JP4875349B2 - 放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 - Google Patents
放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4875349B2 JP4875349B2 JP2005338677A JP2005338677A JP4875349B2 JP 4875349 B2 JP4875349 B2 JP 4875349B2 JP 2005338677 A JP2005338677 A JP 2005338677A JP 2005338677 A JP2005338677 A JP 2005338677A JP 4875349 B2 JP4875349 B2 JP 4875349B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- radiation
- pixel
- semiconductor layer
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
12 個別電極
13 駆動配線
14 信号線
15 引出し端子部
21 センサ部
22 端子接続部
23 最終引出し端子開口部
109 層間絶縁層
110 個別電極
201 センサ絶縁層
202 センサ半導体層
204 センサ透明電極
205 センサバイアス線
206 保護膜
301 導電性樹脂接続部
302 センサ部個別電極
303 CdTe等直接変換材料
304 センサ共通電極
Claims (7)
- 基板上に配された複数の駆動配線及び複数の信号線と、
前記複数の駆動配線と前記複数の信号線の行列配置に対応して配された複数の画素要素と、
前記複数の画素要素の上に配された半導体層と、
前記半導体層の上に配された透明電極と、
前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち少なくとも一方を外部回路と接続する端子部と、を含み、
前記複数の画素要素のそれぞれは、個別電極を備えるスイッチング素子を含み、
前記半導体層及び前記透明電極は、解像度に応じた所定の数の前記画素要素のグループをそれぞれ単一画素として機能させるように、前記所定の数の画素要素にまたがって配され、
前記端子部は、前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち前記少なくとも一方と同時に前記基板上に形成された第1の引出し電極、前記第1の引出し電極の上に前記個別電極と同時に形成された第2の引出し電極、及び前記第2の引出し電極の上に前記透明電極と同時に形成された端子接続部を含み、
前記端子接続部は、前記解像度に応じた所定の数の前記第2の引出し電極ごとにまたがって配されることによって、前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち前記少なくとも一方を前記所定の数ごとに統合する、
ことを特徴とする検出装置。 - 前記端子接続部の上に開口を有する保護膜をさらに含み、
前記端子接続部は、前記開口を介して前記外部回路と接続される、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出装置。 - 前記スイッチング素子は、前記駆動配線に接続されたゲート電極、前記信号線に接続されたソース電極及びドレイン電極の一方、及び前記個別電極に接続されたソース電極及びドレイン電極の他方を備える薄膜トランジスタを含む、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の検出装置。 - 前記半導体層が光電変換を行う請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検出装置と、
前記半導体層の上に配置された、入射する放射線を前記半導体層が感知可能な波長帯域の光に変換する波長変換体と、を有する、
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 前記半導体層が放射線を直接電気信号に変換する材料によって構成された請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検出装置を有する、
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 請求項4又は5に記載の放射線検出装置と、
前記放射線検出装置からの信号を処理する信号処理手段と、
前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段と、
前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段と、
前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理手段と、
前記放射線を発生させるための放射線源と、を備える、
ことを特徴とする放射線撮像システム。 - 検出装置の製造方法であって、
前記検出装置は、基板上に配された複数の駆動配線及び複数の信号線、前記複数の駆動配線と前記複数の信号線の行列配置に対応して配された複数の画素要素、前記複数の画素要素の上に配された半導体層、前記半導体層の上に配された透明電極、並びに前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち少なくとも一方を外部回路と接続する端子部、を含み、
前記複数の画素要素のそれぞれは個別電極を備えるスイッチング素子を含み、
前記端子部は、前記基板上に配された第1の引出し電極、前記第1の引出し電極の上に配された第2の引出し電極、及び前記第2の引出し電極の上に配された端子接続部を含み、
前記基板上に前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち前記少なくとも一方、及び前記第1の引出し電極を同時に形成する第1の工程と、
前記個別電極、及び前記第2の引出し電極を同時に形成する第2の工程と、
解像度に応じた所定の数の前記画素要素のグループをそれぞれ単一画素として機能させるように前記所定の数の画素要素にまたがって前記半導体層を形成する第3の工程と、
前記所定の数の画素要素にまたがって前記透明電極を形成すると同時に、前記解像度に応じた前記所定の数の前記第2の引出し電極ごとにまたがって、前記複数の駆動配線及び前記複数の信号線のうち前記少なくとも一方を前記所定の数ごとに統合するように前記端子接続部を形成する第4の工程と、を含む、
ことを特徴とする検出装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005338677A JP4875349B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005338677A JP4875349B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007149749A JP2007149749A (ja) | 2007-06-14 |
JP2007149749A5 JP2007149749A5 (ja) | 2009-01-08 |
JP4875349B2 true JP4875349B2 (ja) | 2012-02-15 |
Family
ID=38210836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005338677A Expired - Fee Related JP4875349B2 (ja) | 2005-11-24 | 2005-11-24 | 放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4875349B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5142943B2 (ja) | 2007-11-05 | 2013-02-13 | キヤノン株式会社 | 放射線検出装置の製造方法、放射線検出装置及び放射線撮像システム |
KR20230004217A (ko) * | 2021-06-30 | 2023-01-06 | (주)에이투테크 | 엑스선을 이용한 컬러 영상 획득 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0595514A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-04-16 | Olympus Optical Co Ltd | 固体撮像装置及びその製造方法 |
JPH05145859A (ja) * | 1991-11-25 | 1993-06-11 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置およびその制御方法 |
JP2001320039A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Canon Inc | 光電変換装置 |
JP4054612B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2008-02-27 | キヤノン株式会社 | 放射線撮像装置 |
-
2005
- 2005-11-24 JP JP2005338677A patent/JP4875349B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007149749A (ja) | 2007-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5043373B2 (ja) | 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム | |
US8067743B2 (en) | Imaging apparatus and radiation imaging apparatus | |
JP5043380B2 (ja) | 放射線検出装置および放射線検出システム | |
JP5043374B2 (ja) | 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム | |
EP2168370B1 (en) | Radiation detecting apparatus and radiation imaging system | |
JP4845352B2 (ja) | 放射線撮像装置、その製造方法及び放射線撮像システム | |
JP5159065B2 (ja) | 放射線検出装置、放射線撮像装置および放射線撮像システム | |
JP5235350B2 (ja) | 撮像装置及び放射線撮像システム | |
JP4498283B2 (ja) | 撮像装置、放射線撮像装置及びこれらの製造方法 | |
JP4100739B2 (ja) | 光電変換装置 | |
US7547890B2 (en) | Image pick-up apparatus and manufacturing method thereof, radiation image pick-up apparatus, and radiation image pick-up system | |
JP4908947B2 (ja) | 変換装置、放射線検出装置、及び放射線検出システム | |
JP5328169B2 (ja) | 撮像装置及び放射線撮像システム | |
US7026625B2 (en) | Radiation detection apparatus and system | |
JP4908935B2 (ja) | 光電変換装置及び撮像システム | |
JP2012079860A (ja) | 検出装置及び放射線検出システム | |
JP2004296654A (ja) | 放射線撮像装置 | |
JP4875349B2 (ja) | 放射線検出装置、放射線撮像システム、および検出装置 | |
US20070228423A1 (en) | Imaging apparatus and radiation imaging system | |
CN100539171C (zh) | 转换设备、放射检测设备和放射检测系统 | |
JP4393085B2 (ja) | 放射線検出装置 | |
JP2004303925A (ja) | 撮像用基板 | |
JP2005136330A (ja) | 撮像装置及び放射線撮像システム | |
JP2007103577A (ja) | 電磁波検出装置及び放射線撮像システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081114 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081114 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090326 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110701 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110829 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111121 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111125 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141202 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4875349 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141202 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |