JP4867326B2 - Plasma display panel - Google Patents

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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Description

本発明は、表示品位が高く、かつ表示電力が小さく、放電異常の少ないプラズマディスプレイパネルに関するものである。   The present invention relates to a plasma display panel having high display quality, low display power, and less discharge abnormality.

薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイが注目されている。プラズマディスプレイは、図5に模式図を示すように、例えば、表示面となる前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサステイン電極とスキャン電極が、銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で、表示領域の短辺の方向を行方向、長辺の方向を列方向としたときに、列方向を長手方向とするストライプ状に形成されている。対をなすサステイン電極とスキャン電極の中心位置が行方向のセルの中心線に相当し、隣り合うセルの中心線の中間位置が行方向のセルの境界線に相当する。行方向に隣り合うセルとセルの境界線上には、画像表示時のコントラストを維持するために、図5に示すようにブラックストライプパターンが形成されていることが一般的である。   Plasma displays are attracting attention as displays that can be used in thin and large televisions. As shown in the schematic diagram of FIG. 5, for example, the glass substrate on the front plate side serving as the display surface has a plurality of pairs of sustain electrodes and scan electrodes made of silver, chromium, aluminum, nickel, or the like. The material is formed in stripes with the column direction being the longitudinal direction when the short side direction of the display region is the row direction and the long side direction is the column direction. The center position of the pair of sustain electrode and scan electrode corresponds to the center line of the cell in the row direction, and the middle position between the center lines of adjacent cells corresponds to the boundary line of the cell in the row direction. In order to maintain the contrast at the time of image display, a black stripe pattern is generally formed on the boundary line between cells adjacent in the row direction as shown in FIG.

さらにサステイン電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が20〜50μm厚みで形成され、誘電体層を被覆してMgOからなる保護層が形成されている。   Further, a dielectric layer mainly composed of glass is formed by covering the sustain electrode with a thickness of 20 to 50 μm, and a protective layer made of MgO is formed by covering the dielectric layer.

一方、背面板側のガラス基板には、複数のアドレス電極が、行方向を長手方向とするストライプ状に形成され、アドレス電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されている。前記誘電体層上に放電セルを仕切るための隔壁が形成され、隔壁と誘電体層で形成された放電空間内に蛍光体層が形成されてなる。フルカラー表示が可能なプラズマディスプレイにおいては、蛍光体層は、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色に発光するものにより構成される。列方向に隣り合う隔壁の中心線を列方向のセルの境界線とすると、R、G、Bに対応するセルがひとまとめで1画素となる。前面板側のガラス基板のサステイン電極と背面板側のアドレス電極が互いに直交するように、前面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されプラズマディスプレイが形成される。プラズマディスプレイは複数の画素を有し、画像の表示が可能になる。   On the other hand, on the glass substrate on the back plate side, a plurality of address electrodes are formed in a stripe shape whose longitudinal direction is the row direction, and a dielectric layer mainly composed of glass is formed covering the address electrodes. . A partition for partitioning the discharge cells is formed on the dielectric layer, and a phosphor layer is formed in a discharge space formed by the partition and the dielectric layer. In a plasma display capable of full color display, the phosphor layer is configured to emit light in each color of red (R), green (G), and blue (B). Assuming that the center line of the partition walls adjacent in the column direction is the cell boundary line in the column direction, the cells corresponding to R, G, and B are collectively one pixel. The front plate and the back plate are sealed so that the sustain electrode of the glass substrate on the front plate side and the address electrode on the back plate side are orthogonal to each other, and helium, neon, xenon, etc. are formed in the gap between the substrates. A rare gas is enclosed to form a plasma display. The plasma display has a plurality of pixels and can display an image.

プラズマディスプレイにおいて表示を行う際、選択されたセルにおいて、発光していない状態からサステイン電極とアドレス電極との間に放電開始電圧以上の電圧を印加すると電離によって生じた陽イオンや電子は、画素セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の電極へと向けて移動してMgO層の内壁に帯電し、内壁の電荷はMgO層の抵抗が高いために減衰せずに壁電荷として残留する。   When performing display on the plasma display, if a voltage higher than the discharge start voltage is applied between the sustain electrode and the address electrode from a state where no light is emitted in the selected cell, positive ions and electrons generated by ionization are stored in the pixel cell. Is a capacitive load and moves toward the opposite polarity electrode in the discharge space and charges the inner wall of the MgO layer. The inner wall charge is not attenuated due to the high resistance of the MgO layer, and becomes a wall charge. Remains.

次に、スキャン電極とサステイン電極の間に放電維持電圧を印加する。壁電荷のあるところでは、放電開始電圧より低い電圧でも放電することができる。放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、波長147nmの紫外線が発生し、紫外線が蛍光体を励起することにより、発光表示が可能になる。   Next, a sustaining voltage is applied between the scan electrode and the sustain electrode. Where there is a wall charge, it can be discharged even at a voltage lower than the discharge start voltage. The xenon gas in the discharge space is excited by the discharge, and ultraviolet light having a wavelength of 147 nm is generated, and the ultraviolet light excites the phosphor, thereby enabling light emission display.

このようなプラズマディスプレイにおいては、基板上に形成するアドレス電極パターンは、通常、均一な太さの帯状電極であるが、近年、放電効率を向上させるために帯状電極の一部を太帯状にした電極パターンが提案されている(例えば、特許文献1、2参照)。アドレス電極に太帯状パターンを形成すると、アドレス電極の総面積が大きくなるために無効電力が大きくなり、消費電力が増大してしまうことから、不灯などの放電異常が発生しやすい部分のみに大きな太帯状パターンを形成し、それ以外の部分は、太帯状パターンを形成しないか、もしくはパターンの大きさを出来るだけ小さくするなどの工夫がなされている。しかし、この方法だと、太帯状パターンの大きさが変わる部分で、パネルの発光輝度が急激に変化し表示品位を落としたり、アドレス電極を形成する製造工程で、アドレス電極の欠陥検査を行った場合、パターンの大きさが変わる部分を欠陥として誤検出してしまうという問題があった。
特開2001−126629号公報 特開2005−85754号公報
In such a plasma display, the address electrode pattern formed on the substrate is usually a strip-shaped electrode having a uniform thickness. However, in recent years, a part of the strip-shaped electrode has been stripped to improve discharge efficiency. Electrode patterns have been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2). When a thick strip pattern is formed on the address electrode, the total area of the address electrode increases, which increases reactive power and power consumption. Therefore, it is large only in areas where discharge abnormalities such as non-lighting are likely to occur. A contrivance is made such that a thick strip pattern is formed and the other portions are not formed with a thick strip pattern or the size of the pattern is made as small as possible. However, with this method, at the part where the size of the thick band pattern changes, the light emission luminance of the panel suddenly changes and the display quality deteriorates, or the address electrode is inspected in the manufacturing process of forming the address electrode. In this case, there is a problem that a portion where the pattern size changes is erroneously detected as a defect.
JP 2001-126629 A JP 2005-85754 A

本発明が解決しようとする課題は、プラズマディスプレイの輝度が位置によって急激に変化するためにディスプレイの表示品位が悪くなったり、部材の製造工程で検査の際、誤検出が多発し生産効率を落としたりすることもなく、表示電力が小さく、放電異常の少ないプラズマディスプレイパネルを提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is that the display quality of the display deteriorates because the brightness of the plasma display changes abruptly depending on the position, or erroneous detection frequently occurs during inspection in the manufacturing process of the member, thereby reducing the production efficiency. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a plasma display panel with low display power and less discharge abnormality.

すなわち、本発明は、基板上に複数のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、および該誘電体層上に少なくとも前記アドレス電極間に存在し、放電空間を少なくとも単位ごとに区画する複数の隔壁とを有する背面板と、基板上に前記アドレス電極とは実質的に直交する方向に設けられた複数のサステイン電極とスキャン電極の対、該サステイン電極とスキャン電極の対を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に存在する保護層を有する前面板、を有するプラズマディスプレイパネルであって、各セル内におけるアドレス電極の幅の最大値をセル内最大電極幅としたときに、それぞれのアドレス電極においては異なる2種類以上のセル内最大電極幅が存在し、行方向に隣接するセルにおけるセル内最大電極幅の差が、表示領域内で全て10μm以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルを要旨とするものである。   That is, the present invention includes a plurality of address electrodes on a substrate, a dielectric layer covering the address electrodes, and a plurality of address electrodes on the dielectric layer between at least the address electrodes and partitioning a discharge space at least for each unit. A back plate having a partition wall, a plurality of sustain electrode and scan electrode pairs provided on the substrate in a direction substantially orthogonal to the address electrodes, and a dielectric layer covering the sustain electrode and scan electrode pairs; And a front panel having a protective layer on the dielectric layer, each address when the maximum value of the width of the address electrode in each cell is the maximum electrode width in the cell. There are two or more different types of maximum electrode width in a cell, and the difference between the maximum electrode widths in cells adjacent to each other in the row direction is all within the display area. It is an essence a plasma display panel, characterized in that 0μm or less.

本発明によれば、プラズマディスプレイの輝度が位置によって急激に変化し、ディスプレイの表示品位を落としたり、部材の製造工程で検査の際誤検出が多発し、生産効率を落としたりすることもなく、表示電力が少なく異常放電の少ないプラズマディスプレイを得ることが出来るプラズマディスプレイパネルを提供することができる。   According to the present invention, the brightness of the plasma display changes suddenly depending on the position, the display quality of the display is lowered, and there are many false detections during inspection in the manufacturing process of the member, without reducing the production efficiency, It is possible to provide a plasma display panel that can obtain a plasma display with low display power and low abnormal discharge.

以下、本発明のプラズマディスプレイパネルの構成と、本発明のプラズマディスプレイパネルに用いられる背面板の構成および製造方法について説明する。   Hereinafter, the configuration of the plasma display panel of the present invention, the configuration of the back plate used in the plasma display panel of the present invention, and the manufacturing method will be described.

本発明において、セルとは、背面板が後述の補助隔壁を有する場合は隔壁と補助隔壁の中心線で囲まれた領域を言う。   In the present invention, the cell refers to a region surrounded by a partition line and a center line of the auxiliary partition when the back plate has an auxiliary partition described later.

また、背面板が後述の補助隔壁を有しない場合は、対をなすサステイン電極とスキャン電極の中心位置セルの中心線に相当し、隣り合うセルの中心線の中間位置がアドレス電極の長手方向のセルの境界線に相当し、隔壁の中心線がアドレス電極の長手方向に直交する方向のセルの境界線に相当し、これら境界線で囲まれた領域を指す。   Further, when the back plate does not have an auxiliary partition described later, it corresponds to the center line of the center cell of the sustain electrode and the scan electrode that make a pair, and the intermediate position of the center line of the adjacent cell is in the longitudinal direction of the address electrode. This corresponds to a cell boundary line, and the center line of the partition corresponds to a cell boundary line in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the address electrode, and indicates a region surrounded by these boundary lines.

前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサステイン電極とスキャン電極が、銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で、表示領域の短辺の方向を行方向、長辺の方向を列方向としたときに、列方向を長手方向とするストライプ状に形成されている。図1に模式図を示すように対をなすサステイン電極とスキャン電極の中心位置を行方向のセルの中心線とし、隣り合うセルの中心線の中間位置を行方向のセルの境界線とすると、行方向に隣り合うセルとセルの境界線上には、画像表示時のコントラストを維持するためにブラックストライプパターンが形成されていてもよい。   On the glass substrate on the front plate side, a plurality of pairs of sustain electrodes and scan electrodes are made of a material such as silver, chromium, aluminum, or nickel. The short side direction of the display area is the row direction, and the long side direction is the column. It is formed in a stripe shape whose longitudinal direction is the column direction when the direction is set. As shown in the schematic diagram of FIG. 1, if the center position of the sustain electrode and the scan electrode that make a pair is the center line of the cell in the row direction, and the middle position of the center line of the adjacent cells is the boundary line of the cell in the row direction, A black stripe pattern may be formed on the boundary line between cells adjacent to each other in the row direction in order to maintain contrast during image display.

さらにサステイン電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が20〜50μm厚みで形成され、誘電体層を被覆してMgO層が形成されている。一方、背面板側のガラス基板には、複数のアドレス電極が、行方向を長手方向とする直線状に形成され、アドレス電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されている。前記誘電体層上にセルを仕切るための隔壁が形成され、隔壁と誘電体層で形成された放電空間内に蛍光体層が形成されてなる。フルカラー表示が可能なプラズマディスプレイにおいては、蛍光体層は、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色に発光するものにより構成される。図1に模式図を示すように列方向に隣り合う隔壁の中心線を列方向のセルの境界線とすると、R、G、Bに対応する3セルがひとまとめで1画素となる。   Further, a dielectric layer mainly composed of glass is formed with a thickness of 20 to 50 μm by covering the sustain electrode, and an MgO layer is formed by covering the dielectric layer. On the other hand, on the glass substrate on the back plate side, a plurality of address electrodes are formed linearly with the row direction as the longitudinal direction, and a dielectric layer mainly composed of glass is formed covering the address electrodes. . A partition wall for partitioning cells is formed on the dielectric layer, and a phosphor layer is formed in a discharge space formed by the partition wall and the dielectric layer. In a plasma display capable of full color display, the phosphor layer is configured to emit light in each color of red (R), green (G), and blue (B). As shown in the schematic diagram of FIG. 1, if the center line of the partition walls adjacent in the column direction is the boundary line of the cells in the column direction, three cells corresponding to R, G, and B are collectively one pixel.

次に、本発明のプラズマディスプレイパネルに用いられる背面板の構成および製造方法について説明する。本発明のプラズマディスプレイパネルに使用するプラズマディスプレイ用背面板の基板としては、ソーダガラスなどを用いることができ、具体的にはプラズマディスプレイ用の耐熱ガラスである旭硝子(株)製のPD200や日本電気硝子(株)製のPP8などが挙げられる。   Next, the configuration and manufacturing method of the back plate used in the plasma display panel of the present invention will be described. As the substrate of the back plate for plasma display used in the plasma display panel of the present invention, soda glass or the like can be used. Specifically, PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., which is heat resistant glass for plasma display, or NEC Examples thereof include PP8 manufactured by Glass Co., Ltd.

基板上には、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷し、400〜600℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する方法や、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後にレジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより不要な部分の金属を取り除くエッチング法などがある。なかでも、金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光後、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに400〜600℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法が、製造工程が簡便であるために歩留まりよくアドレス電極を形成できることから好ましい。   On the substrate, an address electrode is formed of a metal such as silver, aluminum, chromium, or nickel. As a forming method, a metal paste mainly composed of these metal powders and an organic binder is subjected to pattern printing by screen printing, and heated and baked at 400 to 600 ° C. to form a metal pattern, or on a glass substrate. There is an etching method in which a metal such as chrome or aluminum is sputtered, a resist is applied, the resist is subjected to pattern exposure / development, and unnecessary portions of the metal are removed by etching. In particular, after applying a photosensitive metal paste containing a metal powder and a photosensitive organic component, after pattern exposure using a photomask, unnecessary portions are dissolved and removed in a development step, and further heated and baked at 400 to 600 ° C. The photosensitive paste method for forming the metal pattern is preferable because the address electrode can be formed with a high yield because the manufacturing process is simple.

アドレス電極はセルに応じたピッチで形成される。通常のプラズマディスプレイでは100〜500μm、高精細プラズマディスプレイにおいては100〜400μmのピッチで形成するのが好ましい。   The address electrodes are formed at a pitch corresponding to the cell. It is preferable to form at a pitch of 100 to 500 μm for a normal plasma display and 100 to 400 μm for a high definition plasma display.

電極厚みは1〜10μmが好ましく、1.5〜8μmがより好ましい。電極厚みが薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、厚すぎると材料が多く必要とされ、コスト的に不利な傾向にある。   The electrode thickness is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 1.5 to 8 μm. If the electrode thickness is too thin, the resistance value tends to be large and accurate driving tends to be difficult, and if it is too thick, a large amount of material is required, which tends to be disadvantageous in terms of cost.

本発明のプラズマディスプレイパネルにおいては、図2に示すように、各セル内におけるアドレス電極幅の最大値をセル内最大電極幅と定義すると、表示領域内でセル内最大電極幅最大値は好ましくは50〜200μm、より好ましくは80〜180μmであることが好ましい。アドレス電極幅の最大値セル内最大電極幅が細すぎるとセル内に電荷を蓄積する効果が小さくなり、正常な放電が困難となる傾向にあり、太すぎると無効電力が大きくなり、消費電力が増大してしまう傾向にある。また、本発明のプラズマディスプレイパネルにおいては、表示領域内で各アドレス電極が行方向に異なる2以上のセル内最大電極幅を有する必要がある。ここで、異なる2以上のセル内電極幅を有するとは、各アドレス電極の表示領域内のセル内最大電極幅の最大値と最小値との差が10μm以上であることを指す。不灯などの放電異常が発生しやすい部分でのみセル内最大電極幅を太くし、その他の部分で細く形成することで放電異常抑制と消費電力の増大抑制を両立させることが出来る。各アドレス電極のセル内最大電極幅の最大値と最小値との差が10μmより小さい場合、不灯などの放電異常が発生するという問題が発生するか、異常放電を抑制するためにアドレス電極幅を太くすると、消費電力が増大してしまうという問題が生じる。   In the plasma display panel of the present invention, as shown in FIG. 2, when the maximum value of the address electrode width in each cell is defined as the maximum electrode width in the cell, the maximum value of the maximum electrode width in the cell in the display region is preferably It is preferable that it is 50-200 micrometers, More preferably, it is 80-180 micrometers. Maximum address electrode width If the maximum electrode width in the cell is too thin, the effect of accumulating charges in the cell will be small, and normal discharge will tend to be difficult.If it is too thick, reactive power will increase and power consumption will increase. It tends to increase. In the plasma display panel of the present invention, each address electrode in the display area needs to have two or more maximum cell electrode widths different in the row direction. Here, having two or more different in-cell electrode widths means that the difference between the maximum value and the minimum value of the maximum electrode width in the cell in the display area of each address electrode is 10 μm or more. By increasing the maximum electrode width in the cell only at a portion where discharge abnormality such as non-lighting is likely to occur and by forming it thin at other portions, it is possible to achieve both discharge abnormality suppression and power consumption increase suppression. When the difference between the maximum value and the minimum value of the maximum electrode width in the cell of each address electrode is smaller than 10 μm, a problem that discharge abnormality such as non-lighting occurs or the address electrode width is required to suppress abnormal discharge. If the thickness is increased, there arises a problem that power consumption increases.

表示領域内で全ての行方向に隣接するセルにおけるセル内最大電極幅の差が10μm以下であることが必要であり、より好ましくは7μm以下である。行方向に隣接するセルにおけるセル内最大電極幅の差が10μmを越えると、セル内最大電極幅が変化する場所でパネルの発光輝度が急激に変化し、表示品位が低くなってしまうという問題を生じる。   The difference between the cell maximum electrode widths in the cells adjacent to each other in the row direction in the display region needs to be 10 μm or less, and more preferably 7 μm or less. If the difference in the maximum electrode width in the cell between adjacent cells in the row direction exceeds 10 μm, the light emission luminance of the panel changes suddenly at the place where the maximum electrode width in the cell changes, and the display quality is lowered. Arise.

また、全てのアドレス電極において、行方向に連続する10セルのセル内最大電極幅の最大値と最小値の差が50μm以下であることが好ましい。行方向に連続する10セルのセル内最大電極幅の最大値と最小値の差が大きすぎると、アドレス電極幅の最大値が変化する場所でパネルの発光輝度が急激に変化し、表示品位が低くなってしまったり、アドレス電極を形成する製造工程で欠陥検査を行った場合、欠陥として誤検出してしまい、生産効率を落としてしまう傾向がある。なお、ある行方向に隣接するセルにおけるセル内最大電極幅の差が0μmである部分があってもよいし、行方向に連続するある10セルのセル内最大電極幅の最大値と最小値の差が0μmとなる部分があってもよい。   Further, in all the address electrodes, it is preferable that the difference between the maximum value and the minimum value of the maximum cell electrode width of 10 cells continuous in the row direction is 50 μm or less. If the difference between the maximum and minimum maximum electrode widths in 10 cells in the row direction is too large, the light emission brightness of the panel changes rapidly at the place where the maximum value of the address electrode width changes, and the display quality is reduced. If the defect inspection is performed in the manufacturing process in which the address electrode is formed, the defect is erroneously detected as a defect, and the production efficiency tends to be lowered. There may be a portion in which the difference between the cell maximum electrode widths in cells adjacent in a row direction is 0 μm, or the maximum value and the minimum value of the cell maximum electrode widths in a certain 10 cells continuous in the row direction. There may be a portion where the difference is 0 μm.

列方向中央部のアドレス電極の表示領域内の行方向のいずれかの端部におけるセル内最大電極幅は、該アドレス電極の行方向中央部のセルにおけるセル内最大電極幅よりも大きいことが好ましい。つまり、表示領域の行方向端部付近で不灯などの放電異常が発生しやすいために、この部分でアドレス電極を太く形成し、放電異常の発生しにくい表示領域中央部では消費電力の増大を抑制するために細く形成することが好ましい。   It is preferable that the maximum in-cell electrode width at any end in the row direction in the display region of the address electrode in the center in the column direction is larger than the maximum in-cell electrode width in the cell in the center in the row direction of the address electrode. . In other words, discharge abnormalities such as non-lighting are likely to occur near the edge of the display area in the row direction.Thus, the address electrode is formed thick in this area, and the power consumption is increased in the center of the display area where discharge abnormalities are unlikely to occur. In order to suppress, it is preferable to form thinly.

表示領域内でセル内最大電極幅の最大値と最小値との差は11〜150μmであることが好ましく、より好ましくは11〜100μmである。差が小さすぎると放電異常抑制効果が十分でなく、差が大きすぎると消費電力が増大してしまう傾向がある。   In the display area, the difference between the maximum value and the minimum value of the maximum electrode width in the cell is preferably 11 to 150 μm, more preferably 11 to 100 μm. If the difference is too small, the effect of suppressing discharge abnormality is not sufficient, and if the difference is too large, power consumption tends to increase.

アドレス電極は表示領域内のセルで、細帯状電極の一部を太帯状に形成した形状であ留ことが好ましい。一部を太帯状に形成することで不灯などの放電異常を抑制することができ、また細帯状の部分を残すことで無駄に無効電力を上げ、消費電力を増大させてしまうことを抑制することができる。   The address electrode is a cell in the display region, and it is preferable that a part of the thin strip electrode is formed in a thick strip shape. Discharge abnormalities such as non-lighting can be suppressed by forming a part in a thick band, and the reactive power is increased unnecessarily and the power consumption is increased by leaving a thin band part. be able to.

セル内でアドレス電極幅の最小値をセル内最小電極幅とすると、表示領域内で、同一セル内のセル内最大電極幅とセル内最小電極幅との差の最大値は30〜150μmであることが好ましく、より好ましくは40〜120μmである。セル内最大電極幅とセル内最小電極幅の差の最大値が小さすぎると放電異常抑制効果が十分でなく、差の最大値が大きすぎると消費電力が増大してしまう傾向がある。   When the minimum value of the address electrode width in the cell is the minimum electrode width in the cell, the maximum value of the difference between the maximum electrode width in the cell and the minimum electrode width in the same cell is 30 to 150 μm in the display area. It is preferable, More preferably, it is 40-120 micrometers. If the maximum value of the difference between the maximum electrode width in the cell and the minimum electrode width in the cell is too small, the effect of suppressing discharge abnormality is not sufficient, and if the maximum value of the difference is too large, power consumption tends to increase.

前記アドレス電極を被覆して、誘電体層が形成される。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストをアドレス電極を覆う形で塗布した後に、400〜600℃で焼成することにより形成することができる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有し、これらを合計で10〜80重量%含有する低融点ガラス粉末を好ましく用いることができる。該配合物を10重量%以上とすることで、600℃以下での焼成が容易になり、80重量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。   A dielectric layer is formed to cover the address electrodes. The dielectric layer can be formed by applying a glass paste containing glass powder and an organic binder as main components so as to cover the address electrodes, and then baking at 400 to 600 ° C. The glass paste used for the dielectric layer preferably contains at least one of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide and phosphorus oxide, and low melting point glass powder containing 10 to 80% by weight of these in total. it can. By making this blend 10% by weight or more, firing at 600 ° C. or less becomes easy, and by making it 80% by weight or less, crystallization is prevented and a decrease in transmittance is prevented.

これらの低融点ガラス粉末と有機バインダーと混練してペーストを作成する。用いる有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。低融点ガラス粉末以外に軟化温度が高く焼成時に軟化しないフィラー成分を添加することにより、反射率が高く、輝度の高いPDPを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が好ましく、粒子径0.05〜3μmの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末:フィラーの質量比で、1:1〜10:1が好ましい。フィラーの含有量をガラス粉末含有量の10分の1以上とすることで、輝度向上の実効を得ることができる。また、ガラス粉末の含有量と同量以下とすることで、焼結性を保つことができる。   These low melting glass powders and an organic binder are kneaded to prepare a paste. As the organic binder to be used, cellulose compounds typified by ethyl cellulose, methyl cellulose and the like, acrylic compounds such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and isobutyl acrylate can be used. Moreover, you may add additives, such as a solvent and a plasticizer, in glass paste. As the solvent, general-purpose solvents such as terpineol, butyrolactone, toluene and methyl cellosolve can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate, diethyl phthalate, or the like can be used. By adding a filler component having a high softening temperature and not softening during firing, in addition to the low-melting glass powder, a PDP having a high reflectance and a high luminance can be obtained. As the filler, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide and the like are preferable, and it is particularly preferable to use titanium oxide having a particle diameter of 0.05 to 3 μm. The filler content is preferably a glass powder: filler mass ratio of 1: 1 to 10: 1. By setting the filler content to 1/10 or more of the glass powder content, the effect of improving the luminance can be obtained. Moreover, sinterability can be maintained by setting it as the same amount or less as content of glass powder.

また、誘電体層に用いるガラスペーストに導電性微粒子を添加することにより駆動時の信頼性の高いプラズマディスプレイを作成することができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金属粉末が好ましく、体積平均粒子径は1〜10μmであることが好ましい。1μm以上とすることで十分な効果を発揮でき、10μm以下とすることで誘電体上の凹凸を抑えることができ、誘電体層上での後述の隔壁の形成を容易にすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体層に含まれる含有量としては、0.1〜10質量%が好ましい。0.1質量%以上とすることで導電性を得ることができ、10質量%以下とすることで、横方向の隣り合うアドレス電極間でのショートを防ぐことができる。誘電体層の厚みは好ましくは3〜30μm、より好ましくは3〜15μmである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。   Further, by adding conductive fine particles to the glass paste used for the dielectric layer, a plasma display with high reliability during driving can be produced. The conductive fine particles are preferably metal powders such as nickel and chromium, and the volume average particle diameter is preferably 1 to 10 μm. When the thickness is 1 μm or more, a sufficient effect can be exhibited, and when the thickness is 10 μm or less, unevenness on the dielectric can be suppressed, and formation of a partition wall described later on the dielectric layer can be facilitated. As content in which these electroconductive fine particles are contained in a dielectric material layer, 0.1-10 mass% is preferable. When the content is 0.1% by mass or more, conductivity can be obtained, and when the content is 10% by mass or less, a short circuit between adjacent address electrodes in the horizontal direction can be prevented. The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 30 μm, more preferably 3 to 15 μm. If the thickness of the dielectric layer is too thin, pinholes tend to occur frequently, and if it is too thick, the discharge voltage tends to be high and the power consumption tends to increase.

本発明のプラズマディスプレイ用部材は誘電体層上に、列方向の画素を仕切る隔壁が形成される。また、行方向の画素を仕切るように隔壁と垂直方向に補助隔壁が形成されてもよい。   In the plasma display member of the present invention, partition walls for partitioning pixels in the column direction are formed on the dielectric layer. An auxiliary partition may be formed in a direction perpendicular to the partition so as to partition the pixels in the row direction.

隔壁および補助隔壁は低融点ガラスを主成分とすることが好ましい。本発明でいう主成分とは、隔壁を構成する全成分のうち70重量%以上、好ましくは80重量%以上を構成する成分のことをいう。   The partition walls and the auxiliary partition walls are preferably mainly composed of low melting point glass. The main component referred to in the present invention means a component constituting 70% by weight or more, preferably 80% by weight or more, of all components constituting the partition wall.

補助隔壁が形成される場合、隔壁および補助隔壁はそれぞれが直交する形で形成される。補助隔壁を形成することにより、電圧を印加した際に、縦方向に隣接した画素への電荷の抜けを抑制することができ、前面板の発光に寄与するサステイン電極間距離(メインギャップ)を広くすることができる。メインギャップを広くすることによって、紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度を高めることが可能である。   When the auxiliary partition is formed, the partition and the auxiliary partition are formed so as to be orthogonal to each other. By forming the auxiliary barrier ribs, when voltage is applied, it is possible to suppress the loss of charge to pixels adjacent in the vertical direction, and the distance between the sustain electrodes (main gap) that contributes to the light emission of the front plate is widened. can do. By widening the main gap, it is possible to increase the luminance because ultraviolet rays efficiently act on the phosphor screen.

隔壁及び補助隔壁の断面形状は台形や矩形とすることができる。隔壁の頂部幅は25〜80μmであることが好ましく、30〜75μmであることがより好ましい。隔壁の頂部幅が25μm未満では、強度が低くなり、前面板との封着時に隔壁が倒れる等の問題が生じやすくなる。また80μmを超えると、蛍光体層の形成面積が小さくなるため輝度が低くなる傾向にある。なお、隔壁の底部幅は頂部幅の1〜2.3倍であることが好ましく、1.1〜2倍であることがより好ましい。   The cross-sectional shape of the partition wall and the auxiliary partition wall can be a trapezoid or a rectangle. The top width of the partition wall is preferably 25 to 80 μm, and more preferably 30 to 75 μm. If the top width of the partition walls is less than 25 μm, the strength is low, and problems such as collapse of the partition walls during sealing with the front plate tend to occur. On the other hand, when the thickness exceeds 80 μm, the formation area of the phosphor layer is reduced, and the luminance tends to be lowered. The bottom width of the partition wall is preferably 1 to 2.3 times the top width, more preferably 1.1 to 2 times.

隔壁の高さは80〜180μmとすることが好ましく、90〜150μmであることがより好ましい。80μm以上とすることで蛍光体とスキャン電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、180μm以下とすることで、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、充分な輝度を得ることができる。   The height of the partition walls is preferably 80 to 180 μm, and more preferably 90 to 150 μm. By setting the thickness to 80 μm or more, the phosphor and the scan electrode can be prevented from being too close to each other, and the phosphor can be prevented from being deteriorated by discharge. Further, by setting the thickness to 180 μm or less, the distance between the discharge at the scan electrode and the phosphor can be reduced, and sufficient luminance can be obtained.

隔壁の高さは補助隔壁の高さより高いことが好ましく、隔壁の高さと補助隔壁の高さの差が2〜40μm、さらには3〜30μmであることがより好ましい。隔壁の高さと補助隔壁の高さの差が2μm未満であると、パネル封着・排気の際、前面板、背面板、隔壁および補助隔壁に囲まれたセル内に残存するガス成分の排気経路が狭くなるために、不純ガスが残存しやすくなり、その結果パネル特性に悪影響を及ぼす場合がある。また、40μmを超えると電圧印加によりセル内に蓄積した電荷が、縦方向に隣接するセルに抜けやすくなり、補助隔壁としての機能を果たさなくなる傾向にある。   The height of the partition wall is preferably higher than the height of the auxiliary partition wall, and the difference between the height of the partition wall and the height of the auxiliary partition wall is preferably 2 to 40 μm, more preferably 3 to 30 μm. When the difference between the height of the partition wall and the height of the auxiliary partition wall is less than 2 μm, the exhaust path of the gas component remaining in the cell surrounded by the front plate, the back plate, the partition wall, and the auxiliary partition wall when sealing and exhausting the panel Therefore, impure gas tends to remain, and as a result, panel characteristics may be adversely affected. On the other hand, when the thickness exceeds 40 μm, the charge accumulated in the cell due to the voltage application tends to easily escape to the adjacent cell in the vertical direction, and the function as an auxiliary partition tends not to be performed.

補助隔壁を形成する位置とピッチは、前面板と合わせてプラズマディスプレイとした際に画素を区切る位置に形成することが、ガス放電と蛍光体層の発光の効率の点から好ましい。   The positions and pitches for forming the auxiliary barrier ribs are preferably formed at positions where the pixels are divided when the plasma display is combined with the front plate from the viewpoint of gas discharge and light emission efficiency of the phosphor layer.

次に、本発明における隔壁および補助隔壁の形成方法について説明する。隔壁および補助隔壁は、基板上に絶縁性の無機成分と有機成分からなるペーストを用いて、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法(フォトリソグラフィー法)、金型転写法、リフトオフ法等公知の技術によりパターンを形成し、焼成することで形成されるが、高度な形状制御、均一性が得られるという理由から、中でも感光性ペーストを基板上に塗布、乾燥し感光性ペースト膜を形成し、フォトマスクを介して露光・現像するいわゆる感光性ペースト法(フォトリソグラフィー法)が本発明では好ましく適用される。   Next, the formation method of the partition and the auxiliary partition in this invention is demonstrated. The partition walls and the auxiliary partition walls are known using screen paste, sand blasting, photosensitive paste method (photolithography method), mold transfer method, lift-off method, etc., using paste made of insulating inorganic and organic components on the substrate. It is formed by forming a pattern with this technique and baking it, but for the reason that high shape control and uniformity can be obtained, the photosensitive paste is applied to the substrate and dried to form a photosensitive paste film. The so-called photosensitive paste method (photolithographic method) in which exposure and development are performed through a photomask is preferably applied in the present invention.

以下に本発明で好ましく適用する感光性ペースト法による隔壁形成について、詳述する。   Hereinafter, the partition formation by the photosensitive paste method preferably applied in the present invention will be described in detail.

本発明で用いる感光性ペーストは、無機微粒子と感光性有機成分を主成分とし、必要に応じて光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を含有する。   The photosensitive paste used in the present invention contains inorganic fine particles and a photosensitive organic component as main components, and if necessary, a photopolymerization initiator, a light absorber, a sensitizer, an organic solvent, a sensitization aid, and a polymerization inhibitor. contains.

感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。   As the inorganic fine particles of the photosensitive paste, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like can be used. In particular, glass or ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component is preferable.

無機微粒子の粒子径は、作製しようとする隔壁パターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径が、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは、1〜5μmである。体積平均粒子径を10μm以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、1μm以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積0.2〜3m/gのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において特に好ましい。 The particle diameter of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the partition wall pattern to be produced, but the volume average particle diameter is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 1 to 5 μm. By setting the volume average particle diameter to 10 μm or less, it is possible to prevent surface irregularities from occurring. Moreover, the viscosity adjustment of a paste can be made easy by setting it as 1 micrometer or more. Furthermore, it is particularly preferable in the pattern formation to use glass fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

隔壁および補助隔壁は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が350〜600℃の低融点ガラス微粒子を60質量%以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。また、熱軟化温度が600℃以上の高融点ガラス微粒子やセラミック微粒子からなるフィラー成分を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、無機微粒子の合計量に対して40質量%以下が好ましい。低融点ガラス微粒子としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が50×10−7−1〜90×10−7−1、さらには、60×10−7−1〜90×10−7−1の低融点ガラス微粒子を用いることが好ましい。 Since the partition walls and the auxiliary partition walls are preferably patterned on a glass substrate having a low heat softening point, inorganic particles containing 60% by mass or more of low melting glass particles having a thermal softening temperature of 350 to 600 ° C. are used as the inorganic particles. It is preferable. Moreover, by adding a filler component composed of high melting point glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or more, the shrinkage rate during firing can be suppressed, but the amount is equal to the total amount of inorganic fine particles. The amount is preferably 40% by mass or less. The low-melting glass fine particles have a linear expansion coefficient of 50 × 10 −7 ° C. −1 to 90 × 10 −7 ° C. 1 , or 60 × 10 −7 ° C. so as not to cause warping of the glass substrate during firing. It is preferable to use low melting point glass fine particles of −1 to 90 × 10 −7 ° C. −1 .

低融点ガラス微粒子としては、ケイ素および/またはホウ素の酸化物を含有したガラスが好ましく用いられる。   As the low-melting glass fine particles, glass containing silicon and / or boron oxide is preferably used.

酸化ケイ素は、3〜60質量%の範囲で配合されていることが好ましい。3質量%以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板との熱膨張係数の差によるそり発生の問題を防ぐことができる。また、60質量%以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。   The silicon oxide is preferably blended in the range of 3 to 60% by mass. By setting the content to 3% by mass or more, the denseness, strength and stability of the glass layer are improved, and the thermal expansion coefficient is set within a desired range to prevent the problem of warpage due to the difference in thermal expansion coefficient with the glass substrate. be able to. Moreover, by setting it as 60 mass% or less, there exists an advantage that a thermal softening point becomes low and baking to a glass substrate is attained.

酸化ホウ素は、5〜50質量%の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。50質量%以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。   Boron oxide can improve electrical, mechanical, and thermal characteristics such as electrical insulation, strength, thermal expansion coefficient, and denseness of the insulating layer by blending in the range of 5 to 50% by mass. The stability of glass can be maintained by setting it as 50 mass% or less.

さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50質量%含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを5〜50質量%含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化ビスマス:10〜40質量%
酸化ケイ素:3〜50質量%
酸化ホウ素:10〜40質量%
酸化バリウム:8〜20質量%
酸化アルミニウム:10〜30質量%
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも1種類を3〜20質量%含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、20質量%以下、好ましくは、15質量%以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記3種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化リチウム:2〜15質量%
酸化ケイ素:15〜50質量%
酸化ホウ素:15〜40質量%
酸化バリウム:2〜15質量%
酸化アルミニウム:6〜25質量%
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム,酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。
Furthermore, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by mass, a glass paste having temperature characteristics suitable for patterning on a glass substrate can be obtained. it can. In particular, when glass fine particles containing 5 to 50% by mass of bismuth oxide are used, advantages such as a long pot life of the paste can be obtained. As the bismuth-based glass fine particles, glass powder containing the following composition is preferably used.
Bismuth oxide: 10 to 40% by mass
Silicon oxide: 3-50 mass%
Boron oxide: 10 to 40% by mass
Barium oxide: 8-20% by mass
Aluminum oxide: 10-30% by mass
Moreover, you may use the glass fine particle which contains 3-20 mass% of at least 1 sort (s) among lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide. By adding the alkali metal oxide in an amount of 20% by mass or less, preferably 15% by mass or less, the stability of the paste can be improved. Of the above three types of alkali metal oxides, lithium oxide is particularly preferred from the viewpoint of paste stability. As the lithium glass fine particles, for example, glass powder containing the following composition is preferably used.
Lithium oxide: 2 to 15% by mass
Silicon oxide: 15-50 mass%
Boron oxide: 15-40% by mass
Barium oxide: 2 to 15% by mass
Aluminum oxide: 6-25% by mass
In addition, if glass fine particles containing both metal oxides such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, with a lower alkali content, The thermal softening temperature and linear expansion coefficient can be easily controlled.

また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、40質量%以下が好ましく、より好ましくは25質量%以下である。   Also, workability is improved by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, etc., especially aluminum oxide, barium oxide, zinc oxide, etc. to the glass fine particles. However, from the viewpoint of the thermal softening point and the thermal expansion coefficient, the content is preferably 40% by mass or less, more preferably 25% by mass or less.

感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも1種類を含有することが好ましい。   The photosensitive organic component preferably contains at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer.

感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などのアクリル系モノマーを用いることが好ましい。これらは1種または2種以上使用することができる。   The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond. Specific examples thereof include acrylics such as monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, and allyl compounds. It is preferable to use a system monomer. These can be used alone or in combination of two or more.

感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素2重結合を有するモノマーのうちの少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。好ましくは上記アクリル系モノマーのうち少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際に、前記モノマーの含有率が、10質量%以上、さらに好ましくは35質量%以上になるように、他の感光性のモノマーと共重合することができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、オリゴマーの酸価(AV)は、50〜180の範囲が好ましく、70〜140の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。   As the photosensitive oligomer and photosensitive polymer, an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of monomers having a carbon-carbon double bond can be used. Preferably, an oligomer or a polymer obtained by polymerizing at least one of the acrylic monomers can be used. In the polymerization, the monomer can be copolymerized with another photosensitive monomer so that the content of the monomer is 10% by mass or more, more preferably 35% by mass or more. By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid with a polymer or oligomer, the developability after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180, and more preferably in the range of 70 to 140. By adding a photoreactive group to the side chain or molecular end of the polymer or oligomer shown above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acrylic group, and a methacryl group.

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは0.05〜10質量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜5質量%の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。   Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4- Examples include benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in a range of 0.05 to 10% by mass, and more preferably in a range of 0.1 to 5% by mass with respect to the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、0.05〜5質量%が好ましく、より好ましくは、0.05〜1質量%である。添加量が前記範囲より少ないと、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、前記範囲より多いと、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。   It is also effective to add a light absorber. By adding a compound having a high absorption effect of ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. As the light absorber, those composed of organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes are used. Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, and the like can be used. Since organic dye does not remain in the insulating film after baking, it is preferable because the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferable. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by mass, and more preferably 0.05 to 1% by mass. When the addition amount is less than the above range, the effect of adding the light absorber tends to be reduced, and when it is more than the above range, the insulating film characteristics after firing tend to be lowered.

増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常0.05〜10質量%、より好ましくは0.1〜10質量%である。増感剤の量が前記範囲より少ないと光感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が前記範囲より多いと、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。   A sensitizer is added in order to improve sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, and the like. Is mentioned. One or more of these can be used. When adding a sensitizer to a photosensitive paste, the addition amount is 0.05-10 mass% normally with respect to the photosensitive component, More preferably, it is 0.1-10 mass%. When the amount of the sensitizer is less than the above range, the effect of improving the photosensitivity tends not to be exhibited, and when the amount of the sensitizer is larger than the above range, the residual ratio of the exposed portion tends to be small.

有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, and γ-butyllactone. , N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and one or more of these An organic solvent mixture is used.

感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。次いで感光性ペーストの塗布、乾燥、露光、現像等を行う。   The photosensitive paste is usually prepared by mixing the above-mentioned inorganic fine particles and organic components so as to have a predetermined composition, and then uniformly mixing and dispersing them with a three roller or kneader. Next, a photosensitive paste is applied, dried, exposed, developed, and the like.

これらの一連の形成工程において、感光性ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。   In these series of forming steps, a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, or the like can be used as a method for applying the photosensitive paste. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, screen mesh, and paste viscosity.

また、塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホットプレート、IR炉などを用いることができる。   In addition, a drying oven, a hot plate, an IR furnace, or the like can be used for drying after application.

露光で使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/cmの出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間露光を行う。 Examples of the active light source used for exposure include visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, and laser light. Among these, ultraviolet rays are most preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a halogen lamp, or a germicidal lamp can be used. Among these, an ultrahigh pressure mercury lamp is suitable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

ここで、フォトマスクと感光性ペーストの塗布膜表面との距離(以下ギャップ量という)は50〜500μm、さらには70〜400μmに調整することが好ましい。ギャップ量を50μm以上、さらに好ましくは70μm以上とすることにより、感光性ペースト塗布膜とフォトマスクの接触を防ぎ、双方の破壊や汚染を防ぐことができる。また500μm以下、さらに好ましくは400μm以下とすることにより、シャープなパターニングが可能となる。   Here, the distance between the photomask and the surface of the photosensitive paste coating film (hereinafter referred to as the gap amount) is preferably adjusted to 50 to 500 μm, more preferably 70 to 400 μm. By setting the gap amount to 50 μm or more, more preferably 70 μm or more, contact between the photosensitive paste coating film and the photomask can be prevented, and destruction or contamination of both can be prevented. Moreover, sharp patterning is attained by setting it as 500 micrometers or less, More preferably, it is 400 micrometers or less.

現像は、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。   Development is performed using the difference in solubility in the developer between the exposed portion and the non-exposed portion. Development can be performed by a dipping method, a spray method, a brush method, or the like.

現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分、すなわち、ネガ型感光性ペーストの場合は露光前の感光性有機成分が、ポジ型感光性ペーストの場合は露光後の有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などの無機アルカリ水溶液を使用することもできるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向にある。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。   Developer can dissolve organic components in the photosensitive paste, that is, photosensitive organic components before exposure in the case of negative photosensitive paste, and organic components after exposure in the case of positive photosensitive paste. Is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, it can be developed with an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an inorganic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium carbonate aqueous solution, calcium hydroxide aqueous solution or the like can be used. However, the use of the organic alkaline aqueous solution facilitates removal of alkali components during firing. preferable. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The density | concentration of aqueous alkali solution is 0.01-10 mass% normally, More preferably, it is 0.1-5 mass%. If the alkali concentration is too low, the soluble portion tends not to be removed. If the alkali concentration is too high, the pattern portion tends to be peeled off or the insoluble portion tends to be corroded. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. in terms of process control.

次に、現像により得られた隔壁・補助隔壁のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行うと良い。   Next, the partition / auxiliary partition pattern obtained by development is fired in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a roller hearth-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is preferably 400 to 800 ° C. In the case where the partition wall is directly formed on the glass substrate, it is preferable to perform baking while maintaining the temperature at 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

次いで所定のアドレス電極と平行方向に形成された隔壁間に、赤(R)、緑(G)、青(B)各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。   Next, a phosphor layer that emits light of each color of red (R), green (G), and blue (B) is formed between barrier ribs formed in a direction parallel to a predetermined address electrode. The phosphor layer can be formed by applying a phosphor paste containing phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent as main components between predetermined partitions, drying, and firing as necessary.

蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストに前述の感光性有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。   As a method of applying the phosphor paste between predetermined partitions, a screen printing method in which a pattern is printed using a screen printing plate, a dispenser method in which the phosphor paste is discharged from the tip of a discharge nozzle, or a phosphor paste The phosphor paste of each color can be applied to a predetermined place by the above-described photosensitive paste method using the photosensitive organic component, but the screen printing method and the dispenser method are preferably applied in the present invention for cost reasons. .

赤色蛍光体層の厚みをTr(μm)、緑色蛍光体層の厚みをTg(μm)、および青色蛍光体層の厚みをTb(μm)としたとき、式(2)および(3)を満たすことが好ましい。
10≦Tr≦Tb≦50 (2)、
10≦Tg≦Tb≦50 (3)
つまり、発光輝度の低い青色について、厚みを緑色、赤色よりも厚くすることにより、より色バランスに優れた(色温度の高い)プラズマディスプレイを作製できる。蛍光体層の厚みとしては、10μm以上とすることで充分な輝度を得ることができる。また、50μm以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得ることができる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での焼成後の厚みとして測定する。つまり、放電空間(隔壁、補助隔壁によって囲まれた画素セル内)の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。
When the thickness of the red phosphor layer is Tr (μm), the thickness of the green phosphor layer is Tg (μm), and the thickness of the blue phosphor layer is Tb (μm), the expressions (2) and (3) are satisfied. It is preferable.
10 ≦ Tr ≦ Tb ≦ 50 (2),
10 ≦ Tg ≦ Tb ≦ 50 (3)
That is, a plasma display having a better color balance (high color temperature) can be produced by making the thickness of blue with low emission luminance thicker than green and red. A sufficient luminance can be obtained by setting the thickness of the phosphor layer to 10 μm or more. Further, by setting the thickness to 50 μm or less, a wide discharge space can be obtained and high luminance can be obtained. The thickness of the phosphor layer in this case is measured as the thickness after firing at the midpoint between the adjacent partition walls. That is, it is measured as the thickness of the phosphor layer formed at the bottom of the discharge space (in the pixel cell surrounded by the barrier ribs and the auxiliary barrier ribs).

塗着させた蛍光体層を必要に応じて、400〜550℃で焼成することにより、本発明のプラズマディスプレイ用背面板を作製することができる。   By baking the coated phosphor layer at 400 to 550 ° C. as necessary, the back plate for plasma display of the present invention can be produced.

このプラズマディスプレイ用背面板を用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜(MgO)を形成した部材である。背面板上に形成されたRGB各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成しても良い。   Using this back plate for plasma display, after sealing with the front plate, the discharge circuit composed of helium, neon, xenon, etc. is sealed in the space formed between the front and back substrates, and the drive circuit is installed. Can produce plasma displays. The front plate is a member in which a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric, and a protective film (MgO) are formed on a substrate in a predetermined pattern. You may form a color filter layer in the part corresponding to the RGB each color phosphor layer formed on the back plate. Further, a black stripe may be formed in order to improve contrast.

以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited to this.

評価方法について説明する。   The evaluation method will be described.

<欠陥検査評価>
アドレス電極を形成した基板を画像検査機(ブイ・テクノロジー社製、Neptune9000)を用いて欠陥検査を行った。欠陥の誤検出のなかったものを◎、誤検出が発生したものを×とした。
<Defect inspection evaluation>
The substrate on which the address electrode was formed was inspected for defects using an image inspection machine (Neptune 9000, manufactured by Vu Technology). The case where no defect was detected falsely was marked with ◎, and the case where a false detection occurred was marked with ×.

<表示ムラ評価>
作製した前面板と背面板を封着ガラスを用いて封着して、Xe12%含有のNeガスを内部ガス圧66500Paになるように封入した。さらに、駆動回路を実装してプラズマディスプレイパネルを作製した。得られたプラズマディスプレイパネルのスキャン電極、サステイン電極、アドレス電極に、スキャン電圧120V、サステイン電圧180V、データ電圧70Vをそれぞれ印加して全面白色の静止画を点灯させ、輝度ばらつきを輝度測定装置(大塚電子社製 MCPD-7000)により測定した。以下の評価基準により表示ムラを評価した。
面内の輝度ばらつきが±5%より小さい:◎
面内の輝度ばらつきが±5〜±10%:○
面内の輝度ばらつきが±10%より大きい:×
<消費電力評価>
表示ムラ評価に用いたプラズマディスプレイパネルに、スキャン電圧120V、サステイン電圧180V、データ電圧70Vをそれぞれ印加して全面白色の静止画を点灯させ、消費電力を測定し、実施例1のプラズマディスプレイパネルの消費電力を1として相対比較を行った。
<Display unevenness evaluation>
The produced front plate and back plate were sealed with sealing glass, and Ne gas containing Xe 12% was sealed so as to have an internal gas pressure of 66500 Pa. Further, a plasma display panel was manufactured by mounting a drive circuit. A scan voltage of 120 V, a sustain voltage of 180 V, and a data voltage of 70 V are applied to the scan electrode, the sustain electrode, and the address electrode of the obtained plasma display panel, respectively, and a white still image is lit on the entire surface. Measured by MCPD-7000 manufactured by Denshi Co. Display unevenness was evaluated according to the following evaluation criteria.
In-plane brightness variation is less than ± 5%:
In-plane brightness variation is ± 5 to ± 10%: ○
In-plane brightness variation is greater than ± 10%: ×
<Evaluation of power consumption>
A scan voltage of 120 V, a sustain voltage of 180 V, and a data voltage of 70 V are applied to the plasma display panel used for the display unevenness evaluation to light a white still image on the entire surface, power consumption is measured, and the plasma display panel of Example 1 is measured. Relative comparison was performed with power consumption as 1.

<放電異常評価>
表示ムラ評価に用いたプラズマディスプレイパネルに、スキャン電圧120V、サステイン電圧170V、データ電圧60Vをそれぞれ印加して全面白色の静止画を点灯させ、不灯セルの数を数えた。以下の評価基準により放電異常を評価した。
不灯セル0個:◎
不灯セル1〜3個:○
不灯セル4個以上:×
(実施例1〜4、比較例1〜3)
42インチサイズのAC(交流)型プラズマディスプレイパネルを作製し、評価を実施した。作製方法を順に説明する。
<Discharge abnormality evaluation>
A scan voltage of 120 V, a sustain voltage of 170 V, and a data voltage of 60 V were applied to the plasma display panel used for the display unevenness evaluation to light a white still image on the entire surface, and the number of unlit cells was counted. The discharge abnormality was evaluated according to the following evaluation criteria.
0 unlit cells: ◎
1-3 unlit cells: ○
4 or more unlit cells: ×
(Examples 1-4, Comparative Examples 1-3)
A 42-inch AC (alternating current) plasma display panel was fabricated and evaluated. The manufacturing method will be described in order.

(実施例1)
ガラス基板として、590×964×2.8mmの42インチサイズのPD−200(旭硝子(株)製)を使用した。この基板上に、アドレス電極として、平均粒径2.0μmの銀粉末を70重量部、Bi/SiO/Al/B=69/24/4/3(質量%)からなり、平均粒径2.2μmのガラス粉末2重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー8重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート7重量部、ベンゾフェノン3重量部、ブチルカルビトールアクリレート7重量部、ベンジルアルコール3重量部からなる感光性銀ペーストをスクリーン印刷機を用いて10μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて120℃、10分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のパターンを有するフォトマスクとのギャップを150μmとり、露光を露光量500mJで実施した。上記のようにして形成した露光済み基板を0.5質量%のエタノールアミン水溶液で現像し、アドレス電極パターンを形成した。アドレス電極は以下の値を満足するように形成した。模式図を図3、4に示す。
ピッチ:240μm
A部
行方向セル数:650
セル内最大電極幅:90μm
セル内最小電極幅:70μm
B部
行方向セル数:29
セル内最大電極幅:93〜180μm(最もA部に近いセルで93μm、C部方向に向けて3μmずつ太く、最もC部に近いセルで180μmとした。)
セル内最小電極幅:70μm
C部
行方向セル数:30
セル内最大電極幅:180μm
セル内最小電極幅:70μm
作製したアドレス電極基板を画像検査機(ブイ・テクノロジー社製、Neptune9000)を用いて欠陥検査を行った。
Example 1
As a glass substrate, PD-200 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a size of 590 × 964 × 2.8 mm and 42 inches was used. On this substrate, as an address electrode, 70 parts by weight of silver powder having an average particle diameter of 2.0 μm, Bi 2 O 3 / SiO 2 / Al 2 O 3 / B 2 O 3 = 69/24/4/3 (mass 2 parts by weight of glass powder having an average particle size of 2.2 μm, 8 parts by weight of a copolymer of acrylic acid, methyl methacrylate and styrene, 7 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate, 3 parts by weight of benzophenone, butyl carbitol A photosensitive silver paste consisting of 7 parts by weight of acrylate and 3 parts by weight of benzyl alcohol was applied to a thickness of 10 μm using a screen printer, and then dried at 120 ° C. for 10 minutes in a clean oven to form a coating film. A gap between the formed coating film and a photomask having a predetermined pattern was 150 μm, and exposure was performed at an exposure amount of 500 mJ. The exposed substrate formed as described above was developed with a 0.5 mass% ethanolamine aqueous solution to form an address electrode pattern. The address electrode was formed so as to satisfy the following values. A schematic diagram is shown in FIGS.
Pitch: 240 μm
Number of cells in part A row direction: 650
Maximum electrode width in cell: 90 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in B part row direction: 29
Maximum electrode width in cell: 93 to 180 μm (93 μm for the cell closest to the A portion, 3 μm thicker toward the C portion, and 180 μm for the cell closest to the C portion)
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row C: 30
Maximum electrode width in cell: 180 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
The prepared address electrode substrate was subjected to defect inspection using an image inspection machine (Neptune 9000, manufactured by Buoy Technology Co., Ltd.).

この基板に、Bi/SiO/Al/ZnO/B=78/14/3/3/2(質量%)からなり、体積平均粒子径2μmの低融点ガラス微粒子を60重量部、平均粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10重量部、エチルセルロース15重量部、テルピネオール15重量部からなる誘電体ペーストを塗布した後、580℃で焼成して、厚み10μmの誘電体層を形成した。 Low melting point glass fine particles having a volume average particle diameter of 2 μm, comprising Bi 2 O 3 / SiO 2 / Al 2 O 3 / ZnO / B 2 O 3 = 78/14/3/3/2 (mass%) on this substrate. A dielectric paste consisting of 60 parts by weight, 10 parts by weight of titanium oxide powder having an average particle size of 0.3 μm, 15 parts by weight of ethyl cellulose, and 15 parts by weight of terpineol was applied and baked at 580 ° C. to form a dielectric having a thickness of 10 μm. A body layer was formed.

隔壁形成用の感光性ペーストは以下の組成のものを用いた。   The photosensitive paste for partition formation used the following composition.

下記成分を配合、分散して用いた。
ガラス粉末:Bi/SiO/Al/ZnO/B=82/5/3/5/3/2(質量%)からなり、平均粒径2μmのガラス粉末 67重量部
フィラー:平均粒径0.2μmの酸化チタン 3重量部
ポリマー:”サイクロマー”P(ACA250、ダイセル化学工業社製) 10重量部
有機溶剤(1):ベンジルアルコール 4重量部
有機溶剤(2):ブチルカルビトールアセテート 3重量部
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 8重量部
光重合開始剤:ベンゾフェノン 3重量部
酸化防止剤:1,6−ヘキサンジオール−ビス[(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート] 1重量部
有機染料:ベージックブルー26 0.01重量部
チキソトロピー付与剤:N,N’−12−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン:0.5重量部
界面活性剤:ポリオキシエチレンセチルエーテル:0.49重量部。
The following components were blended and used.
Glass powder: Bi 2 O 3 / SiO 2 / Al 2 O 3 / ZnO / B 2 O 3 = 82/5/3/5/3/2 (mass%), glass powder having an average particle diameter of 2 μm 67 weight Part filler: Titanium oxide having an average particle size of 0.2 μm 3 parts by weight Polymer: “Cyclomer” P (ACA250, manufactured by Daicel Chemical Industries) 10 parts by weight Organic solvent (1): Benzyl alcohol 4 parts by weight Organic solvent (2) : Butyl carbitol acetate 3 parts by weight Monomer: Dipentaerythritol hexaacrylate 8 parts by weight Photopolymerization initiator: Benzophenone 3 parts by weight Antioxidant: 1,6-hexanediol-bis [(3,5-di-t-butyl -4-hydroxyphenyl) propionate] 1 part by weight Organic dye: Basic Blue 26 0.01 part by weight thixotropic agent: N, N′-12 -Butyrylenediamine hydroxystearate: 0.5 part by weight Surfactant: Polyoxyethylene cetyl ether: 0.49 part by weight.

隔壁形成用感光性ペーストをダイコーターを用いて250μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い塗布膜を形成した。さらに、隔壁形成用感光性ペーストをダイコーターを用いて50μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、30分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、隔壁および補助隔壁の露光を露光量300mJで実施した。隔壁の幅は50μm、ピッチは240μm、補助隔壁の幅は50μm、ピッチは700μmとした。   The partition wall forming photosensitive paste was applied to a thickness of 250 μm using a die coater, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 40 minutes to form a coating film. Further, the barrier rib forming photosensitive paste was applied to a thickness of 50 μm using a die coater, and then dried at 100 ° C. for 30 minutes in a clean oven to form a coating film. A gap between the formed coating film and a predetermined photomask was set to 150 μm with respect to the formed coating film, and exposure of the partition walls and the auxiliary partition walls was performed at an exposure amount of 300 mJ. The partition wall width was 50 μm, the pitch was 240 μm, the auxiliary partition wall width was 50 μm, and the pitch was 700 μm.

上記のようにして形成した露光済み基板を0.5質量%のエタノールアミン水溶液で現像し、隔壁パターンを形成した。パターン形成終了済み基板を560℃で15分間焼成を行った。   The exposed substrate formed as described above was developed with a 0.5% by mass aqueous ethanolamine solution to form a partition pattern. The substrate on which pattern formation was completed was baked at 560 ° C. for 15 minutes.

形成された隔壁に各色蛍光体ペーストをスクリーン印刷法を用いて塗布、焼成(500℃、30分)して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。   Each color phosphor paste was applied to the formed barrier ribs using a screen printing method and baked (500 ° C., 30 minutes) to form phosphor layers on the side and bottom portions of the barrier ribs.

次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、ガラス基板として590×964×2.8mmの42インチサイズのPD−200(旭硝子(株)製)を用い、このガラス基板上にITOをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって厚み0.1μm、線幅200μmの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み5μmのバス電極を形成した。電極はピッチ375μm、線幅100μmのものを作製した。   Next, the front plate was produced by the following steps. First, a PD-200 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) of 590 × 964 × 2.8 mm having a size of 590 × 964 × 2.8 mm was used, ITO was formed on this glass substrate by sputtering, resist was applied, exposure and development A transparent electrode having a thickness of 0.1 μm and a line width of 200 μm was formed by the treatment and the etching treatment. Further, a bus electrode having a thickness of 5 μm after firing was formed by photolithography using a photosensitive silver paste made of black silver powder. Electrodes with a pitch of 375 μm and a line width of 100 μm were produced.

次に、酸化鉛を75質量%含有する低融点ガラスの粉末を70重量部、エチルセルロース20重量部、テルピネオール10重量部を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように50μmの厚みで塗布した後に、570℃15分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。   Next, a glass paste obtained by kneading 70 parts by weight of low melting point glass powder containing 75% by weight of lead oxide, 20 parts by weight of ethyl cellulose, and 10 parts by weight of terpineol was screen-printed to obtain a bus electrode for the display part. After coating with a thickness of 50 μm so as to be covered, firing was performed at 570 ° C. for 15 minutes to form a front dielectric.

誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚み0.5μmの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。   A front plate was produced by forming a 0.5 μm thick magnesium oxide layer as a protective film by electron beam evaporation on the substrate on which the dielectric was formed.

得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイを作製した。   The obtained front glass substrate was bonded and sealed to the rear glass substrate, and then a discharge gas was sealed, and a driving circuit was joined to produce a plasma display.

(実施例2)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は以下の通りに形成した。
ピッチ:240μm
A部
行方向セル数:680
セル内最大電極幅:90μm
セル内最小電極幅:70μm
B部
行方向セル数:14
セル内最大電極幅:96〜174μm(もっともA部に近いセルで96μm、C部方向に向けて6μmずつ太く、もっともC部に近いセルで174μm)
セル内最小電極幅:70μm
C部
行方向セル数:30
セル内最大電極幅:180μm
セル内最小電極幅:70μm
(実施例3)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は以下の通りに形成した。
ピッチ:240μm
A部
行方向セル数:700
セル内最大電極幅:75μm
セル内最小電極幅:70μm
B部
行方向セル数:4
セル内最大電極幅:78〜87μm(もっともA部に近いセルで78μm、C部方向に向けて3μmずつ太く、もっともC部に近いセルで87μm)
セル内最小電極幅:70μm
C部
行方向セル数:30
セル内最大電極幅:90μm
セル内最小電極幅:70μm
(実施例4)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は以下の通りに形成した。
ピッチ:240μm
A部
行方向セル数:608
セル内最大電極幅:75μm
セル内最小電極幅:70μm
B部
行方向セル数:50
セル内最大電極幅:78〜225μm(もっともA部に近いセルで78μm、C部方向に向けて3μmずつ太く、もっともC部に近いセルで225μm)
セル内最小電極幅:70μm
C部
行方向セル数:30
セル内最大電極幅:230μm
セル内最小電極幅:70μm
(比較例1)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は表示領域内で、ピッチ240μm、幅80μm一定のストライプ形状とした。
(Example 2)
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes were formed as follows.
Pitch: 240 μm
Number of cells in row A: 680
Maximum electrode width in cell: 90 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row B row: 14
Maximum electrode width in the cell: 96 to 174 μm (96 μm for the cell closest to the A portion, thicker by 6 μm toward the C portion, and 174 μm for the cell closest to the C portion)
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row C: 30
Maximum electrode width in cell: 180 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
(Example 3)
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes were formed as follows.
Pitch: 240 μm
Number of cells in row A: 700
Maximum electrode width in cell: 75 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row B row: 4
Maximum electrode width in the cell: 78 to 87 μm (78 μm for the cell closest to the A portion, thicker by 3 μm toward the C portion, and 87 μm for the cell closest to the C portion)
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row C: 30
Maximum electrode width in cell: 90 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Example 4
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes were formed as follows.
Pitch: 240 μm
Number of cells in row A: 608
Maximum electrode width in cell: 75 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row B: 50
Maximum electrode width in cell: 78 to 225 μm (78 μm for the cell closest to the A portion, 3 μm thicker toward the C portion, and 225 μm for the cell closest to the C portion)
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in row C: 30
Maximum electrode width in cell: 230 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
(Comparative Example 1)
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes have a stripe shape with a constant pitch of 240 μm and a width of 80 μm in the display area.

(比較例2)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は表示領域内で、ピッチ240μm、幅200μm一定のストライプ形状とした。
(Comparative Example 2)
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes have a stripe shape with a constant pitch of 240 μm and a width of 200 μm in the display area.

(比較例3)
実施例1と同様にしてプラズマディスプレイパネルを作製した。ただし、アドレス電極は以下の通りに形成した。
ピッチ:240μm
A部
行方向セル数:708
セル内最大電極幅:75μm
セル内最小電極幅:70μm
B部
行方向セル数:0
C部
行方向セル数:30
セル内最大電極幅:230μm
セル内最小電極幅:70μm
(Comparative Example 3)
A plasma display panel was produced in the same manner as in Example 1. However, the address electrodes were formed as follows.
Pitch: 240 μm
Number of cells in row A: 708
Maximum electrode width in cell: 75 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm
Number of cells in B section row direction: 0
Number of cells in row C: 30
Maximum electrode width in cell: 230 μm
Minimum electrode width in cell: 70 μm

Figure 0004867326
Figure 0004867326

実施例1〜4、比較例1〜3の評価結果を表1に示す。実施例1〜4ではいずれも欠陥検査で誤検出することもなく、表示品位が良好で、かつ消費電力も大きく増大することのないプラズマディスプレイパネルが得られた。これに対し、比較例1では表示品位が良好でなく、比較例2では消費電力が増大している。比較例3では表示品位が良好でないばかりか、欠陥の誤検出も発生した。   The evaluation results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1. In each of Examples 1 to 4, plasma display panels were obtained that were not erroneously detected by defect inspection, had good display quality, and did not significantly increase power consumption. On the other hand, the display quality is not good in Comparative Example 1, and the power consumption is increased in Comparative Example 2. In Comparative Example 3, not only the display quality was not good, but also erroneous detection of defects occurred.

本発明のプラズマディスプレイパネルの模式図である。It is a schematic diagram of the plasma display panel of the present invention. 本発明のプラズマディスプレイパネルに用いる背面板の模式図である。It is a schematic diagram of the backplate used for the plasma display panel of this invention. 本発明のプラズマディスプレイパネルに用いる背面板の模式図である。It is a schematic diagram of the backplate used for the plasma display panel of this invention. 本発明のプラズマディスプレイパネルに用いる背面板の模式図である。It is a schematic diagram of the backplate used for the plasma display panel of this invention. プラズマディスプレイパネルの模式図である。It is a schematic diagram of a plasma display panel.

符号の説明Explanation of symbols

1 隔壁
2 補助隔壁
3 アドレス電極
4 スキャン電極
5 サステイン電極
6 セル
7 画素
8 セル内最大電極幅
9 セルの境界線
10 表示領域
11 セル内最小電極幅
12 ガラス基板
13 ブラックストライプ
14 誘電体層
15 保護層(MgO層)
16 ガラス基板
17 誘電体層
18 蛍光体(R)
19 蛍光体(G)
20 蛍光体(B)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Partition 2 Auxiliary partition 3 Address electrode 4 Scan electrode 5 Sustain electrode 6 Cell 7 Pixel 8 In-cell maximum electrode width 9 Cell boundary line 10 Display area 11 In-cell minimum electrode width 12 Glass substrate 13 Black stripe 14 Dielectric layer 15 Protection Layer (MgO layer)
16 Glass substrate 17 Dielectric layer 18 Phosphor (R)
19 Phosphor (G)
20 Phosphor (B)

Claims (3)

表示電極と、誘電体層を有した前面板と、アドレス電極、誘電体層、および隔壁を有した背面板とを対向配置し、
前記隔壁は放電セルを区画し、
前記アドレス電極の幅は、前記放電セルの領域内で異なり、かつ前記放電セルの中央部において、前記アドレス電極の幅が最大(セル内最大電極幅)となり、
前記背面板面内において、前記セル内最大電極幅は異なり、
前記背面板中央部よりも前記背面板の端部において、前記セル内最大電極幅が大きく、
隣接する前記放電セルにおける前記セル内最大電極幅の差が10μm以下である、
プラズマディスプレイパネル。
A display electrode, a front plate having a dielectric layer, and an address electrode, a dielectric layer, and a rear plate having a partition wall are arranged to face each other.
The barrier ribs define discharge cells,
The width of the address electrode is different within the region of the discharge cell, and the width of the address electrode is the maximum (maximum electrode width in the cell) at the center of the discharge cell.
In the back plate surface, the maximum electrode width in the cell is different,
In the end portion of the back plate than the center portion of the back plate , the maximum electrode width in the cell is larger,
The difference between the maximum electrode widths in the adjacent discharge cells is 10 μm or less,
Plasma display panel.
隣接し、連続する10の前記放電セルにおける、前記セル内最大電極幅の最大値と最小値の差が50μm以下である、請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。 2. The plasma display panel according to claim 1, wherein a difference between a maximum value and a minimum value of the maximum electrode width in the cell in ten adjacent and continuous discharge cells is 50 μm or less. 前記放電セル領域内の、前記アドレス電極の幅の最大値と、幅の最小値との差が、11〜150μmである、請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。 2. The plasma display panel according to claim 1 , wherein a difference between the maximum value of the width of the address electrode and the minimum value of the width in the discharge cell region is 11 to 150 μm .
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JP2962039B2 (en) * 1992-04-23 1999-10-12 日本電気株式会社 Plasma display panel
JP3933831B2 (en) * 1999-12-22 2007-06-20 パイオニア株式会社 Plasma display device
JP2002134036A (en) * 2000-10-30 2002-05-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Plasma display panel
JP2003308783A (en) * 2002-04-12 2003-10-31 Nec Kagoshima Ltd Plasma display panel
KR100472375B1 (en) * 2002-05-20 2005-02-21 엘지전자 주식회사 Photopolymerization Type Photosensitive Electrode Paste Composition for Plasma Display Panel and Fabricating Method Thereof
JP5050345B2 (en) * 2005-12-14 2012-10-17 パナソニック株式会社 Plasma display panel

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