JP4855224B2 - 光源装置および光源装置の調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、光源が発する光のうち複数の所定波長域の光を射出する光源装置および光源装置の調整方法に関する。

従来、顕微鏡等に用いられる光源装置では、ランプ等の光源が発する光を無駄なく効率的に利用するため、光源およびこの光源が発した光を集光する光学素子の芯出し調整および焦点合わせ調整を行うようにしている（例えば、特許文献１および２参照）。

特許文献１では、顕微鏡に取り付けられた光源装置において、光軸に対して垂直に光源を移動させることで、顕微鏡が備える対物レンズの瞳中心に光源像を位置決め（芯出し）するとともに、光源が発した光を集光する集光レンズを光軸方向に移動させることで、対物レンズの瞳上に光源像を合焦させている。また、特許文献２では、顕微鏡内に設けられた光源装置において、標本を載置するステージ上に設けられた光検出器からの出力が最大となるように、光軸に対して垂直に光源を移動させるとともに、コレクタレンズを光軸方向に移動させ、対物レンズの観察範囲内を均質に照明するようにしている。

特開２００１−７５０１０号公報 特開２００２−２７７７４８号公報

ところで、特に工業用途での顕微鏡や、ＦＰＤまたは半導体ウェハ等の検査装置などにおいて、光源が発する光の中から複数の異なる波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を選択的に顕微鏡等へ導入する要望がある。この場合、抽出する波長域ごとに芯出し調整が必要とされる。しかしながら、上述した従来技術では、光源および集光レンズ（コレクタレンズ）を動かすことで調整を行うようにしているため、製造誤差や組立誤差等に起因して生じる波長域間の芯ずれを補正することができないという問題があった。

また、上述した従来技術では、光源装置が射出する光の導入先装置である顕微鏡等に光源装置を搭載した状態で調整をおこなう必要があるため、波長域ごとに芯出し調整を行う場合には、光源装置を顕微鏡等に接続させた後、観察が開始できるようになるまでに煩雑な作業を必要とするばかりか、多大な時間と労力とを費やさなければならないという問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、光源が発する光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域間の芯ずれを補正することができるとともに、抽出した光の導入先装置としての顕微鏡等を用いることなく波長域間の芯ずれ補正を行うことができる光源装置および光源装置の調整方法を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる光源装置は、光源が発する光のうち複数の所定波長域の光を射出する光源装置において、前記光源が発した光を平行光にして射出するコリメート光学系と、前記所定波長域ごとに設けられ、それぞれ入射する光を自光学系の所定軸に対して対称に折り返す折返光学系と、前記コリメート光学系が射出した平行光の中から複数の前記所定波長域の光を分岐させ、この分岐させた各波長域の分岐光をそれぞれ対応する前記折返光学系に入射させるとともに、該折返光学系が前記所定波長域ごとに折り返した折返光を合成する抽出光学系と、前記抽出光学系が合成した合成光を集光して前記光源の光源像を結像させる集光光学系と、前記所定波長域ごとに、前記折返光学系および前記抽出光学系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させる偏心駆動機構と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、前記折返光学系は、前記分岐光を集光して前記光源の第１中間像を結像させる結像レンズ系と、前記第１中間像から発せられる光を集光し、自結像系の光軸に対して該第１中間像と対称な位置に前記光源の第２中間像を結像させる反射結像系とを有し、前記結像レンズ系は、前記第２中間像から発せられる光を集光し、自レンズ系の光軸に対して前記分岐光と対称な前記折返光を射出し、前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記反射結像系および前記結像レンズ系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、前記折返光学系は、前記分岐光を反射させる平面鏡を有し、前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記平面鏡をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、前記抽出光学系は、複数の前記所定波長域の光のうち１つの波長域の光を択一的に反射させ、該１つの波長域以外の光を透過させる選択反射光学素子を前記所定波長域ごとに有し、前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記選択反射光学素子をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合に前記光源像の所定結像位置を示す指標部材を備え、前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって該光源像内の高輝度部が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、前記光源は、アーク放電によって光を発するアークランプであり、前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記アークランプの陰極先端部と共役な部分が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、所定の大きさを有し、前記光源と交換自在に該光源の所定光源位置に設けられ、該所定光源位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記コリメート光学系に対して発する仮設光源と、前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合、前記集光光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像の所定結像位置を示す指標部材と、を備え、前記仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置は、上記の発明において、所定の大きさを有し、前記光源像の所定光源像位置に装脱自在に設けられ、該光源像位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記集光光学系に対して発する仮設光源と、前記光源と交換自在に前記コリメート光学系の焦平面上に設けられ、該焦平面上に設けられた場合に前記光源の所定光源位置を示す指標部材と、を備え、前記コリメート光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定光源位置に位置決めされることを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置の調整方法は、光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記光源の光源像の所定結像位置を示す指標部材を該光源像の結像面上に配置する指標配置ステップと、前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像内の高輝度部を前記所定結像位置に位置決めさせる位置決めステップと、を含むことを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置の調整方法は、光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、所定の大きさを有し、複数の前記所定波長域の光を含む照明光を発する仮設光源を、前記光源に換えて該光源の所定光源位置に配置する仮設光源配置ステップと、前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像の所定結像位置を示す指標部材を、前記集光光学系による前記光源の光源像の結像面上に配置する指標配置ステップと、前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記仮設光源像を前記所定結像位置に位置決めさせる位置決めステップと、を含むことを特徴とする。

また、本発明にかかる光源装置の調整方法は、光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、所定の大きさを有し、複数の前記所定波長域の光を含む照明光を発する仮設光源を、前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記光源の光源像の所定結像位置に配置する仮設光源配置ステップと、前記光源の所定光源位置を示す指標部材を、前記光源に換えて前記コリメート光学系の焦平面上に配置する指標配置ステップと、前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させ、前記光源が発した光を集光して平行光にするコリメート光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像を前記所定光源位置に位置決めさせる位置決めステップと、を含むことを特徴とする。

本発明にかかる光源装置および光源装置の調整方法によれば、光源が発する光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域間の芯ずれを補正することができるとともに、抽出した光の導入先装置としての顕微鏡等を用いることなく波長域間の芯ずれ補正を行うことができる。

以下、添付図面を参照して、本発明にかかる光源装置および光源装置の調整方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一符号を付して示している。

（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる光源装置および光源装置の調整方法について説明する。図１は、本実施の形態１にかかる光源装置を用いた顕微鏡装置としての紫外線顕微鏡装置１００の全体構成を示す図である。この図に示すように、紫外線顕微鏡装置１００は、大別して顕微鏡本体１０１と、光源装置１０２と、制御装置１０３とを備える。

顕微鏡本体１０１は、標本１が載置されるステージ２と、標本１の上部に配置される対物レンズ３と、レボルバ４を介して対物レンズ３を保持するとともに焦準機構５を介してステージ２を支持する架台６と、架台６の上部に載置された投光管７と、鏡筒８を介して投光管７上に搭載された接眼ユニット９とを備える。また、光源装置１０２は、内部に光源を備え、この光源が発した光の中から複数の所定波長域の紫外光を抽出して射出する波長選択ユニット１１と、波長選択ユニット１１が射出する紫外光を受光して顕微鏡本体１０１へ導入する光ファイバ１２とを備える。

対物レンズ３は、レボルバ４に対して着脱自在に取り付けられ、レボルバ４の回動動作に応じてステージ２上に配置される。ステージ２は、図示しない平面駆動機構によって対物レンズ３の光軸と直交した面内で自在に移動され、対物レンズ３に対する標本１の観察位置を変化させる。また、ステージ２は、焦準機構５によって昇降移動され、対物レンズ３に対する標本１の焦点合わせを行う。

投光管７は、図示しない照明光学系と観察光学系とを内部に備え、撮像装置としてのカメラ１３を側面部に備える。投光管７は、ファイバコネクタ７ａを介して光ファイバ１２が取り付けられており、この光ファイバ１２を介して波長選択ユニット１１から導入される紫外光を、照明光学系によって対物レンズ３を介し、照明光として標本１に照射する。また、投光管７は、対物レンズ３と協働し、照明光学系によって照明された標本１の観察像を観察光学系によって結像する。カメラ１３は、この観察像を撮像して観察画像を生成する。

鏡筒８は、内部に図示しない結像レンズを有しており、図示しない照明装置によって照射される可視光をもとに、対物レンズ３と協働し、標本１の可視観察像を結像する。この可視観察像は、接眼ユニット９を介して目視観察される。

制御装置１０３は、例えばパーソナルコンピュータを用いて構成される。制御装置１０３は、ケーブル１４ａ〜１４ｃを介して、それぞれ顕微鏡本体１０１、カメラ１３および波長選択ユニット１１に電気的に接続されており、顕微鏡本体１０１および波長選択ユニット１１が備える各部の処理および動作を制御する。

つづいて、波長選択ユニット１１について説明する。図２は、波長選択ユニット１１が内部に備える波長選択光学系１０４の要部構成を示す図である。この図に示すように、波長選択光学系１０４は、光源２１と、コリメート光学系かつ集光光学系としての集光レンズ２２と、抽出光学系としての選択反射光学系２３と、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃと、全反射ミラー２５と、シャッタ２６Ａ〜２６Ｃとを備える。

光源２１は、水銀ランプ、水銀キセノンアークランプ、メタルハライドランプ等、近紫外域から深紫外域の紫外光を含んだ光を発するランプが用いられる。光源２１の発光部は、集光レンズ２２の前側焦平面上であって集光レンズ２２の光軸２０から外れた位置（図２では、光軸２０から上方向に外れた位置）に配置される。

集光レンズ２２は、光源２１が発した光を光軸２０に対して傾斜した平行光４１を射出する。射出された平行光４１は、選択反射光学系２３に入射する。なお、平行光４１は、厳密に平行な光束に限定されず、略平行な光束を含むものである。これに応じて、光源２１の発光部の配置位置は、厳密に集光レンズ２２の前側焦平面上に限定されるものではなく、この前側焦平面の近傍であればよい。

選択反射光学系２３は、光軸２０上に直列に配設されたダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃを用いて構成されている。ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃは、平行光４１に含まれる所定波長域の紫外光を各々反射させ、この反射させる波長域以外の光を各々透過させる。例えば、ダイクロイックミラー２３Ａは、２４０〜２９０ｎｍの波長域（以下、第１波長域と呼ぶ。）の紫外光を反射させ、この波長域以外の光を透過させる。同様に、ダイクロイックミラー２３Ｂ，２３Ｃは、それぞれ２９０〜３３０ｎｍの波長域（以下、第２波長域と呼ぶ。）、３３０〜３８５ｎｍの波長域（以下、第３波長域と呼ぶ。）の紫外光を反射させ、この反射させる波長域以外の光を透過させる。

折返光学系２４Ａ〜２４Ｃは、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃの分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃ上に配置され、ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃが各々反射して平行光４１から分岐させた第１〜第３波長域の分岐光４２Ａ〜４２Ｃを受光するとともに、この受光した各分岐光４２Ａ〜４２Ｃを各々分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃに対して対称に折り返して射出する。なお、分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃは、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃによる光軸２０の反射光軸に相当する。折返光学系２４Ａ〜２４Ｃは、それぞれ自光学系の光軸を分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃに合致させて設けられている。

ここで、折返光学系２４Ａは、結像レンズ系としての結像レンズ２７Ａと、反射結像系としての凹面鏡２８Ａとを用いて構成されている。また、凹面鏡２８Ａには、この凹面鏡２８Ａを分岐光軸２０Ａに対してシフト偏心自在に保持する偏心駆動機構としてのミラーホルダ３０Ａが設けられている。なお、シフト偏心とは、凹面鏡やレンズ等の光学素子をその光軸に対して垂直方向に移動させることを意味する。

結像レンズ２７Ａは、第１波長域の紫外光に対して収差補正され、所定の焦点距離を有したレンズである。この結像レンズ２７Ａは、自レンズの光軸を分岐光軸２０Ａに合致させて設けられるとともに、集光レンズ２２の射出瞳ＥＰ１から分岐光軸２０Ａに沿って、その所定の焦点距離以上に離れた位置に配置されている。結像レンズ２７Ａは、分岐光４２Ａを集光し、後側焦平面上に光源２１の第１中間像４３Ａを結像する。

凹面鏡２８Ａは、所定の曲率半径で形成された球面の反射面２８Ａａを有し、分岐光軸２０Ａ上で、第１中間像４３Ａから分岐光軸２０Ａ方向にその所定の曲率半径と等しい距離だけ離れた位置に配置されている。この配置位置は、結像レンズ２７Ａによる射出瞳ＥＰ１の共役位置に相当する。また、凹面鏡２８Ａは、初期設定として、ミラーホルダ３０Ａによって自結像系の光軸を分岐光軸２０Ａに合致させるように設けられている。凹面鏡２８Ａは、第１中間像４３Ａから発せられる光を集光するとともに、分岐光軸２０Ａに対して第１中間像４３Ａと対称な位置に光源２１の第２中間像４４Ａを結像する。この第２中間像４４Ａから発せられる光は、再び結像レンズ２７Ａを介し、分岐光軸２０Ａに対して分岐光４２Ａと対称な平行光束である折返光４５Ａとして射出される。

具体的には、例えば結像レンズ２７Ａの焦点距離を５０ｍｍとした場合、この結像レンズ２７Ａは、分岐光軸２０Ａ上で射出瞳ＥＰ１から５０ｍｍ以上離れた位置に配置される。その配置位置を射出瞳ＥＰ１から１００ｍｍとすると、結像レンズ２７Ａによる射出瞳ＥＰ１の共役位置は、結像レンズ２７Ａから１００ｍｍの位置となり、この位置に凹面鏡２８Ａが配置される。このとき、第１中間像４３Ａは結像レンズ２７Ａから５０ｍｍの位置に結像されるため、凹面鏡２８Ａの曲率半径は、この第１中間像４３Ａからの距離に等しく５０（＝１００−５０）ｍｍとされる。この場合、第２中間像４４Ａは、結像レンズ２７Ａから５０ｍｍの位置で、かつ分岐光軸２０Ａに対して第１中間像４３Ａと対称な位置に結像される。

一方、折返光学系２４Ｂ，２４Ｃは、折返光学系２４Ａと同様に、それぞれ結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃと凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃとを用いて構成されており、凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃには、この凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃをそれぞれ分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに対してシフト偏心自在に保持する偏心駆動機構としてのミラーホルダ３０Ｂ，３０Ｃが設けられている。

結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃは、それぞれ第２および第３波長域の紫外光に対して収差補正され、所定の焦点距離を有したレンズである。この結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃは、それぞれ自レンズの光軸を分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに合致させて設けられるとともに、集光レンズ２２の射出瞳ＥＰ２から光軸２０および分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに沿って、それぞれ所定の焦点距離以上に離れた位置に配置されている。結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃは、それぞれ分岐光４２Ｂ，４２Ｃを集光し、後側焦平面上に光源２１の第１中間像４３Ｂ，４３Ｃを結像する。

凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃは、それぞれ所定の曲率半径で形成された球面の反射面２８Ｂａ，２８Ｃａを有し、分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃ上で、第１中間像４３Ｂ，４３Ｃから分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃ方向に各々所定の曲率半径と等しい距離だけ離れた位置に配置されている。この配置位置は、それぞれ結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃによる射出瞳ＥＰ２の共役位置に相当する。また、凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃは、初期設定として、それぞれミラーホルダ３０Ｂ，３０Ｃによって自結像系の光軸を分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに各々合致させるように設けられている。

凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃは、第１中間像４３Ｂ，４３Ｃから発せられる光を集光するとともに、分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに対して各々第１中間像４３Ｂ，４３Ｃと対称な位置に光源２１の第２中間像４４Ｂ，４４Ｃを結像する。この第２中間像４４Ｂ，４４Ｃから発せられる光は、再び結像レンズ２７Ｂ，２７Ｃを介し、それぞれ分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに対して分岐光４２Ｂ，４２Ｃと対称な平行光束である折返光４５Ｂ，４５Ｃとして射出される。

折返光学系２４Ａ〜２４Ｃから射出される折返光４５Ａ〜４５Ｃは、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃによって再反射され、この再反射された各再反射光は、ダイクロイックミラー２３Ａを介して同軸に合成されて合成光４６とされる。合成光４６は、光軸２０に対して平行光４１と対称に、かつ逆向きに集光レンズ２２に入射する。

集光レンズ２２は、第１〜第３波長域の紫外光に対して収差補正されており、合成光４６に含まれる第１〜第３波長域の各紫外光を、全反射ミラー２５を介して同一位置に収束させる。これによって、第１〜第３波長域の各紫外光に対応する光源２１の光源像４７Ａ〜４７Ｃは、同一位置にテレセントリックに結像される。この光源像４７Ａ〜４７Ｃは、それぞれ第１〜第３波長域の紫外光に対する２次光源となり、光源像４７Ａ〜４７Ｃを統合した光源像４７は、第１〜第３波長域を合成した紫外光の２次光源となる。

光ファイバ１２は、入射端１２ａが光源像４７の所定結像位置に配置されている。光ファイバ１２は、光源像４７から発せられる紫外光を入射端１２ａから受光し、投光管７に取り付けられた射出端から射出する。これによって、光源装置１０２は、第１〜第３波長域を合成した紫外光を照明光として投光管７に導入することができる。

シャッタ２６Ａ〜２６Ｃは、それぞれ第１中間像４３Ａ〜４３Ｃ近傍に配置されており、図示しない開閉駆動機構によって開閉されることで、結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃが収束する光の光路を各々選択的に遮断および開放する。各開閉駆動機構は、ケーブル１４ｃを介して制御装置１０３と電気的に接続されており、制御装置１０３からの指示に基づいて各々シャッタ２６Ａ〜２６Ｃを開閉させる。波長選択ユニット１１では、このシャッタ２６Ａ〜２６Ｃを適宜組み合わせて開閉させることで、第１〜第３波長域の紫外光を選択的に抽出し、光源像４７から射出することができる。なお、シャッタ２６Ａ〜２６Ｃは、結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃが収束する光の光路に限定されず、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃから折返光学系２４Ａ〜２４Ｃを介して再びダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃに至る光路を選択的に遮断および開放するものであればよい。

つづいて、光ファイバ１２の入射端１２ａに対する光源像４７の結像位置について説明する。図３は、光源２１の発光部の一例を示す図であり、図４は、入射端１２ａ上に結像された光源像４７を示す図である。光源２１に用いられる水銀ランプや水銀キセノンアークランプ等、アーク放電によって光を発するアークランプは、図３に示すように、陽極２１ａと陰極２１ｂとの間で非対称な発光輝度分布２１ｃを生じる。そのうち最も輝度が高い高輝度部２１ｄは、陰極２１ｂの先端部に生成される。

図３に示した発光輝度分布２１ｃを有する光源２１をもとに結像される光源像４７は、高輝度部２１ｄの共役像である高輝度部４７ｄが入射端１２ａ内に含まれるように、かつ、発光輝度分布２１ｃの共役像である像輝度分布４７ｃによって入射端１２ａ内ができるだけ満たされるように投影される。具体的には、図４に示すように、光源像４７は、陰極２１ｂの共役像である陰極像４７ｂの先端部が入射端１２ａの外周部の所定位置（図４では外周下端部）に接するように結像される。このとき、光源像４７に含まれる第１〜第３波長域の光源像４７Ａ〜４７Ｃについて同様に結像される。

これに対して、例えば図５に示すように、高輝度部４７ｄを入射端１２ａの中心部に結像させた場合、像輝度分布４７ｃによって満たされない非入射領域１２ｂが入射端１２ａ内に形成される。この場合、非入射領域１２ｂには光源２１が発した光が導入されないため、光源２１が発する光のうち非入射領域１２ｂに相当する光量が無駄にされる。しかしながら、波長選択光学系１０４では、入射端１２ａに対して光源像４７を図４に示したように結像させているため、光源２１が発した光のうち無駄にする光量を抑え、光ファイバ１２内に多くの光量を効率的に導入させることができる。

このような波長選択光学系１０４では、入射端１２ａに対して光源像４７を図４に示したように結像させるため、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃの配置位置が適宜補正されている。言い換えると、波長選択光学系１０４を構成する各部の製造誤差や組立誤差等に起因する光源像４７Ａ〜４７Ｃの入射端１２ａに対する位置ずれ、特に各光源像４７Ａ〜４７Ｃ間の相対的な位置ずれがミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによる凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃのシフト偏心によって補正されている。

つまり、波長選択光学系１０４の各部を上述の通り組み立てた場合、光源像４７Ａ〜４７Ｃは、各々等しい大きさで同一位置に結像されるが、例えばダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃがそれぞれ所望する角度よりも傾斜して配置され、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃの光軸（結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃの光軸）と分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃとが各々合致しない場合、各ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃの所定角度からの傾斜量に応じて各光源像４７Ａ〜４７Ｃの結像位置にずれが生じる。この結像位置のずれは、ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃに限らず、結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃや集光レンズ２２などの組立誤差によっても同様に発生する。波長選択光学系１０４では、このようにして生じる各光源像４７Ａ〜４７Ｃ間の相対的な位置ずれを、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃをシフト偏心させることで補正するようにしている。

つづいて、その光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正について説明する。図６は、光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行う場合の光源装置１０２の構成を示す図である。この図に示すように、光源装置１０２では、光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、光ファイバ１２に換えて光源像観察ユニット５０が波長選択光学系１０４に接続される。

光源像観察ユニット５０は、光源像４７Ａ〜４７Ｃの所定結像位置を示す指標部材としてのターゲット板５１と、光源像４７Ａ〜４７Ｃから発せられる紫外光をターゲット板５１を介して集光し、その観察像としての２次光源像を結像する結像レンズ５２と、この２次光源像を撮像して２次光源観察画像を生成するカメラ５３と、２次光源観察画像を表示するディスプレイ５４とを用いて構成されている。

ターゲット板５１は、図７に示すように、石英ガラス等を用いて形成された円盤状の透明部材であって、その表面には、ターゲット板５１の中心点５１ｃを示す十字マーク５１ａと、中心点５１ｃを中心として光ファイバ１２の入射端１２ａの大きさを示す円形マーク５１ｂとが形成されている。ターゲット板５１は、円形マーク５１ｂが入射端１２ａの所定配置位置、つまり光源像４７の所定結像位置に合致して設けられるように、光ファイバ１２に換えて光源像４７の結像面上に装脱自在に配置される。

一方、ミラーホルダ３０Ａは、例えば図８−１および図８−２に示すように構成されている。図８−１は側面図であり、図８−２は凹面鏡２８Ａの正面図である。ミラーホルダ３０Ａは、凹面鏡２８Ａの裏面部に凸設された円柱状の軸部３１と、図示しない台座に固設されて軸部３１の円周部を囲繞するリング状の支持部３２と、支持部３２の側面部に設けられた貫通孔３２ａに貫設されるとともに、軸部３１の側面部に形成された溝部３１ａ内に先端部が挿設されるビス３３とを用いて構成されている。貫通孔３２ａの内壁面とビス３３の側面とにはそれぞれネジが切られており、このネジによってビス３３は貫通孔３２ａ内に螺設されている。貫通孔３２ａおよびビス３３は、それぞれ軸部３１の周方向で中心角１２０°ごとの３箇所に設けられている。

このミラーホルダ３０Ａでは、支持部３２に対して３つのビス３３を適宜螺入または螺脱させることで、凹面鏡２８Ａをその光軸に対して垂直な面内で自在に移動させることができる。これによって、波長選択光学系１０４では、分岐光軸２０Ａ（結像レンズ２７Ａの光軸）に対して凹面鏡２８Ａを自在にシフト偏心させることができる。ミラーホルダ３０Ｂ，３０Ｃもミラーホルダ３０Ａと同様に構成されており、それぞれ分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに対して凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃを自在にシフト偏心させることができる。なお、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃの構成は、図８−１および図８−２に示した構成に限定されず、例えば公知のスライダなどを利用した案内機構等、各々凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを自在にシフト偏心可能なものであれば任意の構成を用いることができる。

図９は、凹面鏡２８Ａのシフト偏心にともなう反射光の光路変化と、光源像４７Ａの結像位置の変化とを示す図である。この図では、波長選択光学系１０４のうち第１波長域に関わる光路を抜粋して示している。図９において破線で示すように、ミラーホルダ３０Ａによって凹面鏡２８Ａを図中右方向にシフト偏心させ、凹面鏡２８Ａ’へ移行させることで、凹面鏡２８Ａによって結像される第２中間像４４Ａは、第２中間像４４Ａ’へ移行される。このとき、第２中間像４４Ａは、凹面鏡２８Ａのシフト量Δに応じてシフト量２Δだけ図中右方向に移動する。

この第２中間像４４Ａの移動にともない、折返光４５Ａは折返光４５Ａ’へ移行し、合成光４６のうち第１波長域の紫外光は合成光４６’へ移行する。この結果、合成光４６’は、光軸２０に対して合成光４６よりも大きな角度で集光レンズ２２に入射し、光源像４７Ａは、光源像４７Ａ’へ移行する。この際、光源像４７Ａは、光源２１から第１中間像４３Ａへの結像倍率βと、第２中間像４４Ａのシフト量２Δとをもとに、シフト量２Δ／βだけ図中左方向に移動する。なお、折返光４５Ａ’は、集光レンズ２２の射出瞳ＥＰ１において折返光４５Ａと同じ領域を通過し、集光レンズ２２による光源像４７Ａ’の結像においてテレセントリック性が維持される。

同様に、ミラーホルダ３０Ａによって凹面鏡２８Ａを図中左方向にシフト量Δだけシフト偏心させた場合、第２中間像４４Ａは、シフト量２Δだけ図中左方向に移動し、光源像４７Ａは、シフト量２Δ／βだけ図中右方向に移動する。また、凹面鏡２８Ａを図中紙面と垂直方向に奥側／手前側へシフト量Δだけシフト偏心させた場合、第２中間像４４Ａは、それぞれシフト量２Δだけ奥側／手前側に移動し、光源像４７Ａは、それぞれシフト量２Δ／βだけ手前側／奥側に移動する。なお、いずれの場合にも、シフト偏心後の折返光は、射出瞳ＥＰ１において折返光４５Ａと同じ領域を通過し、集光レンズ２２によるシフト偏心後の光源像の結像においてテレセントリック性が維持される。

第２および第３波長域についても、それぞれミラーホルダ３０Ｂ，３０Ｃによって凹面鏡２８Ｂ，２８Ｃを凹面鏡２８Ａと同様にシフト偏心させることで、第２中間像４４Ｂ，４４Ｃおよび光源像４７Ｂ，４７Ｃをそれぞれ第２中間像４４Ａおよび光源像４７Ａと同様に移動させることができる。すなわち、波長選択光学系１０４では、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを適宜シフト偏心させることで、各光源像４７Ａ〜４７Ｃの結像位置を自在に移動させることができる。

光源装置１０２では、光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、まず、光ファイバ１２に換えて光源像観察ユニット５０を設け、ターゲット板５１を集光レンズ２２による光源像４７の結像面上に配置させる。つづいて、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを適宜シフト偏心させ、ターゲット板５１上の十字マーク５１ａと円形マーク５１ｂとによって示される光源像４７の所定結像位置に各光源像４７Ａ〜４７Ｃを位置決めする。

具体的には、図１０に示すように、ターゲット板５１上に投影される陰極像４７ｂの先端部が円形マーク５１ｂの所定端部（図１０では下端部）に接するように光源像４７Ａ〜４７Ｃを位置決めし、これによって光源像４７Ａ〜４７Ｃ内の高輝度部４７ｄを円形マーク５１ｂ内に位置決めする。その際、シャッタ２６Ａ〜２６Ｃによって第１〜第３波長域の紫外光を適宜遮断することで、光源像４７Ａ〜４７Ｃを容易に観察することができる。

このようにして光源像４７Ａ〜４７Ｃを位置決めすることで、光源装置１０２では、各光源像４７Ａ〜４７Ｃ間の相対的な位置ずれを補正し、所定結像位置上で各光源像４７Ａ〜４７Ｃを合致させて、波長域間の芯ずれを補正することができる。このため、ターゲット板５１に換えて光ファイバ１２を所定結像位置に配置させた場合、この合致させた光源像４７を図４に示したように入射端１２ａに対して適性位置に結像させることができる。これによって、光源装置１０２では、光源２１が発する光を効率的に光ファイバ１２内に導入させることができる。

また、光源装置１０２では、図示しない移動機構によって、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃをそれぞれ分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃ方向に適宜移動させることで、入射端１２ａに対する光源像４７Ａ〜４７Ｃの焦点合わせを行うことができる。これによって、各光源像４７Ａ〜４７Ｃを入射端１２ａ上に鮮明に結像させることができ、光源２１が発する光を一層効率的に光ファイバ１２内に導入させることができる。ここで、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃの光軸方向への移動は、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃを各々一体に移動させてもよく、あるいは折返光学系２４Ａ〜２４Ｃごとに結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃと凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃとの少なくとも一方を個別に移動させてもよい。

また、光源装置１０２では、上述のように光源像観察ユニット５０を用いることで、光源装置１０２が射出する光の導入先装置としての顕微鏡本体１０１を用いることなく、光源装置１０２単独で各光源像４７Ａ〜４７Ｃ間の相対的な位置ずれの補正を行うことができる。このため、光源装置１０２を顕微鏡本体１０１に取り付ける前に第１〜第３波長域間の芯ずれ補正を行うことができ、光源装置１０２を顕微鏡本体１０１に取り付けた後、容易かつ迅速に紫外線顕微鏡装置１００全体の立ち上げを行うことができる。

なお、光源像４７の所定結像位置を示すターゲット板５１上のマークは、上述した十字マーク５１ａおよび円形マーク５１ｂに限定されず、種々のマークが適用可能である。例えば、円形マーク５１ｂを廃止して十字マーク５１ａのみ形成し、この十字マーク５１ａの交差点としての中心点５１ｃによって陰極像４７ｂ先端部の所定結像位置を示すことができる。あるいは、十字マーク５１ａおよび円形マーク５１ｂに替えて、光源像４７の陰極像４７ｂ、像輝度分布４７ｃおよび高輝度部４７ｄの形状を模式的に示すマークを用いることもできる。

（変形例）
つぎに、本実施の形態１にかかる光源装置および光源装置の調整方法の変形例について説明する。図１１は、本変形例にかかる光源装置１０２の構成を示す図である。この図に示すように、本変形例にかかる光源装置１０２では、光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、光源像観察ユニット５０に替えて光源像観察ユニット６０が波長選択光学系１０４に接続される。

光源像観察ユニット６０は、光源２１の所定光源位置を示す指標部材としてのターゲット板６１と、所定の大きさの射出端６２ａを有した光ファイバ６２と、第１〜第３波長域の紫外光を含む照明光を発する工具光源６３と、工具光源６３が発した光を集光して光ファイバ６２に導入する集光レンズ６４とを備えるとともに、光源像観察ユニット５０と同様に、結像レンズ５２、カメラ５３およびディスプレイ５４を備える。

ターゲット板６１は、図１２に示すように、石英ガラス等を用いて形成された円盤状の透明部材であって、その表面には、ターゲット板６１の中心点６１ｃを示す十字マーク６１ａと、光源２１の陽極２１ａ、陰極２１ｂ、発光輝度分布２１ｃおよび高輝度部２１ｄの形状を模式的に示す光源マーク６１ｂとが形成されている。光源マーク６１ｂのうち陰極２１ｂの先端部に相当する位置は、中心点６１ｃに合致されている。ターゲット板６１は、光源マーク６１ｂが光源２１の所定光源位置に設けられるように、光源２１に換えて集光レンズ２２の焦平面上に装脱自在に配置される。

光ファイバ６２は、仮設光源としての射出端６２ａが光源像４７の結像面上の所定光源像位置に設けられるように、光ファイバ１２に換えて装脱自在に配置される。光ファイバ６２は、射出端６２ａが所定結像位置に設けられた場合、集光レンズ６４によって導入された工具光源６３からの光を射出端６２ａから射出し、全反射ミラー２５を介して集光レンズ２２に照射する。この照射された光は、波長選択光学系１０４を介し、集光レンズ２２によって集光される。これによって、射出端６２ａの共役像である射出端像がターゲット板６１上に結像される。第１〜第３波長域の紫外光による各射出端像は、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを適宜シフト偏心させることで、光源像４７Ａ〜４７Ｃと同様に、その結像位置を自在に移動される。

結像レンズ５２は、ターゲット板６１上に結像された各波長域の射出端像から発せられる紫外光をターゲット板６１を介して集光し、その観察像としての２次射出端像を結像する。カメラ５３は、この２次射出端像を撮像して２次射出端観察画像を生成し、ディスプレイ５４は、この２次射出端観察画像を表示する。

本変形例にかかる光源装置１０２では、光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、まず、光ファイバ１２に換えて光ファイバ６２を設け、射出端６２ａを集光レンズ２２による光源像４７の結像面上の所定結像位置に配置させる。また、光源２１に換えてターゲット板６１を設け、ターゲット板６１上の十字マーク６１ａおよび光源マーク６１ｂを光源２１の所定光源位置に配置させる。つづいて、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを適宜シフト偏心させ、十字マーク６１ａと光源マーク６１ｂとによって示される光源２１の所定光源位置に第１〜第３波長域の紫外光による射出端像を位置決めする。

具体的には、図１３に示すように、ターゲット板６１上に投影される第１〜第３波長域の射出端像６７の所定端部（図１３では下端部）を、光源マーク６１ｂのうち陰極２１ｂ先端部に相当する位置としての中心点６１ｃに接するように位置決めし、これによって、光源マーク６１ｂのうち高輝度部２１ｄに相当する位置を射出端像６７内に位置決めする。このとき、シャッタ２６Ａ〜２６Ｃによって第１〜第３波長域の光を適宜遮断することで、波長域ごとの射出端像６７を容易に観察することができる。

このようにして射出端像６７を位置決めすることで、本変形例にかかる光源装置１０２では、各波長域の射出端像６７を所定光源位置上で合致させることができる。このため、ターゲット板６１に換えて光源２１を所定光源位置に配置し、光ファイバ６２に換えて光ファイバ１２を所定結像位置に配置させた場合、各光源像４７Ａ〜４７Ｃを合致させて波長域間の芯ずれを補正することができるとともに、この合致させた光源像４７を図４に示したように入射端１２ａに対して適性位置に結像させることができる。これによって、本変形例にかかる光源装置１０２でも、光源２１が発する光を効率的に光ファイバ１２内に導入させることができる。

なお、本変形例にかかる光源装置１０２でも、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃをそれぞれ分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃ方向に適宜移動させることで、入射端１２ａに対する光源像４７Ａ〜４７Ｃの焦点合わせを行うことができる。これによって、各光源像４７Ａ〜４７Ｃを入射端１２ａ上に鮮明に結像させることができ、光源２１が発する光を一層効率的に光ファイバ１２内に導入させることができる。

また、本変形例にかかる光源装置１０２では、光源像観察ユニット５０を用いる場合と同様に、光源装置１０２が射出する光の導入先装置としての顕微鏡本体１０１を用いることなく、光源装置１０２単独で各光源像４７Ａ〜４７Ｃ間の相対的な位置ずれの補正を行うことができ、光源装置１０２を顕微鏡本体１０１に取り付ける前に各波長域間の芯ずれ補正を行うことができる。

なお、光源２１の所定光源位置を示すターゲット板６１上のマークは、上述した十字マーク６１ａおよび光源マーク６１ｂに限定されず、種々のマークが適用可能である。例えば、光源マーク６１ｂを廃止して十字マーク６１ａのみ形成し、この十字マーク６１ａの交差点としての中心点６１ｃによって射出端像６７の所定結像位置を示すことができる。あるいは、十字マーク６１ａおよび光源マーク６１ｂに替えて、射出端像６７の形状を示す円形マークを用いることもできる。

ところで、本変形例にかかる光源装置１０２では、光源像観察ユニット６０において、光ファイバ６２の射出端６２ａを光源像４７の所定結像位置に設けるとともに、光源２１の所定光源位置を示すターゲット板６１を集光レンズ２２の焦平面上に設け、射出端６２ａの射出端像６７を波長域ごとに所定光源位置に位置決めして合致させるものとしたが、これら射出端６２ａとターゲット板６１との配置を入れ換えることもできる。

すなわち、射出端６２ａを所定光源位置に配置させるとともに、光源マーク６１ｂが光源像４７の所定結像位置に設けられるようにターゲット板６１を光源像４７の結像面上に配置させる。そして、ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃによって凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを適宜シフト偏心させ、第１〜第３波長域ごとの射出端像６７を所定光源像位置に位置決めすることで、この各波長域の射出端像６７を所定結像位置上で合致させることができる。

この結果、射出端６２ａに換えて光源２１を所定光源位置に配置し、ターゲット板６１に換えて光ファイバ１２を所定結像位置に配置させた場合、各光源像４７Ａ〜４７Ｃを入射端１２ａ上で合致させることができるとともに、この合致させた光源像４７を図４に示したように入射端１２ａに対して適性位置に結像させることができる。これによって、上述の場合と同様に、光源２１が発する光を効率的に光ファイバ１２内に導入することができる。

（実施の形態２）
つぎに、本発明の実施の形態２にかかる光源装置および光源装置の調整方法について説明する。図１４は、本実施の形態２にかかる光源装置２０２が備える波長選択光学系２０４の構成を示す図である。ここで、光源装置２０２は、光源装置１０２と交換自在に紫外線顕微鏡装置１００に用いられるものであって、波長選択ユニット１１の構成をもとに波長選択光学系１０４に替えて波長選択光学系２０４を備えた波長選択ユニット２１１と、光ファイバ１２とを用いて構成されている（図１参照）。

波長選択光学系２０４は、波長選択光学系１０４の構成をもとに、集光レンズ２２、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃおよびシャッタ２６Ａ〜２６Ｃに替えて、集光レンズ７２、平面鏡７４Ａ〜７４Ｃおよびシャッタ７６Ａ〜７６Ｃを備える。また、平面鏡７４Ａ〜７４Ｃには、このそれぞれを分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃに対してチルト偏心自在に保持する偏心駆動機構としてのミラーホルダ８０Ａ〜８０Ｃが設けられている。その他の構成は、実施の形態１と同じであり、同一部分には同一符号を付して示している。なお、チルト偏心とは、平面鏡やレンズ等の光学素子を光軸等の所定軸と垂直な平面に対して傾斜させること、あるいはその平面に対してあらかじめ所定角度傾斜された状態からさらに傾斜させることを意味する。

集光レンズ７２は、集光レンズ２２と同様に、光源２１が発した光を集光し、光軸２０に対して傾斜した平行光９１を射出する。射出された平行光９１は、選択反射光学系２３に入射する。

平面鏡７４Ａ〜７４Ｃは、それぞれ分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃ上に配置されており、初期設定として、その各反射面７４Ａａ，７４Ｂａ，７４Ｃａは、集光レンズ７２の射出瞳ＥＰＡ〜ＥＰＣに各々合致され、各反射面７４Ａａ，７４Ｂａ，７４Ｃａに垂直な中心軸は、各々分岐光軸２０Ａ〜２０Ｃに合致されている。平面鏡７４Ａは、ダイクロイックミラー２３Ａが反射させて平行光９１から分岐させた分岐光９２Ａを反射させ、分岐光軸２０Ａに対して対称に折り返す。同様に、平面鏡７４Ｂ，７４Ｃは、それぞれダイクロイックミラー２３Ｂ，２３Ｃが反射させて平行光９１から分岐させた分岐光９２Ｂ，９２Ｃを反射させ、分岐光軸２０Ｂ，２０Ｃに対して各々対称に折り返す。

平面鏡７４Ａ〜７４Ｃが各々折り返した折返光９５Ａ〜９５Ｃは、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃによって再反射され、この再反射された各再反射光は、ダイクロイックミラー２３Ａを介して同軸に合成されて合成光９６とされる。合成光９６は、光軸２０に対して平行光９１と対称に、かつ逆向きに集光レンズ７２に入射する。

集光レンズ７２は、第１〜第３波長域の紫外光に対して収差補正されており、合成光９６に含まれる第１〜第３波長域の各紫外光を、全反射ミラー２５を介して同一位置に収束させる。これによって、第１〜第３波長域の各紫外光に対応する光源２１の光源像９７Ａ〜９７Ｃは、同一位置にテレセントリックに結像される。この光源像９７Ａ〜９７Ｃは、それぞれ第１〜第３波長域の紫外光に対する２次光源となり、光源像９７Ａ〜９７Ｃを統合した光源像９７は、第１〜第３波長域を合成した紫外光の２次光源となる。

光ファイバ１２は、入射端１２ａが光源像９７の所定結像位置に配置されている。光ファイバ１２は、光源像９７から発せられる紫外光を入射端１２ａから受光し、投光管７に取り付けられた射出端から射出する。これによって、光源装置２０２は、光源装置１０２と同様に、第１〜第３波長域を合成した紫外光を照明光として投光管７に導入することができる。

シャッタ７６Ａ〜７６Ｃは、それぞれ平面鏡７４Ａ〜７４Ｃの各反射面７４Ａａ，７４Ｂａ，７４Ｃａ近傍、つまり集光レンズ７２の射出瞳ＥＰＡ〜ＥＰＣ近傍に配置されている。シャッタ７６Ａ〜７６Ｃは、図示しない開閉駆動機構によって開閉されることで、ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃから平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを介して再びダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃに至る光路を各々選択的に遮断および開放する。各開閉駆動機構は、ケーブル１４ｃを介して制御装置１０３と電気的に接続されており、制御装置１０３からの指示に基づいて各々シャッタ７６Ａ〜７６Ｃを開閉させる。波長選択ユニット２１１では、このシャッタ７６Ａ〜７６Ｃを適宜組み合わせて開閉させることで、第１〜第３波長域の紫外光を選択的に抽出し、光源像９７から射出することができる。なお、シャッタ７６Ａ〜７６Ｃの配置は、各反射面７４Ａａ，７４Ｂａ，７４Ｃａ近傍に限定されず、それぞれダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃから平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを介して再びダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃに至る光路を選択的に遮断および開放できる位置であれば任意でよい。

つづいて、光源装置２０２における光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正について説明する。図１５は、光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行う場合の光源装置２０２の構成を示す図である。この図に示すように、光源装置２０２では、光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、上述した実施の形態１と同様に、光ファイバ１２に換えて光源像観察ユニット５０が波長選択光学系２０４に接続される。このとき、ターゲット板５１は、円形マーク５１ｂが入射端１２ａの所定配置位置、つまり光源像９７の所定結像位置に合致して設けられるように、光ファイバ１２に換えて光源像９７の結像面上に装脱自在に配置される。

一方、ミラーホルダ８０Ａは、例えば図１６−１および図１６−２に示すように構成されている。図１６−１は側面図であり、図１６−２は平面鏡７４Ａの正面図である。ミラーホルダ８０Ａは、平面鏡７４Ａの裏面中心部に凸設された円柱状の軸部８１と、図示しない台座に固設されるとともに軸部８１に接続された平板状の支持部８２と、支持部８２に設けられた貫通孔８２ａに貫設されるとともに、平面鏡７４Ａの裏面部に形成された溝部７４Ａｂ内に先端部が挿設されるビス８３と、両端部が平面鏡７４Ａと支持部８２との各対向面に接続されたコイルバネ８４とを用いて構成されている。

貫通孔８２ａの内壁面とビス８３の側面とにはそれぞれネジが切られており、このネジによってビス８３は貫通孔８２ａに螺設されている。貫通孔８２ａ、ビス８３およびコイルバネ８４は、それぞれ軸部８１の周りで中心角１２０°ごとの３箇所に設けられ、貫通孔８２ａおよびビス８３と、コイルバネ８４とは、軸部８１の周りで中心角６０°ごとに交互に配置されている。コイルバネ８４は、平面鏡７４Ａに対して常に支持部８２方向へ引きつける応力を及ぼしている。

このミラーホルダ８０Ａでは、支持部８２の裏面から３つのビス８３を適宜螺入および螺脱させることで、軸部８１を中心として平面鏡７４Ａを自在に傾斜移動させることができる。これによって、波長選択光学系２０４では、分岐光軸２０Ａに対して平面鏡７４Ａを自在にチルト偏心させることができる。ミラーホルダ８０Ｂ，８０Ｃもミラーホルダ８０Ａと同様に構成されており、それぞれ分岐光軸２０Ａ，２０Ｃに対して平面鏡７４Ｂ，７４Ｃを自在にチルト偏心させることができる。なお、ミラーホルダ８０Ａ〜８０Ｃの構成は、図１６−１および図１６−２に示した構成に限定されず、各々平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを自在にチルト偏心可能なものであれば任意の構成を用いることができる。

図１７は、平面鏡７４Ａのチルト偏心にともなう折返光９５Ａの光路変化と、光源像９７Ａの結像位置の変化とを示す図である。この図では、波長選択光学系２０４のうち第１波長域に関わる光路を抜粋して示している。図１７において破線で示すように、ミラーホルダ８０Ａによって平面鏡７４Ａを図中時計回りにチルト偏心させ、平面鏡７４Ａ’へ移行させることで、平面鏡７４Ａによって反射される折返光９５Ａは、折返光９５Ａ’へ移行される。このとき、折返光９５Ａは、平面鏡７４Ａのチルト量δに応じて偏角量２δだけ図中時計回りに偏向する。

この折返光９５Ａの偏向にともない、合成光９６のうち第１波長域の紫外光は合成光９６’へ移行する。この結果、合成光９６’は、光軸２０に対して合成光９６よりも大きな角度で集光レンズ７２に入射し、光源像９７Ａは、光源像９７Ａ’へ移行する。この際、光源像９７Ａは、集光レンズ７２の焦点距離ｆと、折返光９５Ａの偏角量２δとをもとに、シフト量２δ・ｆだけ図中左方向に移動する。なお、集光レンズ７２による光源像９７Ａ’の結像においてテレセントリック性は維持される。

同様に、ミラーホルダ８０Ａによって平面鏡７４Ａを図中反時計回りにチルト量δだけチルト偏心させた場合、折返光９５Ａは、偏角量２δだけ図中反時計回りに偏向し、光源像９７Ａは、シフト量２δ・ｆだけ図中右方向に移動する。また、平面鏡７４Ａを図中紙面と垂直方向に上側／下側へチルト量δだけチルト偏心させた場合、折返光９５Ａは、それぞれ偏角量２δだけ手前側／奥側に偏向し、光源像９７Ａは、それぞれシフト量２δ・ｆだけ手前側／奥側に移動する。ここで、平面鏡７４Ａの上側／下側へのチルト偏心とは、平面鏡７４Ａにおける図中手前側の端部を上側／下側に移動させた場合の傾斜に相当する。

第２および第３波長域についても、それぞれミラーホルダ８０Ｂ，８０Ｃによって平面鏡７４Ｂ，７４Ｃを平面鏡７４Ａと同様にチルト偏心させることで、折返光９５Ｂ，９５Ｃおよび光源像９７Ｂ，９７Ｃをそれぞれ折返光９５Ａおよび光源像９７Ａと同様に偏向または移動させることができる。すなわち、波長選択光学系２０４では、ミラーホルダ８０Ａ〜８０Ｃによって平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを適宜チルト偏心させることで、各光源像９７Ａ〜９７Ｃの結像位置を自在に移動させることができる。

光源装置２０２では、光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行う場合、まず光ファイバ１２に換えて光源像観察ユニット５０を設け、ターゲット板５１を集光レンズ７２による光源像９７の結像面上に配置させる。つづいて、ミラーホルダ８０Ａ〜８０Ｃによって平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを適宜チルト偏心させ、ターゲット板５１上の十字マーク５１ａと円形マーク５１ｂとによって示される光源像９７の所定結像位置に各光源像９７Ａ〜９７Ｃを位置決めする。具体的には、実施の形態１と同様に、図１０に示すように位置決めする。

これによって、光源装置２０２では、各光源像９７Ａ〜９７Ｃ間の相対的な位置ずれを補正し、各光源像９７Ａ〜９７Ｃを合致させて、波長域間の芯ずれを補正することができる。このため、ターゲット板５１に換えて光ファイバ１２を所定結像位置に配置させた場合、この合致させた光源像９７を図４に示したように入射端１２ａに対して適性位置に結像させることができる。この結果、光源装置２０２では、実施の形態１と同様に、光源２１が発する光を効率的に光ファイバ１２内に導入させることができる。

また、光源装置２０２では、実施の形態１と同様に、光源像観察ユニット５０を用いて光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行うため、光源装置１０２が射出する光の導入先装置としての顕微鏡本体１０１を用いることなく、光源装置２０２単独で各光源像９７Ａ〜９７Ｃ間の相対的な位置ずれの補正を行うことができる。これによって、光源装置２０２を顕微鏡本体１０１に取り付ける前に第１〜第３波長域間の芯ずれ補正を行うことができ、光源装置２０２を顕微鏡本体１０１に取り付けた後、容易かつ迅速に紫外線顕微鏡装置１００全体の立ち上げを行うことができる。

なお、光源装置２０２では、上述した実施の形態１の変形例と同様に、光源像観察ユニット６０を用いて光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行うこともできる。その場合、光ファイバ６２の射出端６２ａを光源像９７の所定結像位置に設けるとともに、光源２１の所定光源位置を示すターゲット板６１を集光レンズ７２の焦平面上に設け、射出端６２ａの射出端像６７を第１〜第３波長域ごとに所定光源位置に位置決めして合致させるとよい。あるいは、射出端６２ａを所定光源位置に配置させるとともに、光源マーク６１ｂが光源像９７の所定結像位置に設けられるようにターゲット板６１を光源像９７の結像面上に配置させ、各波長域の射出端像６７を所定結像位置上で合致させるとよい。

ここまで、本発明を実施する最良の形態を実施の形態１および２として説明したが、本発明は、上述した実施の形態１および２に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。

例えば、上述した実施の形態１では、凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃを各々シフト偏心させることで光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行い、実施の形態２では、平面鏡７４Ａ〜７４Ｃを各々チルト偏心させることで光源像９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行うものとしたが、これに限定されず、ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃを各々チルト偏心させることで光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行うようにすることもできる。また、実施の形態１のように波長選択光学系１０４を用いる場合には、結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃを各々シフト偏心またはチルト偏心させることで光源像４７Ａ〜４７Ｃの位置ずれ補正を行うようにすることもできる。ただし、ダイクロイックミラー２３Ａ〜２３Ｃや結像レンズ２７Ａ〜２７Ｃによって位置ずれ補正を行う場合には、光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの各結像においてテレセントリック性が損なわれる恐れがあるため、上述のように凹面鏡２８Ａ〜２８Ｃまたは平面鏡７４Ａ〜７４Ｃによって位置ずれ補正を行うことが好ましい。

また、上述した実施の形態１および２では、光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を行うためにミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃ，８０Ａ〜８０Ｃを手動操作することを前提に説明をしたが、手動操作に限定されず、制御装置１０３からの制御をもとにミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃ，８０Ａ〜８０Ｃを自動操作することもできる。その場合、例えば各ミラーホルダ３０Ａ〜３０Ｃ，８０Ａ〜８０Ｃに設けられた各ビス３３，８３を電動マイクロメータ等によって螺入および螺脱駆動させる構成とし、この電動マイクロメータを制御装置１０３によって駆動制御するとよい。また、制御装置１０３は、カメラ５３が生成した観察画像を取得し、この観察画像に対して所定の画像処理を行うことで、ターゲット板５１，６１に対する光源像４７Ａ〜４７Ｃまたは９７Ａ〜９７Ｃの位置決め確認を行うようにするとよい。

なお、光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正を手動操作によって行う場合には、波長選択ユニット１１，２１１の筐体、つまり波長選択光学系１０４，２０４を収容するカバー部材に、外部からビス３３，８３等を操作可能とするための開口部等を設けるとよい。

また、上述した実施の形態１および２では、波長選択光学系１０４，２０４によって、第１〜第３波長域の紫外光を抽出するものとして説明したが、抽出する波長域を３つに限定して解釈する必要はなく、２つ以下あるいは４つ以上の波長域の紫外光を抽出させるようにしてもよい。さらに、波長選択光学系１０４，２０４で抽出する波長域は、紫外域に限定されず、可視域あるいは赤外域とすることもでき、これらの波長域を混在させることもできる。これに応じて、本発明にかかる光源装置を用いる顕微鏡装置等は、紫外線顕微鏡装置に限定されず、可視域、赤外域、あるいは紫外域から赤外域までの広範な波長域等に対して適用可能な顕微鏡装置等とすることができる。

なお、第１〜第３波長域が可視域である場合には、光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの位置ずれ補正において、カメラ５３を介さず、ターゲット板５１，６１上に結像される光学像を目視観察することができる。また、第１〜第３波長域が可視域である場合には、光源２１には、ハロゲンランプ等の白熱ランプを用いることができる。この場合、ハロゲンランプ等の高輝度部がフィラメントの中心部にあるため、光源像４７Ａ〜４７Ｃ，９７Ａ〜９７Ｃの各中心部をそれぞれ光ファイバ１２の入射端１２ａ中心部に合致させるように位置ずれ補正を行うとよい。

また、上述した実施の形態１および２では、波長選択光学系１０４，２０４がコリメート光学系かつ集光光学系として各々集光レンズ２２，７２を備えるものとしたが、コリメート光学系および集光光学系として個別のレンズ系を備えることもできる。すなわち、光源２１が発した光を集光して平行光を射出するコリメートレンズ系と、合成光４６，９６を集光して光源像４７，９７を結像する集光レンズ系とを個別に備えることができる。

また、上述した実施の形態１および２では、波長選択光学系１０４，２０４が光源２１を光軸２０から外れた位置に備えるものとしたが、光軸２０上に設けることもできる。この場合、例えば全反射ミラー２５を取り除き、光源２１と集光レンズ２２，７２との間の光路上にハーフミラーを設けるとよい。これによって、光源２１が発した光と、集光レンズ２２，７２が収束させる光とを分離することができ、全反射ミラー２５を用いた場合と同様に光源像４７，９７を光ファイバ１２の入射端１２ａ上に結像させることができる。

また、上述した実施の形態１および２では、顕微鏡本体１０１は、標本に対して上部から観察を行う正立顕微鏡であるものとして説明したが、標本の下部から観察を行う倒立顕微鏡とすることもできる。また、顕微鏡本体１０１は、光源装置１０２，２０２から射出される照明光を標本に対して落射照明するものとして説明したが、透過照明する構成とすることもできる。

（付記１）
光源が発する光のうち複数の所定波長域の光を射出する光源装置において、
前記光源が発した光を平行光にして射出するコリメート光学系と、
前記所定波長域ごとに設けられ、それぞれ入射する光を自光学系の所定軸に対して対称に折り返す折返光学系と、
前記コリメート光学系が射出した平行光の中から複数の前記所定波長域の光を分岐させ、この分岐させた各波長域の分岐光をそれぞれ対応する前記折返光学系に入射させるとともに、該折返光学系が前記所定波長域ごとに折り返した折返光を合成する抽出光学系と、
前記抽出光学系が合成した合成光を集光して前記光源の光源像を結像させる集光光学系と、
前記所定波長域ごとに、前記折返光学系および前記抽出光学系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させる偏心駆動機構と、
を備えたことを特徴とする光源装置。

（付記２）
前記折返光学系は、前記分岐光を集光して前記光源の第１中間像を結像させる結像レンズ系と、前記第１中間像から発せられる光を集光し、自結像系の光軸に対して該第１中間像と対称な位置に前記光源の第２中間像を結像させる反射結像系とを有し、
前記結像レンズ系は、前記第２中間像から発せられる光を集光し、自レンズ系の光軸に対して前記分岐光と対称な前記折返光を射出し、
前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記反射結像系および前記結像レンズ系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする付記１に記載の光源装置。

（付記３）
前記折返光学系は、前記分岐光を反射させる平面鏡を有し、
前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記平面鏡をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする付記１に記載の光源装置。

（付記４）
前記抽出光学系は、複数の前記所定波長域の光のうち１つの波長域の光を択一的に反射させ、該１つの波長域以外の光を透過させる選択反射光学素子を前記所定波長域ごとに有し、
前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記選択反射光学素子をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする付記１〜３のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記５）
前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合に前記光源像の所定結像位置を示す指標部材を備え、
前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって該光源像内の高輝度部が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記６）
前記光源は、アーク放電によって光を発するアークランプであり、
前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって、前記アークランプの陰極先端部と共役な部分が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする付記５に記載の光源装置。

（付記７）
所定の大きさを有し、前記光源と交換自在に該光源の所定光源位置に設けられ、該所定光源位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記コリメート光学系に対して発する仮設光源と、
前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合、前記集光光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像の所定結像位置を示す指標部材と、
を備え、
前記仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記８）
所定の大きさを有し、前記光源像の所定光源像位置に装脱自在に設けられ、該光源像位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記集光光学系に対して発する仮設光源と、
前記光源と交換自在に前記コリメート光学系の焦平面上に設けられ、該焦平面上に設けられた場合に前記光源の所定光源位置を示す指標部材と、
を備え、
前記コリメート光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定光源位置に位置決めされることを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記９）
前記仮設光源は、前記照明光が導入され光ファイバの射出端であることを特徴とする付記７または８に記載の光源装置。

（付記１０）
前記指標部材上に結像される光学像を撮影して表示する観察装置を装脱自在に備えたことを特徴とする付記５〜９のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記１１）
前記コリメート光学系および前記集光光学系は、各光軸と各瞳とをそれぞれ合致させて設けられることを特徴とする付記１〜１０のいずれか一つに記載の光源装置。

（付記１２）
前記所定波長域ごとに、前記抽出光学系から前記折返光学系を介して再び該抽出光学系に至る光路を選択的に遮断および開放するシャッタ手段を備えたことを特徴とする付記１〜１１のいずれか一つに記載の光源装置。

本発明の実施の形態１および２にかかる光源装置を用いた顕微鏡装置の全体構成を示す図である。 実施の形態１にかかる光源装置が備える波長選択光学系の構成を示す図である。 図２に示した光源の発光部構成の一例を示す図である。 図３に示した光源に対応する光源像と、光ファイバ入射端との位置関係を示す図である。 図３に示した光源に対応する光源像と、光ファイバ入射端との位置関係を示す図である。 実施の形態１にかかる光源装置が光源像の位置ずれ補正を行う場合に備える光源像観察ユニットの構成を示す図である。 図６に示したターゲット板の構成を示す図である。 図６に示したミラーホルダの構成を示す断面図である。 図６に示したミラーホルダの構成を示す正面図である。 図６に示した凹面鏡をシフト偏心させた場合の作用を説明する図である。 図７に示したターゲット板上に結像された光源像を示す図である。 実施の形態１にかかる光源装置が光源像の位置ずれ補正を行う場合に備える光源像観察ユニットの他の構成を示す図である。 図１１に示したターゲット板の構成を示す図である。 図１２に示したターゲット板上に結像されたファイバ射出端像を示す図である。 実施の形態２にかかる光源装置が備える波長選択光学系の構成を示す図である。 実施の形態２にかかる光源装置が光源像の位置ずれ補正を行う場合に備える光源像観察ユニットの構成を示す図である。 図１５に示したミラーホルダの構成を示す断面図である。 図１５に示したミラーホルダの構成を示す正面図である。 図１５に示した平面鏡をチルト偏心させた場合の作用を説明する図である。

符号の説明

１ 標本
２ ステージ
３ 対物レンズ
４ レボルバ
５ 焦準機構
６ 架台
７ 投光管
７ａ ファイバコネクタ
８ 鏡筒
９ 接眼ユニット
１１，２１１ 波長選択ユニット
１２ 光ファイバ
１２ａ 入射端
１３ カメラ
２０ 光軸
２０Ａ〜２０Ｃ 分岐光軸
２１ 光源
２１ａ 陽極
２１ｂ 陰極
２１ｃ 発光輝度分布
２１ｄ 高輝度部
２２ 集光レンズ
２３ 選択反射光学系
２３Ａ〜２３Ｃ ダイクロイックミラー
２４Ａ〜２４Ｃ 折返光学系
２５ 全反射ミラー
２６Ａ〜２６Ｃ シャッタ
２７Ａ〜２７Ｃ 結像レンズ
２８Ａ〜２８Ｃ 凹面鏡
２８Ａａ，２８Ｂａ，２８Ｃａ 反射面
３０Ａ〜３０Ｃ ミラーホルダ
３１ 軸部
３１ａ 溝部
３２ 支持部
３２ａ 貫通孔
３３ ビス
４１，９１ 平行光
４２Ａ〜４２Ｃ，９２Ａ〜９２Ｃ 分岐光
４３Ａ〜４３Ｃ 第１中間像
４４Ａ〜４４Ｃ 第２中間像
４５Ａ〜４５Ｃ，９５Ａ〜９５Ｃ 折返光
４６，９６ 合成光
４７，４７Ａ〜４７Ｃ，９７，９７Ａ〜９７Ｃ 光源像
４７ｃ 像輝度分布
４７ｄ 高輝度部
５０，６０ 光源像観察ユニット
５１，６１ ターゲット板
５１ａ，６１ａ 十字マーク
５１ｂ 円形マーク
５１ｃ，６１ｃ 中心点
５２ 結像レンズ
５３ カメラ
５４ ディスプレイ
６１ｂ 光源マーク
６２ 光ファイバ
６２ａ 射出端
６３ 工具光源
６４ 集光レンズ
６７ 射出端像
７２ 集光レンズ
７４Ａ〜７４Ｃ 平面鏡
７４Ａａ，７４Ｂａ，７４Ｃａ 反射面
７４Ａｂ 溝部
７６Ａ〜７６Ｃ シャッタ
８０Ａ〜８０Ｃ ミラーホルダ
８１ 軸部
８２ 支持部
８２ａ 貫通孔
８３ ビス
８４ コイルバネ
１００ 紫外線顕微鏡装置
１０１ 顕微鏡本体
１０２，２０２ 光源装置
１０３ 制御装置
１０４，２０４ 波長選択光学系
ＥＰ１，ＥＰ２，ＥＰＡ〜ＥＰＣ 射出瞳

Claims (11)

1. 光源が発する光のうち複数の所定波長域の光を射出する光源装置において、
   前記光源が発した光を平行光にして射出するコリメート光学系と、
   前記所定波長域ごとに設けられ、それぞれ入射する光を自光学系の所定軸に対して対称に折り返す折返光学系と、
   前記コリメート光学系が射出した平行光の中から複数の前記所定波長域の光を分岐させ、この分岐させた各波長域の分岐光をそれぞれ対応する前記折返光学系に入射させるとともに、該折返光学系が前記所定波長域ごとに折り返した折返光を合成する抽出光学系と、
   前記抽出光学系が合成した合成光を集光して前記光源の光源像を結像させる集光光学系と、
   前記所定波長域ごとに、前記折返光学系および前記抽出光学系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させる偏心駆動機構と、
   を備えたことを特徴とする光源装置。
2. 前記折返光学系は、前記分岐光を集光して前記光源の第１中間像を結像させる結像レンズ系と、前記第１中間像から発せられる光を集光し、自結像系の光軸に対して該第１中間像と対称な位置に前記光源の第２中間像を結像させる反射結像系とを有し、
   前記結像レンズ系は、前記第２中間像から発せられる光を集光し、自レンズ系の光軸に対して前記分岐光と対称な前記折返光を射出し、
   前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記反射結像系および前記結像レンズ系の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
3. 前記折返光学系は、前記分岐光を反射させる平面鏡を有し、
   前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記平面鏡をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
4. 前記抽出光学系は、複数の前記所定波長域の光のうち１つの波長域の光を択一的に反射させ、該１つの波長域以外の光を透過させる選択反射光学素子を前記所定波長域ごとに有し、
   前記偏心駆動機構は、前記所定波長域ごとに、前記選択反射光学素子をチルト偏心させて前記光源像の結像位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
5. 前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合に前記光源像の所定結像位置を示す指標部材を備え、
   前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって該光源像内の高輝度部が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。
6. 前記光源は、アーク放電によって光を発するアークランプであり、
   前記光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって、前記アークランプの陰極先端部と共役な部分が前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
7. 所定の大きさを有し、前記光源と交換自在に該光源の所定光源位置に設けられ、該所定光源位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記コリメート光学系に対して発する仮設光源と、
   前記集光光学系による前記光源像の結像面上に装脱自在に設けられ、該結像面上に設けられた場合、前記集光光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像の所定結像位置を示す指標部材と、
   を備え、
   前記仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定結像位置に位置決めされることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。
8. 所定の大きさを有し、前記光源像の所定光源像位置に装脱自在に設けられ、該光源像位置に設けられた場合に複数の前記所定波長域の光を含む照明光を前記集光光学系に対して発する仮設光源と、
   前記光源と交換自在に前記コリメート光学系の焦平面上に設けられ、該焦平面上に設けられた場合に前記光源の所定光源位置を示す指標部材と、
   を備え、
   前記コリメート光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像は、前記所定波長域ごとに、前記偏心駆動機構によって前記所定光源位置に位置決めされることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の光源装置。
9. 光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、
   前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記光源の光源像の所定結像位置を示す指標部材を該光源像の結像面上に配置する指標配置ステップと、
   前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記光源像内の高輝度部を前記所定結像位置に位置決めさせる位置決めステップと、
   を含むことを特徴とする光源装置の調整方法。
10. 光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、
    所定の大きさを有し、複数の前記所定波長域の光を含む照明光を発する仮設光源を、前記光源に換えて該光源の所定光源位置に配置する仮設光源配置ステップと、
    前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像の所定結像位置を示す指標部材を、前記集光光学系による前記光源の光源像の結像面上に配置する指標配置ステップと、
    前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させて前記仮設光源像を前記所定結像位置に位置決めさせる位置決めステップと、
    を含むことを特徴とする光源装置の調整方法。
11. 光源が発した光の中から複数の所定波長域の光を抽出し、この抽出した各波長域の光を合成して射出する光源装置の調整方法であって、
    所定の大きさを有し、複数の前記所定波長域の光を含む照明光を発する仮設光源を、前記光源装置が備える集光光学系によって結像される前記光源の光源像の所定結像位置に配置する仮設光源配置ステップと、
    前記光源の所定光源位置を示す指標部材を、前記光源に換えて前記コリメート光学系の焦平面上に配置する指標配置ステップと、
    前記所定波長域ごとに、各波長域の光路上に設けられた光学素子の少なくとも一部をシフト偏心またはチルト偏心させ、前記光源が発した光を集光して平行光にするコリメート光学系によって結像される前記仮設光源の仮設光源像を前記所定光源位置に位置決めさせる位置決めステップと、
    を含むことを特徴とする光源装置の調整方法。

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