JP5404499B2 - Back plate for plasma display - Google Patents

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本発明はプラズマディスプレイ用背面板に関する。   The present invention relates to a back plate for a plasma display.

薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイが注目されている。   Plasma displays are attracting attention as displays that can be used in thin and large televisions.

プラズマディスプレイパネル用背面板を構成する電極、隔壁、蛍光体層の製造方法としては、基板上に感光性ペーストを塗布または積層し、所望のパターンを有するフォトマスクを介して露光、その後所望の現像液を用いて現像する方法が知られている。   As a method of manufacturing electrodes, barrier ribs, and phosphor layers constituting the back plate for a plasma display panel, a photosensitive paste is applied or laminated on a substrate, exposed through a photomask having a desired pattern, and then desired developed. A method of developing using a liquid is known.

例えば基板上にセラミック粉末と紫外線硬化型樹脂からなる感光性ペースト層を形成し、所望のパターンを有するフォトマスクを介して露光、現像、焼成することにより隔壁を形成する方法(特許文献1)が提案されている。   For example, there is a method of forming a partition wall by forming a photosensitive paste layer made of ceramic powder and an ultraviolet curable resin on a substrate, and exposing, developing, and baking through a photomask having a desired pattern (Patent Document 1). Proposed.

しかしながら、高精細なプラズマディスプレイ用の背面板を作製する場合は、画素セルの狭小化に伴い、背面板電極間のピッチが狭くなり、電極同士のスペースが充分にとれないという問題があった。   However, when manufacturing a back plate for a high-definition plasma display, the pitch between the back plate electrodes becomes narrow as the pixel cells are narrowed, and there is a problem that sufficient space between the electrodes cannot be taken.

このような問題に対し、端子電極の長さを変える方法(特許文献2)が提案されているが、この方法ではアドレス電極と端子電極との配置が制約されてしまい、問題であった。   In order to deal with such a problem, a method of changing the length of the terminal electrode (Patent Document 2) has been proposed. However, this method is problematic because the arrangement of the address electrode and the terminal electrode is restricted.

特開平2−165538号公報JP-A-2-165538 特開2006−286252号公報JP 2006-286252 A

本発明が解決しようとする課題は、生産性の高いプラズマディスプレイ用背面板を提供し、かつ表示品位が高いプラズマディスプレイを提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is to provide a plasma display back plate with high productivity and to provide a plasma display with high display quality.

このような課題を解決するために本発明は、基板上に複数本の電極パターンからなる電極ブロックを複数のブロックに分割して配列したプラズマディスプレイ用背面板であって、前記電極パターンそれぞれは、基板上に並行に設けられた直線状のアドレス電極と、該アドレス電極へと電気的に接続されかつ外部の駆動回路と接続するための端子電極と、該端子電極と前記アドレス電極とを結ぶ引出電極とから構成されるとともに、前記引出電極は、前記端子電極の延長線をなす延長部および該延長部と前記アドレス電極を接続する接続部を有し、前記各電極ブロックにおいて、両端以外の位置に各電極ブロック内で最も長い延長部を有する電極パターンを有し、かつ前記最も長い延長部を有する電極パターンは、電極パターンの配列方向におけるアドレス電極位置と端子電極位置との間のずれが当該電極ブロック内で最小であり、それ以外の電極パターンの延長部は一方の側に隣り合う電極パターンの延長部よりも長く、かつ他方の側に隣り合う電極パターンの延長部よりも短くなるように形成されており、前記最も長い延長部を有する電極パターンにおける接続部の基板短手方向の長さL1が、0.5〜5mmの範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板によって解決することが出来る。 In order to solve such a problem, the present invention is a back plate for a plasma display in which an electrode block composed of a plurality of electrode patterns is divided into a plurality of blocks on a substrate, and each of the electrode patterns includes: A linear address electrode provided in parallel on the substrate, a terminal electrode electrically connected to the address electrode and connected to an external drive circuit, and a lead connecting the terminal electrode and the address electrode The lead electrode has an extension part that forms an extension line of the terminal electrode, and a connection part that connects the extension part and the address electrode, and each electrode block has a position other than both ends. Each electrode block has an electrode pattern having the longest extension portion, and the electrode pattern having the longest extension portion is arranged in the arrangement direction of the electrode patterns. The deviation between the address electrode position and the terminal electrode position is the smallest in the electrode block, and the extension of the other electrode pattern is longer than the extension of the adjacent electrode pattern on one side, and the other The length L1 of the connecting portion in the substrate short direction of the electrode pattern having the longest extension portion is in the range of 0.5 to 5 mm, which is shorter than the extension portion of the electrode pattern adjacent to the side. This can be solved by a back plate for a plasma display.

本発明により、生産性の高いプラズマディスプレイ用背面板を提供し、かつ表示品位が高いプラズマディスプレイを提供することができる。   According to the present invention, a plasma display back plate with high productivity can be provided, and a plasma display with high display quality can be provided.

プラズマディスプレイパネルの1つの画素の構成の例を模式的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed typically the example of a structure of one pixel of a plasma display panel. 本発明の実施例によるプラズマディスプレイ用背面板の電極ブロックの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the electrode block of the backplate for plasma displays by the Example of this invention. 本発明のプラズマディスプレイ用背面板電極パターンの模式図である。It is a schematic diagram of the backplate electrode pattern for plasma displays of the present invention. 最も長い延長部を有する電極パターンにおける接続部の基板短手方向の長さが短い場合のプラズマディスプレイ用背面板電極パターンの引出電極部の模式図である。It is a schematic diagram of the extraction electrode part of the backplate electrode pattern for plasma displays when the length of the connection part in the substrate lateral direction is short in the electrode pattern having the longest extension part. 本発明のプラズマディスプレイ用背面板電極パターンの引出電極部の形状を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the shape of the extraction electrode part of the backplate electrode pattern for plasma displays of this invention. 従来のプラズマディスプレイ用背面板電極パターンの引出電極部の形状を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the shape of the extraction electrode part of the backplate electrode pattern for the conventional plasma display.

図1は、プラズマディスプレイの1つの画素の構成の例を模式的に示した斜視図である。図1において、表示面となる前面板6側のガラス基板1上には、対をなす複数のサステイン電極2とスキャン電極3が、銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で、表示領域の短辺の方向を縦方向、長辺の方向を横方向としたときに、横方向を長手方向とするストライプ状に形成されている。さらにサステイン電極2およびスキャン電極3を被覆してガラスを主成分とする誘電体層8が20〜50μm厚みで形成され、誘電体層4を被覆して保護層5が形成されている。   FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of the configuration of one pixel of a plasma display. In FIG. 1, a plurality of paired sustain electrodes 2 and scan electrodes 3 are made of a material such as silver, chromium, aluminum, nickel, etc. on a glass substrate 1 on the front plate 6 side serving as a display surface. When the direction of the side is the vertical direction and the direction of the long side is the horizontal direction, it is formed in a stripe shape having the horizontal direction as the longitudinal direction. Further, a dielectric layer 8 mainly composed of glass is formed to cover the sustain electrode 2 and the scan electrode 3 with a thickness of 20 to 50 μm, and a protective layer 5 is formed to cover the dielectric layer 4.

一方、背面板13側のガラス基板7には、複数のアドレス電極8が、縦方向を長手方向とするストライプ状に形成され、アドレス電極8を被覆してガラスを主成分とする誘電体層9が形成されている。前記誘電体層9上に放電セルを仕切るために、縦方向を長手方向とする主隔壁10と、主隔壁10と略直交する補助隔壁11からなる格子状隔壁が形成され、隔壁と誘電体層9で形成された放電空間内に蛍光体層12が形成されてなる。フルカラー表示が可能なプラズマディスプレイにおいては、蛍光体層は、赤(R)、緑(G)、青(B)の各色に発光するものにより構成される。前面板6側のサステイン電極2と背面板13側のアドレス電極8が互いに直交するように、前面板6と背面板13が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されプラズマディスプレイが形成される。スキャン電極3とアドレス電極8の交点を中心として画素セルが形成されるので、プラズマディスプレイは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。   On the other hand, on the glass substrate 7 on the back plate 13 side, a plurality of address electrodes 8 are formed in stripes having the longitudinal direction as the longitudinal direction, and the address layers 8 are covered and the dielectric layer 9 mainly composed of glass. Is formed. In order to partition the discharge cells on the dielectric layer 9, a grid-like barrier rib is formed which includes a main barrier rib 10 having a longitudinal direction as a longitudinal direction and an auxiliary barrier rib 11 substantially orthogonal to the main barrier rib 10. The barrier rib and the dielectric layer The phosphor layer 12 is formed in the discharge space formed by 9. In a plasma display capable of full color display, the phosphor layer is configured to emit light in each color of red (R), green (G), and blue (B). The front plate 6 and the back plate 13 are sealed so that the sustain electrode 2 on the front plate 6 side and the address electrode 8 on the back plate 13 side are orthogonal to each other, and helium, neon, xenon, etc. are placed in the gap between these substrates. A plasma display is formed by sealing the rare gas to be formed. Since the pixel cell is formed around the intersection of the scan electrode 3 and the address electrode 8, the plasma display has a plurality of pixel cells and can display an image.

図2は、本発明の実施例によるプラズマディスプレイ用背面板の電極ブロックの構成を示す模式図であり、図2に示すように、背面板13のガラス基板7上には、複数本の電極パターンからなる電極ブロックB1〜B10が複数のブロックに分割された状態で配列形成されている。なお、図示していないが、各電極ブロックB1〜B10には、電極パターンに駆動電圧を印加するためのドライバーICがそれぞれ接続される。   FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the electrode block of the back plate for plasma display according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, a plurality of electrode patterns are formed on the glass substrate 7 of the back plate 13. The electrode blocks B1 to B10 made of are arranged in a state of being divided into a plurality of blocks. Although not shown, each of the electrode blocks B1 to B10 is connected to a driver IC for applying a driving voltage to the electrode pattern.

図3は、図2に示す1つの電極ブロックにおける電極パターンの構成を示す模式図である。各電極ブロックB1〜B10の電極パターンそれぞれは、基板上に並行に設けられた直線状のアドレス電極8と、このアドレス電極8へと電気的に接続されかつ外部の駆動回路と接続するための端子電極22と、この端子電極22と前記アドレス電極8とを結ぶ引出電極23とから構成されている。   FIG. 3 is a schematic diagram showing a configuration of an electrode pattern in one electrode block shown in FIG. Each of the electrode patterns of the electrode blocks B1 to B10 has a linear address electrode 8 provided in parallel on the substrate, and a terminal electrically connected to the address electrode 8 and connected to an external drive circuit. An electrode 22 and an extraction electrode 23 connecting the terminal electrode 22 and the address electrode 8 are configured.

前記引出電極23は、図4に示すように、前記端子電極22の延長線をなす延長部24および前記延長部24と前記アドレス電極8を接続する接続部25を有している。   As shown in FIG. 4, the extraction electrode 23 has an extension portion 24 that forms an extension line of the terminal electrode 22 and a connection portion 25 that connects the extension portion 24 and the address electrode 8.

図4は、図3の電極パターンのA部分を拡大して示す模式図、図5は、図3の電極パターンのB部分を拡大して示す模式図である。図4に示すように、前記各電極ブロックにおいて、両端以外の位置に各電極ブロック内で最も長い延長部24を有する電極パターンを有し、かつ最も長い延長部24を有する電極パターンは、電極パターンの配列方向におけるアドレス電極8の位置と端子電極22の位置との間のずれが当該電極ブロック内で最小となるように構成されている。また、それ以外の電極パターンの延長部24は、長さが一方の側に隣り合う電極パターンの延長部24よりも長く、かつ他方の側に隣り合う電極パターンの延長部24よりも短くなるように形成されている。   4 is a schematic diagram showing an enlarged portion A of the electrode pattern of FIG. 3, and FIG. 5 is a schematic diagram showing an enlarged portion B of the electrode pattern of FIG. As shown in FIG. 4, each electrode block has an electrode pattern having the longest extension 24 in each electrode block at a position other than both ends, and the electrode pattern having the longest extension 24 is an electrode pattern. The shift between the position of the address electrode 8 and the position of the terminal electrode 22 in the arrangement direction is minimized within the electrode block. The other electrode pattern extensions 24 are longer than the electrode pattern extensions 24 adjacent to one side and shorter than the electrode pattern extensions 24 adjacent to the other side. Is formed.

なお、最も長い延長部を有する電極パターンにおける接続部の基板短手方向の長さL1は0.5〜5mmの範囲に設定している。これは、0.5mmよりも短いと、図4に示すようにアドレス電極8と接続部25をスムーズに繋ぐことができないため、電極の屈曲部が電極の画像検査などの際に異物などの欠陥と見分けが付かなくなり、正確な検査を行う上で課題となる。5mmよりも長いと、引出電極22間の距離が狭くなることを防ぐ効果が不十分となるためである。   Note that the length L1 of the connecting portion in the substrate short direction in the electrode pattern having the longest extension is set in the range of 0.5 to 5 mm. This is because if the length is shorter than 0.5 mm, the address electrode 8 and the connecting portion 25 cannot be smoothly connected as shown in FIG. It becomes a problem in performing accurate inspection. This is because if it is longer than 5 mm, the effect of preventing the distance between the extraction electrodes 22 from becoming narrower becomes insufficient.

ところで、それぞれピッチの異なるアドレス電極8(アドレス電極のピッチP1)と端子電極22(アドレス電極のピッチP2)とを直線的に引出電極23で繋ぐと、図6に示すように引出電極間距離P3が狭くなってしまい、電極短絡などを起こしやすくなるが、図5に示すように、引出電極23に端子電極22の延長線をなす延長部24を設けることにより、引出電極間距離P3が狭くなるのを防ぐことができ、電極短絡などを防止することができる。特に図3に示すようにアドレス電極8と端子電極22とを、電極パターンの配列方向にずらして配置したい場合、本発明のように電極パターンを形成することで引出電極間の距離が狭くなることを防ぐことが出来る。   When the address electrodes 8 (address electrode pitch P1) and the terminal electrodes 22 (address electrode pitch P2) having different pitches are linearly connected by the extraction electrode 23, the distance between the extraction electrodes P3 as shown in FIG. However, as shown in FIG. 5, by providing the extension part 24 that is an extension line of the terminal electrode 22 in the extraction electrode 23, the distance P3 between the extraction electrodes is reduced. Can be prevented, and an electrode short circuit or the like can be prevented. In particular, as shown in FIG. 3, when the address electrode 8 and the terminal electrode 22 are arranged to be shifted in the arrangement direction of the electrode pattern, the distance between the extraction electrodes is reduced by forming the electrode pattern as in the present invention. Can be prevented.

以下、本発明のプラズマディスプレイ用部材の製造方法について説明する。
本発明においてプラズマディスプレイ用部材に用いる基板としては、ソーダガラスなどを用いることができ、具体的にはプラズマディスプレイ用の耐熱ガラスである旭硝子(株)製のPD200や日本電気硝子(株)製のPP8などが挙げられる。
Hereinafter, the manufacturing method of the member for plasma displays of the present invention is explained.
As the substrate used for the plasma display member in the present invention, soda glass or the like can be used. Specifically, the heat-resistant glass for plasma display is PD200 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. or Nippon Electric Glass Co., Ltd. PP8 etc. are mentioned.

基板上には、銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりストライプ状のアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷し、400〜600℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する方法や、金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光後、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに400〜600℃に加熱、焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後にレジストを塗布し、レジストをパターン露光、現像した後にエッチングにより不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることもできる。電極厚みは1.0〜10μmが好ましく、1.5〜5μmがより好ましい。   Striped address electrodes are formed on the substrate with a metal such as silver, aluminum, chromium, or nickel. As a forming method, a metal paste mainly composed of these metal powders and an organic binder is printed by screen printing, and heated and baked at 400 to 600 ° C. to form a metal pattern, After applying a photosensitive metal paste containing a photosensitive organic component, after pattern exposure using a photomask, unnecessary portions are dissolved and removed in a development process, and further heated and baked at 400 to 600 ° C. to form a metal pattern. A photosensitive paste method can be used. Alternatively, an etching method may be used in which a resist is applied after sputtering a metal such as chromium or aluminum on a glass substrate, and after the resist is subjected to pattern exposure and development, an unnecessary portion of the metal is removed by etching. The electrode thickness is preferably 1.0 to 10 μm, and more preferably 1.5 to 5 μm.

前記アドレス電極を被覆して、誘電体層が形成される。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストを、アドレス電極を覆う形で塗布した後に、400〜600℃で焼成することにより形成することができる。誘電体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有し、これらを合計で10〜80質量%含有する低融点ガラス粉末を好ましく用いることができる。該配合物を10質量%以上とすることで、600℃以下での焼成が容易になり、80質量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。   A dielectric layer is formed to cover the address electrodes. The dielectric layer can be formed by applying a glass paste mainly composed of glass powder and an organic binder so as to cover the address electrodes, and then baking at 400 to 600 ° C. The glass paste used for the dielectric layer preferably includes a low melting glass powder containing at least one of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide and phosphorus oxide, and containing 10 to 80% by mass in total. it can. By setting the blend to 10% by mass or more, firing at 600 ° C. or less is facilitated, and by setting it to 80% by mass or less, crystallization is prevented and a decrease in transmittance is prevented.

上記低融点ガラス粉末と有機バインダーを混練してペーストを作成する。用いる有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。低融点ガラス粉末以外に軟化温度が高く焼成時に軟化しないフィラー成分を添加することにより、反射率が高く、輝度の高いPDPを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が好ましく、体積分布曲線における50%粒子径が0.05〜3μmの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末:フィラーの質量比で、1:1〜10:1が好ましい。フィラーの含有量を重量比でガラス粉末含有量の10分の1以上とすることで、輝度向上の実効を得ることができる。また、ガラス粉末の含有量の同量以下とすることで、焼結性を保つことができる。   A paste is prepared by kneading the low-melting glass powder and an organic binder. As the organic binder to be used, cellulose compounds typified by ethyl cellulose, methyl cellulose and the like, acrylic compounds such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and isobutyl acrylate can be used. Moreover, you may add additives, such as a solvent and a plasticizer, in glass paste. As the solvent, general-purpose solvents such as terpineol, butyrolactone, toluene and methyl cellosolve can be used. As the plasticizer, dibutyl phthalate, diethyl phthalate, or the like can be used. By adding a filler component having a high softening temperature and not softening during firing, in addition to the low-melting glass powder, a PDP having a high reflectance and a high luminance can be obtained. As the filler, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide and the like are preferable, and it is particularly preferable to use titanium oxide having a 50% particle diameter in a volume distribution curve of 0.05 to 3 μm. The filler content is preferably a glass powder: filler mass ratio of 1: 1 to 10: 1. By making the filler content 1/10 or more of the glass powder content by weight ratio, the effect of improving the luminance can be obtained. Moreover, sinterability can be maintained by setting it as the same amount or less of content of glass powder.

次に、本発明における主隔壁および補助隔壁の形成方法について説明する。主隔壁および補助隔壁は、感光性ペースト法(フォトリソグラフィー法)によりパターンを形成し、焼成することで形成される。   Next, the formation method of the main partition and the auxiliary partition in this invention is demonstrated. The main partition wall and the auxiliary partition wall are formed by forming a pattern by a photosensitive paste method (photolithography method) and baking it.

以下に感光性ペースト法について、詳述する。
感光性ペースト法で用いる隔壁形成用感光性ペーストは、無機微粒子と感光性有機成分を主成分とし、必要に応じて光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を含有する。
The photosensitive paste method will be described in detail below.
The photosensitive paste for forming a partition used in the photosensitive paste method is mainly composed of inorganic fine particles and a photosensitive organic component, and if necessary, a photopolymerization initiator, a light absorber, a sensitizer, an organic solvent, and a sensitization aid. Contains a polymerization inhibitor.

隔壁形成用感光性ペーストの無機微粒子としては、ガラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)などを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とするガラスやセラミックスが好ましい。   As the inorganic fine particles of the barrier rib forming photosensitive paste, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like can be used. In particular, glass or ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component is preferable.

無機微粒子の粒子径は、作製しようとするパターンの形状を考慮して選ばれるが、体積分布曲線における50%粒子径が、1〜10μmであることが好ましく、より好ましくは、1〜5μmである。体積分布曲線における50%粒子径を10μm以下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができる。また、1μm以上とすることで、ペーストの粘度調整を容易にすることができる。さらに、比表面積0.2〜3m/gのガラス微粒子を用いることが、パターン形成において特に好ましい。 The particle diameter of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced, but the 50% particle diameter in the volume distribution curve is preferably 1 to 10 μm, more preferably 1 to 5 μm. . By setting the 50% particle diameter in the volume distribution curve to 10 μm or less, it is possible to prevent surface irregularities from occurring. Moreover, the viscosity adjustment of a paste can be made easy by setting it as 1 micrometer or more. Furthermore, it is particularly preferable in the pattern formation to use glass fine particles having a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

主隔壁および補助隔壁は、好ましくは熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が350〜600℃の低融点ガラス微粒子を60質量%以上含む無機微粒子を用いることが好ましい。また、熱軟化温度が600℃より高い高融点ガラス微粒子やセラミック微粒子からなるフィラー成分を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、無機微粒子の合計量に対して40質量%以下が好ましい。低融点ガラス微粒子としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が50×10−7〜90×10−7−1、さらには、60×10−7〜90×10−7−1の低融点ガラス微粒子を用いることが好ましい。 Since the main partition wall and the auxiliary partition wall are preferably patterned on a glass substrate having a low heat softening point, inorganic particles containing 60% by mass or more of low melting glass particles having a heat softening temperature of 350 to 600 ° C. are used as the inorganic particles. It is preferable to use it. Further, by adding a filler component composed of high melting point glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature higher than 600 ° C., the shrinkage rate at the time of firing can be suppressed, but the amount is equal to the total amount of inorganic fine particles. The amount is preferably 40% by mass or less. The low-melting glass fine particles have a linear expansion coefficient of 50 × 10 −7 to 90 × 10 −7 K −1 , and further 60 × 10 −7 to 90 × 10 in order to prevent warping of the glass substrate during firing. It is preferable to use low-melting glass particles of −7 K −1 .

低融点ガラス微粒子としては、ケイ素および/またはホウ素の酸化物を含有したガラスが好ましく用いられる。   As the low-melting glass fine particles, glass containing silicon and / or boron oxide is preferably used.

さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50質量%含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工するのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。   Furthermore, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide, and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by mass, a glass paste having temperature characteristics suitable for patterning on a glass substrate can be obtained. it can.

感光性有機成分としては、感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも1種類を含有することが好ましい。
感光性モノマーは、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などのアクリル系モノマーを用いることが好ましい。これらは1種または2種以上使用することができる。
The photosensitive organic component preferably contains at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer.
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds, allylic compounds such as allyl compounds. It is preferable to use a monomer. These can be used alone or in combination of two or more.

感光性オリゴマー、感光性ポリマーとしては、炭素−炭素2重結合を有するモノマーのうちの少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを用いることができる。好ましくは上記アクリル系モノマーのうち少なくとも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーであって、前記モノマーの含有率が、10質量%以上、さらに好ましくは35質量%以上になるように、他の感光性のモノマーと共重合することができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマー、もしくは、オリゴマーの酸価(AV)は、50〜180の範囲が好ましく、70〜140の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマーや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。   As the photosensitive oligomer and photosensitive polymer, an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of monomers having a carbon-carbon double bond can be used. Preferably, it is an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of the acrylic monomers, and the content of the monomer is 10% by mass or more, more preferably 35% by mass or more. It can be copolymerized with a photosensitive monomer. By copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid with a polymer or oligomer, the developability after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is preferably in the range of 50 to 180, and more preferably in the range of 70 to 140. By adding a photoreactive group to the side chain or molecular end to the polymer or oligomer shown above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acrylic group, and a methacryl group.

光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、O−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは0.05〜10質量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜5質量%の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。   Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4- Examples include benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in a range of 0.05 to 10% by mass, and more preferably in a range of 0.1 to 5% by mass with respect to the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

光吸収剤を添加することも有効である。紫外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することによって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られる。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、0.05〜5質量%が好ましく、より好ましくは、0.05〜1質量%である。添加量が前記範囲より少ないと、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、前記範囲より多いと、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。   It is also effective to add a light absorber. By adding a compound having a high absorption effect of ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. As the light absorber, those composed of organic dyes are preferably used. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes are used. Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes, and the like can be used. Since organic dye does not remain in the insulating film after baking, it is preferable because the deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferable. The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by mass, and more preferably 0.05 to 1% by mass. When the addition amount is less than the above range, the effect of adding the light absorber tends to be reduced, and when it is more than the above range, the insulating film characteristics after firing tend to be lowered.

増感剤は、感度を向上させるために好ましく添加される。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常0.05〜10質量%、より好ましくは0.1〜10質量%である。増感剤の量が前記範囲より少ないと感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が前記範囲より多いと、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。   A sensitizer is preferably added in order to improve sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, and the like. Is mentioned. One or more of these can be used. When adding a sensitizer to a photosensitive paste, the addition amount is 0.05-10 mass% normally with respect to the photosensitive component, More preferably, it is 0.1-10 mass%. If the amount of the sensitizer is less than the above range, the effect of improving the sensitivity tends not to be exhibited.

有機溶媒としては、例えば、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, and γ-butyllactone. , N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid and the like, and one or more of these An organic solvent mixture is used.

隔壁形成用感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、3本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。次いで感光性ペーストの塗布、乾燥、露光、現像等を行う。   The partition-forming photosensitive paste is usually prepared by mixing the above-mentioned inorganic fine particles and organic components so as to have a predetermined composition, and then uniformly mixing and dispersing them with a three roller or kneader. Next, a photosensitive paste is applied, dried, exposed, developed, and the like.

隔壁形成用感光性ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。   As a method for applying the barrier rib forming photosensitive paste, a screen printing method, a bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater or the like can be used.

また、塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホットプレート、IR(赤外線)炉などを用いることができる。   In addition, a drying oven, a hot plate, an IR (infrared) furnace or the like can be used for drying after application.

露光で使用される活性光源は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/cmの出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間露光を行う。 Examples of the active light source used for exposure include visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, and laser light. Among these, ultraviolet rays are most preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a halogen lamp, or a germicidal lamp can be used. Among these, an ultrahigh pressure mercury lamp is suitable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

現像は、露光部と非露光部の現像液に対する溶解度差を利用して行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。   Development is performed using the difference in solubility in the developer between the exposed and unexposed areas. Development can be performed by a dipping method, a spray method, a brush method, or the like.

現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分、すなわち、ネガ型感光性ペーストの場合は露光前の感光性有機成分が、ポジ型感光性ペーストの場合は露光後の有機成分が溶解可能である溶液を用いる。溶解させたい有機成分にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像することができる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などの無機アルカリ水溶液を使用することが好ましいが、有機アルカリ水溶液を用いることもできる。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01〜10質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。   Developer can dissolve organic components in the photosensitive paste, that is, photosensitive organic components before exposure in the case of negative photosensitive paste, and organic components after exposure in the case of positive photosensitive paste. Is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the organic component to be dissolved, development can be performed with an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an inorganic alkaline aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate, sodium carbonate aqueous solution or calcium hydroxide aqueous solution is preferably used, but an organic alkaline aqueous solution can also be used. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, and diethanolamine. The density | concentration of aqueous alkali solution is 0.01-10 mass% normally, More preferably, it is 0.1-5 mass%.

次に、現像により得られた主隔壁及び補助隔壁のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持して焼成を行うと良い。   Next, the pattern of the main partition and the auxiliary partition obtained by development is fired in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but firing is performed in an atmosphere of air, nitrogen, hydrogen, or the like. As the firing furnace, a batch-type firing furnace or a roller hearth-type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is preferably 400 to 800 ° C. In the case where the partition wall is directly formed on the glass substrate, it is preferable to perform baking while maintaining the temperature at 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

次いで所定のアドレス電極と平行方向に形成された主隔壁間に、赤(R)、緑(G)、青(B)各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。   Next, phosphor layers that emit light of red (R), green (G), and blue (B) colors are formed between main barrier ribs formed in a direction parallel to predetermined address electrodes. The phosphor layer can be formed by applying a phosphor paste mainly composed of phosphor powder, an organic binder, and an organic solvent between predetermined main partition walls, drying, and firing if necessary.

蛍光体ペーストを所定の主隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストに前述の感光性有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。   As a method of applying the phosphor paste between predetermined main partition walls, a screen printing method in which a pattern is printed using a screen printing plate, a dispenser method in which a phosphor paste is discharged from the tip of a discharge nozzle, and a phosphor paste The phosphor paste of each color can be applied to a predetermined place by the above-described photosensitive paste method using the photosensitive organic component. However, the screen printing method and the dispenser method are preferably applied in the present invention for cost reasons. The

塗着させた蛍光体層を必要に応じて、400〜550℃で焼成することにより、背面板を作製することができる。   A back plate can be produced by firing the applied phosphor layer at 400 to 550 ° C., if necessary.

この背面板を用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護層を形成した部材である。背面板上に形成されたRGB各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成しても良い。   After sealing with the front plate using this back plate, a discharge gas composed of helium, neon, xenon, etc. is sealed in the space formed between the front and back substrates, and a drive circuit is attached to the plasma display Can be produced. The front plate is a member in which a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric, and a protective layer are formed in a predetermined pattern on a substrate. You may form a color filter layer in the part corresponding to the RGB each color phosphor layer formed on the back plate. Further, a black stripe may be formed in order to improve contrast.

本発明は、高い表示品位が要求されるプラズマディスプレイ用の背面板として広く利用される。   The present invention is widely used as a back plate for a plasma display that requires high display quality.

1 ガラス基板
2 サステイン電極
3 スキャン電極
4 誘電体層
5 保護層
6 前面板
7 ガラス基板
8 アドレス電極
9 誘電体層
10 主隔壁
11 補助隔壁
12 蛍光体層
13 背面板
22 端子電極
23 引出電極
24 延長部
25 接続部
B1〜B10 電極ブロック
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Sustain electrode 3 Scan electrode 4 Dielectric layer 5 Protective layer 6 Front plate 7 Glass substrate 8 Address electrode 9 Dielectric layer 10 Main partition 11 Auxiliary partition 12 Phosphor layer 13 Back plate 22 Terminal electrode 23 Lead electrode 24 Extension Part 25 connection part B1-B10 electrode block

Claims (1)

基板上に複数本の電極パターンからなる電極ブロックを複数のブロックに分割して配列したプラズマディスプレイ用背面板であって、前記電極パターンそれぞれは、基板上に並行に設けられた直線状のアドレス電極と、該アドレス電極へと電気的に接続されかつ外部の駆動回路と接続するための端子電極と、該端子電極と前記アドレス電極とを結ぶ引出電極とから構成されるとともに、前記引出電極は、前記端子電極の延長線をなす延長部および該延長部と前記アドレス電極を接続する接続部を有し、前記各電極ブロックにおいて、両端以外の位置に各電極ブロック内で最も長い延長部を有する電極パターンを有し、かつ前記最も長い延長部を有する電極パターンは、電極パターンの配列方向におけるアドレス電極位置と端子電極位置との間のずれが当該電極ブロック内で最小であり、それ以外の電極パターンの延長部は一方の側に隣り合う電極パターンの延長部よりも長く、かつ他方の側に隣り合う電極パターンの延長部よりも短くなるように形成されており、前記最も長い延長部を有する電極パターンにおける接続部の基板短手方向の長さL1が、0.5〜5mmの範囲にあることを特徴とするプラズマディスプレイ用背面板。 A back plate for a plasma display in which an electrode block composed of a plurality of electrode patterns is divided into a plurality of blocks and arranged on a substrate, wherein each of the electrode patterns is a linear address electrode provided in parallel on the substrate And a terminal electrode that is electrically connected to the address electrode and connected to an external drive circuit, and an extraction electrode that connects the terminal electrode and the address electrode, and the extraction electrode includes: An electrode having an extension part that forms an extension line of the terminal electrode and a connection part that connects the extension part and the address electrode, and each electrode block has the longest extension part in each electrode block at a position other than both ends. The electrode pattern having a pattern and having the longest extension is located between the address electrode position and the terminal electrode position in the arrangement direction of the electrode pattern. The displacement is minimal within the electrode block, and the other electrode pattern extension is longer than the electrode pattern extension adjacent to one side and shorter than the electrode pattern extension adjacent to the other side. The back plate for a plasma display is characterized in that the length L1 of the connecting portion of the electrode pattern having the longest extension in the short-side direction of the substrate is in the range of 0.5 to 5 mm. .
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