JP4873379B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
12〜15 内部電極
101 PETシート
102 枠層
103 セラミックグリーンシート
103´ セラミックスラリー
102a 貫通孔
102b 一端側開口
102c 他端側開口
102A 基材対向面
102B 反基材対向面
110 シート体
140 シート積層体
Claims (4)
- 可燃性材料からなり複数の貫通孔が形成された枠層を基材上に該貫通孔の貫通方向が該基材の上面に対して交差する方向となるように設けて、該枠層の該基材の上面に対向する基材対向面において開口する該貫通孔の一端側開口を該基材の上面により閉塞する工程と、該複数の貫通孔の他端側開口から該複数の貫通孔内にセラミックスラリーを注入し該複数の貫通孔内の全空間をセラミックスラリーで埋めるセラミックスラリー供給工程と、該複数の貫通孔内の該セラミックスラリーを乾燥させて半硬化状態としたセラミックグリーンシートを形成するセラミックグリーンシート形成工程と、該複数の貫通孔の他端側開口において該セラミックグリーンシート上に内部電極を形成する内部電極形成工程とを有し、該枠層と該セラミックグリーンシートと該内部電極とを有するシート体を製造するシート体製造工程と、
該シート体製造工程を複数回行うことにより製造された複数の該シート体を、該枠層の該基材対向面に略垂直の方向へ各該シート体の該貫通孔が互いに一致する位置関係となるように且つ該セラミックグリーンシートと該内部電極とが交互に積層されるように該シート体を積層すると共に、該シート体から該基材を除去してシート積層体を製造する積層工程と、
該シート積層体を焼成することにより該枠層を燃焼させるとともに該セラミックグリーンシートと該内部電極とが交互に積層されたシート積層体を硬化させる焼成工程とを有し、
該内部電極形成工程では、該貫通孔の他端側開口と該枠層の反該基材対向面とを跨ぐようにして、且つ一の該貫通孔と該一の貫通孔に隣接する他の該貫通孔との間の該反基材対向面上の所定の位置に至るまで該一の貫通孔から該他の貫通孔へ向かって延出して該内部電極を形成する電極延出形成工程を行うことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 複数の小片セラミックグリーンシートを基材の上面上で互いに離間させた位置関係で形成する小片セラミックグリーンシート形成工程と、該基材の上面上で該小片セラミックグリーンシート間に可燃性材料からなるスラリーを充填し硬化させることにより、複数の貫通孔が形成され該小片セラミックグリーンシートが該複数の貫通孔内の全空間に充填された状態の可燃性材料からなる枠層を該基材上に該貫通孔の貫通方向が該基材の上面に対して交差する方向となるように設けて、該枠層の該基材の上面に対向する基材対向面において開口する該複数の貫通孔の一端側開口が該基材の上面により閉塞された状態とする工程と、該複数の貫通孔の他端側開口において該セラミックグリーンシート上に内部電極を形成する内部電極形成工程とを有し、該枠層と該セラミックグリーンシートと該内部電極とを有するシート体を製造するシート体製造工程と、
該シート体製造工程を複数回行うことにより製造された複数の該シート体を、該枠層の該基材対向面に略垂直の方向へ各該シート体の該貫通孔が互いに一致する位置関係となるように且つ該セラミックグリーンシートと該内部電極とが交互に積層されるように該シート体を積層すると共に、該シート体から該基材を除去してシート積層体を製造する積層工程と、
該シート積層体を焼成することにより該枠層を燃焼させるとともに該セラミックグリーンシートと該内部電極とが交互に積層されたシート積層体を硬化させる焼成工程とを有し、
該内部電極形成工程では、該貫通孔の他端側開口と該枠層の反該基材対向面とを跨ぐようにして、且つ一の該貫通孔と該一の貫通孔に隣接する他の該貫通孔との間の該反基材対向面上の所定の位置に至るまで該一の貫通孔から該他の貫通孔へ向かって延出して該内部電極を形成する電極延出形成工程を行うことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。 - 該電極延出形成工程では、該積層工程により製造される該シート積層体中で該内部電極の延出端縁が該シート体の積層方向において互いに重ならないように該所定の位置を決定することを特徴とする請求項1又は請求項2記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 該電極延出形成工程では、該所定の位置を該一の貫通孔と該他の貫通孔との間の中央位置よりも該一の貫通孔寄りの位置とすることを特徴とする請求項3記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
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