JP4281689B2 - Plasma display panel member and plasma display panel using the same - Google Patents

Plasma display panel member and plasma display panel using the same Download PDF

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Description

本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造に用いられる部材に関する。   The present invention relates to a member used for manufacturing a plasma display panel.

プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称することがある)は、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、かつ大型化が容易であることから、事務機器および広報表示装置などの分野に浸透している。また、高品位テレビジョンの分野などでの進展が非常に期待されている。   Plasma display panels (hereinafter sometimes referred to as PDPs) are capable of high-speed display compared to liquid crystal panels and are easy to increase in size, so that they have penetrated into fields such as office equipment and public information display devices. ing. In addition, progress in the field of high-definition television is highly expected.

このような用途の拡大にともなって、繊細で多数の表示画素を有するカラーPDPが注目されている。PDPは、前面部材とアドレス電極を有した背面部材との間に設けられた放電空間内で対向する電極間にプラズマ放電を生じせしめ、上記放電空間内に封入されたガスから発生した紫外線が蛍光体に照射されて生じる発光を利用して表示を行うものが代表的である。代表的なPDPにおいては、前面部材は基板上に走査電極、維持電極、誘電体層を有し、背面部材は基板上にアドレス電極、誘電体層、隔壁、蛍光体を有している。PDPの駆動は走査電極に走査パルスが順次印加され、このタイミングに合わせて、アドレス電極に走査電極が対応する表示セルに、表示データに応じた走査パルスとは逆極性のデータパルスを印加して発光させ、維持電極に印加される維持パルスにより放電を維持する。このようなPDPにおいては、走査電極、維持電極と直交方向に配置されたアドレス電極に電圧を印加することによって放電を発生させる。   With such expansion of applications, a color PDP having a delicate and large number of display pixels has attracted attention. The PDP causes plasma discharge between electrodes facing each other in a discharge space provided between a front member and a back member having an address electrode, and ultraviolet rays generated from the gas enclosed in the discharge space are fluorescent. Typically, the display is performed by using light emission generated by irradiation of the body. In a typical PDP, the front member has a scan electrode, a sustain electrode, and a dielectric layer on a substrate, and the back member has an address electrode, a dielectric layer, a barrier rib, and a phosphor on the substrate. In driving the PDP, scan pulses are sequentially applied to the scan electrodes, and in accordance with this timing, a data pulse having a polarity opposite to the scan pulse corresponding to the display data is applied to the display cells corresponding to the scan electrodes corresponding to the address electrodes. Light is emitted, and the discharge is maintained by a sustain pulse applied to the sustain electrode. In such a PDP, a discharge is generated by applying a voltage to address electrodes arranged in a direction orthogonal to the scan electrodes and sustain electrodes.

近年特に家庭用において大型化の要請が強まっている。先述のとおりPDPは前面部材および背面部材を貼り合わせて放電空間をその内部に形成する必要があるが、これら部材に反りやねじれなどがある場合や貼り合わせ精度が悪いと、各表示セルの性状(空間の密閉度や電極間隙など)は不均一となって、とりわけ周縁部や角部において特性が低下する問題が発生する。そして大型のPDPであるほど顕著にその影響が表れる。また、高精細化の進展は電極間隙を狭く形成することを要求するが、走査電極と維持電極の配列間隔が狭まるにつれて、空間電荷が列方向に隣接する他のセルまで移動することによって誤放電や不灯が発生するという問題があった。   In recent years, there has been an increasing demand for larger size especially for home use. As described above, the PDP needs to form a discharge space inside by bonding the front member and the back member. If these members are warped or twisted, or if the bonding accuracy is poor, the properties of each display cell (Sealing degree of the space, electrode gap, etc.) become non-uniform, and there arises a problem that characteristics are deteriorated particularly at the peripheral edge and corner. The larger the PDP, the more pronounced the effect. In addition, the progress of high definition requires that the electrode gap be narrow, but as the array interval between the scan electrode and the sustain electrode is reduced, the space charge moves to other cells adjacent in the column direction, resulting in erroneous discharge. And there was a problem that unlit lights occurred.

かかるパネル特性低下の原因としては、隔壁を越えて電荷が移動することによる誤放電及び駆動電圧マージンが狭くなる点が指摘される。   As the cause of the deterioration of the panel characteristics, it is pointed out that the erroneous discharge and the drive voltage margin are narrowed due to the movement of the charges beyond the partition wall.

而して、このような誤放電や駆動電圧マージンの低下を防ぐには、特に大型のPDPにおいては、基材の平面性などの精度としても厳しい要求が存在し、また、貼り合わせ精度としても非常に高い水準が要求されていた。   Thus, in order to prevent such an erroneous discharge and a decrease in the driving voltage margin, there is a strict requirement for the accuracy of the base material, etc., particularly in a large-sized PDP, and the bonding accuracy is also high. A very high standard was required.

しかしながら、こうした非常に高い精度の材料を用いたり、あるいは各工程として高い水準での管理を要求することは、生産性に大きな影響を及ぼしていた。このため、少しでも自由度の高い、大型のPDPであっても表示品位が損われることがない技術が渇望されていた。   However, using such highly accurate materials, or requiring high-level control for each process has had a great impact on productivity. For this reason, there has been a demand for a technique that does not impair display quality even with a large PDP with a high degree of freedom.

こうした問題について、電荷移動に対しては隔壁を格子化する他に前面板に形成された走査電極、維持電極に対して背面板にアドレス電極および隔壁を傾斜した方向に沿って形成することにより電荷の移動を防ぐことが提案されている(特許文献1)。   To solve this problem, in addition to grid the barrier ribs, the scanning electrodes formed on the front plate and the address electrodes and barrier ribs are formed on the rear plate along the inclined direction with respect to the sustain electrodes. It has been proposed to prevent the movement of (Patent Document 1).

一方、アドレス電極の設計技術としては、書き込み放電時の各表示セルにおける放電バラツキによる表示品位の劣化を抑制するため一側面を入り口側として放電空間内部に入り込んだ複数のアドレス電極を箇所によって互いに異なる電極幅とすることが、知られている(特許文献2)。
特開2000−48727号公報 特開2003−308783号公報
On the other hand, as address electrode design technology, a plurality of address electrodes that enter the discharge space with one side face as the entrance side are different from each other in order to suppress deterioration of display quality due to discharge variation in each display cell during write discharge. It is known to use an electrode width (Patent Document 2).
JP 2000-48727 A JP 2003-308783 A

本発明は、従来のPDPにおける画面の大型化、高精細化に伴う誤放電や不灯を抑制し、大型であっても表示品位の高いPDPを提供できるプラズマディスプレイ用部材を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a member for a plasma display that can suppress erroneous discharge and non-lighting associated with an increase in screen size and resolution in a conventional PDP and can provide a high-quality PDP even when the screen is large. And

前記の課題を解決するため、本発明は、基板上に複数本のアドレス電極が実質的に平行に配設されたプラズマディスプレイ用部材であって、表示域のアドレス電極の配列方向両端部に位置するアドレス電極の幅が表示域中央部のアドレス電極の平均幅よりも大きく、かつ表示域のアドレス電極の配列方向中央部に位置するアドレス電極の長手方向両端部の幅が表示域中央部のアドレス電極の平均幅よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材であることを本旨とし、また、種々の好ましい態様を提案するものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a member for a plasma display in which a plurality of address electrodes disposed substantially in parallel with on board, the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area The width of the address electrodes positioned is larger than the average width of the address electrodes in the center of the display area, and the widths of both longitudinal ends of the address electrodes located in the center of the display area in the arrangement direction of the address electrodes are and main idea that it is a plasma display panel member, wherein the greater than the average width of the address electrodes, also proposes various preferred embodiments.

本発明によれば、電荷の移動を抑えて不要の放電を防止し、また、不灯を防止し、大型化や高精細化に対応した、表示品位の高いプラズマディスプレイパネルを得ることができる。   According to the present invention, it is possible to obtain a plasma display panel with high display quality that suppresses the movement of electric charges and prevents unnecessary discharge, prevents unlighting, and supports large size and high definition.

本発明のPDP用部材について以下具体的に説明する。本発明にかかるPDP用部材は基材の上に複数本のアドレス電極が設けられている。一般的なPDP用部材においては、このアドレス電極は誘電体層、隔壁層、蛍光体層と共に基材上に形成されて背面部材として構成されることが多い。従って、以下の説明においても背面部材として製造する場合を例にして説明する。   The PDP member of the present invention will be specifically described below. The member for PDP according to the present invention is provided with a plurality of address electrodes on a substrate. In a general PDP member, the address electrode is often formed on a substrate together with a dielectric layer, a partition wall layer, and a phosphor layer, and is configured as a back member. Therefore, in the following description, the case of manufacturing as a back member will be described as an example.

本発明のPDP用部材に用いる基板としては、一般的に耐熱硝子が使用され、例えば、ソーダガラスの他に旭硝子社製の“PD200”や日本電気硝子社製の“PP8”などが挙げられる。なお、材質は必ずしもガラスであることが必要である訳ではなく、基板としての要求特性(平坦性、熱特性や耐熱性など)を満たすことができれば、金属やセラミックスなど、材質としてはガラスに限定されるものではない。   As the substrate used for the member for PDP of the present invention, heat-resistant glass is generally used, and examples thereof include “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., “PP8” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. in addition to soda glass. Note that the material does not necessarily need to be glass. If the required characteristics (flatness, thermal characteristics, heat resistance, etc.) as a substrate can be satisfied, the material is limited to glass, such as metal or ceramics. Is not to be done.

アドレス電極は、基板上に、必要により他の層を設けた後、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によって所望のパターンに配設することで形成する。アドレス電極のパターンを形成する方法としては、上記の金属の粉末と感光性有機成分を含んだ感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに、400〜600℃に加熱・焼成して電極パターンを形成する感光性ペースト法を用いることが好ましい。また、他の方法としては金属粉末を含んだ金属ペーストをスクリーン印刷やオフセット印刷などの印刷法によってパターンを形成する方法や、例えばフィルム上に形成した電極のパターンを基板に転写する方法などが挙げられる。アドレス電極は、通常はストライプ状に形成され、各電極は実質的に平行に形成される。アドレス電極の幅は好ましくは20〜230μmであり、より好ましくは30〜200μmである。アドレス電極の幅が細すぎると抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、太すぎると隣合う電極間の距離が小さくなるため、ショート欠陥が生じやすい傾向にある。アドレス電極は表示セル(画素の各RGBを形成する領域)に応じたピッチで形成される。通常のPDPでは100〜500μm、高精細PDPにおいては100〜400μmのピッチで形成するのが好ましい。   The address electrode is formed by providing another layer on the substrate as necessary, and then disposing it in a desired pattern using a metal such as silver, aluminum, chromium, or nickel. The pattern of the address electrode is formed by applying a photosensitive metal paste containing the above metal powder and a photosensitive organic component, then pattern exposure using a photomask, and dissolving unnecessary portions in the development process. It is preferable to use a photosensitive paste method in which an electrode pattern is formed by removing and further heating and baking at 400 to 600 ° C. Other methods include a method of forming a metal paste containing metal powder by a printing method such as screen printing or offset printing, or a method of transferring an electrode pattern formed on a film to a substrate, for example. It is done. The address electrodes are usually formed in stripes, and the electrodes are formed substantially in parallel. The width of the address electrode is preferably 20 to 230 μm, more preferably 30 to 200 μm. If the width of the address electrode is too thin, the resistance value tends to be high and accurate driving tends to be difficult, and if it is too thick, the distance between adjacent electrodes tends to be small, so that a short defect tends to occur. The address electrodes are formed at a pitch corresponding to the display cell (region for forming each RGB of the pixel). A normal PDP is preferably formed at a pitch of 100 to 500 μm, and a high-definition PDP is preferably formed at a pitch of 100 to 400 μm.

示域内側部のアドレス電極の幅よりも表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅の方大きく構成することによって、誤点灯や不灯をある程度抑制することができる。ここで、表示域とは画面として利用する領域のことをいい、通常は放電が生じる領域である。表示域のアドレス電極の配列方向両端部とは前記表示域内におけるストライプ状に形成されたアドレス電極の両外側の数本ないし数十本が存在する領域を指す(図1における1A、1Bの領域)。この領域としては、広く確保されている方が誤点灯や不灯を抑制する効果が大きいので、かかる幅の大きいアドレス電極は、少なくとも表示域の両端から0.5cm以上の幅の領域に設けられ、該両端から3cmまでの範囲に設けられていることが好ましく、さらには該両端から5cmまでの範囲に設けられていることが好ましい。特には該両端から10cmまでの範囲に設けられることが好ましい。すなわち、最も好ましい場合においては本発明にかかるPDP用部材は表示域のアドレス電極の配列方向両端部を表示域の両端から10cmとしたときに下記に説明するような関係が充足されるよう構成されている。表示域内側部とは前記の表示域のアドレス電極の配列方向両端部以外の領域である(図1における1C、1Dの領域)。この態様においては、該表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅が表示域内側部のアドレス電極の幅よりも大きく構成されているが、これは各領域に存在する各々の電極の幅が上記の関係を有している(典型的には、表示域のアドレス電極の配列方向両端部における最小のアドレス電極幅が表示域内側部の最大のアドレス電極幅よりも大きい)ことが好ましいが、これら領域における電極の幅の平均として、上記の関係を有していることを意味する。すなわち、表示域内側部のアドレス電極の幅の平均をWa、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅をWbとしたとき、Wb>Waの関係にあり、好ましくは、Wb>1.02×Wa、より好ましくは、Wb>1.05×Wa、更に好ましくは、Wb>1.08×Waの関係を満たせばよい。上限としては特に制限はないが、余りに幅が広いと精細度に影響し、また、短絡の問題も生じるので、好ましくWb<1.4×Wa、更に好ましくWb<1.3×Wa程度である。また、好ましい態様においては、表示域のアドレス電極の配列方向両端部を両端からxcmとしたときの表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅の平均をWb(x)、その時の表示域内側部のアドレス電極の幅の平均をWa(x)としたとき、Wb(10)/Wa(10)>0.8×Wb(3)/Wa(3)であり、より好ましく、Wb(10)/Wa(10)>0.9×Wb(3)/Wa(3)である。なおここで、各アドレス電極において長手方向に幅の変化があるときは、電極面積を長さで除してその電極の幅は求められる。前面部材および背面部材の貼り合わせは両端部において歪みを残し易く、また、歪みも両端において最も影響が大きいので、該領域のアドレス電極の幅を大きくすることで、電荷の移動は抑制され、また、隔壁との重複を避けることができ、両端部における電荷の移動による誤放電や不灯の発生が抑制される。また、アドレス電極幅の大きい領域を幅5〜10cmとることにより消費電力を抑制することができる。 By than the width of the table示域inner portion of the address electrode is increased structure towards the width of the address electrodes in the array direction both end portions of the address electrodes of the display area, the erroneous lighting or non-lighting can be suppressed to some extent. Here, the display area refers to an area used as a screen, and is usually an area where discharge occurs. 1A in sequence with the direction both end points to the area where several to several tens of both outer sides of the address electrodes formed in stripes in the display region is present (Figure 1 of the address electrodes of the display area, 1B regions of ). As this area is widely secured, the effect of suppressing erroneous lighting and non-lighting is greater. Therefore, such a large address electrode is provided in an area having a width of at least 0.5 cm from both ends of the display area. It is preferably provided in a range of 3 cm from the both ends, and more preferably in a range of 5 cm from the both ends. In particular, it is preferably provided in a range of 10 cm from both ends. In other words, most preferred PDP member according to the present invention in the case the arrangement so that the relationship as described below when a 10cm from both ends of the display area of the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area are met Has been. The display area inner portion is a region other than the array direction both end portions of the address electrodes of the display area of the (1C in FIG. 1, 1D region). In aspects of this, the width of the address electrodes in the array direction both end portions of the address electrodes of the display area is made larger than the width of the address electrode of the display area inner part, which is present in each area respectively the width of the electrode has the above relationship (typically, a minimum of the address electrode width is greater than the maximum address electrode width of the display area inside portion in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area ) Is preferable, but it means that the average width of the electrodes in these regions has the above relationship. That is, when the average of the width of the address electrode of the display area inside portion Wa, the width of the address electrodes in the array direction both end portions of the address electrodes of the display area and Wb, have a relationship of Wb> Wa, preferably, Wb > 1.02 × Wa, more preferably Wb> 1.05 × Wa, more preferably Wb> 1.08 × Wa. The upper limit is not particularly limited, but if the width is too wide, the definition will be affected, and a short-circuit problem will also occur, so Wb <1.4 × Wa, more preferably about Wb <1.3 × Wa. . Further, in a preferred embodiment, the average width in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area of the address electrode when the xcm from both ends arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area Wb (x), If the average width of the address electrodes in the display area at that time is defined as Wa (x), Wb (10) / Wa (10)> 0.8 × Wb (3) / Wa (3), more preferably , Wb (10) / Wa (10)> 0.9 × Wb (3) / Wa (3). Here, when there is a change in the width in the longitudinal direction in each address electrode, the width of the electrode is obtained by dividing the electrode area by the length. The bonding of the front member and the rear member tends to leave distortion at both ends, and the distortion has the greatest influence at both ends. Therefore, by increasing the width of the address electrode in the region, the movement of charges is suppressed, and The overlap with the partition walls can be avoided, and the occurrence of erroneous discharge and non-lighting due to the movement of charges at both ends can be suppressed. Moreover, power consumption can be suppressed by setting the area | region with a large address electrode width to width 5-10 cm.

本発明においては、アドレス電極は、表示域中央部における幅よりも表示域周縁部における幅が大きい。表示域周縁部とは表示域内の外周部の領域を指し(図1における1A、1B、1Cの領域)、表示域中央部とは表示域の表示域周縁部以外の領域を指す(図1における1Dの領域)。すなわち、前記の態様では、表示域のアドレス電極の配列方向両側端部と内側部における電極幅の関係であるが、この態様においては更に上下端部、すなわち、アドレス電極の長手方向の両端の領域、との関係も含めて規定するものである。この態様において、表示域周縁部の電極の幅は表示域中央部の電極の幅よりも大きく構成されている。このようにすることでアドレス電極の長手方向の両端部において生じる電荷の移動による誤放電や不灯の発生をも抑制することができる。また、表示域周縁部のアドレス電極幅の大きい領域を表示域の端から5〜10cmとることにより、より一層消費電力を抑制することができる。表示域のアドレス電極の配列方向中央部に位置するアドレス電極の長手方向両端部(図1の1Cに相当する部分)のアドレス電極幅が広い領域は広く確保されている方が誤点灯や不灯を抑制する効果が大きいので、少なくともアドレス電極の長手方向の両端から0.5cm以上の幅の領域に設けられ、表示域のアドレス電極の長手方向両端から3cmまでの以内の範囲に設けられていることが好ましく、アドレス電極の長手方向の両端から5cmまでの範囲に設けられていることが好ましく、アドレス電極の長手方向の両端から10cmまでの範囲に設けられていることが最も好ましい。ここで、該表示域周縁部のアドレス電極の幅が表示域中央部のアドレス電極の幅よりも大きいという意味は、表示域中央部のアドレス電極の幅よりも表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅の方が大きいと共に、表示域中央部のアドレス電極の幅よりも表示域のアドレス電極の配列方向中央部に位置するアドレス電極の長手方向両端のアドレス電極の幅が大きいことを意味する。典型的には、表示域中央部のアドレス電極の最大の幅よりも表示域のアドレス電極の配列方向両端部における最小のアドレス電極幅が大きく、かつ、表示域中央部のアドレス電極の最大の幅よりも表示域のアドレス電極の配列方向中央部に位置するアドレス電極の長手方向両端部のアドレス電極幅が大きいことが好ましいが、表示域中央部のアドレス電極の幅の平均値をWa’表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の幅をWb、表示域周縁部のアドレス電極の長手方向の両端部のアドレス電極の幅をWcとしたとき、Wb>Wa’かつWc>Wa’の関係であることを意味する。好ましくは、Wb>1.02×Wa’かつWc>1.02×Wa’若しくはWc>1.05×Wa’若しくはWc>1.08×Wa’、より好ましくは、Wb>1.05×Wa’かつWc>1.02×Wa’若しくはWc>1.05×Wa’若しくはWc>1.08×Wa’、更に好ましくは、Wb>1.08×WaかつWc>1.02×Wa’若しくはWc>1.05×Wa’若しくはWc>1.08×Wa’である。上限としては特に制限はないが、余りに幅が広いと精細度に影響し、また、短絡の問題も生じるので、好ましくは、Wb<1.4×Wa’、より好ましくは、Wb<1.3×Wa’であり、また一方、好ましくは、Wc<1.4×Wa’、より好ましくは、Wc<1.3×Wa’である。なお、各アドレス電極について、長手方向において幅が異なるときのアドレス電極幅は、その領域における電極面積をその領域の長さで除してその領域における電極の幅は求められる。 Oite The present onset bright, the address electrodes has a larger width in the display area periphery than the width of the display area central portion. The display area peripheral portion refers to an outer peripheral area in the display area (areas 1A, 1B, and 1C in FIG. 1), and the display area central portion refers to an area other than the display area peripheral edge in the display area (in FIG. 1). 1D region). That is, in the above-described aspect, the relationship between the electrode widths on both sides and the inner side in the arrangement direction of the address electrodes in the display area is shown. In this aspect, upper and lower ends, that is, regions at both ends in the longitudinal direction of the address electrodes. , Including the relationship with. In this aspect, the width of the electrode in the peripheral area of the display area is configured to be larger than the width of the electrode in the central area of the display area. By doing so, it is possible to suppress the occurrence of erroneous discharge and non-lighting due to the movement of charges generated at both ends of the address electrode in the longitudinal direction . Further, the power consumption can be further suppressed by setting the area having the large address electrode width at the periphery of the display area to be 5 to 10 cm from the end of the display area. Longitudinal both end address electrodes wide area of (the portion corresponding to 1C of FIG. 1) is or lighting erroneous who are widely ensured not address electrode positioned in the center portion, in the arranging direction of the address electrodes of the display area Since the effect of suppressing the lamp is great, it is provided at least in a region having a width of 0.5 cm or more from both ends in the longitudinal direction of the address electrode, and in a range within 3 cm from both ends in the longitudinal direction of the address electrode in the display region. Preferably, it is provided within a range of 5 cm from both ends of the address electrode in the longitudinal direction, and most preferably provided within a range of 10 cm from both ends of the address electrode in the longitudinal direction . Here, the width of the address electrode in the peripheral area of the display area is larger than the width of the address electrode in the central area of the display area. The width of the address electrodes at the ends is larger, and the width of the address electrodes at both ends in the longitudinal direction of the address electrodes located in the center of the display area in the arrangement direction of the address electrodes is larger than the width of the address electrodes at the center of the display area. Means that. Typically, the minimum of the address electrode width is large in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area than the maximum width of the address electrode of the display area central portion, and the maximum of the address electrodes of the display area central portion Although it is preferable that the address electrode width at both ends in the longitudinal direction of the address electrode located in the center of the display area in the arrangement direction of the address electrode in the display area is larger than the width, the average value of the width of the address electrode in the center of the display area is displayed as Wa ′. when the width of the address electrodes in the array direction both ends of the range of address electrodes Wb, the width of the longitudinal ends of the address electrodes of the address electrode of the display region periphery was Wc, Wb> Wa 'and Wc> Wa It means 'relationship'. Preferably, Wb> 1.02 × Wa ′ and Wc> 1.02 × Wa ′ or Wc> 1.05 × Wa ′ or Wc> 1.08 × Wa ′, more preferably Wb> 1.05 × Wa. 'And Wc> 1.02 × Wa' or Wc> 1.05 × Wa 'or Wc> 1.08 × Wa', more preferably Wb> 1.08 × Wa and Wc> 1.02 × Wa 'or Wc> 1.05 × Wa ′ or Wc> 1.08 × Wa ′. The upper limit is not particularly limited, but if it is too wide, it affects the definition and also causes a short circuit problem. Therefore, Wb <1.4 × Wa ′, more preferably Wb <1.3. × Wa ′, on the other hand, preferably Wc <1.4 × Wa ′, more preferably Wc <1.3 × Wa ′ . Contact name for each address electrodes, the address electrodes width when the width in the longitudinal direction are different, the width of the electrode in that region by dividing the electrode area in that region by the length of the region is determined.

また、本発明の好ましい態様においては、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極において、表示域のアドレス電極の長手方向両端の領域(図1における1Bの領域)におけるアドレス電極の幅が中央部(図1における1A)における幅よりも大きい。すなわち、表示域の角部の領域において最もアドレス電極の幅は大きく構成されることが好ましい。表示域の角部は封着材の厚みの不均一や前面板と背面板の反りの影響を最も受けやすく、このため前面部材と背面部材の隙間が特に発生しやすく電荷の移動が起こりやすい。このため、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の長手方向両端の領域における幅をその中央部のアドレス幅よりも大きくすることにより、この影響は効果的に抑制することが可能であり、工程上の自由度は増すと同時に電荷移動による誤点灯や不点灯のない良好な表示品位のPDPを得ることができる。表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の表示域のアドレス電極の長手方向両端の領域とは、該アドレス電極の表示域のアドレス電極の長手方向両端から0.5cm以上の幅の領域に設けられ、表示域のアドレス電極の長手方向両端から3cmまでの範囲に設けられていることが好ましく、表示域のアドレス電極の長手方向両端から5cmまでの範囲に設けられていることが好ましい。特には表示域のアドレス電極の長手方向両端から10cmまでの範囲である(なお、前記表示域周縁部の説明における1Bの領域とは必ずしも一致するものではなく、例えば、表示域のアドレス電極の配列方向両端部の幅が10cmであるときに、その内該領域にあるアドレス電極のアドレス電極の長手方向両端部の幅を大きく構成する部分を表示域の端から5cmとすることはあり得る。)。表示域のアドレス電極の配列方向両端部の中央部とは表示域のアドレス電極の配列方向両端部における前記のアドレス電極の長手方向両端の領域を除いた領域(図1における1Aの領域)である。また、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の長手方向両端の領域における幅が中央部のアドレス電極の幅よりも大きいという意味は、すなわち、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の長手方向両端におけるアドレス電極の幅の平均値をWd、表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極の長手方向中央部におけるアドレス電極の幅の平均値をWeとしたとき、Wd>Weを満足するという意味である。好ましくは、Wd>1.02×We、より好ましくは、Wd>1.05×We、更に好ましくは、Wd>1.08×Weである。上限としては、精細度に影響し、また、短絡の問題も生じることからWd<1.4×Weとすることが好ましく、より好ましくは、Wd<1.3×Weとすることが適当である。 Further, in a preferred embodiment of the present invention, the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area, the address electrodes in the region of the longitudinal both ends of the address electrodes of the display area (area of 1B in FIG. 1) The width is larger than the width at the center (1A in FIG. 1). That is, it is preferable that the address electrode is configured to have the largest width in the corner area of the display area. The corners of the display area are most susceptible to the uneven thickness of the sealing material and the warpage of the front plate and the back plate. For this reason, the gap between the front member and the back member is particularly likely to occur, and the movement of charges is likely to occur. Therefore, to be larger than the address width of the center portion of the width in the region of the longitudinal both ends of the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area, the effect can be effectively suppressed In addition, the degree of freedom in the process can be increased, and at the same time, a PDP having a good display quality free from erroneous lighting or non-lighting due to charge transfer can be obtained. The longitudinal direction both ends of the area of the address electrode of the display region of the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area, from the longitudinal both ends 0.5cm above the address electrode of the display area of the address electrode provided in the region of the width, preferably provided in a range from the longitudinal both ends of the address electrodes of the display range to 3 cm, provided in a range from the longitudinal both ends of the address electrodes of the display region to 5cm Preferably it is. Especially in the range from the longitudinal both ends of the address electrodes of the display area to 10 cm (Incidentally, the the 1B area in the description of the display area periphery not necessarily the same, for example, the address electrode of the display area when the width in the arrangement direction both end portions is 10 cm, provided that a 5cm portions to increase constituting the width of the longitudinal both end portions of the address electrodes of the address electrodes on the inner region from the edge of the display area obtain.). Longitudinal both ends of the region except for the region (of 1A in Figure 1 region of the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area to the central portion in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area ). Also, the sense of the width in the region of the longitudinal both ends of the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area is larger than the width of the address electrodes of the central portion, i.e., the arrangement direction of the address electrodes of the display area the average value of the width of the address electrodes in the longitudinal direction both ends of the address electrodes of the both ends Wd, the average value of the width of the address electrodes in the longitudinal direction central portion of the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area When We is defined, it means that Wd> We is satisfied. Preferably, Wd> 1.02 × We, more preferably Wd> 1.05 × We, and even more preferably Wd> 1.08 × We. The upper limit is preferably Wd <1.4 × We, more preferably Wd <1.3 × We because it affects the definition and also causes a short circuit problem. .

本発明において、アドレス電極の幅の調整は上述したアドレス電極の形成方法において、露光時のマスク幅を変えたり、導電ペーストを塗布あるいは印刷するときの塗布・印刷幅を適宜変更したり、エッチング時のマスクを調整したり、転写元のパターンとして所望の形に形成することにより達成することができる。アドレス電極は異なる2種の幅の電極を配列しても良いが、多段階に種々の幅を有するアドレス電極を配列してもよい。また、アドレス電極の長手方向における幅は連続的に変化させても良いが、不連続的、段階的に変化させても良い。アドレス電極の厚みとしては特に制限はないが、1〜10μmとすることが好ましく、2〜7μmとすることがより好ましい。アドレス電極厚みが薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、厚すぎると材料が多く必要になり、コストにみあう抵抗値減の効果が得がたい傾向にあるからである。   In the present invention, the width of the address electrode is adjusted by changing the mask width at the time of exposure, appropriately changing the coating / printing width when applying or printing the conductive paste, or at the time of etching. This can be achieved by adjusting the mask or forming a desired pattern as a transfer source pattern. The address electrodes may be arranged with two different width electrodes, but the address electrodes having various widths may be arranged in multiple stages. The width of the address electrode in the longitudinal direction may be continuously changed, but may be changed discontinuously or stepwise. Although there is no restriction | limiting in particular as the thickness of an address electrode, It is preferable to set it as 1-10 micrometers, and it is more preferable to set it as 2-7 micrometers. If the address electrode thickness is too thin, the resistance value tends to be large and accurate driving tends to be difficult. If the address electrode thickness is too thick, a large amount of material is required, and it tends to be difficult to obtain the effect of reducing the resistance value that matches the cost. .

本発明のプラズマディスプレイパネル用部材においては、前記アドレス電極上に誘電体層が好ましく形成される。誘電体層は、例えば、ガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストを前記アドレス電極層を覆う形で塗布した後に、400〜600℃で焼成することにより形成できる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有し、これらを合計で10〜80重量%含有するガラス粉末を好ましく用いることができる。10重量%以上とすることで、600℃以下での焼成が容易になり、80重量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。これらのガラス粉末と有機バインダーと混練してペーストを作製できる。用いる有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。ガラス粉末以外にフィラー成分を添加することにより、反射率が高く、輝度の高いPDPを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が好ましく、粒子径0.05〜3μmの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末:フィラーの比で、1:1〜10:1が好ましい。フィラーの含有量をガラス粉末の10分の1以上とすることで、輝度の向上をはかることができる。また、フィラーの量をガラス粉末の等量以下とすることで、焼結性に優れたものとできる。また、導電性微粒子を添加することにより駆動時の過剰な帯電によるスパークを防止することができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金属粉末が好ましく、粒子径は1〜10μmが好ましい。1μm以上とすることで十分な効果を発揮でき、10μm以下とすることで誘電体上の凹凸を抑え隔壁形成を容易にすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体層に含まれる含有量としては、0.1〜10重量%が好ましい。0.1重量%以上とすることで実効を得ることができ、10重量%以下とすることで、隣り合うアドレス電極間でのショートを防ぐことができる。誘電体層の厚みは好ましくは3〜30μm、より好ましくは3〜15μmである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。   In the plasma display panel member of the present invention, a dielectric layer is preferably formed on the address electrodes. The dielectric layer can be formed, for example, by applying a glass paste mainly composed of glass powder and an organic binder so as to cover the address electrode layer, and then baking at 400 to 600 ° C. As the glass paste used for the dielectric layer, glass powder containing at least one of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide and phosphorus oxide and containing 10 to 80% by weight in total can be preferably used. By setting it as 10 weight% or more, baking at 600 degrees C or less becomes easy, and setting it as 80 weight% or less prevents crystallization and the fall of the transmittance | permeability. These glass powders and an organic binder can be kneaded to produce a paste. As the organic binder to be used, cellulose compounds typified by ethyl cellulose, methyl cellulose and the like, acrylic compounds such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and isobutyl acrylate can be used. Moreover, you may add additives, such as a solvent and a plasticizer, in glass paste. As the solvent, general-purpose solvents such as terpineol, butyrolactone, toluene and methyl cellosolve can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate, diethyl phthalate, or the like can be used. By adding a filler component in addition to the glass powder, a PDP having a high reflectance and a high luminance can be obtained. As the filler, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide and the like are preferable, and it is particularly preferable to use titanium oxide having a particle diameter of 0.05 to 3 μm. The filler content is preferably a glass powder: filler ratio of 1: 1 to 10: 1. The brightness can be improved by setting the filler content to 1/10 or more of the glass powder. Moreover, it can be set as the thing excellent in sinterability by making the quantity of a filler below the equivalent of glass powder. Further, by adding conductive fine particles, it is possible to prevent sparks due to excessive charging during driving. The conductive fine particles are preferably metal powders such as nickel and chromium, and the particle diameter is preferably 1 to 10 μm. When the thickness is 1 μm or more, a sufficient effect can be exhibited, and when the thickness is 10 μm or less, unevenness on the dielectric can be suppressed and partition formation can be facilitated. The content of these conductive fine particles contained in the dielectric layer is preferably 0.1 to 10% by weight. When the content is 0.1% by weight or more, an effect can be obtained, and when the content is 10% by weight or less, a short circuit between adjacent address electrodes can be prevented. The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 30 μm, more preferably 3 to 15 μm. If the thickness of the dielectric layer is too thin, pinholes tend to occur frequently, and if it is too thick, the discharge voltage tends to be high and the power consumption tends to increase.

本発明のプラズマディスプレイパネル用部材においては、前記誘電体層上にセルを構成する隔壁層が好ましく形成される。   In the member for a plasma display panel of the present invention, a partition layer constituting a cell is preferably formed on the dielectric layer.

隔壁層に設けられる隔壁の高さは、80μm〜200μmが適している。80μm以上とすることで蛍光体と走査電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、200μm以下とすることで、走査電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。また隔壁のピッチ(P)としては、100μm≦P≦500μmのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ(P)が、100μm≦P≦250μmである。100μm以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、500μm以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。250μm以下にすることにより、HDTV(ハイビジョン)レベルの美しい映像を表示することができる。RGBのうち、比較的輝度の低い青色に相当する隔壁の間隙を他の色よりも広くすることも好ましい。   The height of the partition provided in the partition layer is suitably 80 μm to 200 μm. By setting the thickness to 80 μm or more, the phosphor and the scan electrode can be prevented from being too close to each other, and the phosphor can be prevented from being deteriorated by discharge. In addition, by setting the thickness to 200 μm or less, it is possible to reduce the distance between the discharge at the scan electrode and the phosphor and to obtain sufficient luminance. Moreover, as a pitch (P) of the partition walls, one having 100 μm ≦ P ≦ 500 μm is often used. In the high-definition plasma display, the partition pitch (P) is 100 μm ≦ P ≦ 250 μm. By setting the thickness to 100 μm or more, the discharge space can be widened and sufficient luminance can be obtained, and by setting the thickness to 500 μm or less, a fine image with fine pixels can be displayed. By setting it to 250 μm or less, it is possible to display a beautiful video of HDTV (high definition) level. It is also preferable to make the gap between the partition walls corresponding to blue, which has a relatively low luminance among RGB, wider than other colors.

隔壁の幅は、頂部幅として、下限について30μm以上とすることが好ましく、更に好ましくは40μm以上、上限について100μm以下とすることが好ましく、さらに好ましく90μm以下である。頂部幅を30μm以上とすることで、後工程に耐える強度を得ることができる。また100μm以下とすることで、均質で強固な焼成を行うことができる。   The width of the partition wall is preferably 30 μm or more for the lower limit as the top width, more preferably 40 μm or more, and preferably 100 μm or less for the upper limit, and more preferably 90 μm or less. By setting the top width to 30 μm or more, it is possible to obtain a strength that can withstand a subsequent process. Further, by setting the thickness to 100 μm or less, uniform and strong firing can be performed.

ここで、隔壁の頂部幅とは、隔壁高さの底部から90%水平面で切り取られる部分における幅方向の長さを意味する。模式的には図5で示すところの5Aで示される長さである。また、隔壁頂部が平らであるときは、隔壁高さの略100%水平面で切り取られる部分における幅として後述する関係を満たすことが好ましい。   Here, the top width of the partition wall means the length in the width direction at a portion cut by a 90% horizontal plane from the bottom of the partition wall height. Typically, the length is indicated by 5A shown in FIG. Moreover, when the partition top is flat, it is preferable that the relationship described later is satisfied as the width in a portion cut off at a horizontal plane of approximately 100% of the partition wall height.

本発明のPDP用部材においては、好ましく、隔壁の頂部幅は前記のアドレス電極の幅の大小関係に対応した幅の大小関係を有していることが好ましい。このようにすることで、隔壁の頂上部を移動する電荷の移動を抑制でき表示品位の向上をはかることができる。ここで、アドレス電極の幅の大小関係に対応した幅の大小関係とは、本発明はアドレス電極の幅を表示域端部あるいは表示域周縁部(以下、便宜的に領域βという)において表示域内側部あるいは表示域中央部(以下、便宜的に領域αという)におけるアドレス電極の幅を大きくするものであるところ、領域βにある隔壁の頂部幅(該領域における隔壁の頂部幅をWβという)が領域αにある隔壁の頂部幅(該領域における平均の隔壁頂部幅をWαという)よりも大きいことを意味する。すなわち、Wβ>Wαとなる関係を好ましく有している。Wβの下限について好ましくはWβ>1.05×Wαであり、更に好ましくはWβ>1.10×Wαであり、上限についてWβ<1.70×Wαであることが好ましく、Wβ<1.40×Wαとすることが更に好ましい。105%以上とすることで幅を広くする効果を十分に得ることができ、電荷移動を効果的に抑制できる。また、170%以下とすることで、輝度を高めることができる。   In the member for PDP of the present invention, it is preferable that the top width of the partition has a width relationship corresponding to the width relationship of the address electrodes. By doing in this way, the movement of the electric charge which moves the top of a partition can be suppressed and display quality can be improved. Here, the width relationship corresponding to the width relationship of the address electrodes means that the width of the address electrodes is displayed at the display area edge or display area edge (hereinafter referred to as area β for convenience). The width of the address electrode in the inner part or the display area central part (hereinafter referred to as a region α for convenience) is increased, and the top width of the partition wall in the region β (the top width of the partition wall in the region is referred to as Wβ). Is larger than the top width of the partition wall in the region α (the average partition wall top width in the region is referred to as Wα). That is, it preferably has a relationship of Wβ> Wα. The lower limit of Wβ is preferably Wβ> 1.05 × Wα, more preferably Wβ> 1.10 × Wα, and the upper limit is preferably Wβ <1.70 × Wα, and Wβ <1.40 × More preferably, Wα is used. By setting it to 105% or more, the effect of widening the width can be sufficiently obtained, and charge transfer can be effectively suppressed. Moreover, a brightness | luminance can be raised by setting it as 170% or less.

また、本発明のPDP用部材においては、好ましく隔壁の底部の幅は前記アドレス電極幅の大小関係とは逆の大小関係を有している。ここで、アドレス電極の幅の大小関係とは逆の幅の大小関係とは、本発明は領域βにおいて領域αにおけるアドレス電極の幅を大きくするものであるところ、領域βにある隔壁の底部幅(該領域における隔壁の底部幅をWβ’という)が領域αにある隔壁の底部幅(該領域における平均の隔壁底部幅をWα’という)よりも小さいことを意味する。すなわち、Wβ’<Wα’となる関係を好ましく有している。Wα’の下限について好ましくは0.7×Wβ’<Wα’であり、更に好ましくは0.80×Wβ’<Wα’であり、上限について好ましくは0.95×Wβ’>Wα’とすることが好ましい。隔壁底部の幅の比を95%以下とすることで電荷移動による影響を抑制でき、70%以上とすることで隔壁の剥がれを抑制し、工程の安定に悪影響を及ぼさない。なお、隔壁の底部幅とは、隔壁の基板面側に接する面における幅方向の長さであり、模式的には図5で示すところの5Bで示される長さである。   In the PDP member of the present invention, preferably, the width of the bottom of the partition has a magnitude relationship opposite to the magnitude relation of the address electrode width. Here, the width relationship opposite to the width relationship between the address electrodes means that the width of the address electrode in the region α is increased in the region β according to the present invention. This means that (the bottom width of the partition wall in the region is referred to as Wβ ′) is smaller than the bottom width of the partition wall in the region α (the average partition wall bottom width in the region is referred to as Wα ′). That is, it preferably has a relationship of Wβ ′ <Wα ′. The lower limit of Wα ′ is preferably 0.7 × Wβ ′ <Wα ′, more preferably 0.80 × Wβ ′ <Wα ′, and the upper limit is preferably 0.95 × Wβ ′> Wα ′. Is preferred. By setting the ratio of the width of the bottom of the partition wall to 95% or less, the influence due to charge transfer can be suppressed, and by setting the ratio to 70% or more, peeling of the partition wall is suppressed and the process stability is not adversely affected. Note that the bottom width of the partition wall is the length in the width direction on the surface of the partition wall in contact with the substrate surface, and is typically the length indicated by 5B in FIG.

本発明においては、前記隔壁と垂直方向に補助隔壁を形成したいわゆる井桁状の隔壁パターンとして好ましく形成することができる。   In the present invention, it can be preferably formed as a so-called grid pattern in which auxiliary partitions are formed in a direction perpendicular to the partitions.

補助隔壁を形成することにより、補助隔壁の壁面にも蛍光体層を形成することができ、発光面積を大きくとることができる他、発光させるべきセル以外の誤発光を補助隔壁によって抑制することができる。従って、紫外線が効率よく蛍光面に作用するため輝度を高めることが可能である。また、補助隔壁が存在することで、隔壁相互が二次元的に結合するので、部材の構造的強度が得られる。その結果、隔壁や補助隔壁の幅を小さくすることができるので、表示セル部における放電容積を大きくすることができ、放電効率をさらによくすることができる。   By forming the auxiliary barrier rib, a phosphor layer can also be formed on the wall surface of the auxiliary barrier rib, so that the light emission area can be increased, and erroneous light emission other than the cells that should emit light can be suppressed by the auxiliary barrier rib. it can. Accordingly, it is possible to increase the luminance because the ultraviolet rays efficiently act on the phosphor screen. Further, since the auxiliary barrier ribs are present, the barrier ribs are two-dimensionally coupled, so that the structural strength of the member can be obtained. As a result, the width of the barrier ribs and auxiliary barrier ribs can be reduced, so that the discharge volume in the display cell portion can be increased and the discharge efficiency can be further improved.

補助隔壁の断面形状も、台形や矩形に形成することができる。   The cross-sectional shape of the auxiliary partition wall can also be formed in a trapezoidal shape or a rectangular shape.

補助隔壁の高さは隔壁の高さの1/10〜1/1であることが好ましい。補助隔壁の高さを隔壁の高さの1/10以上とすることで、発光面積を大きくとることによる輝度向上の効果を得ることができる。また、蛍光体層の形成の際の混色や、プラズマディスプレイの表示の際の他色間のクロストークの発生を考慮すると、補助隔壁の高さは隔壁の高さの1/1以下とすることが好ましい。   The height of the auxiliary partition is preferably 1/10 to 1/1 of the height of the partition. By making the height of the auxiliary partition wall 1/10 or more of the height of the partition wall, it is possible to obtain an effect of improving luminance by increasing the light emitting area. Also, considering the color mixing when forming the phosphor layer and the occurrence of crosstalk between other colors when displaying on the plasma display, the height of the auxiliary barrier ribs should be 1/1 or less of the barrier rib height. Is preferred.

補助隔壁を形成する位置とピッチは、前面板と合わせてプラズマディスプレイとした際に画素を区切る位置に形成することが、ガス放電と蛍光体層の発光の効率の点から好ましい。   The positions and pitches for forming the auxiliary barrier ribs are preferably formed at positions where the pixels are divided when the plasma display is combined with the front plate from the viewpoint of gas discharge and light emission efficiency of the phosphor layer.

補助隔壁の幅は、頂部幅として、30μm〜100μm、さらには40〜90μmが好ましい。補助隔壁の頂部幅を30μm以上とすることで、補助隔壁の形成工程や後工程に耐える強度を得ることができる。また100μm以下とすることで、均質で強固な焼成を行うことができる。   The width of the auxiliary partition is preferably 30 μm to 100 μm, more preferably 40 to 90 μm, as the top width. By setting the top width of the auxiliary partition wall to 30 μm or more, it is possible to obtain the strength to withstand the auxiliary partition formation process and the subsequent process. Further, by setting the thickness to 100 μm or less, uniform and strong firing can be performed.

また、補助隔壁の底部幅はその頂部幅の110〜150%とすることが、焼成収縮により補助隔壁の跳ね上がりを防止する点で好ましい。   Moreover, it is preferable that the bottom width of the auxiliary partition wall is 110 to 150% of the top width in terms of preventing the auxiliary partition wall from jumping up due to firing shrinkage.

隔壁層を形成する方法としては、サンドブラスト法やスクリーン印刷法等があるが、本発明においては絶縁性無機成分と感光性有機成分からなる感光性ペーストを用いたフォトリソグラフィー法が好ましく適用される。   As a method for forming the partition layer, there are a sand blast method, a screen printing method, and the like. In the present invention, a photolithography method using a photosensitive paste comprising an insulating inorganic component and a photosensitive organic component is preferably applied.

感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。   As the inorganic fine particles of the photosensitive paste, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like can be used. In particular, glass or ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component is preferable.

無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径(D50)が、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは、1〜5μmである。D50を10μm以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、1μm以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積0.2〜3m/gのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において、特に好ましい。 The particle diameter of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced, but the volume average particle diameter (D50) is preferably 1 to 10 μm, and more preferably 1 to 5 μm. By setting D50 to 10 μm or less, it is possible to prevent surface irregularities from occurring. Moreover, the viscosity adjustment of a paste can be made easy by setting it as 1 micrometer or more. Further, it is particularly preferable in the pattern formation to use glass fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

隔壁および補助隔壁は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が350℃〜600℃のガラス微粒子を60重量%以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。また、熱軟化温度が600℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、40重量%以下が好ましい。   Since the partition wall and the auxiliary partition wall are preferably patterned on a glass substrate having a low heat softening point, inorganic particles containing 60% by weight or more of glass particles having a heat softening temperature of 350 ° C. to 600 ° C. are used as the inorganic particles. Is preferred. Further, by adding glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or higher, the shrinkage ratio during firing can be suppressed, but the amount is preferably 40% by weight or less.

用いるガラス粉末としては、焼成時にガラス基板に反りを生じさせないためには線膨脹係数が50×10−7/℃〜90×10−7/℃、更には、60×10−7/℃〜90×10−7/℃のガラス微粒子を用いることが好ましい。 The glass powder to be used has a linear expansion coefficient of 50 × 10 −7 / ° C. to 90 × 10 −7 / ° C., and further 60 × 10 −7 / ° C. to 90 ° C. so as not to warp the glass substrate during firing. It is preferable to use glass fine particles of × 10 −7 / ° C.

隔壁を形成する素材としては、ケイ素またはホウ素の酸化物を含有したガラス材料が好ましく用いられる。   As a material for forming the partition wall, a glass material containing an oxide of silicon or boron is preferably used.

酸化ケイ素は、3〜60重量%の範囲で配合されていることが好ましい。3重量%以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、60重量%以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。   It is preferable that silicon oxide is blended in the range of 3 to 60% by weight. When the content is 3% by weight or more, the denseness, strength, and stability of the glass layer are improved, and the thermal expansion coefficient is within a desired range, thereby preventing mismatch with the glass substrate. Moreover, by setting it as 60 weight% or less, there exists an advantage that a thermal softening point becomes low and baking to a glass substrate is attained.

酸化ホウ素は、5〜50重量%の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。50重量%以下とすることでガラスの安定性を保つことができる。   Boron oxide can improve electrical, mechanical and thermal characteristics such as electrical insulation, strength, thermal expansion coefficient, and denseness of the insulating layer by blending in the range of 5 to 50% by weight. The stability of glass can be maintained by setting it as 50 weight% or less.

さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50重量%含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを5〜50重量%含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。   Furthermore, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by weight, a glass paste having temperature characteristics suitable for patterning on a glass substrate can be obtained. it can. In particular, when glass fine particles containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide are used, advantages such as a long pot life of the paste can be obtained. As the bismuth-based glass fine particles, glass powder containing the following composition is preferably used.

酸化ビスマス :10〜40重量部
酸化ケイ素 : 3〜50重量部
酸化ホウ素 :10〜40重量部
酸化バリウム : 8〜20重量部
酸化アルミニウム:10〜30重量部。
Bismuth oxide: 10 to 40 parts by weight Silicon oxide: 3 to 50 parts by weight Boron oxide: 10 to 40 parts by weight Barium oxide: 8 to 20 parts by weight Aluminum oxide: 10 to 30 parts by weight

また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも1種類を3〜20重量%含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、20重量%以下、好ましくは、15重量%以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記3種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。   Moreover, you may use the glass fine particle which contains 3-20 weight% of at least 1 sort (s) among lithium oxide, sodium oxide, and potassium oxide. By adding the alkali metal oxide in an amount of 20% by weight or less, preferably 15% by weight or less, the stability of the paste can be improved. Of the above three types of alkali metal oxides, lithium oxide is particularly preferred from the viewpoint of paste stability. As the lithium glass fine particles, for example, glass powder containing the following composition is preferably used.

この場合の具体的なガラス微粒子としては、次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。   As specific glass fine particles in this case, it is preferable to use glass powder having the following composition.

酸化リチウム : 2〜15重量部
酸化ケイ素 :15〜50重量部
酸化ホウ素 :15〜40重量部
酸化バリウム : 2〜15重量部
酸化アルミニウム: 6〜25重量部。
Lithium oxide: 2-15 parts by weight Silicon oxide: 15-50 parts by weight Boron oxide: 15-40 parts by weight Barium oxide: 2-15 parts by weight Aluminum oxide: 6-25 parts by weight

また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム,酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。   In addition, if glass fine particles containing both metal oxides such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and alkali metal oxides such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, with a lower alkali content, The thermal softening temperature and linear expansion coefficient can be easily controlled.

また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、40重量%以下が好ましく、より好ましくは25重量%以下である。   Also, workability is improved by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, etc., especially aluminum oxide, barium oxide, zinc oxide, etc. to the glass fine particles. However, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less from the viewpoint of the thermal softening point and the thermal expansion coefficient.

感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも1種類から選ばれた感光性成分を含有することが好ましく、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加する。   As the photosensitive organic component, it is preferable to contain a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer, and, if necessary, a photopolymerization initiator, A light absorber, a sensitizer, an organic solvent, a sensitization aid, and a polymerization inhibitor are added.

感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは1種または2種以上使用することができる。   The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, allyl compounds, and the like. be able to. These can be used alone or in combination of two or more.

感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素2重結合を有する化合物のうちの少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。重合する際に、これらのモノマの含有率が、10重量%以上、さらに好ましくは35重量%以上になるように、他の感光性のモノマと共重合することができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマ、もしくは、オリゴマーの酸価(AV)は、50〜180の範囲が好ましく、70〜140の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。   As the photosensitive oligomer and photosensitive polymer, an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of compounds having a carbon-carbon double bond can be used. In the polymerization, it can be copolymerized with other photosensitive monomers so that the content of these monomers is 10% by weight or more, more preferably 35% by weight or more. By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid with a polymer or oligomer, the developability after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180, and more preferably in the range of 70 to 140. By adding a photoreactive group to the side chain or molecular end of the polymer or oligomer shown above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acrylic group, and a methacryl group.

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、O-ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは0.05〜10重量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜5重量%の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。   Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4- Examples include benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、0.05〜5重量%が好ましく、より好ましくは、0.05〜1重量%である。添加量が少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。   It is also effective to add a light absorber. By adding a compound having a high absorption effect of ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. As the light absorber, those comprising organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes are used. Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, and the like can be used. Since organic dye does not remain in the insulating film after baking, it is preferable because the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferable. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by weight, and more preferably 0.05 to 1% by weight. When the addition amount is too small, the effect of adding the light absorber tends to decrease, and when it is too large, the insulating film characteristics after firing tend to decrease.

増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常0.05〜10重量%、より好ましくは0.1〜10重量%である。増感剤の量が少な過ぎると光感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が多過ぎると、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。   A sensitizer is added in order to improve sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, and the like. Is mentioned. One or more of these can be used. When adding a sensitizer to a photosensitive paste, the addition amount is 0.05 to 10 weight% normally with respect to the photosensitive component, More preferably, it is 0.1 to 10 weight%. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity tends not to be exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be small.

有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, and γ-butyllactone. , N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and one or more of these An organic solvent mixture is used.

感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。   The photosensitive paste is usually prepared by mixing the above-mentioned inorganic fine particles and organic components so as to have a predetermined composition, and then uniformly mixing and dispersing them with a three roller or kneader.

次いで上記のような感光性ペーストを塗布、乾燥し、露光後、現像、焼成を行って隔壁のパターンを形成することができる。   Next, the photosensitive paste as described above can be applied and dried, and after exposure, development and baking can be performed to form a partition pattern.

これらの一連の隔壁の形成工程において、感光性ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。   As a method for applying the photosensitive paste in the series of partition forming steps, a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater, or the like can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, screen mesh, and paste viscosity.

また前記塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホットプレート、赤外線炉などを用いることができる。   The drying after the application can be performed by using a ventilation oven, a hot plate, an infrared furnace, or the like.

次に上記塗布、乾燥後の塗布膜を、所望のパターンを有するフォトマスクを介して露光する。   Next, the coating film after coating and drying is exposed through a photomask having a desired pattern.

本発明で露光動作時に使用されるエネルギー線は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/cmの出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間露光を行う。 Examples of the energy beam used in the exposure operation in the present invention include visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, and laser light. Among these, ultraviolet rays are most preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a halogen lamp, or a germicidal lamp can be used. Among these, an ultrahigh pressure mercury lamp is suitable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

ここで、フォトマスクと感光性ペーストの塗布膜表面との距離、すなわちギャップは50〜500μm、さらには70〜400μmに調整することが好ましい。ギャップを50μm以上さらには70μm以上とすることにより、基板またはフォトマスク移動時の感光性ペースト塗布膜とフォトマスクの接触を防ぎ、双方の破壊や汚染を防ぐことができる。また500μm以下さらに好ましくは400μm以下とすることにより、適度にシャープなパターニングが可能となる。   Here, the distance between the photomask and the coating film surface of the photosensitive paste, that is, the gap is preferably adjusted to 50 to 500 μm, more preferably 70 to 400 μm. By setting the gap to 50 μm or more, further 70 μm or more, contact between the photosensitive paste coating film and the photomask during movement of the substrate or photomask can be prevented, and destruction or contamination of both can be prevented. Moreover, moderately sharp patterning is attained by setting it as 500 micrometers or less, More preferably, it is 400 micrometers or less.

本発明において、隔壁の頂部の幅また底部の幅の調整は上述した隔壁の形成方法において露光時のマスク幅を調整することにより達成することができる。   In the present invention, the width of the top or bottom of the partition can be adjusted by adjusting the mask width during exposure in the above-described method for forming the partition.

露光後実施される現像は、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して行う方法が一般的である。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。   The development performed after the exposure is generally performed using a difference in solubility between the exposed portion and the non-exposed portion in the developer. Development can be performed by a dipping method, a spray method, a brush method, or the like.

現像液は、感光性ペースト中の露光部分、未露光部分の何れかの有機成分の溶解速度が速い溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向にある。また、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うことが工程管理上好ましい。   As the developer, a solution having a high dissolution rate of the organic component in either the exposed part or the unexposed part in the photosensitive paste is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, it can be developed with an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium carbonate aqueous solution, calcium hydroxide aqueous solution or the like can be used. However, it is preferable to use an organic alkaline aqueous solution because an alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion tends not to be removed. If the alkali concentration is too high, the pattern portion tends to be peeled off or the insoluble portion tends to be corroded. The development temperature during development is preferably 20 to 50 ° C. in terms of process control.

次に、現像により得られた隔壁(いうまでもないが補助隔壁も含む)のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行うと良い。   Next, the pattern of the partition walls (including needless to say, auxiliary partition walls) obtained by development is fired in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a roller hearth-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is preferably 400 to 800 ° C. In the case where the partition walls are formed directly on the glass substrate, the baking is preferably performed by holding at a temperature of 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

隔壁と補助隔壁の幅が極端に違う場合、具体的には補助隔壁の幅が隔壁幅より極端に太い場合、隔壁と補助隔壁の焼成収縮挙動の違いにより、両者の界面で隔壁が断線したり、補助隔壁に亀裂が生じたりする。   When the width of the partition wall and the auxiliary partition wall is extremely different, specifically, when the width of the auxiliary partition wall is extremely thicker than the partition wall width, the partition wall may be disconnected at the interface between the two due to the difference in firing shrinkage behavior between the partition wall and the auxiliary partition wall. Or cracks in the auxiliary partition.

このような場合は、補助隔壁頂部にストライプ状の溝を形成することにより、補助隔壁の焼成時の収縮を緩和することができ、補助隔壁と隔壁界面での隔壁断線を抑制することができる。   In such a case, by forming a stripe-shaped groove at the top of the auxiliary partition, the shrinkage during firing of the auxiliary partition can be alleviated, and the disconnection of the partition at the interface between the auxiliary partition and the partition can be suppressed.

次いで隔壁の間に、R(赤)G(緑)B(青)各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、一般的には、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。   Next, phosphor layers that emit light of R (red), G (green), and B (blue) colors are formed between the barrier ribs. The phosphor layer is generally formed by applying a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent between predetermined partitions, drying, and firing as necessary. be able to.

蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法等の方法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができ、本発明においては何れの方法が採用されて構わないが、経済性に優れるスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。   As a method of applying the phosphor paste between predetermined partition walls, a screen printing method in which a pattern is printed using a screen printing plate, a dispenser method in which the phosphor paste is discharged from the tip of a discharge nozzle, or a phosphor paste The phosphor paste of each color can be applied in a predetermined place by a method such as the photosensitive paste method using the organic component having photosensitivity as an organic binder, and any method is adopted in the present invention. Of course, the screen printing method and the dispenser method, which are excellent in economic efficiency, are preferably applied in the present invention.

本発明のプラズマディスプレイパネル用部材においては、本発明の目的を阻害しない限りにおいて、上記の誘電体層や隔壁層や蛍光体層以外の構成を設けることを妨げるものではない。   In the member for a plasma display panel of the present invention, as long as the object of the present invention is not hindered, it does not preclude providing a configuration other than the above-described dielectric layer, partition layer, and phosphor layer.

本発明のプラズマディスプレイパネル用部材は、別に調製された他の部材と共に用いられ、不活性ガスが封入されて、パネルモジュールとして作製される。   The member for a plasma display panel according to the present invention is used together with another member prepared separately, and is manufactured as a panel module by enclosing an inert gas.

以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれら実施例に限定されるものではない
ノボラック系樹脂A:m−クレゾール/p−クレゾール/ホルムアルデヒドを、モル比60/40/80で、シュウ酸触媒の存在下に還流下で常法に従って反応させ、次いで分別して得られた、ポリスチレン換算重量平均分子量が約8000のノボラック樹脂であって、GPCパターンにおいて、未反応クレゾールのパターン面積を除いた全パターン面積に対するポリスチレン換算分子量6000以下の面積比が34%、そしてポリスチレン換算分子量1000以下の面積比が15%であるもの。
Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples. However, the present invention is not limited to these examples. Novolac resin A: m-cresol / p-cresol / formaldehyde in a molar ratio of 60/40/80 under reflux in the presence of an oxalic acid catalyst. A novolak resin having a polystyrene-reduced weight average molecular weight of about 8000 obtained by reacting according to a conventional method and then fractionating, and having a polystyrene-reduced molecular weight of 6000 or less with respect to the total pattern area excluding the pattern area of unreacted cresol The area ratio is 34% and the area ratio of polystyrene equivalent molecular weight 1000 or less is 15%.

ノボラック系樹脂B:m−クレゾール/p−クレゾール/ホルムアルデヒドを、モル比40/60/80で、シュウ酸触媒の存在下に還流下で常法に従って反応させ、次いで分別して得られた、ポリスチレン換算重量平均分子量が約8000のノボラック樹脂であって、GPCパターンにおいて、未反応クレゾールのパターン面積を除いた全パターン面積に対するポリスチレン換算分子量6000以下の面積比が34%、そしてポリスチレン換算分子量1000以下の面積比が15%であるもの。   Novolak resin B: m-cresol / p-cresol / formaldehyde at a molar ratio of 40/60/80, reacted in the presence of an oxalic acid catalyst under reflux in the usual manner, and then fractionated, in terms of polystyrene A novolak resin having a weight average molecular weight of about 8000, and in the GPC pattern, the area ratio of polystyrene equivalent molecular weight of 6000 or less to the total pattern area excluding the pattern area of unreacted cresol is 34%, and the polystyrene equivalent molecular weight of 1000 or less The ratio is 15%.

アクリル樹脂A:メタクリル酸とメタクリル酸メチルの共重合体(重量平均分子量25,000、酸価105)。   Acrylic resin A: a copolymer of methacrylic acid and methyl methacrylate (weight average molecular weight 25,000, acid value 105).

アクリル樹脂B:トリシクロデカニルメタクリレート/t−ブチルメタクリレート/メタクリル酸(仕込みモル比で50/20/30)の共重合体(重量平均分子量37,000)。   Acrylic resin B: Copolymer (weight average molecular weight 37,000) of tricyclodecanyl methacrylate / t-butyl methacrylate / methacrylic acid (50/20/30 in charge molar ratio).

光酸発生剤A:テトラヒドロキシベンゾフェノンと2−ジアゾ−1−ナフトキノン−5−スルホン酸とのエステル。   Photoacid generator A: ester of tetrahydroxybenzophenone and 2-diazo-1-naphthoquinone-5-sulfonic acid.

光酸発生剤B:ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン。   Photoacid generator B: bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane.

光塩基発生剤A:[[(α、α−ジメチル−3,5−ジメトキシベンジル)オキシ]カルボニル]プロピルアミン。   Photobase generator A: [[(α, α-dimethyl-3,5-dimethoxybenzyl) oxy] carbonyl] propylamine.

重合開始剤:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−1−ブタノン。   Polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone.

架橋剤:テトラプロピレングリコールジメタクリレート。   Cross-linking agent: tetrapropylene glycol dimethacrylate.

紫外線吸収剤:ベーシックブルー26(吸収極大波長:592nm)。   Ultraviolet absorber: Basic blue 26 (absorption maximum wavelength: 592 nm).

ガラス粉末A:酸化ホウ素42%、酸化ケイ素10%、酸化アルミニウム3%、酸化バリウム20%、酸化亜鉛5%、酸化カルシウム2%、酸化ジルコニウム10%とからなり、ガラス転移点が462℃、軟化点が493℃、屈折率が1.70。   Glass powder A: Boron oxide 42%, silicon oxide 10%, aluminum oxide 3%, barium oxide 20%, zinc oxide 5%, calcium oxide 2%, zirconium oxide 10%, glass transition point 462 ° C., softening The point is 493 ° C. and the refractive index is 1.70.

ガラス粉末B:酸化ケイ素25%、酸化ホウ素28%、酸化ビスマス28%、酸化バリウム15%、酸化アルミニウム4%からなり、ガラス転移点が488℃、軟化点が527℃、屈折率が1.73。   Glass powder B: 25% silicon oxide, 28% boron oxide, 28% bismuth oxide, 15% barium oxide, 4% aluminum oxide, glass transition point 488 ° C., softening point 527 ° C., refractive index 1.73 .

ガラス粉末C:酸化リチウム7%、酸化ケイ素22%、酸化ホウ素33%、酸化亜鉛3%、酸化アルミニウム19%、酸化マグネシウム6%、酸化バリウム5%、酸化カルシウム5%からなり、ガラス転移点が491℃、軟化点が528℃、屈折率が1.59。   Glass powder C: Lithium oxide 7%, silicon oxide 22%, boron oxide 33%, zinc oxide 3%, aluminum oxide 19%, magnesium oxide 6%, barium oxide 5%, calcium oxide 5%, glass transition point 491 ° C, softening point 528 ° C, refractive index 1.59.

ガラス粉末D:酸化ケイ素40%、酸化アルミニウム36%、酸化ホウ素9%、酸化バリウム5%、酸化マグネシウム5%、酸化カルシウム5%からなり、ガラス転移点が652℃、軟化点が754℃、屈折率が1.73。   Glass powder D: 40% silicon oxide, 36% aluminum oxide, 9% boron oxide, 5% barium oxide, 5% magnesium oxide, 5% calcium oxide, glass transition point 652 ° C, softening point 754 ° C, refraction The rate is 1.73.

銀粉末:平均粒子径1.5μm、比表面積0.80m/g。 Silver powder: average particle diameter 1.5 μm, specific surface area 0.80 m 2 / g.

溶媒:ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート。   Solvent: dipropylene glycol monomethyl ether acetate.

ノボラック樹脂Aを9重量部、ノボラック樹脂Bを1重量部、光酸発生剤Aを2重量部、溶媒を10重量部混合し、50℃に加熱しながら溶解し、次いで、銀粉末を78重量部、ガラス粉末Aを2重量部を添加し、混練機を用いて混練した。   Mix 9 parts by weight of novolak resin A, 1 part by weight of novolak resin B, 2 parts by weight of photoacid generator A and 10 parts by weight of solvent, dissolve while heating to 50 ° C., and then add 78 weight of silver powder. 2 parts by weight of glass powder A were added and kneaded using a kneader.

こうして得られた感光性ペーストを対角42インチサイズのガラス基板上に、スクリーン印刷法により塗布し、乾燥厚み6μmの膜を得た。   The photosensitive paste thus obtained was applied on a 42-inch diagonal glass substrate by a screen printing method to obtain a film having a dry thickness of 6 μm.

次に、プラズマディスプレイ用の電極パターン形成を目的とした所定のポジ型フォトマスク(線幅50μm、パターンピッチ230μm)を介して露光を行った。この時、マスクが汚染されるのを防ぐため、マスクと塗布膜間に100μmのギャップを設けた。その後、35℃に保持したモノエタノールアミンの0.8重量%水溶液をシャワーで60秒間処理して現像を行い、ガラス基板上にストライプ状の電極パターンを形成し、シャワースプレーを用いて水洗浄を行った。なお、100〜800mJ/cmの露光量の紫外線を照射したときに良好な電極パターンを得ることが可能であった。 Next, exposure was performed through a predetermined positive photomask (line width 50 μm, pattern pitch 230 μm) for the purpose of forming an electrode pattern for plasma display. At this time, in order to prevent the mask from being contaminated, a gap of 100 μm was provided between the mask and the coating film. Thereafter, a 0.8 wt% aqueous solution of monoethanolamine maintained at 35 ° C. is processed by developing for 60 seconds in a shower to form a striped electrode pattern on a glass substrate, and washed with water using a shower spray. went. In addition, it was possible to obtain a favorable electrode pattern when an ultraviolet ray having an exposure amount of 100 to 800 mJ / cm 2 was irradiated.

ついで電極パターンの加工を終了したガラス基板を80℃で15分乾燥した後、600℃で15分焼成し、電極を形成した。焼成後、パターン両端が基板から剥離するエッジカールはなく、良好な電極が得られた。   Next, the glass substrate that had been processed with the electrode pattern was dried at 80 ° C. for 15 minutes and then baked at 600 ° C. for 15 minutes to form an electrode. After firing, there was no edge curl where both ends of the pattern peeled off the substrate, and a good electrode was obtained.

電極を製造したガラス基板上に、酸化ビスマスを75重量%含有する低融点ガラスの粉末を60重量%、平均粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10重量%、エチルセルロース15重量%、テルピネオール15重量%を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のアドレス電極が覆われるように5μmの厚みで塗布した後に、570℃15分間の焼成を行って誘電体層を形成した。   On the glass substrate on which the electrode was manufactured, 60% by weight of low melting glass powder containing 75% by weight of bismuth oxide, 10% by weight of titanium oxide powder having an average particle size of 0.3 μm, 15% by weight of ethyl cellulose, and 15% by weight of terpineol. A glass paste obtained by kneading% was applied by screen printing to a thickness of 5 μm so as to cover the address electrodes of the display portion, and then baked at 570 ° C. for 15 minutes to form a dielectric layer.

誘電体層上に、1層目の感光性ペーストを塗布した。感光性ペーストはガラス粉末と感光性成分を含む有機成分から構成され、ガラス粉末としては、酸化リチウム10重量%、酸化珪素25重量%、酸化硼素30重量%、酸化亜鉛15重量%、酸化アルミニウム5重量%、酸化カルシウム15重量%からなる組成のガラスを粉砕した平均粒子径2μmのガラス粉末を用いた。感光性成分を含む有機成分としては、カルボキシル基を含有するアクリルポリマー30重量%、トリメチロールプロパントリアクリレート30重量%、光重合開始剤である“イルガキュア369”(チバ・スペシャリティケミカルズ社製)10重量%、γ−ブチロラクトン30重量%からなるものを用いた。   A first photosensitive paste was applied on the dielectric layer. The photosensitive paste is composed of glass powder and an organic component containing a photosensitive component. As the glass powder, lithium oxide 10% by weight, silicon oxide 25% by weight, boron oxide 30% by weight, zinc oxide 15% by weight, aluminum oxide 5 A glass powder having an average particle diameter of 2 μm obtained by pulverizing glass having a composition consisting of 15% by weight and 15% by weight of calcium oxide was used. The organic component including the photosensitive component includes 30% by weight of an acrylic polymer containing a carboxyl group, 30% by weight of trimethylolpropane triacrylate, and 10% by weight of “Irgacure 369” (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) as a photopolymerization initiator. %, Γ-butyrolactone 30% by weight was used.

感光性ペーストは、これらのガラス粉末と感光性成分を含む有機成分をそれぞれ70:30の重量比率で混合した後に、ロールミルで混練して作製した。 次にこの感光性ペーストをダイコーターを用いて乾燥後厚み90μmになるように塗布した。乾燥は、クリーンオーブン(ヤマト科学社製)で行った。   The photosensitive paste was prepared by mixing the glass powder and the organic component containing the photosensitive component in a weight ratio of 70:30, and then kneading them with a roll mill. Next, this photosensitive paste was applied to a thickness of 90 μm after drying using a die coater. Drying was performed in a clean oven (manufactured by Yamato Scientific Co., Ltd.).

乾燥後、ピッチ230μmのストライプパターンを有するフォトマスクを用いて、アドレス電極と垂直方向に露光した。   After drying, exposure was performed in the direction perpendicular to the address electrodes using a photomask having a stripe pattern with a pitch of 230 μm.

露光後、上記感光性ペーストをさらに塗布、乾燥し、90μmの塗布膜を得た。   After the exposure, the photosensitive paste was further applied and dried to obtain a 90 μm coating film.

次に、パターンを有するフォトマスクを用いて、アドレス電極と平行方向に露光した。   Next, it exposed in the direction parallel to an address electrode using the photomask which has a pattern.

露光後、0.5重量%のエタノールアミン水溶液中で現像し、さらに、560℃で15分間焼成することにより、ピッチ230μm、高さ130μmの隔壁とピッチ230μm、、高さ65μmの補助隔壁を形成した。   After exposure, development is performed in a 0.5% by weight ethanolamine aqueous solution, followed by baking at 560 ° C. for 15 minutes to form partition walls with a pitch of 230 μm and height of 130 μm, and auxiliary partitions with a pitch of 230 μm and height of 65 μm. did.

さらに、赤、緑、青3色の蛍光体層を形成した。蛍光体層は蛍光体粉末90重量%とエチルセルロースとテルピネオールからなる溶液(固形分10%)とから蛍光体ペーストを作製し、口金から蛍光体を吐出することにより乾燥後の蛍光体厚みが30μmとなるように塗布した。このようにして作製したプラズマディスプレイ背面板を前面板と合わせて封着ガラスを用いて封着し、Xe5%含有のNeガスを内部ガス圧66500Paになるように封入した。さらに駆動回路を実装してPDPを作製した。   Furthermore, red, green and blue phosphor layers were formed. The phosphor layer is prepared by preparing a phosphor paste from 90% by weight of phosphor powder and a solution (solid content: 10%) composed of ethyl cellulose and terpineol, and discharging the phosphor from the die to obtain a phosphor thickness of 30 μm after drying. It applied so that it might become. The plasma display back plate thus produced was combined with the front plate and sealed with sealing glass, and Ne gas containing Xe 5% was sealed so as to have an internal gas pressure of 66500 Pa. Further, a driving circuit was mounted to produce a PDP.

パネル内の領域間で電荷移動が生じ指定以外のセルが発光する誤放電および不灯の発生は放電維持電圧(Vsus)を170Vと規定し、この電圧において誤放電が発生するかどうか目視で検査した。下記実施例、比較例において100枚PDPを作製し、電荷移動による誤放電および不灯が発生するパネルの枚数で評価した。   The occurrence of false discharges and non-lights caused by charge transfer between the regions in the panel and emission of non-designated cells is defined as 170V, and visual inspection is performed to determine whether false discharges occur at this voltage. did. In the following examples and comparative examples, 100 PDPs were produced and evaluated by the number of panels in which erroneous discharge and non-lighting occurred due to charge transfer.

実施例1
上記の方法を用い、マスクに設けたパターン形状を調整することにより、図2に示すように表示域のアドレス電極の配列方向両端部を表示域の両端から10cmの領域とし、該領域(左右各43本ずつ)のアドレス電極の幅を60μmとし、また、表示域内側部においては、そのアドレス電極長手方向両端から各10cmの領域においてアドレス電極の幅を60μmとし、表示域中央部のアドレス電極幅を50μmとなるようにストライプ状のアドレス電極を形成した。次いで、マスクに設けたパターン形状を調整することにより、頂部幅が40μm、底部幅が60μmの隔壁を形成してプラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。実施例1では1パネルにおける誤放電および不灯の発生数も少なく100枚中3枚のパネルについて誤放電および不灯を確認した。
Example 1
Using the methods described above, by adjusting the pattern provided on the mask, and from both ends of the display area of the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area as shown in FIG. 2 and 10cm regions, region (left and right the width of the address electrodes of each 43 present each) and 60 [mu] m, in the display area inside portion, and 60 [mu] m the width of Oite address electrode from the address electrodes longitudinal both ends in the realm of each 10 cm, Table示域Striped address electrodes were formed so that the address electrode width in the center was 50 μm. Next, by adjusting the pattern shape provided on the mask, a partition having a top width of 40 μm and a bottom width of 60 μm was formed to produce a plasma display back plate, and a panel was produced using this. In Example 1, the number of erroneous discharges and non-lights in one panel was small and erroneous discharges and non-lights were confirmed for three of the 100 panels.

なお、図2は本実施例にかかる態様の把握の用に用意したもので、基板とアドレス電極の大きさは大きく異なることもあって、各構成相互の大きさの関係は一定の縮小率によるものではなく、また、各領域にあるアドレス電極の一部は省略されている。   Note that FIG. 2 is prepared for grasping the mode according to the present embodiment. The size of the substrate and the address electrode may be greatly different, and the relationship between the sizes of the components depends on a certain reduction ratio. In addition, some of the address electrodes in each region are omitted.

実施例2
上記の方法を用い、マスクに設けたパターン形状を調整することにより、図3に示すように表示域のアドレス電極の配列方向両端部を表示域両端から10cmの領域とし、該領域(左右43本ずつ)におけるアドレス電極において、表示域のアドレス電極の配列方向両側端から5cm、表示域のアドレス電極の長手方向両端から5cmの領域におけるアドレス電極の幅を65μm、それ以外の表示域端部のアドレス電極の幅を60μmとし、また、表示域内側部においては、そのアドレス電極の長手方向両端から各10cmにおいてアドレス電極の幅を60μmとし、該表示域内側部のアドレス電極の長手方向両端以外の領域のアドレス電極の幅を50μmとなるようにストライプ状のアドレス電極を形成した。次いで、マスクに設けたパターン形状を調整することにより、頂部の幅が40μm、底部の幅が60μmの隔壁を形成して、プラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。その結果、100枚中1枚も誤放電および不灯が確認されることがなく、電荷移動による誤放電および不灯を抑制することができた。
Example 2
Using the methods described above, by adjusting the pattern provided on the mask, and the display area across the array direction both end portions of the display area of the address electrodes as shown in FIG. 3 and 10cm regions, region (left and right 43 in the address electrodes in the portions), 5cm from the array direction both side ends of the address electrodes of the display area, 65 .mu.m the width of the address electrodes in the longitudinal direction from both ends 5cm region of the address electrodes of the display area, and the other display area end portion the width of the address electrode is 60 [mu] m, in the display area inside portion, and 60 [mu] m the width of the address electrodes in each 10cm from the longitudinal both ends of the address electrodes, the display area longitudinal both of the inner portion of the address electrode Striped address electrodes were formed so that the width of the address electrode in the region other than the end was 50 μm. Next, by adjusting the pattern shape provided on the mask, a partition wall having a top width of 40 μm and a bottom width of 60 μm was formed, a plasma display back plate was manufactured, and a panel was manufactured using this. As a result, no erroneous discharge and unlighting were confirmed in any one of 100 sheets, and erroneous discharge and unlighting due to charge transfer could be suppressed.

なお、図3は本実施例にかかる態様の把握の用に用意したもので、基板とアドレス電極の大きさは大きく異なっていることもあって、各構成相互の大きさの関係は一定の縮小率によるものではなく、また、各領域にあるアドレス電極の一部は省略されている。   FIG. 3 is prepared for grasping the mode according to the present embodiment. The size of the substrate and the address electrode may be greatly different. It is not based on the rate, and some of the address electrodes in each region are omitted.

実施例3
実施例1と同様にしてアドレス電極の形成を行い、隔壁の形成はアドレス電極の幅を60μmとした領域においてはその頂部幅を50μmとし、アドレス電極の幅を50μmとした領域はその頂部幅を40μmとなるように形成した以外は、実施例1と同様にしてプラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。その結果得られたパネルは100枚中誤放電および不灯を確認することができず、電荷移動による誤放電および不灯を抑制することができた。
Example 3
In the same manner as in Example 1, the address electrodes are formed. In the formation of the partition walls, the top width is set to 50 μm in the region where the width of the address electrode is 60 μm, and the top width is set in the region where the width of the address electrode is 50 μm. A plasma display back plate was produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness was 40 μm, and a panel was produced using this. As a result, it was not possible to confirm erroneous discharge and non-lighting in 100 panels, and it was possible to suppress erroneous discharge and non-lighting due to charge transfer.

実施例4
実施例1と同様にしてアドレス電極の形成を行い、隔壁の形成はアドレス電極の幅を60μmとした領域においてはその頂部幅が50μm、底部幅を55μmとし、アドレス電極の幅を50μmとした領域においてはその頂部幅を45μm、底部幅を60μmとなるように形成した以外は、実施例1と同様にしてプラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。その結果得られたパネルは100枚中1枚も誤放電および不灯を確認することが出来ず、電荷移動による誤放電および不灯を抑制することができた。
Example 4
In the same manner as in Example 1, the address electrodes are formed. In the region where the width of the address electrode is 60 μm, the partition is formed in a region where the top width is 50 μm, the bottom width is 55 μm, and the address electrode width is 50 μm. In Example 1, a plasma display back plate was produced in the same manner as in Example 1 except that the top width was 45 μm and the bottom width was 60 μm, and a panel was produced using this. As a result, one of the 100 panels obtained could not confirm erroneous discharge and non-lighting, and erroneous discharge and non-lighting due to charge transfer could be suppressed.

比較例1
アドレス電極の幅を一様に50μmとした以外は実施例1と同様の方法でプラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。その結果、作製したパネル100枚中21枚においてパネル四隅に多数の誤放電および不灯を確認した。
Comparative Example 1
A plasma display back plate was produced in the same manner as in Example 1 except that the width of the address electrode was uniformly 50 μm, and a panel was produced using this. As a result, in 21 of 100 manufactured panels, a large number of erroneous discharges and non-lighting were confirmed at the four corners of the panel.

比較例2
表示域のアドレス電極の配列方向両端から10cmの領域の該領域(左右各43本ずつ)におけるアドレス電極の幅を40μmとし、また、その内側部においては、そのアドレス電極の長手方向両端から各10cmの領域においてアドレス電極の幅を40μmとし、該表示域内側部のアドレス電極の長手方向両端以外の領域、つまり表示域中央部、におけるアドレス電極の幅を50μmとした以外は、実施例1と同様の方法でプラズマディスプレイ背面板を作製し、これを用いてパネルを作製した。得られたパネル100枚中38枚に電荷移動による誤放電および不灯等を確認した。特にパネル上下および四角において顕著に誤放電や不灯の発生を確認した。
Comparative Example 2
The width of the address electrodes in the region of the region of 10cm from the array opposite ends of the address electrodes of the display area (each side each 43 pieces) and 40 [mu] m, also, in its inner portion, each from the longitudinal both ends of the address electrodes the width of Oite address electrodes and 40μm to realm of 10 cm, except for the longitudinally both ends than in the region of the address electrodes of the display area inside part, i.e. the display area central, the width of the address electrode in a 50μm is A plasma display back plate was produced in the same manner as in Example 1, and a panel was produced using this. In 38 out of 100 panels obtained, erroneous discharge due to charge transfer, non-lighting, etc. were confirmed. In particular, the occurrence of erroneous discharge and non-lighting was confirmed at the top and bottom and squares of the panel.

表示域、表示域内側部、表示域端部、表示域周縁部、表示域中央部を説明するための図である。なお、アドレス電極は便宜的に1本のみ示している。It is a figure for demonstrating a display area, a display area inner side part, a display area edge part, a display area peripheral part, and a display area center part. Only one address electrode is shown for convenience. 実施例1の態様を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an aspect of the first embodiment. 実施例2の態様を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining an aspect of Example 2. 一般的なPDPのセルの断面図である。It is sectional drawing of the cell of a general PDP. 隔壁の頂部の幅、底部の幅を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the width | variety of the top part of a partition, and the width | variety of a bottom part.

符号の説明Explanation of symbols

1:表示域
1A:表示域端部の中央部
1B:表示域端部の上端領域または下端領域
1C:表示域周縁部の上端領域または下端領域
1D:表示域中央部
2:アドレス電極
21:電極引き出し部
3:ガラス基板
4:誘電体層
5:隔壁、5A:隔壁の頂部幅、5B:隔壁の底部幅
6:蛍光体層
1: Display area 1A: Center area of display area edge 1B: Upper edge area or lower edge area of display area edge area 1C: Upper edge area or lower edge area of edge area of display area 1D: Display area central area 2: Address electrode 21: Electrode Drawing part 3: Glass substrate 4: Dielectric layer 5: Partition wall 5A: Top width of partition wall 5B: Bottom width of partition wall 6: Phosphor layer

Claims (3)

基板上に複数本のアドレス電極が実質的に平行に配設されたプラズマディスプレイ用部材であって、表示域のアドレス電極の配列方向両端部に位置するアドレス電極の幅が表示域中央部のアドレス電極の平均幅よりも大きく、かつ表示域のアドレス電極の配列方向中央部に位置するアドレス電極の長手方向両端部の幅が表示域中央部のアドレス電極の平均幅よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル用部材 A member for a plasma display in which a plurality of address electrodes are arranged substantially in parallel on a substrate, and the width of the address electrodes located at both ends in the arrangement direction of the address electrodes in the display area is the address in the center of the display area The width of both ends of the address electrode in the longitudinal direction of the address electrode located at the center of the display area in the arrangement direction of the address electrode is larger than the average width of the address electrode at the center of the display area. Materials for plasma display panels . 表示域のアドレス電極の配列方向両端部のアドレス電極おいては、該アドレス電極の長手方向両端における幅の方が中央部における幅よりも大きいことを特徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイパネル用部材 Oite the address electrodes in the arrangement direction both end portions of the address electrodes of the display area, the plasma of claim 1 Symbol placement towards the width in the longitudinal ends of the address electrodes is equal to or greater than the width at the central portion Display panel member . 請求項1またはに記載のプラズマディスプレイパネル用部材を用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 A plasma display panel, which comprises using a plasma display panel member according to claim 1 or 2.
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