JP5025907B2 - Method for manufacturing plasma display panel - Google Patents

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本発明は、壁掛けテレビや大型モニターに用いられるプラズマディスプレイパネルに係り、特にディスプレイ端部の表示品位を高めたプラズマディスプレイパネルに関する。 The present invention relates to a plasma display panel used for a wall-mounted television or a large monitor, and more particularly, to a plasma display panel with improved display quality at a display edge.

薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイ(以下、PDPと略す)が注目されている。PDPにおいて、表示面となる前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサステイン電極が銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で形成されている。さらにサステイン電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が20〜50μm厚みで形成され、誘電体層を被覆してMgO層が形成されている。一方、背面板側のガラス基板には、複数のアドレス電極がストライプ状に形成され、アドレス電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されている。誘電体層上に放電セルを仕切るための隔壁が形成され、隔壁と誘電体層で形成された放電空間内に蛍光体層が形成されてなる。フルカラー表示が可能なPDPにおいては、蛍光体層は、RGBの各色に発光により構成される。前面板側のガラス基板のサステイン電極と背面板側のアドレス電極が互いに直交するように、前面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されPDPが形成される。スキャン電極とアドレス電極の交点を中心として画素セルが形成されるので、PDPは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。   Plasma displays (hereinafter abbreviated as PDPs) are attracting attention as displays that can be used in thin and large televisions. In the PDP, a plurality of paired sustain electrodes are formed of a material such as silver, chromium, aluminum, or nickel on a glass substrate on the front plate side serving as a display surface. Further, a dielectric layer mainly composed of glass is formed with a thickness of 20 to 50 μm by covering the sustain electrode, and an MgO layer is formed by covering the dielectric layer. On the other hand, on the glass substrate on the back plate side, a plurality of address electrodes are formed in stripes, and a dielectric layer mainly composed of glass is formed by covering the address electrodes. A barrier rib for partitioning the discharge cells is formed on the dielectric layer, and a phosphor layer is formed in a discharge space formed by the barrier rib and the dielectric layer. In a PDP capable of full color display, the phosphor layer is configured to emit light for each of RGB colors. The front plate and the back plate are sealed so that the sustain electrode of the glass substrate on the front plate side and the address electrode on the back plate side are orthogonal to each other, and helium, neon, xenon, etc. are formed in the gap between the substrates. A rare gas is enclosed to form a PDP. Since the pixel cell is formed around the intersection of the scan electrode and the address electrode, the PDP has a plurality of pixel cells and can display an image.

PDPにおいて表示を行う際、選択された画素セルにおいて、発光していない状態からサステイン電極とアドレス電極との間に封入ガスの放電開始電圧以上の電圧を印加すると電離によって生じた陽イオンや電子は、画素セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の電極へと向けて移動して両側のMgO層の内壁に帯電し、内壁の電荷はMgO層の抵抗が高いために減衰せずに残留する。この壁電荷により放電空間内に外部からの印加電圧とは逆極性の電界が形成されるのでセル内の電界は弱められて放電は直ちに停止する。   When performing display in the PDP, in a selected pixel cell, if a voltage higher than the discharge start voltage of the sealed gas is applied between the sustain electrode and the address electrode from a state in which no light is emitted, cations and electrons generated by ionization are Because the pixel cell has a capacitive load, it moves toward the opposite polarity electrode in the discharge space and charges the inner wall of the MgO layer on both sides, and the inner wall charge is attenuated due to the high resistance of the MgO layer. It remains without. Due to this wall charge, an electric field having a reverse polarity to the externally applied voltage is formed in the discharge space, so that the electric field in the cell is weakened and the discharge immediately stops.

次に、スキャン電極間に放電維持電圧を印加することにより放電は維持される。壁電荷により放電開始電圧より低い電圧での放電が継続される。該放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、147nmの紫外線が発生し、該紫外線が蛍光体を励起することにより、発光表示が可能になる。   Next, the discharge is maintained by applying a discharge sustain voltage between the scan electrodes. Discharge at a voltage lower than the discharge start voltage is continued by the wall charge. Xenon gas in the discharge space is excited by the discharge, and ultraviolet light having a wavelength of 147 nm is generated. The ultraviolet light excites the phosphor, thereby enabling light emission display.

近年、PDPの高性能化のために、従来のストライプ状の隔壁形状以外に、格子状、ハニカム状などの三叉部または交差部を有する隔壁形状が提案されている。このように隔壁構造が複雑化した理由の一つに、ストライプ状の隔壁構造の場合、画素間の放電の干渉が生じやすいことがあげられる。特に高精細化した場合には放電の干渉が顕著となり、前面板の放電ギャップを狭くする必要があるが、その場合には、画素の放電空間が狭くなるために、輝度が大幅に低下するという問題が生じる。この問題を解消するために、ストライプ状の隔壁と交差するような画素を仕切る補助隔壁を設けることが提案されている(例えば特許文献1参照)。しかし、補助隔壁を設けることにより特に端部の隔壁が、焼成時の隔壁の収縮により内側に引っ張られ、傾いてしまうという問題が生じる。端部隔壁が内側に傾くことにより、端部隔壁高さが他の部分より高くなってしまうために、背面板を前面板と張り合わせてパネルにした際、パネル端部において背面板と前面板との間に隙間を発生し、この部分で誤放電などが起こり、問題となっていた。
特開平10−321148号公報
In recent years, in order to improve the performance of PDPs, in addition to the conventional stripe-shaped partition wall shape, a partition wall shape having a trident or intersection such as a lattice shape or a honeycomb shape has been proposed. One of the reasons why the barrier rib structure is complicated in this way is that, in the case of a striped barrier rib structure, interference of discharge between pixels tends to occur. In particular, when the resolution is increased, the interference of discharge becomes significant, and it is necessary to narrow the discharge gap of the front plate. However, in that case, the discharge space of the pixel is narrowed, so that the luminance is greatly reduced. Problems arise. In order to solve this problem, it has been proposed to provide an auxiliary partition that partitions pixels that intersect with the striped partition (see, for example, Patent Document 1). However, the provision of the auxiliary barrier ribs causes a problem that the barrier ribs at the end portions are pulled inward due to contraction of the barrier ribs during firing and are inclined. Since the end partition wall is inclined inward, the height of the end partition wall becomes higher than the other parts. Therefore, when the back plate is bonded to the front plate to form a panel, the back plate and the front plate A gap was generated between the two, and an erroneous discharge occurred in this portion, which was a problem.
JP-A-10-32148

そこで、本発明は、上記従来技術に鑑みて、表示領域端部の表示品位が向上したディスプレイを提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above prior art, an object of the present invention is to provide a display with improved display quality at the end of a display area.

すなわち本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記基板上に感光性ペーストを塗布し、該感光性ペーストの塗布膜を露光して表示領域に形成される前記補助隔壁、非表示領域の最外縁に形成される前記ダミー隔壁、および非表示領域に形成される前記ダミー補助隔壁に対応する部分の潜像を形成し、その上にさらに感光性ペーストを塗布して該感光性ペーストの塗布膜のうち少なくとも表示領域に形成される前記隔壁に対応する部分を露光し、現像した後、焼成することを特徴とする。 That is, the present invention is a method for manufacturing a plasma display panel, wherein a photosensitive paste is applied onto the substrate, and the coating film of the photosensitive paste is exposed to form an auxiliary partition, a non-display area formed in a display area. Forming a latent image of a portion corresponding to the dummy partition wall formed on the outermost edge of the substrate and the dummy auxiliary partition wall formed in the non-display area, and further applying a photosensitive paste thereon to form the photosensitive paste Of the coating film, at least a portion corresponding to the partition wall formed in the display region is exposed, developed, and baked.

本発明によれば、表示領域端部の誤放電をなくし、表示品位を向上したプラズマディスプレイパネルを提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the plasma display panel which eliminated the erroneous discharge of the display area edge part and improved display quality can be provided.

以下に、本発明について、望ましい実施の形態と共に詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail together with preferred embodiments.

本発明のディスプレイ用部材に用いるガラス基板としては、ソーダガラスの他にPDP用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“PD200”や日本電気硝子社製の“PP8”等を用いることができる。   As the glass substrate used for the display member of the present invention, “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., “PP8” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which is a heat resistant glass for PDP, can be used in addition to soda glass.

ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を形成する。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布し、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに、400〜600℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることもできる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後に、レジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより、不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。電極厚みは1〜10μmが好ましく、2〜5μmがより好ましい。電極が薄すぎる場合は抵抗値が大きくなり正確な駆動ができなくなる傾向にあり、厚すぎる場合は材料を多く要しコスト的に不利となる傾向にある。アドレス電極の幅は20〜200μmが好ましく、より好ましくは30〜100μmである。アドレス電極が細すぎる場合は抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、太すぎる場合は隣の電極との間の距離が小さくなるため、ショート欠陥を生じやすい傾向にある。また、アドレス電極は表示セル(画素の各RGBを形成する領域)に応じたピッチで形成される。通常のPDPでは100〜500μm、高精細PDPにおいては100〜250μmのピッチで形成するのが好ましい。   Address electrodes are formed of a metal such as silver, aluminum, chromium, or nickel on a glass substrate. As a forming method, a metal paste mainly composed of these metal powders and an organic binder is subjected to pattern printing by screen printing, or a photosensitive metal paste using a photosensitive organic component as an organic binder is applied, and a photo paste is applied. It is also possible to use a photosensitive paste method in which pattern exposure is performed using a mask, unnecessary portions are dissolved and removed in a development step, and further, heated and baked at 400 to 600 ° C. to form a metal pattern. Further, an etching method in which a metal such as chromium or aluminum is sputtered on a glass substrate, a resist is applied, the resist is subjected to pattern exposure / development, and then an unnecessary portion of the metal is removed by etching can be used. The electrode thickness is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 2 to 5 μm. If the electrode is too thin, the resistance value tends to increase and accurate driving cannot be performed. If the electrode is too thick, a large amount of material is required, which tends to be disadvantageous in cost. The width of the address electrode is preferably 20 to 200 μm, more preferably 30 to 100 μm. If the address electrode is too thin, the resistance value tends to be high and accurate driving tends to be difficult. If the address electrode is too thick, the distance between adjacent electrodes tends to be small, so that a short defect tends to occur. Further, the address electrodes are formed at a pitch corresponding to the display cell (region where each RGB of the pixel is formed). The pitch is preferably 100 to 500 μm for a normal PDP and 100 to 250 μm for a high definition PDP.

電極を形成した基板上にガラス粉末と有機バインダーを主成分として混練してなるガラスペーストを塗布した後に、400〜600℃で焼成することにより誘電体層を形成できる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有し、これらを合計で10〜80重量%含有するガラス粉末を用いると良い。10重量%以上とすることで、600℃以下での焼成が容易になり、80重量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。   A dielectric layer can be formed by applying a glass paste obtained by kneading glass powder and an organic binder as main components onto a substrate on which an electrode is formed, and then baking at 400 to 600 ° C. As the glass paste used for the dielectric layer, glass powder containing at least one of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide, and phosphorus oxide and containing 10 to 80% by weight in total is preferably used. By setting it as 10 weight% or more, baking at 600 degrees C or less becomes easy, and setting it as 80 weight% or less prevents crystallization and the fall of the transmittance | permeability. As the organic binder, cellulose compounds typified by ethyl cellulose, methyl cellulose and the like, acrylic compounds such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and isobutyl acrylate, and the like can be used. Moreover, you may add additives, such as a solvent and a plasticizer, in glass paste. As the solvent, general-purpose solvents such as terpineol, butyrolactone, toluene and methyl cellosolve can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate, diethyl phthalate, or the like can be used.

ガラス粉末以外にフィラー成分を添加することにより、誘電体層の反射率が高く、輝度の高いPDPを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウムが好ましく、粒子径0.05〜3μmの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末:フィラーの比で、10:1〜1:1が添加の十分な効果を得る上で好ましい。   By adding a filler component in addition to the glass powder, it is possible to obtain a PDP having high dielectric layer reflectance and high luminance. As the filler, titanium oxide, aluminum oxide, and zirconium oxide are preferable, and it is particularly preferable to use titanium oxide having a particle diameter of 0.05 to 3 μm. The filler content is a glass powder: filler ratio, and 10: 1 to 1: 1 is preferable for obtaining a sufficient effect of addition.

また、導電性微粒子を含有することにより駆動時の信頼性の高いディスプレイを作成することができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金属粉末が好ましく、粒子径は1〜10μmが好ましい。1μm以上とすることで十分な効果を発揮でき、10μm以下とすることで誘電体上の凹凸を抑え隔壁形成を容易なものとすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体層に含まれる含有量としては、0.1〜10重量%が好ましい。0.1重量%以上とすることで添加の効果を得ることができ、10重量%以下とすることで、隣り合うアドレス電極間でのショートを防ぐことができる。誘電体層の厚みは3〜30μmとするのが好ましく、より好ましくは3〜15μmである。誘電体層が薄すぎる場合はピンホールが発生する傾向にあり、厚すぎる場合は放電電圧が高くなり消費電力が大きくなる傾向にある。   Further, by containing conductive fine particles, a display with high reliability during driving can be created. The conductive fine particles are preferably metal powders such as nickel and chromium, and the particle diameter is preferably 1 to 10 μm. By setting the thickness to 1 μm or more, a sufficient effect can be exhibited, and by setting the thickness to 10 μm or less, the unevenness on the dielectric can be suppressed and the partition can be easily formed. The content of these conductive fine particles contained in the dielectric layer is preferably 0.1 to 10% by weight. When the content is 0.1% by weight or more, the effect of addition can be obtained, and when the content is 10% by weight or less, a short circuit between adjacent address electrodes can be prevented. The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 30 μm, more preferably 3 to 15 μm. If the dielectric layer is too thin, pinholes tend to occur, and if it is too thick, the discharge voltage tends to increase and the power consumption tends to increase.

誘電体層上に、放電セルを仕切るための隔壁を形成する。
ここで、隔壁とは、表示領域に形成されたストライプ状のパターンを言う。補助隔壁とは表示領域に隔壁と垂直な方向に形成されたストライプ状のパターンを言う。ダミー隔壁とは表示領域外に隔壁と水平な方向に形成されたストライプ状のパターンを言う。ダミー補助隔壁とは表示領域外にダミー隔壁と垂直な方向に形成されたストライプ状のパターンを言う。最外縁の隔壁とは隔壁のうち表示領域内で最も外側に存在する1本を言う。最外縁のダミー隔壁とはダミー隔壁のうち表示領域から遠い最も外側に存在する1本を言う。
A partition for partitioning the discharge cell is formed on the dielectric layer.
Here, the partition refers to a stripe pattern formed in the display region. The auxiliary barrier rib is a stripe pattern formed in the display area in a direction perpendicular to the barrier rib. The dummy barrier rib refers to a stripe pattern formed outside the display area in a direction parallel to the barrier rib. The dummy auxiliary barrier rib is a stripe pattern formed outside the display area in a direction perpendicular to the dummy barrier rib. The outermost partition wall means one of the partition walls existing on the outermost side in the display area. The outermost dummy partition wall means one of the dummy partition walls existing on the outermost side far from the display area.

隔壁の高さは、80μm〜200μmが適している。80μm以上とすることで蛍光体とスキャン電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、200μm以下とすることで、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。隔壁のピッチ(P)は、100μm≦P≦500μmのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ(P)が、100μm≦P≦350μmである。100μm以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、500μm以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。350μm以下にすることにより、HDTV(ハイビジョン)レベルの美しい映像を表示することができる。線幅(L)は、半値幅で10μm≦L≦50μmであることが好ましい。10μm以上とすることで強度を保ち、前面板と背面板を封着する際に破損が生じるのを防ぐことができる。また、50μm以下とすることで蛍光体の形成面積を大きくとることができ高い輝度を得ることができる。   The height of the partition wall is suitably 80 μm to 200 μm. By setting the thickness to 80 μm or more, the phosphor and the scan electrode can be prevented from being too close to each other, and the phosphor can be prevented from being deteriorated by discharge. Further, by setting the thickness to 200 μm or less, the distance between the discharge at the scan electrode and the phosphor can be reduced, and sufficient luminance can be obtained. The partition pitch (P) is often 100 μm ≦ P ≦ 500 μm. In the high-definition plasma display, the partition pitch (P) is 100 μm ≦ P ≦ 350 μm. By setting the thickness to 100 μm or more, the discharge space can be widened and sufficient luminance can be obtained, and by setting the thickness to 500 μm or less, a fine image with fine pixels can be displayed. By setting the thickness to 350 μm or less, it is possible to display a beautiful video of HDTV (high definition) level. The line width (L) is preferably 10 μm ≦ L ≦ 50 μm in half width. By setting the thickness to 10 μm or more, strength can be maintained, and damage can be prevented from occurring when the front plate and the back plate are sealed. Further, when the thickness is 50 μm or less, the formation area of the phosphor can be increased and high luminance can be obtained.

隔壁の形状で、最も単純なのはデータ電極と平行のストライプ状の隔壁構造であり、製造工程も簡便である。しかしながら、ストライプ状隔壁の場合、画素間の放電の干渉が生じやすい。特に高精細化した場合には放電の干渉が顕著となり、前面板の放電ギャップを狭くする必要があるが、その場合には、輝度が大幅に低下するという問題が生じる。この問題を解消するために、ストライプ状の隔壁と交差するような画素を仕切る補助隔壁を設けることが提案されている。   The simplest shape of the barrier ribs is a stripe barrier rib structure parallel to the data electrodes, and the manufacturing process is simple. However, in the case of striped barrier ribs, discharge interference between pixels tends to occur. In particular, when the definition is increased, the interference of discharge becomes remarkable, and it is necessary to narrow the discharge gap of the front plate. In this case, however, there arises a problem that the luminance is greatly reduced. In order to solve this problem, it has been proposed to provide an auxiliary partition wall for partitioning pixels that intersect the stripe-shaped partition wall.

このような高精細な隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁は、無機微粒子と有機バインダーからなるガラスペーストを隔壁の形状にパターン形成した後に、400〜600℃に焼成して隔壁を形成する方法により一般的に得ることができる。   Such high-definition partition walls, auxiliary partition walls, dummy partition walls, and dummy auxiliary partition walls are formed by patterning a glass paste made of inorganic fine particles and an organic binder into the shape of the partition walls, and then baking them at 400 to 600 ° C. It can generally be obtained by a method.

無機微粒子としては、ガラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。   As the inorganic fine particles, glass, ceramics (alumina, cordierite, etc.) can be used. In particular, glass or ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component is preferable.

無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径(D50)が、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは、1〜5μmである。D50を10μm以下とすることで、パターン形成時に表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、1μm以上とすることでペーストの粘度調整を容易に行うことができる。さらに、比表面積0.2〜3m2/gの無機微粒子を用いることが、パターン形成において、特に好ましい。 The particle diameter of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced, but the volume average particle diameter (D50) is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 1 to 5 μm. By setting D50 to 10 μm or less, it is possible to prevent surface irregularities from occurring during pattern formation. Moreover, the viscosity adjustment of a paste can be easily performed by setting it as 1 micrometer or more. Furthermore, it is particularly preferable in the pattern formation to use inorganic fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁は、熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が350℃〜600℃のガラス微粒子を60重量%以上含むものを用いることが好ましい。一方、熱軟化温度が600℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、40重量%以下が好ましい。   The partition walls, the auxiliary partition walls, the dummy partition walls, and the dummy auxiliary partition walls are patterned on a glass substrate having a low thermal softening point, and therefore include 60% by weight or more of glass particles having a thermal softening temperature of 350 ° C. to 600 ° C. as inorganic particles. It is preferable to use one. On the other hand, by adding glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or higher, the shrinkage rate during firing can be suppressed, but the amount is preferably 40% by weight or less.

用いるガラス粉末としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が50〜90×10-7、更には、60〜90×10-7のガラス微粒子を用いることが好ましい。 As the glass powder to be used, it is preferable to use glass fine particles having a linear expansion coefficient of 50 to 90 × 10 −7 , and more preferably 60 to 90 × 10 −7 so as not to cause warpage of the glass substrate during firing.

隔壁を形成するガラス微粒子の組成としては、ケイ素および/またはホウ素の酸化物を必須成分としたものが好ましく用いられる。   As the composition of the glass fine particles forming the partition walls, those containing silicon and / or boron oxide as essential components are preferably used.

酸化ケイ素は、3〜60重量%の範囲で配合されていることが好ましい。3重量%以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、60重量%以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。   It is preferable that silicon oxide is blended in the range of 3 to 60% by weight. When the content is 3% by weight or more, the denseness, strength, and stability of the glass layer are improved, and the thermal expansion coefficient is within a desired range, thereby preventing mismatch with the glass substrate. Moreover, by setting it as 60 weight% or less, there exists an advantage that a thermal softening point becomes low and baking to a glass substrate is attained.

酸化ホウ素は、5〜50重量%の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。50重量%とすることでガラスの安定性を保つことができる。   Boron oxide can improve electrical, mechanical and thermal characteristics such as electrical insulation, strength, thermal expansion coefficient, and denseness of the insulating layer by blending in the range of 5 to 50% by weight. The stability of glass can be maintained by setting it as 50 weight%.

さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50重量%含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを5〜50重量%含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、例えば次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化ビスマス :10〜40重量部酸化ケイ素 : 3〜50重量部酸化ホウ素 :10〜40重量部酸化バリウム : 8〜20重量部酸化アルミニウム :10〜30重量部。
Furthermore, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by weight, a glass paste having temperature characteristics suitable for patterning on a glass substrate can be obtained. it can. In particular, when glass fine particles containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide are used, advantages such as a long pot life of the paste can be obtained. As the bismuth-based glass fine particles, for example, glass powder having the following composition is preferably used.
Bismuth oxide: 10-40 parts by weight Silicon oxide: 3-50 parts by weight Boron oxide: 10-40 parts by weight Barium oxide: 8-20 parts by weight Aluminum oxide: 10-30 parts by weight

また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも1種類を合計で3〜20重量%含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、20重量%以下、好ましくは、15重量%以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記3種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
酸化リチウム : 2〜15重量部酸化ケイ素 :15〜50重量部酸化ホウ素 :15〜40重量部酸化バリウム : 2〜15重量部酸化アルミニウム : 6〜25重量部。
Moreover, you may use the glass microparticles | fine-particles which contain 3-20 weight% of at least 1 type in total among lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide. By adding the alkali metal oxide in an amount of 20% by weight or less, preferably 15% by weight or less, the stability of the paste can be improved. Of the above three types of alkali metal oxides, lithium oxide is particularly preferred from the viewpoint of paste stability. As the lithium glass fine particles, for example, glass powder containing the following composition is preferably used.
Lithium oxide: 2-15 parts by weight Silicon oxide: 15-50 parts by weight Boron oxide: 15-40 parts by weight Barium oxide: 2-15 parts by weight Aluminum oxide: 6-25 parts by weight

また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム,酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。   In addition, if glass fine particles containing both metal oxides such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, with a lower alkali content, The thermal softening temperature and linear expansion coefficient can be easily controlled.

また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウムを添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、40重量%以下が好ましく、より好ましくは25重量%以下である。   In addition, the workability can be improved by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zirconium oxide, etc., especially aluminum oxide and barium oxide, to the glass fine particles. In view of the softening point and thermal expansion coefficient, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less.

有機バインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重合体、ブチルメタクリレート樹脂、エチルセルロースやメチルセルロース等のセルロース化合物を用いることができる。さらに、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤などの添加剤を加えることも行われる。   Examples of the organic binder include polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylic acid ester polymer, acrylic acid ester polymer, acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymer, α-methylstyrene polymer, butyl methacrylate resin, ethyl cellulose and methyl cellulose. Cellulose compounds can be used. Furthermore, additives such as plasticizers, thickeners, organic solvents, antioxidants, dispersants, organic or inorganic suspending agents and leveling agents are also added.

さらに、その溶液の粘度を調整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき使用される有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Furthermore, when adjusting the viscosity of the solution, an organic solvent may be added. The organic solvents used at this time are methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyl lactone, bromobenzene. , Chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and organic solvent mixtures containing one or more of these.

また、本発明のディスプレイ用部材の隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁を後述の感光性ペースト法により形成する場合には、ガラスペーストに感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも1種類から選ばれた感光性成分を含有し、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤を添加すると良い。   In addition, when the barrier rib and auxiliary barrier rib, dummy barrier rib, and dummy auxiliary barrier rib of the display member of the present invention are formed by the photosensitive paste method described later, the glass paste includes a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer. It is good to contain the photosensitive component chosen from at least 1 type of these, and also add a photoinitiator, a light absorber, a sensitizer, a sensitizer, and a polymerization inhibitor as needed.

感光性モノマとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは1種または2種以上使用することができる。   The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, allyl compounds, and the like. be able to. These can be used alone or in combination of two or more.

また、この感光性ガラスペーストには、有機バインダーして感光性ポリマーおよび/または感光性オリゴマーを用いるのが好ましい。そのオリゴマーまたはポリマーは、炭素−炭素2重結合を有する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得られる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後のアルカリ水溶液での現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、オリゴマの酸価(AV)は、50〜180の範囲が好ましく、70〜140の範囲がより好ましい。以上に示したポリマもしくはオリゴマに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴマとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。   The photosensitive glass paste preferably uses a photosensitive polymer and / or a photosensitive oligomer as an organic binder. The oligomer or polymer is obtained by polymerization or copolymerization of components selected from compounds having a carbon-carbon double bond. By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid with a polymer or oligomer, the developability in an alkaline aqueous solution after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180, and more preferably in the range of 70 to 140. By adding a photoreactive group to the side chain or molecular end to the polymer or oligomer shown above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acrylic group, and a methacryl group.

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、O-ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは0.05〜10重量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜5重量%の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。   Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4- Examples include benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、0.05〜5重量%が好ましく、より好ましくは、0.05〜1重量%である。添加量が少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。   As the light absorber, those composed of organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes are used. Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, and the like can be used. Since organic dye does not remain in the insulating film after baking, it is preferable because the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferable. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by weight, and more preferably 0.05 to 1% by weight. When the addition amount is too small, the effect of adding the light absorber tends to decrease, and when it is too large, the insulating film characteristics after firing tend to decrease.

増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常0.05〜10重量%、より好ましくは0.1〜10重量%である。増感剤の量が少な過ぎると光感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が多過ぎると、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。   A sensitizer is added in order to improve sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, and the like. Is mentioned. One or more of these can be used. When adding a sensitizer to a photosensitive paste, the addition amount is 0.05 to 10 weight% normally with respect to the photosensitive component, More preferably, it is 0.1 to 10 weight%. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity tends not to be exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be small.

ガラスペーストを用いて隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁をパターン加工する方法としては、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法、フォト埋め込み法、型転写法等の方法によって形成可能である。   As a method of patterning partition walls, auxiliary partition walls, dummy partition walls, and dummy auxiliary partition walls using glass paste, they can be formed by methods such as screen printing, sand blasting, photosensitive paste method, photo embedding method, and mold transfer method. is there.

スクリーン印刷法は、形成したいパターン以外の部分に乳剤層を形成したスクリーン版上にペーストを広げ、スキージを用いて基板上に転写する方法である。転写可能な厚みが10〜30μm程度であるため、5〜15回の繰り返し印刷を行い必要な高さを確保した後に、焼成して隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁を形成する。   The screen printing method is a method in which a paste is spread on a screen plate in which an emulsion layer is formed in a portion other than a pattern to be formed and transferred onto a substrate using a squeegee. Since the transferable thickness is about 10 to 30 μm, the partition wall, the auxiliary partition wall, the dummy partition wall, and the dummy auxiliary partition wall are formed by firing 5 to 15 times repeatedly to ensure the necessary height.

サンドブラスト法は、ガラスペーストを基板上に塗布した後に、その上にドライフィルムレジストをラミネートし、該ドライフィルムレジストをフォトリソグラフィー法でパターン加工した後、研磨砂を吹き付けて不要部分を除去する方法である。不要部分を除去した後にレジスト部分を除去、さらに焼成することにより、隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁を形成できる。   The sandblasting method is a method in which after applying a glass paste on a substrate, a dry film resist is laminated thereon, the dry film resist is patterned by a photolithography method, and then unnecessary portions are removed by spraying polishing sand. is there. After removing the unnecessary portion, the resist portion is removed and further baked to form a partition, an auxiliary partition, a dummy partition, and a dummy auxiliary partition.

フォト埋め込み法は、ドライフィルムレジストを基板上にラミネートし、隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁を形成する部分のレジストを除去するためのパターンを形成する。パターンはフォトリソグラフィー法を用いる。次に、レジストが除去された部分にガラスペーストを埋め込んだ後に、レジスト部分をすべて取り除く。取り除く方法としては、アルカリで溶解する方法や焼成で焼却除去する方法がある。次に焼成することにより隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁を形成することができる。   In the photo embedding method, a dry film resist is laminated on a substrate, and a pattern for removing a resist in a portion for forming a partition wall, an auxiliary partition wall, a dummy partition wall, and a dummy auxiliary partition wall is formed. A photolithography method is used for the pattern. Next, after the glass paste is embedded in the portion where the resist has been removed, the entire resist portion is removed. As a removing method, there are a method of dissolving with an alkali and a method of removing by incineration by baking. Next, the partition wall, the auxiliary partition wall, the dummy partition wall, and the dummy auxiliary partition wall can be formed by firing.

各種の隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁形成方法の中で、高精細化・工程の簡便性の点で、感光性ペースト法が優れている。次に、感光性ペーストを用いた隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁形成手順の一例を以下に示す。   Among various types of partition walls, auxiliary partition walls, dummy partition walls, and dummy auxiliary partition wall formation methods, the photosensitive paste method is excellent in terms of high definition and process simplicity. Next, an example of a procedure for forming barrier ribs, auxiliary barrier ribs, dummy barrier ribs, and dummy auxiliary barrier ribs using a photosensitive paste is shown below.

ガラス基板に、感光性ペーストを塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなど一般的な方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。また、ポリエステルフィルムなどのフィルム上に感光性ペーストを塗布した感光性シートを作成して、ラミネーターなどの装置を用いて基板上に感光性ペーストを転写する方法を用いても良い。   A photosensitive paste is applied to a glass substrate. As a coating method, a general method such as a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, or a blade coater can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, screen mesh, and paste viscosity. Alternatively, a method may be used in which a photosensitive sheet is formed by applying a photosensitive paste on a film such as a polyester film, and the photosensitive paste is transferred onto a substrate using an apparatus such as a laminator.

感光性ペースト塗布した後、露光装置を用いて露光を行う。露光は、通常のフォトリソグラフィで行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によって、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フォトマスクを用いずに、レーザ光などで直接描画する方法を用いても良い。露光に使用される活性光線は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間露光を行う。 After applying the photosensitive paste, exposure is performed using an exposure apparatus. As for exposure, a mask exposure method using a photomask is generally used, as in normal photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with a laser beam or the like without using a photomask may be used. Examples of the active light used for exposure include visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, and laser light. Among these, ultraviolet rays are most preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a halogen lamp, or a germicidal lamp can be used. Among these, an ultrahigh pressure mercury lamp is suitable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

露光後、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行うが、その際、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等が用いられる。   After the exposure, development is performed using the difference in solubility between the exposed portion and the non-exposed portion in the developer. In this case, an immersion method, a spray method, a brush method, or the like is used.

現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合は、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。アルカリ濃度が低過ぎると可溶部が除去さ難くなる傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎると、パターン部を剥離させ、また、非可溶部を腐食する傾向にある。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。   As the developer, a solution in which an organic component to be dissolved in the photosensitive paste can be dissolved is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, it can be developed with an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium carbonate aqueous solution, calcium hydroxide aqueous solution or the like can be used. However, it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution because an alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion tends to be difficult to remove, and if the alkali concentration is too high, the pattern portion is peeled off and the non-soluble portion tends to be corroded. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. in terms of process control.

次に、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800℃で行う。基板がガラスである場合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行う。   Next, baking is performed in a baking furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a roller hearth-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is 400 to 800 ° C. When the substrate is glass, the substrate is baked while being held at a temperature of 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

一般的に、感光性ペーストを用いたパターン形成方法は、上記のような工程を経たものである。本発明における隔壁および補助隔壁、ダミー隔壁、ダミー補助隔壁パターンの形成方法は、例えば上記の一般的なパターン形成方法に加えて、塗布・乾燥・露光工程を繰り返すことで精度よく、効率的に形成することが可能となる。   Generally, a pattern forming method using a photosensitive paste is performed through the above-described steps. In the present invention, the partition wall, auxiliary partition wall, dummy partition wall, and dummy auxiliary partition pattern formation method can be accurately and efficiently formed by repeating the coating, drying, and exposure steps in addition to the above general pattern formation method, for example. It becomes possible to do.

すなわち、まず、乾燥済み感光性ペースト塗布膜を、最終的な隔壁パターンのうち、補助隔壁部、ダミー補助隔壁部と、最外縁のダミー隔壁部分についてのみ、フォトマスクを介して露光を行う。この露光した塗布膜の上に、再度各種感光性ペーストを塗布し、乾燥後に隔壁部分とダミー隔壁のうち最外縁以外の部分をフォトマスクを介して露光後、現像、焼成することにより、最外縁のダミー隔壁の高さが隔壁の高さより低いディスプレイ用部材を製造することができる。
い。
That is, first, the dried photosensitive paste coating film is exposed through the photomask only to the auxiliary partition wall portion, the dummy auxiliary partition wall portion, and the outermost dummy partition wall portion in the final partition wall pattern. On the exposed coating film, various photosensitive pastes are applied again, and after drying, the portions other than the outermost edge of the partition walls and the dummy partition walls are exposed through a photomask, and then developed and baked. It is possible to manufacture a display member in which the height of the dummy partition walls is lower than the height of the partition walls.
Yes.

また、2層目にサンドブラスト用ペーストを塗布することにより、レジスト形成、サンドブラスト、レジスト剥離と通常のサンドブラスト法を用いても、高低差を有する隔壁パターンを形成することが可能である。   In addition, by applying a sandblasting paste to the second layer, it is possible to form a partition wall pattern having a height difference even if resist formation, sandblasting, resist stripping and a normal sandblasting method are used.

非表示領域のダミー隔壁のうち少なくとも非表示領域の最外縁に存在するダミー隔壁の高さを、表示領域の隔壁高さより低くすることにより、非表示領域の最外縁に存在するダミー隔壁がダミー補助隔壁の焼成収縮応力により表示領域側に傾いたとしてもダミー隔壁高さが隔壁高さを超えることがなく、パネル化した際にパネル端部で、背面板と前面板との間に透き間が開くことが原因で発生する誤放電を防止することができる。 By making the height of the dummy partition located at least at the outermost edge of the non-display area out of the dummy partitions in the non-display area lower than the partition height of the display area, the dummy partition located at the outermost edge of the non-display area becomes a dummy assist. Even if the partition wall is tilted toward the display area due to firing shrinkage stress, the height of the dummy partition wall does not exceed the partition wall height, and when the panel is formed, a gap is opened between the back plate and the front plate at the panel edge. It is possible to prevent erroneous discharge caused by the above.

表示領域の隔壁高さと、隔壁より低く形成したダミー隔壁高さとの差は10〜60μmであることが好ましい。高さの差を10μm以上とすることで非表示領域の最外縁に存在するダミー隔壁が、表示領域側に傾いてもダミー隔壁高さが隔壁高さを超えることがなく、60μm以下とすることで低く形成したダミー隔壁の隣接した隔壁もしくはダミー隔壁が傾くことを防止することができる。   The difference between the height of the partition in the display area and the height of the dummy partition formed lower than the partition is preferably 10 to 60 μm. By setting the height difference to be 10 μm or more, even if the dummy partition located at the outermost edge of the non-display area is tilted toward the display area, the height of the dummy partition does not exceed the partition height and is set to 60 μm or less. It is possible to prevent the partition wall adjacent to the dummy partition wall formed low or the dummy partition wall from being inclined.

隔壁より低く形成したダミー隔壁高さとダミー補助隔壁高さとの差は0〜10μmが好ましい。0〜10μmとすることで、ダミー隔壁がダミー補助隔壁の焼成応力に十分耐えることができ、剥がれたり、隣接する隔壁が傾くなどの影響を与えたりすることがない。 The difference between the height of the dummy partition wall formed lower than the partition wall and the height of the dummy auxiliary partition wall is preferably 0 to 10 μm. By setting the thickness to 0 to 10 μm, the dummy partition wall can sufficiently withstand the firing stress of the dummy auxiliary partition wall , and does not have an influence such as peeling or tilting of the adjacent partition wall.

また、2層目の感光性ペーストに、焼成して黒色を呈するものを用いることも本発明の好ましい態様の一つである。2層目の感光性ペーストに焼成して黒色を呈するものを用いることにより、コントラストを向上させることができる。感光性ペーストが焼成して黒色を呈する様にするには、Ru、Mn、Ni、Cr、Fe、Co、Cuの金属もしくはそれらの酸化物を合計で1〜15重量%含有するガラスを用いると良い。また、ガラス粉末に黒色金属又は金属酸化物を付着させるか、または被服させても良い。また、1層目の感光性ペースト塗布膜を露光・現像して隔壁パターンの一部を形成した後に、2層目の感光性ペーストを塗布し、露光・現像して隔壁を形成しても良い。   It is also one of the preferred embodiments of the present invention that the second layer of photosensitive paste is baked to exhibit a black color. Contrast can be improved by using a second layer of photosensitive paste that is baked and exhibits a black color. In order to make the photosensitive paste baked to exhibit a black color, using glass containing Ru, Mn, Ni, Cr, Fe, Co, Cu metals or their oxides in a total amount of 1 to 15% by weight. good. Moreover, you may make black metal or a metal oxide adhere to glass powder, or you may make it wear. Alternatively, the first layer of the photosensitive paste coating film may be exposed and developed to form a part of the partition pattern, and then the second layer of photosensitive paste may be applied, exposed and developed to form the partition. .

さらに、先の電極、および誘電体形成について、それぞれ焼成工程をすること記載したが、各電極ペースト、誘電体ペーストを変更することにより、電極/誘電体、誘電体/隔壁、電極/誘電体/隔壁を一括して焼成することも可能である。この場合にも本発明の効果は損なわれることはない。   Furthermore, although it has been described that the previous electrode and dielectric formation are each performed as a firing step, by changing each electrode paste and dielectric paste, electrodes / dielectrics, dielectrics / partitions, electrodes / dielectrics / It is also possible to fire the partition walls at once. Even in this case, the effect of the present invention is not impaired.

隔壁を形成した後に、RGBの各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗布することにより、蛍光体層を形成することができる。その法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、感光性を有する有機成分を有機バインダーとする感光性蛍光体ペーストを用いる感光性ペースト法等を採用することができる。   After the barrier ribs are formed, phosphor layers that emit light of RGB colors are formed. A phosphor layer can be formed by applying a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent between predetermined partitions. The methods include screen printing using a screen printing plate for pattern printing, dispenser method for discharging phosphor paste in a pattern from the tip of a discharge nozzle, and photosensitive phosphor using a photosensitive organic component as an organic binder. A photosensitive paste method using a paste or the like can be employed.

各色の蛍光体層の厚みは、10〜50μmであることが好ましい。10μm以上とすることで十分な輝度を得ることができる。また、厚みを50μm以下とすることで放電空間を確保し、蛍光体を有効に発光できる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚み、つまり、放電空間(セル内)の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。   The thickness of each color phosphor layer is preferably 10 to 50 μm. Sufficient luminance can be obtained by setting the thickness to 10 μm or more. Further, by setting the thickness to 50 μm or less, a discharge space is secured and the phosphor can emit light effectively. The thickness of the phosphor layer in this case is measured as the formation thickness at the midpoint between adjacent barrier ribs, that is, the thickness of the phosphor layer formed at the bottom of the discharge space (in the cell).

また、RGBBRGBB…やRGGBBRGGBB…のように、隔壁によって形成される隣り合う2本以上の溝に青色に発光する蛍光体層を形成することも、青色の輝度を向上させる上で有効である。   It is also effective to improve the luminance of blue by forming a phosphor layer that emits blue light in two or more adjacent grooves formed by the partition walls, such as RGBBRGBB..., RGBBBRGGBB.

使用する蛍光体粉末としては、赤色は、Y23:Eu、YVO4:Eu、(Y、Gd)BO3:Eu、Y23S:Eu、γ−Zn3(PO42:Mn、(ZnCd)S:Ag+In23など、緑色は、Zn2GeO2:Mn、BaAl1219:Mn、Zn2SiO4、LaPO4:Tb、ZnS:Cu、Al、ZnS:Au、Cu、Al、(ZnCd)S:Cu、Al、Zn2SiO4:Mn,As、Y3A1512:Ce、CeMgAl1119:Tb、Gd22S:Tb、Y3A1512:Tb、ZnO:Znなど、また、青色は、Sr5(PO43Cl:Eu、BaMgAl1423:Eu、BaMgAl1627:Eu、BaMg2Al1424:Eu、ZnS:Ag+赤色顔料、Y2SiO3:Ceなどがある。 As phosphor powder to be used, red is Y 2 O 3 : Eu, YVO 4 : Eu, (Y, Gd) BO 3 : Eu, Y 2 0 3 S: Eu, γ-Zn 3 (PO 4 ) 2. : Mn, (ZnCd) S: Ag + In 2 O 3, etc., green is Zn 2 GeO 2 : Mn, BaAl 12 O 19 : Mn, Zn 2 SiO 4 , LaPO 4 : Tb, ZnS: Cu, Al, ZnS: Au , Cu, Al, (ZnCd) S: Cu, Al, Zn 2 SiO 4: Mn, As, Y 3 A1 5 O 12: Ce, CeMgAl 11 O 19: Tb, Gd 2 O 2 S: Tb, Y 3 A1 5 O 12 : Tb, ZnO: Zn, etc. The blue color is Sr 5 (PO 4 ) 3 Cl: Eu, BaMgAl 14 O 23 : Eu, BaMgAl 16 O 27 : Eu, BaMg 2 Al 14 O 24 : Eu, ZnS: Ag + red pigment, Y 2 SiO 3 : Ce, and the like.

蛍光体層を形成した基板を必要に応じて、400〜550℃で焼成することにより、本発明のディスプレイ用部材を作製することができる。   The display member of the present invention can be produced by firing the substrate on which the phosphor layer is formed at 400 to 550 ° C. as necessary.

上記のディスプレイ用部材を背面板として用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着して本発明のプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜(MgO)を形成した基板であり、背面基板上に形成されたRGB各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成しても良い。   Using the above display member as a back plate, after sealing with the front plate, after enclosing a discharge gas composed of helium, neon, xenon, etc. in the space formed between the front and back substrates, the drive circuit is The plasma display of the present invention can be manufactured by mounting. The front plate is a substrate in which a transparent electrode, bus electrode, dielectric, and protective film (MgO) are formed in a predetermined pattern on the substrate, and the color corresponding to the RGB color phosphor layers formed on the back substrate is colored. A filter layer may be formed. Further, a black stripe may be formed in order to improve contrast.

以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。
42インチサイズのAC(交流)型プラズマディスプレイパネルの背面板を形成し、評価を実施した。形成方法を順に説明する。
Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited to this.
A 42-inch AC (alternating current) type plasma display panel back plate was formed and evaluated. The forming method will be described in order.

実施例1
ガラス基板として、590×964×2.8mmの42インチサイズのPD−200(旭硝子(株)製)を使用した。この基板上に、書き込み電極として、平均粒径2.0μmの銀粉末を70重量部、酸化ビスマスを69重量%、酸化珪素24重量%、酸化アルミニウム4重量%、酸化硼素3重量%の組成からなる平均粒径2.2μmのガラス粉末2重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー8重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート7重量部、ベンゾフェノン3重量部、ブチルカルビトールアクリレート7重量部、ベンジルアルコール3重量部からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィー法により、ピッチ240μm、線幅100μm、焼成後厚み3μmのストライプ状電極を形成した。
Example 1
As a glass substrate, PD-200 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a size of 590 × 964 × 2.8 mm and 42 inches was used. On this substrate, as a writing electrode, a composition of 70 parts by weight of silver powder having an average particle diameter of 2.0 μm, 69% by weight of bismuth oxide, 24% by weight of silicon oxide, 4% by weight of aluminum oxide, and 3% by weight of boron oxide. 2 parts by weight of glass powder having an average particle size of 2.2 μm, 8 parts by weight of a copolymer of acrylic acid, methyl methacrylate and styrene, 7 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate, 3 parts by weight of benzophenone, 7 parts by weight of butyl carbitol acrylate A striped electrode having a pitch of 240 μm, a line width of 100 μm, and a thickness of 3 μm after firing was formed by photolithography using a photosensitive silver paste comprising 3 parts by weight of benzyl alcohol.

この基板に、酸化ビスマスを78重量%、酸化珪素14重量%、酸化アルミニウム3重量%、酸化亜鉛3重量%、酸化硼素2重量%を含有する低融点ガラスの粉末を60重量%、平均粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10重量%、エチルセルロース15重量%、テルピネオール15重量%誘電体ペースト塗布した後、580℃で焼成して、厚み10μmの誘電体層を形成した。   On this substrate, 60% by weight of low melting point glass powder containing 78% by weight of bismuth oxide, 14% by weight of silicon oxide, 3% by weight of aluminum oxide, 3% by weight of zinc oxide and 2% by weight of boron oxide, average particle diameter A dielectric paste having a thickness of 10 μm was formed by applying 0.3% of titanium oxide powder 10% by weight, 15% by weight of ethyl cellulose and 15% by weight of terpineol and then baking at 580 ° C.

隔壁形成用の感光性ペーストは以下の組成のものを用いた。
ガラス粉末:Bi/SiO/Al/ZnO/B=82/5/3/5/3/2からなるガラス:平均粒径2μmのガラス粉末:67重量部
フィラー:平均粒径0.2μmの酸化チタン:3重量部
ポリマー:”サイクロマー”P(ACA250、ダイセル化学工業社製):10重量部
有機溶剤(1):ベンジルアルコール:4重量部
有機溶剤(2):ブチルカルビトールアセテート:3重量部
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:8重量部
光重合開始剤:ベンゾフェノン:3重量部
酸化防止剤:1,6−ヘキサンジオール−ビス[(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]:1重量部
有機染料:ベージックブルー26:0.01重量部
チキソトロピー付与剤:N,N’−12−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン:0.5重量部
界面活性剤:ポリオキシエチレンセチルエーテル:0.49重量部。
The photosensitive paste for partition formation used the following composition.
Glass powder: Bi 2 O 3 / SiO 2 / Al 2 O 3 / ZnO / B 2 O 3 = 82/5/3/5/3/2 glass: glass powder with an average particle diameter of 2 μm: 67 parts by weight filler : Titanium oxide having an average particle size of 0.2 μm: 3 parts by weight Polymer: “Cyclomer” P (ACA250, manufactured by Daicel Chemical Industries): 10 parts by weight organic solvent (1): benzyl alcohol: 4 parts by weight organic solvent (2 ): Butyl carbitol acetate: 3 parts by weight Monomer: Dipentaerythritol hexaacrylate: 8 parts by weight Photopolymerization initiator: Benzophenone: 3 parts by weight Antioxidant: 1,6-hexanediol-bis [(3,5-di -T-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate]: 1 part by weight Organic dye: Basic Blue 26: 0.01 part by weight thixotropic agent: N, '12-hydroxystearic acid butylene diamine: 0.5 parts by weight Surfactant: Polyoxyethylene cetyl ether: 0.49 parts by weight.

上記ペーストをダイコーターを用いて280μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、最外縁のダミー隔壁と補助隔壁、ダミー補助隔壁の露光を実施した。さらに、上記ペーストをダイコーターを用いて50μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、30分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、最外縁のダミー隔壁以外のダミー隔壁と隔壁の露光を実施した。     The paste was applied to a thickness of 280 μm using a die coater, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 40 minutes to form a coating film. The formed coating film was exposed to the outermost dummy partition wall, auxiliary partition wall, and dummy auxiliary partition wall with a gap of 150 μm from a predetermined photomask. Further, the paste was applied to a thickness of 50 μm using a die coater, and then dried at 100 ° C. for 30 minutes in a clean oven to form a coating film. A gap between the formed coating film and a predetermined photomask was set to 150 μm, and exposure of dummy partition walls and partition walls other than the outermost dummy partition walls was performed.

実施例2
実施例1で使用したペーストをダイコーターを用いて170μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、ダミー隔壁のうち表示領域から遠い最も外側の1本と補助隔壁、ダミー補助隔壁の露光を実施した。さらに、上記ペーストをダイコーターを用いて170μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、30分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、ダミー隔壁のうち表示領域から遠い最も外側の1本以外と隔壁の露光を実施した。
Example 2
The paste used in Example 1 was applied to a thickness of 170 μm using a die coater, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 40 minutes to form a coating film. A gap with a predetermined photomask was set to 150 μm with respect to the formed coating film, and the outermost one of the dummy partitions far from the display area, the auxiliary partition, and the dummy auxiliary partition were exposed. Further, the paste was applied to a thickness of 170 μm using a die coater, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 30 minutes to form a coating film. A gap with a predetermined photomask was set to 150 μm on the formed coating film, and the partition walls were exposed to the dummy partition walls other than the outermost one far from the display area.

比較例1
上記ペーストをダイコーターを用いて330μmの厚みに塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、隔壁、ダミー隔壁、補助隔壁、ダミー補助隔壁の露光を実施した。
Comparative Example 1
The paste was applied to a thickness of 330 μm using a die coater, and then dried at 100 ° C. for 40 minutes in a clean oven to form a coating film. The formed coating film was exposed to a partition, a dummy partition, an auxiliary partition, and a dummy auxiliary partition with a gap of 150 μm from a predetermined photomask.

上記のようにして形成した露光済み基板を0.5重量%のエタノールアミン水溶液で現像し、隔壁パターンを形成した。パターン形成終了済み基板を560℃で15分間焼成を行った。   The exposed substrate formed as described above was developed with a 0.5 wt% ethanolamine aqueous solution to form a partition pattern. The substrate on which pattern formation was completed was baked at 560 ° C. for 15 minutes.

形成された隔壁の高さをレーザー変位計(KEYENCE社製LT8010)を用いて測定した。隔壁と補助隔壁とが交わる部分を隔壁交点とすると、2つの隔壁交点に挟まれた隔壁の中心点の高さを隔壁高さ、2つの隔壁交点に挟まれた補助隔壁の中心点の高さを補助隔壁高さとした。同様にダミー隔壁とダミー補助隔壁とが交わる部分をダミー隔壁交点とすると、2つのダミー隔壁交点に挟まれたダミー隔壁の中心点の高さをダミー隔壁高さ、2つのダミー隔壁交点に挟まれたダミー補助隔壁の中心点の高さをダミー補助隔壁高さとした。 The height of the formed partition was measured using a laser displacement meter (LT8010 manufactured by KEYENCE). When the intersection of the partition wall and the auxiliary partition wall is defined as the partition wall intersection point, the height of the center point of the partition wall sandwiched between the two partition wall intersection points is the height of the partition wall, and the height of the center point of the auxiliary partition wall sandwiched between the two partition wall intersection points Is the height of the auxiliary partition wall. Similarly, when the portion where the dummy bulkhead and the dummy auxiliary bulkhead intersect is the dummy bulkhead intersection, the height of the center of the dummy bulkhead sandwiched between the two dummy bulkhead intersections is sandwiched between the dummy bulkhead height and the two dummy bulkhead intersections. The height of the center point of the dummy auxiliary bulkhead was defined as the dummy auxiliary bulkhead height.

形成された隔壁に各色蛍光体ペーストをスクリーン印刷法を用いて塗布、焼成(500℃、30分)して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。   Each color phosphor paste was applied to the formed barrier ribs using a screen printing method and baked (500 ° C., 30 minutes) to form phosphor layers on the side and bottom portions of the barrier ribs.

次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、背面板と同じガラス基板上に、ITOをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって厚み0.1μm、線幅200μmの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み5μmのバス電極を形成した。電極はピッチ375μm、線幅100μmのものを作製した。   Next, the front plate was produced by the following steps. First, ITO was formed on the same glass substrate as the back plate by sputtering, and then a resist was applied thereon, and a transparent electrode having a thickness of 0.1 μm and a line width of 200 μm was formed by exposure / development processing and etching processing. Further, a bus electrode having a thickness of 5 μm after firing was formed by photolithography using a photosensitive silver paste made of black silver powder. Electrodes with a pitch of 375 μm and a line width of 100 μm were produced.

次に、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラスの粉末を重量70%、エチルセルロース20重量%、テルピネオール10重量%を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように50μmの厚みで塗布した後に、570℃15分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。   Next, a glass paste obtained by kneading 70% by weight of a low melting glass powder containing 75% by weight of lead oxide, 20% by weight of ethyl cellulose, and 10% by weight of terpineol is screen-printed to form a bus electrode in the display portion. After coating with a thickness of 50 μm so as to be covered, firing was performed at 570 ° C. for 15 minutes to form a front dielectric.

誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚み0.5μmの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。   A front plate was produced by forming a 0.5 μm thick magnesium oxide layer as a protective film by electron beam evaporation on the substrate on which the dielectric was formed.

得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイ(PDP)を作製した。このパネルに電圧を印加して表示を観察し、パネル端部の誤放電の有無を確認した。   The obtained front glass substrate was bonded and sealed to the rear glass substrate, and then a discharge gas was sealed, and a driving circuit was joined to produce a plasma display (PDP). A voltage was applied to this panel and the display was observed to confirm the presence or absence of erroneous discharge at the edge of the panel.

表1に実施例1〜2、比較例1の各隔壁高さ、パネル端部誤放電評価結果を示す。
実施例1〜2で得られた背面板は、パネル端部の誤放電がなく表示特性が良好であった。比較例1については、パネル端部で誤放電が発生し、目標とするPDPの性能が得られなかった。
Table 1 shows the height of each partition wall of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, and the panel edge erroneous discharge evaluation results.
The back plates obtained in Examples 1 and 2 were free from erroneous discharge at the end of the panel and had good display characteristics. For Comparative Example 1, erroneous discharge occurred at the edge of the panel, and the target PDP performance was not obtained.

ここで、表1に記載の高さは以下のとおりである。
最外縁の隔壁高さ:隔壁のうち表示領域内で最も外側に存在する1本を最外縁の隔壁とし、最外縁の隔壁の高さを測定した値
隔壁高さ:隔壁高さを同一基板内で最外縁の隔壁を含まない35点で測定し、平均した値
補助隔壁高さ:補助隔壁高さを同一基板内で35点測定し、平均した値
最外縁のダミー隔壁高さ:ダミー隔壁のうち表示領域から遠い最も外側に存在する1本を最外縁のダミー隔壁とし、最外縁のダミー隔壁の高さを測定した値
ダミー隔壁高さ:ダミー隔壁のうち表示領域から遠い最も外側に存在する1本以外のダミー隔壁高さを5点測定し、平均した値
ダミー補助隔壁高さ:ダミー補助隔壁高さを同一基板内で5点測定し、平均した値
Here, the height described in Table 1 is as follows.
Outermost partition wall height: A value obtained by measuring the height of the outermost partition wall, with the outermost partition wall in the display region being one of the outermost partition walls. Measured at 35 points not including the outermost partition wall, and averaged value. Auxiliary partition wall height: 35 points were measured on the same substrate, and the average value was measured. One of the outermost dummy partitions that is farthest from the display area is the outermost dummy partition, and the height of the outermost dummy partition is measured. Dummy partition height: The dummy partition that is farthest from the display area Measured and averaged the height of five dummy bulkheads other than one, and averaged them Dummy auxiliary bulkhead height: measured and averaged five dummy auxiliary bulkhead heights on the same substrate

Figure 0005025907
Figure 0005025907

1枚の基板に形成された隔壁形状の模式図である。It is a schematic diagram of the partition shape formed in one board | substrate.

符号の説明Explanation of symbols

1:非表示領域
2:表示領域
3:隔壁
4:補助隔壁
5:ダミー隔壁
6:ダミー補助隔壁
7:最外縁のダミー隔壁
1: non-display area 2: display area 3: partition wall 4: auxiliary partition wall 5: dummy partition wall 6: dummy auxiliary partition wall 7: outermost dummy partition wall

Claims (1)

基板上の表示領域に、互いに平行に形成された複数本の隔壁を形成する工程と、前記隔壁と垂直に交差する複数本の補助隔壁を形成する工程とを有し、
前記表示領域外側の非表示領域に、前記隔壁と平行に複数本のダミー隔壁を形成する工程と、前記補助隔壁の延長上に前記ダミー隔壁と垂直に交差するように複数本のダミー補助隔壁と形成する工程とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記基板上に感光性ペーストを塗布し、該感光性ペーストの塗布膜を露光して表示領域に形成される前記補助隔壁、非表示領域の最外縁に形成される前記ダミー隔壁、および非表示領域に形成される前記ダミー補助隔壁に対応する部分の潜像を形成し、その上にさらに感光性ペーストを塗布して該感光性ペーストの塗布膜のうち少なくとも表示領域に形成される前記隔壁に対応する部分を露光し、現像した後、焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Forming a plurality of partition walls formed in parallel with each other in a display region on the substrate; and forming a plurality of auxiliary partition walls perpendicular to the partition walls,
Forming a plurality of dummy barrier ribs in parallel with the barrier ribs in a non-display area outside the display area; and a plurality of dummy auxiliary barrier ribs extending perpendicularly to the dummy barrier ribs on an extension of the auxiliary barrier ribs. A method of manufacturing a plasma display panel having a forming step ,
The auxiliary partition formed on the display area by applying a photosensitive paste on the substrate and exposing the coating film of the photosensitive paste, the dummy partition formed on the outermost edge of the non-display area, and the non-display area A latent image of a portion corresponding to the dummy auxiliary barrier ribs formed on the substrate is formed, and a photosensitive paste is further applied thereon to correspond to the barrier ribs formed in at least the display region of the coating film of the photosensitive paste. A method for producing a plasma display panel, comprising exposing a portion to be developed, developing the portion, and then firing the portion.
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