定めた終了条件を満たしたら検査の繰り返しを終了する。

図７に示す装置において、判断手段５２が、特徴量、特性値のうち１個でも誤差が大きいと不合格と判断する構成を示したが、所望の項目の誤差が所定の範囲に収まっていれば合格と判断してもよい。また、特徴量、特性値の他にも合否の判断条件を設けてもよい。

図１に示す装置において、通信用デバイス１、通信用測定装置は、電源部２から同じ制御信号が入力されたとしても、長期間使用すると経年変化によって、波形品位が劣化することがある。この場合、経年変化した通信用デバイス１、通信用測定装置の校正を行なうために、本発明の検査装置を用いてもよい。

図７に示す装置において、オシロスコープ６は、通信用デバイス１から同じ信号が入力されたとしても、長期間使用すると経年変化によって、波形測定部６１の測定結果が異なってくることがある。この場合、経年変化したオシロスコープ６に対して、検査を行なってもよい。

図１、図７に示す装置において、抽出手段５１が特徴量を求める構成を示したが、抽出手段５１を設けなくともよい。この場合、判断手段５２が、特性値と目標値とから判断を行なうとよい。

図１、図７に示す装置において、通信用デバイス１が出力する波形信号の特性値、特徴量の目標値は、複数設定してもよい。特に広い動作範囲で動作するデバイスの場合、複数の目標値を一連の検査として行なうために、波形の特性値、特徴量を複数設定し、検査の繰り返しを行なうことが有効である。

本発明の第１の実施例を示す構成図である。 特徴量の一例を示した図である。 図１に示す装置の動作を説明したフローチャートである。 検査結果のアイパターンの一例を示した図である。 検査結果の一覧表の一例を示した図である。 図１に示す装置における表示画面の表示例を示した図である。 本発明の第２の実施例を示す構成図である。 従来の検査装置の構成を示した図である。

符号の説明

１ 通信用デバイス
２ 電源部
３、６オシロスコープ
３１、６１ 波形測定部
３２、６２ 演算手段
５１ 抽出手段
５２ 判断手段
５３ 最適化手段
５４ 検査結果記憶部
５５ 設定値記憶部

Claims (4)

1. 被検査対象が出力する信号の波形品位によって、被検査対象を検査する検査装置において、
   前記被検査対象の出力を制御する制御信号を複数出力する電源部と、
   前記被検査対象が出力する信号を測定し、波形画像を作成する波形測定部と、
   この波形測定部が測定した波形画像から波形品位を示す値を複数求める解析手段と、
   この解析手段によって求められた値が目標値を満たすかを判断する判断手段と、
   この判断手段の判断結果によって、前記電源部が出力する制御信号の設定値を変更する最適化手段と
   を設け、
   前記解析手段は波形品位を示すものとして、振幅、オフセット、クロスポイント、Ｓ／Ｎ、ジッタ、立上がり時間、立下がり時間、ロウレベルにおける最大幅と最小幅との比、ハイレベルにおける最大幅と最小幅の比、閉領域における面積のうち、所望の項目を求めることを特徴とする検査装置。
2. 通信用デバイスとこの通信用デバイスの出力を制御する制御信号を複数出力する電源部とを備えた通信用測定装置が出力する信号の波形品位によって、通信用測定装置を検査する検査装置において、
   前記通信用測定装置が出力する信号を測定し、波形画像を作成する波形測定部と、
   この波形測定部が測定した波形画像から波形品位を示す値を複数求める解析手段と、
   この解析手段によって求められた値が目標値を満たすかを判断する判断手段と、
   この判断手段の判断結果によって、前記通信用測定装置の電源部が出力する制御信号の設定値を変更する最適化手段と
   を設け、
   前記解析手段は波形品位を示すものとして、振幅、オフセット、クロスポイント、Ｓ／Ｎ、ジッタ、立上がり時間、立下がり時間、ロウレベルにおける最大幅と最小幅との比、ハイレベルにおける最大幅と最小幅の比、閉領域における面積のうち、所望の項目を求めることを特徴とする検査装置。
3. 前記解析手段によって求められた値、判断手段の判断結果、判断を行なった波形画像となる制御信号の設定値とを記憶する検査結果記憶部を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。
4. 波形画像は、アイパターンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の検査装置。