JP5665371B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 238000009415 formwork Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 42
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 8
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 7
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002555 FeNi Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
2 第1の犠牲層
3 レジストパターン
4 第2の犠牲層
5 型枠
5a 空間
6 ベース
7 電子部品構造
8 電子部品
9 犠牲層
10 金属モールド
10a 凸部
Claims (6)
- 製造すべき電子部品の外形と同じ形状および同じ大きさの空間を複数備えた型枠を形成する工程と、
前記型枠を形成する工程の後に、前記型枠の前記空間内にそれぞれ電子部品を形成する工程と、
前記型枠を除去することによって複数の電子部品を得る工程と、
を含み、
前記型枠を形成する工程では、前記型枠を構成する、前記基板の表面を覆う層状部分と、該層状部分の上に位置して前記空間を囲む枠状部分とを、同一の材料によって形成し、
前記電子部品を形成する工程は、前記空間内に絶縁性のベースを形成する工程と、前記ベース上に電気部品構造を形成する工程と、を含み、
前記複数の電子部品を得る工程では、前記層状部分と前記枠状部分とを同時に除去する
電子部品の製造方法。 - 前記型枠を形成する工程は、型枠基板上に、前記層状部分である金属製の第1の犠牲層を形成する工程と、前記第1の犠牲層上にレジストパターンを形成する工程と、前記第1の犠牲層上の前記レジストパターンが存在しない部分に、前記枠状部分である金属製の第2の犠牲層を形成する工程と、前記レジストパターンを除去する工程と、を含み、
前記複数の電子部品を得る工程は、前記型枠を構成する前記第1の犠牲層および前記第2の犠牲層を溶解させる工程を含む
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記型枠を形成する工程は、型枠基板上に、前記層状部分である樹脂製の第1の犠牲層を形成する工程と、前記第1の犠牲層上に、前記枠状部分である樹脂製の第2の犠牲層を形成する工程とを含み、
前記複数の電子部品を得る工程は、前記型枠を構成する前記第1の犠牲層および前記第2の犠牲層を溶解させる工程を含む
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記型枠基板は、前記第1の犠牲層と前記第2の犠牲層を溶解させる溶剤に対する耐性を有する材料からなる、請求項2または3に記載の電子部品の製造方法。
- 前記型枠を形成する工程は、型枠基板上に樹脂製の犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層を加工して前記空間を形成する工程とを含み、
前記複数の電子部品を得る工程は、前記型枠を構成する前記犠牲層を溶解させる工程を含む
請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記型枠基板は、前記犠牲層を溶解させる溶剤に対する耐性を有する材料からなる、請求項5に記載の電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010124611A JP5665371B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010124611A JP5665371B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011253838A JP2011253838A (ja) | 2011-12-15 |
JP5665371B2 true JP5665371B2 (ja) | 2015-02-04 |
Family
ID=45417570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010124611A Active JP5665371B2 (ja) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | 電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5665371B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4548110B2 (ja) * | 2004-12-13 | 2010-09-22 | パナソニック株式会社 | チップ部品の製造方法 |
JP2008227228A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ部品の製造方法 |
JP4873379B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-02-08 | Tdk株式会社 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
-
2010
- 2010-05-31 JP JP2010124611A patent/JP5665371B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011253838A (ja) | 2011-12-15 |
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