JP4591513B2 - 真空用電気コネクタ - Google Patents
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- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 12
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 7
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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Description
かかる問題は、イオン注入装置だけでなく、この種の真空用電気コネクタを用いている他の真空装置にも共通すると考えられる。
前記スリーブ11は、図1〜図4に示すように、金属などの導電性素材で形成された円筒状をなすものであり、前記真空容器の外壁、すなわち真空隔壁3を貫通して各端部が、真空となる装置内空間S1と大気となる装置外空間S2とにそれぞれ突出するように取り付けられている。また、このスリーブ11の各端部には、後述する相手方コネクタ2を係合させるための突起12(図1参照)がラジアル方向に延出させてある。
ラミック製のものであり、前記信号伝送端子15は、この電気絶縁体14を軸方向に貫通
して保持されている。また、この電気絶縁体14によって、スリーブ11の内側空間は、
真空側空間S11と大気側空間S21とに二分され、互いの間で気体が流通しないように
気密に分離される。
11・・・外筒体(スリーブ)
13・・・貫通孔
14・・・電気絶縁体
15・・・信号伝送端子
S11・・・外筒体の内側空間
S12・・・外筒体の外側空間
2・・・相手方コネクタ
21・・・嵌合筒体
3・・・真空隔壁
Claims (1)
- 真空隔壁に貫通して取り付けられる外筒体と、前記外筒体内に延伸して配置される信号伝送端子と、前記外筒体内に埋設されて前記信号伝送端子を外筒体から電気的に絶縁して保持するとともに当該外筒体を通じた気体流通を阻害する電気絶縁体と、を具備してなり、前記外筒体の真空側開口端部が相手方コネクタの嵌合筒体と嵌合することにより当該相手方コネクタと接続されて高電圧電気信号を伝送する真空用電気コネクタにおいて、
前記外筒体における真空側部位であって前記嵌合筒体との嵌合領域を避けた部位に、当該外筒体の壁部を厚み方向に貫通して外筒体の内側空間と外側空間とを連通する貫通孔を設けたことを特徴とする真空用電気コネクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006129A JP4591513B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 真空用電気コネクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008006129A JP4591513B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 真空用電気コネクタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009170232A JP2009170232A (ja) | 2009-07-30 |
JP4591513B2 true JP4591513B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=40971184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008006129A Active JP4591513B2 (ja) | 2008-01-15 | 2008-01-15 | 真空用電気コネクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4591513B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5485389A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-06 | Kouenerugii Butsurigaku Kenkiy | Insulated coaxial vacuum terminal |
JPH0393141A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-18 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
JP2003229216A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Kyocera Corp | 真空端子 |
-
2008
- 2008-01-15 JP JP2008006129A patent/JP4591513B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5485389A (en) * | 1977-12-21 | 1979-07-06 | Kouenerugii Butsurigaku Kenkiy | Insulated coaxial vacuum terminal |
JPH0393141A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-18 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
JP2003229216A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Kyocera Corp | 真空端子 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009170232A (ja) | 2009-07-30 |
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A977 | Report on retrieval |
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