JP2012124053A - Back plate for plasma display, and plasma display panel - Google Patents

Back plate for plasma display, and plasma display panel Download PDF

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Haruhito Kodama
治仁 児玉
Tetsuo Uchida
哲夫 内田
Masanori Suzuki
雅教 鈴木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a back plate for a plasma display, capable of being manufactured in the wide condition of exposure and development margins, in manufacturing the back plate using a photosensitive barrier rib paste.SOLUTION: A back plate for a plasma display includes on a substrate: an address electrode having a substantially stripe shape; a dielectric layer covering the address electrode; and a barrier rib located on the dielectric layer and having a lattice shape or honeycomb shape. One end of the address electrode is located within a projection plane of a bottom surface of the barrier rib on the substrate.

Description

本発明は、プラズマディスプレイ用背面板およびプラズマディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to a back plate for a plasma display and a plasma display panel.

プラズマディスプレイパネル(以下PDPと称する)は液晶パネルに比べて高速表示が可能で、かつ視野角も広いことから、薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして注目されている。PDPは前面ガラス基板と背面ガラス基板との間に備えられた放電空間内で電極間にプラズマ放電を生じさせ、上記放電空間内に封入されているガスから発生した紫外線を放電空間内の蛍光体に当てることにより表示を行うものである。   Plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs) are attracting attention as displays that can be used in thin and large televisions because they can display at a higher speed and have a wider viewing angle than liquid crystal panels. The PDP causes plasma discharge between electrodes in a discharge space provided between a front glass substrate and a back glass substrate, and emits ultraviolet rays generated from the gas sealed in the discharge space to phosphors in the discharge space. The display is performed by hitting.

図4に、一般的なPDPの構成を模式的に示す。表示面となる前面板6側のガラス基板1には、対をなす複数のスキャン電極4とサステイン3電極が銀やクロム、アルミニウム、ニッケルなどの材料で形成されている。さらにスキャン電極4およびサステイン電極3を被覆してガラスを主成分とする誘電体層2が20〜50μm厚みで形成され、誘電体層2を被覆してMgO層5が形成されている。一方、背面板13側のガラス基板7には、複数のアドレス電極8がストライプ状に形成され、アドレス電極8を被覆してガラスを主成分とする誘電体層9が形成されている。誘電体層9上に放電セルを仕切るための隔壁が形成され、隔壁と誘電体層9で形成された放電空間内に蛍光体層が形成されてなる。ここで、隔壁は、放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一な放電空間を確保するために設けられるものであり、およそ幅20〜80μm、高さ20〜200μmの形状を有する。図5に示す例では、隔壁はアドレス電極に平行な主隔壁10および主隔壁10と交差する補助隔壁11からなる格子状の形状を有する。さらに隔壁と誘電体層9に囲まれた放電空間内に蛍光体層12が形成されている。フルカラー表示が可能なPDPにおいては、蛍光体層は、赤(R)緑(G)青(B)の各色に発光するものにより構成される。前面板6側のガラス基板1上のサステイン電極3と背面板13側のアドレス電極8が互いに直交するように、前面板6と背面板13が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されPDPが形成される。スキャン電極4とアドレス電極8の交点を中心として画素セルが形成されるので、PDPは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。   FIG. 4 schematically shows the configuration of a general PDP. A plurality of paired scan electrodes 4 and sustain 3 electrodes are formed of a material such as silver, chromium, aluminum, or nickel on the glass substrate 1 on the side of the front plate 6 serving as a display surface. Furthermore, the dielectric layer 2 mainly composed of glass is formed with a thickness of 20 to 50 μm by covering the scan electrode 4 and the sustain electrode 3, and the MgO layer 5 is formed by covering the dielectric layer 2. On the other hand, on the glass substrate 7 on the back plate 13 side, a plurality of address electrodes 8 are formed in stripes, and a dielectric layer 9 mainly composed of glass is formed covering the address electrodes 8. A partition for partitioning the discharge cells is formed on the dielectric layer 9, and a phosphor layer is formed in a discharge space formed by the partition and the dielectric layer 9. Here, the barrier ribs are provided in order to suppress the spread of the discharge to a certain area and perform display in a prescribed cell, and at the same time, ensure a uniform discharge space, and have a width of about 20 to 80 μm and a height of about 20 μm. It has a shape of 20 to 200 μm. In the example shown in FIG. 5, the barrier ribs have a lattice shape including a main barrier rib 10 parallel to the address electrode and an auxiliary barrier rib 11 intersecting with the main barrier rib 10. Further, a phosphor layer 12 is formed in a discharge space surrounded by the barrier ribs and the dielectric layer 9. In a PDP capable of full color display, the phosphor layer is configured to emit light of each color of red (R), green (G), and blue (B). The front plate 6 and the back plate 13 are sealed so that the sustain electrodes 3 on the glass substrate 1 on the front plate 6 side and the address electrodes 8 on the back plate 13 side are orthogonal to each other, and helium, A rare gas composed of neon, xenon, or the like is filled to form a PDP. Since the pixel cell is formed around the intersection of the scan electrode 4 and the address electrode 8, the PDP has a plurality of pixel cells and can display an image.

PDPの隔壁形状にはストライプ状、格子状、ハニカム状などのものがあるが、格子状、ハニカム状の隔壁形状が、画素間の放電の干渉を抑制できることや、輝度が向上することから好ましく採用される。   PDP partition wall shapes include stripes, grids, and honeycombs, but the grid and honeycomb partition walls are preferably used because they can suppress discharge interference between pixels and improve luminance. Is done.

このような隔壁の形成方法としては、ガラスペーストをスクリーン印刷で印刷・乾燥を多数回繰り返し、所定の高さの隔壁パターンを形成するスクリーン印刷法、フォトリソグラフィ技術により形成したサブトラティブマスク層を介してサンドブラストにより形成するサンドブラスト法などが知られている。   As a method of forming such partition walls, a glass paste is repeatedly printed and dried by screen printing many times, a screen printing method for forming a partition pattern having a predetermined height, and a subtractive mask layer formed by a photolithography technique. For example, a sand blasting method using sand blasting is known.

しかし、スクリーン印刷法やサンドブラスト法では、工程が非常に多く製造コスト面で課題があった。この問題を解決するため、感光性ガラスペーストを用いてフォトリソグラフィ技術により隔壁を形成する方法が提案されている。(例えば、特許文献1参照)。塗布・乾燥・露光・現像を各1回ずつ行うだけで格子状やハニカム状の交差部や三叉部を有するパターンの隔壁の形成が可能である。   However, the screen printing method and the sand blast method have many processes and have problems in terms of production cost. In order to solve this problem, a method has been proposed in which a barrier rib is formed by a photolithography technique using a photosensitive glass paste. (For example, refer to Patent Document 1). By performing coating, drying, exposure, and development once each, it is possible to form a partition wall having a pattern having grid-like or honeycomb-like intersections or tridents.

しかし、フォトリソグラフィ技術で隔壁を形成する際には以下に記載する問題点があった。すなわち、誘電体層表面の露光光に対する反射率が、アドレス電極が形成されている部分と形成されていない部分とで異なるため、図5に示すような従来の背面板、すなわちアドレス電極の一端が主隔壁の終端と一致しない場合、アドレス電極が形成されている部分とされていない部分では露光により現像液に不溶化または可溶化するパターンの幅に差ができてしまう。例えば、露光により現像液に不溶化するネガ型の感光性ガラスペーストを用いる場合、アドレス電極が形成されている部分の主隔壁が細く、アドレス電極が形成されていない部分の主隔壁が太くなりやすい傾向がある。隔壁の線幅が一様でなく細い部分と太い部分が混在すると、細い分では剥がれやすく、太い部分では十分に隔壁が除去されない埋まりが発生しやすくなる。特に剥がれに関しては図5に記載されるように主隔壁の上下端に補助隔壁の形成されていないエリアが存在する場合顕著になり、該エリアでの主隔壁の線幅を大きくすることで剥がれを抑制するなどの対策がとられるが、同一線上で線幅の異なる部分が混在すると、隔壁間の間隔の小さい高精細なパターンでは剥がれも埋まりも発生しない条件に対する露光、現像のマージンが少なくなり安定した生産が困難になるという問題があった。   However, when the partition walls are formed by the photolithography technique, there are the following problems. That is, since the reflectance with respect to the exposure light on the surface of the dielectric layer is different between the portion where the address electrode is formed and the portion where the address electrode is not formed, the conventional back plate as shown in FIG. If it does not coincide with the end of the main partition wall, the width of the pattern insolubilized or solubilized in the developing solution by exposure can be made in the portion where the address electrode is not formed and the portion where the address electrode is not formed. For example, when using a negative photosensitive glass paste that is insolubilized in the developer by exposure, the main partition in the part where the address electrode is formed tends to be thin, and the main partition in the part where the address electrode is not formed tends to be thick. There is. If the line width of the partition walls is not uniform and a thin part and a thick part are mixed, the thin part is easily peeled off, and the thick part is likely to be buried where the partition wall is not sufficiently removed. In particular, as shown in FIG. 5, the peeling becomes noticeable when there are areas where the auxiliary partition walls are not formed at the upper and lower ends of the main partition walls, and the peeling is achieved by increasing the line width of the main partition walls in the areas. Measures such as suppression are taken, but if parts with different line widths are mixed on the same line, exposure and development margins for conditions where peeling and embedding do not occur with high-definition patterns with small spacing between barrier ribs are reduced and stable. There was a problem that production was difficult.

特開平9−223462号公報JP-A-9-223462

本発明は、上記従来技術に鑑みて、隔壁の埋まりや剥がれが発生せず、安定して生産することが可能なプラズマディスプレイ用背面板およびプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a back plate for a plasma display and a plasma display panel that can be stably produced without causing the filling and peeling of the partition walls.

上述の課題を解決するため、本発明に係るプラズマディスプレイ用背面板は、基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に位置する格子状もしくはハニカム状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用背面板であって、該アドレス電極の一方の端部が該隔壁底面の基板上への投影面内に位置することを特徴とするものからなる。   In order to solve the above-mentioned problems, a plasma display back plate according to the present invention includes a substantially stripe-shaped address electrode on a substrate, a dielectric layer covering the address electrode, and a lattice-shaped or positioned on the dielectric layer. A back plate for a plasma display having a honeycomb-shaped partition wall, wherein one end of the address electrode is located in a projection plane onto the substrate of the partition wall bottom surface.

また、本発明に係る他のプラズマディスプレイ用背面板は、基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に位置する該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用背面板であって、該アドレス電極の一方の端部が該補助隔の壁基板上への投影面内に位置することを特徴とするものからなる。   In addition, another plasma display back plate according to the present invention includes a substantially striped address electrode on a substrate, a dielectric layer covering the address electrode, and a substantially parallel to the address electrode located on the dielectric layer. A back plate for a plasma display having a main partition and a grid-like partition composed of an auxiliary partition substantially orthogonal to the main partition, wherein one end of the address electrode is within the projection plane onto the wall substrate of the auxiliary partition It consists of what is characterized by being located.

さらに、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、基板上に行選択のための複数の対をなすサステイン電極およびスキャン電極、該サステイン電極および該スキャン電極を覆う誘電体層ならびに該誘電体層上に位置する保護層を有するプラズマディスプレイ用前面板と、上述のプラズマディスプレイ用背面板とを有することを特徴とするものからなる。   Further, the plasma display panel according to the present invention includes a plurality of pairs of sustain electrodes and scan electrodes for selecting a row on a substrate, a dielectric layer covering the sustain electrodes and the scan electrodes, and a position on the dielectric layer. A plasma display front plate having a protective layer, and the plasma display back plate described above.

本発明によれば、隔壁の埋まりや剥がれが発生せず、安定して生産することが可能なプラズマディスプレイ用背面板およびプラズマディスプレイパネルを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a plasma display back plate and a plasma display panel that can be stably produced without causing the barrier ribs to be buried or peeled off.

本発明のプラズマディスプレイ用背面板の一例に係る、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of the partition and address electrode in the vicinity of the main partition edge part based on an example of the back plate for plasma displays of this invention. 本発明のプラズマディスプレイ用背面板の他の例に係る、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of the partition and the address electrode in the vicinity of the edge part of the main partition which concerns on the other example of the back plate for plasma displays of this invention. プラズマディスプレイ用背面板全体の位置関係を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the positional relationship of the whole back plate for plasma displays. 一般的なプラズマディスプレイ用背面板の構成を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the structure of the back plate for general plasma displays. 従来のプラズマディスプレイ用背面板の、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。It is a top view which shows the positional relationship of the partition and the address electrode in the vicinity of the edge part of the main partition of the backplate for the conventional plasma display.

本発明のプラズマディスプレイ用背面板は、基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に位置する格子状もしくはハニカム状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用背面板であって、該アドレス電極の一方の端部が該隔壁底面の基板上への投影面内に位置することを特徴とする。   The back plate for a plasma display according to the present invention is for a plasma display having a substantially striped address electrode on a substrate, a dielectric layer covering the address electrode, and a grid-like or honeycomb-like partition located on the dielectric layer. The back plate is characterized in that one end of the address electrode is located in a projection plane onto the substrate of the bottom surface of the partition wall.

本発明のプラズマディスプレイ用背面板は、基板上に列選択のための略ストライプ状のアドレス電極およびこれを覆う誘電体層を有する。   The back plate for plasma display of the present invention has a substantially striped address electrode for selecting a column and a dielectric layer covering the same on a substrate.

本発明のプラズマディスプレイ用背面板は、さらに、誘電体層上に、画素を区切るための格子状もしくはハニカム状の隔壁を有する。格子状の隔壁の例としては、アドレス電極に略平行な主隔壁および主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁があげられる。   The back plate for plasma display of the present invention further has a grid-like or honeycomb-like partition for separating pixels on the dielectric layer. Examples of the lattice-shaped partition include a lattice-shaped partition composed of a main partition substantially parallel to the address electrode and an auxiliary partition substantially orthogonal to the main partition.

本発明のプラズマディスプレイ用背面板の特徴は、アドレス電極の一方の端部が該隔壁底面の基板上への投影面内に位置することである。上述の主隔壁と補助隔壁からなる格子状の隔壁を有する場合は、アドレス電極の一方の端部が補助隔壁の基板上への投影面内に位置することを特徴とする。   A feature of the back plate for plasma display of the present invention is that one end portion of the address electrode is located in a projection plane onto the substrate of the bottom surface of the partition wall. In the case where the above-described grid-shaped partition wall including the main partition wall and the auxiliary partition wall is provided, one end portion of the address electrode is located in a projection plane onto the substrate of the auxiliary partition wall.

図3は、プラズマディスプレイ用背面板全体の位置関係を示す概念図である。表示領域を含む形でアドレス電極形成領域15が設けられ、これを含む形で隔壁形成領域14が設けられている。アドレス電極は行方向の一方(図3においては下辺)に接続部を有し、他方(図3においては上辺)に向かって延びるストライプ状に設けられている。本発明は主隔壁端部領域Aにおける隔壁とアドレス電極の位置関係に特徴を有する。   FIG. 3 is a conceptual diagram showing the positional relationship of the entire back plate for plasma display. An address electrode formation region 15 is provided so as to include the display region, and a partition wall formation region 14 is provided so as to include this. The address electrode has a connection portion on one side in the row direction (lower side in FIG. 3) and is provided in a stripe shape extending toward the other side (upper side in FIG. 3). The present invention is characterized by the positional relationship between the partition walls and the address electrodes in the main partition wall end region A.

図5は、従来のプラズマディスプレイ用背面板の、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。従来のプラズマディスプレイ用背面板においては、アドレス電極の一方の端部が隔壁底面の基板上への投影面内に位置しないため、主隔壁10のうち、アドレス電極8が設けられている領域Bに位置する部分(アドレス電極8の端部よりも下側に位置する部分)と、主隔壁10のうち、アドレス電極8が設けられていない領域Cに位置する部分(アドレス電極8の端部よりも上側に位置する部分)とでは、隔壁形成のための露光を行う際に、下部から反射される露光光の強度が異なるため、上述のように隔壁の剥がれや埋まり、それらに起因するクロストークの発生という問題があった。   FIG. 5 is a plan view showing the positional relationship between the partition walls and address electrodes in the vicinity of the main partition wall end portion of the conventional plasma display back plate. In the conventional back plate for a plasma display, one end of the address electrode is not located in the projection plane onto the substrate of the bottom surface of the partition wall. Therefore, in the main partition 10 in the region B where the address electrode 8 is provided. A portion (a portion located below the end of the address electrode 8) and a portion of the main partition 10 that is located in a region C where the address electrode 8 is not provided (more than the end of the address electrode 8) Since the intensity of the exposure light reflected from the lower part differs when the exposure for forming the barrier ribs is performed on the upper portion), the barrier ribs are peeled off or buried as described above, and crosstalk due to them is caused. There was a problem of occurrence.

それに対し、本発明のプラズマディスプレイ用背面板においては、アドレス電極の一方の端部が該隔壁底面の基板上への投影面内、アドレス電極に略平行な主隔壁および主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有する場合は補助隔壁の基板上への投影面内に位置するため、隔壁の途中で下部から反射される露光光の強度が変化することがないため、隔壁の剥がれや埋まり、それらに起因するクロストークの発生といった問題が解消される。   On the other hand, in the back plate for plasma display of the present invention, one end of the address electrode is in the projection surface onto the substrate of the partition wall, the main partition substantially parallel to the address electrode, and the auxiliary substantially orthogonal to the main partition. In the case of having a grid-like partition made up of partition walls, the auxiliary partition walls are located in the projection plane onto the substrate, so that the intensity of the exposure light reflected from the lower part of the partition walls does not change, and the partition walls are peeled off. And the problem of occurrence of crosstalk caused by them is solved.

図1は、本発明のプラズマディスプレイ用背面板の一例の、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。アドレス電極8の端部が、主隔壁10の端部付近に位置する補助隔壁11の基板上への投影面内に位置するため、主隔壁10の途中で主隔壁10の幅が変化することはなく、剥がれや埋まり、クロストークの発生といった問題が解消されるという、格別の効果を奏する。   FIG. 1 is a plan view showing the positional relationship between partition walls and address electrodes in the vicinity of the main partition wall end portions of an example of the back plate for plasma display of the present invention. Since the end of the address electrode 8 is located in the projection plane onto the substrate of the auxiliary partition 11 located near the end of the main partition 10, the width of the main partition 10 changes in the middle of the main partition 10. In addition, there is an extraordinary effect that problems such as peeling, embedding and occurrence of crosstalk are solved.

また、図2は本発明のプラズマディスプレイ用背面板の他の例の、主隔壁端部付近における隔壁とアドレス電極の位置関係を示す平面図である。アドレス電極8の端部が、主隔壁10の端部に位置する補助隔壁11の基板上への投影面内に位置するため、主隔壁10の途中で主隔壁10の幅が変化することはなく、剥がれや埋まり、クロストークの発生といった問題が解消されるという、格別の効果を奏する。   FIG. 2 is a plan view showing the positional relationship between the barrier ribs and the address electrodes in the vicinity of the end portion of the main barrier rib in another example of the back plate for plasma display of the present invention. Since the end portion of the address electrode 8 is located in the projection plane onto the substrate of the auxiliary partition wall 11 positioned at the end portion of the main partition wall 10, the width of the main partition wall 10 does not change in the middle of the main partition wall 10. It has a special effect of eliminating problems such as peeling, embedding and occurrence of crosstalk.

以下に、本発明をPDPの作製手順に沿って説明する。   Below, this invention is demonstrated along the preparation procedure of PDP.

本発明のPDP用部材としての背面板に用いる基板としては、ソーダガラスの他にPDP用の高歪点ガラスである旭硝子社製の“PD200”や日本電気硝子社製の“PP8”等を用いることができる。   As the substrate used for the back plate as the PDP member of the present invention, “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., “PP8” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which is a high strain point glass for PDP, etc. is used in addition to soda glass. be able to.

ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を形成する。形成方法は、これら金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを介してパターン露光し、未硬化部分を現像工程で溶解除去し、400〜600℃の温度で焼成し、金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロム、アルミニウム、銅等の金属をスパッタリングした後に、レジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより、不要部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。電極厚みは1〜10μmが好ましく、2〜5μmがより好ましい。電極厚みが薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動の際に負担がかかり、厚すぎるとコスト的に不利な傾向にある。アドレス電極の幅は、好ましくは20〜200μmである。アドレス電極の幅が細すぎると断線、欠けなどの欠陥が生じやすくなり歩留まりが低下する、抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となるなどの問題が生じる。また、太すぎると隣り合う電極間の距離が小さくなるため、ショート欠陥が生じやすい傾向にある。さらに、アドレス電極は表示セル(画素の各RGBを形成する領域)に応じたピッチで形成される。通常のPDPでは100〜500μm、高精細PDPにおいては100〜250μmのピッチで形成するのが好ましい。   Address electrodes are formed of a metal such as silver, aluminum, chromium, or nickel on a glass substrate. Forming methods include a method of pattern printing a metal paste mainly composed of these metal powders and an organic binder by screen printing, or after applying a photosensitive metal paste using a photosensitive organic component as an organic binder, through a photomask. It is possible to use a photosensitive paste method in which pattern exposure is performed, uncured portions are dissolved and removed in a development step, and baking is performed at a temperature of 400 to 600 ° C. to form a metal pattern. Further, an etching method in which a metal such as chromium, aluminum, copper, or the like is sputtered on a glass substrate, a resist is applied, the resist is subjected to pattern exposure / development, and an unnecessary portion of the metal is removed by etching can be used. The electrode thickness is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 2 to 5 μm. If the electrode thickness is too thin, the resistance value becomes large, and a burden is imposed on accurate driving. If it is too thick, the cost tends to be disadvantageous. The width of the address electrode is preferably 20 to 200 μm. If the width of the address electrode is too thin, defects such as disconnection and chipping are likely to occur, resulting in a decrease in yield, a high resistance value, and difficulty in accurate driving. Moreover, since the distance between adjacent electrodes will become small when too thick, it exists in the tendency for a short defect to produce easily. Further, the address electrodes are formed at a pitch corresponding to the display cell (region where each RGB of the pixel is formed). The pitch is preferably 100 to 500 μm for a normal PDP and 100 to 250 μm for a high definition PDP.

アドレス電極には駆動回路の接続部を両端に有するものと一端のみに有するものがあるが、本発明は図2に示すように、一端のみに接続部を有するものに関する。   The address electrode includes one having a connection part of a drive circuit at both ends and one having only one end, but the present invention relates to one having a connection part only at one end as shown in FIG.

次いで誘電体層を形成する。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストをアドレス電極のパターン上に塗布し、400〜600℃で焼成することにより形成できる。誘電体層の厚みは好ましくは3〜30μm、より好ましくは3〜20μmである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストでアドレス電極を覆う形で塗布した後に、400〜600℃で焼成することにより形成できる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有し、これらを合計で10〜80重量%含有するガラス粉末を好ましく用いることができる。該配合物を10重量%以上とすることで、600℃以下での焼成が容易になり、80重量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。   Next, a dielectric layer is formed. The dielectric layer can be formed by applying a glass paste mainly composed of glass powder and an organic binder on the pattern of the address electrode and firing at 400 to 600 ° C. The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 30 μm, more preferably 3 to 20 μm. If the thickness of the dielectric layer is too thin, pinholes tend to occur frequently, and if it is too thick, the discharge voltage tends to be high and the power consumption tends to increase. The dielectric layer can be formed by applying a glass paste containing glass powder and an organic binder as main components so as to cover the address electrodes, and then baking at 400 to 600 ° C. As the glass paste used for the dielectric layer, glass powder containing at least one of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide and phosphorus oxide and containing 10 to 80% by weight in total can be preferably used. By making this blend 10% by weight or more, firing at 600 ° C. or less becomes easy, and by making it 80% by weight or less, crystallization is prevented and a decrease in transmittance is prevented.

誘電体層上に、放電セルを仕切るための隔壁を形成する。隔壁の高さは、80μm〜200μmが適している。80μm以上とすることで蛍光体とスキャン電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、200μm以下とすることで、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。隔壁のピッチ(P)は、100μm≦P≦500μmのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ(P)が、100μm≦P≦300μmである。100μm以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、500μm以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。300μm以下にすることにより、HDTV(ハイビジョン)レベルの美しい映像を表示することができる。線幅(L)は、半値幅で10μm≦L≦50μmであることが好ましい。10μm以上とすることで強度を保ち、前面板と背面板を封着する際に破損が生じるのを防ぐことができる。また、50μm以下とすることで蛍光体の形成面積を大きくとることができ高い輝度を得ることができる。   A partition for partitioning the discharge cell is formed on the dielectric layer. The height of the partition wall is suitably 80 μm to 200 μm. By setting the thickness to 80 μm or more, the phosphor and the scan electrode can be prevented from being too close to each other, and the phosphor can be prevented from being deteriorated by discharge. Further, by setting the thickness to 200 μm or less, the distance between the discharge at the scan electrode and the phosphor can be reduced, and sufficient luminance can be obtained. The partition pitch (P) is often 100 μm ≦ P ≦ 500 μm. In the high-definition plasma display, the partition pitch (P) is 100 μm ≦ P ≦ 300 μm. By setting the thickness to 100 μm or more, the discharge space can be widened and sufficient luminance can be obtained, and by setting the thickness to 500 μm or less, a fine image with fine pixels can be displayed. By setting the thickness to 300 μm or less, it is possible to display a beautiful video of HDTV (high definition) level. The line width (L) is preferably 10 μm ≦ L ≦ 50 μm in half width. By setting the thickness to 10 μm or more, strength can be maintained, and damage can be prevented from occurring when the front plate and the back plate are sealed. Further, when the thickness is 50 μm or less, the formation area of the phosphor can be increased and high luminance can be obtained.

隔壁は、好ましくは無機微粒子と感光性成分を含む有機成分からなる感光性ペーストを用いたフォトリソグラフィ法によりパターンを形成し、焼成することによって形成することができる。   The partition walls can be formed by forming a pattern by a photolithography method using a photosensitive paste made of an organic component containing inorganic fine particles and a photosensitive component, and firing the pattern.

感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。   As the inorganic fine particles of the photosensitive paste, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like can be used. In particular, glass or ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component is preferable.

無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径(D50)が、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは、1〜5μmである。D50を10μm以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、1μm以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積0.2〜3m/gのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において、特に好ましい。 The particle diameter of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced, but the volume average particle diameter (D50) is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 1 to 5 μm. By setting D50 to 10 μm or less, it is possible to prevent surface irregularities from occurring. Moreover, the viscosity adjustment of a paste can be made easy by setting it as 1 micrometer or more. Further, it is particularly preferable in the pattern formation to use glass fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

隔壁は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が350℃〜600℃のガラス微粒子を60重量%以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。また、熱軟化温度が600℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、40重量%以下が好ましい。   Since the partition walls are preferably patterned on a glass substrate having a low heat softening point, it is preferable to use inorganic particles containing 60% by weight or more of glass particles having a heat softening temperature of 350 ° C. to 600 ° C. as the inorganic particles. Further, by adding glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or higher, the shrinkage ratio during firing can be suppressed, but the amount is preferably 40% by weight or less.

用いるガラス粉末としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が50×10−7〜90×10−7、更には、60×10−7〜90×10−7のガラス微粒子を用いることが好ましい。 As a glass powder to be used, a glass having a linear expansion coefficient of 50 × 10 −7 to 90 × 10 −7 , or 60 × 10 −7 to 90 × 10 −7 in order to prevent warping of the glass substrate during firing. It is preferable to use fine particles.

無機微粒子を形成する素材としては、ケイ素および/またはホウ素の酸化物を含有したガラス材料が好ましく用いられる。   As a material for forming the inorganic fine particles, a glass material containing an oxide of silicon and / or boron is preferably used.

さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50重量%含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを5〜50重量%含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。   Furthermore, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by weight, a glass paste having temperature characteristics suitable for patterning on a glass substrate can be obtained. it can. In particular, when glass fine particles containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide are used, advantages such as a long pot life of the paste can be obtained.

また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも1種類を3〜20重量%含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、ペーストの安定性を向上させるためには20重量%以下、好ましくは、15重量%以下にすることが好ましい。また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。   Moreover, you may use the glass fine particle which contains 3-20 weight% of at least 1 sort (s) among lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide. The addition amount of the alkali metal oxide is 20% by weight or less, preferably 15% by weight or less in order to improve the stability of the paste. In addition, if glass fine particles containing both metal oxides such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, with a lower alkali content, The thermal softening temperature and linear expansion coefficient can be easily controlled.

感光性成分を含む有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも1種類から選ばれた感光性成分を含有することが好ましく、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加する。   The organic component including the photosensitive component preferably contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and, if necessary, photopolymerization. An initiator, a light absorber, a sensitizer, an organic solvent, a sensitization aid, and a polymerization inhibitor are added.

感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは1種または2種以上使用することができる。(メタ)アクリレート化合物としては、化学式(1)、(2)、(3)、(4)で示されるアルキル基を有するアクリル化合物またはメタクリル化合物が好ましく用いられる。   The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, allyl compounds, and the like. be able to. These can be used alone or in combination of two or more. As the (meth) acrylate compound, an acrylic compound or a methacrylic compound having an alkyl group represented by the chemical formulas (1), (2), (3), and (4) is preferably used.

CH=CRCOO−R (1)
CH=CRCOO−R−OCOCHR=CH (2)
CH=CRCOO−R−OCO−R−COO−R−OCOCHR=CH (3)
(CH=CRCOO−(CHCHRO)−R (4)
CH 2 = CR 3 COO-R 4 (1)
CH 2 = CR 3 COO-R 4 -OCOCHR 1 = CH 2 (2)
CH 2 = CR 3 COO-R 5 -OCO-R 6 -COO-R 5 -OCOCHR 3 = CH 2 (3)
(CH 2 = CR 3 COO- ( CH 2 CHR 6 O) m) n -R 7 (4)

式(1)〜(4)において、それぞれRおよびRは水素またはメチル基またはメチレン基、Rは炭素数1〜20のアルキル基またはアルキレン基、Rは炭素数3以上のヒドロキシアルキレン基、Rは炭素数1〜20のアルキル基、アリール基、アラルキル基、mは0〜30の整数、nは3〜6の整数である。ただし、ここで用いるモノマーはこれらに限定されるものではない。 In the formulas (1) to (4), R 3 and R 6 are each hydrogen, a methyl group or a methylene group, R 4 is an alkyl group or alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, and R 5 is a hydroxyalkylene having 3 or more carbon atoms. Group, R 7 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group, an aralkyl group, m is an integer of 0 to 30, and n is an integer of 3 to 6. However, the monomer used here is not limited to these.

感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、例えば(メタ)アクリル酸または(メタ)アクリル酸アルキル類を単独または共重合させたものが好ましく、ペーストに好ましい特性を与えるように適宜に選択することができる。具体的には、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリメタクリル酸プロピル、ポリメタクリル酸ブチル、ポリメタクリル酸ヘキシルなどの単独重合体やこれらの重合体を構成するモノマーの組合せで得られる共重合体などが好ましい。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。   As the photosensitive oligomer and photosensitive polymer, for example, those obtained by homo- or copolymerizing (meth) acrylic acid or alkyl (meth) acrylates are preferable, and can be appropriately selected so as to give preferable properties to the paste. . Specifically, polyacrylic acid, polymethacrylic acid, polymethyl acrylate, polyethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polyethyl methacrylate, polypropyl methacrylate, polybutyl methacrylate, polyhexyl methacrylate, etc. alone A polymer and a copolymer obtained by a combination of monomers constituting these polymers are preferable. By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid with a polymer or oligomer, the developability after exposure can be improved.

また、感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素2重結合を有する化合物のうちの少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。   Moreover, as a photosensitive oligomer and a photosensitive polymer, the oligomer and polymer obtained by superposing | polymerizing at least 1 type of the compound which has a carbon-carbon double bond can be used.

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、O−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは0.05〜10重量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜5重量%の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。   Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4- Examples include benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、0.05〜5重量%が好ましく、より好ましくは、0.05〜1重量%である。添加量が少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。   It is also effective to add a light absorber. By adding a compound having a high absorption effect of ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. As the light absorber, those composed of organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes are used. Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, and the like can be used. Since organic dye does not remain in the insulating film after baking, it is preferable because the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferable. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by weight, and more preferably 0.05 to 1% by weight. When the addition amount is too small, the effect of adding the light absorber tends to decrease, and when it is too large, the insulating film characteristics after firing tend to decrease.

増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。   A sensitizer is added in order to improve sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, and the like. Is mentioned. One or more of these can be used.

有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, and γ-butyllactone. , N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and one or more of these An organic solvent mixture is used.

感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。   The photosensitive paste is usually prepared by mixing the above-mentioned inorganic fine particles and organic components so as to have a predetermined composition, and then uniformly mixing and dispersing them with a three roller or kneader.

次に、本発明における隔壁の形成方法について説明する。本発明における隔壁形成方法については、あらゆる形状の隔壁パターンについて有効であるが、特に三叉部または交差部を有する隔壁パターン形成に有効であり、その形成方法について記載する。   Next, the formation method of the partition wall in the present invention will be described. The barrier rib forming method in the present invention is effective for barrier rib patterns of all shapes, but is particularly effective for the barrier rib pattern formation having a trident portion or an intersecting portion, and the forming method will be described.

まず、電極が形成された基板上もしくは誘電体層上に感光性ペーストを塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイレクトコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度などを選ぶことによって調整できる。なかでも精度よく、厚膜塗布が可能なダイレクトコーターを用いることが好ましい。   First, a photosensitive paste is applied on a substrate on which an electrode is formed or a dielectric layer. As a coating method, a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a direct coater, a blade coater, or the like can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, screen mesh, paste viscosity, and the like. Among these, it is preferable to use a direct coater that can be applied with high accuracy and a thick film.

感光性ペーストを塗布した後、通風オーブン、ホットプレート、IR炉などを用いて乾燥し、感光性ペーストの塗布膜を形成する。   After the photosensitive paste is applied, it is dried using a ventilating oven, a hot plate, an IR furnace, or the like to form a coating film of the photosensitive paste.

続いて、露光、現像により、所望のパターンを形成する。まず、露光装置を用いて露光を行う。通常のフォトリソグラフィ法で行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する。この際使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/cmの出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間露光を行う。 Subsequently, a desired pattern is formed by exposure and development. First, exposure is performed using an exposure apparatus. Mask exposure is performed using a photomask, as is done by ordinary photolithography. Examples of the active light source used at this time include visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, and laser light. Among these, ultraviolet rays are most preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a halogen lamp, or a germicidal lamp can be used. Among these, an ultrahigh pressure mercury lamp is suitable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

この際、用いるフォトマスクパターン、フォトマスクの線幅により、形成される隔壁パターン形状、および隔壁の幅が決定する。ここで、フォトマスクの線幅とは、スリット部分、すなわち光が透過する部分の線幅を表す。例えば、ストライプ形状の隔壁を形成する場合は、アドレス電極と平行方向にストライプパターンを有するフォトマスクで露光を行い、格子状のパターンを形成する場合は、アドレス電極と平行方向にストライプパターンを有するフォトマスクと垂直方向にストライプパターンを有するフォトマスクを使用するか、格子状パターンを有するフォトマスクで露光を行う。   At this time, the shape of the partition wall pattern to be formed and the width of the partition wall are determined by the photomask pattern to be used and the line width of the photomask. Here, the line width of the photomask represents the line width of the slit portion, that is, the portion through which light is transmitted. For example, when forming a stripe-shaped partition wall, exposure is performed with a photomask having a stripe pattern parallel to the address electrode, and when forming a lattice-like pattern, a photo having a stripe pattern parallel to the address electrode is formed. A photomask having a stripe pattern in the direction perpendicular to the mask is used, or exposure is performed with a photomask having a lattice pattern.

次に現像工程について説明する。露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。   Next, the development process will be described. Development is performed using the difference in solubility between the exposed portion and the unexposed portion in the developer. Development can be performed by a dipping method, a spray method, a brush method, or the like.

現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向にある。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。   As the developer, a solution in which an organic component to be dissolved in the photosensitive paste can be dissolved is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, it can be developed with an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium carbonate aqueous solution, calcium hydroxide aqueous solution or the like can be used. However, it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution because an alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion tends not to be removed. If the alkali concentration is too high, the pattern portion tends to be peeled off or the insoluble portion tends to be corroded. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. in terms of process control.

このようにして形成した隔壁パターンについて、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行うと良い。   The partition wall pattern thus formed is fired in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a roller hearth-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is preferably 400 to 800 ° C. In the case where the partition wall is directly formed on the glass substrate, it is preferable to perform baking while maintaining the temperature at 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

次いで所定のアドレス電極と平行方向に形成された主隔壁間に、R(赤)G(緑)B(青)各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。   Next, phosphor layers that emit light of each color of R (red), G (green), and B (blue) are formed between main barrier ribs formed in a direction parallel to predetermined address electrodes. The phosphor layer can be formed by applying a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent between predetermined main partition walls, drying, and firing if necessary.

蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗布する方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。   As a method for applying the phosphor paste between predetermined main partitions, a screen printing method for pattern printing using a screen printing plate, a dispenser method for pattern discharge of the phosphor paste from the tip of the discharge nozzle, and a phosphor paste The phosphor paste of each color can be applied to a predetermined place by the above-described photosensitive paste method using the organic component having photosensitivity as the organic binder, but the screen printing method and the dispenser method are the present invention for cost reasons. Then, it is preferably applied.

さらに、先の電極、および誘電体形成について、それぞれ焼成工程をすること記載したが、各電極ペースト、誘電体ペーストを変更することにより、電極/誘電体、誘電体/隔壁、電極/誘電体/隔壁を一括して焼成することも可能である。この場合にも本発明の効果は損なわれることはない。   Furthermore, although it has been described that the previous electrode and dielectric formation are each performed as a firing step, by changing each electrode paste and dielectric paste, electrodes / dielectrics, dielectrics / partitions, electrodes / dielectrics / It is also possible to fire the partition walls at once. Even in this case, the effect of the present invention is not impaired.

以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited to this.

42インチサイズのAC(交流)型プラズマディスプレイパネルの背面板を形成し、評価を実施した。形成方法を順に説明する。   A 42-inch AC (alternating current) type plasma display panel back plate was formed and evaluated. The forming method will be described in order.

[実施例1]
ガラス基板として、590×964×2.8mmの42インチサイズのPD−200(旭硝子(株)製)を使用した。この基板上に、書き込み電極として、平均粒径2.0μmの銀粉末を70重量部、酸化ビスマスを69重量%、酸化珪素24重量%、酸化アルミニウム4重量%、酸化硼素3重量%の組成からなる平均粒径2.2μmのガラス粉末2重量部、アクリル酸、メチルメタクリレート、スチレンの共重合ポリマー8重量部、トリメチロールプロパントリアクリレート7重量部、ベンゾフェノン3重量部、ブチルカルビトールアクリレート7重量部、ベンジルアルコール3重量部からなる感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィ法により、ピッチ160μm、線幅60μm、焼成後厚み3μmのストライプ状電極を形成した。
[Example 1]
As a glass substrate, PD-200 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) having a size of 590 × 964 × 2.8 mm and 42 inches was used. On this substrate, as a writing electrode, a composition of 70 parts by weight of silver powder having an average particle diameter of 2.0 μm, 69% by weight of bismuth oxide, 24% by weight of silicon oxide, 4% by weight of aluminum oxide, and 3% by weight of boron oxide. 2 parts by weight of glass powder having an average particle size of 2.2 μm, 8 parts by weight of a copolymer of acrylic acid, methyl methacrylate and styrene, 7 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate, 3 parts by weight of benzophenone, 7 parts by weight of butyl carbitol acrylate A striped electrode having a pitch of 160 μm, a line width of 60 μm, and a thickness after firing of 3 μm was formed by photolithography using a photosensitive silver paste comprising 3 parts by weight of benzyl alcohol.

この基板に、酸化ビスマスを78重量%、酸化珪素14重量%、酸化アルミニウム3重量%、酸化亜鉛3重量%、酸化硼素2重量%を含有する低融点ガラスの粉末を60重量%、平均粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10重量%、エチルセルロース15重量%、テルピネオール15重量%誘電体ペースト塗布した後、580℃で焼成して、厚み10μmの誘電体層を形成した。   On this substrate, 60% by weight of low melting point glass powder containing 78% by weight of bismuth oxide, 14% by weight of silicon oxide, 3% by weight of aluminum oxide, 3% by weight of zinc oxide and 2% by weight of boron oxide, average particle diameter A dielectric paste having a thickness of 10 μm was formed by applying 0.3% of titanium oxide powder 10% by weight, 15% by weight of ethyl cellulose and 15% by weight of terpineol and then baking at 580 ° C.

隔壁形成用の感光性ペーストは以下の組成のものを用いた。   The photosensitive paste for partition formation used the following composition.

ガラス粉末:Bi/SiO/Al/ZnO/B=82/5/3/5/3/2からなるガラス:平均粒径2μmのガラス粉末:67重量部
フィラー:平均粒径0.2μmの酸化チタン:3重量部
ポリマー:”サイクロマー”P(ACA250、ダイセル化学工業社製):10重量部
有機溶剤(1):ベンジルアルコール:4重量部
有機溶剤(2):ブチルカルビトールアセテート:3重量部
モノマー:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート:8重量部
光重合開始剤:ベンゾフェノン:3重量部
酸化防止剤:1,6−ヘキサンジオール−ビス[(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]:1重量部
有機染料:ベージックブルー26:0.01重量部
チキソトロピー付与剤:N,N’−12−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン:0.5重量部
界面活性剤:ポリオキシエチレンセチルエーテル:0.49重量部。
Glass powder: Bi 2 O 3 / SiO 2 / Al 2 O 3 / ZnO / B 2 O 3 = 82/5/3/5/3/2 glass: glass powder with an average particle diameter of 2 μm: 67 parts by weight filler : Titanium oxide having an average particle size of 0.2 μm: 3 parts by weight Polymer: “Cyclomer” P (ACA250, manufactured by Daicel Chemical Industries): 10 parts by weight organic solvent (1): benzyl alcohol: 4 parts by weight organic solvent (2 ): Butyl carbitol acetate: 3 parts by weight Monomer: Dipentaerythritol hexaacrylate: 8 parts by weight Photopolymerization initiator: Benzophenone: 3 parts by weight Antioxidant: 1,6-hexanediol-bis [(3,5-di -T-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate]: 1 part by weight Organic dye: Basic Blue 26: 0.01 part by weight thixotropic agent: N, '12-hydroxystearic acid butylene diamine: 0.5 parts by weight Surfactant: Polyoxyethylene cetyl ether: 0.49 parts by weight.

上記ペーストをスリットダイコーターにて厚み260μmで塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い、該第一の感光性ペースト膜を形成した。これに対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、該第一の露光を実施した。次にこの露光膜上に上記ペーストをスリットダイコーターにて厚み37μmで塗布した後、クリーンオーブンにて100℃、40分の乾燥を行い、該第二の感光性ペースト膜を形成した。これに対し、所定のフォトマスクとのギャップを150μmとり、該第二の露光を実施した。   The paste was applied with a slit die coater to a thickness of 260 μm, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 40 minutes to form the first photosensitive paste film. On the other hand, the first exposure was performed with a gap of 150 μm from a predetermined photomask. Next, the paste was applied on the exposed film with a slit die coater to a thickness of 37 μm, and then dried in a clean oven at 100 ° C. for 40 minutes to form the second photosensitive paste film. On the other hand, the second exposure was performed with a gap of 150 μm from a predetermined photomask.

本実施例にて用いた該第一、該第二の露光に使用したフォトマスクの主隔壁のピッチは160μm、補助隔壁のピッチは480μmである。   The pitch of the main partition walls of the photomask used in the first and second exposures used in this example is 160 μm, and the pitch of the auxiliary partition walls is 480 μm.

上記のようにして形成した露光済み基板を5.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液で現像し、隔壁パターンを形成した。パターン形成終了済み基板を590℃で15分間焼成を行い線幅60μmの隔壁パターンを形成した。アドレス電極と隔壁は図1に示す位置関係であった。なお、主隔壁端部付近に位置する補助隔壁から外側の主隔壁の長さは7mmであった。   The exposed substrate formed as described above was developed with a 5.0 wt% aqueous sodium carbonate solution to form a partition pattern. The substrate after pattern formation was baked at 590 ° C. for 15 minutes to form a partition pattern having a line width of 60 μm. The address electrodes and the partition walls were in the positional relationship shown in FIG. The length of the main partition outside the auxiliary partition located near the end of the main partition was 7 mm.

本実施例の隔壁の露光条件(主隔壁端部マスク開口幅、露光量)及び電極、隔壁のパターンを表1に示す。この時得られた背面板端部形状を剥がれ及び埋まりの有無で評価した結果を表2に示す。   Table 1 shows the exposure conditions (main partition wall end mask opening width, exposure amount), and electrode and partition pattern of the partition wall of this example. Table 2 shows the results of evaluation of the back plate end shape obtained at this time based on the presence or absence of peeling and filling.

形成された隔壁に各色蛍光体ペーストをディスペンサー法にて塗布、焼成(500℃、30分)して隔壁の側面および底部に蛍光体層を形成した。   Each color phosphor paste was applied to the formed barrier ribs by a dispenser method and baked (500 ° C., 30 minutes) to form phosphor layers on the side and bottom portions of the barrier ribs.

次に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、背面板と同じガラス基板上に、ITOをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって厚み0.1μm、線幅200μmの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィ法により、焼成後厚み5μmのバス電極を形成した。電極はピッチ375μm、線幅100μmのものを作製した。   Next, the front plate was produced by the following steps. First, ITO was formed on the same glass substrate as the back plate by sputtering, and then a resist was applied thereon, and a transparent electrode having a thickness of 0.1 μm and a line width of 200 μm was formed by exposure / development processing and etching processing. Further, a bus electrode having a thickness of 5 μm after firing was formed by photolithography using a photosensitive silver paste made of black silver powder. Electrodes with a pitch of 375 μm and a line width of 100 μm were produced.

次に、酸化鉛を75重量%含有する低融点ガラスの粉末を重量70%、エチルセルロース20重量%、テルピネオール10重量%を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように50μmの厚みで塗布した後に、570℃15分間の焼成を行って前面板の誘電体を形成した。   Next, a glass paste obtained by kneading 70% by weight of a low melting glass powder containing 75% by weight of lead oxide, 20% by weight of ethyl cellulose, and 10% by weight of terpineol is screen-printed to form a bus electrode in the display portion. After coating to a thickness of 50 μm, baking was performed at 570 ° C. for 15 minutes to form a dielectric for the front plate.

誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚み0.5μmの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。   A front plate was produced by forming a 0.5 μm thick magnesium oxide layer as a protective film by electron beam evaporation on the substrate on which the dielectric was formed.

得られた前面ガラス基板を、前記の背面ガラス基板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイ(PDP)を作製した。
このパネルに電圧を印加して表示を観察し、表示特性評価としてクロストークの発生したものを×、クロストークの発生しなかったものを○とした。
The obtained front glass substrate was bonded and sealed to the rear glass substrate, and then a discharge gas was sealed, and a driving circuit was joined to produce a plasma display (PDP).
A voltage was applied to this panel and the display was observed. As an evaluation of display characteristics, “X” indicates that crosstalk occurred, and “◯” indicates that no crosstalk occurred.

表2にパネル点灯時のクロストーク評価を示す。隔壁端部の剥がれや埋まりの無い隔壁パターンが形成できた。また、PDPの表示特性も良好であった。   Table 2 shows the crosstalk evaluation when the panel is lit. A partition wall pattern without peeling or filling of the partition wall end could be formed. The display characteristics of the PDP were also good.

[実施例2〜4]
隔壁の露光条件(主隔壁端部マスク開口幅、露光量)が表1に示す条件であることを除いては実施例1と同じ条件にてプラズマディスプレイパネルを作成した。なお、アドレス電極と隔壁の位置関係は、実施例2、3については実施例1と同様に図1に示す位置関係とし、実施例4については図2に示す位置関係とした。その結果得られた背面板端部形状を剥がれ及び埋まりの有無で評価した結果と表示特性結果を表2に示す。隔壁端部の剥がれや埋まりの無い隔壁パターンが形成できた。また、PDPの表示特性も良好であった。
[Examples 2 to 4]
A plasma display panel was prepared under the same conditions as in Example 1 except that the exposure conditions for the barrier ribs (main barrier rib edge mask opening width, exposure amount) were the conditions shown in Table 1. Note that the positional relationship between the address electrodes and the partition walls is the positional relationship shown in FIG. 1 for Examples 2 and 3 as in Example 1, and the positional relationship shown in FIG. 2 for Example 4. Table 2 shows the results of evaluation of the end plate shape of the back plate obtained as a result of peeling and embedding and the display characteristics. A partition wall pattern without peeling or filling of the partition wall end could be formed. The display characteristics of the PDP were also good.

Figure 2012124053
Figure 2012124053

Figure 2012124053
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[比較例1、2]
隔壁の露光条件(主隔壁端部マスク開口幅、露光量)を表1に記載の通りとし、アドレス電極と隔壁の位置関係を図5に示す位置関係としたことを除いては実施例1と同じ条件にてプラズマディスプレイパネルを作成した。その結果得られた背面板端部形状を剥がれ及び埋まりの有無で評価した結果と表示特性結果を表2に示す。なお、主隔壁端部付近に位置する補助隔壁から外側の主隔壁の長さは7mm、主隔壁端部付近に位置する補助隔壁から外側のアドレス電極の長さは2mmであった。
[Comparative Examples 1 and 2]
The exposure conditions for the barrier ribs (main barrier rib edge mask opening width, exposure dose) are as shown in Table 1, and the positional relationship between the address electrodes and the barrier ribs is the positional relationship shown in FIG. A plasma display panel was created under the same conditions. Table 2 shows the results of evaluation of the end plate shape of the back plate obtained as a result of peeling and embedding and the display characteristics. The length of the main partition outside the auxiliary partition located near the end of the main partition was 7 mm, and the length of the address electrode outside the supplementary partition located near the end of the main partition was 2 mm.

また、比較例においては隔壁端部に剥がれまたは埋まりが発生し、その結果前面板と背面板の間に隙間が生じクロストークが発生してしまい、目標とするPDPの性能が得られなかった。   Further, in the comparative example, peeling or embedding occurred at the end of the partition wall. As a result, a gap was generated between the front plate and the back plate, and crosstalk was generated, so that the target PDP performance could not be obtained.

本発明に係るプラズマディスプレイ用背面板およびプラズマディスプレイパネルは、薄型・大型テレビ等に使用されるプラズマディスプレイパネルの製造に利用可能である。   The back plate for plasma display and the plasma display panel according to the present invention can be used for the production of a plasma display panel used for thin and large-sized televisions.

1 ガラス基板
2 誘電体層
3 サステイン電極
4 スキャン電極
5 MgO層
6 前面板
7 ガラス基板
8 アドレス電極
9 誘電体層
10 主隔壁
11 補助隔壁
12 蛍光体層
13 背面板
14 隔壁形成領域
15 アドレス電極形成領域
A 主隔壁端部領域
B アドレス電極が設けられている領域
C アドレス電極が設けられていない領域
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Dielectric layer 3 Sustain electrode 4 Scan electrode 5 MgO layer 6 Front plate 7 Glass substrate 8 Address electrode 9 Dielectric layer 10 Main partition 11 Auxiliary partition 12 Phosphor layer 13 Back plate 14 Partition formation area 15 Address electrode formation Area A Main partition wall end area B Area where address electrode is provided C Area where address electrode is not provided

Claims (3)

基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に位置する格子状もしくはハニカム状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用背面板であって、該アドレス電極の一方の端部が該隔壁底面の基板上への投影面内に位置することを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板。   A back plate for a plasma display having a substantially striped address electrode on a substrate, a dielectric layer covering the address electrode, and a grid-like or honeycomb-like partition located on the dielectric layer, 1. A back plate for a plasma display, wherein one end portion is located in a projection plane onto the substrate of the bottom surface of the partition wall. 基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層、ならびに該誘電体層上に位置する該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用背面板であって、該アドレス電極の一方の端部が該補助隔壁の基板上への投影面内に位置することを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板。   A lattice comprising a substantially stripe-shaped address electrode on a substrate, a dielectric layer covering the address electrode, a main partition substantially parallel to the address electrode located on the dielectric layer, and an auxiliary partition substantially orthogonal to the main partition A back plate for a plasma display having a partition wall, wherein one end of the address electrode is located in a projection plane onto the substrate of the auxiliary partition wall. 請求項1または2に記載のプラズマディスプレイ用背面板と、基板上に行選択のための複数の対をなすサステイン電極およびスキャン電極、該サステイン電極および該スキャン電極を覆う誘電体層ならびに該誘電体層上に位置する保護層を有するプラズマディスプレイ用前面板とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
The back plate for plasma display according to claim 1 or 2, a sustain electrode and a scan electrode which form a plurality of pairs for selecting a row on the substrate, a dielectric layer covering the sustain electrode and the scan electrode, and the dielectric A plasma display panel, comprising: a front panel for plasma display having a protective layer positioned on the layer.
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