JP4854072B2 - ホーンホルダ揺動型ボンディング装置 - Google Patents
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Description
特許文献2においては、ボンディング装置はボンディング面の上方に配設され、ボンディング面にホーンホルダの仮想旋回点があるので、ボンディングエリアの広いワークもボンディングが可能であるという特徴を有する。そこで装置の小型化を図るためにキャピラリから仮想旋回点までの長さを短くするほど、キャピラリを一定高さ上下動させるためのホーンホルダ、即ち板ばねの揺動角は大きくなり、板ばねに掛かる負荷が増大する。
前記ボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの後方部の下方にリンク機構取付け部が設けられており、このリンク機構取付け部の上面の後方側には、円弧部が形成され、この円弧部の上端部に板ばねの一端が固定され、板ばねの他端は前記ホーンホルダに固定され、前記板ばねは前記円弧部に沿って変位することを特徴とする。
前記ボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの後方部の下方にリンク機構取付け部が設けられており、前記ホーンホルダには、前記下方のリンク機構取付け部に対応した上方部に該前記下方のリンク機構取付け部より幅広の上方のリンク機構取付け部が形成されており、前記下方及び上方のリンク機構取付け部の前後には、それぞれ円弧部が形成され、前記板ばね機構は、前記下方のリンク機構取付け部の下面に固定され、前方側の上端が前記上方のリンク機構取付け部の前方の円弧部の上面部に固定された前方板ばね部と、前記下方のリンク機構取付け部の下面に固定され、後方側の上端が前記上方のリンク機構取付け部の後方の円弧部の上面部に固定された後方板ばね部とからなる板ばねによって構成され、前記下方のリンク機構取付け部の下方に前記ホーンホルダの仮想旋回点を持ち、前記板ばねは前記円弧部に沿って変位することを特徴とする。
またボンディングヘッドとホーンホルダは板ばねで連結した構造よりなるので、クロス板ばね機構に対してより単純機構で高剛性が実現できる。また駆動モータの吸引力は板ばねの座屈方向ではなく引っ張り方向に常に働くため、高性能(高推力定数)なコア付きモータの利用を単純な構造で実現できる。
2 キャピラリ
3 ワイヤ
4 ホーンホルダ
5 クランパ
10 ボンディングヘッド
12 リンク機構取付け部
13、14、15 円弧部
21 板ばね
22 固定部
30 駆動モータ
31 可動子
32 固定子
40 リンク機構取付け部
41、42 円弧部
50 板ばね
51 前方板ばね部
52 後方板ばね部
53 仮想旋回点
Claims (6)
- キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、前記キャピラリを上下駆動させる駆動モータと、前記ホーンホルダをボンディングヘッドに揺動自在に支持する板ばね機構を備えたホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、
前記ボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの後方部の下方にリンク機構取付け部が設けられており、このリンク機構取付け部の上面の後方側には、円弧部が形成され、この円弧部の上端部に板ばねの一端が固定され、板ばねの他端は前記ホーンホルダに固定され、前記板ばねは前記円弧部に沿って変位することを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。 - 前記駆動モータは、可動子が前記ホーンホルダ又は該ホーンホルダと共に揺動する部材に固定され、固定子が前記ボンディングヘッドに固定され、可動子と固定子の対向面は、それぞれほぼ前記リンク機構取付け部の円弧部への固定部を中心とした円弧状に形成されていることを特徴とする請求項1記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
- キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、前記キャピラリを上下駆動させる駆動モータと、前記ホーンホルダをボンディングヘッドに揺動自在に支持する板ばね機構を備えたホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、
前記ボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの後方部の下方にリンク機構取付け部が設けられており、前記ホーンホルダには、前記下方のリンク機構取付け部に対応した上方部に該前記下方のリンク機構取付け部より幅広の上方のリンク機構取付け部が形成されており、前記下方及び上方のリンク機構取付け部の前後には、それぞれ円弧部が形成され、前記板ばね機構は、前記下方のリンク機構取付け部の下面に固定され、前方側の上端が前記上方のリンク機構取付け部の前方の円弧部の上面部に固定された前方板ばね部と、前記下方のリンク機構取付け部の下面に固定され、後方側の上端が前記上方のリンク機構取付け部の後方の円弧部の上面部に固定された後方板ばね部とからなる板ばねによって構成され、前記下方のリンク機構取付け部の下方に前記ホーンホルダの仮想旋回点を持ち、前記板ばねは前記円弧部に沿って変位することを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。 - 前記駆動モータは、可動子が前記ホーンホルダに固定され、固定子が前記ボンディングヘッドに固定され、可動子と固定子の対向面は、それぞれ前記仮想旋回点をほぼ中心とした円弧状に形成されていることを特徴とする請求項3記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
- 前記仮想旋回点は、前記下方及び上方のリンク機構取付け部の前方側のそれぞれの円弧の中心を結んだ延長線と前記下方及び上方のリンク機構取付け部の後方側のそれぞれの円弧の中心を結んだ延長線の交点よりなり、ボンディング面に位置していることを特徴とする請求項3記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
- 前記駆動モータは、可動子と固定子間に吸引力を持つモータであることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
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- 2006-04-06 JP JP2006105323A patent/JP4854072B2/ja not_active Expired - Fee Related
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