JP4866616B2 - 熱電対の真空フィードスルー - Google Patents
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Description
図1により前述したように、熱電対線と補償導線との接続は、真空空間側で行い、補償導線をセラミック端子を通して外部に引き出す真空フィードスルーの構造が採用される。補償導線を通す金属スリーブとしては、コバールやインバー等の低熱膨張係数合金が使用され、その端部をロー付けや溶接で気密封止し、真空バウンダリを形成する。より具体的には、アルミナ等の無機絶縁体の金属スリーブを通す孔は、Mo−Mn等の金属ペーストを塗布し、これを真空中、不活性ガス雰囲気中或いはH2を含む還元雰囲気中で焼き付けることにより、予めメタライズする。このメタライズした孔に前記金属スリーブを嵌め込み、ロー付けする。この金属スリーブに補償導線を通して引き出し、金属スリーブの端部をロー付けや溶接で気密封止し、真空バウンダリを形成する。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
真空チャンバの熱電対ポート1にフランジ2が設けられ、このフランジ2にフィードスルー端子のフランジ3が気密に接合されている。これらフランジ2、3の接合は、Oリング等のガスケット5を挟んでボルトとナット4の締め付けによりなされている。
この実施例による熱電対の真空フィードスルーでは、樹脂絶縁体10が雄と雌のコネクタ12a、12bを構成しており、これら雄コネクタ12aと雌コネクタ12bとにより前記熱電対線9a、9bと補償導線15a、15bとが接続される。
7 無機絶縁体
9a 熱電対線
9b 熱電対線
10 樹脂絶縁体
12a コネクタ
12b コネクタ
15a 補償導線
15b 補償導線
Claims (3)
- 測温接点が真空空間内に設置された熱電対線(9a)、(9b)を封止部から真空空間の外部に引き出す熱電対の真空フィードスルーであって、熱電対ポート(3)を封止した無機絶縁体(7)のメタライズした孔に金属スリーブ(8)、(8)を貫通し、ロー付けし、この金属スリーブ(8)、(8)を通して熱電対線(9a)、(9b)のリード線側を真空空間からその外部に引き出し、前記無機絶縁体(7)から突出した金属スリーブ(8)、(8)の同無機絶縁体(7)から突出した基部及び同金属スリーブ(8)、(8)の先端部とこれから引き出した熱電対線(9a)、(9b)とを樹脂絶縁体(10)で覆って気密に封止し、熱電対線(9a)、(9b)のリード線側を真空空間の外部で補償導線(15a)、(15b)と接続することを特徴とする熱電対の真空フィードスルー。
- 樹脂絶縁体(10)は無機絶縁体(7)を貫通した金属スリーブ(8)、(8)の同無機絶縁体7から突出した基部及び同金属スリーブ(8)、(8)の先端部とこれから引き出した熱電対線(9a)、(9b)の基部とを覆うようモールド成型されたことを特徴とする請求項1に記載の熱電対の真空フィードスルー。
- 樹脂絶縁体(10)は熱電対線(9a)、(9b)と補償導線(15a)、(15b)とを着脱自在に接続するコネクタ(12a)、(12b)のハウジングを兼ねていることを特徴とする請求項1に記載の熱電対の真空フィードスルー。
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