JP4876231B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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れる。SiRO膜14はUVブロック層である。そしてキャップSiO2膜15上にアモルファスカーボン膜16がCVD法により成膜される。アモルファスカーボン膜16は、O2アッシングにより除去できる膜である。アモルファスカーボン膜16の膜厚は4000オングストロームと厚くされる。
10 ビット線
13 BPSG膜
15 キャップSiO2膜
16 アモルファスカーボン膜
16a 下層アモルファスカーボン膜
16b 上層アモルファスカーボン膜
18 複合アモルファスカーボン層
22 タングステン層
32 コンタクトホール
33 コンタクトプラグ
35 スクラッチ
Claims (12)
- 絶縁膜上にアモルファスカーボン層を形成する工程と、
前記アモルファスカーボン層をパターニングし、前記アモルファスカーボン層をハードマスクとして前記絶縁膜をエッチングする工程と、
前記アモルファスカーボン層を薄膜化する工程と、
前記絶縁膜がエッチングされた領域を埋め込み前記アモルファスカーボン層上を覆って、ウェハの前面に導電層を形成する工程と、
前記導電層を前記アモルファスカーボン層が露出するまでCMPにより研磨する工程と、
露出した前記アモルファスカーボン層を除去する工程とを備え、
前記アモルファスカーボン層を薄膜化する工程は、アッシングにより行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記アモルファスカーボン層は、
前記絶縁膜上に形成される第1アモルファスカーボン膜と、
前記第1アモルファスカーボン膜上に形成される層間膜と、
前記層間膜上に形成される第2アモルファスカーボン膜とを備え、
前記アモルファスカーボン層を薄膜化する工程は、前記第2アモルファスカーボン膜を除去することで行われることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2アモルファスカーボン膜は前記絶縁膜をエッチングする工程の終了後に除去され、
前記第1アモルファスカーボン膜は前記アモルファスカーボン層を除去する工程により除去されることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1アモルファスカーボン膜および前記第2アモルファスカーボン膜はアッシングにより除去されることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記層間膜は、前記第2アモルファスカーボン膜の除去後にエッチングにより除去されることを特徴とする請求項2ないし請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1アモルファスカーボン膜は前記第2アモルファスカーボン膜よりも薄く形成されることを特徴とする請求項2ないし請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1アモルファスカーボン膜は500オングストローム以下で形成されることを特徴とする請求項2ないし請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記アモルファスカーボン層を薄膜化する工程は、前記アモルファスカーボン層を500オングストローム以下にすることを特徴とする請求項1ないし請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁膜をエッチングする工程では複数のコンタクトホールが形成され、
前記導電層はタングステンを含むことを特徴とする請求項1ないし請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜をエッチングする工程では複数のダマシン配線が形成され、
前記導電層は銅を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項9に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記アモルファスカーボン層の研磨レートは、前記導電層の研磨レートに比して低くされることを特徴とする請求項1ないし請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁膜は、UVブロック層とキャップ層と
を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項11に記載の半導体装置の製造方法。
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